JP2000311455A - ディスク装置のヘッド支持機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はディスク装置のヘッド支持機構に
関し、ヘッドについてのトラッキング補正等のための高
精度で且つ効率的な微小変位が可能なヘッド支持機構の
提供を目的とする。 【解決手段】 ヘッド支持機構１００は、回転駆動され
るディスクに対して少なくともデータの再生を行うヘッ
ドと、ヘッドを保持するスライダ２と、スライダ２を保
持するスライダ保持機構２Ａと、ディスクの回転の接線
方向への直線変位によりスライダ保持機構２Ａを駆動す
る駆動機構８、１１とを備え、駆動機構８、１１は、デ
ィスクの表面に対して実質的に垂直な方向のたわみに基
づいて直線変位を生じ、スライダ保持機構２Ａは、ヘッ
ドがディスクの半径方向に移動するように、直線変位を
揺動変位に変換する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、コンピューターの
記憶装置などとして用いられる磁気ディスク装置に関す
るものである。特に磁気ディスク装置の高記録密度化を
実現するのに最適なヘッド支持機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、磁気ディスク装置の記録密度は日
を追う毎に高密度化が進でいる。磁気ヘッドを搭載した
スライダは磁気ディスク装置内に設けられたボイス コ
イルモータ（ＶＣＭ）にヘッド支持機構（ヘッドアクチ
ュエーターアーム）を介して固定され、このボイスコイ
ルモータを制御することによって磁気ディスク上の任意
の位置に位置決めされる。

【０００３】しかし、さらなる高記録密度化を行おうと
するとＶＣＭによる高精度位置決めの限界が見えてき
た。これを受けて高記録密度化に向けて、磁気ヘッドの
高精度な位置決め技術について既に提案されている。

【０００４】以下、従来の磁気ディスク装置について説
明する。図１４は磁気ディスク装置の従来のヘッド支持
機構の一例を示す平面図である。回転駆動される図示し
ない磁気ディスクに対するデータの記録／再生を行うヘ
ッド１０２は、サスペンションアーム１０４の一端に支
持される。サスペンションアーム１０４の他端はキャリ
ッジ１０６の突起１０８を中心に微小角範囲内で回動可
能に支持されている。

【０００５】キャリッジ１０６は磁気ディスク装置のハ
ウジングに対して固定される軸部材１１０に対して回動
可能である。キャリッジ１０６に固定された図示しない
永久磁石に対して、ハウジング側に固定された磁気回路
１１２の一部である駆動コイル１１４に流す励磁電流を
制御することによって、キャリッジ１０６が軸部材１１
０に対して回動する。これによりヘッド１０２を磁気デ
ィスクの実質的な半径方向に移動させることができるよ
うになっている。

【０００６】キャリッジ１０６とサスペンションアーム
１０４との間には圧電素子１１６が介在している。圧電
素子１１６を図中の矢印方向に伸縮させることによっ
て、サスペンションアーム１０４がキャリッジ１０６に
対して微小角範囲内で回動し、これによりヘッド１０２
の微小変位がなされる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図１４に示される従来
の構成において、圧電素子１１６はその長手方向（矢印
Ａ１４の方向）の両端部がそれぞれサスペンションアー
ム１０４及びキャリッジ１０６に当接している。圧電素
子１１６のバルク変形によってヘッド１０２を微小変位
させるようにしているので、圧電素子１１６への印加電
圧に対して効率的にヘッド１０２を微小変位させること
ができないという問題がある。

【０００８】本発明の目的は、ヘッドについてトラッキ
ング補正等のための高精度な微小変位が可能なディスク
装置のヘッド支持機構を提供することにある。

【０００９】本発明の他の目的は、印加電圧に対して効
率的にヘッドを微小変位させることが可能なディスク装
置のヘッド支持機構を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係るヘッド支持
機構は、回転駆動されるディスクに対して少なくともデ
ータの再生を行うヘッドと、前記ヘッドを保持するスラ
イダと、前記スライダを保持するスライダ保持機構と、
前記ディスクの回転の接線方向への直線変位により前記
スライダ保持機構を駆動する駆動機構とを備え、前記駆
動機構は、前記ディスクの表面に対して実質的に垂直な
方向の反りに基づいて前記直線変位を生じ、前記スライ
ダ保持機構は、前記ヘッドが前記ディスクの半径方向に
移動するように、前記直線変位を揺動変位に変換し、そ
のことにより上記目的が達成される。

