JP2000314671A - エアリークテスト方法における待ち時間決定方法及び演算部チェック方法、並びにエアリークテスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エアリークテストにおける測定待ち時間の決
定を、簡単な工程で行うことができるようにする。 【解決手段】 テストモードにおいて、圧力供給ライン
１０Ａ，１０Ｂに基準容器Ｌａ，被検査容器Ｌｂを接続
し、エア圧源１から圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂにテ
スト圧を付与した後、弁１２Ａ，１２Ｂを閉じる。この
弁閉じから所定の待ち時間経過した時に、圧力センサ５
の差圧情報に基づいてエアリーク測定を開始する。この
待ち時間を決定するモードでは、上記テストモードと同
様にテスト圧付与、弁閉じの後、エアシリンダ２０のピ
ストン２１を移動手段３０により一定速度で移動させ
る。すなわち、単位時間当たり一定量の擬似漏れを生じ
させる。そして、上記弁閉じからの圧力センサ５の検出
差圧の変化を監視し、リニアに変化し始めるまでの時間
を計測する。この計測時間に基づいて上記待ち時間を決
定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、エアリークテス
ト方法における待ち時間決定方法及び演算部チェック方
法、並びにエアリークテスタに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば差圧式のエアリークテスタは、漏
れの無い基準容器（マスターワーク）に通じる第１の圧
力供給ラインと、被検査容器（被検査ワーク）に通じる
第２の圧力供給ラインと、両者の差圧を検出する圧力セ
ンサとを備えている。そして、これら第１，第２の圧力
供給ラインにテスト圧を供給した状態でこれら圧力供給
ラインに設けられた弁を同時に閉じ、その後で、この圧
力センサからの差圧情報に基づいて被検査容器のエアリ
ークを測定するようになっている。

【０００３】ところで、上記エアリークテストにおい
て、弁を閉じて圧力供給ラインが閉鎖された直後は、圧
力が不安定である。これは弁のシール材の圧力による変
形や圧縮熱の低下に起因する。このような圧力変動は、
時間の経過に伴い解消される。したがって、上記エアリ
ーク測定は、正確を期すために、上記圧力供給ラインの
閉鎖時点から所定の待ち時間が経過した時点で開始する
必要がある。上記圧力供給ラインの閉鎖時点からの圧力
変動は、エアリークテスタの構造、テスト圧、被検査ワ
ークの容積等によって異なるため、これらに応じて上記
待ち時間を決定する必要がある。

【０００４】従来では、次のようにして待ち時間を決定
していた。すなわち、基準容器の他に、エアリーク量が
わかっている被検査容器の見本、例えば許容限界のエア
リークがある被検査容器の見本を用意する。これら基準
容器と見本を上記第１，第２の圧力供給ラインに接続す
る。そして、テスト圧付与状態で上記圧力供給ラインを
閉鎖してから仮決定の待ち時間経過した時に、上記差圧
情報に基づくエアリークの測定を開始する。上記動作を
多数回行い、このエアリークのデータにバラツキがない
か否か、上記見本で見込まれるエアリークと一致するか
否かを判断する。否定判断の場合には、上記待ち時間を
長くして、再び同様のデータを採る。そして、バラツキ
がなく上記見本で見込まれるエアリークと一致するデー
タが得られるよう、上記待ち時間を決定する。しかも、
エアリークテストに要する時間を短縮するため、この待
ち時間はできるだけ短くするように決定する必要があ
る。

【０００５】他の従来例として次のようなエアリークテ
スタもある。すなわち、弁のシール材の圧力による変形
や圧縮熱の低下に起因する圧力変動が非リニアであるこ
とに着目する。詳述すると、上記圧力供給ラインを閉じ
てから、演算部によって検出差圧を監視し、この検出差
圧がリニアに変化する領域でのデータに基づき、このリ
ニア変化領域での監視時間より長い所定時間のエアリー
ク量を予測演算し、テスト時間の短縮を図っている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】最初に述べた従来例で
は、待ち時間を仮決定して多数回のテストを行い試行錯
誤を繰り返すため、待ち時間を決定する作業が煩雑であ
った。また、待ち時間を正確に決定するために、複数の
見本について上記テストを行うのが望ましく、この場合
にはより一層作業が煩雑であった。また、後に述べた従
来例では、待ち時間を決定する必要がないが、演算部の
チェックを厳密に行う必要があった。なお、エアシリン
ダと移動手段を備えて診断を行うエアリークテスタが特
開平８−３１３３８４号公報に開示されているが、ここ
では、検出圧力の非リニアな変化とリニアな変化に対す
る考察が欠けている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様は、
テストモードにおいて、被検査ワークに通じる圧力供給
ラインにテスト圧を供給した状態でこの圧力供給ライン
を閉鎖し、この圧力供給ラインの閉鎖から所定の待ち時
間が経過した時に、圧力供給ラインに接続された圧力セ
ンサからの圧力情報に基づいて上記被検査ワークのエア
リーク測定を開始するエアリークテスト方法において、
上記テストモードと同様に上記圧力供給ラインに上記テ
スト圧を付与して閉鎖し、上記圧力供給ラインに接続さ
れたエアシリンダのピストンを一定速度で移動させ、上
記圧力供給ラインの閉鎖時点から上記圧力センサの検出
圧力がリニアに変化し始めるまでの時間を計測し、この
計測時間に基づいて、上記テストモードでの上記待ち時
間を決定することを特徴とする。

