JP2000321482A - 焦点自動調節装置 - Google Patents
焦点自動調節装置Info
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- JP2000321482A JP2000321482A JP11129436A JP12943699A JP2000321482A JP 2000321482 A JP2000321482 A JP 2000321482A JP 11129436 A JP11129436 A JP 11129436A JP 12943699 A JP12943699 A JP 12943699A JP 2000321482 A JP2000321482 A JP 2000321482A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速で、かつ、高精度の合焦が可能な焦点自
動調節装置を提供すること。 【解決手段】 外部測距方式のアクティブAF10とT
TL測距方式のパッシブAF20とを備え、アクティブ
AF10の焦点検出情報Saに基づいて合焦点を含む所
定の焦点検出範囲を設定し、パッシブAF20によりそ
の焦点検出範囲内から合焦点を検出すべく制御するコン
トロ−ラ40を備えた構成となっている。
動調節装置を提供すること。 【解決手段】 外部測距方式のアクティブAF10とT
TL測距方式のパッシブAF20とを備え、アクティブ
AF10の焦点検出情報Saに基づいて合焦点を含む所
定の焦点検出範囲を設定し、パッシブAF20によりそ
の焦点検出範囲内から合焦点を検出すべく制御するコン
トロ−ラ40を備えた構成となっている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、焦点自動調節装
置に関し、例えば、写真撮影用カメラ、電子スチルカメ
ラ、ビデオカメラなどに備える焦点自動調節装置に係
る。
置に関し、例えば、写真撮影用カメラ、電子スチルカメ
ラ、ビデオカメラなどに備える焦点自動調節装置に係
る。
【0002】
【従来の技術】写真撮影用カメラ、電子スチルカメラ、
ビデオカメラなどのカメラには、アクティブ構成の焦点
自動調節装置(以下、単に「アクティブAF」という)
か、または、パッシブ構成の焦点自動調節装置(以下、
単に「パッシブAF」という)を備えたものが多いが、
最近では、これら2つの焦点自動調節装置を備えて選択
的に使用する構成のカメラが開発されている。
ビデオカメラなどのカメラには、アクティブ構成の焦点
自動調節装置(以下、単に「アクティブAF」という)
か、または、パッシブ構成の焦点自動調節装置(以下、
単に「パッシブAF」という)を備えたものが多いが、
最近では、これら2つの焦点自動調節装置を備えて選択
的に使用する構成のカメラが開発されている。
【0003】広く知られているように、アクティブAF
は、カメラ側から被写体に向かって赤外線光を投光し、
その被写体反射光を焦点検出の情報源とするものである
ため、被写体が遠く、反射光が低レベルとなるときは測
距困難となるために焦点検出が不能となる。
は、カメラ側から被写体に向かって赤外線光を投光し、
その被写体反射光を焦点検出の情報源とするものである
ため、被写体が遠く、反射光が低レベルとなるときは測
距困難となるために焦点検出が不能となる。
【0004】これに対し、パッシブAFは、被写体より
受ける光のコントラストを焦点検出の情報源とするもの
であるから、被写体に識別できるコントラストがあれ
ば、被写体の遠近には関係なく測距することができ、焦
点検出が可能になる。
受ける光のコントラストを焦点検出の情報源とするもの
であるから、被写体に識別できるコントラストがあれ
ば、被写体の遠近には関係なく測距することができ、焦
点検出が可能になる。
【0005】したがって、アクティブAFとパッシブA
Fとを備えるカメラは、近距離被写体の撮影の場合はア
クティブAFを利用し、遠距離被写体の撮影にはパッシ
ブAFを利用するようにして、アクティブAFの欠点を
パッシブAFによって補う構成としたものが多い。
Fとを備えるカメラは、近距離被写体の撮影の場合はア
クティブAFを利用し、遠距離被写体の撮影にはパッシ
ブAFを利用するようにして、アクティブAFの欠点を
パッシブAFによって補う構成としたものが多い。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、アクティブA
