JPS6172947A - クリ−ンル−ムの形成法およびこの方法に使用する空気調和設備ユニツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、既存の工場の中で短期間且つ低コストで作業
性の良いクリーンルームを設置することのできるクリー
ンルームの形成法およびその設備（Ｍｕｌｔｉ−Ｐｕｒ
ｐｏｓｅ　Ｆｌｅｘｉｂｌｅ　Ｃ１ｅａｎ　Ｒｏｏｍ　
Ｓｙｓｔｅｍ）に関する。

ＩＣやＬＳＩ製造などのための工業用クリーンルームや
クリーントンネル（本願明細書ではこの両者を含めたも
のを総称してクリーンルームと言う）を構成するさいに
、そのクリーンルーム内空間において、高い清浄域を必
要とする作業域空間と、それほど高い清浄域を必要とし
ない非作業域空間（例えば作業員の動きのための空間や
付属設備用の空間、その他の余裕空間など）が通常存在
することになる。このような空気の清浄度の異なる作業
域と非作業域は、その中で生産活動をおこなう作業のレ
イアウトに従って、空気処理設備を適切に設置すること
によって形成されるが、従来のクリーンルームでは、一
旦その空気処理設備が設置されると、その設置場所を変
更したり、空気の流れを変えたりすることは困難であっ
た。

すなわち、従来のクリーンルームでは１作業のレイアウ
トに変更が生じたり１作業の拡張縮小や作業内容の変更
、さらにはクリーンルーム空間の拡大や改造のの要求が
あった場合に、一旦設置された空気処理設備で以て、こ
れに柔軟に対処することは難しかった。

また、従来の工業用クリーンルームでは、清浄度の異な
る作業域と非作業域とを区別するために仕切璧や柱、垂
れ壁、さらには空気処理のための機器を囲ったり設置し
たりするための壁面部材などがクリーンルームの室内に
散在し、このためにクリーンルームの有効空間はひどく
狭いものとなっていた。特に、空気処理のための機械類
（ファン、吸込口、吹出口、ダクト類、ファンフィルタ
ユニット、ファンコイルユニット、空気調和器など）の
一部または全部を屋内（天井と床の間）に設置するのが
通常であったから、このような空気処理設備がクリーン
ルーム空間の一部を占める結果となっていた。このこと
はまた、レイアウトの変更や拡張縮小を一層困難にして
いた。

本発明の目的は、このような従来のクリーンルームが有
する問題の解決を図ること、さらには。

既設の建物でも退官かつ自由に所望規模のクリーンルー
ムを簡単に構成すること、そして、その施工も短期間で
低コストでできるようにすること。

であり、このような目的に添いながら、米国連邦規格の
２０９６に従うクラス１００〜ｉｏｏ、ｏｏｏまでの空
気清浄度の各種の清浄域をクリーンルーム内で任意に且
つ広い作業空間をもって形成できるようにすること、で
ある。

この目的を達成するクリーンルームの空気処理法として
１本発明は、天井面にＨＥＰＡフィルタ内蔵のファンフ
ィルタユニットおよび吸込口を設置し、且つクリーンル
ームの天井面より上に空気調和器並びに給気ダクトと還
気ダクトを施設することによって、クリーンルーム用空
ｆＪＩ設備の実質上全てを天井面より下方の空間から排
除し、且つこれらの空調設備全体を所定の天井面積毎に
ユニット化し、このユニットを互いに接続可能にしたこ
とを特徴とするクリーンルームの形成法を提供するもの
である。

そして、この方法を実施するクリーンルーム用の空気処
理設備として、吊り金物によって吊り込まれる単位天井
枠と、この単位天井枠に取付は取外し自在のＨＥＰＡフ
ィルタ内蔵のファンフィルタユニットと、該単位天井枠
に取付は取外し自在の吸込口と、該単位天井枠に取付は
取外し自在の響板と、該単位天井枠より上方に設置され
且つこの単位天井枠の複数単位エリアの空調負荷をまか
なうための空気調和器と、そして、ファンフィルタユニ
ット、吸込口および空気調和器を該天井枠より上方で接
続するダクト類と、からなるクリーンルーム形成用空気
調和設備ユニットを提供するものである。

以下に図面に従って１本発明を具体的に説明する。

第１図は２本発明に従うクリーンルームについて、その
空気の流れとその温度湿度の調節を図解的に示したもの
で、クリーンルームのルーム空間１の天井２に、　　Ｉ
（ＥＰＡフィルタ内蔵のファンフィルタユニット３と吸
込ロユニソト４が設置され。

また天井２の裏側には、給気ダクト５とレタンダクト６
が設置される。空気調和器７は、天井２より上方で、好
ましくは、屋外に設置される。空気調和器７は、室内の
熱負荷に通した形式のものを選定して使用する。

本発明において、ルーム空間１への清浄空気の吹き出し
と、ルーム空間１からの運気は原則として天井面で行わ
れる。この空気の流れを説明すると、まず空気調Ｎ０Ｗ
７には外気とレタンダクト６の還気とが取入れられ、こ
こで調和された空気は給気ダクト５を経てファンフィル
タユニット３に送られる。その際、給気ダクト５と各フ
ァンフィルタユニット３とは分岐給気ダクト８によって
接続されており２　この分岐給気ダクト８に、レタンダ
クト６の還気の一部が導入されるように分岐レタンダク
ト９が接続される。この状態を第２図に拡大して示しで
ある。従って、各ファンフィルタユニット３には、空気
調和器７で調和された空気と還気の一部が送気されるこ
とになる。そして各ファンフィルタユニット３に内蔵さ
れた）ＩＥＰＡフィルタにより浄化されてルーム空間１
に吹き出される。一方、ルーム空間１内の空気は天井２
に設置された吸込口ユニット４に吸い込まれ、レタンダ
クト６から一部は空気調和器７に、他部はファンフィル
タユニット３に流れる。ルーム空間１からの排気は系外
の排気ファン１０によって系外に排出される。

吹き出し空気の温度と湿度の調整は、空気調和器７がら
の給気とレタンダクト６からの還気の混合割合を調節す
ることによって行われる。この調節は、第２図に示すよ
うに、各ファンフィルタユニット３に送気する分岐給気
ダクト８と分岐レタンダクト９にそれぞれ取付けられた
ダンパ１１と１２の制御によって行われる。このダンパ
１１と１２は手動式のものを使用してもよい。精度の高
い温度調整が必要なときは、これらを電動ダンパとし、
サーモスタットにより自動調整する。これにより。

各ファンフィルタユニット３から吹き出される温度およ
び湿度の調節が個別にできることになる。

第３図は２本発明に従う空気調和設備のユニット−個分
によってクリーンルームを形成した部分を示している。

以下にこのユニットを具体的に説明する。

まず、このユニット第３図に示す一単位ユニットの天井
部２は、第４図の概略平面に示したように、Ｒ位天井枠
１３を複数個互いに隣接して構成される。第４図の例で
は４　Ｘ　４　＝１６個の単位天井枠１３が互いに隣接
して配置された状態を示す。第６図は一つの単位天井枠
１３を平面的に示している。

この一つの単位天井枠１３は、軽量型鋼などのフレーム
１５．１６によって基盤目状に構成される。第６図では
、その枡目が９個形成された一つの単位天井枠１３を示
している。したがって、第６図の例の単位天井枠１３を
、第４図のように１６個互いに隣接するとフレーム１５
．１６によって形成される枡目は１．３Ｘ１６＝　２０
８個の枡目が生じることになる。

第３図に示す例の空気調和設備ユニットは、単位天井枠
１３を１紙面の左右方向に４個連設し２紙面の表裏方向
に４個連設した場合の一縦断面を示している。つまり、
この単位天井枠１３が４×４＝１６個隣接して形成され
る平面部分の空調負荷を受は持つユニットである。

そして、各々の単位天井枠１３には（例えば、それぞれ
前記のように９個の枡目を持つ）、その枡目に、ファン
フィルタユニット３．吸込ロユニノト４または盲板１７
を取りつけることによって、第３図に表示したような一
単位モジュールが形成される。従って、第３図の空気調
和設備ユニットの例では、この一単位モジュールが合計
で１６個あることになる。

各単位天井枠１３は、後述のように吊り金具によって天
井に吊り込まれ、この単位天井枠１３に取付けられるフ
ァンフィルタユニット３．吸込ロユニノト４または盲板
１７の数と組合せを自白に選択することによって、各モ
ジュールは様々な形態のものに自由に構成でき、このよ
うな各種の単位モジュールの集合として、ルーム空間１
の天井２が構成される。例えば第３図に見える断面のモ
ジュールについて言えば、モジュール（ａｌでは、−個
の吸込ロユニソト４（但しこれは排気用に使用され。

系外の排気ファン１０に排気ダクトが接続される）と−
個のファンフィルタユニット３があり、その他は盲板１
７で覆われ、モジュールＱ））では、−個の吸込ロユニ
ソト４があり、その他は盲板１７で覆われており、モジ
ュール（Ｃ）では、二１固のファンフィルタユニット３
があり、その他は盲板１７で覆われており、またモジュ
ール（ｄ）では、−個のファンフィルタユニット３と一
個の吸込口ユニット４があり、その他は盲板１７で覆わ
れている。

空気を周相器７は、第３図のユニットの例では。

単位天井枠１３（ひいては単位モジュール）を１６ｉｖ
Ａ隣接したエリア（例えば１００　ｒｄ程度）の空調負
荷を受は持っている。この空気調和器７は、屋根１９の
上に設置され、給気ダクト５およびレタンダクト６が天
井裏に配設され、且つ各ファンフィルタユニット３に対
して１第２図に示したように５分岐給気ダクト８および
分岐レタンダクト９が接続されている。このユニットの
空気の流れと温度湿度の関節は第１図で説明したとおり
に行われる。

そして３例えば作業域（Ａ）および作業域（Ｂ）に対し
て、さらには、非作業域（Ｃ）に対して。

ファンフィルタユニット３の）ＩＥＰＡフィルタ２０で
清浄化された空気が吹き出され１例えば１作業域（Ａ）
ではクラス１０００域程度１作業域（Ｂ）ではクラス１
００程度、そして非作業域（Ｃ）ではクラス１０，００
０程度と、それぞれ異なるの清浄度が維持することがで
きる。なお、吸込ロユニノト４だけがあるモジュール（
ｂ）の部分の非作業域（Ｄ）などの帯域ではクラス１０
０，０００程度の清浄度となるところもある。なお９作
業域（Ａ）や作業域（Ｂ）を形成する部分では、ファン
フィルタユニット３から垂れ壁２１を設けると、非作業
域にある吸込ロユニソト４に対して巻き挙げられる空気
の流れの影響を防止でき、各作業域の清浄度を一層高め
ることができる。

