JP2000314763A

JP2000314763A - 半導体試験装置用シミュレータ及びシミュレートプログラムを記録した記録媒体

Info

Publication number: JP2000314763A
Application number: JP11125372A
Authority: JP
Inventors: Takahide Ono; 貴秀小野
Original assignee: Ando Electric Co Ltd
Current assignee: Ando Electric Co Ltd
Priority date: 1999-04-30
Filing date: 1999-04-30
Publication date: 2000-11-14

Abstract

(57)【要約】【課題】実機がなくとも半導体試験システムで使用さ
れるソフトウェアの保守を可能とする半導体試験装置用
シミュレータを提供する。【解決手段】シミュレータ本体１は、半導体を試験す
るテスタ装置の動作をシミュレートする。入力処理部１
０はオペレータの入力した命令を受信して命令解析処理
部１１に送出する。命令解析処理部１１は、入力された
命令を解析してそれが制御命令であるのか試験条件設定
命令であるのかを判別し、試験条件設定命令であれば当
該命令で指定されている試験条件を記憶する。また、命
令解析処理部１１は通信処理部１３を通じて制御命令を
シミュレータ本体１に送出するほか、制御命令が試験開
始指示であれば試験条件を併せて送出する。さらに、命
令解析処理部１１は出力処理部１２を制御して、入力さ
れた命令およびシミュレータ本体１から返送される応答
に応じて、操作装置上に表示されるのと同様の画面表示
を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体を試験する
半導体試験装置の動作をシミュレートする半導体試験装
置用シミュレータに関し、特に、半導体の試験を行うテ
スタ装置に対してオペレータが各種操作を行うための操
作装置の動作をシミュレートする技術に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図４はＩＣ（集積回路）などの半導体を
試験する半導体試験システムの一般的な構成を示したブ
ロック図である。図示したように、この種の半導体試験
システムはテスタ装置２０-1〜２０-8，操作装置２１-1
〜２１-8，ホストコンピュータ２２によって構成されて
いる。なお、同図ではテスタ装置や操作装置をそれぞれ
８台のみ示しているがこれら装置の台数は半導体試験シ
ステムの構成によって任意に変更されるものである。

【０００３】これらのうち、各テスタ装置は被測定デバ
イスである多数の半導体（図示省略）を試験するもので
あって、ホストコンピュータ２２から被測定デバイスを
試験するのに必要となる試験用プログラム（以下、「デ
バイスプログラム」という）をロードしてこれを実行す
る。また、操作装置は個々のテスタ装置に対応してお
り、オペレータからの指示に従って、対応するテスタ装
置へ試験条件を設定するなど試験に必要となる各種操作
を行うための装置であって、基本的に被測定デバイスの
試験に関わる操作のみを行うようになっている。一方、
ホストコンピュータ２２はテスタ装置２０-1〜２０-8の
全てを運用管理するコンピュータであって、デバイスプ
ログラムの作成，各テスタ装置によって生成された試験
結果の保存，試験結果の解析などを行っている。

【０００４】上記のような半導体試験システムで試験を
行うには、ホストコンピュータ２２上でデバイスプログ
ラムを予め作成しておき、このデバイスプログラムをホ
ストコンピュータ２２から各テスタ装置２０-1〜２０-8
に転送してこれらテスタ装置上にロードする。この後、
オペレータが操作装置２１-1〜２１-8をそれぞれ操作す
ることで、各テスタ装置２０-1〜２０-8上でデバイスプ
ログラムを走行させ、デバイスプログラムの走行が完了
した場合にはその結果をテスタ装置２０-1〜２０-8から
ホストコンピュータ２２に転送する。するとホストコン
ピュータ２２は、これらテスタ装置からの試験結果をハ
ードディスク等に保存したのち、試験結果の解析などを
適宜行うようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体試験
システムは一般に高額なものが多いことからユーザは１
台のシステムを使い続けることも多い。したがって、こ
うした半導体試験システムを長期にわたって保守してゆ
くためには、ユーザ先のみならずメーカ側においても半
導体試験システムを実際に維持管理してゆく必要があ
る。このことは、ユーザ先から半導体試験システムの仕
様変更や機能アップなどを要求された場合のほか、ユー
ザ先で使用されている半導体試験システムにおいて、シ
ステムを制御するソフトウェアに不具合が発見された場
合などに問題となる。

【０００６】例えば、こうしたソフトウェアの不具合を
修正するためには、不具合が本当に直っていることや当
該修正によって他の部分への影響が無いかなどを検証し
なければならない。しかしながら、ユーザ先でソフトウ
ェアのデバッグを行うわけにもゆかず、メーカ側に実機
が無ければソフトウェアの保守作業は非常に困難とな
る。また、仮にメーカ側に実機があったとしても、それ
を保守するための人員や故障が発生したときの修理用の
部品などを長年にわたって確保しておく必要がある。こ
のため、システム開発後はそれほど頻繁には必要とされ
ないにも拘わらず、保守に必要となる費用が莫大になっ
てしまうという問題がる。しかもこうした問題は、半導
体試験システムの老朽化につれてその運用がますます難
しくなってくると言える。

【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、実機がなくとも半導体試験システ
ムで使用されるソフトウェアの保守を可能とする半導体
試験装置用シミュレータを提供することにあり、特に、
操作装置部分の動作をシミュレートできる半導体試験装
置用シミュレータの提供を目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項１記載の発明は、与えられた制御命令およ
び試験条件に従って半導体の試験を行うテスタ装置の動
作を模擬する模擬手段と、オペレータによって与えられ
る命令を入力命令として受信する入力手段と、前記入力
命令を解析して、該入力命令が前記制御命令であるか、
あるいは、前記試験条件の指定された試験条件設定命令
であるかを判別する解析手段と、前記制御命令及び前記
試験条件をそれぞれ所定のタイミングで前記模擬手段に
送出し、該制御命令に対する応答を前記模擬手段から受
信する制御手段と、前記入力命令および前記模擬手段か
らの前記応答に応じて、前記テスタ装置の操作を行う操
作装置上に出力されるべき出力情報を生成する出力処理
手段とを具備することを特徴としている。また、請求項
２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記解
析手段は、前記制御命令として前記テスタ装置に対する
試験開始指示を検出し、前記制御手段は、前記試験条件
設定命令で指定されている前記試験条件を記憶する記憶
手段を備え、前記解析手段によって前記試験開始指示が
検出されたことを条件として、該試験開始指示とともに
前記記憶手段に記憶されている前記試験条件を前記模擬
手段に送出することを特徴としている。