【０００８】本発明の第２の態様は、テストモードにお
いて、漏れの無いマスターワークに通じる第１の圧力供
給ラインと被検査ワークに通じる第２の圧力供給ライン
とにテスト圧を供給した状態でこれら圧力供給ラインを
閉鎖し、この圧力供給ラインの閉鎖から所定の待ち時間
が経過した時に、これら第１の圧力供給ラインと第２の
圧力供給ラインとの間に接続された圧力センサからの差
圧情報に基づいて上記被検査ワークのエアリーク測定を
開始するエアリークテスト方法において、上記テストモ
ードと同様に上記第１，第２の圧力供給ラインに上記テ
スト圧を付与して閉鎖し、上記第１，第２の圧力供給ラ
インのいずれか一方に接続されたエアシリンダのピスト
ンを一定速度で移動させ、上記圧力供給ラインの閉鎖時
点から上記圧力センサの検出差圧がリニアに変化し始め
るまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて、上記
テストモードでの上記待ち時間を決定することを特徴と
する。

【０００９】本発明の第３の態様は、テストモードにお
いて、被検査ワークに通じる圧力供給ラインにテスト圧
を供給した状態でこの圧力供給ラインを閉鎖した後、演
算部によって、圧力供給ラインに接続された圧力センサ
での検出圧力を監視し、この検出圧力がリニアに変化す
る領域でのデータに基づき、このリニア変化領域での監
視時間より長い所定時間のエアリーク量を予測演算する
エアリークテスト方法において、上記圧力供給ラインに
上記テスト圧を付与して閉鎖し、上記圧力供給ラインに
接続されたエアシリンダのピストンを一定速度で移動さ
せ、この過程で上記演算部により演算されるエアリーク
量が上記エアシリンダのピストン移動によって見込まれ
る擬似漏れ量と一致するか否かをチェックすることを特
徴とするエアリークテスト方法における演算部チェック
方法。

【００１０】本発明の第４の態様は、テストモードにお
いて、漏れの無いマスターワークに通じる第１の圧力供
給ラインと被検査ワークに通じる第２の圧力供給ライン
とにテスト圧を供給した状態でこれら圧力供給ラインを
閉鎖した後、演算部によって、これら第１の圧力供給ラ
インと第２の圧力供給ラインとの間に接続された圧力セ
ンサでの検出差圧を監視し、この検出差圧がリニアに変
化する領域でのデータに基づき、このリニア変化領域で
の監視時間より長い所定時間のエアリーク量を予測演算
するエアリークテスト方法において、上記第１，第２の
圧力供給ラインに上記テスト圧を付与して閉鎖し、上記
第２の圧力供給ラインに接続されたエアシリンダのピス
トンを一定速度で移動させ、この過程で上記演算部によ
り演算されるエアリーク量が上記エアシリンダのピスト
ン移動によって見込まれる擬似漏れ量と一致するか否か
をチェックすることを特徴とするエアリークテスト方法
における演算部チェック方法。

