JP2000334247A - Ｓｆ６ガス回収装置 - Google Patents
Ｓｆ６ガス回収装置Info
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- JP2000334247A JP2000334247A JP11330813A JP33081399A JP2000334247A JP 2000334247 A JP2000334247 A JP 2000334247A JP 11330813 A JP11330813 A JP 11330813A JP 33081399 A JP33081399 A JP 33081399A JP 2000334247 A JP2000334247 A JP 2000334247A
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- gas
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- adsorption
- pressure
- adsorbent
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被容器回収１内のＳＦ６ガスを大気中に漏出
することなくほぼ全量回収する。 【解決手段】 被回収容器１内のＳＦ６ガスを加圧部２
や、ＰＳＡ式のガス分離部３によりガス圧を一定にし、
加圧ポンプ３０により高圧にした後、冷却して液化回収
してＳＦ６ガスを回収する。
することなくほぼ全量回収する。 【解決手段】 被回収容器１内のＳＦ６ガスを加圧部２
や、ＰＳＡ式のガス分離部３によりガス圧を一定にし、
加圧ポンプ３０により高圧にした後、冷却して液化回収
してＳＦ６ガスを回収する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明はＳＦ６ガス（６フ
ッ化硫黄ガス、以下同じ）の回収に関する。
ッ化硫黄ガス、以下同じ）の回収に関する。
【０００２】
【従来の技術】 ＳＦ６ガスは高電圧電力用トランスや
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性，電気的安
定性，高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を可能に
し、都市の変電所の小容積化でその貢献は大きい。トラ
ンスや遮断器に充填されているＳＦ６ガスはその純度１
００％のものや窒素ガスにより適度にうすめて充填され
るものがある。それ等が用いられている機器の点検保
守，修理のときはこれ等のガスを抜き出さなければなら
ないが、従来はこれ等のガスによる人体等への害は少な
いので大気中に放出していた。しかし、ＳＦ６ガスは高
価なガスであるため経費的に容易に回収再利用できる範
囲の回収装置は従来よりあり回収して再利用していた。
すなわち、抜取加圧と圧縮冷却によって液化回収する装
置はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回
収したり、他のガスが混合しているガスを分離してＳＦ
６ガスのみを回収する装置などはなかった。
電力回路の遮断器に充填し、その熱的安定性，電気的安
定性，高絶縁耐圧性を生かして装置の小型化を可能に
し、都市の変電所の小容積化でその貢献は大きい。トラ
ンスや遮断器に充填されているＳＦ６ガスはその純度１
００％のものや窒素ガスにより適度にうすめて充填され
るものがある。それ等が用いられている機器の点検保
守，修理のときはこれ等のガスを抜き出さなければなら
ないが、従来はこれ等のガスによる人体等への害は少な
いので大気中に放出していた。しかし、ＳＦ６ガスは高
価なガスであるため経費的に容易に回収再利用できる範
囲の回収装置は従来よりあり回収して再利用していた。
すなわち、抜取加圧と圧縮冷却によって液化回収する装
置はあったが、被回収容器内を高真空域まで吸引して回
収したり、他のガスが混合しているガスを分離してＳＦ
６ガスのみを回収する装置などはなかった。
【０００３】 すなわち、他のガスが混入し、ＳＦ６ガ
スの濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため
高圧に圧縮し、そして低い温度までの冷却が必要となる
ため高額の装置価格となり、作られていなかった。そし
て従来は、ＳＦ６ガスが使用中に遮断時のアークや熱に
よりわずかに分解されて生ずるＳＦ４や二酸化硫黄，Ｓ
ＯＦ２などの分解ガスは使用機器の特性劣化を生ずるも
のがあるので、これを防止するために除去する装置はあ
ったが回収時に分離精製する装置はなかった。
スの濃度が下がっている場合はその分圧が低くなるため
高圧に圧縮し、そして低い温度までの冷却が必要となる
ため高額の装置価格となり、作られていなかった。そし
て従来は、ＳＦ６ガスが使用中に遮断時のアークや熱に
よりわずかに分解されて生ずるＳＦ４や二酸化硫黄，Ｓ
ＯＦ２などの分解ガスは使用機器の特性劣化を生ずるも
のがあるので、これを防止するために除去する装置はあ
ったが回収時に分離精製する装置はなかった。
【０００４】 近年、地球温暖化防止による炭酸ガス等
の放出が規制されるようになってきた。１９９７年世界
環境会議が京都で開催され、その結果炭酸ガスの２４０
００倍の温暖化係数を持つＳＦ６ガスもその放出を厳し
く規制されるようになった。ＳＦ６ガスを大気に漏出す
る事が無いようにするためには、 「イ」 充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを
無くする。 「ロ」 機器据付時，保守修理時，解体廃棄時等で、ガ
ス充填や抜取に係わるときに廃棄されるガスを無くする
ことが重要である。 この「イ」については、機器のシール部の改良により現
在は大変少なくなっている。また「ロ」については、電
力業界は電気共同研究会により「電力用ＳＦ６ガス取扱
い基準」を平成１０年１２月に自主制定し、その排出を
規制することとした。すなわち、点検修理時は０．０１
５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９７ｖｏｌ％以上）解体撤去
時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９９ｖｏｌ％以
上）の真空域まで吸引回収する自主基準を作成した。高
真空域まで回収すると回収に長時間を要する欠点を生ず
る。点検時の回収率が低いのは装置停止による停電の時
間を可能な限り短くするための妥協値であり、撤去時は
