JPH03281183A - 多関節搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野１ 本発明は、例えば半導体ウェハに薄膜を形成させるため
に、これを真空処理装置内へ搬入したリ、これから処理
済の半導体ウェハを所定の位笛にまで搬出したりするた
めに用いられる多関節祷送装置に関する。

Ｃ従来の技術及びその問題点〕 第１２図は特開昭６０−１８３７３６号公報に記載され
ている多関節アーム装置もしくは多関節アー装置抱示す
ものであるが、図において、多関節アーム装置（１０）
は、第１の多関節アーム（１１）と、第２の多関節アー
ム（１４）とを含んでいる。第１の多関茸アーム（１１
）は２つの部分、すなわち駆動部（Ｉ２）と被駆動部（
１３）とからなり、これらはビン接続部（１７）によっ
て接続されている。同様に第２の多関節アーム（１４）
は２つの部分、すなわち駆動部（１５と被駆動部（１６
）とからなり、これらはビン接続部（１８）によって接
続されている。この実施例においては、駆動部（１２１
（１５１の方が被駆動部（１３）　（１６）より短かく
なっている。

Ｒ９ｉに駆動部（１２）　（１５）はそれぞれ円形状の
ギア（２０）　（２１）を有している。ギア（２０１（
２１）は駆動部（１２）　（１５）の一部として一体に
形成することもてきるし、また、別々に形成して適当な
取付手段によって駆動部に固定してもよいとされている
。ギア（２０）はビニオン（駆動用の小歯車）　（２２
）と連動するように結合されている。ギア（２０）はビ
ニオン（２２）によって駆動され、次にギア（２０）が
ギア（２１）を駆動する。被駆動部（１３）　（１６１
ばそれぞれ半円状の回転拘束ギア（２３１（２４）を有
している。物体を運ぶための移動台（２５）または他の
適当なホルダーがベアリング（２６１（２７）によって
回転拘束ギア（２３）（２４）に結合されている。回転
拘束ギアの代わりに摩擦面即ちケーブルと滑車の組み合
わせを用いることもでき、この場合でも被駆動部（１３
）　（１６１の端部の回転を妨げることができるとして
いる。

ビニオン（２２）が時計方向に回転すると、ギア（２０
）と駆動部（１２）とは反時計方向に回転し、ギア〔２
１）と駆動部（１５）とは時計方向に回転することが理
解できる。その結果、多関節アーム（１１）　（１４）
は°かえる”の運動のように縮み、移動台（２５）は調
和運動をなしてギア（２０）　（２１）の方へ移動する
。回転拘束ギアｆ２３）　（２４）は移動台（２５）の
回転を妨げており、したがって運ばれる物体は直線運動
をなす。

以上のギア（２０）　（２１）、ビニオン（２２）はコ
字形状の支持台（３０）上に設けられており、ビニオン
（２２）は同支持台（３０）に設けられた第１の電動機
によって駆動されるようになっている。更に支持台（３
０）の下方の基台（３６）に設けられた第２の電動機に
よって支持台（３０）がその中心軸のまわりに回転駆動
されるように構成されている。

他方、特開昭６１−１６０９４９号公報にも上述と同様
な搬送装置が開示されている。

［発明が解決しようとする課題］ これら搬送装置においては、以下のような欠点を有する
ものである。

（１）方向回転、もしくは旋回運動とアームの伸縮、す
なわち搬送台を旋回運動及び直進運動させるための機構
は相互に独立しており、このため方向を変えるための、
すなわち搬送台を旋回させるための第２の電動機はアー
ム及びこの伸縮機構全体を回転させる必要がある。この
ためこれに用いる第２の電動機としては大きなトルクが
必要である。あるいはトルク不足なるが故に減速ギアを
介して速度を落して旋回運動を行わせる必要がある。こ
の場合には減速機構のために多数のギアを配設する必要
がある。

又、全体を回転せねばならないため、多回転の運動がで
きないという欠点がある。

（２）ギアまたはタイミングベルトなどをアームの伸縮
機構の駆動部及び旋回運動のための駆動部に用いている
ためバックラッシュなどの問題があり、これがために再
現性の良い高精度な位置決め調整を行うことが困難であ
る。

