JPH083003Y2 - 半導体における処理薬液の汲み上げ装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、例えば、半導体の製造に際して、ウエハー
のエッチング処理槽に対して複数のエッチング処理液容
器内におけるエッチング処理液をポンプにて汲み上げる
等のように、複数個の薬液容器内における薬液を、一台
のポンプにて、処理槽に汲み上げるための装置に関する
ものである。

〔従来の技術〕

一般に、前記ウエハーのエッチング処理に使用するエ
ッチング処理液は、輸送を容易にするために、エッチン
グ処理槽よりも小さい容積の容器に入れて輸送されるも
のであるから、この容器に入れたエッチング処理液を、
エッチング処理槽にポンプにて汲み上げるに際しては、
エッチング処理液の入った容器を複数個用意し、一つの
容器が空になると、次の容器から汲み上げるように切換
えすることが必要である。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかし、従来は、前記の切換えを、作業者の手動によ
って行うようにしているから、その切換えの作業に多大
の手数を必要として、きわめて非能率的であるばかり
か、その切換えに際して、操作の誤りによってエッチン
グ処理液等の薬液がこぼれると云う問題があった。

本考案は、前記の切換えが自動的にできるようにした
汲み上げるための装置を提供することを目的とするもの
である。

〔課題を解決するための手段〕

この目的を達成するため本考案は、少なくとも二つの
薬液容器内に、透明の吸い上げ管を各々に挿入して、こ
の両薬液容器における吸い上げ管を、汲み上げ用ポンプ
への吸い込み管路に各々開閉弁を介して接続し、且つ、
前記各吸い上げ管には、当該吸い上げ管内の薬液の流れ
を検出するためのセンサーを各々設ける一方、前記汲み
上げ用ポンプにおける吐出側から処理槽への薬液供給管
中にフイルターを設けて、このフイルターに空気抜弁を
備えた空気抜き管路を接続し、更に、前記両二つの薬液
容器のうち第１の薬液容器における吸い上げ管に対する
センサーが薬液の流れがなくなったことを検出すると、
当該第１の薬液容器における吸い上げ管に対する開閉弁
を閉じて、第２の薬液容器における吸い上げ管に対する
開閉弁を開くと共に、前記空気抜弁を適宜時間の間だけ
開くようにした制御回路を設ける構成にした。

〔作用〕

この構成において、第１の薬液容器内の薬液を、汲み
上げ用ポンプによって、処理槽に汲み上げるに際して、
当該第１の薬液容器内における薬液がなくなり、その吸
い上げ管に空気を吸い込むようになると、当該吸い上げ
管に対して設けたセンサーが、薬液の流れが停止したこ
とを感知して、第１の薬液容器の吸い上げ管における開
閉弁を閉じると共に、第２の薬液容器の吸い上げ管にお
ける開閉弁が開くことにより、前記汲み上げ用ポンプ
に、第２の薬液容器内における薬液を吸い込むようにな
る。

しかし、前記汲み上げ用ポンプには、前記第１の薬液
容器から空気を吸い込むことにより、当該ポンプから処
理槽への薬液供給通路中におけるフイルター内に空気が
溜って、ポンプから処理槽への薬液の送液が止まること
になる。

これに対して、本考案は、前記第１の薬液容器からの
薬液の吸い上げが停止し、当該第１の薬液容器における
吸い上げ管に対する開閉弁が閉じると同時に、第２の薬
液容器における吸い上げ管に対する開閉弁が開くと、こ
れに連動して、前記フイルターに接続した空気抜き管路
中の空気抜弁が、適宜時間の間だけ開くように構成した
もので、これにより、前記フイルターに溜る空気を、こ
の空気抜弁より放出することができるから、前記第１の
薬液容器から第２の薬液容器への切換えに際しての空気
の吸い込みによって、処理槽への薬液の送液が停止する
ことはなく、第２の薬液容器内における薬液を処理槽に
対して確実に汲み上げることができるのである。

〔考案の効果〕

以上の通り本考案によると、複数個の薬液容器におけ
る薬液を、一台のポンプによって処理槽に対して汲み上
げる場合に際して、一つの薬液容器が空になると、次の
薬液容器から汲み上げるように切換えすることが、空気
の吸い込みによって薬液の送液が跡絶えると云う事態を
招来することなく、自動的にできるから、その作業能率
を大幅に向上できると共に、操作の誤りによって薬液を
こぼすことが発生しない効果を有する。

