JP2000325703A - 脱気装置 - Google Patents
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- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 54
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- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 減圧形の脱気装置におけるポンプ吸引能力の
低下を解決する。 【解決手段】 液体を収容した液槽11に絞り弁14を接続
し、この絞り弁14に、液体と気体とを分離して収容する
密閉形の気液分離槽16を接続する。この気液分離槽16の
液溜部16a に液循環ポンプ23の吸込口23a を接続すると
ともに、液循環ポンプ23の吐出口23b を前記液槽11に接
続する。そして、液循環ポンプ23の吸込減圧力は、密閉
形の気液分離槽16を介して、絞り弁14に作用するので、
絞り弁14と気液分離槽16との間で液体より析出した溶存
気体の気泡は、気液分離槽16に入ってから下部の液溜部
16a に対する上部の負圧空間16b に分離解放され、液循
環ポンプ23に到達しない。
低下を解決する。 【解決手段】 液体を収容した液槽11に絞り弁14を接続
し、この絞り弁14に、液体と気体とを分離して収容する
密閉形の気液分離槽16を接続する。この気液分離槽16の
液溜部16a に液循環ポンプ23の吸込口23a を接続すると
ともに、液循環ポンプ23の吐出口23b を前記液槽11に接
続する。そして、液循環ポンプ23の吸込減圧力は、密閉
形の気液分離槽16を介して、絞り弁14に作用するので、
絞り弁14と気液分離槽16との間で液体より析出した溶存
気体の気泡は、気液分離槽16に入ってから下部の液溜部
16a に対する上部の負圧空間16b に分離解放され、液循
環ポンプ23に到達しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、絞り手段を有する
脱気装置に関するものである。
脱気装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開平７−３２８３１６号公報に示され
るように、従来の脱気装置は、液体を収容した液槽にフ
ィルタを経て絞り手段を接続し、この絞り手段に送液ポ
ンプの吸込口を接続し、この送液ポンプの吐出口に、液
体と気体とを分離する上部開放形の気液分離槽を接続し
たものである。
るように、従来の脱気装置は、液体を収容した液槽にフ
ィルタを経て絞り手段を接続し、この絞り手段に送液ポ
ンプの吸込口を接続し、この送液ポンプの吐出口に、液
体と気体とを分離する上部開放形の気液分離槽を接続し
たものである。
【０００３】そして、送液ポンプの運転により絞り手段
と送液ポンプとの間で液体が減圧され、液体中の溶存気
体が液体から気泡となって析出する。この気泡は送液ポ
ンプ内を通過する間に膨張と結合により粗大化するた
め、気液分離槽に送られた後に速やかに浮上分離され
る。
と送液ポンプとの間で液体が減圧され、液体中の溶存気
体が液体から気泡となって析出する。この気泡は送液ポ
ンプ内を通過する間に膨張と結合により粗大化するた
め、気液分離槽に送られた後に速やかに浮上分離され
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の装置におい
ては、絞り手段と気液分離槽との間に送液ポンプが位置
し、絞り手段で発生した気泡が送液ポンプ内を通過する
ため、ポンプ吸引能力が低下し、脱気効果も落ちる問題
がある。
ては、絞り手段と気液分離槽との間に送液ポンプが位置
し、絞り手段で発生した気泡が送液ポンプ内を通過する
ため、ポンプ吸引能力が低下し、脱気効果も落ちる問題
がある。
【０００５】さらに、通過する気泡によるキャビテーシ
ョンの影響を受けやすい送液ポンプには、耐キャビテー
ション性が要求される問題もある。
ョンの影響を受けやすい送液ポンプには、耐キャビテー
ション性が要求される問題もある。
【０００６】本発明は、このような点に鑑みなされたも
ので、減圧形の脱気装置におけるポンプ吸引能力の低下
やキャビテーションの問題を解決することを目的とする
ものである。
ので、減圧形の脱気装置におけるポンプ吸引能力の低下
やキャビテーションの問題を解決することを目的とする
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された発