【００１１】本発明の第５の態様は、被検査ワークに通
じる圧力供給ラインと、上記圧力供給ラインにテスト圧
を供給するエア圧源と、上記圧力供給ラインに設けられ
た弁と、上記圧力供給ラインに接続された圧力センサ
と、テストモードにおいて、圧力供給ラインに上記エア
圧源からのテスト圧を付与した状態で上記弁を閉じ、こ
の弁閉じに伴う圧力供給ラインの閉鎖から所定の待ち時
間が経過した時に、上記圧力センサからの圧力情報に基
づいて上記被検査ワークのエアリーク測定を開始する演
算制御手段と、を備えたエアリークテスタにおいて、さ
らに、上記圧力供給ラインに接続されたエアシリンダ
と、このエアシリンダのピストンを軸方向に一定速度で
移動させる移動手段とを備え、上記演算制御手段は、上
記テストモードの他に待ち時間決定モードをも実行し、
この待ち時間決定モードにおいて、上記圧力供給ライン
に上記テスト圧を付与した状態で、上記弁を閉じて圧力
供給ラインを閉鎖し、上記移動手段を駆動させてエアシ
リンダのピストンを一定速度で移動させ、上記圧力供給
ラインの閉鎖時点から上記圧力センサの検出圧力がリニ
アに変化し始めるまでの時間を計測し、この計測時間に
基づいて、上記テストモードでの待ち時間を決定するこ
とを特徴とする。

【００１２】本発明の第６の態様は、マスターワークに
通じる第１の圧力供給ラインと、被検査ワークに通じる
第２の圧力供給ラインと、上記第１，第２圧力供給ライ
ンにテスト圧を付与するエア圧源と、上記第１，第２の
圧力供給ラインにそれぞれ設けられた弁と、上記第１の
圧力供給ラインと第２の圧力供給ラインとの間の差圧を
検出する圧力センサと、テストモードにおいて、上記第
１，第２の圧力供給ラインに上記エア圧源からのテスト
圧を付与した状態でこれら圧力供給ラインに設けられた
弁を同時に閉じ、これら弁閉じに伴う第１，第２の圧力
供給ラインの閉鎖から所定の待ち時間が経過した時に、
上記圧力センサからの差圧情報に基づいて上記被検査ワ
ークのエアリーク測定を開始する演算制御手段と、を備
えたエアリークテスタにおいて、さらに、上記第１及び
第２の圧力供給ラインのいずれか一方に接続されたエア
シリンダと、このエアシリンダのピストンを軸方向に一
定速度で移動させる移動手段とを備え、上記演算制御手
段は、上記テストモードの他に待ち時間決定モードをも
実行し、この待ち時間決定モードにおいて、上記第１，
第２の圧力供給ラインに上記テスト圧を付与した状態
で、上記弁を閉じてこれら圧力供給ラインを閉鎖し、上
記移動手段を駆動させてエアシリンダのピストンを一定
速度で移動させ、上記圧力供給ラインの閉鎖時点から上
記圧力センサの検出差圧がリニアに変化し始めるまでの
時間を計測し、この計測時間に基づいて、上記テストモ
ードでの待ち時間を決定することを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施形態を、
図面を参照して説明する。図１に示すように、エアリー
クテスタは、正圧のエア圧源１に接続される主電磁切換
弁２を有している。この主電磁切換弁２の下流側は第１
の圧力供給ライン１０Ａと、第２の圧力供給ライン１０
Ｂとに分岐されている。上記主電磁切換弁２は、２位置
３ポートの電磁切換弁であり、中立位置では圧力供給ラ
イン１０Ａ，１０Ｂを大気に解放し、ソレノイドオンの
時のオフセット位置では、エア圧源１のテスト圧を圧力
供給ライン１０Ａ，１０Ｂに供給するようになってい
る。

【００１４】第１の供給ライン１０Ａの先端には、継手
１１Ａを介して基準容器Ｌａ（マスターワーク）が接続
されており、第２の圧力供給ライン１０Ｂの先端には、
継手１１Ｂを介して被検査容器Ｌｂ（被検査ワーク）が
接続されるようになっている。なお、基準容器Ｌａは、
漏れの無いことが確認されているものであり、被検査容
器Ｌｂと同一形状，同一容積とするのが好ましい。

【００１５】上記圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂには、
常開の電磁切換弁１２Ａ，１２Ｂが設けられている。上
記圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂにおいて切換弁１２
Ａ，１２Ｂの下流側間には、差圧検出型の圧力センサ５
が接続されている。また、圧力供給ライン１０Ａ，１０
Ｂの一方（本実施形態では第２圧力供給ライン１０Ｂ）
には、補助圧力センサ６が接続されている。

【００１６】上記圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂの一方
（本実施形態では第２圧力供給ライン１０Ｂ）には、エ
アシリンダ２０が接続されている。このエアシリンダ２
０のピストン２１は、移動手段３０により軸方向に定速
度で移動されるようになっている。