十分に時間をとって真空引きするようになっている。す
なわち高真空域まで吸引回収し、大気への漏出量を少な
く押さえている。
の放出が規制されるようになってきた。１９９７年世界
環境会議が京都で開催され、その結果炭酸ガスの２４０
００倍の温暖化係数を持つＳＦ６ガスもその放出を厳し
く規制されるようになった。ＳＦ６ガスを大気に漏出す
る事が無いようにするためには、 「イ」 充填機器のシール部より漏れて漏出するガスを
無くする。 「ロ」 機器据付時，保守修理時，解体廃棄時等で、ガ
ス充填や抜取に係わるときに廃棄されるガスを無くする
ことが重要である。 この「イ」については、機器のシール部の改良により現
在は大変少なくなっている。また「ロ」については、電
力業界は電気共同研究会により「電力用ＳＦ６ガス取扱
い基準」を平成１０年１２月に自主制定し、その排出を
規制することとした。すなわち、点検修理時は０．０１
５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９７ｖｏｌ％以上）解体撤去
時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓ（回収率９９ｖｏｌ％以
上）の真空域まで吸引回収する自主基準を作成した。高
真空域まで回収すると回収に長時間を要する欠点を生ず
る。点検時の回収率が低いのは装置停止による停電の時
間を可能な限り短くするための妥協値であり、撤去時は
十分に時間をとって真空引きするようになっている。す
なわち高真空域まで吸引回収し、大気への漏出量を少な
く押さえている。
【０００５】 電力業界としては２００５年までに上記
基準に合う回収装置を開発し、実施することとしてい
る。不活性ガスである窒素ガスを５０ｖｏｌ％混入して
もインパルス破壊電圧はＳＦ６ガス単独ガス時の８５
％，商用周波数破壊電圧は同９６．６％であり、性能低
下が少ないのでＳＦ６ガスをトランスや遮断器に封入す
る際に窒素ガスによりうすめて使用するメーカーと高純
度のＳＦ６ガスを使用するメーカーとがある。従来はこ
のような窒素ガスが混入したガスは回収しにくいガスで
あったため、点検や廃棄時にその多くは大気中に放出し
て廃棄していた。
基準に合う回収装置を開発し、実施することとしてい
る。不活性ガスである窒素ガスを５０ｖｏｌ％混入して
もインパルス破壊電圧はＳＦ６ガス単独ガス時の８５
％，商用周波数破壊電圧は同９６．６％であり、性能低
下が少ないのでＳＦ６ガスをトランスや遮断器に封入す
る際に窒素ガスによりうすめて使用するメーカーと高純
度のＳＦ６ガスを使用するメーカーとがある。従来はこ
のような窒素ガスが混入したガスは回収しにくいガスで
あったため、点検や廃棄時にその多くは大気中に放出し
て廃棄していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 トランスや遮断器で
ある被回収容器よりＳＦ６ガスを大気中にほとんど漏出
することなく９９ｖｏｌ％以上を回収することであり、
しかも短時間に回収できるようにする。また被回収ガス
中に窒素ガスや空気の混入があってもそれを分離し、回
収できるようにすること。
ある被回収容器よりＳＦ６ガスを大気中にほとんど漏出
することなく９９ｖｏｌ％以上を回収することであり、
しかも短時間に回収できるようにする。また被回収ガス
中に窒素ガスや空気の混入があってもそれを分離し、回
収できるようにすること。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明の目的は上記課
題を解決するため、臨界温度４５．６４℃，臨界圧力
３．７５ＭＰａ・Ｇ，融点−５０．８℃，昇華点−６
３．８℃のＳＦ６ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にＳＦ６ガスが高圧（約０．６ＭＰａ・Ｇ〜０．
３ＭＰａ・Ｇ）で充填されている。そして充填ガスは混
合されている窒素ガスや放電により少量だが、ＳＦ６ガ
スが分解し、ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄が存在し、
水分も混入することがある。但し、ＳＦ６ガスからの分
解ガス，ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄の除去について
は別途除去手段があり、そこで大部分取り除くことがで
きるが、ここでの詳細な記述は省く。電力の供給という
公共のインフラクチャーに係わる装置に使用されている
装置の点検，保守あるいは修理時に停電する時間を極力
短くする事は、ＳＦ６ガスを回収する主性能に次いで重
要な課題である。これ等の諸問題を考慮しながら効率の
良い回収装置を発明した。
題を解決するため、臨界温度４５．６４℃，臨界圧力
３．７５ＭＰａ・Ｇ，融点−５０．８℃，昇華点−６
３．８℃のＳＦ６ガスの特徴を考慮し、さらに被回収容
器としてのトランス又は電路の遮断器は密閉容器であり
その中にＳＦ６ガスが高圧（約０．６ＭＰａ・Ｇ〜０．
３ＭＰａ・Ｇ）で充填されている。そして充填ガスは混
合されている窒素ガスや放電により少量だが、ＳＦ６ガ
スが分解し、ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄が存在し、
水分も混入することがある。但し、ＳＦ６ガスからの分
解ガス，ＳＦ４，ＳＯＦ２，二酸化硫黄の除去について
は別途除去手段があり、そこで大部分取り除くことがで
きるが、ここでの詳細な記述は省く。電力の供給という
公共のインフラクチャーに係わる装置に使用されている
装置の点検，保守あるいは修理時に停電する時間を極力
短くする事は、ＳＦ６ガスを回収する主性能に次いで重
要な課題である。これ等の諸問題を考慮しながら効率の
良い回収装置を発明した。
【０００８】 被回収容器（トランス，遮断器など）に
は被回収ガス（ＳＦ６ガス）が前述のように高圧で充填
してある。そしてＳＦ６ガスは易液化ガスであるため、
これを加圧する加圧部と冷却液化する液化部を設け、被
回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては、
加圧ガス中のＳＦ６ガス分圧も高くなるので、液化ガス
の液化温度と圧力の関係から加圧する圧力が比較的低い
圧力範囲または液化温度の比較的高い範囲で容易に液化
回収できる。まずかかる方法により被回収容器内の内圧
が加圧ポンプにより液化可能な圧力範囲となるまで回収
する。前述のように被回収ガスはＳＦ６ガス１００％の
ものと窒素ガス等によりうすめられている場合がある。
