JP2000304529A - プローブ装置及び形状測定装置 - Google Patents
プローブ装置及び形状測定装置Info
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- JP2000304529A JP2000304529A JP11114511A JP11451199A JP2000304529A JP 2000304529 A JP2000304529 A JP 2000304529A JP 11114511 A JP11114511 A JP 11114511A JP 11451199 A JP11451199 A JP 11451199A JP 2000304529 A JP2000304529 A JP 2000304529A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】触針式形状測定装置に用いられるプローブ装置
について、測定誤差、特に軸、軸受の剛性不足に起因す
る軸の反り、傾きによる測定誤差を補正することにより
高精度な形状測定を行えるようにプローブ装置を工夫す
ること。 【解決手段】触針式形状測定装置に用いられるプローブ
装置について、プローブに平面ミラーを備え、プローブ
の傾くによるこの平面ミラーの傾きを検出するオートコ
リメータ光学系を備えたこと。被測定物の急傾斜面の測
定において軸受の剛性不足でプローブが傾いても、その
傾斜方向、傾斜角はオートコリメータ光学系により精密
に測定される。そして、軸受の剛性不足の場合、測定精
度に対して軸の傾きが支配的であるから、軸受の中心か
らプローブ先端のルビー球の中心までの距離をｄ、オー
トコリメータ光学系で測定された傾斜角をθとすると、
以下に示す式により横方向への変位を推定することがで
きる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ
について、測定誤差、特に軸、軸受の剛性不足に起因す
る軸の反り、傾きによる測定誤差を補正することにより
高精度な形状測定を行えるようにプローブ装置を工夫す
ること。 【解決手段】触針式形状測定装置に用いられるプローブ
装置について、プローブに平面ミラーを備え、プローブ
の傾くによるこの平面ミラーの傾きを検出するオートコ
リメータ光学系を備えたこと。被測定物の急傾斜面の測
定において軸受の剛性不足でプローブが傾いても、その
傾斜方向、傾斜角はオートコリメータ光学系により精密
に測定される。そして、軸受の剛性不足の場合、測定精
度に対して軸の傾きが支配的であるから、軸受の中心か
らプローブ先端のルビー球の中心までの距離をｄ、オー
トコリメータ光学系で測定された傾斜角をθとすると、
以下に示す式により横方向への変位を推定することがで
きる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は非球面レンズ等の自由
曲面の形状を測定するためのプローブ装置及び形状測定
装置に関するものであり、レーザプリンタ、デジタル複
写機の走査光学機器についての高精度の形状測定に適用
して有効なものである。
曲面の形状を測定するためのプローブ装置及び形状測定
装置に関するものであり、レーザプリンタ、デジタル複
写機の走査光学機器についての高精度の形状測定に適用
して有効なものである。
【０００２】
【従来の技術】非球面レンズ等の自由曲面の形状を測定
するための触針プローブに関するもので、触針子の一端
に固設した真球又は針を被測定物に接触させて被測定物
の凹凸形状を測定する際の当該触針子の軸方向と直交方
向の変位に基づく測定誤差を補正して高精度な測定を可
能にしたものが特開平５−６０５４２号公報に記載され
ている。また、レーザー測長を用いた、非球面レンズな
どの物体形状の測定装置であって、測定針を中空形状と
し、その内部に測長用レーザー光の反射手段を測定針と
測定対象との接触点近傍に配置し、これによって測長用
レーザー光を測定針の中に導き、測定針の接触点近傍を
直接測定しているので、測定針自体が温度変化、外力等
により測長方向に変形しても、接触点近傍はほとんど変
位しないから、実際に測定したい位置の測長値への測定
針自体の上記変位の影響をなくすることができるものが
特開平７−１６７６２０号公報に記載されている。
するための触針プローブに関するもので、触針子の一端
に固設した真球又は針を被測定物に接触させて被測定物
