JP2000306801A

JP2000306801A - 電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理方法と演算処理装置、及び電子ビーム描画装置用の図形データの圧縮方法

Info

Publication number: JP2000306801A
Application number: JP11111720A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Watanabe; 智渡辺; Yasuo Jinbo; 安男神保; Masataka Yamaji; 山地　　正高; Koju Kuriyama; 幸樹栗山
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1999-04-20
Filing date: 1999-04-20
Publication date: 2000-11-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】演算を容易にでき、図形データの変形が生じ
ない図形演算処理方法を提供する。【解決手段】処理対象となる電子ビーム描画装置用の
図形データに対し、分割領域を無くした座標系でアウト
ライン表示処理を施し、第１のポリゴンデータを得るポ
リゴンデータ化処理工程と、第１のポリゴンデータに対
し、同一形状の図形データを抽出する同一図形抽出処理
工程と、抽出された同一形状の図形データについて、基
本図形情報とその配置情報（座標位置）とで表現して、
データ量を圧縮し、第２のポリゴンデータを得るデータ
圧縮工程と、第２のポリゴンデータに、演算処理を施し
て第３のポリゴンデータを得る演算処理工程と、第３の
ポリゴンデータから、電子ビーム描画装置に固有の分割
領域をもつ、電子ビーム描画装置用の図形データを分割
生成する分割処理工程とを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子ビーム描画装
置（ＥＢ描画装置とも言う）に固有の分割領域に分割さ
れ、各分割領域内に収まる図形データのみを持つ、電子
ビーム描画装置用の図形データの演算処理方法と、これ
を実施するための電子ビーム描画装置用の図形データの
演算処理装置、および電子ビーム描画装置用の図形デー
タの圧縮方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体素子（チップ）の高密度化
は激しく、０３５μｍ設計ルールの６４ＭＤＲＡＭの量
産もすでに始められ、０．２５μｍ設計ルールの２５６
ＭＤＲＡＭの時代へと移ろうとしている。このため、ウ
エハへの露光を行うためのマスタマスクを作成するため
の、あるいは、ウエハへ直接縮小投影するためのレチク
ルについても、ますますその精度が求められるようにな
ってきた。更に、最近では、コスト低減を目指したチッ
プ縮小が著しく、６４ＭＤＲＡＭを０．２５設計ルール
まで微細化して、あるいは、２５６ＭＤＲＡＭを０．１
８設計ルールまで微細化してチップ縮小化を行ってい
る。仮に、６４ＭＤＲＡＭを０．２μｍ設計ルールとす
ると、約１６ＭＤＲＡＭと同じチップ寸法となり、ビッ
トコストは１６Ｍの約１／４になる。ウエハサイズの大
サイズ化をせず、現装置でコスト低減が達成されること
となる。０．１８μｍ設計ルールは開発完了し、２００
０年には０．１５μｍ設計ルールが開発完了予定とされ
ている。

【０００３】このような中、レチクル作製のためのパタ
ーン描画においても、その加工精度がますます厳しくな
るとともに、描画所要時間の短縮が求められている。パ
ターン描画としては、通常、電子ビーム描画装置（ＥＢ
描画装置とも言う）が用いられるが、所定径のビームを
ＯＮ−ＯＦＦしながら、全面走査して描画するラスター
型の電子ビーム描画装置の場合、加工精度の要求が高く
なるに従い、その最小描画位置間隔（最小アドレスユニ
ットとも言う）をより細かくしていくことが必要で、こ
れに伴い描画時間が格段に増えることとなり、０．１８
μｍ以下の設計ルールでは、実用レベルでなくなる。こ
れに対して、矩形や４５°斜辺を有する三角形に成形さ
れたビームを用い、パターン部のみを照射して描画を行
うベクター型電子ビーム描画装置は、描画速度の面でラ
スター型に比べ有利で、レチクルの作製においても用い
られるようになっできた。尚、このようなベクター型の
電子ビーム描画装置を、成形ビーム型あるいはシエイプ
ドビーム型の電子ビーム描画装置とも言う。