明は、液体を収容した液槽と、この液槽に接続された絞
り手段と、この絞り手段に接続され液体と気体とを分離
して収容する密閉形の気液分離槽と、この気液分離槽の
液溜部に吸込口を接続するとともに吐出口を前記液槽に
接続した液循環ポンプとを具備した脱気装置である。
明は、液体を収容した液槽と、この液槽に接続された絞
り手段と、この絞り手段に接続され液体と気体とを分離
して収容する密閉形の気液分離槽と、この気液分離槽の
液溜部に吸込口を接続するとともに吐出口を前記液槽に
接続した液循環ポンプとを具備した脱気装置である。
【０００８】そして、液循環ポンプの吸込減圧力は、密
閉形の気液分離槽を介して、絞り手段に作用するので、
絞り手段と気液分離槽との間で液体より析出された溶存
気体の気泡は、気液分離槽に入ってから下部の液溜部に
対する上部の負圧空間に分離解放され、液循環ポンプに
到達しない。このため、液体より析出された気泡がポン
プを通過する際に生ずるポンプ吸引能力の低下やキャビ
テーションの問題が生じない。
閉形の気液分離槽を介して、絞り手段に作用するので、
絞り手段と気液分離槽との間で液体より析出された溶存
気体の気泡は、気液分離槽に入ってから下部の液溜部に
対する上部の負圧空間に分離解放され、液循環ポンプに
到達しない。このため、液体より析出された気泡がポン
プを通過する際に生ずるポンプ吸引能力の低下やキャビ
テーションの問題が生じない。
【０００９】請求項２に記載された発明は、請求項１記
載の脱気装置において、液循環ポンプが液槽内の液体を
気液分離槽を経ずに直接吸込む液体吸込用の管路と、液
循環ポンプから吐出された液体を気液分離槽に供給する
液体供給用の管路と、気液分離槽内に供給された液体を
気液分離槽の上端部から液槽内に戻す液体戻し用の管路
とを具備した脱気装置である。
載の脱気装置において、液循環ポンプが液槽内の液体を
気液分離槽を経ずに直接吸込む液体吸込用の管路と、液
循環ポンプから吐出された液体を気液分離槽に供給する
液体供給用の管路と、気液分離槽内に供給された液体を
気液分離槽の上端部から液槽内に戻す液体戻し用の管路
とを具備した脱気装置である。
【００１０】そして、気液分離槽内に多量の気体が溜っ
た時点で、前記各管路を機能させ、脱気時と共通の液循
環ポンプを用いて、液体吸込用の管路および液体供給用
の管路により、液槽内の液体を気液分離槽に吐出供給
し、これにより気液分離槽内の液面を上昇させ、その液
体を液体戻し用の管路を経て液槽内へ排出することによ
り、気液分離槽内に溜った気体を押出すように排気す
る。
た時点で、前記各管路を機能させ、脱気時と共通の液循
環ポンプを用いて、液体吸込用の管路および液体供給用
の管路により、液槽内の液体を気液分離槽に吐出供給
し、これにより気液分離槽内の液面を上昇させ、その液
体を液体戻し用の管路を経て液槽内へ排出することによ
り、気液分離槽内に溜った気体を押出すように排気す
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図１に示された実
施の一形態を参照しながら説明する。
施の一形態を参照しながら説明する。
【００１２】11は、脱気処理される液体を収容した液槽
である。この液槽11の下部に、開閉弁12および電磁式３
方切換弁13を介して絞り手段としての絞り弁14が接続さ
れている。この絞り弁14は可変絞りであるが、絞り手段
としては固定オリフィスを用いても良い。
である。この液槽11の下部に、開閉弁12および電磁式３
方切換弁13を介して絞り手段としての絞り弁14が接続さ
れている。この絞り弁14は可変絞りであるが、絞り手段
としては固定オリフィスを用いても良い。
【００１３】この絞り弁14を持つ管路15は、液体と気体
とを分離して収容する密閉形の気液分離槽16の下部に接
続されている。
とを分離して収容する密閉形の気液分離槽16の下部に接
続されている。
【００１４】この気液分離槽16は、槽内の比較的下部に
位置する液溜部16a に収容された液体Ｌの液面レベルを
管理するための液面センサ17と、その槽内の比較的上部
内に形成される負圧空間16b の圧力を測定するための真
空計18とを備えている。
位置する液溜部16a に収容された液体Ｌの液面レベルを
管理するための液面センサ17と、その槽内の比較的上部
内に形成される負圧空間16b の圧力を測定するための真
空計18とを備えている。
【００１５】この気液分離槽16の液溜部16a からは管路
21が引出され、この管路21中の電磁式開閉弁22を介して