【０００９】また、請求項３記載の発明は、請求項１又
は２記載の発明において、前記入力手段は、前記入力命
令を入力するための所定の入力機器と、前記入力機器上
に設けられた操作子と該操作子に予め割り当てられてい
る命令との間の対応関係を保持する保持手段と、前記操
作子の何れかが押下されたことを検出して、前記保持手
段上の前記対応関係に基づいて該操作子に対応した命令
を前記保持手段から取得して、取得された該命令を前記
解析手段に送出する手段とを具備することを特徴として
いる。また、請求項４記載の発明は、オペレータによっ
て与えられる命令を入力命令として受信する入力処理
と、前記入力命令を解析して、該入力命令が、与えられ
た制御命令および試験条件に従って半導体の試験を行う
テスタ装置に対する前記制御命令であるか、あるいは、
前記試験条件の指定された試験条件設定命令であるかを
判別する解析処理と、前記制御命令及び前記試験条件を
それぞれ所定のタイミングで送出する送信処理と、前記
送信処理によって送出された前記制御命令及び前記試験
条件に従って、前記テスタ装置の動作を模擬して、前記
制御命令に対する応答を出力する模擬処理と、前記制御
命令に対する前記応答を受信する受信処理と、前記入力
命令および前記制御命令に対する前記応答に応じて、前
記テスタ装置の操作を行う操作装置上に出力されるべき
出力情報を生成する出力処理とをコンピュータに実行さ
せることを特徴としている。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について説明する。ここでは、まず実際の半導
体試験システムで用いられている操作装置について図５
及び図６を参照して概観する。一般的な操作装置は、被
測定デバイスを試験するためのデバイスプログラムの番
号の選択してこれを表示する機能，デバイスプログラム
を実行するに先立って試験条件を設定してこれを表示す
る機能，試験結果である被測定デバイスの「PASS」（良
品）／“FAIL”（不良品）の別やそれらの個数を表示す
る機能，試験開始／試験中断の実行指示を行う機能など
を有している。

【００１１】ここで、図５及び図６では操作装置に設け
られた操作盤の概観図を図示の都合から２つに分割して
示すようにしている。これら両図に示されているボタン
／ランプ／表示器などは、後述する本実施形態の操作装
置シミュレータ内に設置されたディスプレイ装置上に表
示される項目の大部分に対応している。こうしたことか
ら、ここでは操作盤上の個々の部品についての説明は最
小限にとどめ、それらの詳細については図２を参照して
後述する。

【００１２】まず、図５において、１７個ある“■”は
何れも操作装置に対する命令ボタンであって、オペレー
タが何れかの命令ボタンを押下することによって、当該
命令ボタンに対応づけられている各種指示を操作装置に
指示することができる。また、５２個ある“□”は何れ
もランプであって、各ランプに対応した状態となってい
るときに点灯しさもなくば消灯するようになっている。
また、“▲”及び“▼”は、使用するデバイスプログラ
ムのプログラムに付けられた番号（“１”〜“９”の何
れかを選択するための番号選択ボタンであって、前者が
カウントアップ用，後者がカウントダウン用である。

【００１３】また、これら番号選択ボタンに隣接してそ
れらの左側に配置されているのは、ＤＵＴ（Device Und
er Test ；被測定デバイス）の番号表示を行うために設
けられた７セグメントのＬＥＤ（発光ダイオード）であ
る。さらに、上述した命令ボタンのうちの「SEL」命令
ボタンはＤＵＴの番号選択を完結されるためのボタンで
ある。なお、後述する本実施形態の操作装置シミュレー
タ２ではコマンドないしファンクションキーで各ＤＵＴ
を直接指定することができるため、図５に示されている
番号選択ボタン，「SEL」命令ボタン，ＬＥＤに一対一
に対応するものは特別設けられていない。

【００１４】一方、図６において、６個ある正方形状の
“□”は図５と同様に何れもランプである。また、４個
ある“○”はいずれもオシロスコープ接続用端子，４３
個ある縦長状の“□”はいずれも数字表示が可能な表示
器であって例えば上述した７セグメントＬＥＤである。
なお、「ALARM」項目に設けられた４個のランプと「CLO
CK」項目に設けられた４つの端子は何れもテスタ装置の
ハードウェア自体の異常表示や較正時などに使用される
ものである。これらは操作装置における操作とは直接関
連していないため、本実施形態の操作装置シミュレータ
２ではこれらに対応した機能は設けられていない。した
がって、ここでもそれらの詳細については説明を省略す
る。

【００１５】次に、図１は本実施形態による半導体試験
装置用シミュレータの構成を示すブロック図である。図
示したように、この半導体試験装置用シミュレータは、
図４に示した各テスタ装置の動作をシミュレートするた
めのシミュレータ本体１と、図４に示した各操作装置の
動作をシミュレートするための操作装置シミュレータ２
に大別される。シミュレータ本体１および操作装置シミ
ュレータ２は、オペレータとの間の入出力インタフェー
スとなる部分以外はいずれもソフトウェアによって実現
されている。このため、半導体試験装置用シミュレータ
はワークステーション等の一般的なコンピュータで実現
可能であって、場合によっては、半導体装置シミュレー
タ自体をホストコンピュータ上に搭載してしまっても良
い。なお、ここで言うコンピュータには、オペレーティ
ングシステムや周辺機器などのハードウェアも含まれ
る。

【００１６】そしてこれらコンピュータには、シミュレ
ータ本体１および操作装置シミュレータ２を実現するた
めのシミュレートプログラムが予め格納された記録媒体
と、これらコンピュータが記録媒体にアクセスするため
の駆動装置が接続され、あるいは、内蔵されている。記
録媒体としては、フロッピーディスク，マスクＲＯＭ
（読み出し専用メモリ），フラッシュメモリ，ＣＤ−Ｒ
ＯＭ（コンパクトディスクＲＯＭ），光磁気ディスク，
メモリカード，ハードディスクなど、コンピュータ読み
取り可能な記録媒体であれば任意のものであって良い。