高い清浄度を必要とする作業域に対してはファンフィル
タユニット３を隣接して設けるとよい。

この例は１例えば第３図の単位モジュール（Ｃ１に示さ
れているが、このファンフィルタユニット３を一列に並
べて隣接すれば、壁面は特に存在しないけれども、クリ
ーントンネルと同様な清浄帯域が形成できる。吸込口ユ
ニット４は原則として、非作業域に取付け、特に作業域
とはできるだけ離した位置に取付けるとよい。この場合
、ファンフィルタユニット３の設置位置を適切にし、且
つ第１図および第２図で説明したように、温度と湿度の
調節を適切に行うことによって２作業員の作業環境維持
のための空調も、その帯域に合わせて適宜行うことがで
きる。

第３図では本発明に従う空気調和設備の一つのユニット
を図解的に示しているが、このユニットの前後左右には
、さらに本発明に従う空気調和設備のユニットを隣接し
、必要な大きさのクリーントンネルに適宜構成できる。

この場合、特に仕切壁や柱で各ユニットを支持する必要
はなく、各ユニットの支持は天井梁２３等からの吊り込
みによってまかなうことができる。

第５図〜第７図に従ってこの吊り込みの構造を具体的に
説明すると、天井裏の梁２３がら、吊り金物２４を吊し
、これに各単位天井枠１３の隔部分を接続して、各単位
天井枠１３をその４隅で吊り込む。

そのさい、天井２と梁２３との間に作業員が自由に歩行
できる足場２５を形成してお（と、メインテナンス時に
これを有効に活用できる。吊り金物２４は吊り長さを自
由に調整できるものを使用する。適宜、可動式のポスト
２６（第７図）も使用することができる。ファンフィル
タユニット３や吸込口ユニット４を単位天井枠１３のフ
レーム１５．１６に据付る場合には、第７図に示すよう
に、各ユニット３や４の下縁とフレームとの間にパツキ
ン、例えば軟質のネオプレンガスケット、を挿入してユ
ニットの自重でこれを押さえつけるようにする。

第９図は本発明に従う空気調和設備ユニットがクリーン
ルームの壁２７やシャフト２８に面して設置される場合
に、その壁２７やシャフト２８を１電気配線、冷却水、
ガス１圧縮空気、真空配管などのユーティリティ配管に
利用することができる。例えば第１０図に示すように、
壁２７を二重壁とし、その間隙に配管類２９を立ち上げ
６゜また、場合によっては、この二重壁空間をレタンダ
クトに利用することができる。例えば第１１図に示すよ
うに、この壁２７の下部にレタンダクト（吸込口）３０
を設けこの壁２７の上部でレタンダクト６に接続すれば
よい。また、シャフト２日についても同様に、第１２図
に示すように、配管類２８をその中に立ち上げ、また吸
込口３０を設けてこれをレタンダクトに利用することが
できる。

第１３図および第１４図は１本発明に従う空気調和設備
ユニットと、クリーンルーム内での作業を実施する作業
機械（製造装置類）との取り合いの関係例を示す。本発
明の空気調和設備ユニットでは周囲の支柱は任意の位置
に移動することが可能であるので、製造装置３２〜３３
等をクリーンルームのルーム空間内にその全体を入れな
くてもよい。すなわち図示のように、製造装置の大部分
は壁３５でその裏（ＪＩｌｌに隠し１作業に必要な部分
だけルーム空間に面するようにすればよい。