【００１７】次に、上記エアシリンダ２０および移動手
段３０の構造について、図２を参照して説明する。上記
エアシリンダ２０は、シリンダチューブ２２と、このシ
リンダチューブ２２内を気密を保ちながら摺動するピス
トン２１とを備えている。シリンダチューブ２２の一端
部は、継手２３およびパイプ２４を介して上記第２圧力
供給ライン１０Ｂに接続されている。

【００１８】上記移動手段３０は、パルスモータ３５
と、このパルスモータ３５の回転をピストン２１の直線
運動に変換する変換機構４０と備えている。変換機構４
０は、一対の軸受４１により回転可能に支持されてピス
トン２１と平行に延びるねじ棒４２を有している。この
ねじ棒４２の一端は、歯車４３，４４を介してパルスモ
ータ３５の出力軸３５ａに連結されており、パルスモー
タ３５からの回転を伝達されるようになっている。ねじ
棒４２には、移動部材４５が螺合されている。この移動
部材４５は、ロッド４６，連結部材４７を介してピスト
ン２１の端部に連結されている。なお、連結部材４７
は、シリンダチューブ２２の他端に同軸をなして連結さ
れた案内筒４８内をスライドするようになっている。案
内筒４８にはロッド４６を収容する軸方向に延びるスリ
ット４８ａが形成されている。

【００１９】さらに、本実施形態のエアリークテスタ
は、図３に示すように、ＣＲＴ等の表示装置５０（表示
手段）と、制御ユニット６０（演算制御手段）と、入力
装置６５を備えている。制御ユニット６０は、実質的に
制御部６１と演算部６２とを有している。上記制御ユニ
ット６０は、テストモード、待ち時間決定モード、診断
モードをそれぞれ指令するモードスイッチ（図示しな
い）からの信号により、各種モードを実行するようにな
っており、圧力センサ５，６の信号を受け、電磁弁２，
１２Ａ，１２Ｂ，パルスモータ３５，表示装置５０を制
御する。なお、入力装置６５は、許容限度の単位時間当
たりの大気圧換算漏れ量を入力するようになっている。

【００２０】上記構成のエアリークテスタにおいて、制
御ユニット６０によるテストモードでの作用を説明す
る。圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂに基準容器Ｌａと被
検査容器Ｌｂを取り付けた状態で、電磁切換弁２をオン
することにより、テスト圧を、圧力供給ライン１０Ａ，
１０Ｂを介して、基準容器Ｌａおよび被検査容器Ｌｂに
供給する。そして、供給圧力が安定した後に、電磁切換
弁１２Ａ，１２Ｂを同時にオンして閉じ、圧力供給ライ
ン１０Ａ，１０Ｂを互いに独立した閉鎖系にする。

【００２１】上記制御ユニット６０は、上記圧力供給ラ
イン１０Ａ，１０Ｂが閉鎖されてから所定の待ち時間経
過した時、エアリーク測定を開始する。この待ち時間に
おいて、エアリークとは無関係な圧力変動、すなわち圧
縮熱の低下、電磁切換弁１２Ａ，１２Ｂのシール材の変
形等に伴う圧力変動が生じるが、この待ち時間経過時点
で、圧力は安定する。ただし、この圧力変動の結果、た
とえエアリークが無くても圧力供給ライン１０Ａ，１０
Ｂに差圧が生じることがあるので、この時の圧力センサ
５の出力電圧が差圧ゼロを示すように、零点補正してお
く。

【００２２】そして、上記零点補正時点（測定開始時
点）から所定の測定時間経過した時の圧力センサ５の検
出差圧（測定時間における差圧の変化）を読み込み、エ
アリークを測定する。この検出差圧がゼロのままであれ
ば被検査容器Ｌｂにエアリークが無いことが分かる。被
検査容器Ｌｂに許容限度を超える欠陥がある場合には、
エアリークが生じて上記検出差圧が増大する。この場合
には、ブザーを鳴らして被検査容器Ｌｂが不合格品であ
ることを知らせる。

【００２３】本実施形態での良否判定をより詳しく説明
する。上記検出差圧と上記補助圧力センサ６で検出され
たテスト圧とから大気圧換算でのエアリーク量を演算
し、この大気圧換算エアリーク量を上記入力装置６５か
ら入力された許容限度の単位時間当たりの大気換算エア
リーク量に上記測定時間を乗じた閾値（上記検出差圧の
許容値に対応する）と比較して良否判定をする。上述し
たように、圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂの閉鎖から所
定時間待ってエアリークの測定を行うので、正確な測定
を行うことができ、ひいては被検査容器Ｌｂの良否判定
を正確に行うことができる。