【０００４】ところで、電子ビーム描画装置用の図形デ
ータは、電子ビーム描画装置に固有の分割領域に分割さ
れ、各分割領域内に収まる図形データのみを持つもの
で、一般には、台形表示の図形データあるいは、台形、
矩形、正方形、平行四辺形の各図形データから成ってい
る。基本的に、各図形は、図形位置、図形の形状を定義
されて表現されている。

【０００５】このため、図３（ａ）に示すように、絵柄
が、複数の分割領域Ａ（ｍ、ｎ）、Ａ（ｍ＋１、ｎ）、
Ａ（ｍ、ｎ＋１）、Ａ（ｍ＋１、ｎ＋１）に跨がる場
合、それぞれの分割領域においては、それぞれ、図形デ
ータ、、、で表現されている。この電子ビーム
描画装置用の図形データ全体に、所定のサイズだけ、縮
小処理する縮小サイジング処理を施すと、図３（ｂ）に
示すように、縮小された図形データ’、’、’、
’が得られ、分割領域間の境界では、本来隙間があっ
てはならないにもかかわらず、図形データ間に隙間が発
生してしまう。即ち、絵柄によっては、サイジング処理
により、変形が起きることがある。

【０００６】また、電子ビーム描画装置用の図形データ
については、一般に、１つの分割領域内毎に、繰り返し
のある図形、即ち、Ｘ、Ｙ方向のピッチ送りだけでその
位置を定義できる同一図形を含む場合、各同一形状の図
形毎に、始発図形位置、図形の形状、送りピッチ、配列
数を定義して、データ圧縮を行っていた。例えば、幅Ｗ
１、高さＨ１の矩形を、始発図形位置（Ｘ１、Ｙ１）と
して、Ｘ方向にＮｘ個、Ｙ方向にＮｙ個、それぞれピッ
チＰｘ、Ｐｙで配列させる場合には、（Ｘ１、Ｙ１、Ｗ
１、Ｈ１、Ｐｘ１、Ｐｙ１、Ｎｘ、Ｎｙ）と表してい
る。図４（ａ）に示す、各図形を全て１つ１つ、個別に
表現すると、図形分だけ（３１個）図形データが必要で
あるが、図４（ｂ）に示すように、Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、
Ｃ２、Ｄ１、Ｅ１、Ｃ３、Ｆ１、Ｇ１、Ｃ４、Ａ２、Ｂ
２、Ｃ５の図形をそれぞれ用いた、圧縮したデータ１３
個で表すことができる。尚、Ａ（ｍ１、ｎ１）、Ａ（ｍ
１＋１、ｎ１）は分割領域を示している。このように、
現状でも電子ビーム描画装置用の図形データは圧縮され
た表現が用いられているが、分割領域の境で絵柄がきれ
ることや、データの表現が図形単位であるため、データ
数が多く、図形演算には不向きである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、電子ビー
ム描画装置に固有の分割領域に分割され、各分割領域内
に収まる図形データのみを持つ、電子ビーム描画装置用
の図形データの演算処理方法においては、データ量が多
く、図形演算が難しいという問題や、図形演算の結果、
変形が生じてしまうと言う問題があり、これらの対応が
求められていた。本発明は、これに対応するもので、電
子ビーム描画装置に固有の分割領域に分割され、各分割
領域内に収まる図形データのみを持つ、電子ビーム描画
装置用の図形データの演算処理方法においては、図形演
算を容易にでき、且つ、図形演算の結果、変形が生じる
ことのない図形演算処理方法を提供しようとするもの
で、同時にそのような処理ができる装置を提供しようと
するものである。また、電子ビーム描画装置用の図形デ
ータを圧縮した、ポリゴンデータを得る図形データの圧
縮方法を提供しようとするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の電子ビーム描画
装置用の図形データの演算処理方法は、電子ビーム描画
装置に固有の分割領域に分割され、各分割領域内に収ま
る図形データのみを持つ、電子ビーム描画装置用の図形
データの演算処理方法であって、順に、（ａ）処理対象
となる電子ビーム描画装置用の図形データに対し、分割
領域を無くした座標系で第１のポリゴンデータを得るポ
リゴンデータ化処理工程と、（ｂ）得られた第１のポリ
ゴンデータに対し、同一形状の図形データを抽出する同
一図形抽出処理工程と、（ｃ）同一図形抽出処理工程に
より抽出された同一形状の図形データについては、基本
図形情報とその配置情報とで表現して、データ量を圧縮
し、第１のポリゴンデータから第２のポリゴンデータを
得るデータ圧縮工程と、（ｄ）得られた第２のポリゴン
データについて、演算処理を施して第３のポリゴンデー
タを得る演算処理工程と、（ｅ）得られた第３のポリゴ
ンデータから、電子ビーム描画装置に固有の分割領域を
もつ、電子ビーム描画装置用の図形データを分割生成す
る分割処理工程とを行うことを特徴とするものてある。
そして、上記における圧縮工程は、１つの図形の繰り返
し配列は、１つの図形表現部と、配置情報にて表現し、
複数の図形からなる図形群が、干渉しないで（重なり合
わないで）、複数繰り返し配列されている図形の配置
を、前記１つの図形群の各図形を表現する、複数の図形
表現部と、これを一体として配置する情報である図形群
の配置情報とで表現するものであることを特徴とするも
のである。尚、ここでは、１つの図形の繰り返し配列に
おける１つの図形や、複数の図形からなる図形群を単に
セルと言い、セル単位で配列してデータ圧縮するため、
上記のようなデータの圧縮をセル圧縮とも言う。