Fの欠点は遠距離被写体の測距困難の他にも多々あり、
また、パッシブAFにも欠点がある。アクティブAFと
パッシブAFとを比較すると下表のようになる。
Fの欠点は遠距離被写体の測距困難の他にも多々あり、
また、パッシブAFにも欠点がある。アクティブAFと
パッシブAFとを比較すると下表のようになる。
【0007】 * メリット アクティブAF パッシブAF ・所要時間が短い(一定)。 ・遠距離でも測距可能。 ・低輝度(真っ暗)でも測距可能。 ・距離に関係なく分解能を得られる。 ・コントラストの無い被写体でも測距 ・TTL方式の場合、パララックスが 可能。 生じない。 ・比較的安価。 ・ガラス越しでも誤測距しない。 * デメリット アクティブAF パッシブAF ・遠距離の被写体に対して限界がある。 ・コントラストの無い被写体、低輝度 ・近距離ではパララックスが生じる。 の場合に測距不能となる。 ・高輝度時に信頼性が低くなる。 ・暗い時、所要時間が長くなる。 ・分解能がやや劣る。 ・比較するとやや高価。 ・ガラス越し等の条件で誤測距する事が ある。
【0008】そこで、本発明はアクティブAFとパッシ
ブAFとの長所を最大限に取り入れ、反面、これらAF
の欠点を相互に補うようにし、被写体輝度が低く、ま
た、コントラストの少ない被写体の場合でも、高速で、
かつ、高精度の合焦が可能な焦点自動調節装置を提案す
ることを目的とする。
ブAFとの長所を最大限に取り入れ、反面、これらAF
の欠点を相互に補うようにし、被写体輝度が低く、ま
た、コントラストの少ない被写体の場合でも、高速で、
かつ、高精度の合焦が可能な焦点自動調節装置を提案す
ることを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ため、本発明は、アクティブ構成の第1の焦点調節手段
と、パッシブ構成の第2の焦点調節手段とを備えた焦点
自動調節装置に関する。
ため、本発明は、アクティブ構成の第1の焦点調節手段
と、パッシブ構成の第2の焦点調節手段とを備えた焦点
自動調節装置に関する。
【0010】そして、第1の発明の焦点自動調節装置
は、第1の焦点調節手段の焦点検出情報に基づいて所定
の焦点検出範囲を設定し、第2の焦点調節手段により上
記焦点検出範囲内から合焦点を検出すべく制御するコン
トロ−ル手段を備えた構成となっている。
は、第1の焦点調節手段の焦点検出情報に基づいて所定
の焦点検出範囲を設定し、第2の焦点調節手段により上
記焦点検出範囲内から合焦点を検出すべく制御するコン
トロ−ル手段を備えた構成となっている。
【0011】また、第2の発明の焦点自動調節装置は、
物体のコントラストまたは明るさが低く、第2の焦点調
節手段による焦点検出が不能となるときは、第1の焦点
調節手段の焦点検出情報を合焦情報とすべく制御するコ
ントロ−ル手段を備えた構成となっている。
物体のコントラストまたは明るさが低く、第2の焦点調
節手段による焦点検出が不能となるときは、第1の焦点
調節手段の焦点検出情報を合焦情報とすべく制御するコ
ントロ−ル手段を備えた構成となっている。
【0012】さらに、第3の発明の焦点自動調節装置
は、物体や焦点調節の諸条件にしたがって、第1の焦点
調節手段と第2の焦点調節手段のいずれか一方の動作モ
−ドを選択し、または、第1、第2の焦点調節手段の動
作モ−ドを選択し、選択した動作モ−ドによって合焦点
を検出すべく制御するコントロ−ル手段を備えた構成と
なっている。
は、物体や焦点調節の諸条件にしたがって、第1の焦点
調節手段と第2の焦点調節手段のいずれか一方の動作モ
−ドを選択し、または、第1、第2の焦点調節手段の動
作モ−ドを選択し、選択した動作モ−ドによって合焦点
を検出すべく制御するコントロ−ル手段を備えた構成と
なっている。
【0013】
【作用】第1の発明の焦点自動調節装置は、先ず、第1
の焦点調節手段によって焦点検出し、この焦点検出情報
に基づいて焦点検出範囲が設定される。この焦点検出範
囲は合焦点を中心として至近側と∞側に各々幅をもたせ
た所定の範囲に設定される。続いて、第2の焦点調節手
段によって上記焦点検出範囲内から焦点検出が行なわ
れ、この焦点検出によって真の合焦点が検出される。
の焦点調節手段によって焦点検出し、この焦点検出情報
に基づいて焦点検出範囲が設定される。この焦点検出範
囲は合焦点を中心として至近側と∞側に各々幅をもたせ
た所定の範囲に設定される。続いて、第2の焦点調節手
段によって上記焦点検出範囲内から焦点検出が行なわ