（３）機構部品が多く構成が複雑となる。

（４）真空用搬送機構として用いる場合には２つのギア
（２０１（２１１を回転させるための軸のシール及び支
持台（３０）を回転させるための軸のシール、すなわち
３軸の真空シールを回転導入機構に用いねばならず、真
空シールは高価であるので全体として装置を更に高価な
ものとする。

本発明は上述の問題に鑑みてなされ、上述の各欠点を除
去することのできる簡単な構造の多関節搬送装置を提供
することを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 以上の目的は、一対の駆動アーム、該駆動アームの一端
部に各々、一端部が枢着される一対の被駆動アーム、該
被駆動アームの他端部に枢着される搬送台、前記駆動ア
ームの他端部に固定される各駆動軸から成る多関節搬送
装置において、前記両部動軸を同軸上に配設し、各々を
独立した電動機で駆動するようにし、前記搬送台を直進
運動させるときには、前記両部動軸を同じ角度だけ、同
速度で逆方向に回転駆動させ、前記搬送台を旋回運動さ
せるときには、前記両部動軸を同じ角度だけ、同速度で
同方向に回転駆動させるようにしたことを特徴とする多
関節搬送装置によって達成される。

〔作　　　用〕

搬送台を直進運動させるときには一対の駆動アームの一
端部に固定される両部動軸を同じ角度だけ同速度で逆方
向に回転駆動させることによって行われ、また搬送台を
旋回運動させるときには両部動軸を同じ角度だけ同速度
で同方向に回転駆動させるようにしているので、旋回運
動及び直進運動を行うために必要な電動機は従来と同様
２個となるが、従来は搬送台、一対の駆動アーム及び一
対の被駆動アームなどの全体を一方の電動機が駆動する
必要があるので大きなトルクを必要とするか、あるいは
減速機構を必要とし、多数のギアのために構成を複雑、
かつ部品点数を増大していたが、本発明によれば直進運
動及び旋回運動を行うための電動機は共通であり一方の
駆動アーム及び被駆動アームを駆動するだけであるので
、従来より一段とトルクを小さくすることができ、また
減速ギアを不要とする。

また、ギアを全く不要とすることが可能であるのでバッ
クラッシュの問題がなく再現性の良い高精度な位置決め
を行うことができる。また、真空シールは２軸のみでよ
いので装置コストを大幅に低下させることができる。

又、回転は駆動軸のみのため、多回転の運動が実現でき
る。

〔実　施　例］ 以下、本発明の実施例による多関節搬送装置について図
面を参照して説明する。

第１図乃至第５図は本発明の第１実施例による多関節搬
送装置を示すものであるが、図において本搬送装置は全
体として（４０）で示され、第１図に明示されるように
従来と同様にアーム機構は一対の駆動アーム（４１ａ）
　（４１ｂ）及びこの一端部で軸ｆ４２ａ）　（４２ｂ
）により枢着される一対の被駆動アーム（４３ａ）　（
４３ｂ）から成っており、被駆動アーム（４３ａ）（４
３ｂ）の他端部ではやはり従来と同様にベアリング機構
（４５ａ）　（４５ｂ）を介して搬送台（４４）に結合
されている。第２図及び第３図に明示されるように本発
明によれば駆動アーム（４１ａ）　（４１ｂ）の他端部
は同軸に配設され独立して駆動される軸の先端部で固定
されている。すなわち、本実施例によれば一方の軸（５
１）は中空軸であり、この中心を中実の軸（４８）が貫
通しており、この下端部はカップリング（４７）を介し
て第１の電動機（４６）の回転軸（４６ａ）に結合して
いる。

中実の軸（４８）の先端部（４８ａ）に上述の駆動アー
ム（４１ａ）の他端部が固定されている。また、中空軸
（５１）の先端部（５１ａ）には他方の駆動アーム（４
１ｂ）の他端部が固定されている。中空軸（５１）は第
２の電動機（４９）の回転軸であるが、この回転軸は上
述したように中空であり、この軸を回転可能に支持する
ための軸受機構はこのステータ部（５０）内に配設され
ているものとする。また、第１の電動機（４６）及び第
２の電動機（４９）は独立して駆動されるが、これらの
駆動開始を−にし、かつ回転位相、回転方向、回転速度
を制御するための制御回路へと図示しない導線を介して
接続されているものとする。電動機（４６）　（４９）
がパルスモータであれば、パルス数、パルス間隔などが
制御回路で設定される。