【００１７】例えば上述した以外にも、ネットワーク，
電話回線等の通信回線を介してシミュレートプログラム
を送信する場合の通信線のように、短時間だけ動的にプ
ログラムを保持する伝送媒体や伝送波も含まれる。その
場合、コンピュータの内部に設置された揮発性メモリの
ように、一定の時間だけプログラムを保持するものも含
まれる。また、当該シミュレートプログラムは以下に詳
述する機能の一部のみを実現するものであっても良く、
例えば操作装置シミュレータ２の機能だけを実現するも
のであって良い。さらに、当該機能をコンピュータ上に
既に記録されているプログラムと組み合わせることによ
って実現できるもの（差分ファイル，差分プログラム）
などであっても良い。

【００１８】そして、記録媒体上に格納されているシミ
ュレートプログラムは当該記録媒体からプログラムファ
イルとしてコンピュータ上に予めインストールされ、実
際にシミュレートが必要となった時点でコンピュータの
主記憶上などに読み込まれ、当該コンピュータ上のプロ
セッサがシミュレートプログラムを実行する。これによ
って、シミュレートプログラムが以下に詳述する手順に
従ってコンピュータ内部に設置された各部の動作を制御
してシミュレート動作を行う。

【００１９】さて、図１に示した構成のうち、シミュレ
ータ本体１は、図４に示したテスタ装置をソフトウェア
的にシミュレートすることでテスタ装置を代替するもの
であって、当該テスタ装置上で実行される制御ソフトウ
ェアやデバイスプログラムはコードを変更することなく
そのまま当該シミュレータ本体１上で動作する。これに
よって、制御ソフトウェアやデバイスプログラムに対し
てあたかも実際のテスタ装置が存在しているかのように
見せかけている。もっとも、シミュレータ本体１には実
際に被測定デバイスが搭載されているわけではなく被測
定デバイスを試験しているわけでもないため、被測定デ
バイスの試験によって得られるはずの試験結果として
は、シミュレータ本体１に予め設定されているPASS／FA
ILの判定結果が操作装置シミュレータ２へ出力されるこ
とになる。なお、シミュレータ本体１としては、本発明
の出願人が先に出願した特願平１０−３６８２３８号
（発明の名称：エミュレートシステム，出願日：平成１
０年１２月２４日）等に開示されている技術を利用する
ことができる。

【００２０】次に、操作装置シミュレータ２において、
入力処理部１０はオペレータが操作装置を対象として入
力した命令を取り込んでこれを命令解析処理部１１に送
出する。このために、入力処理部１０はキーボード，マ
ウスといった一般的なコンピュータで用いられる入力機
器とそのドライバソフトウェアを備えている。また、入
力処理部１０はオペレータによってキーボード上のファ
ンクションキー（操作子）が押下された場合に、これを
当該ファンクションキーへ予め割り当てられているコマ
ンドに変換して命令解析処理部１１に渡すようにしてい
る。次に、命令解析処理部１１は入力処理部１０を介し
て与えられたオペレータの命令やコマンドを解析し、そ
の解析結果に応じて操作装置シミュレータ２内に設けら
れた各部を統括制御する。なお、命令解析処理部１１の
機能の詳細については後述する動作説明で明らかにす
る。

【００２１】次に、出力処理部１３は、オペレータによ
って入力された命令を命令解析処理部１１から受け取っ
てそのまま表示するほか、シミュレータ本体１から操作
装置シミュレータ２へ返送されてくる試験結果などの応
答を通信処理部１３を介して受信して表示する。このた
めに、出力処理部１３はディスプレイ装置，プリンタと
いった一般的なコンピュータで用いられる出力機器とそ
のドライバソフトウェアを備えている。なお、以下では
出力処理部１３を構成している出力機器としてディスプ
レイ装置を想定して説明を行うものとする。次に、通信
処理部１３はシミュレータ本体１と操作装置シミュレー
タ２との間におけるデータの送受信を司っており、命令
解析処理部１１からシミュレータ本体１に対して各種コ
マンドやデータを送信する送信処理と、シミュレータ本
体１から送られてくるテスト結果等の応答を受信してこ
れを命令解析処理部１２に転送する受信処理のみを行っ
ている。

【００２２】ここで、出力処理部１２のディスプレイ装
置上に表示される画面表示例を図２に示す。本実施形態
による半導体試験装置用シミュレータは、オペレータに
対して従来の操作装置によく似たマン・マシン・インタ
フェースを提供している。また本実施形態では、オペレ
ータの操作によって操作装置シミュレータ２へ与えるこ
との可能な指示（コマンド）の種類は従来と同じにして
あるほか、従来の操作装置には存在しない指示に対応す
るコマンドも幾つか用意してある。

【００２３】一方で、本実施形態の操作装置シミュレー
タ２は入力機器としてコンピュータに備えられているキ
ーボード等を流用しているため、実際の操作装置（図５
〜図６）に存在する多数のボタンの全てをファンクショ
ンキーといったキーボード上のキーに割り当てることが
できない。このため、操作装置シミュレータ２では一部
のボタンについてのみキーボード上のキーを割り当てる
ようにして、それ以外のボタンについては各ボタンに対
応したコマンドを作成することでボタン操作の代替手段
としている。このほか、本実施形態では操作装置をコン
ピュータに備えられたディスプレイ装置などで実現して
いるため、実際の操作装置と全く同じ画面イメージとし
て描写することは難しい場合もある。こうしたことか
ら、本実施形態の半導体試験装置用シミュレータでは、
ディスプレイ装置が持っている仕様に合致するように表
示のレイアウト等を適宜変更している。

【００２４】図２において、記号“ｘ”はそこに何らか
の文字ないし数字が表示されることを意味している。そ
して図２の第１行目は半導体試験装置用シミュレータの
タイトル表示である。次に、第２行目の「STATION」項
目には、各テスタ装置に設置されているステーションの
うち、選択されたステーションに付与されている固有の
ステーション番号が表示される。なお、ここで言うステ
ーションは、被測定デバイスを直接搭載して評価を行う
ためのテストヘッドと、テストヘッドをハンドラやプロ
ーバに接続可能とするためのマニピュレータで構成され
ている。次に、第３行目の「 PID（Program IDentifie
r）」項目には試験に使用されるデバイスプログラムの
うち、選択されたデバイスプログラムに付与されている
固有のプログラム番号（プログラム識別子）が表示され
る。

