JP2000320694A

JP2000320694A - 真空ゲートバルブ

Info

Publication number: JP2000320694A
Application number: JP11134534A
Authority: JP
Inventors: Yuzo Hayashi; 雄造林; Hidehiko Yoshida; 秀彦吉田; Hiromi Morita; 広美森田
Original assignee: Irie Koken Co Ltd
Current assignee: Irie Koken Co Ltd
Priority date: 1999-05-14
Filing date: 1999-05-14
Publication date: 2000-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、弁板を往復直動させて開口の開閉
弁を行う場合に、弁板の側部位置の弾性シール体の形状
を曲折させ、弾性シール体自体を加硫焼付けによって形
成することにより、安価で高信頼性とすることを目的と
する。【解決手段】本発明による真空ゲートバルブは、開口
(2)の内周縁(11)に形成された開口テーパ部(12)と、弁
板(4)に形成され開口テーパ部(12)に対面する弁板テー
パ部(4a)と、弁板テーパ部(4a)に輪状に形成され弁板
(4)の両側面側に形成された曲折部(7)を有する弾性シー
ル体(6)とを備え、弾性シール体(6)は加硫焼付処理で形
成した構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空ゲートバルブ
に関し、特に、弾性シール体の側部の形状を曲折状又は
円弧状とし、その材質を加硫焼付処理することによっ
て、開閉弁動作による弾性シール体の劣化を防止し、か
つ、簡単な構成にて弁板を直動するのみで開口の開閉弁
を行うための新規な改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空ゲー
トバルブとしては種々あるが、例えば、矩形開口の直動
方式のゲート弁には、特開平２−１１３１７８号公報、
特開平５−２６３９６６号公報、特開平１１−３７３１
５号公報等があり、他のカムを用いて弁板を直動から傾
動させる構成も現在多用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の真空ゲートバル
ブは、以上のように構成されているため、次のような課
題が存在していた。すなわち、特開平２−１１３１７８
号公報に開示された構成の場合、シール面の形状が複雑
で、加工精度及び組立精度が厳密に要求されていた。ま
た、弁板に圧力が加わった場合、弁板がたわみ且つシー
ル材が過剰変形することを防ぐために大型のストッパー
が必要であり、小型化が困難であった。また、特開平５
−２６３９６６号公報に開示された構成では、シール面
が長くなり、このシール材は有機高分子材料であるた
め、金属よりも大幅にガス放出が多く、真空環境の劣化
を招くことになっていた。また、シール面の形状が複雑
で、加工精度及び組立精度は厳密さが要求されていた。
さらに、特開平１１−３７３１５号公報に開示された構
成においては、シール材をアリ溝で保持していたため、
運動方向に直角方向のＯリングには回転力が作用して回
転し、十分なシール効果を得ることが困難であった。ま
た、運動方向と同じ方向のＯリングでは、シール面で滑
りが生じ、Ｏリングの損傷が発生し、Ｏリングの耐久性
や発塵等が問題となっていた。

【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、弾性シール体の側部の形状
を曲折状又は円弧状とし、その材質を加硫焼付処理する
ことによって、開閉弁動作によるＯリング（弾性シール
体）の劣化を防止し、かつ、簡単な構成にて弁板を直動
するのみで開口の開閉弁を行うようにした真空ゲートバ
ルブを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明による真空ゲート
バルブは、弁箱に形成された開口の開閉を、前記弁箱に
設けられた駆動手段により往復直動する弁板により行う
ようにした真空ゲートバルブにおいて、前記開口の内周
縁に形成された開口テーパ部と、前記弁板に形成され前
記開口テーパ部に対面する弁板テーパ部と、前記弁板テ
ーパ部に輪状に形成され前記弁板の両側面側に形成され
た曲折部を有する弾性シール体と、を備えた構成であ
り、また、前記弁板の前記弁板テーパ部に対向する裏面
は非テーパ状に形成され、前記開口の内周縁に形成され
た開口非テーパ部と前記裏面との間には弾性体が配設さ
れている構成であり、また、前記開口テーパ部には、前
記弾性シール体と当接するため断面形状が円弧状をなす
輪状凹部が形成されている構成であり、また、前記曲折
部はくの字型又は円弧状とした構成であり、また、前記
弁板の前記弁板テーパ部に対向する裏面はテーパ状に形
成されて裏面テーパ部を形成し、前記開口の前記開口テ
ーパ部に対面する裏面には裏面開口テーパ部が形成さ
れ、前記裏面テーパ部に設けられ前記弾性シール体と同
一形状に形成された裏面用弾性シール体を前記裏面開口
テーパ部に当接させるようにした構成であり、また、前
記弾性シール体は、ゴムを加硫焼付処理してなる構成で
あり、また、前記弾性シール体は、沸素ゴムよりなる構
成であり、また、前記弾性シール体は、弾面凸状をなす
構成であり、さらに、前記弾性シール体は、断面形状が
内部凹部を有するΩ状をなし、前記弁板に形成された輪
状突部が前記内部凹部に係合している構成である。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空ゲートバルブの好適な実施の形態について説明する。
図１から図３において符号１で示されるものは、全体形
状が箱形をなし開口２を有する弁箱であり、この弁箱１
内には弁棒３で支持された弁板４が矢印Ａに沿って上下
方向に直動できるように構成されている。前記弁箱１の
下部に固定された電動又は空圧等のシリンダからなる駆
動手段５には前記弁棒３が接続され、この駆動手段５と
前記弁箱１の底面１ａとの間には蛇腹式のベローズ６が
設けられ、弁箱１内の真空を保つことができるように構
成されている。