【００２４】最後に、電磁切換弁２，１２Ａ，１２Ｂを
同時にオフして、基準容器Ｌａ，被検査容器Ｌｂを大気
解放することにより、テストモードが終了する。その後
で、被検査容器Ｌｂを継手１１Ｂから取り外し、新たな
被検査容器Ｌｂを取り付けて、再びテストを行う。

【００２５】上記テストモードでの待ち時間は、次のよ
うにして決定される。漏れのないことが確認されている
被検査容器Ｌｂを圧力供給ライン１０Ｂに接続し、基準
容器Ｌａを圧力供給ライン１０Ａに接続する。この状態
で、待ち時間決定モードのためのスイッチをオンする
と、制御ユニット６０は、待ち時間決定モードの実行を
開始し、上記テストモードと同様に電磁弁２をオンして
圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂに上記テスト圧を供給す
る。

【００２６】さらに制御ユニット６０は、圧力供給ライ
ン１０Ａ，１０Ｂがテスト圧で安定した後、電磁切換弁
１２Ａ，１２Ｂをオンして圧力供給ライン１０Ａ，１０
Ｂを閉じ、これと同時に又は若干遅れてパルスモータ３
５を駆動し、エアシリンダ２０のピストン２１を一定速
度で移動させることにより、エアシリンダ２０の容積を
一定速度で増大させる。すなわち、パルスモータ３５が
定速回転し、このパルスモータ３５の回転がねじ棒４２
に伝達され、このねじ棒４２と移動部材４５の螺合によ
り、移動部材４５が直線運動し、この移動部材４５の直
線運動が、ロッド４６と連結部材４７を介してピストン
２１に伝達される。

【００２７】上記ピストン２１の移動速度Ｓは、このエ
アシリンダ２０による擬似漏れが上記入力装置６５によ
る許容限度の単位時間当たりの大気圧換算エアリーク量
Ｖｘとなるように、次式によって決定される。 Ｓ＝｛Ｖｘ・Ｐ’／Ｐｔ｝／Ａ ここで、Ｓはピストン２１の移動速度，Ｐ’は大気圧、
Ｐｔは圧力センサ６で検出されるテスト圧、Ａはピスト
ン２１の断面積である。

【００２８】上記のようにピストン２１を定速移動させ
ると、エアシリンダ２０の容積がリニアに増大し（一定
速度で増大し）、これに伴い、圧力センサ５で検出され
る差圧もリニアに変化するはずである。ところで、この
待ち時間決定モードでも、テストモードと同様に、圧縮
熱の低下、電磁切換弁１２Ａ，１２Ｂのシール材の変形
等に伴う圧力変動が生じるため、図４に示すように検出
差圧が乱れる。そして、この圧力変動が解消した後に検
出差圧は上記エアシリンダ２０による擬似漏れだけに対
応してリニアに変化することになる。

【００２９】図４において、符号ｔ０は電磁切換弁１２
Ａ，１２Ｂの閉じ時点を示し、符号ｔ１は検出差圧がリ
ニアに変化し始める時点を示す。制御ユニット６０は、
内蔵するタイマで、この閉じ時点ｔ０からリニアな変化
の開始時点ｔ１までの時間Δｔを計測する。この計測時
間Δｔは、正確なエアリーク測定を行うために最低限必
要な時間である。制御ユニット６０は、この計測時間Δ
ｔまたはこれに所定の余裕時間を加算した時間を、上記
テストモードでの待ち時間とする。この際、差圧のリニ
アな変化が、上記許容限度の単位時間当たりの大気圧換
算エアリーク量に対応するか否かもチェックし、上記待
ち時間を最終決定する。

【００３０】上記のように、エアシリンダ２０による単
位時間当たり一定量の擬似漏れを利用することにより、
テストモードでの待ち時間を、簡単な工程で正確に決定
することができる。なお、上記エアシリンダ２０の擬似
漏れの際に、表示装置５０に図４に相当する差圧変化を
表示し、これを試験者が目で見て上記待ち時間を決定し
てもよい。

【００３１】次に、診断モードについて簡単に説明す
る。この診断モードは、定期的に，例えば３ヶ月に１回
程度行われる。漏れのないことが確認されている被検査
容器Ｌｂを圧力供給ライン１０Ｂに接続し、基準容器Ｌ
ａを圧力供給ライン１０Ａに接続する。この状態で、診
断モードのためのスイッチをオンすると、制御ユニット
６０は、診断モードの実行を開始し、上記テストモード
と同様に電磁弁２をオンして圧力供給ライン１０Ａ，１
０Ｂに上記テスト圧を供給した後、電磁切換弁１２Ａ，
１２Ｂを閉じる。