液循環ポンプ23の吸込口23a が接続されている。この液
循環ポンプ23は、例えば渦流ポンプを用いる。
21が引出され、この管路21中の電磁式開閉弁22を介して
液循環ポンプ23の吸込口23a が接続されている。この液
循環ポンプ23は、例えば渦流ポンプを用いる。
【００１６】この液循環ポンプ23の吐出口23b は、チェ
ック弁24、電磁式３方切換弁25、管路26および開閉弁27
を介して前記液槽11の上部に接続されている。
ック弁24、電磁式３方切換弁25、管路26および開閉弁27
を介して前記液槽11の上部に接続されている。
【００１７】また、前記電磁式３方切換弁13と前記液循
環ポンプ23の吸込口23a との間には、液循環ポンプ23が
液槽11内の液体を気液分離槽16を経ずに直接吸込む液体
吸込用の管路31が配設されている。
環ポンプ23の吸込口23a との間には、液循環ポンプ23が
液槽11内の液体を気液分離槽16を経ずに直接吸込む液体
吸込用の管路31が配設されている。
【００１８】さらに、前記電磁式３方切換弁25と前記管
路21との間には、液循環ポンプ23から吐出された液体を
気液分離槽16に供給する液体供給用の管路32が配設され
ている。
路21との間には、液循環ポンプ23から吐出された液体を
気液分離槽16に供給する液体供給用の管路32が配設され
ている。
【００１９】その上、前記気液分離槽16の上端部と前記
管路26との間には、気液分離槽16内に供給された液体を
気液分離槽16の上端部から液槽11内に戻す液体戻し用の
管路33が配設され、この管路33中には電磁式開閉弁34が
設けられている。
管路26との間には、気液分離槽16内に供給された液体を
気液分離槽16の上端部から液槽11内に戻す液体戻し用の
管路33が配設され、この管路33中には電磁式開閉弁34が
設けられている。
【００２０】なお、図１にて、二つの電磁式３方切換弁
13，25は、白３角印の側が開き状態を表わすとともに、
黒３角印の側が閉じ状態を表わし、また、二つの電磁式
開閉弁22，34は、白印が管路連通状態を表わすととも
に、黒印が管路閉鎖状態を表わす。
13，25は、白３角印の側が開き状態を表わすとともに、
黒３角印の側が閉じ状態を表わし、また、二つの電磁式
開閉弁22，34は、白印が管路連通状態を表わすととも
に、黒印が管路閉鎖状態を表わす。
【００２１】次に、図示された実施形態の作用を説明す
る。
る。
【００２２】先ず、脱気運転時の弁状態は、図１に示さ
れたように、液循環ポンプ23の吸込口23a が、電磁式開
閉弁22、気液分離槽16の液溜部16a 、絞り弁14、電磁式
３方切換弁13および開閉弁12を経て液槽11の下部に連通
し、また、液循環ポンプ23の吐出口23b は、チェック弁
24、電磁式３方切換弁25、管路26および開閉弁27を経て
液槽11の上部に連通している。このとき、液体戻し用の
管路33は、電磁式開閉弁34により管路閉鎖状態にある。
れたように、液循環ポンプ23の吸込口23a が、電磁式開
閉弁22、気液分離槽16の液溜部16a 、絞り弁14、電磁式
３方切換弁13および開閉弁12を経て液槽11の下部に連通
し、また、液循環ポンプ23の吐出口23b は、チェック弁
24、電磁式３方切換弁25、管路26および開閉弁27を経て
液槽11の上部に連通している。このとき、液体戻し用の
管路33は、電磁式開閉弁34により管路閉鎖状態にある。
【００２３】これにより、脱気運転時は、液循環ポンプ
23の吸込減圧力が、電磁式開閉弁22および密閉形の気液
分離槽16を介して、絞り弁14に作用するので、絞り弁14
と気液分離槽16との間で液体中から溶存気体が気泡とし
て析出される。すなわち脱泡される。
23の吸込減圧力が、電磁式開閉弁22および密閉形の気液
分離槽16を介して、絞り弁14に作用するので、絞り弁14
と気液分離槽16との間で液体中から溶存気体が気泡とし
て析出される。すなわち脱泡される。
【００２４】この溶存気体の気泡は、気液分離槽16に入
ってから下部の液溜部16a に対する上部の負圧空間16b
に分離解放され、液循環ポンプ23に到達しない。このた
め、液体より析出された気泡がポンプを通過する際に生
ずるポンプ吸引能力の低下やキャビテーションの問題が
生じない。
ってから下部の液溜部16a に対する上部の負圧空間16b
に分離解放され、液循環ポンプ23に到達しない。このた
め、液体より析出された気泡がポンプを通過する際に生
ずるポンプ吸引能力の低下やキャビテーションの問題が
生じない。
【００２５】一方、気液分離槽16内に気体が溜まるにし