れ、この焦点検出によって真の合焦点が検出される。
【0014】この第1の発明の焦点自動調節装置によれ
ば、焦点検出の分解能は劣るが焦点検出速度の速い第1
の焦点調節手段によって焦点検出され、この焦点検出情
報に基づいた焦点検出範囲内から分解能の高い第2の焦
点調節手段によって真の合焦点が検出されるから、物体
の明るさやコントラストに関係なく、高速で、かつ、高
精度に合焦制御する焦点自動調節装置となる。
ば、焦点検出の分解能は劣るが焦点検出速度の速い第1
の焦点調節手段によって焦点検出され、この焦点検出情
報に基づいた焦点検出範囲内から分解能の高い第2の焦
点調節手段によって真の合焦点が検出されるから、物体
の明るさやコントラストに関係なく、高速で、かつ、高
精度に合焦制御する焦点自動調節装置となる。
【0015】第2の発明の焦点自動調節装置は、第1の
焦点調節手段の焦点検出情報に基づいて焦点検出範囲を
設定した後、第2の焦点調節手段によって行なわれる焦
点検出範囲内の焦点検出が不能となる場合、つまり、物
体のコントラストまたは明るさが低いために、焦点検出
が困難となるときは、第1の焦点調節手段の焦点検出情
報を合焦情報とする。
焦点調節手段の焦点検出情報に基づいて焦点検出範囲を
設定した後、第2の焦点調節手段によって行なわれる焦
点検出範囲内の焦点検出が不能となる場合、つまり、物
体のコントラストまたは明るさが低いために、焦点検出
が困難となるときは、第1の焦点調節手段の焦点検出情
報を合焦情報とする。
【0016】第3の発明の焦点自動調節装置は、通常は
第1、第2の焦点調節手段によって焦点検出するが、レ
スポンスを優先するときは第1の焦点調節手段によっ
て、また、合焦精度を優先するときは第2の焦点調節手
段によって焦点検出する。さらに、物体のコントラスト
が低いことや、物体が暗いことが予め分かっているとき
は第1の焦点調節手段のみで焦点検出し、また、近距離
の物体のために、パララックスが生じるような場合や、
物体をガラス越しに測距するような場合には第2の焦点
調節手段によって焦点検出することができる。
第1、第2の焦点調節手段によって焦点検出するが、レ
スポンスを優先するときは第1の焦点調節手段によっ
て、また、合焦精度を優先するときは第2の焦点調節手
段によって焦点検出する。さらに、物体のコントラスト
が低いことや、物体が暗いことが予め分かっているとき
は第1の焦点調節手段のみで焦点検出し、また、近距離
の物体のために、パララックスが生じるような場合や、
物体をガラス越しに測距するような場合には第2の焦点
調節手段によって焦点検出することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】次に、カメラの焦点自動調節装置
として実施した本発明の一実施形態について図面に沿っ
て説明する。図1は焦点自動調節装置の要部を示した構
成図であり、この焦点自動調節装置は、撮影レンズの近
くに設けた外部測距方式のアクティブAF10と、TT
L測距方式としたパッシブAF20とを備えている。
として実施した本発明の一実施形態について図面に沿っ
て説明する。図1は焦点自動調節装置の要部を示した構
成図であり、この焦点自動調節装置は、撮影レンズの近
くに設けた外部測距方式のアクティブAF10と、TT
L測距方式としたパッシブAF20とを備えている。
【0018】アクティブAF10は、赤外発光ダイオ−
ド11の赤外線光を投光レンズ12を介して被写体30
に向かって投射し、また、被写体30により反射された
赤外線光を受光レンズ13を介して受光部14によって
受光する。そして、このアクティブAF10では、受光
部14にPSD(Position Sensor D
iode)を用い、被写体30から反射してこの受光部
14に入射する赤外線光の入射位置、つまり、受光部面
に入射した赤外線光の結像位置から被写体距離を測距
し、合焦点を検出する。
ド11の赤外線光を投光レンズ12を介して被写体30
に向かって投射し、また、被写体30により反射された
赤外線光を受光レンズ13を介して受光部14によって
受光する。そして、このアクティブAF10では、受光
部14にPSD(Position Sensor D
iode)を用い、被写体30から反射してこの受光部
14に入射する赤外線光の入射位置、つまり、受光部面
に入射した赤外線光の結像位置から被写体距離を測距
し、合焦点を検出する。
【0019】パッシブAF20は、撮影レンズ21を通