の凹凸形状を測定する際の当該触針子の軸方向と直交方
向の変位に基づく測定誤差を補正して高精度な測定を可
能にしたものが特開平５−６０５４２号公報に記載され
ている。また、レーザー測長を用いた、非球面レンズな
どの物体形状の測定装置であって、測定針を中空形状と
し、その内部に測長用レーザー光の反射手段を測定針と
測定対象との接触点近傍に配置し、これによって測長用
レーザー光を測定針の中に導き、測定針の接触点近傍を
直接測定しているので、測定針自体が温度変化、外力等
により測長方向に変形しても、接触点近傍はほとんど変
位しないから、実際に測定したい位置の測長値への測定
針自体の上記変位の影響をなくすることができるものが
特開平７−１６７６２０号公報に記載されている。
【０００３】
【解決しようとする課題】ところで、トーリックレンズ
等自由曲面で設計されたレンズ面を精密に形状測定する
場合、触針式の三次元形状測定装置がー般に採用されて
いるが、この触針式の３次元形状測定装置はプローブ装
置のプローブヘッド１Ａ（図１参照）のプローブ先端を
被測定物２の表面に接触させ、プローブ先端を被測定物
２の表面に対する相対距離を一定に保つようにＺステー
ジ３をＸＹＺ座標におけるＺ軸方向に追従動作させなが
ら、ＸＹテーブル６ＡによりＸＹ方向に走査させ、レー
ザ測長器４ＡによりステージとＺ軸基準ミラー間の距離
を測定し、Ｘ，Ｙ各軸方向についても同様にして測長す
るものである。そして、求める形状は点列の座標データ
として各軸レーザ測長器の出力とプローブ装置の相対距
離出力より求める。触針式の三次元測定装置の開発課題
の１つとして、プローブユニットの測定精度の向上があ
る。
等自由曲面で設計されたレンズ面を精密に形状測定する
場合、触針式の三次元形状測定装置がー般に採用されて
いるが、この触針式の３次元形状測定装置はプローブ装
置のプローブヘッド１Ａ（図１参照）のプローブ先端を
被測定物２の表面に接触させ、プローブ先端を被測定物
２の表面に対する相対距離を一定に保つようにＺステー
ジ３をＸＹＺ座標におけるＺ軸方向に追従動作させなが
ら、ＸＹテーブル６ＡによりＸＹ方向に走査させ、レー
ザ測長器４ＡによりステージとＺ軸基準ミラー間の距離
を測定し、Ｘ，Ｙ各軸方向についても同様にして測長す
るものである。そして、求める形状は点列の座標データ
として各軸レーザ測長器の出力とプローブ装置の相対距
離出力より求める。触針式の三次元測定装置の開発課題
の１つとして、プローブユニットの測定精度の向上があ
る。
【０００４】図２に従来のプローブ装置のプローブヘッ
ド１Ａの１例を示しているが、そのプローブ１の先端に
高精度のルビー球２を設け、その反対側の端部（他端）
に反射鏡等の測長基準ミラー６を取り付けてある。プロ
ーブ１は測定軸方向のみ動作可能なように静圧空気軸受
等の軸受３によって支持、案内され、測定軸方向に板バ
ネ５により弾性的に支持されている。プローブ１の他端
の測長基準ミラー６の位置は、レーザフォーカス式の変
位計等の非接触式変位センサ１１により測長される。被
測定面との接触圧が所定値になるようにプローブ１のル
ビー球２を接触させ、その位置での変位センサの出力を
０に調整する。そして、変位センサの出力がほぼ０近傍
にるように、プローブヘッド１Ａを取り付けたＺステー
ジ３Ａを追従移動させ、ＸＹテーブル６ＡによりＸ，Ｙ
軸方向に走査させることにより追従動作を行なう。レン
ズなどの被測定物２の傾斜を持つ面を測定する場合、被
測定面の接触点での反力は被測定面の法線方向に働き、
これがプローブの軸方向と一致しないので、プローブは
測定軸に直交する成分の分力を受けることになる。他
方、軸、軸受の剛性には限界があるために、軸、軸受が
上記分力を受けてプローブ１に傾き、反りを生じる。こ
の傾き、反りのために無視できない測定誤差を生じるこ
とになる。ここで、軸の剛性不足の場合は反りが、軸受
の剛性不足の場合は傾きが上記測定誤差の支配的要素と
なる。
ド１Ａの１例を示しているが、そのプローブ１の先端に
高精度のルビー球２を設け、その反対側の端部（他端）
に反射鏡等の測長基準ミラー６を取り付けてある。プロ
ーブ１は測定軸方向のみ動作可能なように静圧空気軸受
等の軸受３によって支持、案内され、測定軸方向に板バ
ネ５により弾性的に支持されている。プローブ１の他端
の測長基準ミラー６の位置は、レーザフォーカス式の変
位計等の非接触式変位センサ１１により測長される。被