【０００９】本発明の電子ビーム描画装置用の図形デー
タの演算処理装置は、電子ビーム描画装置に固有の分割
領域に分割され、各分割領域内に収まる図形データのみ
を持つ、電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理
装置であって、処理対象となる電子ビーム描画装置用の
図形データに対し、分割領域を無くした座標系でポリゴ
ンデータを得るポリゴンデータ化処理部と、ポリゴンデ
ータ化処理部により得られたポリゴンデータから同一形
状の図形データを抽出する同一図形抽出処理部と、同一
図形抽出処理部により抽出された同一形状の図形データ
については、基本図形情報とその配置情報（配置位置
座標）とで表現して、データ量を圧縮し、ポリゴンデー
タを得るデータ圧縮処理部と、圧縮処理部により得られ
たポリゴンデータについて、演算処理を施して演算処理
が施こされたポリゴンデータを得る演算処理部と、演算
処理が施こされたポリゴンデータから、電子ビーム描画
装置に固有の分割領域をもつ、電子ビーム描画装置用の
図形データを分割生成する分割処理部とを備えたことを
特徴とするものである。

【００１０】本発明の電子ビーム描画装置用の図形デー
タの圧縮方法は、電子ビーム描画装置に固有の分割領域
に分割され、各分割領域内に収まる図形データのみを持
つ、電子ビーム描画装置用の図形データを、ポリゴンデ
ータにて圧縮して表現するための図形データの圧縮方法
であって、順に、（Ａ）処理対象となる電子ビーム描画
装置用の図形データに対し、分割領域を無くした座標系
で第１のポリゴンデータを得るポリゴンデータ化処理工
程と、（Ｂ）得られた第１のポリゴンデータに対し、同
一形状の図形データを抽出する同一図形抽出処理工程
と、（Ｃ）同一図形抽出処理工程により抽出された同一
形状の図形データについては、基本図形情報とその配置
情報とで表現して、データ量を圧縮し、第１のポリゴン
データから第２のポリゴンデータを得るデータ圧縮工程
とを行い、電子ビーム描画装置用の図形データを圧縮し
た、前記第２のポリゴンデータを得ることを特徴とする
ものである。そして、上記における圧縮工程は、１つの
図形の繰り返し配列は、１つの図形表現部と、配置情報
にて表現し、複数の図形からなる図形群が、干渉しない
で（重なり合わないで）、複数繰り返し配列されている
図形の配置を、前記１つの図形群の各図形を表現する、
複数の図形表現部と、これを一体として配置する情報で
ある図形群の配置情報とで表現するものであることを特
徴とするものである。

