JP2000317867A

JP2000317867A - 回転駆動装置

Info

Publication number: JP2000317867A
Application number: JP12728099A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Hatake; 一尋畠
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1999-05-07
Filing date: 1999-05-07
Publication date: 2000-11-21

Abstract

(57)【要約】【課題】真空室内で回転する従動部材を支持する軸受
の径を小さくできてコストダウンを図ると共に真空室内
での装置全体を半径方向に小さくできるようにする。【解決手段】トランスファチャンバ１等の真空室の対
向する一方の壁に、有底円筒状に形成した隔壁３３を、
これの円筒部を真空室の外側へ突出させると共に、これ
の内側を真空室の内側に向け、外側を大気側に向けて固
着し、隔壁の筒状部に、隔壁を隔てて対向する外側と内
側のマグネットからなるマグネットカップリングＣ
Ｍ_１，ＣＭ_２を配置し、マグネットカップリングの外側
のマグネット３２ａ，３２ｂに真空室の外側に支持され
たモータ２９ａ，２９ｂの出力部材を連結し、内側のマ
グネット３７ａ，３７ｂに従動部材３６ａ，３６ｂを連
結し、従動部材を真空室内に設けた支持部材３４ａ，３
４ｂに設けた軸受に支持した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大気側に位置する
駆動用モータの出力部にて駆動される駆動部と真空室側
に位置する従動部とを隔壁を介して同心状に配置し、こ
の駆動部と従動部とを隔壁を隔てて対向するマグネット
カップリングにて磁気的に結合するようにした回転駆動
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の回転駆動装置としては、回転従
動部分を真空状態にして構成した半導体製造装置や、Ｌ
ＣＤ製造装置がある。そして例えばマルチチャンバタイ
プの半導体製造装置のように、１つのトランスファチャ
ンバの周囲に複数のステーションとなるプロセスチャン
バを配設し、各プロセスチャンバにて加工処理されるウ
エハ等の薄板状のワークを、トランスファチャンバを経
由して搬送するトランスファチャンバに設けたハンドリ
ング用ロボットに用いられる。

【０００３】マルチチャンバタイプの半導体製造装置は
図１に示すようになっていて、トランスファチャンバ１
の周囲に、複数のプロセスチャンバからなるプロセスチ
ャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅと、
外部に対してワークの受け渡しを行うワーク受け渡しス
テーション３とが配設されており、トランスファチャン
バ１内は常時真空装置にて真空状態が保たれている。

【０００４】そして上記トランスファチャンバ１は図２
に示すようになっていて、これの中心部にハンドリング
用ロボットＡが回転可能に備えてあり、周壁で、かつプ
ロセスチャンバステーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，
２ｅ及びワーク受け渡しステーション３に対向する仕切
り壁５には各プロセスチャンバステーションへのワーク
の出入口となるゲート６が設けてある。このゲート６は
トランスファチャンバ１の内側に各ゲート６に対向して
設けられて図示しない開閉扉にて開閉されるようになっ
ている。

【０００５】上記ハンドリング用ロボットＡはいわゆる
フロッグレッグ式の双腕型といわれているものが用いら
れていて、その構成は図３から図５に示すようになって
いる。

【０００６】回転中心に対して同長の２本のアーム７
ａ，７ｂがそれぞれ回転可能に設けられている。一方同
一形状の２つの搬送台８ａ，８ｂを有しており、この各
搬送台８ａ，８ｂの基部に、同長の２本のリンク９ａ，
９ｂの一端が連結されている。この両リンク９ａ，９ｂ
の一端は搬送台８ａ，８ｂに対してフロッグレッグ式の
搬送台姿勢規制機構を介して連結されており、両リンク
９ａ，９ｂは各搬送台８ａ，８ｂに対して完全に対称方
向に回転するようになっている。そして各搬送台８ａ，
８ｂに連結した２本のリンクのうちの一方のリンクは一
方のアームに、他方のリンクは他方のアームにそれぞれ
連結されている。