測定面との接触圧が所定値になるようにプローブ１のル
ビー球２を接触させ、その位置での変位センサの出力を
０に調整する。そして、変位センサの出力がほぼ０近傍
にるように、プローブヘッド１Ａを取り付けたＺステー
ジ３Ａを追従移動させ、ＸＹテーブル６ＡによりＸ，Ｙ
軸方向に走査させることにより追従動作を行なう。レン
ズなどの被測定物２の傾斜を持つ面を測定する場合、被
測定面の接触点での反力は被測定面の法線方向に働き、
これがプローブの軸方向と一致しないので、プローブは
測定軸に直交する成分の分力を受けることになる。他
方、軸、軸受の剛性には限界があるために、軸、軸受が
上記分力を受けてプローブ１に傾き、反りを生じる。こ
の傾き、反りのために無視できない測定誤差を生じるこ
とになる。ここで、軸の剛性不足の場合は反りが、軸受
の剛性不足の場合は傾きが上記測定誤差の支配的要素と
なる。
【０００５】この発明は、上記問題の解消を目的とし、
上記の測定誤差、とくに軸、軸受の剛性不足に起因する
軸の反り、傾きによる測定誤差を補正することにより高
精度な形状測定を行えるようにプローブ装置を工夫する
ことをその課題とするものである。
上記の測定誤差、とくに軸、軸受の剛性不足に起因する
軸の反り、傾きによる測定誤差を補正することにより高
精度な形状測定を行えるようにプローブ装置を工夫する
ことをその課題とするものである。
【０００６】
【課題解決のために講じた手段】上記課題解決のために
講じた手段は、触針式形状測定装置に用いられるプロー
ブ装置について、プローブに平面ミラーを備え、プロー
ブの傾くによるこの平面ミラーの傾きを検出するオート
コリメータ光学系を備えたことである。
講じた手段は、触針式形状測定装置に用いられるプロー
ブ装置について、プローブに平面ミラーを備え、プロー
ブの傾くによるこの平面ミラーの傾きを検出するオート
コリメータ光学系を備えたことである。
【０００７】
【作用】プローブの軸方向変位は変位センサによって測
定されている。またオートコリメータ光学系はミラーの
傾斜を高精度で測定することができるから、急傾斜面の
測定において軸受の剛性不足でプローブが傾いても、そ
の傾斜方向、傾斜角はオートコリメータ光学系により精
密に測定される。そして、軸受の剛性不足の場合、測定
精度に対して軸の傾きが支配的であるから、軸受の中心
からプローブ先端のルビー球の中心までの距離をｄ、オ
ートコリメータ光学系で測定された傾斜角をθとする
と、以下に示す式により横方向への変位を推定すること
ができる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ 被測定面の傾斜が大きくて測定軸に直交する方向ヘプロ
ーブが傾いたとしても、その傾斜方向と傾斜角度を測定
することによりプローブ先端のルビー球の変位を上記の
式で推定できるから、この推定値を用いて補正を加える
ことにより正確な座標測定が可能となる。
定されている。またオートコリメータ光学系はミラーの
傾斜を高精度で測定することができるから、急傾斜面の
測定において軸受の剛性不足でプローブが傾いても、そ
の傾斜方向、傾斜角はオートコリメータ光学系により精
密に測定される。そして、軸受の剛性不足の場合、測定
精度に対して軸の傾きが支配的であるから、軸受の中心
からプローブ先端のルビー球の中心までの距離をｄ、オ
ートコリメータ光学系で測定された傾斜角をθとする
と、以下に示す式により横方向への変位を推定すること
ができる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ 被測定面の傾斜が大きくて測定軸に直交する方向ヘプロ
ーブが傾いたとしても、その傾斜方向と傾斜角度を測定
することによりプローブ先端のルビー球の変位を上記の
式で推定できるから、この推定値を用いて補正を加える
ことにより正確な座標測定が可能となる。
【０００８】
【実施態様１】実施態様１は、解決手段におけるプロー
ブを中空にし、上記の平面ミラーをプローブ先端近傍に
設置したことである。
ブを中空にし、上記の平面ミラーをプローブ先端近傍に
設置したことである。
【作用】全反射ミラーをプローブ先端球の近傍に設置す
ることにより、上記の軸受の合成不足に起因する軸の傾
きによる影響とともに軸の合成不足に起因する軸の反り
による影響を小さくすることができ、また、温度変動に
起因するプローブの膨張の影響を小さくすることができ
るから、プローブの傾きをより高精度に測定することが