【００１１】

【作用】本発明の電子ビーム描画装置用の図形データの
演算処理方法は、このような構成にすることにより、電
子ビーム描画装置に固有の分割領域に分割され、各分割
領域内に収まる図形データのみを持つ、電子ビーム描画
装置用の図形データの演算処理方法においては、図形演
算を容易にでき、且つ、図形演算の結果、変形が生じる
ことのない図形演算処理方法の提供を可能としている。
具体的には、順に、（ａ）処理対象となる電子ビーム描
画装置用の図形データに対し（ａ）処理対象となる電子
ビーム描画装置用の図形データに対し、分割領域を無く
した座標系で第１のポリゴンデータを得るポリゴンデー
タ化処理工程と、（ｂ）得られた第１のポリゴンデータ
に対し、同一形状の図形データを抽出する同一図形抽出
処理工程と、（ｃ）同一図形抽出処理工程により抽出さ
れた同一形状の図形データについては、基本図形情報と
その配置情報とで表現して、データ量を圧縮し、第１の
ポリゴンデータから第２のポリゴンデータを得るデータ
圧縮工程と、（ｄ）得られた第２のポリゴンデータにつ
いて、演算処理を施して第３のポリゴンデータを得る演
算処理工程と、（ｅ）得られた第３のポリゴンデータか
ら、電子ビーム描画装置に固有の分割領域をもつ、電子
ビーム描画装置用の図形データを分割生成する分割処理
工程とを行うことにより、これを達成している。即ち、
電子ビーム描画装置用の図形データを描画機固有の図形
分割を排除したポリゴンデータとして、これに対して、
データの圧縮処理を施し、且つ演算処理を施こすことに
より、扱うデータ量を少なくでき、演算処理をし易いも
のとしており、また演算処理により変形の発生を無いも
のとしている。

【００１２】本発明の電子ビーム描画装置用の図形デー
タの圧縮方法は、このような構成にすることにより、電
子ビーム描画装置に固有の分割領域に分割され、各分割
領域内に収まる図形データのみを持つ、電子ビーム描画
装置用の図形データを、データ量の少ないポリゴンデー
タにて圧縮して表現することを可能としている。結果、
図形データ数の多い電子ビーム描画装置用の図形データ
の演算処理をポリゴンデータ上で比較的簡単に行うこと
を可能とおり、また演算結果後の図形データに変形のな
いものを得ることを可能としている。特に、電子ビーム
描画装置用の図形データを圧縮したポリゴンデータを、
種々の処理装置に持たすことにより、各装置における演
算処理を容易にするとともに、装置の各機能を拡大でき
るものとしている。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を挙げ本発明
を図に基づいて説明する。図１は、本発明の電子ビーム
描画装置用の図形データの演算処理方法の実施の形態の
１例を示したフローと、本発明の電子ビーム描画装置用
の図形データの演算処理装置の実施の形態の１例の概略
構成とを示した図で、図２は電子ビーム描画用データの
ポリゴンデータ表示とポリゴンデータのデータ圧縮を説
明するための図である。

【００１４】はじめに、本発明の電子ビーム描画装置用
の図形データの演算処理方法の実施の形態の１例を図１
に基づいて説明する。尚、これを以て、本発明の図形デ
ータの圧縮方法の実施の形態の１例の説明に代える。説
明を分かり易くするため、図２（ａ）に示すような、同
一形状の絵柄ｆ１〜ｆ４をもつ電子ビーム描画装置用の
図形データを縮小演算処理する場合について、各処理を
説明していく。まず、処理対象となる電子ビーム描画装
置用の図形データ（Ｓ１１０）に対し、分割領域を無く
した座標系でポリゴンデータ化処理し（Ｓ１１１）、第
１のポリゴンデータを得る。（Ｓ１１２）図２（ａ）に示す、同一形状の絵柄ｆ１〜ｆ４をもつ電
子ビーム描画装置用の図形データは、図２（ｂ）に示す
ように表示されて、Ｆ１〜Ｆ４のようになる。尚、図２
（ａ）におけるＡ（ｍ１、ｎ１）、Ａ（ｍ１＋１、ｎ
１）は分割領域を示す。電子ビーム描画装置用の図形デ
ータの各絵柄ｆ１〜ｆ４の各図形、互いに接する（重な
る場合も含む）図形を併せて表現される。例えばｆ１は
互いに接する（重なる場合も含む）図形ｆ１１〜ｆ１７
で併せて表現される。データを圧縮した表現では、先に
説明したように、図形ｆ１１、ｆ１２、ｆ１４のみを用
いて、それらの配列情報とで併せて表現できる。これに
対し、ポリゴンデータ化処理が施されて得られるポリゴ
ンデータの各絵柄（図形）は、Ｆ１〜Ｆ４のように、絵
柄の外周のみを示すもので、各絵柄の外周の各コーナー
部（図示していないが、左回りにＣ０、Ｃ１、Ｃ２、・
・・Ｃｎとする。）の位置座標を順に列記して示すこと
ができるが、通常は、各コーナー部の位置座標は、始発
のコーナー部Ｃ０座標位置と、各位置（Ｃ１、Ｃ２・・
・Ｃｎ）の座標を隣のコーナー部からの変位量で示され
る。即ち、図２（ｂ）の各絵柄（図形）Ｆｍ（ｍ＝１、
２、３、４）は、（Ｘｍ、Ｙｍ、ｄｘｍ１、ｄｙｍ１、
ｄｘｍ２、ｄｙｍ２・・・・・・、ｄｘｍ１２、ｄｙｍ
１２）で表される。尚、図形ｆ１１〜ｆ１７で併せて表
現された図形ｆ１のポリゴンデータを得る方法（これを
ポリゴンデータ化処理と言う）としては、例えば、ベク
トルで各図形の領域を表わして、ベクトルの重なりを見
て、各図形間の重なりを判断し、重なり部分を除去した
図形を得る方法等、一般的に知られている方法が適用で
きる。