【００３２】次に、上記待ち時間決定モードと同様に、
エアシリンダ２０を駆動し、許容限度の単位時間当たり
の大気圧換算エアリーク量が得られるように、擬似漏れ
を生じさせる。そして、テストモードと同様に上記待ち
時間経過した時に零点補正して、それから所定の測定時
間経過後の差圧を検出し、この検出差圧が上記許容限度
の大気圧換算エアリーク量に対応するか否かをチェック
して、圧力センサ５を含むシステムの診断を行う。な
お，この診断モードにおいて、表示装置５０に差圧の変
化を表示し、上記擬似漏れに対応するリニアな変化をし
ているか否かをチェックするようにしてもよい。

【００３３】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。この実施形態では、待ち時間の設定はない。テ
ストモードでは、上記と同様に、テスト圧を、圧力供給
ライン１０Ａ，１０Ｂを介して、基準容器Ｌａおよび被
検査容器Ｌｂに供給した後に、電磁切換弁１２Ａ，１２
Ｂを同時にオンして閉じ、圧力供給ライン１０Ａ，１０
Ｂを互いに独立した閉鎖系にする。上記制御ユニット６
０は、上記圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂが閉鎖してか
ら、圧力センサ５の検出差圧を読み込む。この検出差圧
は、上述したように、最初非リニアに変化し、それから
被検査容器Ｌｂの傷の程度に応じてリニアに変化する
（傷が無い場合には変化ゼロになるが、この変化ゼロの
領域もリニア変化領域とする）。

【００３４】制御ユニット６０は、上記検出差圧を監視
し、非リニア領域のデータは無視し、リニア変化が開始
されてからのデータを用いてエアリーク量を演算する。
この際、リニア変化が開始されてからの比較的短い監視
時間（例えば２秒）のデータを用いて、この監視時間よ
り長い所定時間（例えば１０秒）でのエアリーク量を予
測演算する。この予測演算されるエアリーク量は、第１
実施形態と同様に大気圧換算でのエアリ−ク量とするの
が好ましいが、テスト圧でのエアリーク量であってもよ
い。予測演算されたエアリーク量を用いた良否判定に関
しては、第１実施形態と同様である。

【００３５】上記のように制御ユニット６０の演算部６
２は、予測演算を行うので、厳密な性能チェックが要求
される。そこで、第１実施形態と同様の診断モードを実
行する。すなわち、漏れのないことが確認されている被
検査容器Ｌｂを圧力供給ライン１０Ｂに接続し、基準容
器Ｌａを圧力供給ライン１０Ａに接続し、電磁弁２をオ
ンして圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂに上記テスト圧を
供給した後、電磁切換弁１２Ａ，１２Ｂを閉じる。

【００３６】次に、エアシリンダ２０を駆動し、許容限
度の単位時間当たりの大気圧換算エアリーク量が得られ
るように、擬似漏れを生じさせる。この過程で、演算部
６２では、テストモードと同様にして、所定時間の大気
圧換算エアリーク量を予測演算する。演算部６２が正常
であれば、この演算結果は、上記エアシリンダ２０の駆
動による単位時間当たりの大気圧換算エアリーク量に所
定時間を乗じた大気圧換算エアリーク量と一致するはず
である。このようにして圧力センサ５および演算部６２
のチェックを行うことができる。

【００３７】本発明は上記実施形態に制約されず、種々
の態様が可能である。例えば、第１実施形態では、第１
圧力供給ライン１０Ａにエアシリンダ２０を接続して
も、上記と同じ作用効果が得られる。第１，第２の実施
形態の圧力供給ライン１０Ａ，１０Ｂにおいて、電磁切
換弁１２Ａ，１２Ｂの下流側に常開の手動切換弁を設け
てもよい。この場合、待ち時間決定モード、診断モード
において、手動切換弁が閉じられ、基準容器や被検査容
器の接続が省略される。第１，第２実施形態において、
エアリークテスタは差圧式でなくてもよい。この場合、
圧力供給ライン１０Ａは省かれ、圧力センサ５は、圧力
供給ライン１０Ｂの圧力を検出することになる。テスト
圧は負圧であってもよい。この場合、ピストン２１は、
エアシリンダ２０の容積を減少させる方向に移動され
る。第１実施形態において、待ち時間決定モードにおい
て、圧力センサの検出圧力，検出差圧から、大気圧換算
エアリーク量を演算して、この演算値を監視し、この演
算値がリニアに変化し始めるまでの時間を計測してもよ
い。これは、上記検出圧力，検出差圧がリニアに変化し
始めるまでの時間を計測するのと実質的に同じである。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１，第
２，第５，第６の態様によれば、エアシリンダのピスト
ンを定速度で移動させ、このエアシリンダおよびこれと
接続関係にある圧力供給ラインを含む閉鎖系の容積を定
速度で変化させた状態で、圧力センサで検出される圧力
または差圧がリニアに変化し始めるまでの時間を計測
し、この計測時間に基づいてつとモードでの待ち時間を
決定するので、この待ち時間決定作業を非常に簡単な工
程で済ますことができる。本発明の第３，第４の態様に
よれば、エアリーク量を予測演算する演算部を簡単かつ
厳密にチェックすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態であるエアリークテスタ
の全体図である。