【０００７】図４は上記フロッグレッグ式の搬送台姿勢
規制機構を示すもので、搬送台８ａ，８ｂに連結される
２本のリンク９ａ，９ｂの先端部は図４（ａ）に示すよ
うに互いに噛合う歯車９ｃ，９ｃからなる歯車構成によ
り結合されており、搬送台８ａ，８ｂに対するリンク９
ａ，９ｂの姿勢角θＲ，θＬが常に同じになるようにし
ている。これにより、搬送台８ａ，８ｂは常にトランス
ファチャンバ１の半径方向に向けられると共に、半径方
向へ動作される。上記リンク９ａ，９ｂの連結は歯車に
代えて、図４（ｂ）に示すようにたすき掛けしたベルト
９ｄによるものもある。

【０００８】図５の（ａ），（ｂ）は上記したハンドリ
ング用ロボットＡの作用を示すもので、図５（ａ）に示
すように、両アーム７ａ，７ｂが回転中心に対して直径
方向に対称位置にあるときには、両搬送台８ａ，８ｂに
対してリンク９ａ，９ｂが拡開するよう回転された状態
となり、従って両搬送台８ａ，８ｂは回転中心側へ移動
されている。

【０００９】この状態で回転駆動装置が駆動されて両ア
ーム７ａ，７ｂを同一方向に回転することにより、両搬
送台８ａ，８ｂは半径方向の位置を維持したまま回転中
心に対して回転される。また図５（ａ）に示す状態か
ら、両アーム７ａ，７ｂを、これらが互いに近付く方向
（互いに逆方向）に回転することにより、図５（ｂ）に
示すように、両アーム７ａ，７ｂでなす角度が小さくな
る方に位置する搬送台８ａがリンク９ａ，９ｂに押され
て放射方向外側へ突出動されて、トランスファチャンバ
１に対して放射方向外側に隣接して設けられた上記ステ
ーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，３のうちの１
つのステーション内に突入する。

【００１０】このとき、他方の搬送台は回転中心側へ移
動されるが、各アーム７ａ，７ｂとリンク９ａ，９ｂと
のなす角度の関係上、その移動量はわずかとなる。

【００１１】ところで、この種の回転駆動装置の従来の
技術としては、特公平７−５５４６４号公報に示された
ものがある。この従来技術のものは、図６に示すように
なっている。

【００１２】図６において、１０は円筒状の真空封止体
である隔壁であり、この隔壁１０の半径方向外側が気密
状にしたトランスファチャンバ１となっており、内側が
大気側に連通したモータチャンバとなっている。そして
この隔壁１０の内側に、この隔壁１０にそれぞれ軸方向
に離隔してモータ取付台１１ａ，１１ｂが固着してあ
り、それぞれにモータ１２ａ，１２ｂが取付けられてい
る。各モータ１２ａ，１２ｂには減速機１３ａ，１３ｂ
を介して駆動部材１４ａ，１４ｂが連結されていて、こ
の各駆動部材１４ａ，１４ｂの外周部にマグネット１５
ａ，１５ｂが固着されている。このマグネット１５ａ，
１５ｂは上記隔壁１０の内周面に対して僅かに離れた位
置になっている。１６，１６は上記駆動部材１４ａ，１
４ｂをモータ取付台１１ａ，１１ｂに支持する内側の軸
受である。

【００１３】一方隔壁１０の半径方向外側には外側の軸
受１７を介して従動部材１８ａ，１８ｂが軸方向に離隔
して設けられており、この各従動部材１８ａ，１８ｂの
内側に外側のマグネット１９ａ，１９ｂが固着されてい
る。この各外側のマグネット１９ａ，１９ｂは隔壁１０
の外周面に対して僅かに離れた位置で、かつ上記内側の
マグネット１５ａ，１５ｂに対向する位置に配置されて
いる。隔壁１０を隔てて内側と外側とで対向する各対の
マグネット１５ａ，１５ｂ，１９ａ，１９ｂにてそれぞ
れマグネットカップリングが構成されている。