【００１５】次いで、第１のポリゴンデータから、同一
図形を抽出する。（Ｓ１１３）上記のように表現される
ポリゴンデータにおいては、Ｆ１〜Ｆ４が同じ図形であ
れば、（ｄｘｍ１、ｄｙｍ１、ｄｘｍ２、ｄｙｍ２・・
・・・・、ｄｘｍ１２、ｄｙｍ１２）が、ｍ＝１、２、
３、４で一致することより、この表現部分をチエックす
ることにより同一図形を抽出することができる。（図２
（ｃ））

【００１６】次いで、抽出された同一図形を、データ量
を圧縮した表現で表示する圧縮処理を施し（Ｓ１１
４）、第１のポリゴンデータから第２のポリゴンデータ
を得る。（Ｓ１１５）Ｆ１〜Ｆ４が同じ図形であることより、（ｄｘｍ１、ｄ
ｙｍ１、ｄｘｍ２、ｄｙｍ２・・・・・・、ｄｘｍ１
２、ｄｙｍ１２）が、ｍ＝１、２、３、４で一致するた
め、重複する記載を止め、この部分（図形情報）は、図
形の表現部分として、１回だけ表現し、これと、Ｆ１〜
Ｆ４の各発のコーナー部の座標位置（Ｘｍ０、Ｘｍ０）
（ｍ＝１、２、３、４）、とで絵柄Ｆ１〜Ｆ４の全てを
表現できる。即ち、基本図形情報（同一図形の図形表現
部）と、図形の配置情報（配置位置座標）とで、絵柄
（図形）Ｆ１〜Ｆ４の全てを表現することができる。
（図２（ｄ））ここでは、Ｆ１〜Ｆ４が、全て同じ図形である場合で、
即ち、１つの図形の繰り返し配列である場合で、これを
１つの図形表現部と、図形の配置情報とで、全ての絵柄
（図形）Ｆ１〜Ｆ４を圧縮して表現するが、更に、複数
の図形からなる図形群が、干渉しないで（重なり合わな
いで）、複数繰り返し配列されている図形の配置につい
ては、１つの図形群の各図形を表現する、複数の図形表
現部と、これを一体として配置する情報である図形群の
配置情報とで圧縮して表現することもできる。

【００１７】次に、このように圧縮した表現で表示され
た第２のポリゴンデータにて、縮小サイジング処理（演
算処理）を施して（Ｓ１１６）、第３のポリゴンデータ
（Ｓ１１７）を得る。縮小サイジング処理は、各絵柄
（図形）の各コーナー部を内側に所定量だけ移動するこ
とにより得られる新たな座標位置を、それぞれ新たなコ
ーナー部として、新たに絵柄を表現すれば良い。複数の
同一図形を圧縮して表現した圧縮データ部についても、
図形表現部と、各、始発コーナー部の位置座標を新たに
算出して、新たに、圧縮データを得ることができる。