【００１１】前記駆動機構は、電圧の印加により前記デ
ィスクの回転の接線方向に伸縮する薄膜圧電体と、前記
スライダ保持機構と連結され前記薄膜圧電体を保持する
基板とを含み、前記薄膜圧電体に電圧が印加されると前
記基板と前記薄膜圧電体とには反りが生じるとともに、
前記基板には前記接線方向に直線変位が生じてもよい。

【００１２】前記スライダは、回転する前記ディスクと
の間に適切な空気流を生じさせるエアーベアリング面を
有し、前記スライダ保持機構は、前記スライダが前記エ
アーベアリング面の図心を中心に揺動するように前記ス
ライダを保持してもよい。

【００１３】前記スライダ保持機構は、前記図心に対応
する位置に局部的に狭い幅で形成された弾性ヒンジ部を
有し、前記スライダ保持機構は、前記弾性ヒンジ部を中
心に揺動してもよい。

【００１４】前記ヘッド支持機構は、前記スライダの姿
勢が前記ディスクの回転の接線方向に対してピッチ方向
とロール方向とに柔軟となるように前記スライダを支持
するスライダ姿勢変換機構をさらに備えてもよい。

【００１５】前記スライダ姿勢変換機構は、前記ロード
ビームの押圧により前記スライダ保持機構を押圧する突
起部を含んでもよい。

【００１６】前記突起部の表面は、前記スライダ保持機
構が揺動する時に前記突起部の表面と前記スライダ保持
機構との間で好ましくない摩擦が発生しない程度に十分
粗くてもよい。

【００１７】本発明に係る他のヘッド支持機構は、回転
駆動されるディスクに対して少なくともデータの再生を
行うヘッドと、前記ヘッドを保持するスライダと、前記
スライダの姿勢が前記ディスクの回転の接線方向に対し
てピッチ方向とロール方向とに柔軟となり、前記スライ
ダの姿勢が前記ディスクの半径方向に対して高剛性を保
つように前記スライダを支持するスライダ姿勢変換機構
と、前記スライダ姿勢変換機構を支持する平行リンク機
構とを備え、そのことにより上記目的が達成される。

【００１８】前記平行リンク機構は、ベースプレート
と、前記ベースプレート上に設けられるフレクスチャを
含み、前記平行リンク機構は、前記スライダ姿勢変換機
構が前記ベースプレートの面と平行を保つように前記ス
ライダ姿勢変換機構を支持してもよい。

【００１９】前記ヘッド支持機構は、前記スライダを前
記スライダ姿勢変換機構を介して前記ディスクに押圧す
るロードビームをさらに含み、前記平行リンク機構は、
前記ロードビームの押圧による前記スライダ姿勢変換機
構の高さ方向の移動量にかかわらず、前記スライダ姿勢
変換機構が前記ベースプレートの面と平行を保つように
前記スライダ姿勢変換機構を支持してもよい。

【００２０】前記平行リンク機構は、前記スライダに対
して前記ベースプレート側に連結される第１リンクと、
前記スライダに対して前記ベースプレートと反対側に連
結される第２リンクとを含み、前記第１リンクの前記ベ
ースプレートに対する有効長さと前記第２リンクの前記
ベースプレートに対する有効長さとが、実質的に等しく
てもよい。

【００２１】前記第２リンクは、前記ディスクの半径方
向に対して前記スライダ姿勢変換機構の両側に配置され
る第３リンクと第４リンクとを含み、前記第１リンクの
幅と、前記第３リンクの幅と前記第４リンクの幅との和
とは、実質的に等しくてもよい。