【００２５】次に、第４行目の「STATUS」項目にはテス
タ装置におけるテスト実行状態が表示される。このう
ち、「MULTI」項目は１回の試験で２個以上の被測定デ
バイスを試験する並列測定モード時に反転表示されるフ
ィールドである。なお、反転表示の代わりに高輝度表示
するなどしても良く、これはこれ以後に説明する各フィ
ールドについても同じであるが、以下では反転表示に統
一して説明する。また、「TEST」項目はテスタ装置で試
験実行中であるときに反転表示されるフィールドであ
る。また、「READY」項目は他の被測定デバイスに対し
て試験を実行中であって選択されている被測定デバイス
に関しては試験実行待ち状態にあるときに反転表示され
るフィールドである。

【００２６】また、「PAUSE」項目はデバイスプログラ
ム中に記述された「PAUSE ステートメント」が実行され
てテスタ装置が一時停止状態となったときに反転表示さ
れるフィールドである。また、「AUTOPM」項目はテスタ
装置によって実行される自己診断プログラムの結果が不
良であったときに反転表示されるフィールドである。さ
らに、「ERR」項目は図６に示した「ERROR」ランプに対
応するものであって、テスタ装置内で致命的なシステム
エラーが発生したときに反転表示されるフィールドであ
る。

【００２７】次に、第５行目の「RESULT」項目にはテス
タ装置による試験で得られた試験結果が表示される。こ
のうち、「PASS」は選択されている被測定デバイスが良
品であったときに反転表示されるフィールド，「FAIL-
DC」はＤＣテストにおいて被測定デバイスに不良が発見
された場合に反転表示されるフィールド，「FAIL-FUN
C」は被測定デバイスに対するファンクションテストに
おいて被測定デバイスに不良が発見された場合に反転表
示されるフィールドである。ここで、ＤＣテストとは被
測定デバイスの入出力信号端子／電源端子における直流
動作特性のテストのことである。

【００２８】また、ファンクションテストとは被測定デ
バイスが決められた機能仕様で動作するか否かを確認す
るためのテストであって、試験パターンを被測定デバイ
スの入力端子に順次印加して出力端子に現れるパターン
が期待値通りであるかをチェックするものである。な
お、図２および図５に示した「RESULT」項目の対応関係
であるが、図２に「PASS」，「FAIL-DC」，「FAIL-FU
N」で示したフィールドがそれぞれ図５に示した「PAS
S」，「DC」，「FUN」ランプにそれぞれ対応している。
ちなみに、図５では被測定デバイス毎にこれらランプが
設けられているが、図２では選択されている被測定デバ
イスについてのみ画面上に状態表示される。

【００２９】次に、第６行目の「POSITION」項目はデバ
イスプログラムに記述されたどのステートメントがテス
タ装置上で実行されているかを示している。このうち、
「SEQ」フィールドは図６の「SEQUENCE」項目に対応す
るものであってデバイスプログラム中の各テストシーケ
ンスに付与されている固有の番号，「LINE」フィールド
はデバイスプログラム上の行番号，「TEST」フィールド
は個々のテスト項目に付与されている項目番号であっ
て、これらの組み合わせによってデバイスプログラム上
のステートメントの位置が一意に特定される。

【００３０】次に、第７行目の「COUNTER」項目は試験
結果の累算値が表示される部分である。このうち、「PA
SS」フィールドは「良」判定された被測定デバイスの総
数が表示されるフィールド，「FAIL」項目は「不良」判
定された被測定デバイスの総数が表示されるフィール
ド，「TOTAL」項目は既に試験が行われた被測定デバイ
スの総数が表示されるフィールド，「PATTERN」項目は
既に試験が行われたテストパターンの総数が表示される
フィールドである。

【００３１】次に、第８行目〜第９行目の「BIN」項目
は、被測定デバイスを試験して得られた試験結果を１６
カテゴリ（１６等級）に分類したときに、試験結果がこ
れらカテゴリのいずれに属するかを被測定デバイス毎に
示すためのフィールドであって、各被測定デバイスにつ
いて“１”〜“１６”の表示フィールドのうちの何れか
一つが反転表示される。いま、例えばカテゴリを２分類
とした場合は通常用いられるテスト結果のように“PAS
S”および“FAIL”のいずれかに分類されることになる
が、本実施形態で用いられるテスタ装置ではテスト結果
を少なくとも１６種類に分類することができる。この場
合には、例えば“１”が最高品質を示し、“１６”が最
低品質を示し、“２”〜“１５”はこれらの間の段階的
な品質を示すことになる。

【００３２】なお、この場合は被測定デバイスとして
「DUT1」及び「DUT2」の２個についてのみ示してある。
図５では「DUT3」及び「DUT4」についても「BIN」項目
が存在していたが、図２では説明の都合からこれらの図
示を省略してある。このことは図５に示されている「DU
T3」，「DUT4」ランプや図６に示されている「XBIN」項
目の「DUT3」，「DUT4」表示器についても同様である。
また、図２の第１０行目〜第１１行目に設けられた「XB
IN」項目も「BIN」項目と同様であって、上述した１６
種類以外のカテゴリが存在する場合にそのカテゴリに対
応する番号が被測定デバイス毎に表示されるフィールド
である。

【００３３】次に、第１２行目の〔Ｆ１〕〜〔Ｆ５〕項
目はいずれもキーボードに設けられたファンクションキ
ーを意味しており、例えば“Ｆ１”のラベルが付与され
たファンクションキーを押下することによってトグル動
作して、第１３行目の「FLAG1」項目が反転表示から非
反転表示に変わり、あるいは、非反転表示から反転表示
に変わる。これによって、図５に示した「FLG1」命令ボ
タンを押下したときと等価な機能を実現している、ここ
で、図２に示した「FLAG1」〜「FLAG3」の各項目は、図
５に示した「FLG1」〜「FLG3」命令ボタンにそれぞれ対
応するものである。また、図２においては、図５に示さ
れていた「FLG4」命令ボタンに対応するものは説明の都
合から図示を省略してある。