軸（４８）は中空軸（５１）より若干上方に突出してお
り、この先端部（４８ａ）に上述の一方の駆動アーム（
４１ａ）の一端部が固定されるのであるが、この他端部
に軸（４２ａ）が固定されており、これが−方の被駆動
アーム（４３ａ）に枢着している。すなわち、一方の被
駆動アーム（４３ａ）はその一端部で軸（４２ａ）の周
りに一方の駆動アーム（４１ａ）に対して回動自在とな
っている。同様にして他方の駆動アーム（４１ｂ）の一
端部にも軸（４２ｂ）が固定されているが、この長さは
上述の他方の軸（４２ａ）よりは長くこの先端部は同一
のレベルとなっている。

すなわち、軸（４２ｂ）の先端部には一方の被駆動アー
ム（４３ｂｌの一端部が回動自在に結合される。

すなわち枢着されるが、これら被駆動アーム（４３ａ）
（４３ｂ）は同一水平面内にあるように結合されている
。従って、その先端部にベアリング機構（４５ａ）ｆ４
５ｂ）により枢着される搬送台（４４）は水平に被駆動
アーム（４３ａ）　（４３ｂ）の一端部で支持されてい
る。

本発明の第１実施例は以上のように構成されるが、次に
この作用について説明する。

まず、搬送台（４４）の旋回運動について説明する。

この場合には第１の電動機（４６）及び第２の電動１ 機（４９）は同じ方向に同じ角度だけ同じ速度で第４Ａ
図に示すような矢印方向に回転駆動される。

今、９０度の旋回を行うものとすれば、これに相当する
パルスの数をそれぞれの電動機（４６１（４９）に供給
することにより同時に駆動開始し、９０度回転して両電
動機（４６１Ｔ４９）は同時に停止する。これにより第
４Ｂ図で示すように搬送台（４４）は軸（４８）または
中空軸（５１）の周りに９０度回転した位置をとる。

すなわち、搬送台（４４）は軸（４８）　（５１）の周
りで９０度旋回した位置で停止する。これにより例えば
搬送台（４４）に載せられた半導体ウェハを真空処理装
置における薄膜形成部に向って直進すれば供給すること
ができる。

次に、搬送台（４４）の直進運動について説明する。こ
の場合には第１の電動機（４６）及び第２の電動機（４
９）は逆方向に同じ速度で同じ角度だけ回転するように
駆動パルスが与えられる。このパルスの数は搬送台（４
４）の直進移動距離に対応する。第５Ａ図は初期の位置
を示すが、この状態で第１、第２の電動機（４６１（４
９）を駆動開始するとある駆動　２ パルス数においては第５Ｂ図に示すような位置をとる。

すなわち、駆動アーム（４１ａｌ　（４１ｂ）は第５Ａ
図においてそれぞれ相反する方向に回転する。すなわち
、一方の駆動アーム（４１ａ）は軸（４８）の周りに反
時計方向に回転し、また他方の駆動アーム（４１ｂ）は
中空軸（５１）の周りに時計方向に回転し第５Ｂ図の位
置をとる。すなわち、搬送台（４４）は第５Ａ図に示す
位置から第５Ｂ図に示す位置へと前進する。この後、更
に第１、第２の電動機（４６）（４９）の所定パルス量
までの駆動により駆動アーム（４１ａ）は反時計方向に
及び他方の駆動アーム（４１ｂ）は時計方向に同速度で
回転し、結局、第５Ｃ図に示すような位置をとる。これ
により搬送台（４４）は第５Ｂ図より更に前進して所定
の位置をとることができる。このようにして例えば半導
体ウェハを第４Ｂ図に示す位置から搬送台（４４）を更
に直進運動させることにより所定の位置に正確に位置決
めして供給することができる。