【００１８】次いで、第３のポリゴンデータから、電子
ビーム描画装置に固有の分割領域をもつ、電子ビーム描
画装置用の図形データを分割生成する分割処理を行い
（Ｓ１１８）、演算処理が施された電子ビーム描画装置
用の図形データを得る。（Ｓ１１９）ポリゴンデータから電子ビーム描画装置用の図形データ
に分割する方法は、描画機毎に合わせて行う。描画領域
制限に起因する各描画機毎の分割領域、描画グリット
（最小アドレスユニット）等を考慮して分割し、更に、
各描画装置のデータフォマットを考慮して、ｘ方切り台
形表示なのか、ｙ方向切り台形表示なのか等を決め、各
描画機に合った図形データを作成する。

【００１９】上記では、演算処理として縮小サイジング
処理を挙げたが、電子ビーム描画装置用の図形データの
拡大サイジング処理にも同様に適用できる。また、電子
ビーム描画装置用の反転処理（リーバース処理）にも適
用できることは言うまでもない。更に、これ以外の演算
にも適用は可能である。

【００２０】次に、本発明の電子ビーム描画装置用の図
形データの演算処理装置の実施の形態の１例を図１に基
づいて説明する。本例は、図１に示すように、電子ビー
ム描画装置に固有の分割領域に分割され、各分割領域内
に収まる図形データのみを持つ、電子ビーム描画装置用
の図形データの演算処理装置１００で、処理対象となる
電子ビーム描画装置用の図形データに対し、分割領域を
無くした座標系でポリゴンデータを得るポリゴンデータ
化処理部１１０と、ポリゴンデータ化処理部により得ら
れたポリゴンデータから同一形状の図形データを抽出す
る同一図形抽出処理部１２０と、同一図形抽出処理部に
より抽出された同一形状の図形データについては、基本
図形とその座標位置でデータ量を圧縮して表現した、ポ
リゴンデータを得るデータ圧縮処理部１３０と、圧縮処
理部により得られたポリゴンデータについて、演算処理
を施して演算処理が施こされたポリゴンデータを得る演
算処理部１４０と、演算処理が施こされたポリゴンデー
タから、電子ビーム描画装置に固有の分割領域をもつ、
電子ビーム描画装置用の図形データを分割生成する分割
処理部１５０とを備えている。各部は、図１に示す各処
理を行えるもので、ここでは説明を省略する。

【００２１】

【発明の効果】本発明は、上記のように電子ビーム描画
装置に固有の分割領域に分割され、各分割領域内に収ま
る図形データのみを持つ、電子ビーム描画装置用の図形
データの演算処理方法において、図形演算を容易にで
き、且つ、図形演算の結果、変形が生じることのない図
形演算処理方法の提供と、そのような処理ができる装置
の提供を可能とした。特に、電子ビーム描画装置に固有
の分割領域に分割され、各分割領域内に収まる図形デー
タのみを持つ、電子ビーム描画装置用の図形データを、
データ量の少ないポリゴンデータにて圧縮して表現する
ことを可能としており、結果、電子ビーム描画装置用の
図形データを圧縮したポリゴンデータを、種々の処理装
置に持たすことにより、各装置における演算処理を容易
にするとともに、装置の各機能を拡大できるものとして
いる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子ビーム描画装置用の図形データの
演算処理方法の実施の形態の１例を示したフローと、本
発明の電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理装
置の実施の形態の１例の概略構成とを示した図