【図２】同エアリークテスタに組み込まれるエアシリン
ダと移動手段を示す断面図である。

【図３】同エアリークテスタの制御系のブロック図であ
る。

【図４】同エアリークテスタで実行される待ち時間決定
モードにおける検出差圧の変化を示す図である。

【符号の説明】

１ エア圧源 ５ 圧力センサ １０Ａ 第１の圧力供給ライン １０Ｂ 第２の圧力供給ライン １２Ａ，１２Ｂ 電磁切換弁（弁） ２０ エアシリンダ ２１ ピストン ３０ 移動手段 ６０ 制御ユニット（演算制御手段） ６２ 演算部 Ｌａ 基準容器（マスタワーク） Ｌｂ 被検査容器（被検査ワーク）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テストモードにおいて、被検査ワークに
   通じる圧力供給ラインにテスト圧を供給した状態でこの
   圧力供給ラインを閉鎖し、この圧力供給ラインの閉鎖か
   ら所定の待ち時間が経過した時に、圧力供給ラインに接
   続された圧力センサからの圧力情報に基づいて上記被検
   査ワークのエアリーク測定を開始するエアリークテスト
   方法において、 上記テストモードと同様に上記圧力供給ラインに上記テ
   スト圧を付与して閉鎖し、上記圧力供給ラインに接続さ
   れたエアシリンダのピストンを一定速度で移動させ、上
   記圧力供給ラインの閉鎖時点から上記圧力センサの検出
   圧力がリニアに変化し始めるまでの時間を計測し、この
   計測時間に基づいて、上記テストモードでの上記待ち時
   間を決定することを特徴とするエアリークテスト方法に
   おける待ち時間決定方法。
2. 【請求項２】 テストモードにおいて、漏れの無いマス
   ターワークに通じる第１の圧力供給ラインと被検査ワー
   クに通じる第２の圧力供給ラインとにテスト圧を供給し
   た状態でこれら圧力供給ラインを閉鎖し、この圧力供給
   ラインの閉鎖から所定の待ち時間が経過した時に、これ
   ら第１の圧力供給ラインと第２の圧力供給ラインとの間
   に接続された圧力センサからの差圧情報に基づいて上記
   被検査ワークのエアリーク測定を開始するエアリークテ
   スト方法において、 上記テストモードと同様に上記第１，第２の圧力供給ラ
   インに上記テスト圧を付与して閉鎖し、上記第１，第２
   の圧力供給ラインのいずれか一方に接続されたエアシリ
   ンダのピストンを一定速度で移動させ、上記圧力供給ラ
   インの閉鎖時点から上記圧力センサの検出差圧がリニア
   に変化し始めるまでの時間を計測し、この計測時間に基
   づいて、上記テストモードでの上記待ち時間を決定する
   ことを特徴とするエアリークテスト方法における待ち時
   間決定方法。
3. 【請求項３】 テストモードにおいて、被検査ワークに
   通じる圧力供給ラインにテスト圧を供給した状態でこの
   圧力供給ラインを閉鎖した後、演算部によって、圧力供
   給ラインに接続された圧力センサでの検出圧力を監視
   し、この検出圧力がリニアに変化する領域でのデータに
   基づき、このリニア変化領域での監視時間より長い所定
   時間のエアリーク量を予測演算するエアリークテスト方
   法において、 上記圧力供給ラインに上記テスト圧を付与して閉鎖し、
   上記圧力供給ラインに接続されたエアシリンダのピスト
   ンを一定速度で移動させ、この過程で上記演算部により
   演算されるエアリーク量が上記エアシリンダのピストン
   移動によって見込まれる擬似漏れ量と一致するか否かを
   チェックすることを特徴とするエアリークテスト方法に
   おける演算部チェック方法。
4. 【請求項４】 テストモードにおいて、漏れの無いマス
   ターワークに通じる第１の圧力供給ラインと被検査ワー
   クに通じる第２の圧力供給ラインとにテスト圧を供給し
   た状態でこれら圧力供給ラインを閉鎖した後、演算部に