【００２２】本発明のある局面に従えば、少ない電圧で
効率的にヘッドの変位を得られる微小変位発生機構を実
現し、さらに外力に対して剛性の高い構造が得られる。

【００２３】本発明の他の局面に従えば、薄膜圧電体お
よび薄板が弓形に反るときの弦の長さ方向の変化量をス
ライダに設けられたヘッドがディスク上に形成されたト
ラックを横切る方向の運動に変換する。これによりヘッ
ドが目的とするトラックの情報を読み書きする際のヘッ
ドのオントラック精度を向上するという作用を有する。

【００２４】本発明のさらに他の局面に従えば、スライ
ダのピッチ方向とロール方向に柔軟にするジンバル機能
とスライダの回転機能を分離することにより、それぞれ
の機能を確実にするという作用を有する。

【００２５】本発明のさらに他の局面に従えば、薄膜圧
電体と前記薄膜圧電体を保持する薄板でスライダの回転
駆動を行う作用を有する。

【００２６】本発明のさらに他の局面に従えば、スライ
ダの回転機構として弾性ヒンジを用いることにより単純
でガタの無い信頼性の高い回転を行う作用を有する。

【００２７】本発明のさらに他の局面に従えば、ディス
ク面がその面に対して垂直方向に変動した場合、スライ
ダが平行を保ってディスク面との距離を一定に保たせる
という作用を有する。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を用いて説明する。

【００２９】図１は本実施の形態のディスク装置におけ
るヘッド支持機構１００をディスク側から見た斜視図で
ある。図２は、図１の構成部品の組み立て構成図であ
る。図３は、ヘッド支持機構１００に設けられるスライ
ダ２の外観を示す。

【００３０】図３において、ヘッド部１は、回転駆動さ
れるディスクから所定間隔離間して浮上させるために、
スライダ２を有している。スライダ２の端面２Ａには、
ＭＲ素子を含むヘッド部１とヘッド部１を外部回路と接
続するための複数の端子３とが形成されている。

【００３１】スライダ２の底面には、回転するディスク
（図示せず）との間に適切な空気流を生じさせるため凹
凸面（エアーベアリング面２Ｂ）が形成されている。

【００３２】図１、図２および図３を参照して、スライ
ダ２は薄膜圧電体１１を形成した薄板である薄膜圧電体
基板８上に取り付けられ、ヘッド部１の４つの端子３Ａ
〜３Ｄは薄膜圧電体基板８に形成された信号パターン１
２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄにそれぞれ接続されてい
る。

【００３３】図２において、ステンレス鋼板等の板状弾
性体からなる概略長方形形状のフレクシャ５には、エッ
チング加工等によりジンバル６が形成されている。ジン
バル６の中央には、円形突起６Ａが形成されている（図
４）。円形突起６Ａの表面は意図的に表面あらさを他の
部分より荒い表面としている。さらに円形突起６Ａの表
面にはダイヤモンドライクカーボン等による表面硬化処
理が施されている。

【００３４】フレクシャ５には、ジンバル６を支える形
で両側に２本の梁５Ａ，５Ｂ、中央に１本の梁５Ｃが形
成されている。フレクシャ５は、ボイスコイルモータ
（図外）により回転駆動される図外のヘッドアクチュエ
ーターアーム（図１１、図１２における１８）に取り付
けられるベースプレート７上にスポット溶接等で貼り付
けられる。

【００３５】このとき各梁５Ａ，５Ｂ、５Ｃの有効長さ
は図１に示すように梁５Ａ，５ＢがＬ１とし、梁５Ｃが
Ｌ２とすると、Ｌ１とＬ２が実質的に等しくなるように
溶接ポイントを設定してある。

【００３６】なお、梁５Ｂには薄膜圧電体基板８の一部
が重なっているが薄膜圧電体基板８自体非常に薄いステ
ンレスで構成しているために梁５Ａと梁５Ｂの撓み特性
の違いに大きく影響しない。もし影響するとしても、そ
の分梁の幅を変更するかあるいは梁５Ａ側にも薄膜圧電
体基板８を伸ばし梁５Ａと梁５Ｂとが同条件になるよう
にすればよい。