った被写体像光を入射させるCCD22を備え、このC
CD22によって被写体像光のコントラストを検出し、
合焦したときにコントラストが最大となることを利用し
て焦点検出する。
った被写体像光を入射させるCCD22を備え、このC
CD22によって被写体像光のコントラストを検出し、
合焦したときにコントラストが最大となることを利用し
て焦点検出する。
【0020】一方、上記したアクティブAF10とパッ
シブAF20の焦点検出動作を制御するコントロ−ラ4
0が設けてある。このコントロ−ラ40は、先ず、アク
ティブAF10を検出動作させ、このアクティブAF1
0の焦点検出情報Saにしたがって撮影レンズ21を移
動させると共に、焦点検出情報Saに基づいて焦点検出
範囲を定める。
シブAF20の焦点検出動作を制御するコントロ−ラ4
0が設けてある。このコントロ−ラ40は、先ず、アク
ティブAF10を検出動作させ、このアクティブAF1
0の焦点検出情報Saにしたがって撮影レンズ21を移
動させると共に、焦点検出情報Saに基づいて焦点検出
範囲を定める。
【0021】すなわち、撮影レンズ21が移動して合焦
位置に移動したとき、合焦点を中心として至近側と∞側
に各々幅をもたせた所定の焦点検出範囲を焦点検出情報
Saに基づいて設定する。
位置に移動したとき、合焦点を中心として至近側と∞側
に各々幅をもたせた所定の焦点検出範囲を焦点検出情報
Saに基づいて設定する。
【0022】コントロ−ラ40はこのように焦点検出範
囲を設定すると、続いてパッシブAF20を検出動作さ
せる。この検出動作は、焦点検出範囲の至近側端或いは
その∞側端より撮影レンズ21を移動させ、パッシブA
F20によって焦点検出する。つまり、コントロ−ラ4
0がドライバ−41を駆動させ、撮影レンズ21を焦点
検出範囲内で移動させる。このようにして、パッシブA
F20の焦点検出情報Spに基づいて撮影レンズ21を
真の合焦位置まで移動させる。
囲を設定すると、続いてパッシブAF20を検出動作さ
せる。この検出動作は、焦点検出範囲の至近側端或いは
その∞側端より撮影レンズ21を移動させ、パッシブA
F20によって焦点検出する。つまり、コントロ−ラ4
0がドライバ−41を駆動させ、撮影レンズ21を焦点
検出範囲内で移動させる。このようにして、パッシブA
F20の焦点検出情報Spに基づいて撮影レンズ21を
真の合焦位置まで移動させる。
【0023】図2はパッシブAF20の焦点検出を概念
的に示した説明図であり、アクティブAF10の焦点検
出情報Saにより、撮影レンズ21が合焦位置に移動す
ると、この検出情報Saに基づいて所定の焦点検出範囲
Dが設定される。そして、ドライバ−41がコントロ−
ラ40によって駆動されることにより、撮影レンズ21
が焦点検出範囲Dの至近側端或いは∞側端より移動し、
焦点検出情報Spにしたがって真の合焦位置foまで移
動される。
的に示した説明図であり、アクティブAF10の焦点検
出情報Saにより、撮影レンズ21が合焦位置に移動す
ると、この検出情報Saに基づいて所定の焦点検出範囲
Dが設定される。そして、ドライバ−41がコントロ−
ラ40によって駆動されることにより、撮影レンズ21
が焦点検出範囲Dの至近側端或いは∞側端より移動し、
焦点検出情報Spにしたがって真の合焦位置foまで移
動される。
【0024】また、この焦点自動調節装置は、図3のフ
ロ−チャ−トに示した如く、被写体30が低輝度である
か否かが判断され、低輝度でないときは、上記したよう
にアクティブAF10の検出動作に続いてパッシブAF
20による焦点検出が行なわれる。また、被写体30が
低輝度である場合、或いは、被写体30のコントラスト
が低く、パッシブAF20では検出不能となるときは、
アクティブAF10によって前もって検出した焦点検出
情報Saにしたがって撮影レンズ21を移動させて合焦
させる。
ロ−チャ−トに示した如く、被写体30が低輝度である
か否かが判断され、低輝度でないときは、上記したよう
にアクティブAF10の検出動作に続いてパッシブAF
20による焦点検出が行なわれる。また、被写体30が
低輝度である場合、或いは、被写体30のコントラスト
が低く、パッシブAF20では検出不能となるときは、
アクティブAF10によって前もって検出した焦点検出
情報Saにしたがって撮影レンズ21を移動させて合焦
させる。
【0025】上記したように、この焦点自動調節装置
は、真の合焦点がパッシブAF20によって検出される
ので、焦点検出の分解能が高く、高精度の焦点調節が行