以上のように９本発明によると、クリーンルーム空気の
循環ファンは、ファンフィルタユニット３と共に天井の
上に設置され、また空気調和器７やダクト類、更には熱
源も天井の上や屋根に設置されるので機械室面積を従来
の通常のクリーンルームに比べて１／２以下にでき、ま
た２本発明は空気調和設備を天井部で各種のモジュール
に変更可能なユニットに構成するので、清浄度のクラス
が異なる帯域を任意に形成でき、その変更や、拡張およ
び縮小も容易にできる。また、クリーンルーム面積や機
械類の配置がえや拡張縮小も自由に行える。そして、原
則として柱や間仕切は必要ではないので、製造装置のレ
イアウトが自由に行えるし９作業域または非作業域の温
度湿度の調節も場所毎に個々に設定ができるなど、極め
て有益な効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のクリーンルームの空気の流れを説明す
るための設備全体の略断面図、第２図は第１図の一部の
部分拡大図、第３図は本発明のクリーンルーム用空気調
和設備の一つのユニット部分を示す略断面図、第４図は
単位天井枠を合計で１６個組合せて構成した一つのユニ
ットに対応する天井枠平面図１第５図は第４図に対応す
るクリーンルームの側面図、第６図は一つの単位天井枠
の平面図、第７図はファンコイルユニット、吸込口ユニ
ット、盲板を単位天井枠に設置した第６図に対応する側
面図、第８図は第７図の一部を拡大した部分拡大図、第
９図は第４図と同様の大きさのユニットについての略平
面図、第１０図は第９図の一部を拡大した部分拡大図、
第１１図は第１０図の矢視断面図、第１２図は第９図の
一部を拡大した部分拡大図、第１３図は製造装置と本発
明ユニットとの取り合い関係を示す略平面図、第１４図
は第１３図の矢視断面を拡大して示す略断面図である。 ｌ・・ルーム空間、　　２・・天井、　　３・・ファン
フィルタユニット、４・・吸込ロユニソト５・　・給気
ダクト　　６・・レタンダクト。 ７・・空気調和器、　　８・・分岐給気ダクト９・・分
岐レタンダクト、１０・・排気ファン。 １１、１２・・ダンパ、１３・・単位天井枠。 １５、１６・・フレーム、１７・・盲板。 ２０・・　ＨＥＰＡフィルタ、　　２１・・垂れ壁。 手続補正書（自発） 昭和５９年１０月３０日 明相５９年特許側第１９５０７２号 ２、発明の名称 クリーンルームの形成法およびこの方法に使用する空気
調和設備ユニット ３、補正をする者 事件との関係　特許比１頭人 住所　東京都千代田区神田駿河台４丁目２番地８名称　
高砂熱学工業株式会社 代表者　日量一部 ４、代理人　〒１６２ 住所　東京都新宿区市谷薬王寺町８３番地電話（０３）
　２６７−８５３５ （１）明細書の特許請求の範囲の欄 （２）明細書の発明の詳細な説明の掴 ６、補正の内容 （１）、特許請求の範囲を別紙のとおり補正する。 （２）１発明の詳細な説明を下記のとおり補正する。 記 イ）明細書５頁３行のｒ　２０９６　Ｊを’　２０９ｂ
　Ｊに訂正する。 （別紙） ２、特許請求の範囲 （１）、米国連邦規格第２０９ｂ号に従うクラス１００
〜１００．０００の清浄度の空気清浄域を清浄空気の吹
き出しと空気の吸い込みによってクリーンルーム内に形
成するにさいし、天井面にＩ（ＥＰＡフィルタ内蔵のフ
ァンフィルタユニットおよび吸込口を設置し、且つクリ
ーンルームの天井面より上に空気調和器並びに給気ダク
トと還気ダクトを施設することによって、クリーンルー
ム用空調設備の実質止金てを天井面より下方の空間から
排除し、且つこれらの空調設備全体を所定の天井面積毎
にユニット化し、このユニットを互いに接続可能にした
ことを特徴とするクリーンルームの形成法。 （２）、吊り金物によって吊り込まれる単位天井枠と。 この単位天井枠に取付は取外し自在のＨＥＰＡフィルタ
内蔵のファンフィルタユニットと、該単位天井枠に取付
は取外し自在の吸込口と、該単位天井枠に取付は取外し
自在の盲板と、該単位天井枠より上方に設置され且つこ
の単位天井枠の複数単位エリアの空調負荷をまかなうた
めの空気調和器と。 そして、ファンフィルタユニット、吸込口および空気調
和器を該天井枠より上方で接続するダクト類と、からな
る特許請求の範囲第１項記載の方法に使用するクリーン
ルーム形成用の空気調和設備ユニット。 （３）、空気調和器は屋根上に設置される特許請求の範
囲第２項記載の空気調和設備ユニット。 （４１，７アンフイルタユニノトからクリーンルーム内
に向けて垂れ壁が設置される特許請求の範囲第２項また
は第３項記載の空気調和設備ユニット。 手続補正！（自発） １、　事件の表示 昭和５９年特許願第１９５０７２号 ２、　発明の名称 クリーンルーム構築システム ３、　補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　東京都千代田区神田駿河台４丁目２番地８名称　
高砂熱学工業株式会社 代表者　日景一部 ４、　代理人　〒１６２ 住所　東京都新宿区市谷薬王寺町８３番地電話（０３）
　２６７−８５３５ ５、　補正の対象 （１）明１１１８の発明の名称の憫 （２）明細書の特許請求の範囲の欄 （３）明細書の発明の詳細な説明の欄 （４）明細書の図面の簡単な説明の欄 （５）図面 ６、　補正の内容 １、　明細書を別紙の訂正明細書のとおり補正する。 ２、　図面の第１図〜第１４図（願書に添付した図面の
全て）を２本書に添付の第１図〜第４７図と差し替える
。 訂正明　細　書 １、発明の名称 クリーンルーム構築システム ２、特許請求の範囲 （１）既に出来上がっている建物の内部に天井裏スペー
スを残して新たな天井面を形成し、この新天井面としか
るべき床面および壁材とによって周囲雰囲気から遮断さ
れた閉鎖空間を形成し、そして。 この閉鎖空間内に清浄空気を供給する共にこの吹き出さ
れた空気量に実質上相当する分を閉鎖空間から取り出す
空気処理設備を設置することによって、この閉鎖空間を
米国連邦規格第２０９ｂ号に従うクラス１００〜１００
，０００の清浄度範囲の清浄ゾーン（複数）を持ったク
リーンルームに構成するクリーンルーム構築システムに
おいて。 互いに実質上等しい寸法もつ予め定められた方形の多数
の小枠を有した天井枠材を、天井裏スペースを残して水
平方向に張り渡たすこと、そして咳小枠の開口面積を塞
ぐ大きさをもった盲板、該小枠の開口面積を塞ぐ大きさ
をもった空気吸込口ユニット、およびファンとＨＥＰ八
フへルりを内蔵し且つ咳小枠の開口面積を塞ぐ大きさを
もったファンフィルタユニットからなる予め＊ｉされた
天井枠装着部材を、該天井枠材の小枠に取り外し自在に
装着すること、によって前記の新天井面を形成すること
。 形成される該閉鎖空間の外側に空気調和器を設置するこ
と。 この空気講和器で作られた調和空気を該小枠に装着され
たファンフィルタユニットの各々に導くための給気ダク
ト手段と１　そして該小枠に装着されたファンフィルタ
ユニットの各々に２該小枠に装着された少なくとも一つ
の空気吸込口ユニットに取入れられた空気を該空気調和
器を経ずして導くことができる連結ダクトを含む還気ダ
クト手段と、を形成される閉鎖空間外で施設すること、
そして。 前記の三つの天井枠装着部材の該小枠への装着にあたっ
てそれらの装着位置と装着数を１意図する清浄ゾーンの
位置と清浄度に応じて選定し、閉鎮空間内に清浄度の異
なる清浄ゾーン（複数）を天井面吹き出し天井面吸い込
みの気流によって形成すること。 °を特徴とするクリーンルーム構築システム。 （２）閉鎖空間を形成する壁および床は、閉鎖空間内の
空気を強制的に吸引する空気吸込口を持たない壁面およ
び床面によって構成されている請求の範囲第１項のクリ
ーンルーム構築システム。 （３）建物は工場である請求の範囲第１項または第２項
のクリーンルーム構築システム。 （４）新天井面は作業機械類がその下に存在したまま形
成される請求の範囲第１項、第２項または第３項のクリ
ーンルーム構築システム。 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 本発明は、既存の建物の中で施工性良（且つ短期間に必
要とする広さとその広さ内で必要とする清浄域とを随意
に作り出せるようにした多目的クリーンルーム構築シス
テム（Ｍｕｌｔｉ−Ｐｕｒｐｏｓｅ　Ｆｌｅｘ−ｉｂｌ
ｅ　Ｃ１ｅａｎ　Ｒｏｏｍ　Ｓｙｓｔｅｍ）に関する嗜
〔従来の技術］ 半導体、薬品、１密機械産業等において工業用クリーン
ルームやクリーントンネル（本願明細書ではこの両者を
含めたものを総称してクリーンルームと言う）を構成す
ることが必要とされるが。 通常はそのクリーンルーム内空間において、高い清浄域
を必要とする作業域空間と、それほど高い清浄域を必要
としない非作業域空間（例えば作業員の動きのための空
間や付属設備用の空間、その他の余裕空間など）が存在
することになる。このような空気の清浄度の異なる作業
域と非作業域は。 その中で生産活動をおこなう作業のレイアウトに従って
、清浄空気の供給や排気を適切に行い且つ気流を制御す
る数々の空気処理設備を適切に設置することによって形
成されるが、従来より最も多く作られている垂直Ｎ流式
クリーンルームや水平層流式クリーンルームでは、施主
の現実の要求に柔軟に応えることが困難な場合があった
。 例えば、いままでクリーンルームを必要としなかった生
産ラインが、９品の高品質化にともないクリーンルーム
を必要とするようになったり、既存の生産ラインの近く
に小規模のクリーンルームを作り、そこで重要工程のみ
を行うといった改修にせまられることもあるが、このよ
うな場合に最も優先する課題は、出来るならば現在の操
業をストップさせずに、そして製造装置のレイアウトや
作業方法の実質上の変更を伴わずに、短期間でこのよう
な目的に沿うクリーンルームを構築することであろう、
そして、その構築のさいには、そのクリーンルームの広
さを目的に応して自由に選定ができ、清浄度についても
クリーンルーム内空間のうちの成る局部においてのみ特
別に高い清浄度域を設けることができることも望まれる
ことである。しかし、このような施主の現実の要求に対
して従来の良く知られた垂直層流式クリーンルーム構造
や水平層流式クリーンルーム横這で対処しようとしても
このような要求を満足して応えることはできなかった。 その理由はいろいろあるが、基本的には、清浄空五の制
御流れを形成するための部材やＲ器類を。 形成しようとるすクリーンルーム側からの設計基準に応
じて既設置！物の床のうえに多数設置することが別途必
要とされたからである０例えば２空五の流れを制御し且
つ清浄度の異なる作業域と非作業域とを区別するために
仕切壁や柱１　さらには空気処理のための機器を囲った
り設置したりするための壁面部材などが所定の関係をも
って裾え付けられることを要し、そして空気処理のため
の諸設備例えば、ファン、吸込口、吹出口、ダクト類や
風道類、　ＨＥＰＡフィルタ、熱交換器、などの一部ま
たは全部が天井と床の間に所定の関係をもって設置され
ることがその構造上必要であったし、排気プレナムを床