【００１４】そして従動部材１８ａ，１８ｂの一方に図
３に示すように一方のアーム７ａがまた他方に他方のア
ーム７ｂのそれぞれの基端部が固着されており、両モー
タ１２ａ，１２ｂの回転は上記マグネット１５ａ，１５
ｂ，１９ａ，１９ｂからなるマグネットカップリングを
介して各アーム７ａ，７ｂに伝達されるようになってい
る。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術の装置
では、モータ駆動力の伝達力を確保するために、回転中
心からある程度離れた位置にマグネットを配置し、さら
には、隔壁１０の内側にモータ１２ａ，１２ｂを配置し
ている等により、この隔壁１０の径はどうしてもある程
度大きくならざるを得なかった。そして、この従来のも
のは、従動側である従動部材１８ａ，１８ｂがこの隔壁
１０の半径方向外側に配置されているため、この従動部
材１８ａ，１８ｂを支持するための外側の軸受１７は真
空環境で適用可能となる特殊な軸受となり、その径がど
うしても大きくなり、コストが高くなってしまう。

【００１６】また、上記軸受１７と共に従動部材１８
ａ，１８ｂも大きくなるため、真空側であるトランスフ
ァチャンバ１内でロボットが空間的に占めるスペースが
大きくなり、小型の装置に適用するのが難かった。

【００１７】本発明は上記のことに鑑みなされたもの
で、真空室の内側に位置して回転する従動部材を支持す
る軸受の径を小さくできてコストダウンを図ることがで
きると共に、真空室内での装置全体を半径方向に小型に
できるようにした磁気結合された回転駆動装置を提供す
ることを目的とするものである。

【００１８】

【課題を解決するための手段及び作用効果】上記目的を
達成するために、本発明に係る回転駆動装置は、トラン
スファチャンバ等の真空室の対向する一方の壁に、有底
円筒状に形成した隔壁を、これの円筒部を真空室の外側
へ突出させると共に、これの内側を真空室の内側に向
け、外側を大気側に向けて固着し、隔壁の筒状部に、隔
壁を隔てて対向する外側と内側のマグネットからなるマ
グネットカップリングを配置し、マグネットカップリン
グの外側のマグネットに真空室の外側に支持された駆動
装置の出力部材を連結し、内側のマグネットに真空室内
に位置するロボットに結合される従動部材を連結し、従
動部材を真空室内に設けた支持部材に設けた軸受に支持
した構成となっている。

【００１９】そして上記構成の回転駆動装置において、
マグネットカップリングを、隔壁の軸方向に、それぞれ
の外側のマグネットに駆動装置の出力部材を連結し、ま
た内側のマグネットに従動部材を連結して複数組配置
し、各従動部材を支持する軸受を、軸方向に位置をずら
せて略同一径とした。

【００２０】また、マグネットカップリングを、隔壁の
軸方向に、それぞれの外側のマグネットに駆動装置の出
力部材を連結し、また内側のマグネットに従動部材を連
結して複数組配置し、各従動部材を支持する軸受を、異
なる径にして軸方向に略同一位置に設けた。

【００２１】さらに、マグネットカップリングを、隔壁
の軸方向に、それぞれの外側のマグネットに駆動装置の
出力部材を連結し、また内側のマグネットに従動部材を
連結して複数組配置し、各従動部材を支持する軸受を、
各マグネットカップリングの内側で、かつ隔壁の筒状部
内に設けた。

【００２２】上記構成によれば、有底円筒状に形成され
た隔壁にて真空室の内側と外側に仕切られる真空室の外
側に駆動装置が支持され、内側に従動部材が支持される
ことにより、この従動部材を支持する真空環境用の軸受
の径を隔壁の円筒部の径より小さくすることができてコ
ストダウンを図ることができる。

【００２３】またマグネットカップリングを配置する上
記隔壁の円筒部が真空室の外側へ突出されていることに
より、マグネットカップリングの内側に連結する従動部
材の真空室側に占める空間的なスペースを小さくするこ
とができ、真空室内におけるロボットを小型にすること
ができる。