   よって、これら第１の圧力供給ラインと第２の圧力供給
   ラインとの間に接続された圧力センサでの検出差圧を監
   視し、この検出差圧がリニアに変化する領域でのデータ
   に基づき、このリニア変化領域での監視時間より長い所
   定時間のエアリーク量を予測演算するエアリークテスト
   方法において、 上記第１，第２の圧力供給ラインに上記テスト圧を付与
   して閉鎖し、上記第２の圧力供給ラインに接続されたエ
   アシリンダのピストンを一定速度で移動させ、この過程
   で上記演算部により演算されるエアリーク量が上記エア
   シリンダのピストン移動によって見込まれる擬似漏れ量
   と一致するか否かをチェックすることを特徴とするエア
   リークテスト方法における演算部チェック方法。
5. 【請求項５】被検査ワークに通じる圧力供給ラインと、 上記圧力供給ラインにテスト圧を供給するエア圧源と、 上記圧力供給ラインに設けられた弁と、 上記圧力供給ラインに接続された圧力センサと、 テストモードにおいて、圧力供給ラインに上記エア圧源
   からのテスト圧を付与した状態で上記弁を閉じ、この弁
   閉じに伴う圧力供給ラインの閉鎖から所定の待ち時間が
   経過した時に、上記圧力センサからの圧力情報に基づい
   て上記被検査ワークのエアリーク測定を開始する演算制
   御手段と、 を備えたエアリークテスタにおいて、 さらに、上記圧力供給ラインに接続されたエアシリンダ
   と、このエアシリンダのピストンを軸方向に一定速度で
   移動させる移動手段とを備え、 上記演算制御手段は、上記テストモードの他に待ち時間
   決定モードをも実行し、この待ち時間決定モードにおい
   て、上記圧力供給ラインに上記テスト圧を付与した状態
   で、上記弁を閉じて圧力供給ラインを閉鎖し、上記移動
   手段を駆動させてエアシリンダのピストンを一定速度で
   移動させ、上記圧力供給ラインの閉鎖時点から上記圧力
   センサの検出圧力がリニアに変化し始めるまでの時間を
   計測し、この計測時間に基づいて、上記テストモードで
   の待ち時間を決定することを特徴とするエアリークテス
   タ。
6. 【請求項６】マスターワークに通じる第１の圧力供給ラ
   インと、 被検査ワークに通じる第２の圧力供給ラインと、 上記第１，第２圧力供給ラインにテスト圧を付与するエ
   ア圧源と、 上記第１，第２の圧力供給ラインにそれぞれ設けられた
   弁と、 上記第１の圧力供給ラインと第２の圧力供給ラインとの
   間の差圧を検出する圧力センサと、 テストモードにおいて、上記第１，第２の圧力供給ライ
   ンに上記エア圧源からのテスト圧を付与した状態でこれ
   ら圧力供給ラインに設けられた弁を同時に閉じ、これら
   弁閉じに伴う第１，第２の圧力供給ラインの閉鎖から所
   定の待ち時間が経過した時に、上記圧力センサからの差
   圧情報に基づいて上記被検査ワークのエアリーク測定を
   開始する演算制御手段と、 を備えたエアリークテスタにおいて、 さらに、上記第１及び第２の圧力供給ラインのいずれか
   一方に接続されたエアシリンダと、このエアシリンダの
   ピストンを軸方向に一定速度で移動させる移動手段とを
   備え、 上記演算制御手段は、上記テストモードの他に待ち時間
   決定モードをも実行し、この待ち時間決定モードにおい
   て、上記第１，第２の圧力供給ラインに上記テスト圧を
   付与した状態で、上記弁を閉じてこれら圧力供給ライン
   を閉鎖し、上記移動手段を駆動させてエアシリンダのピ
   ストンを一定速度で移動させ、上記圧力供給ラインの閉
   鎖時点から上記圧力センサの検出差圧がリニアに変化し
   始めるまでの時間を計測し、この計測時間に基づいて、
   上記テストモードでの待ち時間を決定することを特徴と
   するエアリークテスタ。