下や壁裏にまた給気プレナムを天井裏や壁裏に新たに遣
ることを必要としたからである。特に、垂直層流式では
天井面が吹き出し面。 床面が吸い込み面となり、水平層流式では成る壁面が吹
き出し面これと対向する壁面が吸い込み面となって、天
井面と床面あるいは壁面自体が一定の関係をもって構成
されねばならなかった。このことはまた、クリーンルー
ムの有効空間をひどく狭いものとしていたしレイアウト
の変更や拡張縮少を一層困難にしていた６特に一旦構築
されるとそのクリーンルーム規模の拡大縮小並びにクリ
ーンルーム内での清浄域の変更といったことは簡単には
行い得ないものであった。 従って、従来のクリーンルームでは、既に生産活動をし
ている工場などにおいて、その生産ラインや生産機械を
、形成しようとするクリーンルーム空間から一旦排除し
なければ、構築することができないものであったと言っ
て過言ではない。出願人は、生産機械をその場所から退
かさないで高変なりリーンルームを形成できるようなり
リーンルーム構築システム、並びに排気プレナムや給気
プレナムを持たないで天井吹き出し天井吸い込み方式と
するクリーンルーム等の先行技術調査を出来うる限り実
施したが、以下に記載する本発明のようなりリーンルー
ム構築システムに関連するような公知の技術文献は見出
すことができなかった。 〔本発明の目的〕 本発明の目的は、このような従来のクリーンルームでは
対処し得なかったような、施主の多様な要求にどのよう
にも対応できるフレキンプルなりリーンルームを提供す
ること、さらには、既設の１！物内に生産機械などが稼
動していてもそれを撤去させないで適宜かつ自由に所望
規模のクリーンルームを簡単に構成すること、そして、
その施工も短期間で低コストでできるようにすることで
あり、このような目的に添いながら、米国連邦規格の２
０９ｂに従うクラス１００〜１００．０００までの空気
清浄度の各種の清浄域をクリーンルーム内で実質上仕切
り壁を設けなくても任意に作りだせるようにすること、
である。ここで、米国連邦規格の２０９ｂに規定するク
ラス１００とは、０．５μｍ以上の粒子がｌｆｔ’　当
り１００個を越えないこと、またクラス１００．０００
とは０．５　ｐ　ｍ以上の粒子がｌ　ｆｔ’　当り１０
０．０００個を越えないことである。 〔発明の開示〕 前記のような目的を達成することができるクリーンルー
ムとして２本発明は、既に出来上がっている建物の内部
に天井裏スペースを残して新たな天井面を形成し、この
新天井面としかるべき床面および壁材とによって周囲雰
囲気から遮断された閉鎖空間を形成し、そして、この閉
鎖空間内に清浄空気を供給する共にこの吹き出された空
気量に実質上相当する分を閉鎖空間から取り出す空気処
理設備を設ですることによって、この閉鎖空間を米国連
邦規格第２０９ｂ号に従うクラス１００−１００．００
０の清浄度範囲の清浄ゾーン（複数）を持ったクリーン
ルームに構成するクリーンルーム横築システムであって
。 互いに実質上等しい寸法もつ予め定められた方形の多数
の小枠を有する天井枠材を、天井裏スペースを残して水
平方向に張り渡たすこと２そして該小枠の開口面積を塞
ぐ大きさをもった盲板、該小枠の開口面積を塞ぐ大きさ
をもった空気吸込口ユニ、ト、およびファンとＨＥＰＡ
フィルタを内蔵し且つ該小枠の開口面積を塞ぐ大きさを
もったファンフィルタユニットからなる予めＩ＃備され
た天井枠装着部材を、該天井枠材の小枠に取り外し自在
に装着すること、によって前記の新天井面を形成するこ
と。 形成される該閉鎖空間の外側に空気調和器を設置するこ
と。 この空気調和器で作られた調和空気を該小枠に装着され
たファンフィルタユニットの各々に導くための給気ダク
ト手段と、そして該小枠に装着されたファンフィルタユ
ニットの各々に、該小枠に装着された少なくとも一つの
空気吸込ロユニノトに取入れられた空気を該空気調和器
を経ずして導くことができる連結ダクトを有する運気ダ
クト手段とを、形成される閉鎖空間外で施設すること。 そして２ 前記の三つの天井枠装着部材の該小枠への装着にあたっ
てそれらの装着位置と装着数を、意図する清浄ゾーンの
位置と清浄度に応して選定し、閉鎖空間内に清浄度の異
なる清浄ゾーン（複数）を天井面吹き出し天井面吸い込
みの気流によって形成すること。 を特徴とするクリーンルーム横築システムを提供する。 本発明はクリーンルームの構築処決に大きな特徴があり
、以下にこれを詳しく説明するが１本発明によって形成
されるクリーンルームは、クリーンルームの分類概念か
ら言えば天井面吹き出しの乱流式クリーンルームである
と言える。そして。 ルーム空間内の空気を強制的に外部に吸引する空気吸込
口が本発明においては天井面に設けられ。 壁面や床面にはこれがなくてもよいことからすれば、従
来の天井面吹き出しの乱流式クリーンルームでは全く常
識外れのクリーンルームであると言える。天井面にｌ〃
浄空気の吹出口をもち、天井面に空気吸込口をもつクリ
ーンルームによってルーム空間内に高度な清浄域を形成
しようとすることは、近年の高度なりリーンルーム形成
技術の傾向からすれば逆行するようなやり方であるから
である。本発明のクリーンルームは５例えば、ＩＣ製造
、バイオケミストリー、食品製造、薬品製造。 医療、精密ｍ械の組み立て等の高度の清浄域を必要とす
る分野に対して好適に通用できるものであるが、このよ
うな分野での技術進歩に伴って乱流式クリーンルームで
はより高度なりリーンルームを形成することができない
であろうとする一船常識が存在したしくこのために床面
に平面的な吸込口をもつ垂直Ｎ２＃Ｌ式クリーンルーム
が大きく発展してきた）、加えて、乱流式クリーンルー
ムにおいて天井面吸い込み方式を採用するなどと言うよ
うなことは、当業者ならば２巻き上げ気流が室内に発生
して塵埃を拡散するであろう、また、天井面吹出口から
天井面吸込口に向かってショートサーキットが形成され
て高度清浄域が得られないであろうと考えるのが普通で
あるから、天井面吹き出し天井面吸い込み方式の乱流式
クリーンルームによって高度な清浄域を得ようとする本
発明のクリーンルームは５　このような従来の通念を打
破した全く新しい形式のクリーンルームを提供するもの
である。これを可能にしたのは、後記の試験例でも実証
するが、閉鎖空間に吹き出した空気をこの閉鎖空間から
強制的に取り出すための吸込口は。 その設置位置が天井面に存在しても、この吸込口の掻め
て近いところでのみ吸い込み気流を発生さ廿るだけであ
って、空間内の気流動向には影響を与えるようなことは
実質上起こらないと言う現象を効果的に利用したからで
ある。 そして１本発明によって形成されるクリーンルームは、
その構造上は、排気プレナムや給気プレナムを実質上持
たない点で従来のクリーンルームと区別され得る。従来
の工業用クリーンルームは。 殆ど例外なく、床下または堅実に排気プレナムを設け、
この排気プレナムの空気を送風機が吸引して壁裏や天井
裏の給気プレナムに吐出するという空気循環構造である
と言ってよい０本発明では吸い込み面の裏側並びにＨＥ
ＰＡフィルタ面の裏側に。 建材によって構成されるようなプレナムは持たないので
あり、天井面の吸込口並びに吹出口はダクトに接続され
る設置位置選定自由な端末ユニットとして構成されるの
である。 さて１本発明はこのような天井面吹き出し天井面吸い込
みのクリーンルームを構築するにさいして、実質上天井
面の工事だけで、施主が希望する広さのクリーンルーム
を、その空間内に例え生産機械などが存在しても場合に
よってはこれをそのまま残置したままで、必要な位置に
必要な清浄度をもつ清浄ノ゛−ンが形成されるように、
構築しようとするものである。このために１本発明では
。 既設建物内にモノエール化された特殊な天井構造物を作
る。そして、この天井横ａ物と壁材によって周囲雰囲気
から遮断された閉鎖空間を形成し。 この閉鎖空間内にはクリーンルームに形成するに必要な
空気処理設備の機器類やダクトａは入り込ませないよう
にする。そのさい、成形された閉鎖空間にはＨＥＰＡフ
ィルタを経た清浄空気を供給しそして閉鎖空間から室内
空気を排出する　（吸い込む）という空気の循環を行わ
せながら閉鎖空間内を周囲雰囲気より僅かに高い圧力に
維持するというクリーンルームの必要要件を満たす構成
とすることは勿論である。 本発明に従う天井構造物は、モジュール化された特殊な
天井枠材の使用と、この天井枠材へのモジュール化され
たファンフィルタユニット、空気吸込口ユニット並びに
盲板の装着によって構築される。そして、送気管路を形
成するダクト配管などは天井裏スペースを利用して行い
、新たに形成される天井構造物並びに天井裏機器類など
の荷重は全て建物本体の梁などからの吊り込みによって
受は止められる。ここで、モジエール化された天井枠材
とは、互いに実質上等しい寸法をもつ予め定められた方
形の小枠（折目）を多数形成したものである。そして、
モジュール化されたファンフィルタユニット、空気吸込
口ユニット並びに盲板とは、該天井枠材の小枠の開口面
積を塞ぐ大きさにモジュール化されていることを意味す
る。天井枠材の小枠は、互いに直交するバーを等間隔に
配置することによって形成される。この場合、一つの態
様としては、小枠の数を複数にもつものを一単位の天井
枠材とし、この単位天井枠材を必要な数だけつなぎ合わ
せて必要な天井エリアを形成することもできる。別の態
様としては２定められた長さをもつ成る方向のバーとこ
れと直交する方向のバーを、必要な天井エリアを形成す
るに必要な長さ分につなぎあわてもよい。 ファンフィルタユニットは、小枠の開口面積を塞ぐこと
ができる大きさのケーンング内に、　ＨＥＰＡフィルタ
とファンを内装したものである。ケーノングの下面は開
口しており、このケーノングの開口はＨＥＰＡフィルタ
によって塞がれる。ケーノングの上面にはダクト接続用
筒をもち、このケーシング上面とＨＥＰＡフィルタとの
間のケーンング内空間にファンが装着される。ケーシン
グの高さは高々３０〜４０ｃｍといった低いものである
ことができる。 吸込ロユニノトは、小枠の開口面積を塞ぐことができる
大きさの下面開口ボックスであり、このボックスの下面
の開口部には好ましくはパンチングボードが張り渡され
る。そしてこのボックスの上面にはダクト接続用の筒が
設けられる。このボックスの高さは高々１０〜３０ｃ＋
ｎといった低いものであることができる。 閉鎖空間への清浄空気の吹き出しにあたって１その空気
の浄化は各ファンフィルタユニットのＨＥＰＡフィルタ
が行い１　その空気の吹き出し動力は各ファンフィルタ
ユニットのファンが受は持つ。そして、閉鎖空間が周囲
圧力より若干高い圧力に維持されることから、閉鎖空間
から周囲雰囲気に不可避的に自然漏洩することのがある
空気は除いて。 閉鎖空間から排出しようとする空気（強制的に閉鎖空間
外へ取り出す空気）は天井面の吸込ロユニノトが受は持
つ、もっとも、閉鎖空間内に特に囚埃が発生するゾーン
が存在する場合には、そのゾーンの空気を別のルートを
経て排風機によって系外に排出することはかまわない。 本発明において、ファンフィルタユニットと吸込口ユニ