できる。
ることにより、上記の軸受の合成不足に起因する軸の傾
きによる影響とともに軸の合成不足に起因する軸の反り
による影響を小さくすることができ、また、温度変動に
起因するプローブの膨張の影響を小さくすることができ
るから、プローブの傾きをより高精度に測定することが
できる。
【０００９】
【実施態様２】実施態様２は、解決手段によるプローブ
装置のプローブについて、その押し込み量を測定する変
位センサの測定点が、測定軸に概略重なるようにしたこ
とである。
装置のプローブについて、その押し込み量を測定する変
位センサの測定点が、測定軸に概略重なるようにしたこ
とである。
【作用】測定軸方向の変位を測定するのに測定点が測定
軸にほぼ重なっているため、プローブが傾いた時のアッ
ベの誤差を小さくすることができる
軸にほぼ重なっているため、プローブが傾いた時のアッ
ベの誤差を小さくすることができる
【００１０】
【実施態様３】実施態様３は、少なくとも２自由度のス
テージ上に設置したプローブ装置のプローブ先端を被測
定面に接触させ、プローブの押し込み量を一定にするよ
うステージを追従させながら走査し、ステージの動作軌
跡を点列の座標データとして出力する触針式形状測定装
置について、上記解決手段又は実施態様１のプローブ装
置を用い、変位センサ及びオートコリメータ光学系の出
力を用いて座標データを補正するようにしたことであ
る。
テージ上に設置したプローブ装置のプローブ先端を被測
定面に接触させ、プローブの押し込み量を一定にするよ
うステージを追従させながら走査し、ステージの動作軌
跡を点列の座標データとして出力する触針式形状測定装
置について、上記解決手段又は実施態様１のプローブ装
置を用い、変位センサ及びオートコリメータ光学系の出
力を用いて座標データを補正するようにしたことであ
る。
【００１２】
【実施例】次いで図面を参照しながら実施例を説明す
る。実施例１は、図３に示すものであり、プローブ１の
先端に高精度のルビー球２があり、板バネ５で支持され
た多端に測長基準ミラー６が取り付けられている。プロ
ーブ１の軸方向変位を変位センサ１１によって測定し、
またオートコリメータ光学系２１によってミラーの傾斜
を高精度で測定することにより、急傾斜面の測定におい
て軸受３の剛性不足のためにプローブ１が傾いている場
合は、その傾斜方向、傾斜角がオートコリメータ光学系
により精密に測定される。なお、軸受３の剛性不足の場
合、軸の傾きが測定精度に対して支配的であるから、軸
受３の中心からプローブ１の先端のルビー球２の中心ま
での距離をｄ、オートコリメータで測定された傾斜角を
θとすると、横方向への変位△ｘは下記の式により推定
され、この推定値を用いて補正することにより高精度な
測定結果が得られる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ なお、オートコリメータ光学系２１はレーザー光源２１
ａ、ビームスプリッター２１ｂ、レンズ２１ｃ、２次元
ＰＳＤ２１ｄ等を備えているものであり、レーザー光源
２１ａからのビーム光を測長基準ミラー６で反射させ、
この反射光のスポット位置を２次元ＰＳＤ２１ｄで検出
することによって、測長基準ミラー６の傾きを計測する
ものである。
る。実施例１は、図３に示すものであり、プローブ１の
先端に高精度のルビー球２があり、板バネ５で支持され
た多端に測長基準ミラー６が取り付けられている。プロ
ーブ１の軸方向変位を変位センサ１１によって測定し、
またオートコリメータ光学系２１によってミラーの傾斜
を高精度で測定することにより、急傾斜面の測定におい
て軸受３の剛性不足のためにプローブ１が傾いている場
合は、その傾斜方向、傾斜角がオートコリメータ光学系
により精密に測定される。なお、軸受３の剛性不足の場
合、軸の傾きが測定精度に対して支配的であるから、軸
受３の中心からプローブ１の先端のルビー球２の中心ま
での距離をｄ、オートコリメータで測定された傾斜角を
θとすると、横方向への変位△ｘは下記の式により推定
され、この推定値を用いて補正することにより高精度な
測定結果が得られる。 △ｘ＝ｄｔａｎθ なお、オートコリメータ光学系２１はレーザー光源２１
ａ、ビームスプリッター２１ｂ、レンズ２１ｃ、２次元
ＰＳＤ２１ｄ等を備えているものであり、レーザー光源
２１ａからのビーム光を測長基準ミラー６で反射させ、
この反射光のスポット位置を２次元ＰＳＤ２１ｄで検出