この混入ガスが存在していてもこれをＳＦ６ガスと分離
するガス分離部を設ける。ガス分離部は特定ガスを吸着
する吸着剤を用いたＰＳＡ法（ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗ
ｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）により行う。特定ガス
を含む混合ガスを、該吸着剤を充填した吸着筒に圧力を
加えながら送り込むとこの吸着剤に特定ガスが吸着して
除かれ、吸着されないガスが吸着筒の他端から分離され
て取り出される。この工程を吸着工程という。そして吸
着剤に特定ガスが吸着されていっぱいになる少し前に混
合（原料）ガスの送入を止め、その吸着筒の入口より吸
着筒の圧力を減じてやると、吸着剤に吸着した特定ガス
が吸着剤より離脱して排出され、吸着剤の吸着能力が再
生する。これを再生工程という。この吸着工程と再生工
程を繰り返しながら、すなわち吸着筒に圧力を加えた
り、減じたりしながらガスを分離するのでｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ（略してＰＳ
Ａ）（圧力変動吸着）法という。
は被回収ガス（ＳＦ６ガス）が前述のように高圧で充填
してある。そしてＳＦ６ガスは易液化ガスであるため、
これを加圧する加圧部と冷却液化する液化部を設け、被
回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては、
加圧ガス中のＳＦ６ガス分圧も高くなるので、液化ガス
の液化温度と圧力の関係から加圧する圧力が比較的低い
圧力範囲または液化温度の比較的高い範囲で容易に液化
回収できる。まずかかる方法により被回収容器内の内圧
が加圧ポンプにより液化可能な圧力範囲となるまで回収
する。前述のように被回収ガスはＳＦ６ガス１００％の
ものと窒素ガス等によりうすめられている場合がある。
この混入ガスが存在していてもこれをＳＦ６ガスと分離
するガス分離部を設ける。ガス分離部は特定ガスを吸着
する吸着剤を用いたＰＳＡ法（ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗ
ｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）により行う。特定ガス
を含む混合ガスを、該吸着剤を充填した吸着筒に圧力を
加えながら送り込むとこの吸着剤に特定ガスが吸着して
除かれ、吸着されないガスが吸着筒の他端から分離され
て取り出される。この工程を吸着工程という。そして吸
着剤に特定ガスが吸着されていっぱいになる少し前に混
合（原料）ガスの送入を止め、その吸着筒の入口より吸
着筒の圧力を減じてやると、吸着剤に吸着した特定ガス
が吸着剤より離脱して排出され、吸着剤の吸着能力が再
生する。これを再生工程という。この吸着工程と再生工
程を繰り返しながら、すなわち吸着筒に圧力を加えた
り、減じたりしながらガスを分離するのでｐｒｅｓｓｕ
ｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ（略してＰＳ
Ａ）（圧力変動吸着）法という。
【０００９】 そして吸着剤には対象ガスであるＳＦ６
ガスを吸着して、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象
ガスであるＳＦ６ガスを吸着せず混合している他のガス
を吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤によ
り、対象ガスを取り出す方法が少し異なる。例えばＳＦ
６ガスを対象ガスとした場合、前者は活性炭に分子篩機
能を持たせた分子篩炭がある。後者にはゼオライトの５
Ａタイプ，４Ａタイプ他がある。前者の場合は対象ガス
であるＳＦ６ガスが吸着剤に吸着し、分離されているの
であるから、減圧再生工程で吸着剤より離脱する工程内
で濃縮したＳＦ６ガスを回収する。後者では加圧吸着工
程でＳＦ６ガスが吸着筒の他端より分離されて出てくる
ので吸着工程で得られる。ゼオライトはＳＦ６ガスはほ
とんど吸着せず窒素ガスや炭酸ガス，水分を良く吸着除
去する、酸素ガスはわずかに吸着するのでＳＦ６ガスと
これ等のガスが混合しているガスからＳＦ６ガスを分離
するガス分離部に吸着剤として使用する。
ガスを吸着して、混合ガスを吸着しない吸着剤と、対象
ガスであるＳＦ６ガスを吸着せず混合している他のガス
を吸着する吸着剤とがある。その使用する吸着剤によ
り、対象ガスを取り出す方法が少し異なる。例えばＳＦ
６ガスを対象ガスとした場合、前者は活性炭に分子篩機
能を持たせた分子篩炭がある。後者にはゼオライトの５
Ａタイプ，４Ａタイプ他がある。前者の場合は対象ガス
であるＳＦ６ガスが吸着剤に吸着し、分離されているの
であるから、減圧再生工程で吸着剤より離脱する工程内
で濃縮したＳＦ６ガスを回収する。後者では加圧吸着工
程でＳＦ６ガスが吸着筒の他端より分離されて出てくる
ので吸着工程で得られる。ゼオライトはＳＦ６ガスはほ
とんど吸着せず窒素ガスや炭酸ガス，水分を良く吸着除
去する、酸素ガスはわずかに吸着するのでＳＦ６ガスと
これ等のガスが混合しているガスからＳＦ６ガスを分離
するガス分離部に吸着剤として使用する。
【００１０】 しかしＳＦ６ガスに空気が混入した場合
も起こり得る。空気はその主成分が窒素７８％，酸素２
１％であるので、まず窒素を多く吸着するゼオライトを
吸着筒の上流側に入れ、続いて酸素を強く吸着する分子
篩炭を吸着剤としてその下流に置くことによりまず窒素
ガスを除き濃度の低い酸素を濃縮し、分子篩炭により分
圧の高くなった酸素を効率よく吸着除去できるよう、２
種の吸着剤を前記のように上流・下流に組み合わせ配置
することにより効率のよい空気の分離除去が出来るガス
分離部を構成する。そして、ガス分離部で分離したＳＦ
６ガス以外のガスは窒素ガスと酸素ガスであり、大気を
構成するガスと同一であるので大気中に放気する。再生
工程において、大気中に放気されるこの排気ガスはＳＦ
６ガスを含まなくする必要があり、吸着工程の終わった
吸着筒内にＳＦ６ガスが残らないよう、吸着工程と再生
工程の間に均圧工程を入れる。
も起こり得る。空気はその主成分が窒素７８％，酸素２
１％であるので、まず窒素を多く吸着するゼオライトを
吸着筒の上流側に入れ、続いて酸素を強く吸着する分子
篩炭を吸着剤としてその下流に置くことによりまず窒素
ガスを除き濃度の低い酸素を濃縮し、分子篩炭により分
圧の高くなった酸素を効率よく吸着除去できるよう、２
種の吸着剤を前記のように上流・下流に組み合わせ配置