【００２４】また、マグネットカップリングを隔壁の軸
方向に複数配置した回転駆動装置において、マグネット
カップリングの内側に位置する従動部材を支持する軸受
を、軸方向に位置をずらせて同径にしたことにより、上
記構成によって小径であることと、この同径にしたこと
により軸受を共通化できてコストをより小さくすること
ができる。

【００２５】また、上記各軸受が異なる径で、軸方向に
略同一位置に設けられることにより、複数有する軸受の
ための軸方向のスペースを小さくすることができて、装
置全体を軸方向に小さくできる。

【００２６】さらに、上記各軸受がマグネットカップリ
ングの内側で、かつ隔壁の筒状部内に設けられることに
より、この軸受部のスペースが真空室側に全くとられる
ことがなくなり、真空室側へ突出する部分を小さくする
ことができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図７以下に
基づいて説明する。なおこの実施の形態において、図１
〜図６に示した従来の構成部材と同一部材は同一符号を
付して説明する。

【００２８】図７は本発明の第１の実施の形態を示すも
ので、図中２５ａは筒状にした第１支持台であり、この
第１支持台２５ａの上側端部に設けたフランジ部２６が
トランスファチャンバ１の底壁２７に固着されている。
そしてこの第１支持台２５ａの下端側に、筒状にした第
２支持台２５ｂが取り付けてあり、この第２支持台２５
ｂに上下方向に離隔して設けたフランジ２８ａ，２８ｂ
に第１，第２のモータ２９ａ，２９ｂがそれぞれの出力
部材３０ａ，３０ｂを上側へ向けて同軸状にして取り付
けてある。下側に位置する第２モータ２９ｂの出力部材
３０ｂは上側に位置するモータ２９ａの軸心を貫通して
これの上方へ突出されている。なお上記モータ２９ａ，
２９ｂはステッピングモータ等正確に制御可能なものが
用いられると共に、特に図示、及び説明はしないが必要
に応じて減速機を備えたものが用いられる。

【００２９】上側に位置する第１モータ２９ａの出力部
材３０ａに、上方を開放した椀状に形成された第１駆動
部材３１ａが固着されている。また第２モータ２９ｂの
出力部材３０ｂはこの第１駆動部材３１ａを貫通してこ
れより上側へ突出していて、この第２出力部材３０ｂの
先端部に上方を開放した椀状にされ、かつ上記第１駆動
部材３１ａの内側に配置される第２駆動部材３１ｂが固
着されている。

【００３０】第１，第２の駆動部材３１ａ，３１ｂの開
放端部は上下（軸方向）にずれていて、それぞれの開放
端部の内側に第１，第２の外側マグネット３２ａ，３２
ｂが同一半径位置に設けてある。そしてこの両外側マグ
ネット３２ａ，３２ｂの内側に有底筒状の隔壁３３が設
けてある。この隔壁３３はトランスファチャンバ１の底
壁２７より下側へ突出されている。そして隔壁３３の筒
状部の外周面が外側マグネット３２ａ，３２ｂの内周面
に僅かに離隔した位置に対向するようになっている。隔
壁３３の上端部は上記第１支持台２５ａ側に気密状に固
定されている。従って、この隔壁３３の外側（モータ
側）と内側とは隔壁３３によって気密状に仕切られてい
る。

【００３１】第１支持台２５ａの上側には第１支持部材
３４ａが固着されており、この第１支持部材３４ａの内
側に第１軸受３５ａを介して第１従動部材３６ａが支持
されている。そしてこの第１従動部材３６ａの軸方向下
端部の外周に、隔壁３３を隔てて第１外側マグネット３
２ａに対向する第１内側マグネット３７ａが固着されて
いる。またこの第１従動部材３６ａの軸方向上側部は、
第１軸受３５ａの上方から第１支持部材３４ａの上方を
越えて半径方向外側へ大きくなっていて、この部分に円
筒状の第１アームブラケット３８ａが形成されている。