することによって、測長基準ミラー６の傾きを計測する
ものである。
【００１３】〔実施例２〕本発明の実施例２は図４に示
すものであり、中空プローブ１ａの先端に高精度のルビ
ー球２が取り付けられ、中空プローブ１ａが静圧空気軸
受等の軸受３を介してプローブヘッド本体４に上下方向
に摺動自在に支持されている。中空プローブ１ａの他端
は板バネ５によりＺ軸方向に弾性的に支持されている。
中空プローブ１ａの軸方向の変位は静電容量式や光触針
式の変位センサ１１により変位が測定される。また、中
空プローブ１ａの先端近傍には全反射ミラー２２が取り
付けられていて、これによりオートコリメータ光学系２
１から照射された平行光束を反射する。反射した光束は
再びオートコリメータ光学系２１に入射し、全反射ミラ
ー２２の傾斜を高精度に測定する。
すものであり、中空プローブ１ａの先端に高精度のルビ
ー球２が取り付けられ、中空プローブ１ａが静圧空気軸
受等の軸受３を介してプローブヘッド本体４に上下方向
に摺動自在に支持されている。中空プローブ１ａの他端
は板バネ５によりＺ軸方向に弾性的に支持されている。
中空プローブ１ａの軸方向の変位は静電容量式や光触針
式の変位センサ１１により変位が測定される。また、中
空プローブ１ａの先端近傍には全反射ミラー２２が取り
付けられていて、これによりオートコリメータ光学系２
１から照射された平行光束を反射する。反射した光束は
再びオートコリメータ光学系２１に入射し、全反射ミラ
ー２２の傾斜を高精度に測定する。
【００１４】〔実施例３〕実施例３は図５に示すもので
あり、中空プローブ１ａの軸方向の変位はレーザ光照射
装置３１と２次元ＰＳＤや分割フォトダイオード等の受
光センサ３２からなる三角測量法の変位センサにより測
定される。照射されたレーザ光はガラス板３３の裏面で
測定軸方向先端球面の中心を通る測定軸上で全反射され
受光センサに照射される。この時のセンサ出力から中空
プローブ１ａの軸方向位置を測定する。中空プローブ１
ａの先端近傍には全反射ミラー２２が取り付けられ、オ
ートコリメータ光学系２１から照射された平行光束はガ
ラス板３３を透過して全反射ミラー２２に照射する。反
射した光束は再びガラス板を透過してオートコリメータ
光学系２１に入射し、全反射ミラー２２の傾斜を高精度
に測定する。以上の実施例のプローブ装置を用いて図１
に示す形状測定装置を構成すれば、プローブの傾きの大
小に関わりなく表面形状を高精度で測定できる形状測定
装置が得られる。
あり、中空プローブ１ａの軸方向の変位はレーザ光照射
装置３１と２次元ＰＳＤや分割フォトダイオード等の受
光センサ３２からなる三角測量法の変位センサにより測
定される。照射されたレーザ光はガラス板３３の裏面で
測定軸方向先端球面の中心を通る測定軸上で全反射され
受光センサに照射される。この時のセンサ出力から中空
プローブ１ａの軸方向位置を測定する。中空プローブ１
ａの先端近傍には全反射ミラー２２が取り付けられ、オ
ートコリメータ光学系２１から照射された平行光束はガ
ラス板３３を透過して全反射ミラー２２に照射する。反
射した光束は再びガラス板を透過してオートコリメータ
光学系２１に入射し、全反射ミラー２２の傾斜を高精度
に測定する。以上の実施例のプローブ装置を用いて図１
に示す形状測定装置を構成すれば、プローブの傾きの大
小に関わりなく表面形状を高精度で測定できる形状測定
装置が得られる。
【００１５】
【効果】この発明は以上述べたとおりのものであり、そ
の作用、効果は上記
の作用、効果は上記
【作用】の項に記載したとおりであるが、これを各請求
項に係る発明毎に整理すると次ぎ如くである。 〔請求項１に係る発明について〕被測定面の傾斜が大き
いとき、プローブに対して測定軸に直交する方向ヘプロ
ーブが傾いたとしても、その傾斜方向と傾斜角度を測定
することにより、プローブ先端のルビー球の変位を推定
することができるため、正確な座標測定が可能となり、
また、軸受の剛性不足による誤差を補正することができ
るので、軸受の仕様を緩和することことができ、その結
果、プローブ装置の製造コストを著しく低減することが
できる。
項に係る発明毎に整理すると次ぎ如くである。 〔請求項１に係る発明について〕被測定面の傾斜が大き
いとき、プローブに対して測定軸に直交する方向ヘプロ
ーブが傾いたとしても、その傾斜方向と傾斜角度を測定
することにより、プローブ先端のルビー球の変位を推定
することができるため、正確な座標測定が可能となり、