することにより効率のよい空気の分離除去が出来るガス
分離部を構成する。そして、ガス分離部で分離したＳＦ
６ガス以外のガスは窒素ガスと酸素ガスであり、大気を
構成するガスと同一であるので大気中に放気する。再生
工程において、大気中に放気されるこの排気ガスはＳＦ
６ガスを含まなくする必要があり、吸着工程の終わった
吸着筒内にＳＦ６ガスが残らないよう、吸着工程と再生
工程の間に均圧工程を入れる。
【００１１】 すなわちガス分離部に吸着剤を充填した
複数の吸着筒を用い、ひとつの加圧工程にある吸着筒に
被回収ガスを供給し、ＳＦ６ガス中の混合ガスを吸着剤
に吸着させ、吸着剤が吸着ガスで満杯になる前に被回収
ガスの供給を止め、他のひとつの再生工程の終了した吸
着筒と入口同士，出口同士を結合し、吸着工程の終了し
た吸着筒内のガスを再生工程の終了した吸着筒に移す均
圧工程を行った後、吸着工程の終了した吸着筒は減圧
し、再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを脱着して
大気に排出する。この時、真空ポンプにより真空域まで
減圧して再生することもある。そして再生工程の終了し
た吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ
６ガスを分離する。均圧工程を入れることにより、吸着
工程の完了した吸着筒の入口，出口及びそれぞれの導管
内に存在するＳＦ６ガスを再生工程の終わった吸着筒に
移した後（ＳＦ６ガスを無くした後）、再生工程に入っ
てＳＦ６ガスを含まない吸着ガスを大気中へ排出するよ
うにしたものである。
複数の吸着筒を用い、ひとつの加圧工程にある吸着筒に
被回収ガスを供給し、ＳＦ６ガス中の混合ガスを吸着剤
に吸着させ、吸着剤が吸着ガスで満杯になる前に被回収
ガスの供給を止め、他のひとつの再生工程の終了した吸
着筒と入口同士，出口同士を結合し、吸着工程の終了し
た吸着筒内のガスを再生工程の終了した吸着筒に移す均
圧工程を行った後、吸着工程の終了した吸着筒は減圧
し、再生工程に入り、吸着剤に吸着したガスを脱着して
大気に排出する。この時、真空ポンプにより真空域まで
減圧して再生することもある。そして再生工程の終了し
た吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ
６ガスを分離する。均圧工程を入れることにより、吸着
工程の完了した吸着筒の入口，出口及びそれぞれの導管
内に存在するＳＦ６ガスを再生工程の終わった吸着筒に
移した後（ＳＦ６ガスを無くした後）、再生工程に入っ
てＳＦ６ガスを含まない吸着ガスを大気中へ排出するよ
うにしたものである。
【００１２】 被回収容器内に存在する被回収ガス（Ｓ
Ｆ６ガス）は、この被回収容器内の内圧を大気圧レベル
にまで回収してもまだ被回収容器内にあるガス中に残存
するため、これを点検時は０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ，
解体時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓの真空域まで減圧し
て回収し、ＳＦ６ガスが大気中へ散逸することを少なく
する自主規制としているが、真空値が高まる程、ガスが
膨張し、その回収に長時間を要する。そこで鋭意研究の
結果、前記ガス分離部にて分離のできるガスを被回収容
器に充填し、被回収容器を陽圧又は陽圧に近い圧力に高
めてこの分離部にて分離可能なガスをＳＦ６ガスと混合
して導出するようにすることにより、ＳＦ６ガスを短時
間で目標回収レベル（残留ガスレベル）まで回収する。
そのためガス供給部を設ける。ガス供給部のガスはガス
分離部の能力と相まって窒素ガス又は空気を用いること
が出来る。
Ｆ６ガス）は、この被回収容器内の内圧を大気圧レベル
にまで回収してもまだ被回収容器内にあるガス中に残存
するため、これを点検時は０．０１５ＭＰａ・ａｂｓ，
解体時は０．００５ＭＰａ・ａｂｓの真空域まで減圧し
て回収し、ＳＦ６ガスが大気中へ散逸することを少なく
する自主規制としているが、真空値が高まる程、ガスが
膨張し、その回収に長時間を要する。そこで鋭意研究の
結果、前記ガス分離部にて分離のできるガスを被回収容
器に充填し、被回収容器を陽圧又は陽圧に近い圧力に高
めてこの分離部にて分離可能なガスをＳＦ６ガスと混合
して導出するようにすることにより、ＳＦ６ガスを短時
間で目標回収レベル（残留ガスレベル）まで回収する。
そのためガス供給部を設ける。ガス供給部のガスはガス
分離部の能力と相まって窒素ガス又は空気を用いること
が出来る。
【００１３】 短時間で効率良く回収するため、被回収
容器内のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては容易に
液化回収出来るので被回収容器内の被回収ガスを加圧部
で加圧し、続いて液化部で冷却液化して回収する。この
方法により被回収容器内の内圧が加圧ポンプにより液化
可能な圧力範囲までは回収する。（しかしこの圧力は液
化部の冷却能力（温度）に左右されて変わることに注意
する必要がある。）被回収容器内圧力が一定値以下に下
がるとガス供給部より、ガスを被回収容器に供給し、昇
圧して加圧部で加圧できるようにする。このとき液化部
より非液化ガスを抜き取るようにする。このガスは加圧
部より上流側に戻すようにして、再度加圧冷却液化のサ
イクルに入れる。
容器内のＳＦ６ガスの濃度が高い範囲においては容易に
液化回収出来るので被回収容器内の被回収ガスを加圧部
で加圧し、続いて液化部で冷却液化して回収する。この
方法により被回収容器内の内圧が加圧ポンプにより液化
可能な圧力範囲までは回収する。（しかしこの圧力は液
化部の冷却能力（温度）に左右されて変わることに注意
する必要がある。）被回収容器内圧力が一定値以下に下
がるとガス供給部より、ガスを被回収容器に供給し、昇
圧して加圧部で加圧できるようにする。このとき液化部
より非液化ガスを抜き取るようにする。このガスは加圧
部より上流側に戻すようにして、再度加圧冷却液化のサ
イクルに入れる。
【００１４】 被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が低く
なるに従って、ＳＦ６ガスの分圧が下がるので液化のた
めの圧力は高くなり、液化に必要な温度が低くなり液化
できなくなるので、一定濃度以下になると被回収ガスを
ガス分離部に導き、ＳＦ６ガスを濃縮した後に加圧部に
加える。この方法により回収を継続していき、被回収ガ
ス中のＳＦ６ガスの濃度をみて０．０１５ＭＰａ・ａｂ