第６図及び第７図は本発明の第２実施例による多関節搬
送装置を示すもので第１実施例を示す第２図に対応する
図であるが、第１実施例に対応する部分については同一
の符号を付しその詳細な説明は省略する。すなわち、ア
ーム機構における各構成部材である駆動アーム（４１ａ
）　（４１ｂ）、被駆動アーム（４３ａ）　（４３ｂ）
は全く同一の構成部品であるが、これらの位置関係が異
なる。すなわち、本実施例では第１及び第２の電動機（
６１）　（６２）は上下方向に対向して配設され、これ
らの回転軸（６１ａ）（６２ａ）は同軸上にあり、また
第１実施例と異なり中空軸電動機ではなく両者とも通常
の電動機を用いることができる。これら電動機（６１）
　（６２）は上下に配設されているためにこの回転軸（
６１ａ）　（６２ａ）の先端部に固定される駆動アーム
（４１ａ）　（４１ｂ）の上下の位置関係が異なるので
、この一端部に固定されるビン（６３ａ）　（６３ｂ）
の突出方向が第１実施例と異なり逆方向になるが、その
長さは同一であり、これにより同一水平レベル内に被駆
動アーム（４３ａ）（４３ｂ）を配設、結合することが
できる。

本実施例においても搬送台（４４）を旋回運動する場合
には、第１電動機（６１）、第２電動機（６２）の回転
軸（６１ａ）　（６２ａ）を同時に駆動開始して同じ方
向に同速度で同角度だけ回転駆動される。これにより第
４Ａ図及び第４Ｂ図に示すような旋回運動を行うことが
できる。

また、搬送台（４４）を直進運動させる場合には同様に
して第１電動機（６Ｉ）及び第２電動機（６２）の回転
軸（６１ａ）　（６２ａ）を相反する方向に同角度だけ
同速度で回転駆動される。これにより第１実施例と同様
に第５Ａ図、第５Ｂ図及び第５Ｃ図に示すような位置を
順次とり、搬送台（４４）を所定距離前進させることが
できる。

第８図は本発明の第３実施例による多関節搬送装置を示
すものであるが全体としてこの装置は（８０）で示され
、第１実施例に対応する部分については同一の符号を付
しその詳細な説明は省略する。

本実施例では第１電動機（７１）は第１実施例と同様な
構成を備えているが、これが貫通する中空軸（７３）は
第２電動機の回転軸ではなくて独立した部材であり、こ
の下端部に環状のギア（７４）が固定さ５ れている。これに連結ギア（７５）を介して第２電動機
（７２）の回転軸に固定される第３のギア（７６）に係
合している。これらギア（７４）　（７５）　（７６）
は同一の径であり、かつ同じ歯数である。従って第２電
動機（７２）の回転軸の回転の方向はギア（７４）、す
なわち中空軸〔７３）の回転方向と同一であり、かつ同
一速度とすることができる。よって、第１実施例及び第
２実施例と同様な制御を行うことができる。本実施例に
おいても上述の実施例と同様な効果を奏するものである
が、組立てが簡単である代わりにギア（７４）　（７５
）　（７６）を必要とするが、従来よりギアの数を減少
させることができるのでバックラッシュの問題はより小
さいものとすることができる。

以上の実施例では各部分と真空との関係については何ら
記載しなかったが、今、搬送台（４４）を真空中におい
て操作する場合について説明する。この場合には電動機
側と搬送台側との間を真空シールする必要があるが、第
９図はその一例を示すもので上記実施例に対応する部分
については同一の６ 符号を付しその詳細な説明は省略するが、真空槽の隔壁
の一部（８２）には一体向に取付孔を有するフランジ部
材（８１）が固定されており、これに挿通される中空軸
（５１）の外周面と、この取付フランジ（８１）の内周
壁面とで真空シールＳ２を介して軸シールされ、また、
軸（４８）の外周面と中空軸（５１）の内周壁面との間
は第２の真空シールＳ１により軸シールされる。そして
、軸（４８）　（５１１の先端部に上述したようなアー
ム機構及び搬送台が配設されるのであるが、これらが真
空槽内にあり、また、第９図において下方側、すなわち
第１、第２電動機側は大気側にあるものとする。