【００３２】第１従動部材３６ａの上部には第２支持部
材３４ｂが筒状に突設してあり、この第２支持部材３４
ｂの内側に第２軸受３５ｂを介して第２従動部材３６ｂ
が支持されている。そしてこの第２従動部材３６ｂは上
記第１従動部材３６ａの半径方向内側に貫通しており、
これの下端部の外周に、隔壁３３を隔てて第２外側マグ
ネット３２ｂに対向する第２内側マグネット３７ｂが固
着されている。またこの第２従動部材３６ｂの軸方向上
側部は、第２軸受２５ｂの上方から上方へ第２支持部材
３４ｂの上方を越えて半径方向外側へ大きくなってい
て、この部分に円筒状の第２アームブラケット３８ｂが
形成されている。

【００３３】そして上記第１アームブラケット３８ａに
ロボットの一方のアーム７ａが、また第２アームブラケ
ット３８ｂに他方のアーム７ｂのそれぞれの基端が固着
されている。

【００３４】上記構成において、第１の外側と内側の両
マグネット３２ａ，３７ａにて第１のマグネットカップ
リングＭＣ_１が構成され、また第２の外側と内側の両マ
グネット３２ｂ，３７ｂにて第２のマグネットカップリ
ングＭＣ_２が構成されている。

【００３５】第１モータ２９ａが回転することにより、
第１マグネットカップリングＭＣ_１を介して第１アーム
ブラケット３８ａが回転される。また第２モータ２９ｂ
が回転することにより、第２マグネットカップリングＭ
Ｃ_２を介して第２アームブラケット３８ｂが回転され
る。

【００３６】第１、第２のアームブラケット３８ａ，３
８ｂを支持する第１、第２の軸受３５ａ，３５ｂは上記
した第１，第２のマグネットカップリングＭＣ_１，ＭＣ
_２の上方で軸方向にずれた位置に設けられていることに
より、この両軸受３５ａ，３５ｂをマグネットカップリ
ングＭＣ_１，ＭＣ_２の半径方向の大きさに左右されるこ
となく構成することができ、マグネットカップリングＭ
Ｃ_１，ＭＣ_２より半径方向の大きさを小さくすることが
できる。またこの両軸受３５ａ，３５ｂは同一径、すな
わち、同一のものが用いられている。

【００３７】図８は本発明の第２の実施の形態を示す。
この実施の形態は上記第１の実施の形態に対して従動側
である従動部材を支持する軸受の位置を変えたもので、
その他の構成は第１の実施の形態の構成と実質的に同一
であるので、同一の符号を付して説明を省略する。

【００３８】第２マグネットカップリングＭＣ_２の内側
に結合された第２従動部材３６ｂ′は第１の実施の形態
の場合と同様に第１従動部材３６ａ′に第２の軸受３５
ｂ′を介して支持されているが、この第２の軸受３５
ｂ′は第１の軸受３５ａ′の半径方向内側で、かつ軸方
向に略同一位置に配置されている。

【００３９】この構成によれば、第１，第２のアームブ
ラケット３８ａ′，３８ｂ′を固着した従動側の第１，
第２の従動部材３６ａ′，３６ｂ′を支持する第１、第
２の軸受３５ａ′，３５ｂ′は軸方向に略同一位置に配
置されることにより複数組（２組）の従動側を支持する
ための軸受の軸方向のスペースが小さくてすみ、これに
より、従動側の軸方向への寸法（高さ）を小さくするこ
とが可能となる。

【００４０】図９は本発明の第３の実施の形態を示す。
この実施の形態は上記第１，第２の各実施の形態に対し
て従動側である回転部材の構成及びこれを支持する軸受
の位置を変えたものでその他の構成は第１，第２の実施
の形態の構成と実質的に同一であるので、同一符号を付
して説明を省略する。

【００４１】第１マグネットカップリングＭＣ_１の内側
のマグネット３７ａを固着した第１従動部材３６ａ″を
支持する第１軸受３５ａ″は第１マグネットカップリン
グＭＣ_１の半径方向内側に配置されている。この第１軸
受３５ａ″は第１支持部材３４ａ″に支持されている。