ｓ相当までの回収ができたか判断し、回収を終える。か
かる方法によれば被回収容器より高真空まで引くことの
出来る高価な真空ポンプを使うことなく陽圧にて被回収
ガスを導出することができるうえ短時間で目標レベル以
下の回収ができる。
なるに従って、ＳＦ６ガスの分圧が下がるので液化のた
めの圧力は高くなり、液化に必要な温度が低くなり液化
できなくなるので、一定濃度以下になると被回収ガスを
ガス分離部に導き、ＳＦ６ガスを濃縮した後に加圧部に
加える。この方法により回収を継続していき、被回収ガ
ス中のＳＦ６ガスの濃度をみて０．０１５ＭＰａ・ａｂ
ｓ相当までの回収ができたか判断し、回収を終える。か
かる方法によれば被回収容器より高真空まで引くことの
出来る高価な真空ポンプを使うことなく陽圧にて被回収
ガスを導出することができるうえ短時間で目標レベル以
下の回収ができる。
【００１５】 すなわち、 「あ」 ガス供給部とガス分離部で構成されたＳＦ６ガ
ス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧し
た高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回収ガス
をガス取出口より取り出し、ガス分離部にてＳＦ６を多
く含むガスとＳＦ６をほとんど含まないガスに分離し、
ＳＦ６をほとんど含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ
６を含むガスを回収する。 「い」 被回収容器中のＳＦ６ガス又は混合ガス（窒素
ガス又は空気や炭酸ガス等）を吸着する吸着剤を充填し
た吸着筒を有するＰＳＡ方式によるガス分離部とガス供
給部とで構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収
容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、ＳＦ６
ガスと混合した被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に
送入し、加圧吸着工程にて被回収容器内の易吸着ガスを
吸着筒内の吸着剤に吸着させて非吸着ガスと分離し、減
圧再生工程にて吸着筒を減圧し、吸着剤に吸着している
ガスを脱着し、ＳＦ６ガスと分離した混合ガスを大気中
に排出するようにした。 「う」 ゼオライトを吸着剤として充填した吸着筒を有
するＰＳＡ方式によるガス分離部と窒素ガス供給部で構
成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器に窒素
ガス供給部で調圧した窒素ガスを供給して被回収容器に
充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合した被
回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、加圧吸着
工程にて窒素ガス等を吸着筒内の吸着剤に吸着除去して
ＳＦ６ガスと分離し、減圧工程にて吸着筒を減圧し、吸
着剤に吸着している窒素ガス等を脱着し、大気中に放出
するようにした。
ス回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧し
た高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回収ガス
をガス取出口より取り出し、ガス分離部にてＳＦ６を多
く含むガスとＳＦ６をほとんど含まないガスに分離し、
ＳＦ６をほとんど含まないガスを大気中に排出し、ＳＦ
６を含むガスを回収する。 「い」 被回収容器中のＳＦ６ガス又は混合ガス（窒素
ガス又は空気や炭酸ガス等）を吸着する吸着剤を充填し
た吸着筒を有するＰＳＡ方式によるガス分離部とガス供
給部とで構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収
容器にガス供給部で調圧した高圧ガスを供給し、ＳＦ６
ガスと混合した被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に
送入し、加圧吸着工程にて被回収容器内の易吸着ガスを
吸着筒内の吸着剤に吸着させて非吸着ガスと分離し、減
圧再生工程にて吸着筒を減圧し、吸着剤に吸着している
ガスを脱着し、ＳＦ６ガスと分離した混合ガスを大気中
に排出するようにした。 「う」 ゼオライトを吸着剤として充填した吸着筒を有
するＰＳＡ方式によるガス分離部と窒素ガス供給部で構
成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器に窒素
ガス供給部で調圧した窒素ガスを供給して被回収容器に
充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合した被
回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、加圧吸着
工程にて窒素ガス等を吸着筒内の吸着剤に吸着除去して
ＳＦ６ガスと分離し、減圧工程にて吸着筒を減圧し、吸
着剤に吸着している窒素ガス等を脱着し、大気中に放出
するようにした。
【００１６】 また、 「え」 被回収容器中のＳＦ６ガス以外のガスを吸着す
る吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によ
るガス分離部とガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装
置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガ
スを供給し、被回収容器に充填されているＳＦ６ガスを
主とするガスと混合した被回収ガスを取出口より取り出
し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工程にある
吸着筒にてＳＦ６ガス以外のガスを吸着筒内の吸着剤に
吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤が吸
着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給を止め、他方
の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士と出口同士
を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生
工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着