【図２】電子ビーム描画用データのポリゴンデータ表示
とポリゴンデータのデータ圧縮を説明するための図

【図３】電子ビーム描画装置用の図形データの縮小サイ
ジングにおける隙間発生を説明するための図

【図４】電子ビーム描画装置用の図形データのデータの
圧縮を説明するための図

【符号の説明】

１００図形データ演算処理装置１１０ポリゴンデータ化処理部１２０同一図形抽出処理部１３０データ圧縮処理部１４０演算処理部１５０分割処理部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者山地正高東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内 (72)発明者栗山幸樹東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号大日本印刷株式会社内Ｆターム(参考） 2H097 AA03 CA16 LA10 5B050 AA04 BA18 EA10 FA01 5B075 ND06 NR16 5F056 AA22 CA04 CA22 CA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子ビーム描画装置に固有の分割領域に
分割され、各分割領域内に収まる図形データのみを持
つ、電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理方法
であって、順に、（ａ）処理対象となる電子ビーム描画
装置用の図形データに対し、分割領域を無くした座標系
で第１のポリゴンデータを得るポリゴンデータ化処理工
程と、（ｂ）得られた第１のポリゴンデータに対し、同
一形状の図形データを抽出する同一図形抽出処理工程
と、（ｃ）同一図形抽出処理工程により抽出された同一
形状の図形データについては、基本図形情報とその配置
情報とで表現して、データ量を圧縮し、第１のポリゴン
データから第２のポリゴンデータを得るデータ圧縮工程
と、（ｄ）得られた第２のポリゴンデータについて、演
算処理を施して第３のポリゴンデータを得る演算処理工
程と、（ｅ）得られた第３のポリゴンデータから、電子
ビーム描画装置に固有の分割領域をもつ、電子ビーム描
画装置用の図形データを分割生成する分割処理工程とを
行うことを特徴とする電子ビーム描画装置用の図形デー
タの演算処理方法。
【請求項２】請求項１における圧縮工程は、１つの図
形の繰り返し配列は、１つの図形表現部と、配置情報に
て表現し、複数の図形からなる図形群が、干渉しないで
（重なり合わないで）、複数繰り返し配列されている図
形の配置を、前記１つの図形群の各図形を表現する、複
数の図形表現部と、これを一体として配置する情報であ
る図形群の配置情報とで表現するものであることを特徴
とする電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理方
法。
【請求項３】電子ビーム描画装置に固有の分割領域に
分割され、各分割領域内に収まる図形データのみを持
つ、電子ビーム描画装置用の図形データの演算処理装置
であって、処理対象となる電子ビーム描画装置用の図形
データに対し、分割領域を無くした座標系でポリゴンデ
ータを得るポリゴンデータ化処理部と、ポリゴンデータ
化処理部により得られたポリゴンデータから同一形状の
図形データを抽出する同一図形抽出処理部と、同一図形
抽出処理部により抽出された同一形状の図形データにつ
いては、基本図形情報とその配置情報とで表現して、デ
ータ量を圧縮し、ポリゴンデータを得るデータ圧縮処理
部と、圧縮処理部により得られたポリゴンデータについ
て、演算処理を施して演算処理が施こされたポリゴンデ
ータを得る演算処理部と、演算処理が施こされたポリゴ
ンデータから、電子ビーム描画装置に固有の分割領域を
もつ、電子ビーム描画装置用の図形データを分割生成す
る分割処理部とを備えたことを特徴とする電子ビーム描
画装置用の図形データの演算処理装置。
【請求項４】電子ビーム描画装置に固有の分割領域に
分割され、各分割領域内に収まる図形データのみを持
つ、電子ビーム描画装置用の図形データを、ポリゴンデ
ータにて圧縮して表現するための図形データの圧縮方法
であって、順に、（Ａ）処理対象となる電子ビーム描画
装置用の図形データに対し、分割領域を無くした座標系
で第１のポリゴンデータを得るポリゴンデータ化処理工
程と、（Ｂ）得られた第１のポリゴンデータに対し、同
一形状の図形データを抽出する同一図形抽出処理工程
と、（Ｃ）同一図形抽出処理工程により抽出された同一
形状の図形データについては、基本図形情報とその配置
情報とで表現して、データ量を圧縮し、第１のポリゴン
データから第２のポリゴンデータを得るデータ圧縮工程
とを行い、電子ビーム描画装置用の図形データを圧縮し
た、前記第２のポリゴンデータを得ることを特徴とする
電子ビーム描画装置用の図形データの圧縮方法。
【請求項５】請求項４における圧縮工程は、１つの図
形の繰り返し配列は、１つの図形表現部と、配置情報に
て表現し、複数の図形からなる図形群が、干渉しないで
（重なり合わないで）、複数繰り返し配列されている図
形の配置を、前記１つの図形群の各図形を表現する、複
数の図形表現部と、これを一体として配置する情報であ
る図形群の配置情報とで表現するものであることを特徴
とする電子ビーム描画装置用の図形データの圧縮方法。