ットは、天井面のあらゆる位置に自由な数を装着できる
空気処理設備の端末ユニットとして把握することができ
る。そして、各ファンフィルタユニットには吸込口ユニ
ットのいずれかから還気を直接的に（空気調和器を径ず
にの意味）供給できるようになっている。つまり吹き出
し側の各端末と吸い込み側の少なくとも一つの端末がダ
クトで接続されるのである（このダクトを本明細書では
連結ダクトと呼ぶン、シたがって、少なくとも吹き′出
し側の端末の数だけ連結ダクトを必要とすることになる
。この点で、従来のクリーンルームの多くは排気ブレナ
ムや給気プレナムを設けて循環空気を一体的に取り扱っ
ていたのとは、大きな違いがある。本発明では、吹き出
し空気の動力は各ファンフィルタユニットのファンが受
は持ち、このファンの動力によって吸込ロユニノトの吸
い込みを行なわせることが可能となり、空気調和器の給
気ファンの動力はクリーンルームへの空気の吹き出しと
クリーンルームからの空気の吸い込みには実質上関与し
なくてもよい。空気調和器の給気ファンは、空気調和器
で調和された空気をファンフィルタユニットに供給する
能力のものであればよいのである。この調和空気を各フ
ァンフィルタユニットに送気するダクトは本明細書では
給気ダクトと呼ぶ。 以下に本発明の内容を図面を参照しながら具体的に説明
しよう。 第１図は１本発明に従って形成されるクリーンルームの
型式上の特徴を説明するために９人為的に扱う空気の流
れ系統とその温度湿度調節の原理を図解的に示している
。この第１図に例示されるように９本発明によって構築
するクリーンルームは、天井面吹き出し天井面吸い込み
タイプの乱流式クリーンルームに属している。この第１
図に見られるように０本発明では、建物内に新たにクリ
ーンルーム空間１を形成するにあたって、その空気処理
のための諸設備の実質止金てを新たに形成される天井構
造物２自身とこれより上の空間に設置し、壁材の取付は
工事を除けば、実質的には天井部の工事だけで２意図す
る広さのそして意図する（σ置に意図する清浄度のゾー
ンをもつクリーンルームを既設建物内に新たに形成する
ものである。 このことは床下や堅実に排気ブレナムを作ったり。 クリーンルームを作るための床面上の各種機械類の撤去
や移動は実質上不要であることを意味する。 本発明に従って形成されるクリーンルーム空間１の天井
面は、既設建物の内部に天井裏スペースを残して水平方
向に形成された新天井構造物２からなる。この天井構造
物２には、　ＨＥＰＡフィルタとファンを内蔵した予め
作られた（ブレファブ化された）ファンフィルタユニッ
ト３と空気吸込口ユニ７ト４　（これらユニットの詳細
は後述する）が任意の位置に設置され、またこの天井ｔ
Ｍ構造物の裏側スペースには、給気ダクト５とレタンダ
クト６が設置される。空気調和器７も第１Ｕ！Ｊでは新
天井２より上方に設置されている。空気調和器７は。 形成するルーム空間ｌの負荷に通した形式のものを選定
して使用する。この第１図に示されるように本発明シス
テムでは、ルーム空間ｌへの清浄空気の吹き出しと、ル
ーム空間１からの空気の吸い込みは原則として天井面で
行わせる。この空気の流れを説明すると、まず空気調和
器７には、この空気調和器７に装備されるファンの駆動
によって。 外気とレタンダクト６の還気の一部とが取り入れられ、
ここで調和された空気は給気ダクト５を経てファンフィ
ルタユニット３に送られる。第１Ｕ！Ｊの例では、給気
ダクト５と各ファンフィルタユニット３とは分岐給気ダ
クト８によって接続されており、この分岐給気ダクト８
に、レタンダクト６の還気の一部が導入されるように分
岐レタングクト９が接続されている。従って、各ファン
フィルタユニット３には、空気調和器７で調和された空
気と吸込口ユニット４に吸い込まれた運気の一部が送気
されることになる。そしてこの空気は、ファンフィルタ
ユニット３に内蔵されたファンの駆動によって５　この
ユニット３内において水平方向に張り渡されたＨＥＰＡ
フィルタの層を通過して浄化されたのち、ルーム空間ｌ
に下向きに吹き出される。一方、ルーム空間１内の空気
は天井構造物２に設置された吸込口ユニット４に吸い込
まれ、レタンダクト６から一部は空気調和器７に、他部
はファンフィルタユニット３に直接流れる。ルーム空間
１からの排気は系外の排気ファンｌＯによって系外に排
出されるにの排気に相当する量の空気が空気ｉ１Ｍ和器
７への外気取入れ量となる。吹き出し空気の温度と湿度
の調整は、空気調和器７からの給気とレタンダクト６か
らの還気の混合割合を調節することによって行われる。 この調節は２第２図に示すように、各ファンフィルタユ
ニット３に送気する分岐給気ダクト８と分岐レタンダク
ト９にそれぞれ取付けられたダンパ１１と１２の制御に
よって行われる。このダンパ１１と１２は手動式のもの
を使用してもよい。精度の高い温度調整が必要なときは
、これらを電動ダンパとし、サーモスタットにより自動
調整する。これにより、各ファンフィルタユニット３か
ら吹き出される温度および湿度の調節が個別にできるこ
とになる。 この場合に最も特徴的なことは、この天井位置での空気
処理設備の設置にあたって、互いに実質上等しい寸法も
つ予め定められた四辺形の小枠（折目）を多数形成した
天井枠材を、天井構造物２の形成位置に天井裏スペース
をもって水平方向に張り渡すこと、そして意図する清浄
ゾーンの位置と清浄度に応して、小枠の開口面積を塞ぐ
大きさをもったＷ板、小枠の開口面積を塞ぐ大きさをも
った空気吸込口ユニット４．およびファンとＨＥＰＡフ
ィルタを内蔵し且つ小枠の開口面積を塞ぐ大きさをもっ
たファンフィルタユニット３からなる予め準備された天
井枠装着部材を、該天井枠材の小枠に、その取付は箇所
と数を選定しながら取り外し自在に装着し、これらの部
材の装着によってクリーンルームの新天井を形成するこ
とにある。 そして形成された新天井と壁材とによって必要容積の閉
鎖空間を床上に形成し、この閉鎖空間の以外のところで
（実質上は天井裏スペースで）クリーンルームに稼動す
るに必要な空気処理設備を配設する。 〔実施例〕 以下にこの構築ノステムの好ましい幾つかの態様につい
て図面を参照しながら具体的に説明しよう。 本発明に従ってクリーンルームを構築するさいの一つの
有利なＵｌｆｉは、必要な天井面積分を、幾つかの小面
積のユニットの組み合わせによって合成することである
０例えば成る辺にＡ個（例えば３〜５個の数）、この辺
と直交する辺にＢ個（例えば３〜５個の数）の折目を持
ち、従って、全体ではＡＸＢ個の互いに寸法の等しい方
形の折目の数をもつ方形の単位天井枠を必要な数だけ使
用して、意図する面積の天井枠を構成するのである。 この態様は後述の第３図〜第９図に示されるモードで使
用されたものである。他の有利なり揉としては、折目の
数をどの方向にも任意に増減できる枠材を使用し、これ
を組み立てることによって必要面積の天井エリアを構成
することである。この態様は第１０図〜第２５図に示さ
れるモードで使用されたものである。いずれにしても天
井構造物の荷重（枠材と該天井枠装着部材の合計の荷重
）および天井より上の位１に配置される空気調和器やダ
ク）Ｈの荷重も既設違吻に存在する梁等に吊り金具によ
って懸架されることができる。万一建物の梁等の強度が
不足する場合には床面からボールを立てて、これでその
不足強度を補えばよい。このような吊り天井方式とする
ことによって生産ラインに応じた様々な清浄ゾーンの形
成に自在に対応できることになる。 第３図は２本発明に従って形成されたクリーンルームの
稼動中の一縦断面をやや図解的に示した′ものであるが
、この第３図のクリーンルームの天井２の枠は、第４図
シこ示したように、単位天井枠１３を複数個平面的な広
がりをも、て合成して形成されている。第４図の例では
４Ｘ４−１６個の方形単位天井枠１３を互いに隣接して
方形の天井エリアを形成する例を示す、単位天井枠Ｉ３
の各々は、第６図に示されるように、互いに等間隔をも
って直交する軽量型鋼等のバー１５．１６によって基盤
目状の小枠（折目〕が多数形成されている。第６図では
互いに等しい開口面積をもつ小枠が９個形成された一つ
の単位天井枠１３を示している。従って。 第６図の例の単位天井枠１３を使用し、これらを第４図
のように１６個互いに隣接すると１　フレーム１５゜１
６によって形成される折目は１３　Ｘ　１６　＝　２０
８個の小枠が生じることになる。このようにして、第３
図のクリーンルームの天井面は、単位天井枠１３を紙面
の左右方向に４個連設し９紙面の表裏方向に４個連設し
てなる天井枠材が使用されており　（図ではその一縦断
面だけが示されている）、この単位天井枠Ｉ３が４Ｘ４
＝１６個隣接して形成される平面部分の空調負荷を受は
持つように空調用の設備が設置される。そして、各々の
単位天井枠１３の小枠に、この小枠の開口面積を塞ぐ大
きさをもったファンフィルタユニット３．１込ロユニノ
ト４または盲板１７が取り付けられる。 各単位天井枠１３の天井面への吊り込みは、既設建物の
既存の梁２３（第３Ｕ！Ｊに示されている）を利用して
行う０例えば、咳梁２３から第５図や第７図に見られる
ような吊り金物２４を吊し、これに各単位天井枠１３の
隔部分を接続して各単位天井枠１３をその４隅で吊り込
む、吊り金物２４は吊り長さを自由に調整できるものを
使用する。この吊り込みのさい、天井２と梁２３との間
に作業量が自由に歩行できる足場２５（第５図に見える
）を形成してお（と、メインテナンス時にもこれをを効
に活用できる。また、梁の強度が不足する場合には、第
７図に見えるような可動式のポスト２６を使用すること
ができる。 このようにして天井枠材が所要の面積をもって天井裏ス
ペースを残しながら水平方向に張り渡されると、天井枠
材の各々の小枠に、いずれもこの小枠の開口面積を塞ぐ
大きさをもった予め準備されたファンフィルタユニット
３．吸込ロユニント４および盲板１７からなる天井枠装
着部材を、その装着数と装着位置を自由に選択しながら
装着する。 これによってルーム空間１の天井構造物が構成されるこ
とになるが、該天井枠装着部材の各々の装着数と位置の
組み合わせは、意図する清浄度と清浄位置に応して自由
に選択することができる。例えば第３図に見える断面の
ものについて言えば同図の左端に示されるモジエールｔ
ａ＋では、−個の吸込口ユニット４　（但しこれは排気
用に使用され。 系外の排気〕１ン１０に排気ダクトが接続される）と−
個のファンフィルタユニット３があり、その他は盲板１
７で覆われている。同様にモジュール山）では、−個の
吸込口ユニット４があり、その他は盲板１７で覆われて
おり、モジュール（Ｃ１では、二個のファンフィルタユ
ニット３があり、その他は盲（反１７で覆われており、
またモジュールｔｄ＋では、−個のファンフィルタユニ
ット３と一個の吸込ロユニノト４があり、その他は盲１
ｉ１７で覆われているといったことになる。 このような小枠への各天井枠装着部材の取付けとその位
置の変更を容易にするために、各天井枠装着部材は小枠