工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に
吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了し
た吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ
６ガスを分離するようにした。 「お」 ゼオライトを上流側に分子篩炭を下流側に充填
した吸着筒２本を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と
高圧空気供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置におい
て、被回収容器に高圧空気供給部より一定圧の高圧空気
を供給してＳＦ６ガスと混合し、取出口より被回収ガス
を取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工
程にある吸着筒にて窒素ガス，酸素ガス他を該吸着筒内
の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の
吸着剤が該吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給
を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同
士，出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガ
スを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行
った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入
り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生
工程の終了した吸着筒に被回収ガスを供給して吸着工程
に入り、ＳＦ６ガスを分離するようにした。
る吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方式によ
るガス分離部とガス供給部で構成するＳＦ６ガス回収装
置において、被回収容器にガス供給部で調圧した高圧ガ
スを供給し、被回収容器に充填されているＳＦ６ガスを
主とするガスと混合した被回収ガスを取出口より取り出
し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工程にある
吸着筒にてＳＦ６ガス以外のガスを吸着筒内の吸着剤に
吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の吸着剤が吸
着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給を止め、他方
の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同士と出口同士
を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガスを減圧再生
工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行った後、吸着
工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入り、吸着剤に
吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生工程の終了し
た吸着筒は吸着工程に入り、被回収ガスを供給してＳＦ
６ガスを分離するようにした。 「お」 ゼオライトを上流側に分子篩炭を下流側に充填
した吸着筒２本を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と
高圧空気供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置におい
て、被回収容器に高圧空気供給部より一定圧の高圧空気
を供給してＳＦ６ガスと混合し、取出口より被回収ガス
を取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸着工
程にある吸着筒にて窒素ガス，酸素ガス他を該吸着筒内
の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着筒の
吸着剤が該吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの供給
を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入口同
士，出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒のガ
スを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程を行
った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程に入
り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧再生
工程の終了した吸着筒に被回収ガスを供給して吸着工程
に入り、ＳＦ６ガスを分離するようにした。
【００１７】 さらに、 「か」 ガス分離部と加圧部と液化部で構成するＳＦ６
ガス回収装置において、被回収容器より取り出したＳＦ
６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ６ガス
とＳＦ６を含まないガスとに分離し、ＳＦ６を含まない
ガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧し
た後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクより液
体窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を付設
して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるように
し、ガス化した液化窒素を加圧して被回収容器に供給す
るようにした。 「き」 ガス分離部と加圧部，液化部，ガス供給部で構
成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器中のＳ