たがって液面が下降し、多量の気体溜まりにより液面の
下降限界で液面センサ17が作動すると、そのセンサ信号
により前記二つの電磁式３方切換弁13，25がそれぞれ自
動的に方向切換し、同時に電磁式開閉弁22が自動的に管
路閉鎖状態に切換わるとともに、電磁式開閉弁34が自動
的に管路連通状態に切換わる。
たがって液面が下降し、多量の気体溜まりにより液面の
下降限界で液面センサ17が作動すると、そのセンサ信号
により前記二つの電磁式３方切換弁13，25がそれぞれ自
動的に方向切換し、同時に電磁式開閉弁22が自動的に管
路閉鎖状態に切換わるとともに、電磁式開閉弁34が自動
的に管路連通状態に切換わる。
【００２６】すなわち、液循環ポンプ23の吸込口23a
は、液体吸込用の管路31、電磁式３方切換弁13および開
閉弁12を経て液槽11の下部に連通し、また、液循環ポン
プ23の吐出口23b は、チェック弁24、電磁式３方切換弁
25、液体供給用の管路32を経て気液分離槽16の下部に連
通する。
は、液体吸込用の管路31、電磁式３方切換弁13および開
閉弁12を経て液槽11の下部に連通し、また、液循環ポン
プ23の吐出口23b は、チェック弁24、電磁式３方切換弁
25、液体供給用の管路32を経て気液分離槽16の下部に連
通する。
【００２７】さらに、気液分離槽16の上端部が、管路連
通状態に切換わった電磁式開閉弁34を持つ液体戻し用の
管路33および開閉弁27を経て液槽11の上部に連通する。
通状態に切換わった電磁式開閉弁34を持つ液体戻し用の
管路33および開閉弁27を経て液槽11の上部に連通する。
【００２８】これにより、脱気時と共通の液循環ポンプ
23を用いて、液体吸込用の管路31および液体供給用の管
路32により、液槽11内の液体を気液分離槽16に吐出供給
することで、気液分離槽16内の液面を上昇させ、その液
体を液体戻し用の管路33を経て液槽11内へ排出すること
により、気液分離槽16の負圧空間16b 内に溜った気体を
押出すように排気し、密閉形の気液分離槽16を運転初期
状態に戻すようにする。
23を用いて、液体吸込用の管路31および液体供給用の管
路32により、液槽11内の液体を気液分離槽16に吐出供給
することで、気液分離槽16内の液面を上昇させ、その液
体を液体戻し用の管路33を経て液槽11内へ排出すること
により、気液分離槽16の負圧空間16b 内に溜った気体を
押出すように排気し、密閉形の気液分離槽16を運転初期
状態に戻すようにする。
【００２９】なお、前記液体Ｌは、例えば前記液槽11が
超音波洗浄槽の場合は洗浄液であるが、それに限定され
るものではなく、例えば溶存酸素などを低下させる必要
のある液体などでも良い。
超音波洗浄槽の場合は洗浄液であるが、それに限定され
るものではなく、例えば溶存酸素などを低下させる必要
のある液体などでも良い。
【００３０】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、液循環ポ
ンプの吸込減圧力は、密閉形の気液分離槽を介して絞り
手段に作用するので、絞り手段と気液分離槽との間で液
体より析出された溶存気体の気泡は、気液分離槽に入っ
てから下部の液溜部に対する上部の負圧空間に分離解放
され、液循環ポンプに到達しないから、気泡がポンプを
通過する際に生ずるポンプ吸引能力の低下やキャビテー
ションの問題を解決でき、強力なポンプ吸引能力により
優れた脱気効果が得られるとともに、高度な耐キャビテ
ーション性を要求されない既存の液循環ポンプを用いる
ことができる。
ンプの吸込減圧力は、密閉形の気液分離槽を介して絞り
手段に作用するので、絞り手段と気液分離槽との間で液
体より析出された溶存気体の気泡は、気液分離槽に入っ
てから下部の液溜部に対する上部の負圧空間に分離解放
され、液循環ポンプに到達しないから、気泡がポンプを
通過する際に生ずるポンプ吸引能力の低下やキャビテー
ションの問題を解決でき、強力なポンプ吸引能力により
優れた脱気効果が得られるとともに、高度な耐キャビテ
ーション性を要求されない既存の液循環ポンプを用いる
ことができる。
【００３１】請求項２記載の発明によれば、気液分離槽
内に多量の気体が溜った時点で、液体吸込用の管路、液
体供給用の管路、および液体戻し用の管路を機能させ、
脱気時と共通の液循環ポンプを用いて、液槽内の液体を
気液分離槽に吐出供給することにより気液分離槽内の液
面を上昇させ、気液分離槽内に溜った気体を押出すよう
に液体戻し用の管路を経て排気することができ、密閉形
の気液分離槽を運転初期状態に簡単に戻すことができ