【０００７】前記弁板４は、一面がテーパ状に形成され
た弁板テーパ部４ａが形成され、他面が非テーパ状の裏
面４ｂで形成されている。この弁板テーパ部４ａには、
図３で示されるような輪状の弾性シール体６が形成さ
れ、この弾性シール体６は前記弁板４の短辺に形成され
た直線部４ｃに対応してこれと非平行な曲折部７が形成
されている。この曲折部７は、くの字型又は円弧状の場
合も可能である。

【０００８】前記弾性シール体６は、図４から図８で示
されるように、断面形状が凸型をなし、例えば沸素ゴム
を周知の加硫焼付処理して形成しており、特に図７の場
合には、弁板４の輪状突部１０上に断面形状がΩ（オー
ム）状をなすと共に、この弾性シール体６の内部凹部６
ａがこの輪状突部１０上を覆うように形成されている。

【０００９】前記弁箱１の開口２の近傍の内周縁１１に
形成された輪状の開口テーパ部１２には、前記弁板テー
パ部４ａに形成された弾性シール体６が係合し、前記開
口２の前記開口テーパ部１２と対面する開口非テーパ部
１３と前記裏面４ｂとの間に設けられた弾性体１３Ａが
介装されている。なお、この弾性体１３は、前述の加硫
焼付処理によって形成されていると共に、前記裏面４ｂ
又は開口非テーパ部１３の何れかに形成されている。ま
た、この弾性体１３Ａを用いることなく図２のように、
裏面４ｂと開口非テーパ部１３とを直接接合させること
もできる。

【００１０】また、図８に示されるように、前記開口テ
ーパ部１２に、前記弾性シール体６の輪状形状に合わせ
て断面円弧状の輪状凹部１５が形成され、この輪状凹部
１５は図９で示される形状をなし、前記弾性シール体６
と係合するように構成されている。

【００１１】次に、動作について説明する。まず、各チ
ャンバー間に設けられた真空ゲートバルブの駆動手段５
を駆動することにより、弁板４は開口２の下方より上昇
して図１のように開口２を遮断する状態となり、開口テ
ーパ部１２に弁板４の弁板テーパ部４ａに設けられた弾
性シール体６が接して係合し、同時に弁板４が反対方向
に押されて開口非テーパ部１３と裏面４ｂとが弾性体１
３を介して密合し、開口２が完全に閉弁状態となる。こ
の際シールは弾性シール体６の弾性域で変形している。
また、開口２を開弁状態とする場合には、前述と逆に、
駆動手段５によって弁板４を降下させることにより、開
口２は開弁される。

【００１２】また、図１０及び図１１で示される他の形
態の場合、前述の弁板４の裏面４ｂがテーパ状に形成さ
れて裏面テーパ部４ａＡが形成されていると共に、図１
の開口非テーパ部１３がテーパ状に形成されて裏面開口
テーパ部１２Ａが形成されている。従って、弁板４はそ
の両面がテーパ状に形成されていると共に、開口２の内
周縁１１の両面もテーパ状に形成され、用いられる弾性
シール体６は前述と同じ構成の両面用弾性シール体１０
０であると共に、弁板４の両面に弾性シール体６が形成
されている。