【００４２】また、第２マグネットカップリングＭＣ_２
の内側のマグネット３７ｂを固着した第２従動部材３６
ｂ″を支持する第２軸受３５ｂ″は第１マグネットカッ
プリングＭＣ_２の半径方向内側に配置されている。そし
てこの第２軸受３５ｂ″は隔壁３３″の底板側に設けた
軸部３９に支持されている。第１，第２の軸受３５
ａ″，３５ｂ″は同一径になっている。

【００４３】第２従動部材３６ｂ″は第１従動部材３６
ａ″の内側に貫通して両従動部材３６ａ″，３６ｂ″は
トランスファチャンバ１内に突出されており、このそれ
ぞれの先端部にアーム７ａ，７ｂを取り付けるアームブ
ラケット３８ａ″，３８ｂ″が固着される。

【００４４】この構成では、従動側の第１，第２の従動
部材３６ａ″，３６ｂ″を支持する第１、第２の軸受３
５ａ″，３５ｂ″が第１，第２のマグネットカップリン
グＭＣ_１，ＭＣ_２の内側に配置されることになり、動力
の連結部（マグネットカップリング）と支持部（軸受）
とが軸方向に同一位置（高さ）となるので、両部分のた
めの軸方向スペースを小さくできる。また第１，第２の
従動部材３６ａ″，３６ｂ″はこれの先端部だけがトラ
ンスファチャンバ１内に突出する構成となり、この各先
端部に固着されるアームブラケット３８ａ″，３８ｂ″
の径を小さくできる。

【００４５】なお、図１０、図１１、図１２はそれぞれ
上記した第１、第２、第３の各実施の形態における変形
例である。この各変形例はそれぞれの実施の形態の構成
と実質的に同一であるので、それぞれと同一符号を付し
て説明する。

【００４６】図１０は図７で示した第１の実施の形態の
変形例を示すものである。これは、第１，第２の従動部
材３６ａ，３６ｂの径を小さくし、その分、これを支持
する同径の第１，第２の軸受３５ａ，３５ｂの径を小さ
くした。従って、この各従動部材３６ａ，３６ｂの先端
に構成されるアームブラケット３８ａ，３８ｂの径も小
さくでき、この部分のトランスファチャンバ１内への突
出する部分が小さくなる。

【００４７】図１１は図８で示した第２の実施の形態の
変形例を示すものである。これは第１，第２の従動部材
３６ａ′，３６ｂ′の径を小さくし、その分、これを支
持する径の異なる第１，第２の軸受３５ａ′，３５ｂ′
の径を小さくした。従ってこの各従動部材３６ａ′，３
６ｂ′の先端に構成されるアームブラケット３８ａ′，
３８ｂ′の径も小さくでき、この部分のトランスファチ
ャンバ１内への突出部分が小さくなる。

【００４８】図１２は図９で示した第３の実施の形態の
変形例を示すものである。これは第１，第２の従動部材
３６ａ″，３６ｂ″を支持する軸受３５ａ″，３５ｂ″
の径を異ならせてある。すなわち、第２従動部材３６
ｂ″の軸受部の径を小さくして、この第２従動部材３６
ｂ″を支持する第２軸受３５ｂ″を、第１従動部材３６
ａ″の内側に支持した。そしてこの内側に位置する第２
軸受３５ｂ″は第１軸受３５ａ″と軸方向に略同一に配
置されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】マルチチャンバタイプの製造装置の一例である
半導体製造装置の概略的な平面図である。

【図２】トランスファチャンバとハンドリング用ロボッ
トの関係を示す分解斜視図である。

【図３】ハンドリング用ロボットの一例を示す斜視図で
ある。

【図４】（ａ），（ｂ）は搬送台姿勢規制機構を示す説
明図である。

【図５】（ａ），（ｂ）はハンドリング用ロボットの作
用説明図である。

【図６】ハンドリング用ロボットのアーム回転機構に用
いる回転駆動装置の従来例を示す断面図である。

【図７】本発明の第１の実施の形態の要部を概略的に示
す断面図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態の要部を概略的に示
す断面図である。