る。
内に多量の気体が溜った時点で、液体吸込用の管路、液
体供給用の管路、および液体戻し用の管路を機能させ、
脱気時と共通の液循環ポンプを用いて、液槽内の液体を
気液分離槽に吐出供給することにより気液分離槽内の液
面を上昇させ、気液分離槽内に溜った気体を押出すよう
に液体戻し用の管路を経て排気することができ、密閉形
の気液分離槽を運転初期状態に簡単に戻すことができ
る。
【図１】本発明に係る脱気装置の実施の一形態を示す配
管図である。
管図である。
11 液槽 14 絞り手段としての絞り弁 16 気液分離槽 23 液循環ポンプ 23a 吸込口 23b 吐出口 31 液体吸込用の管路 32 液体供給用の管路 33 液体戻し用の管路
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 橋本 幸雄 神奈川県川崎市高津区久地843番地５ 株 式会社ニクニ内 Ｆターム(参考） 4D011 AA02 AA14 AA16 AB10 AC01 AC04 AC06 AD06
Claims (2)
- 【請求項１】 液体を収容した液槽と、 この液槽に接続された絞り手段と、 この絞り手段に接続され液体と気体とを分離して収容す
る密閉形の気液分離槽と、 この気液分離槽の液溜部に吸込口を接続するとともに吐
出口を前記液槽に接続した液循環ポンプとを具備したこ
とを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】 液循環ポンプが液槽内の液体を気液分離
槽を経ずに直接吸込む液体吸込用の管路と、 液循環ポンプから吐出された液体を気液分離槽に供給す
る液体供給用の管路と、 気液分離槽内に供給された液体を気液分離槽の上端部か
ら液槽内に戻す液体戻し用の管路とを具備したことを特
徴とする請求項１記載の脱気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13662999A JP4280356B2 (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13662999A JP4280356B2 (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000325703A true JP2000325703A (ja) | 2000-11-28 |
| JP4280356B2 JP4280356B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=15179785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13662999A Expired - Lifetime JP4280356B2 (ja) | 1999-05-18 | 1999-05-18 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4280356B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7494534B2 (en) * | 2003-02-13 | 2009-02-24 | Tetsuhiko Fujisato | Method, device, and system for controlling dissolved amount of gas |
| JP2009200530A (ja) * | 2004-10-18 | 2009-09-03 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
| KR101403622B1 (ko) | 2012-03-06 | 2014-06-05 | 대우조선해양 주식회사 | 증기의 소모없이 용존산소를 제거할 수 있는 선박의 폐열회수시스템 |
| CN110022958A (zh) * | 2016-11-29 | 2019-07-16 | 田村稔 | 将溶解于液体的气体成分除去的脱气装置 |
| CN114601358A (zh) * | 2020-12-03 | 2022-06-10 | 林内株式会社 | 微小气泡发生装置 |
-
1999
- 1999-05-18 JP JP13662999A patent/JP4280356B2/ja not_active Expired - Lifetime
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