【００３７】さらに、梁５Ａと梁５Ｂの幅寸法の和Ｌ３
＋Ｌ４が梁５Ｃの幅Ｌ５に実質的に等しくなるようにす
ると、ジンバル６にロードビーム９のバネ圧が作用した
とき、ジンバル６の高さ方向の移動量にかかわらず、常
にジンバル６がベースプレート面７Ａと平行を保つ。こ
の場合、ジンバル６の腕部６Ｃ、６Ｄ（図４)の曲げ剛
性を考慮していないが、考慮する場合は、Ｌ１、Ｌ２、
Ｌ３、Ｌ４およびＬ５をジンバル６が平行を保てるよう
に調整する。

【００３８】なお、ロードビーム９は、作用点であるデ
ィンプル１０がスライダ２のエアーベアリング面２Ｂの
図心に当たるように、ベースプレート７に対してフレク
シャ５の反対側にスポット溶接等で貼り付けられる。

【００３９】図５に薄膜圧電体基板８の平面図を示し
た。スライダ２のエアーベアリング面２Ｂの図心に当た
る近傍には、第一の弾性ヒンジ部１３が形成される。ス
ライダ２は、第一の弾性ヒンジ部１３を中心に揺動運動
する。

【００４０】第一の弾性ヒンジ部１３の横には第二の弾
性ヒンジ部１４が形成される。第二の弾性ヒンジ部１４
は、スライダ貼り付け部８Ａが薄膜圧電体１１の矢印Ａ
３方向の直線変位をスライダ２の揺動運動に変換すると
きの作用点となる。第二の弾性ヒンジ部１４は、薄膜圧
電体基板８のスライダ取り付け部８Ａが揺動するとき薄
膜圧電体基板８自体の変形を平面内に収める効果を生ん
でいる。

【００４１】図６において薄膜圧電体基板８のうち一点
鎖線のハッチング部８Ｂはフレクシャ５に貼り付けられ
ておらず、それ以外の部分８Ｃはスポット溶接等でフレ
クシャ５に貼り付けられている。

【００４２】図５を参照して、薄膜圧電体１１は信号パ
ターン１２Ａと１２Ｂとの間に設けられた薄膜圧電体駆
動パターン１５に接続されている。

【００４３】図７は図５におけるＢ−Ｂ断面である。薄
膜圧電体基板８の上面と薄膜圧電体１１との間に設けら
れた電極層１１Ｂは接地されている。薄膜圧電体上面の
電極層１１Ａと薄膜圧電体駆動パターン１５とは、ワイ
ヤーボンド１９で接続されている。

【００４４】薄膜圧電体１１へ電圧を印加すると、薄膜
圧電体１１は電極層１１Ａから電極層１１Ｂの方向（矢
印Ａ１の方向）に伸縮する（Ｄ３３モード）。一方で、
薄膜圧電体１１は矢印Ａ１の方向と直交する方向（矢印
Ａ２の方向）に伸縮する（Ｄ３１モード）。本実施の形
態では、Ｄ３１モードの薄膜圧電体の伸縮を利用してヘ
ッド１のトラッキング補正を行っている。

【００４５】以上のように構成されたディスク装置のヘ
ッド支持機構１００について、図８、図９を用いてその
動作を説明する。まず、薄膜圧電体１１に薄膜圧電体駆
動パターン１５を介して電圧が印加されると、薄膜圧電
体１１は長手方向（矢印Ａ２の方向）に伸びを生じる。
ステンレス等で構成された薄膜圧電体基板８は伸び方向
（矢印Ａ２の方向）に対して剛性が高いため、薄膜圧電
体１１および薄膜圧電体基板８にはバイメタル効果によ
り図７（ａ）の左側面図に示したように反りを生じる。

【００４６】薄膜圧電体１１および薄膜圧電体基板８に
反りを生じると、この反りに応じて薄膜圧電体基板８の
図６の斜線部８Ｂは矢印Ａ４（図８（ｂ））方向にδ１
だけ微小変位する。薄膜圧電体基板８が矢印Ａ４方向に
微小変位すると、第二の弾性ヒンジ部１４が、薄膜圧電
体基板８のスライダ貼り付け部分８Ａに対して、スライ
ダ貼り付け部分８Ａが第一の弾性ヒンジ部１３を回動中
心として微小回転するように作用する。