【図９】本発明の第３の実施の形態の要部を概略的に示
す断面図である。

【図１０】図７で示した第１の実施の形態の変形例を示
す断面図である。

【図１１】図８で示した第２の実施の形態の変形例を示
す断面図である。

【図１２】図９で示した第３の実施の形態の変形例を示
す断面図である。

【符号の説明】

Ａ…ハンドリング用ロボット１…トランスファチャンバ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ…プロセスチャンバステ
ーション３…ワーク受け渡しステーション５…仕切り壁６…ゲート７，７ａ，７ｂ…アーム８ａ，８ｂ…搬送台９ａ，９ｂ…リンク９ｃ…歯車９ｄ…ベルト１０…隔壁１１ａ，１１ｂ…モータ取付台１２ａ，１２ｂ…モータ１３ａ，１３ｂ…減速機１４ａ，１４ｂ…駆動部材１５ａ，１５ｂ，１９ａ，１９ｂ…マグネット１６，１７…軸受１８ａ，１８ｂ…従動部材２０ａ，２０ｂ…マグネットカップリング２５ａ，２５ｂ…支持台２６…フランジ部２７…底壁２８ａ，２８ｂ…フランジ２９ａ，２９ｂ…モータ３０ａ，３０ｂ…出力部材３１ａ，３１ｂ…駆動部材３２ａ，３２ｂ，３７ａ，３７ｂ…マグネット３３，３３″…隔壁３４ａ，３４ａ″，３４ｂ…支持部材３５ａ，３５ａ′，３５ａ″，３５ｂ，３５ｂ′，３５
ｂ″…軸受３６ａ，３６ａ′，３６ａ″，３６ｂ，３６ｂ′，３６
ｂ″…従動部材３８ａ，３８ａ′，３８ａ″，３８ｂ，３８ｂ′，３８
ｂ″…アームブラケットＭＣ_１，ＭＣ_２…マグネットカップリング

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】トランスファチャンバ等の真空室の対向
する一方の壁に、有底円筒状に形成した隔壁を、これの
円筒部を真空室の外側へ突出させると共に、これの内側
を真空室の内側に向け、外側を大気側に向けて固着し、隔壁の筒状部に、隔壁を隔てて対向する外側と内側のマ
グネットからなるマグネットカップリングを配置し、マグネットカップリングの外側のマグネットに真空室の
外側に支持された駆動装置の出力部材を連結し、内側の
マグネットに真空室内に位置するロボットに結合される
従動部材を連結し、従動部材を真空室内に設けた支持部材に設けた軸受にて
支持したことを特徴とする回転駆動装置。
【請求項２】請求項１に記載の回転駆動装置におい
て、マグネットカップリングを、隔壁の軸方向に、それぞれ
の外側のマグネットに駆動装置の出力部材を連結し、ま
た内側のマグネットに従動部材を連結して複数組配置
し、各従動部材を支持する軸受を、軸方向に位置をずらせて
略同一径としたことを特徴とする回転駆動装置。
【請求項３】請求項１に記載の回転駆動装置におい
て、マグネットカップリングを、隔壁の軸方向に、それぞれ
の外側のマグネットに駆動装置の出力部材を連結し、ま
た内側のマグネットに従動部材を連結して複数組配置
し、各従動部材を支持する軸受を、異なる径にして軸方向の
略同一位置に設けたことを特徴とする回転駆動装置。
【請求項４】請求項１に記載の回転駆動装置におい
て、マグネットカップリングを、隔壁の軸方向に、それぞれ
の外側のマグネットに駆動装置の出力部材を連結し、ま
た内側のマグネットに従動部材を連結して複数組配置
し、各従動部材を支持する軸受を、各マグネットカップリン
グの内側で、かつ隔壁の筒状部内に設けたことを特徴と
する回転駆動装置。