なわれる。また、合焦点近くまでの検出動作がアクティ
ブAF10によって行なわれるため、焦点調節が速い。
は、真の合焦点がパッシブAF20によって検出される
ので、焦点検出の分解能が高く、高精度の焦点調節が行
なわれる。また、合焦点近くまでの検出動作がアクティ
ブAF10によって行なわれるため、焦点調節が速い。
【0026】一方、上記した焦点自動調節装置は、上記
したようにアクティブAF10とパッシブAF20を共
に動作モ−ドとする他、これらの一方のAFを選択した
動作モ−ドとすることができる。例えば、動的被写体や
タイミングを必要とする撮影などの場合には焦点調節の
速いアクティブAF10の動作モ−ドを選択し、静的被
写体や時間をかけて撮影する場合などには合焦精度の高
いパッシブAF20の動作モ−ドを選択し、それらの動
作モ−ドで焦点調節する。
したようにアクティブAF10とパッシブAF20を共
に動作モ−ドとする他、これらの一方のAFを選択した
動作モ−ドとすることができる。例えば、動的被写体や
タイミングを必要とする撮影などの場合には焦点調節の
速いアクティブAF10の動作モ−ドを選択し、静的被
写体や時間をかけて撮影する場合などには合焦精度の高
いパッシブAF20の動作モ−ドを選択し、それらの動
作モ−ドで焦点調節する。
【0027】また、被写体が暗く、或いは、被写体のコ
ントラストが少ないときに、アクティブAF10の動作
モ−ドを予め選択したり、また、パララックスが大きく
なるときやガラス越しに撮影するときなどにはパッシブ
AF20の動作モ−ドを選択して焦点調節することがで
きる。
ントラストが少ないときに、アクティブAF10の動作
モ−ドを予め選択したり、また、パララックスが大きく
なるときやガラス越しに撮影するときなどにはパッシブ
AF20の動作モ−ドを選択して焦点調節することがで
きる。
【0028】以上、本発明の一実施形態について説明し
たが、本発明はカメラにかぎらず、カメラ以外の焦点自
動調節装置として同様に実施することができ、また、ア
クティブAF10は赤外線光を利用したものに限られな
い。さらに、パッシブAF20の受光部は、CCD22
に限らず同様の受光素子、例えば、MOSセンサ−など
を使用することができる。
たが、本発明はカメラにかぎらず、カメラ以外の焦点自
動調節装置として同様に実施することができ、また、ア
クティブAF10は赤外線光を利用したものに限られな
い。さらに、パッシブAF20の受光部は、CCD22
に限らず同様の受光素子、例えば、MOSセンサ−など
を使用することができる。
【0029】
【発明の効果】上記した通り、本発明の焦点自動調節装
置は、アクティブAFとパッシブAFの種々の長所を取
り入れて構成したことから、高速で、かつ、高精度の合
焦が可能な焦点自動調節装置となる。特に、高倍率のズ
−ムレンズは、フォ−カス時のレンズ移動量が多く、反
面、合焦制御の高い分解能が要求されているが、本発明
の焦点自動調節装置はこのようなズ−ムレンズを備える
カメラにおいても、高速、高精度の焦点調節が実現でき
る。
置は、アクティブAFとパッシブAFの種々の長所を取
り入れて構成したことから、高速で、かつ、高精度の合
焦が可能な焦点自動調節装置となる。特に、高倍率のズ
−ムレンズは、フォ−カス時のレンズ移動量が多く、反
面、合焦制御の高い分解能が要求されているが、本発明
の焦点自動調節装置はこのようなズ−ムレンズを備える
カメラにおいても、高速、高精度の焦点調節が実現でき
る。
【図1】カメラに実施した焦点自動調節装置の要部を示
した構成図である。
した構成図である。
【図2】パッシブAFの焦点検出を概念的に示した説明
図である。
図である。
【図3】焦点自動調節装置の動作を示したフロ−チャ−
トである。
トである。
10 アクティブAF 11 赤外発光ダイオ−ド 14 受光部 20 パッシブAF 21 撮影レンズ 22 CCD 30 被写体 40 コントロ−ラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H011 AA01 AA02 AA03 BA14 BA31 BB03 2H051 AA01 AA07 AA08 BA44 BB01 CC02 DA37 5C022 AA13 AB24 AB29 AC80
Claims (3)
- 【請求項1】 アクティブ構成の第1の焦点調節手段
と、パッシブ構成の第2の焦点調節手段とを備えた焦点
自動調節装置において、第1の焦点調節手段の焦点検出