に取り外し自在に装着する。この取り外し自在の装着は
、小枠の上に各天井枠装着部材を華に乗せるということ
によって達成されるや例えば第７図は、第６図に示す一
つの単位天井枠１３の上に乗せられた成る断面の盲板１
７．ファンフィルタユニット３および吸込ロユニノト４
を示しているが、第８図にファンフィルタユニット３に
ついてだけ例示しであるように、フレームｌＳや１６の
上にパツキン、例えば軟質のネオプレンガスケット２９
を置き、このガスケット２９の上に’ｊｊ　ＪＨ１７や
各ユニット３や４の下縁を乗せるということによって行
われる。この隼なる！置によっても、各部材の自重でガ
スケット２９を押さえつけることになり、ルーム空間１
と天井裏スペースとの間のノールを良好に達成すること
ができる。 ルーム空間１を周囲雲囲気からε断するための壁材は、
既設建物の璧の一部をｆｉｌ用してもよいが。 第５図に示すように、ｉ位天井枠１３の大きさの巾をも
つ即位壁材を予め準備しておき、これを設置して必要な
ルーム空間エリアを形成するのがよい。 空気調和器７は、第３図の例では華位天井枠１３（各華
位天井枠の寸法は例えば２．５ｍ　Ｘ　２．５ｍ）を１
６個隣接したエリア（例えば１００　ｍ程度）の下に形
成されるクリーンルーム空間１の空調負荷を受は持って
いる。この空気調和器７は、屋根Ｉ９の上に設置され、
給気ダクト５およびレタンダクト６が天井裏に配設され
、且つ各ファンフィルタユニット３に対して、第１図お
よび第２図で説明したように１分岐給気ダクト８および
分岐レタンダクト９が接続されており、空気の流れと温
度湿度の調節は第１図で説明したとおりに行われる。 この樽成によって、吸込ロユニノト４が天井面に存在し
ているにもかかわらず９例えば第３図に示されるような
作業域（Ａ）および作業域（Ｂ）に対して、さらには非
作業域（Ｃ）に対して、ファンフィルタユニット３のＨ
ＥＰＡ　フィルタ２０で清浄化された空気が吹き出され
ることによって１例えば作業域（Ａ）においてはクラス
１０００程度９作業域（Ｂ）ではクラス１００程度そし
て非作業域（Ｃ）ではクラス１０．０００程度と、それ
ぞれ異なる清浄度の清浄シーツが形成される。なお１作
業域（Ａ）や作業域（Ｂ）を形成する部分では、ファン
フィルタユニット３から垂れ壁２１を設けるとその清浄
度を一層高めることができる。 高い清浄度を必要とする作業域に対してはファンフィル
タユニット３を隣接して設けるとよい。 この例は例えば第３図の羊位モジュールｆｃｌに示され
ているが、このファンフィルタユニット３を一列に並べ
て隣接すれば、壁面は特に存在しないけれども、クリー
ントンネルと同様な清浄帯域が形成できる。吸込ロユニ
フト４は非作業域となるエリアの天井枠材に装着される
のが好ましいが、その数はファンフィルタユニット３の
数と必ずしも−敗しなくてもよい。いったん第３図のよ
うに形成されたクリーンルームも、第３図の破線で示す
ようにその前後左右には、さらに本発明に従うクリーン
ルームを隣接して構築することにより必要な大きさに遣
改築できる。また縮小も容易になし得る。 第９図は２本発明に従って構築するクリーンルームとク
リーンルームを必要とする製造装置類との取り合いの関
係例を示したものである。工場内に生産機械３０や３１
１例えば液状薬品をビン詰めする大きな装置３０や箔を
巻取る大きな装置３１等が設置されており、この大きな
装置全体をｍ浄域空間に収納しなくてもビンへの薬品の
充填工程や巻取工程の箇所だけに清浄ゾーンを形成した
いという要求があった場合に２本発明では建物空間の任
意の位置に任意のｌＩｔ浄度の清浄ゾーンを自由に形成
できるから、このような場合に、第９図に示されるよう
に、その清浄ゾーンを必要とするところだけをルーム空
間ｌ内に入るように壁材３２を取付け。 ファンフィルタユニット３をその近傍に設置することに
より、この要求を満たすことができる。 第１０図は本発明の他の一つの態様に従って構築された
クリーンルームの例を全体的に示している。 本例では、既に述べた例とは異なり、複数の小枠を予め
もつ承位天井枠を用い゛るというシステムではなく、以
後本明細書においてＴパーツステムと呼ぶ特殊な枠組み
構造によって定格寸法の小枠を必要な数だけ形成し、こ
の小枠に、定格寸法の予め＄１されたファンフィルタユ
ニ７ト３．吸込口ユニット４並びに盲板１７からなる天
井枠装着部材を取り外し自在に装着することによって新
天井が形成されている。図示の例ではファンフィルタユ
ニット３が６個、吸込口ユニット４が４個、そして盲板
１７がその他の小枠に装着されている。空気調和器は屋
外機と室外機とからなるセパレート型の空気調和器が使
用されており１図面では屋内機７ａだけが見える。形成
された新天井の外縁に沿って床３３の上に壁パネル３４
が設置され、これによって建物内の周囲雰囲気とは遮断
された状躬のクリーンルーム閉鎖空間が形成される０図
示のように。 床３３や壁パネル３４には閉鎖空間内の空気を強制的に
閉鎖空間の外に送り出す空気吸込口は存在しない、クリ
ーンルームとして機能させるための清浄空気の吹き出し
と室内空気の吸い込みは全て祈天井面から行われる。第
１Ｏ図に８いて、屋内１１ｇ７ａ作られた調和空気をフ
ァンフィルタユニット３の各々に導（ためために、給気
ダクト５が新天井裏のほぼ中央に施設され、この給気ダ
クト５から各ファンフィルタユニット３に分岐給気ダク
ト８が施設されている。そして、吸込ロユニノト４で吸
い込まれる空気を各ファンフィルタユニット３に供給す
るレタンダクト６ａが施設され、このレタンダク）６ａ
のうちの一つには、屋内機７ａに還気する還気レタンダ
クト６ｂが設けられている。レタンダクト６ａは、ファ
ンフィルタユニットの各々に少なくとも一つの空気吸込
口ユニットに取入れられた室内空気を空気調和器を経ず
して導くことができる連拮ダクトである。 第１１図〜第１８図は１本明細書でＴバーシステムと名
付けた特殊なバーを使用する天井伜構成ノステムを説明
するためのものである。 第１１図は使用するバー３５の代表形状を示している。 図示のように、バー３５は、垂直な胴板３６と、その下
縁から両サイドに水平に張り出したフランツ部３７ａ、
３７ｂと、垂直な胴板３６の上縁にｔ妾続する中空のボ
ックス３８とからなる。そしてボックス３日の上には長
手方間に延びるスリット３９が形成しである。長手方間
とは直角方向の断面で見た時にこのバー３５は胴板３５
の中心を通る垂直線を境にして左右対称形を有して＋）
る、この垂直線から左右に張り出すフランツ部３７ａ、
３７ｂの張り出し長さは。 ボックス３８がこの垂直線より張り出す長さより長い。 このバー３５は、好ましくは、胴板３６．フランジ部３
７ａ、３７ｂおよびボックス３８が一体となった金属で
形成されている。例えばこの一体品はアルミニウム押出
型材である。中空ボックス３８の上面に形成されたスリ
ット３９は、後述のように、このバー３５の組み合わせ
によって形成された天井枠材を建物の梁などから吊り込
む場合の吊りボルトの下端を取付けるために使用される
。 第１２図は、このバー３５を所定の間隔をあけて互いに
直角方向に同平面で組み合わせて基盤目状の同寸法の小
枠を構成した天井枠材の例を示す。形成する小枠の寸法
例を挙げると１バー３５の中心間の間隔で計ったときに
６００ｍ＋ｉ　Ｘ　１２０（１＋＋＊である。このバー
３５の組み合わせに際して２例えば第１２図のＡ部は、
第１３図ｆａｔに示したようにして行われる。 すなわち、まず一方のバー３５（司の端（長手方向に直
角の端面を持つ端）を他方のバー３５山）の中腹に同平
面で突き合わせる。この突き合わせによって。 一方のバー３５　ｔａ＋のフランジ部３７ａ、３７ｂの
端が、他方のバー３５山）の一方のフランジ部３７ａの
外縁と接触することになる。この接触部はのちにテープ
などを貼って気密ａｔ９．を防止する。この両バーの接
触状態を固定するために、アングル部材４０を使用し、
これを両バーの胴イ反３６にボルトトとナツトからなる
接続部材４１によって固定する。この４ｆ：／１ｉｉを
平断面的に見たのが第１４図であり、アングル部材４０
が両角に設けられている状態がわかる。またこのアング
ル部材４０の他に、バー：ｊ５　ｔｈｌの側には、接続
部材４１を締めつけるさいの補強板４２が用いられてい
る。同様の接続関係は、第１２図のＢ部については第１
５図に、また、第１２図の０部については第１６図に示
されている。 このようなバー３５の突き合わせ接続によって。 各バー３５のフランジ部３７ａ、３７ｂの外縁で囲われ
る長方形の面積が開口面積となる同形の小枠が基盤目に
形成される１本例の場合、この開口面積を持つ小枠の単
位をモジュール化しておく（規格寸法としておく）こと
により、この小枠を単位モジュールとした天井枠材が構
成される。形成される天井枠材の全体は１建物の梁など
から吊り下げられるが、これは、第１３図（ａｌに見ら
れるように、吊りボルト４４を用いて行われる。この場
合、吊りボルト４４の下端をバー３５のボックス３８の
上面に形成されているスリット３９を利用して行われる
。すなわち第１３図ｆｂｌに示すように、スリット３９
からボルト４４が抜けないように、スリット３９の巾よ
り大きな外径を持つナツト４５をボルト４４の下端には
めこみ。 このす７ト４５を嵌めた状態で、バー３５の一端からス
リット３９内にスライドさせながら所定位置まで移動さ
せる。 第ｔ７図ｔａ＋は、Ｔバーの組み合わせによって形成さ
れた天井枠材に天井枠装着部材を装着する状態を示す。 図示のように、バー３５のフランジ部３７ａ１３７ｂの
上に、盲板１７．　　ファン４６とＨＥＰＡフィルタ２
０を内装したファンフィルタユニット３．吸込ロユニノ
ト４の同し定格寸法の外周縁が、ガスケット４７を介し
て［２される。ガスケント４７は例えばネオプレンゴム
からなる棒状体であり２例えば５各天井枠装着部材の外
周縁下面に、連続した四辺形となるように予め貼着して
おく、これにより、各天井枠装着部材をフランジ部３７
ａ、３７ｂの上に乗せると４部材の自重でゴムが圧縮さ
れることにより良好なソールがなされた状態の、装着が
完了する。 この装着態様は取り外し自在であるから、各天井枠装着
部材の位置の変更は自在に行い得る。第１７図〜）は、
ファンフィルタユニット３のバー３５への装着部をより
詳しく示している。また、第１８図は。 第１２図のようにして形成された天井枠材の小枠への天
井枠装着部材の装着の選択例を示している。 第１９図と第２０図は本発明で好適に使用できるファン
フィルタユニットの例を示す平面図と側面図である。こ
のファンフィルタユニットは、下面開口の直方体ケーシ
ング５０の内部に１咳下面開口を閉塞するように水平方
向にＨＥＰＡフィルタ２０を収納し、このＩＩＥＦ’Ａ
フィルタ２０の上方のケーシング空間内 ものである。ケーシング５０の上面５３の中央には円筒
状の開口筒５４が取付けられる。この筒５４の中心にフ
ァンランナー５５の中心が一敗するようにファンケース
５６とモータ５７が設置される。５８はモータ５７およ
びファンケース５６の支持板であり、これは筒５４の内