以上のようなシール作用を行うためには従来では第１１
図に示すような軸シールを行わなければならない。すな
わち、第１２図も参照して説明すると、従来装置におけ
るギア（２０）　（２１）の中心に固定された駆動軸（
２０ａ）　（２１ａ）の上端部が第１１図に示されてい
るが、これらは回転軸（８３）に形成される挿通孔を挿
通しており、これら挿通孔の内周壁面と軸（２０ａ）　
（２１ａ）の外周壁面との間に真空シールＳ３゜Ｓ４が
介在させられる。回転軸（８３）は第１２図を参照して
説明すると、支持台（３０）の下方に配設され、支持台
の下方の基台（３６）上に設けられたアーム機構全体を
旋回運動させるための電動機の駆動軸に連結されるもの
であるが、これに上述の駆動軸（２０ａ）　（２１ａ）
を挿通させるための孔が形成されている。そして、この
外周壁面と真空槽の隔壁（８６）に取付けられた取付フ
ランジ（８５）の孔の内壁面と回転軸（８３）の外周面
との間に真空シールＳ３が施される。すなわち、従来技
術においては３つの真空シールが必要とされるが、本発
明によれば第９図に示すように２つの真空シールで済ま
すことができる。よって、高価な真空シールの数を減少
させることができ、装置コストを大幅に低下させること
ができる。

第１０図は本発明の第４実施例による多関節搬送装置を
示すものであるが、図において上記の実施例に対応する
部分については同じ符号を付し、その詳細な説明は省略
する。

本実施例においては、中実の軸（９１）が回動中空軸（
９２）を挿通しており、その先端部に上記実施例と同様
に一方の駆動アームの一端部が固定されており、又この
下端部にはギア（１００）が固定されている。軸（９１
）は回動中空軸（９２）との間に取り付けられた一対の
ベアリング（９３）　（９５）により回動可能に支持さ
れているのであるが、このベアリング（９３）　（９５
）のインナーレースに嵌着固定されており、このアウタ
ーレースは回動中空軸（９２）の内周壁に固定されてい
る。回動中空軸（９２）の下端部にも上述のギア（１０
０）と同じ形状で同じ歯数のギア（９７）が固定されて
おり、又回動中空軸（９２）は一対のベアリング（９４
）　Ｆ９６）のインナーレースに固定されており、この
アウターレースは固定部としての中空パイプ（１０３）
の内周壁に固定されている。ギア（９７）は第１電動機
（９９）の回転軸の先端部に固定されたギア（９８）と
噛合しており、又ギア（１００）は第２の電動機（１０
１）の回転軸の先端部に固定されたギア（１０２）と噛
合している。ギア（９８１（１０２）の径は同一であり
、又歯数も同数である。従って第１電動機（９９）及び
第２電動機（ｌＯｌ）を同一方向に　９ 回転させた場合には、それぞれギア（９７）　（１００
）により反転されるが、これらが同歯数であるので同じ
方向に回動中空軸（９２）及び中実の軸（９１）は回転
する。すなわちこの場合にはアームを旋回運動させる。

又上記実施例と同様に第１の電動機（９９）及び第２の
電動機（１０１１を相反する方向に回動させた時にはギ
ア（１ｏｏ）　（１０２１及び（９７１（９８）の係合
により相反する方向に回動中空軸（９２）及び中実の軸
（９１）が回動する。これにより、上述したように搬送
台（４４）は直進運動を行なうことができる。その他の
作用及び効果については上記実施例と同様である。なお
、第１〜第３実施例では、中実の軸及び中空の軸のベア
リングについては説明しなかったが、第１０図と同様に
各々一対のベアリング（９３）（９５）及び（９４）　
（９６）で軸承けしてもよい。

なおまた、第１、第２電動機として真空中で使用できる
いわゆる真空用モータを用いれば、第９図や第１１図で
示すような真空シールは不要であり、これら搬送装置全
体を真空槽内に入れて動作０ させることができる。真空用モータとしては、例えばＡ
Ｇ（アキシャルギャップ）モータがありこのステーク部
を密閉し、これと軸方向にギャップをおいてロータを配
設させたものがある。