【００４７】スライダ貼り付け部分８Ａが第一の弾性ヒ
ンジ部１３を回動中心として微小回転すると、スライダ
２に設けられたヘッド部１は、ディスクの半径方向に対
して記録トラック幅の数倍程度移動することになる。印
加電圧を切ると、薄膜圧電体基板８は図５に示した初期
状態（電圧を印加する前の状態)に復帰する。

【００４８】このように、薄膜圧電体１１は電圧の印加
によりディスクの回転の接線方向（矢印Ａ２の方向）に
伸縮する。薄膜圧電体基板８は、薄膜圧電体１１を保持
する。薄膜圧電体１１に電圧が印加されると薄膜圧電体
基板８と薄膜圧電体１１とには反りが生じるとともに、
薄膜圧電体基板８にはディスクの回転の接線方向（矢印
Ａ２の方向）に直線変位が生じる。

【００４９】即ち、薄膜圧電体基板８は、ディスクの表
面に対して実質的に垂直な方向（矢印Ａ２の方向）の反
りに基づいて直線変位δ１を生じ、スライダ貼り付け部
分８Ａは、ヘッド部１がディスクの半径方向（矢印Ａ５
方向）に移動するように、直線変位δ１をスライダ２の
揺動変位に変換する。

【００５０】スライダ貼り付け部分８Ａが第一の弾性ヒ
ンジ部１３を回動中心として微小回転する際、ジンバル
６の突起部６Ａ(図４）と薄膜圧電体基板８のスライダ
貼り付け部分８Ａとの間にはロード荷重Ｆによる摩擦が
発生するおそれがある。

【００５１】突起部６Ａの表面は図９（ｂ）に示すよう
に荒らした状態にしている。したがって、ジンバル６の
突起部６Ａと薄膜圧電体基板８のスライダ貼り付け部分
８Ａとがサブμｍオーダーで相対的にズレを生じても、
図９（ｃ）に示すように突起部６Ａの先端部に弾性変形
が生じるので、突起部６Ａとスライダ貼り付け部分８Ａ
との間に摩擦が発生することがない。この結果、スライ
ダ２の揺動運動は摩擦ヒステリシスによる悪影響を受け
ない。

【００５２】次に、ロードビーム９によるロード荷重Ｆ
がジンバル６に作用し、フレクスチャ５の各梁５Ａ，５
Ｂおよび５Ｃが撓む動作について、図１０、図１１、図
１２および図１３を用いて説明する。

【００５３】図１０はジンバル６にロード荷重Ｆが作用
した状態での梁５Ａ、５Ｂおよび５Ｃの撓みの模式図で
ある。各梁５Ａ，５Ｂおよび５Ｃは、あたかも平行リン
クのように撓みを生じるために、ジンバル６はベースプ
レート７に対して常に平行が保たれることになる。

【００５４】図１１および図１３はロードビーム９がロ
ードビーム解除用ランプロード１６により強制解除さ
れ、ディンプル１０とジンバル６とが離間した状態を示
した図である。図１２は、ディスク装置の動作モード
で、スライダ２がディスク１７上を僅かな空気膜を介し
て浮上し、ヘッド１で信号の記録再生している状態を示
した図である。

【００５５】図１２に示す状態では、各梁５Ａ、５Ｂお
よび５Ｃは図１０で説明したように撓んだ状態となって
いる。なお、ジンバル６は、スライダ２の姿勢がディス
ク１７の回転方向ベクトルに対してロール方向とピッチ
方向に対して柔軟となるようにの機能する構成を有する
が、スライダ２をディスク１７上にローディングまたは
ディスク１７からアンローディングさせる過渡状態にお
いては、ジンバル６は、スライダ２の姿勢がディスク１
７の回転方向ベクトルに対してロール方向とピッチ方向
に対して柔軟となるようにの機能しないので、スライダ
２とディスク１７とが接触する。