【００１３】

【発明の効果】本発明による真空ゲートバルブは、以上
のように構成されているため、次のような効果を得るこ
とができる。すなわち、テーパ部を有する弁板を直動さ
せて開口の開口テーパ部に接合させると共に、弾性シー
ル体が加硫焼付処理によって形成されているため、弁板
押付時の弾性シール体の弾性変形により安定した閉弁動
作を得ることができる。また、弾性シール体の側部の形
状が直線ではなく、くの字型あるいは円弧状に曲折して
いるため、弁板が上昇及び下降時に弁箱と接する際の滑
り動作を避けることができ、安定したシール動作を達成
することができる。また、図８の形態においては、シー
ル面の弁板の移動方向に対して、テーパ面より大きい角
度になるため、シールに必要な移動距離ならびに押付力
が軽減できる。また、弁板は直動のみであるため、構造
が単純で、コストダウン用の真空ゲートバルブに適用で
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による真空ゲートバルブを示す概略断面
図である。

【図２】図１の他の形態を示す断面図である。

【図３】図１の弁板を示す正面図である。

【図４】図１の弁板を示す断面図である。

【図５】図１の弾性シール体を示す拡大断面図である。

【図６】図５の変形状態を示す断面図である。

【図７】図５の他の形態を示す断面図である。

【図８】図１の要部の拡大断面図である。

【図９】図８の要部を示す正面図である。

【図１０】図１の他の形態を示す正面図である。

【図１１】図１０の断面図である。

【符号の説明】１弁箱２開口４弁板４ａ弁板テーパ部６弾性シール体７曲折部１０輪状凹部１２開口テーパ部１２Ａ裏面開口テーパ部１３開口非テーパ部１００裏面用弾性シール体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者森田広美東京都中央区築地４丁目７番１号築地三井ビルディング９階入江工研株式会社内Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA25 BA23 BA33 DA09

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弁箱(1)に形成された開口(2)の開閉を、
前記弁箱(1)に設けられた駆動手段(5)により往復直動す
る弁板(4)により行うようにした真空ゲートバルブにお
いて、前記開口(2)の内周縁(11)に形成された開口テー
パ部(12)と、前記弁板(4)に形成され前記開口テーパ部
(12)に対面する弁板テーパ部(4a)と、前記弁板テーパ部
(4a)に輪状に形成され前記弁板(4)の両側面側に形成さ
れた曲折部(7)を有する弾性シール体(6)と、を備えたこ
とを特徴とする真空ゲートバルブ。
【請求項２】前記弁板(4)の前記弁板テーパ部(4a)に
対向する裏面(4b)は非テーパ状に形成され、前記開口
(2)の内周縁(11)に形成された開口非テーパ部(13)と前
記裏面(4b)との間には弾性体(13A)が配設されているこ
とを特徴とする請求項１記載の真空ゲートバルブ。
【請求項３】前記開口テーパ部(12)には、前記弾性シ
ール体(6)と当接するため断面形状が円弧状をなす輪状
凹部(15)が形成されていることを特徴とする請求項１又
は２記載の真空ゲートバルブ。
【請求項４】前記曲折部(7)はくの字型又は円弧状で
あることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載
の真空ゲートバルブ。
【請求項５】前記弁板(4)の前記弁板テーパ部(4a)に
対向する裏面(4b)はテーパ状に形成されて裏面テーパ部
(4aA)を形成し、前記開口(2)の前記開口テーパ部(12)に
対面する裏面には裏面開口テーパ部(12A)が形成され、
前記裏面テーパ部(4aA)に設けられ前記弾性シール体(6)
と同一形状に形成された裏面用弾性シール体(100)を前
記裏面開口テーパ部(12A)に当接させるように構成した
ことを特徴とする請求項１，３，４の何れかに記載の真
空ゲートバルブ。
【請求項６】前記弾性シール体(6,100)は、ゴムを加
硫焼付処理してなることを特徴とする請求項１ないし５
の何れかに記載の真空ゲートバルブ。
【請求項７】前記弾性シール体(6,100)は、沸素ゴム
よりなることを特徴とする請求項６記載の真空ゲートバ
ルブ。
【請求項８】前記弾性シール体(6,100)は、弾面凸状
をなすことを特徴とする請求項１ないし７の何れかに記
載の真空ゲートバルブ。
【請求項９】前記弾性シール体(6,100)は、断面形状
が内部凹部(6a)を有するΩ状をなし、前記弁板(4)に形
成された輪状突部(10)が前記内部凹部(6a)に係合してい
ることを特徴とする請求項１ないし７の何れかに記載の
真空ゲートバルブ。