以上、本発明の各実施例について説明したが、勿論、本
発明はこれらに限定されることなく本発明の技術的思想
に基いて種々の変形が可能である。

例えば、以上の実施例では第１及び第２電動機として、
いわゆるラジアルギャップモータ、すなわちステータが
環状であり、これに径方向にギャップを介して内部に回
転子を配設し、これに上述の軸及び中空軸を連結させる
ようにしたが、これに代えてアキシャルギャップモータ
（いわゆるＡＧモータ）を用いてもよい。すなわち、ス
テータと軸方向にギャップをおいて回転体を配設し、公
知のようにステータには複数のコイルを等角度間隔で配
設し、これに順次、交流を切換えて通電しＮ極とＳ極を
交互に発生させて回転体を回転するようなアキシャルギ
ヤツブモータを用いてもよい。この場合には真空槽内に
搬送台を適用する場合には、回転部のみを真空槽におい
て配設し、固定子側は大気側に配設するようにすること
ができる。この場合には真空シールの数を更に減少させ
ることが可能となる。

また、以上の実施例では搬送台を真空槽内で用いる場合
について説明したが、勿論、全体を大気中で用いる場合
にも本発明は適用可能である。この場合には当然のこと
ながら真空シールは必要ではないが、やはり従来技術と
比べ部品点数を減少し、かつギアを用いる必要がないの
でバックラッシュの問題もな（搬送台の位置決めを正確
に行うことができる。

また、以上の実施例では搬送台を水平面内で直進運動及
び旋回運動させるようにしたが、これに代えて搬送台を
垂直面内で直進運動及び旋回運動させるようにしてもよ
い。この場合には搬送台の形状を適宜構成し、それに載
せられる半導体ウェハまたは物体が落下しないような構
成とすればよい。あるいは、載せる物体との係合部を備
えるようにしてもよい。この場合には駆動アーム及び被
駆動アームは上記実施例と異なり垂直面内に配設される
が、電動機の軸も上記実施例では上下方向に延びるよう
に配設したが、これを水平方向に配設されることになる
。但し、本発明によりこれらは同軸上に配設されること
は必要である。

また、以上の変形例では垂直面内で搬送台を直進運動及
び旋回運動をするようにしたが、更に垂直面内と水平面
内との間、すなわち、斜め方向で搬送台を直進運動させ
、かつこの斜め方向の面内で搬送台を旋回運動させるよ
うにしてもよいが、この場合、搬送台に常に搬送台が水
平方向を向くような機構を設けて水平に半導体ウェハの
ような真空処理装置内で処理される物体を搬送するよう
にしてもよい。

また、以上の実施例では第１１図の従来例の搬送装置の
ように一対の駆動アームと被駆動アームの長さを変えて
後者の方を長くしたが、これを逆にするか、あるいは、
更に長さの差をっけてもよい。

　３ また、以上の実施例では駆動アームと被駆動アームを枢
着させるのに単にビンとこれを嵌合させるための孔とに
より枢着機構を説明したが、これに代えて公知のベアリ
ング機構を用いて枢着、支持するようにしてもよい。ま
た、搬送台と両波駆動アームの一端部との枢着において
も同様である。

また、以上の第１実施例では第１電動機（４６）の回転
軸が中空軸（５１）を挿通させるためにこの中空軸（５
１）より長く形成したために、電動機（４６）の回転軸
（４６ａ）と挿通する軸部分（４８）との間にカップリ
ング（４７）を設けたが、アームの負荷によってはこれ
を省略し、直接電動機の長い軸の先端部に駆動アームを
固定させるようにしてもよい。

また、以上の実施例では中空軸（５１）を挿通する中実
軸（４８）の先端部をこの中空軸（５１）から外部に突
出するようにしたが、突出せずとも中空軸の土壁部分に
弧状の切欠を形成し、これに中空軸を途中まで挿通する
軸の先端部に取付けたアーム取付部を挿通させてこの先
端部に駆動アームの一端を　４ 固定させ、中空軸の土壁部に形成された弧状のスリット
の範囲内で駆動アームを回動させるようにしてもよい。