【００５６】このように、ロードビーム９によるロード
荷重Ｆが作用するジンバル６を平行リンク機構を形成す
る各梁５Ａ，５Ｂおよび５Ｃが保持する構成は、ジンバ
ル効果が生まれないローディングまたはアンローディン
グ時のスライダ２とディスク１７との平行を保つ上で必
要な構成である。

【００５７】以上のように本実施の形態によれば、ヘッ
ド部１をディスク１７の半径方向に変位させる際に、薄
膜圧電体基板８の厚みを１０μｍ、薄膜圧電体１１の厚
みを２μｍ、薄膜圧電体１１の長手方向の寸法を１０ｍ
ｍ、電極層に印加する電圧を３Ｖとした場合に、ヘッド
部１の変位量として例えば０．９μｍを得ることができ
る。

【００５８】また本実施の形態によれば、スライダ２は
そのエアーベアリング面２Ｂの図心を中心に揺動するた
め、外乱例えば空気粘性摩擦力等の影響でスライダ２の
変位量が変わることがない。

【００５９】さらに本実施の形態によれば、構造的にヘ
ッド支持機構１００の振動共振点を高くできるため、電
気回路の制御帯域を広くできる。このため、高いオント
ラック制御性を確保することができる。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ヘッドに
ついてトラッキング補正等のための高精度な微小変位が
可能なディスク装置のヘッド支持機構を提供することが
できる。

【００６１】また本発明によれば、印加電圧に対して効
率的にヘッドを微小変位させることが可能なディスク装
置のヘッド支持機構を提供することができる。

【００６２】さらに本発明によれば、薄膜圧電体を薄板
の片面上に製膜するため製造コストの大幅削減も可能に
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持
機構の斜視図。

【図２】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持
機構の組み立て構成図。

【図３】実施の形態におけるディスク装置のスライダの
斜視図。

【図４】実施の形態１におけるディスク装置のヘッド支
持機構におけるジンバルの斜視図。

【図５】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持
機構における薄膜圧電体基板の平面図。

【図６】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持
機構における薄膜圧電体基板の概略平面図。

【図７】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持
機構における薄膜圧電体基板の要部断面図。

【図８】（ａ）実施の形態におけるディスク装置のヘッ
ド支持機構動作を説明する側面図。 （ｂ）実施の形態におけるディスク装置のヘッド支持機
構動作を説明する平面図。

【図９】（ａ）実施の形態におけるディスク装置のヘッ
ド支持機構におけるジンバル部の突起部の説明図。 （ｂ）ジンバル部の突起部の拡大図。 （ｃ）ジンバル部の突起部の弾性変形を説明する図。

【図１０】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支
持機構における平行リンクの動作を説明する図。

【図１１】ディンプルとジンバルとが離間した状態での
ヘッド支持機構の動作説明図。

【図１２】ヘッドで信号の記録再生している状態でのヘ
ッド支持機構の動作説明図。

【図１３】実施の形態におけるディスク装置のヘッド支
持機構におけるロードビーム解除用ランプロードの動作
説明図。

【図１４】従来のディスク装置のヘッド支持機構の構成
図。

【符号の説明】

１ ヘッド部 ２ スライダ ５ フレクシャ ８ 薄膜圧電体基板（薄板） １１ 薄膜圧電体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 伸一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 5D042 NA02 PA01 TA02 5D059 AA01 BA01 CA08 DA24 DA26 EA03 EA07 EA12 5D096 NN03 NN07