【００３４】そしてこれら各フラグ項目は、デバイスプ
ログラム中のステートメントが実行されるときの流れを
変更するためのフラグにそれぞれ対応しており、ファン
クションキーを押下するたびに各キーに対応するフラグ
の状態が反転される。さらに説明すると、テスタ装置上
で実行されるデバイスプログラムはこれらフラグの状態
を参照して条件分岐を行って内部処理を変えている。次
に、「TEST」項目はテスタ装置に対してテスト開始を指
示するための命令ボタンに対応している。次いで、「R
ESET」項目はテスタ装置に対して実行中のテストを中断
させることを指示するためのボタンに相当している。

【００３５】一方、図２の第１２行目に示されている
「DUT1」〜「FSTOP」の各項目は従来技術で示した各命
令ボタンに対応している。例えば、「DUT1」項目は従来
技術で「DUT1」命令ボタンを押下したことに対応してお
り、これら各項目はいずれも各項目に付与されたのと同
じ名称のコマンドを入力することによって反転表示され
る。そしてこれらのうち、「DUT1」及び「DUT2」の各項
目は測定対象となる被測定デバイスとして「DUT1」，
「DUT2」がそれぞれ選択されたときに反転表示されるフ
ィールドである。また、「COUNT」項目はオペレータが
良／不良の被測定デバイスのカウントを指示するための
命令ボタンに対応している。また、「CONTIN」項目は、
図５に示されている「CONTINU」命令ボタンに対応して
おり、次に述べる「MANUAL」フィールドとの併用によっ
てデバイスプログラム上の特定のステートメントを繰り
返し実行させるためのものである。

【００３６】このほか、「MANUAL」項目はデバイスプロ
グラムのステップ実行を可能とするための命令ボタンに
対応し、「REPEAT」項目はデバイスプログラム全体を繰
り返し実行させるための命令ボタンに対応し、「LOG」
項目はテスタ装置からテスト結果を取得するための命令
ボタンに対応している。また、「FSTOP」項目は図５に
示した「FAILSTOP」命令ボタンに対応するものであっ
て、画面表示上の都合から図２では「FSTOP」と略記し
てある。当該項目は、試験結果として「FAIL」が検出さ
れたときにテスタ装置におけるデバイスプログラムの実
行を一時的に停止させるためのボタンに相当している。
最後に、第１４行目の「COMMAND」項目はオペレータが
操作装置シミュレータ２に対して各種のコマンドを与え
るときのコマンド入力フィールドである。

【００３７】次に、図３に示すフローチャートを参照し
つつ、上記構成による半導体試験装置用シミュレータの
動作について説明する。ここでは、ホストコンピュータ
２２からシミュレータ本体１に対して、当該シミュレー
タ本体１が実現するテスタ装置にて実行される可能性の
あるデバイスプログラムが予めロードされているものと
する。まず、シミュレータ本体１および操作装置シミュ
レータ２をコンピュータ上で起動すると、命令解析処理
部１１は初期化処理として出力処理部１２に指示を行っ
て図２に示した画面イメージをディスプレイ装置上に表
示させる。この初期化時点では、「STATION」項目など
の各項目は何れも未設定状態であることから、図２に示
されるように各項目には“ｘ”が表示されるとともに、
反転表示される可能性のあるフィールドについても非反
転表示された状態とされる。このほか、４種類のフラグ
（図２では３種類のみ図示）についても何れもオフ状態
とされる。

【００３８】次に、オペレータが入力処理部１０内のキ
ーボードを操作して、図２のコマンド入力フィールドへ
試験対象とするべきステーションの番号指定（ここでは
“３”とする）を伴った「STATION」コマンドを入力
（ステップＳ１）すると、このコマンドは操作装置に対
する命令として命令解析処理部１１へ送られる。命令解
析処理部１１は入力されたコマンドを解析（ステップＳ
２）して、シミュレータ本体１に対する命令であるか否
かを判別（ステップＳ３）する。

【００３９】ここで、命令解析処理部１１は各コマンド
についてそれがシミュレータ本体１に対するものか否か
が予め記述されたテーブルを内蔵しており、命令解析処
理部１１は入力されたコマンドをキーとして当該テーブ
ルを検索することで上記判別を行うことができる。そし
てこの場合は、入力されたコマンドが試験条件の設定に
関するものである（同ステップの判断結果が“ＮＯ”）
ため、命令解析処理部１１は「STATION」コマンドで指
定されたステーション番号を内部に記憶する（ステップ
Ｓ８）とともに、出力処理部１２に更新指示を行って
「STATION」項目の現時点における表示“ｘ”を例えば
“３”に更新する（ステップＳ９）。なお、命令解析処
理部１１はコマンドの実行が終了した時点で、当該コマ
ンドに対応してディスプレイ画面上で反転表示されてい
るフィールドを非反転表示に戻すが、この処理は各コマ
ンドに共通するものであるため、これ以降は一々説明す
ることはしない。

【００４０】次に、オペレータが「STATION」コマンド
の場合と同様の手順でデバイスプログラムの番号（ここ
では“９”とする）を伴った「PID」コマンドを入力し
たとする。このコマンドも試験条件の設定に関わるコマ
ンドであることから、上記と同様のステップＳ１〜Ｓ３
及びステップＳ８〜Ｓ９の処理によって、命令解析処理
部１１はデバイスプログラム番号として“９”を内部に
記憶するとともに、図２に示した「PID」項目の表示内
容を“ｘｘ”から“０９”に更新する。次いで、オペレ
ータが試験対象となる被測定デバイスとして２番目のも
のを選択するために、コマンド入力フィールドから被測
定デバイスの番号“２”を伴った「DUT」コマンドを入
力したとする。するとこの場合も入力されたコマンドは
試験条件の設定に関するものであるため、上記同様、命
令解析処理部１２はＤＵＴ番号として“２”を記憶する
とともに、図２の第１２行目にある「DUT2」フィールド
を反転表示させる。