部を横切るように該上面５３に固定される。 ５８は電′ａ端子台、４７は下面開口の周縁に取付けら
れたガスケットである。モータ５７を駆動しファンラン
ナー５５が回転すると、筒５４の側から空気が吸い込ま
れ１両側の吐出口５１と５２から横方間にケーシング空
間内に吐出される。このケーノング内に吐出された空気
はケーソング側壁で方向を変えて下方に流れＨＥＰＡフ
ィルタ２０を経てこのユニ７トの下面開口から下方に吹
き出されることになる。第２１図はこのファンフィルタ
ユニットとＴバー３５との接続間係を示している。また
、第２２図はこのファンフィルタユニットに二本のダク
トを接続するだめの接′ｆ、′とボックス６０の例を示
している。既述のようにファンフィルタユニッ１−には
吸込ロユニノトからの空気と空気調和器からの空気をダ
クト接続によって供給するので、各ダクトへの接続口６
１と６２を持つ接続ボックス６０を前記の筒５４に取付
ける。そして、接続口６１と６２から取入れられる空気
の量を調節するためのダンパ６３と６４がこの接続ボッ
クスに取付けられている。　第２３図本発明に好適に使
用できる吸込ロユニノトの例を示す切り欠き斜視図であ
る。この吸込ロユニノトは下面開口の直方体ケーノング
からなり、このケーシングの上面６５に二つの短い筒６
６と６７が取付けられ、下面開口にはパンチングボード
６８が張り渡されている。 各節６６と６７にはファンフィルタユニットに接続する
連拮ダクトや空気調和器に接続するダクトが接続ボック
ス６９を介して接続される。接続ボックス６９にはタン
パ７０が取付けである。このダンパ７０並びにファンフ
ィルタユニットの接続ボックスのダンパ６３と６４はい
ずれも手動で開度を調整するものである。本発明では、
この手動のダンパの調節操作は、この近辺の小枠に取り
外し自在に取付けられている盲板を外すことによってク
リーンルーム内から簡単に行うことができる。また、Ｔ
パーツステムによって長方形の小枠を形成するとこの小
枠の開口面積より若干大きな面積をもつファンフィルタ
ユニット、吸込ロユニ、トおよび盲板であっても、これ
らの短辺側を小枠の長辺の方に（頃けながら小枠の下側
から小枠の上側へ運び上げることができる。　第２４図
および第２５図は５本発明に従うＴパーツステムによっ
て天井構造物を構成する場合の天井吊り構造の例を示し
ている。本発明に従って天井枠材を構成しその小枠に天
井枠装着部材を装着することによって天井構造を形成す
る場合に、天井構造は水平が保たれ且つその全体の荷重
が無理なく支持されねばならない。このために、第２４
図および第２５図に示されているＴバー吊り用綱材７５
を使用するのがよい。第２４図では、工場の既設梁２３
から、Ｔバー吊り用綱材７５をほぼ水平にして吊るし１
　Ｔバー吊り用鋼材７５から吊りボルト４４によってＴ
バーを吊るす状態を側面的に示している、このＴバー吊
り用鋼材７５は第２５図に見られるように、互いに平行
に必要な数だけ梁から吊るすことによって荷重を分散す
ることもできる。 吊りボルト４４には吊り込み長さ調整器具を介装してお
くことによってＴパーツステムの水平度を自由に調整す
ることができる。 なお、第２４図に示す本発明の態様でも、給気ダクト５
１分岐給気ダクト８．レタンダクト６ａ　（吸込ロユニ
ソト４からファンフィルタユニット３へ空気調和器７ａ
を経ずして導く連結ダクト）、　　運気レタンダク）６
ｂが第１０図と同様な関係をもって接続されているが１
本例では２塵埃発生機器傾７６が存在するゾーンに対し
ては排気ダクト７７が室内に設けられ、この排気ダクト
７７は天井枠材の小枠に装着された非気ユニット７日を
経て天井裏に通し。 ダクト７７゛　　を経て排気ファンｌＯによって屋外に
排気が排出されるようになっている。排気ユニット７８
も小枠を塞ぐことができる大きさの定格寸法のユニット
であり１盲仮にＷｉｉ管７９を装着したものである。排
気ダクトはこの排気ユニットの貫通管７９の両端に接続
される。排気ファン１０によって系外に排出される量の
空気は外気ダクト８６によって系外から屋内１９７　ａ
に取入れられる。第２４図では屋外ｉ７ｂは建物の外の
地上に設置されている。　また第２５図に示す態！慣で
は、各種の種類の壁材が使用されているが、これらのう
ちには１　ビニールカーテン８０や配電クバネル８１．
さらにはエアノヤワーボックス８２を収納する前室壁８
３などが存在している。なお８４は電気配管等をその中
に立ち上げて天井裏に導くためのコア部材を示している
。 以上１本発明に従って構築されるクリーンルームの幾つ
かの好ましい態様を説明したが、これらのＬｌｆｆｉに
見られるとおり、本発明においてはクリーンルーム内気
流の形態が天井面吹き出し天井面吸い込みという従来の
高度なりリーンルームでは採用されたことのないもので
あり、且つ床面などでの面状吸い込みを行う排気プレナ
ムや天井面での面伏吹き出しをけう給気ブレナムも使用
しないので、真に必要な７２浄シー　ンが必要な域に形
成できるのであろうかという疑問が当業者であるならば
当然抱くであろう。以下に挙げる本発明者が行った測定
結果は、このような疑問に十分に応える筈である。 第２６図は測定に供した本発明のクリーンルームの袋口
である。クリーンルームの全体の大きさは外形で高さ２
８００ｍｍ　ｘ中３９８０ｍｍ　Ｘ長さ７６４０ｍｍで
ある。 このクリーンルームは既述のようにファンフィルタユニ
ット３および吸込口ユニット４の稼動台数と稼動位置は
自由に変えることがでる。また壁材の下方く床面に接す
る中本の部分）に取り外し自在の板９０を等間隔で設け
てあり、この（反９０を取り外した開口に吸込口ユニ７
トを装着することによって比較のための下方吸い込みの
実験ができるようになっている。第２７Ｕ！Ｊは第２６
図の設備の空気処理設備の系統を示している０図中の参
照数字において、第１図〜第２５図の中で使用されたの
と同し数字で示される部材は同義の部材を示している。 屋内機７ａには、フィルター９２．熱交換器９３（屋外
ｉ７ｂとの間で冷凍サイクルを形成する芸発器）の他に
１発熱量が制御可能な電気ヒーター９４と１１０４量が
制御可能な加ｌ！器９５が設けである。また、屋内機７
　ａのファン９６はファンフィルタユニット３までの送
気を受は持つ能力をもつものである。９７は風量検出器
である。 気１．形状の測　その−（吸込口の位置との関係）第２
８図に図解したファンフィルタユニット３と吸込ロユニ
ノト４の天井枠材−・の配置で、各ファンフィルタユニ
ット３からの吹出風速：　０．３５ｍ／ｓ。 各吸込口ユニット４への天井吸込風速；　０．３０ｍ／
ｓ。 換気回数：２０回／時間の条件下で稼動し、定常状態に
なったときの気流形状を第２９図に示した。第２９図は
第２８図の矢視方向の断面での気流形状を示したもので
ある。気流形状は、天井構造の直下に張り渡した煙発生
ノズル９９からの煙をによって写真観測した。 比較のために、中本のＦｉ９０（第２６図参照）を取り
外し、この間口１００とレタンダクト６とをダクト接続
しそして天井面の吸込ロユニノト４は閉塞した以外は前
記と同様の条件で稼動した。この場合のの気流形状を第
３０図に示した。 第２９図と第３０図の気流形状は驚くほど個でいる。 つまり、気流形状は吸込口の位置によっては大きな影響
を受けないのである。このことは、吸込口の近傍で生ず
る吸込気流の流速は吸込口から離れると惣激に低下する
という現象が生ずるからであろう。これに対して吹出気
流は吹出口から離れてもその速虞の低下の程度は吸込気
流の速度の低下の程度と比べると著しく遅くその到達距
離は長い。 したがって９本発明のように天井面吹き出し天井面吸い
込みのクリーンルームでも従来の床面や壁面吸い込み方
式と実質上変わらない気流パターンを得ることができる
。 気、Ｌ形状の測　その二（／ｉ−トサーキット）ファン
フィルタユニット３と吸込口ユニット４を第３１図に示
すように配置し、吹出風速ｉ　０．３５ｍ／ｓ５吸込風
速：　０．３０ｍ／ｓ、　　換気回数、４０回／時間の
条件下で稼動し、定常状態になったときの気流形状を前
記同様に測定し、その結果を第３２図に示した。この結
果は、第３１図のようにファンフィルタユニ７ト３の隣
に吸込ロユニノト４が存在する最もショートサーキット
が生じ易い配置でも、ショートサーキットが生しないこ
とを示している。すなわち１．天井面の吸込口ユニット
４にはその直下の空気が吸い込まれるだけであり、ファ
ンフィルタユニット３から吹き出される空気は、隣に吸
込口ユニット４が存在することには関わりなく。 長い到達距離をもって室内に吹き出されるのであり、＠
い込み気流の影響を受けないのである。 Ｌ土１ｌ１１１ ファンフィルタユニット３と吸込ロユニフト４とを第３
３図のように配置して設計換気回数を６１．１凹／時間
にて稼動する。稼動面に室内をたばこの煙によってクラ
ス１．０００．０００程度に一旦汚染する。 そして運転開始から清浄度がどのように回復してゆくか
を第３３図中に示したＡ、ＢおよびＣの平面位置であっ
て且つ床上１ｍの一位置で計測する。各位置での清浄度
は市販のパーティクルカウンター（ロイコ株式会社製の
）ｈ　２４７）によって測定し、各位置での清浄度の時
間的変化を連続記録する。Ａ点での測定結果を第３４図
、Ｂ点でのそれを第３５図および０点でのそれを第３６
図に示した。第３４図〜第３６図中のｃ　＝　Ｃｏ　　
・ｅ−′””の式は、換気回数ｎを求める式である０式
中、Ｃは測定開始時の塵埃温度（個／ｆｔ’　）　、　
Ｃｏ　は時刻りにおける塵埃ｌ農度（個／ｆｔ’　）　
、　　ｔは運転開始からの経過時間、（。は運転開始後
塵埃２９度が低下しはしめるまでに要する時間である。 第３４図〜第３６図中の縦軸の清浄度は対数目盛りであ
り、その値は米国連邦規格２０９ｂに対応する。 第３４図〜第３６図の結果から次のことがわかる。 最も気流が停滞しているであろう０点の清浄度回復も約
１２分で安定状態に達しており、この位置での実験換気
回数も６０．５０／時間と、設計換気回数と大差がない
。すなわち１本発明のクリーンルームにおいて気流が停
滞するのではないかと色像されたようなところでも高い
換気回数が維持され。 その部分に塵埃が浮遊し続けるといったことは起こらな
い、Ａ点およびＢ点では９分前後で安定状態に達してお
り、４浄化杢阻害する気流の停滞は認められない。すな
わち１本発明のように天井吸い込みのクリーンルームで
あっても２　ショートサーキットによる換気回数の低下
や、停滞域が多くなるといった現象は実際には起きない
。 清浄度の　ｒ測 第３７図に示すファンフィルタユニット３と吸込口ユニ
ット４の配置で、クリーンルームの稼動ハ既述の気流形
状の測定その−と同し条件で行う。 作業服を着た作業員二名が第３７図のｆａｌとｔｂｌに
示す位置の床面に静止して立ち、第３７図の■に示した
平面位置で且つ床面から１ｍの冒さの位置に前記のパー
ティクルカウンターをセットし、このパーティクルカウ
ンターによって測定される清浄度がクラス１００程度に
なるまで作業量が静止したままでクリーンルームを稼動