情報に基づいて所定の焦点検出範囲を設定し、第2の焦
点調節手段により上記焦点検出範囲内から合焦点を検出
すべく制御するコントロ−ル手段を備えて構成したこと
を特徴とする焦点自動調節装置。 - 【請求項2】 物体のコントラストまたは明るさが低
く、第2の焦点調節手段による焦点検出が不能となると
きは、第1の焦点調節手段の焦点検出情報を合焦情報と
すべく制御するコントロ−ル手段を備えて構成したこと
を特徴とする請求項1記載の焦点自動調節装置。 - 【請求項3】 物体や焦点調節の諸条件にしたがって、
第1の焦点調節手段と第2の焦点調節手段のいずれか一
方の動作モ−ドを選択し、または、第1、第2の焦点調
節手段の動作モ−ドを選択し、選択した動作モ−ドによ
って合焦点を検出すべく制御するコントロ−ル手段を備
えて構成したことを特徴とする請求項1記載の焦点自動
調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11129436A JP2000321482A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 焦点自動調節装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11129436A JP2000321482A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 焦点自動調節装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000321482A true JP2000321482A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15009436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11129436A Pending JP2000321482A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 焦点自動調節装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000321482A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1250002A1 (en) * | 2001-04-12 | 2002-10-16 | Ricoh Company, Ltd. | Image pick-up device |
| EP1351086A3 (en) * | 2002-04-05 | 2003-11-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Image pickup apparatus with a focus adjusting device and an exposure system |
| JP2006003428A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Canon Inc | フォーカス制御装置及び光学機器 |
| US7391463B2 (en) | 2002-08-06 | 2008-06-24 | Olympus Corporation | Image sensing apparatus having distance measuring unit and control method thereof |
| US7773146B2 (en) | 2004-06-15 | 2010-08-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Focus control apparatus and optical apparatus |
| JP2011069676A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査装置及び検査方法 |
-
1999
- 1999-05-11 JP JP11129436A patent/JP2000321482A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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