〔実施例〕

以下、本考案の実施例を図面について説明すると、図
において符号１は、建物における一階に配設されたエッ
チング処理槽を示し、前記建物の地下階には、前記一つ
のエッチング処理槽１に対する二つの薬液容器2,3と、
一台の汲み上げ用ポンプ４とが配設されている。

前記二つの薬液容器2,3内には、透明の吸い上げ管5,6
を各々に挿入して、この両吸い上げ管5,6を、前記汲み
上げ用ポンプ４における吸い込み側への吸い込み管路７
に各々開閉弁8,9を介して接続し、且つ、前記両吸い上
げ管5,6には、当該吸い上げ管内における薬液の流れを
検出するためのセンサー10,11を各々設ける。

一方、前記汲み上げ用ポンプ４における吐出側から前
記エッチング処理槽１への薬液供給管路12中には、フイ
ルター13を設けて、このフイルター13に、空気抜弁15を
備えた空気抜き管路14を接続する。

符号16は、制御回路を示し、該制御回路16は、前記両
薬液容器2,3の各々における吸い上げ管5,6に対して設け
たセンサー10,11からの信号を入力として、前記両薬液
容器2,3のうち第１の薬液容器２における吸い上げ管５
に対するセンサー10が、薬液の流れがなくなったことを
検出すると、当該第１の薬液容器２における吸い上げ管
５に対する開閉弁８を閉じて、第２の薬液容器３におけ
る吸い上げ管６に対する開閉弁９を開くと共に、前記空
気抜き管路14中の空気抜弁15を適宜時間の間だけ開くよ
うに作動するものである。

なお、前記フィルター13には、弁18を備えたドレン抜
き管路17が接続されている。

この構成において、汲み上げ用ポンプ４を始動した状
態で、第１の薬液容器２における吸い上げ管５に対する
開閉弁８を開くことにより、前記第１の薬液容器２内に
おけるエッチング処理液を、前記ポンプ４にてエッチン
グ処理槽１に汲み上げることができる。

この第１の薬液容器２からのエッチング処理液の汲み
上げにより、当該第１の薬液容器２内におけるエッチン
グ処理液が少なくなり、その吸い上げ管５から空気を吸
い込むようになると、当該吸い上げ管５に対して設けた
センサー10が、薬液の流れが停止したことを感知して、
第１の薬液容器２の吸い上げ管５における開閉弁８を閉
じると共に、第２の薬液容器３の吸い上げ管６における
開閉弁９が開くことにより、前記汲み上げ用ポンプ４に
は、第２の薬液容器３内におけるエッチング処理液を吸
い込むようになる一方、前記センサー10による信号によ
って、空気抜弁15が開くことにより、前記第１の薬液容
器２から吸い込んだ空気を、フイルター13から放出する
ことができるから、前記第１の薬液容器２から第２の薬
液容器３への切換えに際しての空気の吸い込みによっ
て、エッチング処理槽１への薬液の送液が停止すること
はなく、第２の薬液容器３内における薬液をエッチング
処理槽１に対して確実に汲み上げことができるのであ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示す図である。 １……エッチング処理槽、２……第１の薬液容器、３…
…第２の薬液容器、４……汲み上げ用ポンプ、5,6……
吸い上げ管、７……吸い込み管路、8,9……開閉弁、10,
11……センサー、12……薬液供給管路、13……フイルタ
ー、14……空気抜き管路、15……空気抜弁、16……制御
回路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも二つの薬液容器内に、透明の吸
   い上げ管を各々に挿入して、この両薬液容器における吸
   い上げ管を、汲み上げ用ポンプへの吸い込み管路に各々
   開閉弁を介して接続し、且つ、前記各吸い上げ管には、
   当該吸い上げ管内の薬液の流れを検出するためのセンサ
   ーを各々設ける一方、前記汲み上げ用ポンプにおける吐
   出側から処理槽への薬液供給管中にフイルターを設け
   て、このフイルターに空気抜弁を備えた空気抜き管路を
   接続し、更に、前記両二つの薬液容器のうち第１の薬液
   容器における吸い上げ管に対するセンサーが薬液の流れ
   がなくなったことを検出すると、当該第１の薬液容器に
   おける吸い上げ管に対する開閉弁を閉じて、第２の薬液
   容器における吸い上げ管に対する開閉弁を開くと共に、
   前記空気抜弁を適宜時間の間だけ開くようにした制御回
   路を設けたことを特徴とする半導体における処理薬液の
   汲み上げ装置。