この場合には第１電動機（４６）の回転軸（４６ａ）　
（４８）を更に短くすることができるので、実施例のよ
うにカップリング（４７）を用いる必要はなくなる。

［発明の効果］ 以上述べたように、本発明の多関節搬送装置によれば２
つの電動機の必要トルクを従来より小さく、すなわち、
容量を小さくすることができ、よってこれに要するコス
トを低下させることができ、また、搬送台を真空槽内で
用いる場合には軸シールが必要であるが、この数を従来
より少なくすることができるのでこれに要するコストも
低下させることができる。また、多数のギアを必要とす
ることがなく、あるいはギアを全熱必要とすることがな
いので、これらによるバックラッシュの問題がなくなり
、よって高精度で容易に所定の位置に搬送台を位置決め
することができる。

又、駆動軸のみが回転するため、多回転の運動が可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例による多関節搬送装置の平
面図、第２図は第１図における■−■線方向断面図、第
３図は第１図におけるＩＩＩ　−ＩＩＩ線方向平面図、
第４Ａ図及び第４Ｂ図は第１実施例の作用を説明するた
めの概略平面図、第５Ａ図、第５Ｂ図及び第５Ｃ図は同
実施例の作用を説明するための概略平面図、第６図は本
発明の第２実施例による多関節搬送装置の第２図と同様
な断面図、第７図は同実施例の第３図と同様な断面図、
第８図は本発明の第３実施例による多関節搬送装置の第
２図と同様な断面図、第９図は第１実施例及び第２実施
例の搬送台を真空槽内で用いる場合の同要部の拡大断面
図、第１０図は本発明の第４実施例による多関節装置の
第２図と同様な断面図、第１１図は従来の装置で用いら
れる軸シール部の第９図と同様な断面図及び第１２図は
従来例の多関節搬送装置の平面図である。 なお、図において、 ４０）　・・・・−・・・・・・ ４１ａ）（４１ｂ）　　−−−−− ４３ａＨ４３ｂ）　　・・−・ ４６）ｆ６ｉ）（９９）・・・・ ４６ａ　　（６１ａ）ｆ６２ａ）　・ ４８）（９１）・・・・・−・・ ４９）（６２）（１０１１・・・ ５１）（９２）・・・・・・・・ 関節搬送装置 動アーム 駆動アーム １の電動機 転　　　　軸 実　　の　　軸 ２の電動機 空　　　　軸 代 理 人 飯 阪 泰 雄 　７ 特開平３−２８１１８３　（１０）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）一対の駆動アーム、該駆動アームの一端部に各々
   、一端部が枢着される一対の被駆動アーム、該被駆動ア
   ームの他端部に枢着される搬送台、前記駆動アームの他
   端部に固定される各駆動軸から成る多関節搬送装置にお
   いて、前記両駆動軸を同軸上に配設し、各々を独立した
   電動機で駆動するようにし、前記搬送台を直進運動させ
   るときには、前記両駆動軸を同じ角度だけ、同速度で逆
   方向に回転駆動させ、前記搬送台を旋回運動させるとき
   には、前記両駆動軸を同じ角度だけ、同速度で同方向に
   回転駆動させるようにしたことを特徴とする多関節搬送
   装置。
2. （２）前記両駆動軸の一方は中空であり、他方はこれを
   貫通している請求項（１）に記載の多関節搬送装置。
3. （３）前記一方の中空の駆動軸の内周壁面と前記他方の
   駆動軸の外周壁面との間及び、前記一方の中空の駆動軸
   の外周壁面と真空槽壁に設けた取付開口の内周壁面との
   間を軸シールして前記両電動機を大気側に配設し、前記
   駆動アーム、前記被駆動アーム及び前記搬送台を前記真
   空槽内側に配設した請求項（２）に記載の多関節搬送装
   置。
4. （４）前記両駆動軸を上下に相離隔して配設し、各々、
   上下に配設させた前記電動機により駆動させるようにし
   た請求項（１）に記載の多関節搬送装置。
5. （５）前記両駆動軸の各外周壁面と真空槽壁に設けた一
   対の取付開口の各内周壁面との間を軸シールして前記両
   電動機を大気側に配設し、前記駆動アーム、前記被駆動
   アーム及び前記搬送台を前記真空槽内側に配設した請求
   項（４）に記載の多関節搬送装置。