Ｆ６ガス濃度が濃いときは被回収ガスを加圧部にて直接
加圧した後、液化部にて冷却液化し、冷却部内の非液化
ガスを加圧部より上流側に戻すよう構成し、該被回収容
器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・Ｇ）になるまで行
ない、その後、ガス供給部より被回収容器内に一定圧の
ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合し、圧力を高め前記加
圧冷却による液化回収を継続し、被回収ガス中のＳＦ6
ガス濃度が一定値以下になると被回収ガスを ガス分離
部に送入し、ＳＦ６ガスと混合ガスとを分離し、混合ガ
スを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した
後、液化部にて冷却液化するようにしたものである。
ガス回収装置において、被回収容器より取り出したＳＦ
６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ６ガス
とＳＦ６を含まないガスとに分離し、ＳＦ６を含まない
ガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧し
た後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクより液
体窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を付設
して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるように
し、ガス化した液化窒素を加圧して被回収容器に供給す
るようにした。 「き」 ガス分離部と加圧部，液化部，ガス供給部で構
成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器中のＳ
Ｆ６ガス濃度が濃いときは被回収ガスを加圧部にて直接
加圧した後、液化部にて冷却液化し、冷却部内の非液化
ガスを加圧部より上流側に戻すよう構成し、該被回収容
器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・Ｇ）になるまで行
ない、その後、ガス供給部より被回収容器内に一定圧の
ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合し、圧力を高め前記加
圧冷却による液化回収を継続し、被回収ガス中のＳＦ6
ガス濃度が一定値以下になると被回収ガスを ガス分離
部に送入し、ＳＦ６ガスと混合ガスとを分離し、混合ガ
スを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧した
後、液化部にて冷却液化するようにしたものである。
【００１８】
【実施例】 図１に好ましい１実施例のＳＦ６ガス回収
装置のフローシートを示す。トランスや遮断器である被
回収容器１の中に充填されているＳＦ６ガスを回収する
ものである。回収装置の構成はガス分離部３，ガス供給
部７，加圧部２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯
蔵する貯液器５より成っている。被回収容器１には通常
０．３ＭＰａ・Ｇから０．６ＭＰａ・Ｇの圧力でＳＦ６
ガスが封入されている。その濃度は１００ｖｏｌ％か
ら、窒素ガスでうすめられても５０ｖｏｌ％以上の濃度
で封入されている。そしてＳＦ６ガスは臨界温度４５．
６４℃，臨界圧力３．７５ＭＰａ・Ｇ，臨界モル容積２
０１ｍＬ／ｍｏｌ，融点−５０．８℃，昇華点−６３．
８℃である。
装置のフローシートを示す。トランスや遮断器である被
回収容器１の中に充填されているＳＦ６ガスを回収する
ものである。回収装置の構成はガス分離部３，ガス供給
部７，加圧部２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯
蔵する貯液器５より成っている。被回収容器１には通常
０．３ＭＰａ・Ｇから０．６ＭＰａ・Ｇの圧力でＳＦ６
ガスが封入されている。その濃度は１００ｖｏｌ％か
ら、窒素ガスでうすめられても５０ｖｏｌ％以上の濃度
で封入されている。そしてＳＦ６ガスは臨界温度４５．
６４℃，臨界圧力３．７５ＭＰａ・Ｇ，臨界モル容積２
０１ｍＬ／ｍｏｌ，融点−５０．８℃，昇華点−６３．
８℃である。
【００１９】 ＳＦ６ガスの蒸気圧は例えば０℃で１．
２２ＭＰａ・Ｇであるので被回収ガスを抜き出して加圧
部２で２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、冷却部４で０℃以
下に冷却すれば５０ｖｏｌ％以上のＳＦ６ガスは液化回
収することができる。このため被回収容器１より加圧部
２に被回収ガスを導入し、バッファタンク２８と加圧ポ
ンプ３０と定圧弁２９による戻し回路で構成する加圧部
２により２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、これを冷却部３
１，液化タンク３２と電磁弁３３，３４で構成する液化
部４で２０℃以下に冷却し、ＳＦ６を液化回収する。液
化ＳＦ６は貯液器５に貯える。
２２ＭＰａ・Ｇであるので被回収ガスを抜き出して加圧
部２で２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、冷却部４で０℃以
下に冷却すれば５０ｖｏｌ％以上のＳＦ６ガスは液化回
収することができる。このため被回収容器１より加圧部
２に被回収ガスを導入し、バッファタンク２８と加圧ポ
ンプ３０と定圧弁２９による戻し回路で構成する加圧部
２により２．４４ＭＰａ・Ｇに加圧し、これを冷却部３
１，液化タンク３２と電磁弁３３，３４で構成する液化
部４で２０℃以下に冷却し、ＳＦ６を液化回収する。液
化ＳＦ６は貯液器５に貯える。
【００２０】 被回収ガスのＳＦ６濃度が５０ｖｏｌ％
以上のときは被回収容器内の内圧が０ＭＰａ・Ｇになる
と、ガス供給部７よりガスを送入口３６より送入し、Ｓ
Ｆ６ガスと混合し、取出口３５より取り出し、加圧部２
で加圧し、液化部で冷却する方法を継続し、ＳＦ６ガス
を液化回収する。液化タンク３２内には非液化ガス（窒
素ガス）が残るのでこのガスは加圧部より上流側に戻す
（図示は省略している）ようにする。そして被回収ガス
中のＳＦ６ガスの濃度が５０ｖｏｌ％以下になると前記
圧力と温度では液化回収が出来なくなるので、ガス分離
部３に電磁弁１０を閉じ９を開いて被回収ガスを導入