【００４１】この後、操作装置シミュレータ２がシミュ
レート対象としている操作装置に対応するテスタ装置に
て試験を開始させるために、オペレータはキーボード上
のファンクションキー“Ｆ４”を押下する。そうする
と、入力処理部１０はこれを当該キーに対応した“TES
T”コマンド（図２の“Ｆ４”を参照）に変換して命令
解析処理部１１に送信する。この場合、“TEST”コマン
ドはシミュレータ本体１へ送信すべき命令である（ステ
ップＳ３の判断結果が“ＹＥＳ”）であることから、命
令解析処理部１１は、ディスプレイ装置上の“TEST”フ
ィールド（図２の第４行目）を反転表示させるととも
に、これまでに設定された試験条件（即ち、ステーショ
ン番号，デバイスプログラム番号，被測定デバイスの番
号）とともに“TEST”コマンドを通信処理部１３経由で
シミュレータ本体１に送信する（ステップＳ４）。

【００４２】これらコマンド及び試験条件を受信する
と、シミュレータ本体１は、試験条件として設定された
ステーション“３”上の被測定デバイス“２”（つまり
ＤＵＴ２）を対象として予めロードされているデバイス
プログラム“９”を実行する（ステップＳ５）。その
後、シミュレータ本体１上でデバイスプログラムの実行
が完了するので、シミュレータ本体１は、試験完了の
旨，デバイスプログラムの実行結果である被測定デバイ
スのPASS数／FAIL数／試験が実施された被測定デバイス
の総数／試験されたテストパターンの総数，デバイスプ
ログラム上のステートメントの位置を示すテストシーケ
ンス番号／行番号／テスト項目番号（この場合は最後に
実行されたステートメント），試験結果のカテゴリをそ
れぞれ通信処理部１３経由で命令解析処理部１１に送信
する（ステップＳ６）。なお、シミュレータ本体１と操
作装置シミュレータ２との間の通信は常に通信処理部１
３を介するため、これ以後の説明では通信処理部１３を
経由する旨を一々記述することはしない。

【００４３】そして、上記各データを受けた命令解析処
理部１１は、出力処理部１２に逐一指示することで、図
２の“TEST”項目を反転表示から非反転表示に切り換え
て試験完了をオペレータに通知するとともに、「RESUL
T」項目のうちでテスト結果に該当する “PASS”／“FA
IL-DC”／“FAIL-FUN”の何れかを反転表示させる。ま
た、命令解析処理部１１は「POSITION」項目の「SE
Q」，「LINE」，「TEST」の各項目の内容が“xxxx”で
あったところをシミュレータ本体１から通知されたテス
トシーケンス番号／行番号／テスト項目番号に応じてそ
れぞれ更新する。また、命令解析処理部１１は「COUNTE
R」項目を構成する「PASS」，「FAIL」，「TOTAL」，
「PATTERN」の各項目をシミュレータ本体１から通知さ
れたPASS数／FAIL数／被測定デバイス総数／テストパタ
ーン総数で更新する。

【００４４】また、命令解析処理部１１は通知されたテ
スト結果のカテゴリに従って「BIN」項目又は「XBIN」
項目のうちのＤＵＴ２に関わるものについてカテゴリに
応じた表示を行う。すなわち、通知されたカテゴリが
“１”〜“１６”の範囲内であれば図２の第９行目にあ
るＤＵＴ２に関する「BIN」項目のうち、対応するカテ
ゴリの番号を反転表示させる。あるいは、上記範囲外の
カテゴリが通知されたのであれば、命令解析処理部１１
は図２の第１１行目にあるＤＵＴ２に関する「XBIN」項
目の内容を通知された番号で更新する（ステップＳ
７）。以上によって、１回のテストに関わる半導体試験
装置用シミュレータの動作がすべて完了したことにな
る。

【００４５】このほか、シミュレータ本体１でテスタ装
置の動作をシミュレート中に、オペレータがキーボード
上のファンクションキー“Ｆ１”〜“Ｆ３”のうち例え
ばファンクションキー“Ｆ２”を押下したものとする。
すると、入力処理部１０は当該キーの押下を「FLAG2」
の反転コマンドに変換して命令解析処理部１１に送出す
る。この反転コマンドはシミュレータ本体１へ送信すべ
き命令であることから、命令解析処理部１１は当該コマ
ンドをシミュレータ本体１へ送出する。この結果、シミ
ュレータ本体１は内部に保持している「FLAG2」の状態
をオンからオフあるいはオフからオンに反転させて、こ
れ以後は、変更された「FLAG2」の状態に従ってデバイ
スプログラムを実行してゆく。

【００４６】また、ＤＵＴ２に関して行った試験条件の
設定をＤＵＴ１についても同様に行ってから、操作装置
シミュレータ２に対して試験実行開始の指示を行うこと
で、テスタ装置における並列測定モードによる被測定デ
バイスの試験をシミュレートすることが可能となる。こ
の場合、ＤＵＴ１に関する試験条件の設定を行うため
に、オペレータは「DUT2」コマンドの代わりに「DUT1」
コマンドを操作装置シミュレータ２へ与えれば良い。こ
れ以外についてはＤＵＴ２の場合と同様であって、オペ
レータは必要に応じて「PID」コマンドを利用してＤＵ
Ｔ２とは別のデバイスプログラムをＤＵＴ１に関して実
行させるような試験条件の設定を行っても良い。以上の
ようにすることで、命令解析処理部１１は並列測定モー
ドであることを認識し、並列測定の対象となっているＤ
ＵＴ１，ＤＵＴ２の番号を内部に記憶するとともに、出
力処理部１２に指示を行って図２の「STATUS」項目中の
「MULTI」フィールドを反転表示させる。