する。この’ＩＷ浄度に達したら二人とも足踏みを開始
して人体および作業服から発塵させる。そして、■の位
Ｗでの清浄度を測定し続ける。また、比較のために、天
井面の吸込ロユニノト４を全て閉鎖し、中本の箇所の板
９０を第３７図で示す四箇所で外した開口をレタンダク
ト６にダクト接続した以外は２前記同様にして■での清
浄度を測定する。これらの測定結果を第３８図に示した
。 ファンフィルタユニット３と吸込口ユニット４の配置を
第３９図のように変え且つ清浄度の測定位置を第３９図
の■で示される位１とした以外は、前記同様の測定を行
った。その結果を第４０図に示した。 さらに、ファンフィルタユニット３吸込ロユニノト４の
配置を第４１図または第４２図に示すように変え且つ清
浄度の測定位置をこれらの図に示す■の位置とした以外
は、前記同様の測定を行った。 その結果を第４３図に示した。 第３８図、第４０図および第４３図の結果は、天井吸込
方式と小木吸込方式では発塵開始直後では若干の差が現
れるが、遅くても約８分後では、各測定位置での清浄度
はいずれもほぼ同し水準の定常状態となることを示して
いる。すなわち本発明の天井吸込方式でも時間の遅れは
多少あるが小木吸込方式と変わらない清浄度が達成され
る。 微粒　　き上げ試験 第４４図に示すファンフィルタユニット３と吸込口ユニ
ット４の配置をとり、第４５図（第４３図の矢視断面）
に示されるようにデスクの上にプレート１０１を置く、
そしてこのプレート１０１にスライド力バーエ０２（第
４４図）を取付ける。このスライドカバー１０２は室外
より無人でプレート１０１から外せるようにする。そし
てプローブ１０３を図示の位１にセントし、この位置の
清浄度をパーティクルカウンター１０４によって測定す
る。　対照試験；第３３図で説明したのと同様な風量条
件でクリーンルームを稼ＩＩ　Ｌ　、作業員が空のプレ
ー）　１０１を持ってクリーンルーム内に入る。そして
約５分後にプレート１０１には試験用の発塵物質を入れ
ずに。 空のままにして退室する。そして？ｆｆ浄度がゼロカウ
ントに近くなるまでクリーンルームを稼動したのち、ス
ライドカバー１０２を室外より操作してプレート１０１
から外す、この試験の清浄度測定の結果を第４６図に示
した。第４６図において時間１５分の点がスライドカバ
ー１０２を室外から取り外した時仁である。 発塵試験１作業量が入室したさいに平均８μｍの関東ロ
ームの微粒子をプレート１０１に入れたまま持って入り
その上にスライドカバー１０２を被せて退室する以外は
、前記の対照試験と同しにして清浄度を測定する。この
試験の清浄度測定結果を第４７図に示した。第４７図に
おいて時間１５分の点がスライドカバー１０２を室外か
ら取り外した時点である。 第４６図と第４７図の結果から次のことがわかる。 第４７１２１の測定結果から第４６図の測定結果を引い
た値が試験用の発塵物質の巻き上げによるｌη染を示す
ことになるが、第４７図の１５分の点のスライドカバー
を外した点ではクラス３０００程度に汚染されている（
第４６図では同時点でクラス１０００程度に汚染される
）が、１分後にはゼロカウントに戻っている。つまり、
軽く且つ微細な試験用粒子が気流中に暴露されても、気
流によって巻き上がるという現象は起きていない。 以上の測定結果は、＠込口が天井にあると、吹出空気が
ショートサーキットしないか１作業台や床上の塵埃を巻
き上げないか、といった当然の疑問に加え、上昇気流が
生して室内の気流を乱さないか、室内に気流の停滞域が
生しないか、同一７ｆｌ浄度を得るのにより多くの送風
量を必要としないか１発しんが室内全体に広がり易くな
らないか。 部分的にｉｉをつくるのが困難ではないか１層流域への
巻き込みが大きくならないかといった。当業者であれば
抱くであろう疑怒を打破するに十分なものである。この
ような結果が得られたのは。 天井面の吸込ロユニノトに吸い込まれる気流は。 該吸込口ユニットの直ぐ近傍ではやや速い速度を持って
はいるが、この吸込口ユニット４から僅かに遠ざかって
も、もはや室内の気流形態に影響を及ぼすような速度を
持たないという現象が根底に存在するからであると考え
られる。通常の稼動状態において１例えば吸込口ユニッ
トから約１０〜２０ｃｍ離れただけで、この位置ではも
はや観測され得るような吸い込み気流は生じないのであ
る。これに対してファンフィルタユニットからの吹き出
し気流は床面にまで到達し、クリーンルーム内の気流形
態に大きな影響を与える。従って本発明によるならば、
意図する清浄ゾーンをこのファンフィルタユニット３の
配置位置と数を適切に選定することによって随意に形成
することが可能となる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の一態様に従うクリーンルームの空気の
流れを説明するためのノステム全体の略縦断面図である
。 第２図は第１Ｕ！Ｊの一部を拡大した図である。 第３図は本発明に従うクリーンルームシステムにおいて
一台の空調機が受は持つクリーンルームの設備の配置例
を示す略縦断面図である。 第４図は、第３図に示したクリーンルームシステムの天
井枠の略平面図であり、この天井枠は単位天井枠を合計
で１６個組合せて構成されている。 第５図は第３図に示したクリーンルームの壁面部分の例
を示した略側面図である。 第６図は第４図の天井枠を構成する単位天井枠を拡大し
て示した略平面図である。 第７図は、第６図に示した一つの単位天井枠にファンフ
ィルタユニット、吸込口ユニット、盲板を装着した例を
示す略側面図である。 第８図は第７図の一部を拡大した図である。 第９図は、ｌ！物内に大きな生産機械類が存在する場合
に必要な清浄ゾーンを形成することを意図したさいに１
本発明に従って清浄グーンを形成するクリーンルーム構
築例を示す略縦断面図である。 第１０図は本発明の他の一つの嘘様に従って溝築された
クリーンルームの斜視図である。 第１１図は本発明に従う天井枠材を構成するのに好適な
バーの部分斜視図である。 第１２図は第１１図のバーを組み合わせることによって
構成された天井枠材の一部を示す平面図である。 第１３図ｔａ＋は第１１図のバー同士の接続部の一例を
示す斜視図であり、第１３図中）はバーと吊りボルトと
の関係を示すバーの部分断面図である。 第１４図、第１５図および第１６図は、第１２図のＡ。 ＢおよびＣで示される位置での接続状態の詳細を示した
平断面図である。 第１７図＋ａ＋は第１１図のバーによって構成された天
井枠材に天井枠装着部材を装着した状態を示す略断面図
であり、第１７図ｔｂ＋は第１７図ｆａｔの一部を拡大
した図である。　第１８図は天井枠材の各小枠への天井
枠装着部材の取付は関係の一例を図解した図である。 第１９図および第２０図はファンフィルタユニットの一
例を示す平面図および側面図であり、第２１図はこのフ
ァンフィルタユニットのバーへの取付は関係を示した略
断面図、そして、第２２図はこのファンフィルタユニッ
トに接続ボックスを接続した状態を示す側面図である。 第２３図は吸込ロユニノトの例を示す一部切り欠き斜視
図である。 第２４図は第１０図に示したす様の一つの変更例を示す
略縦断面図であり、特に天井構造物の天井吊り構造の例
を示す図である。 第２５図は各種の便宜施設を備えた本発明に従うクリー
ンルームの例を示す一部切り欠き斜視図である。 第２６図は本文に記載した各種の測定に供した本発明に
従うクリーンルームの外観を示す斜視図である。 第２７図は第２６図のクリーンルームの空気処理設備の
各種機器および部材の接続関係を示す機器配置系統図で
ある。 第２８図本文の気流形状の測定その−における天井枠装
着部材の配置図、第２９図および第３０図はこの測定に
よって得られた気流形状を示す図である。 第３１図は本文の気流形状その二の測定における天井枠
装着部材の配置図、第３２図はこの測定によって得られ
た気流形状を示す図である。 第３３図は本文の清浄度回復測定における天井枠装着部
材の配置図、第３４図、第３５図および第３６図はその
測定結果を示す清浄度の経時変化図である。 第３７図は本文の清浄度の比較測定における天井枠装着
部材の配置図、第３８図は第３７図の配置における清浄
度の経時変化図、第３９図は該測定における天井枠装着
部材の他の配置図、第４０図は第３９図の配置における
清浄度の経時変化図、第４１図と第４２図は該測定にお
ける天井枠装着部材の他の配置図１　第４３図は第４１
図と第４２図の配置における清浄度の経時変化図である
。 第４４図は本文の微粒子巻き上げ試験における天井枠装
着部材と試験器具の配置図、第４５図は同試験の器具の
配置を第４４図の矢視断面で示した図。 第４６図は同試験の対照例の結果を示す清浄度の時間変
化図、第４７図は同試験の結果を示す清浄度の時間変化
図である。 １・・ルーム空間、　　２　・天井ｆｉｎ物。 ３・・ファンフィルタユニット２　４・・吸込口ユニ、
ト、　　５・・給気ダクト、　　６・・レタンダク）、
　　６ａ・・連結ダクト、　　７　　空気調和器、　　
８・　分岐給気ダクト、　　９・・分岐給気ダクト、１
０・　排気ファン、　　　１１．１２　　・　ダンパ１
　１３　・・単位天井枠、１７・・Ｖ板。 ２０・・ＩＩＥＰＡフィルタ、　　２１・・垂れ壁１３
５・・Ｔバー。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）、米国連邦規格第２０９６号に従うクラス１００
   〜１００，０００の清浄度の空気清浄域を清浄空気の吹
   き出しと空気の吸い込みによってクリーンルーム内に形
   成するにさいし、天井面にＨＥＰＡフィルタ内蔵のファ
   ンフィルタユニットおよび吸込口を設置し、且つクリー
   ンルームの天井面より上に空気調和器並びに給気ダクト
   と還気ダクトを施設することによって、クリーンルーム
   用空調設備の実質上全てを天井面より下方の空間から排
   除し、且つこれらの空調設備全体を所定の天井面積毎に
   ユニット化し、このユニットを互いに接続可能にしたこ
   とを特徴とするクリーンルームの形成法。
2. （２）、吊り金物によって吊り込まれる単位天井枠と、
   この単位天井枠に取付け取外し自在のＨＥＰＡフィルタ
   内蔵のファンフィルタユニットと、該単位天井枠に取付
   け取外し自在の吸込口と、該単位天井枠に取付け取外し
   自在の盲板と、該単位天井枠より上方に設置され且つこ
   の単位天井枠の複数単位エリアの空調負荷をまかなうた
   めの空気調和器と、そして、ファンフィルタユニット、
   吸込口および空気調和器を該天井枠より上方で接続する
   ダクト類と、からなる特許請求の範囲第１項記載の方法
   に使用するクリーンルーム形成用の空気調和設備ユニッ
   ト。
3. （３）、空気調和器は屋根上に設置される特許請求の範
   囲第２項記載の空気調和設備ユニット。
4. （４）、ファンフィルタユニットからクリーンルーム内
   に向けて垂れ壁が設置される特許請求の範囲第２項また
   は第３項記載の空気調和設備ユニット。