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転駆動されるディスクに対して少なく
   ともデータの再生を行うヘッドと、 前記ヘッドを保持するスライダと、 前記スライダを保持するスライダ保持機構と、 前記ディスクの回転の接線方向への直線変位により前記
   スライダ保持機構を駆動する駆動機構とを備え、 前記駆動機構は、前記ディスクの表面に対して実質的に
   垂直な方向の反りに基づいて前記直線変位を生じ、 前記スライダ保持機構は、前記ヘッドが前記ディスクの
   半径方向に移動するように、前記直線変位を揺動変位に
   変換するヘッド支持機構。
2. 【請求項２】 前記駆動機構は、電圧の印加により前記
   ディスクの回転の接線方向に伸縮する薄膜圧電体と、 前記スライダ保持機構と連結され前記薄膜圧電体を保持
   する基板とを含み、 前記薄膜圧電体に電圧が印加されると前記基板と前記薄
   膜圧電体とには反りが生じるとともに、前記基板には前
   記接線方向に直線変位が生じる、請求項１記載のヘッド
   支持機構。
3. 【請求項３】 前記スライダは、回転する前記ディス
   クとの間に適切な空気流を生じさせるエアーベアリング
   面を有し、 前記スライダ保持機構は、前記スライダが前記エアーベ
   アリング面の図心を中心に揺動するように前記スライダ
   を保持する、請求項１記載のヘッド支持機構。
4. 【請求項４】 前記スライダ保持機構は、前記図心に対
   応する位置に局部的に狭い幅で形成された弾性ヒンジ部
   を有し、 前記スライダ保持機構は、前記弾性ヒンジ部を中心に揺
   動する、請求項３記載のヘッド支持機構。
5. 【請求項５】 前記ヘッド支持機構は、前記スライダの
   姿勢が前記ディスクの回転の接線方向に対してピッチ方
   向とロール方向とに柔軟となるように前記スライダを支
   持するスライダ姿勢変換機構をさらに備える、請求項１
   記載のヘッド支持機構。
6. 【請求項６】 前記スライダ姿勢変換機構は、前記ロー
   ドビームの押圧により前記スライダ保持機構を押圧する
   突起部を含む、請求項５記載のヘッド支持機構。
7. 【請求項７】 前記突起部の表面は、前記スライダ保持
   機構が揺動する時に前記突起部の表面と前記スライダ保
   持機構との間で好ましくない摩擦が発生しない程度に十
   分粗い、請求項６記載のヘッド支持機構。
8. 【請求項８】 回転駆動されるディスクに対して少なく
   ともデータの再生を行うヘッドと、 前記ヘッドを保持するスライダと、 前記スライダの姿勢が前記ディスクの回転の接線方向に
   対してピッチ方向とロール方向とに柔軟となり、前記ス
   ライダの姿勢が前記ディスクの半径方向に対して高剛性
   を保つように前記スライダを支持するスライダ姿勢変換
   機構と、 前記スライダ姿勢変換機構を支持する平行リンク機構と
   を備えるヘッド支持機構。
9. 【請求項９】 前記平行リンク機構は、ベースプレート
   と、前記ベースプレート上に設けられるフレクスチャを
   含み、 前記平行リンク機構は、前記スライダ姿勢変換機構が前
   記ベースプレートの面と平行を保つように前記スライダ
   姿勢変換機構を支持する、請求項８記載のヘッド支持機
   構。
10. 【請求項１０】 前記ヘッド支持機構は、前記スライダ
    を前記スライダ姿勢変換機構を介して前記ディスクに押
    圧するロードビームをさらに含み、 前記平行リンク機構は、前記ロードビームの押圧による
    前記スライダ姿勢変換機構の高さ方向の移動量にかかわ
    らず、前記スライダ姿勢変換機構が前記ベースプレート
    の面と平行を保つように前記スライダ姿勢変換機構を支
    持する、請求項９記載のヘッド支持機構。
11. 【請求項１１】 前記平行リンク機構は、前記スライダ
    に対して前記ベースプレート側に連結される第１リンク
    と、 前記スライダに対して前記ベースプレートと反対側に連
    結される第２リンクとを含み、 前記第１リンクの前記ベースプレートに対する有効長さ
    と前記第２リンクの前記ベースプレートに対する有効長
    さとが、実質的に等しい、請求項９記載のヘッド支持機
    構。
12. 【請求項１２】 前記第２リンクは、前記ディスクの半
    径方向に対して前記スライダ姿勢変換機構の両側に配置
    される第３リンクと第４リンクとを含み、 前記第１リンクの幅と、前記第３リンクの幅と前記第４
    リンクの幅との和とは、実質的に等しい、請求項１１記
    載のヘッド支持機構。