【００４７】この後、オペレータがファンクションキー
“Ｆ４”を押下して操作装置シミュレータ２に対して試
験実行開始の指示を行えば、上記と同様にしてシミュレ
ータ本体１側でテスタ装置による並列測定の動作がシミ
ュレートされる。そして、ＤＵＴ１，ＤＵＴ２のうちで
例えばＤＵＴ２に関するデバイスプログラムの実行が先
に完了したものとする。そうした場合、命令解析処理部
１１は上記と同様にしてシミュレータ本体１から送られ
てくるＤＵＴ２の試験結果等をディスプレイ装置上に表
示させる。また、命令解析処理部１１はＤＵＴ２につい
ては試験実行待ち状態となっており、なおかつ、ＤＵＴ
１に関するデバイスプログラムの実行が完了していない
ことを認識して、図２の「STATUS」項目中の「TEST」フ
ィールドを非反転表示にするほか、同項目中の「READ
Y」フィールドを反転表示させる。そしてこの後に、シ
ミュレータ本体１がＤＵＴ１に関するデバイスプログラ
ムの実行が完了させると、命令解析処理部１１はシミュ
レータ本体１から通知されたＤＵＴ１に関する試験結果
等をディスプレイ上に表示させるとともに、図２の「ST
ATUS」項目の「READY」フィールドを非反転表示に切り
換える。

【００４８】このほか、オペレータがデバイスプログラ
ムをデバッグする場合などには、デバイスプログラム上
でデバッグしたいステートメントの幾らか前に「PAUS
E」ステートメントを挿入しておく。これによって、シ
ミュレータ本体１が当該ステートメントを実行すると一
時停止の旨を操作装置シミュレータ２に通知してくる。
そこで、命令解析処理部１１は図２の「PAUSE」フィー
ルドを反転表示させて一時停止状態をオペレータに知ら
せる。これを見たオペレータはデバッグを開始させるた
めに「MANUAL」コマンドを投入する。すると、命令解析
処理部１１は図２の「MANUAL」フィールドを反転表示さ
せるとともに、当該コマンドをシミュレータ本体１へ送
出する。これによって、シミュレータ本体１はデバイス
プログラムが１ステートメント単位で実行されるように
制御する。

【００４９】この後、オペレータがファンクションキー
Ｆ４を押下して試験開始を指示すると、命令解析処理部
１１は図２の「PAUSE」フィールドの反転表示を解除す
るとともに当該試験開始指示をシミュレータ本体１に送
出し、シミュレータ本体１はデバイスプログラムを１ス
テートメントだけ実行して一時停止の旨を操作装置シミ
ュレート２に通知してくるので、命令解析処理部１１は
上記同様に「PAUSE」フィールドを反転表示させる。こ
うした一連の動作を繰り返す過程で、オペレータがデバ
イスプログラム上における繰り返し範囲及び繰り返し回
数を伴った「CONTIN」コマンドを投入したものとする。

【００５０】そうすると、命令解析処理部１１は図２の
「CONTIN」フィールドを反転表示させるとともに、当該
コマンドを繰り返し範囲および繰り返し回数とともにシ
ミュレータ本体１に送出する。これにより、シミュレー
タ本体１は指定された範囲のステートメントを指定され
た回数だけ実行してからデバイスプログラムの実行を停
止させて、一時停止した旨を操作装置シミュレータ２に
返送してくる。そこで命令解析処理部１１は上記同様に
「PAUSE」フィールドを反転表示させて一時停止をオペ
レータに知らせる。また、オペレータが現時点までの試
験結果を知りたい場合には「LOG」コマンドを投入す
る。

【００５１】これによって、命令解析処理部１１は図２
の「LOG」フィールドを反転表示させるとともに、当該
コマンドをシミュレータ本体１に送信する。この結果、
シミュレータ本体１はデバイスプログラムが正常に完了
した場合と同様にして試験結果を操作装置シミュレータ
２に返送してくるので、命令解析処理部１１はデバイス
プログラムが正常に完了した場合と同様の手順に従って
ディスプレイ画面上の表示を更新する。また、オペレー
タが現時点までにおける良品／不良品の総数を知りたい
場合には「COUNT」コマンドを投入する。すると、命令
解析処理部１１は図２の「COUNT」フィールドを反転表
示させるとともに、当該コマンドをシミュレータ本体１
に送信する。これにより、シミュレータ本体１はPASS数
／FAIL数／被測定デバイス総数／テストパターン総数を
操作装置シミュレータ２に返送してくるので、命令解析
処理部１１はこれらに対応するディスプレイ装置の画面
上のフィールドを更新する。こうしてオペレータは上述
した種々のコマンドを投入しながらデバッグを進めてゆ
くことができる。

【００５２】このほか、オペレータがデバイスプログラ
ム全体を繰り返し実行させたい場合には「REPEAT」コマ
ンドを投入する。すると、命令解析処理部１１は図２の
「REPEAT」フィールドを反転表示させるとともに、当該
コマンドをシミュレータ本体１に送出する。その後、オ
ペレータがファンクションキー“Ｆ４”を押下して試験
実行開始を指示し、これら命令解析処理部１１からシミ
ュレータ本体１に通知されると、シミュレータ本体１は
同じデバイスプログラムを繰り返し実行させる。この
後、繰り返し実行を停止させるにはオペレータがファン
クションキー“Ｆ５”を押下すれば良い。

【００５３】これにより、命令解析処理部１１は図２の
「RESET」フィールドを反転表示させるとともに、当該
コマンドをシミュレータ本体１に送出する。すると、シ
ミュレータ本体１は繰り返し実行しているデバイスプロ
グラムの実行を一時停止させてその旨を操作装置シミュ
レータ２に返送する。そこで命令解析処理部１１は上記
同様に図２の「PAUSE」フィールドを反転させて、デバ
イスプログラムの実行が中断されたことをオペレータに
知らせる。この後、オペレータは必要に応じて「MANUA
L」コマンドを投入するなどしてデバッグを行うように
しても良い。

【００５４】また、デバイスプログラムの繰り返し実行
中にオペレータが「FSTOP」コマンドを投入すること
で、試験結果が「FAIL」となった時点でデバイスプログ
ラムを一時停止させる指示を行っても良い。これによ
り、命令解析処理部１１は図２の「FSTOP」フィールド
を反転表示させるとともに、当該コマンドをシミュレー
タ本体１に送信する。すると、シミュレータ本体１はデ
バイスプログラムを繰り返し実行させながら試験結果を
逐一監視し、「FAIL」となった時点でデバイスプログラ
ムの実行を一時停止させてその旨を操作装置シミュレー
タ２に返送してくる。そこで命令解析処理部１１は図２
の「PAUSE」フィールドを反転表示させて、デバイスプ
ログラムの一時停止をオペレータに知らせる。これによ
って、オペレータは上述したデバッグ用の各種コマンド
を投入して必要なデバッグ作業を実施してゆくことがで
きる。