また、軸受の剛性不足による誤差を補正することができ
るので、軸受の仕様を緩和することことができ、その結
果、プローブ装置の製造コストを著しく低減することが
できる。
【００１６】〔請求項２に係る発明について〕全反射ミ
ラーをプローブ先端のルビー球の近傍に設置することに
より、軸の反りによる傾斜の測定結果への影響を小さく
することができ、また、温度変動に起因するプローブの
膨張の測定結果への影響を小さくすることができる。
ラーをプローブ先端のルビー球の近傍に設置することに
より、軸の反りによる傾斜の測定結果への影響を小さく
することができ、また、温度変動に起因するプローブの
膨張の測定結果への影響を小さくすることができる。
【００１７】〔請求項３に係る発明について〕測定軸方
向の変位を測定するのに測定点が測定軸にほぼ重なるの
で、プローブが傾いた時のアッベの誤差を小さくするこ
とができる。
向の変位を測定するのに測定点が測定軸にほぼ重なるの
で、プローブが傾いた時のアッベの誤差を小さくするこ
とができる。
【００１８】〔請求項４に係る発明について〕軸受の剛
性不足による測定誤差、軸の剛性不足による測定誤差を
補正して、座標誤差の少ない高精度の形状測定が可能な
形状測定装置を実現することができる。
性不足による測定誤差、軸の剛性不足による測定誤差を
補正して、座標誤差の少ない高精度の形状測定が可能な
形状測定装置を実現することができる。
【図１】はプローブ装置による形状測定装置の側面図で
ある。
ある。
【図２】は形状測定装置における従来のプローブ装置の
断面図である。
断面図である。
【図３】は実施例１のプローブ装置の断面図である。
【図４】は実施例２のプローブ装置の断面図である。
【図５】は実施例３のプローブ装置の断面図である。
１Ａ：プローブヘッド ３Ａ：Ｚステージ ４Ａ：レーザー測長器 ５Ａ：測長機の参照ミラー ６Ａ：ＸＹテーブル １：プローブ １ａ：中空プローブ ２：被測定物 ３：軸受 ４：プローブヘッド本体 ５：板バネ ６：測長基準ミラー １１：変位センサ ２１：オートコリメータ光学系 ２１ａ：レーザー光源 ２１ｂ：ビームスプリッター ２１ｃ：レンズ ２１ｄ：２次元ＰＳＤ ２２：全反射ミラー ３１：レーザー光照射装置 ３２：受光センサ ３３：ガラス板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F062 AA04 AA62 BB07 BC80 DD09 DD12 DD17 DD20 EE01 EE09 EE62 FF14 GG73 HH05 HH13 2F065 AA04 AA06 AA52 BB05 BB22 BB25 CC22 EE12 FF10 GG04 JJ03 JJ16 JJ26 LL00 LL12 LL46 MM03 PP02 PP22 2F069 AA04 AA06 AA62 BB40 CC07 EE09 EE12 GG01 GG04 GG07 GG52 GG62 HH02 HH30 JJ14 LL02
Claims (4)
- 【請求項１】触針式形状測定装置に用いられるプローブ
装置について、プローブに平面ミラーを備え、この平面
ミラーの傾きを検出するオートコリメータ光学系を備え
たプローブ装置。 - 【請求項２】上記プローブを中空にし、上記の平面ミラ
ーをプローブ先端近傍に設置した請求項１のプローブ装
置。 - 【請求項３】上記プローブについて、その押し込み量を
測定する変位センサの測定点が、測定軸に概略重なるよ
うにした請求項１のプローブ装置。 - 【請求項４】少なくとも２自由度のステージ上に設置し
たプローブ装置のプローブ先端を被測定面に接触させ、
プローブの押し込み量を一定にするようステージを追従
させながら走査し、ステージの動作軌跡を点列の座標デ
ータとして出力する触針式形状測定装置であって、上記
解決手段又は実施態様１のプローブ装置を用い、変位セ
ンサ及びオートコリメータ光学系の出力を用いて座標デ
ータを補正するようにした形状測定装置。
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| JP11114511A JP2000304529A (ja) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | プローブ装置及び形状測定装置 |
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