【００５５】このほか、シミュレータ本体１がデバイス
プログラムの実行を継続できないような致命的なエラー
を発見した場合には、この旨を示す応答を操作装置シミ
ュレータ２に返送してくる。そこでこうした場合、命令
解析処理部１１は図２の「ERR」フィールドを反転表示
させてこの旨をオペレータに通知する。また、シミュレ
ータ本体１は定期的に自己診断プログラムを走行させて
おり、その結果として異常が発見された場合にはこの旨
を操作装置シミュレータ２に通知する。これによって、
命令解析処理部１１は図２の「AUTOPM」フィールドを反
転表示させて自己診断プログラムにおける異常発見をオ
ペレータに知らせる。

【００５６】以上のように、本実施形態では、シミュレ
ータ本体１上で動作する制御ソフトウェアやデバイスプ
ログラムに従ってテスタ装置の動作をコンピュータ上で
シミュレートしつつ、オペレータの操作に応じて操作装
置の動作を同コンピュータ上で逐一シミュレートしてい
る。こうすることで、テスタ装置自体の動作をシミュレ
ートできるだけでなく、被測定デバイスを試験する際に
おける試験条件の設定や試験結果の表示などを操作装置
を用いた場合と同様にして実現することが可能となる。
そして、オペレータに対しても実際の操作装置を用いた
のとよく似たインターフェイスや操作性を提供すること
ができる。また、老朽化してゆく実機を維持管理してゆ
く必要がなくなるため、実機なくして制御ソフトウェア
等の維持管理を継続的に実施してゆくことが可能とな
る。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、オペ
レータから与えられる入力命令を受信して解析し、当該
入力命令がテスタ装置に対する制御命令であるか試験条
件設定命令であるかを判別して、これら制御命令及び試
験条件をそれぞれ所定のタイミングで模擬手段に送出
し、模擬手段が送られた制御命令及び試験条件に従って
テスタ装置の動作を模擬することによって出力される応
答を受信し、上記入力命令および当該応答に応じて操作
装置上に出力されるべき出力情報を生成している。これ
により、半導体試験システムを構成しているテスタ装置
や操作装置の動作を一般的なコンピュータを用いたソフ
トウェア処理によって実現することが可能となる。その
ため、老朽化してゆく半導体試験システムを維持管理し
てゆく必要がなくなり、半導体試験システム上で動作す
るソフトウェアの保守が容易になってこれらソフトウェ
アを継続的に保守してゆけるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による半導体試験装置用
シミュレータの構成を示すブロック図である。

【図２】同実施形態において出力処理部１２に備えら
れているディスプレイ装置上に表示される画面表示例を
示した説明図である。

【図３】同実施形態における操作装置シミュレータ２
の動作を示すフローチャートである。

【図４】半導体試験システムの一般的な構成を示すブ
ロック図である。

【図５】従来の半導体試験システム内の操作装置に設
けられている操作盤の概観を示した第１の正面図であ
る。

【図６】同操作盤の概観を示した第２の正面図であ
る。

【符号の説明】

１シミュレータ本体２操作装置シミュレータ１０入力処理部１１命令解析処理部１２出力処理部１３通信処理部２０-1〜２０-8 テスタ装置２１-1〜２１-8 操作装置２２ホストコンピュータ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】与えられた制御命令および試験条件に従
って半導体の試験を行うテスタ装置の動作を模擬する模
擬手段と、オペレータによって与えられる命令を入力命令として受
信する入力手段と、前記入力命令を解析して、該入力命令が前記制御命令で
あるか、あるいは、前記試験条件の指定された試験条件
設定命令であるかを判別する解析手段と、前記制御命令及び前記試験条件をそれぞれ所定のタイミ
ングで前記模擬手段に送出し、該制御命令に対する応答
を前記模擬手段から受信する制御手段と、前記入力命令および前記模擬手段からの前記応答に応じ
て、前記テスタ装置の操作を行う操作装置上に出力され
るべき出力情報を生成する出力処理手段とを具備するこ
とを特徴とする半導体試験装置用シミュレータ。
【請求項２】前記解析手段は、前記制御命令として前
記テスタ装置に対する試験開始指示を検出し、前記制御手段は、前記試験条件設定命令で指定されてい
る前記試験条件を記憶する記憶手段を備え、前記解析手
段によって前記試験開始指示が検出されたことを条件と
して、該試験開始指示とともに前記記憶手段に記憶され
ている前記試験条件を前記模擬手段に送出することを特
徴とする請求項１記載の半導体試験装置用シミュレー
タ。
【請求項３】前記入力手段は、前記入力命令を入力するための所定の入力機器と、前記入力機器上に設けられた操作子と該操作子に予め割
り当てられている命令との間の対応関係を保持する保持
手段と、前記操作子の何れかが押下されたことを検出して、前記
保持手段上の前記対応関係に基づいて該操作子に対応し
た命令を前記保持手段から取得して、取得された該命令
を前記解析手段に送出する手段とを具備することを特徴
とする請求項１又は２記載の半導体試験装置用シミュレ
ータ。
【請求項４】オペレータによって与えられる命令を入
力命令として受信する入力処理と、前記入力命令を解析して、該入力命令が、与えられた制
御命令および試験条件に従って半導体の試験を行うテス
タ装置に対する前記制御命令であるか、あるいは、前記
試験条件の指定された試験条件設定命令であるかを判別
する解析処理と、前記制御命令及び前記試験条件をそれぞれ所定のタイミ
ングで送出する送信処理と、前記送信処理によって送出された前記制御命令及び前記
試験条件に従って、前記テスタ装置の動作を模擬して、
前記制御命令に対する応答を出力する模擬処理と、前記制御命令に対する前記応答を受信する受信処理と、前記入力命令および前記制御命令に対する前記応答に応
じて、前記テスタ装置の操作を行う操作装置上に出力さ
れるべき出力情報を生成する出力処理とをコンピュータ
に実行させることを特徴とするシミュレートプログラム
を記録した記録媒体。