し、ＳＦ６ガスを分離する。すなわちＳＦ６ガス以外の
窒素ガス他を吸着する吸着剤を充填した吸着筒１９，２
０と電磁弁１８，２１〜２７と真空ポンプ１５で構成さ
れるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２１を開
いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収ガス中
のＳＦ６以外のガスが吸着されて除去されるのでＳＦ６
ガスが濃縮されて吸着筒の他端出口より電磁弁２５，２
７を通って導出する、これを吸着工程という。
以上のときは被回収容器内の内圧が０ＭＰａ・Ｇになる
と、ガス供給部７よりガスを送入口３６より送入し、Ｓ
Ｆ６ガスと混合し、取出口３５より取り出し、加圧部２
で加圧し、液化部で冷却する方法を継続し、ＳＦ６ガス
を液化回収する。液化タンク３２内には非液化ガス（窒
素ガス）が残るのでこのガスは加圧部より上流側に戻す
（図示は省略している）ようにする。そして被回収ガス
中のＳＦ６ガスの濃度が５０ｖｏｌ％以下になると前記
圧力と温度では液化回収が出来なくなるので、ガス分離
部３に電磁弁１０を閉じ９を開いて被回収ガスを導入
し、ＳＦ６ガスを分離する。すなわちＳＦ６ガス以外の
窒素ガス他を吸着する吸着剤を充填した吸着筒１９，２
０と電磁弁１８，２１〜２７と真空ポンプ１５で構成さ
れるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２１を開
いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収ガス中
のＳＦ６以外のガスが吸着されて除去されるのでＳＦ６
ガスが濃縮されて吸着筒の他端出口より電磁弁２５，２
７を通って導出する、これを吸着工程という。
【００２１】 この導出したガスは加圧部２のバッファ
タンク２８に貯留され、次に加圧される。吸着筒１９の
吸着剤に窒素ガス等が吸着し、満杯になる少し前に電磁
弁９と２７を閉とし、被回収ガスの導入とＳＦ６ガスの
導出を中止し、再生工程の終了している吸着筒２０の入
口の電磁弁２１と２３，出口の電磁弁２５，２６を開と
し、吸着工程の終了した吸着筒１９から再生工程の終了
している吸着筒２０に、吸着筒１９内や入口・出口導管
内に残留するＳＦ６ガスを吸着筒２０に移動させる均圧
工程を行った後、吸着筒１９の電磁弁２１と２５を閉と
し、電磁弁２２と１８を開にして大気に開放し吸着筒１
９の圧力を大気圧まで減圧すると、吸着剤に吸着してい
る窒素ガス等が離脱して、大気中に排出される。続いて
電磁弁１８を閉として、真空ポンプ１５により真空域ま
で引いて吸着剤の再生を十分に行う。（再生工程）
タンク２８に貯留され、次に加圧される。吸着筒１９の
吸着剤に窒素ガス等が吸着し、満杯になる少し前に電磁
弁９と２７を閉とし、被回収ガスの導入とＳＦ６ガスの
導出を中止し、再生工程の終了している吸着筒２０の入
口の電磁弁２１と２３，出口の電磁弁２５，２６を開と
し、吸着工程の終了した吸着筒１９から再生工程の終了
している吸着筒２０に、吸着筒１９内や入口・出口導管
内に残留するＳＦ６ガスを吸着筒２０に移動させる均圧
工程を行った後、吸着筒１９の電磁弁２１と２５を閉と
し、電磁弁２２と１８を開にして大気に開放し吸着筒１
９の圧力を大気圧まで減圧すると、吸着剤に吸着してい
る窒素ガス等が離脱して、大気中に排出される。続いて
電磁弁１８を閉として、真空ポンプ１５により真空域ま
で引いて吸着剤の再生を十分に行う。（再生工程）
【００２２】 吸着筒２０は電磁弁９と２７を開にし
て、被回収ガスを電磁弁９，２３から導入し、濃縮した
ガスを電磁弁２６，２７よりバッファタンク２８に導入
し、加圧ポンプ３０により加圧し、前と同じ方法により
液化分離する。ガス供給部７は、窒素ボンベ１３と調圧
弁１４で構成し、窒素ガスを被回収容器に導入して混合
する場合にはＳＦ６ガスと窒素ガスとを分離するのでガ
ス分離部３で使用する吸着剤はゼオライトで良く、他に
も窒素ガスを吸着するものであれば使用可能で、ゼオラ
イトは１３Ｘタイプ，５Ａタイプがあり、５Ａタイプを
この実施例で使用している。
て、被回収ガスを電磁弁９，２３から導入し、濃縮した
ガスを電磁弁２６，２７よりバッファタンク２８に導入
し、加圧ポンプ３０により加圧し、前と同じ方法により
液化分離する。ガス供給部７は、窒素ボンベ１３と調圧
弁１４で構成し、窒素ガスを被回収容器に導入して混合
する場合にはＳＦ６ガスと窒素ガスとを分離するのでガ
ス分離部３で使用する吸着剤はゼオライトで良く、他に
も窒素ガスを吸着するものであれば使用可能で、ゼオラ
イトは１３Ｘタイプ，５Ａタイプがあり、５Ａタイプを
この実施例で使用している。
【００２３】 また吸着筒の被回収ガスの入口（上流）
側にゼオライトと出口（下流）側に分子篩炭（ＣＭＳ・
・Ｃａｒｂｏｎ，Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ，Ｓｅａｖｅｓ）
を充填し、窒素ガスと酸素ガスを吸着除去できるように
すると窒素ガスを用いるガス供給部７に代えて空気を用
いた圧縮空気発生部６を用いることができる。これはコ
ンプレッサー１２と空気乾燥器により構成し、乾燥した
空気を調節された圧力で被回収容器１に送入し、ＳＦ６
ガスと混合した後、前記窒素ガスを用いた方法と同じ原
理でＳＦ６ガスを分離回収できるのでどこにでもある空
気を用いて行うことが出来る。
側にゼオライトと出口（下流）側に分子篩炭（ＣＭＳ・
・Ｃａｒｂｏｎ，Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ，Ｓｅａｖｅｓ）
を充填し、窒素ガスと酸素ガスを吸着除去できるように
すると窒素ガスを用いるガス供給部７に代えて空気を用
いた圧縮空気発生部６を用いることができる。これはコ
ンプレッサー１２と空気乾燥器により構成し、乾燥した
空気を調節された圧力で被回収容器１に送入し、ＳＦ６
ガスと混合した後、前記窒素ガスを用いた方法と同じ原
理でＳＦ６ガスを分離回収できるのでどこにでもある空
気を用いて行うことが出来る。
【００２４】 そして混合ガス中のＳＦ６ガスの濃度が
大気圧換算で、純ＳＦ６ガスの０．０１５ＭＰａ・ａｂ
ｓ相当の約５％になった時、尚ＰＳＡガス分離部に導入
する圧力分だけ高圧であるときは、その圧力相当分の１
を乗じた濃度まで下げてやる必要がある。また被回収容
器１とガス分離部への導入口の間にガス分離に必要な圧
力に昇圧するコンプレッサーを設置することも出来る。
この場合は被回収容器１内の圧力は大気圧とすることが
出来るので約５％まで達すると終了することが出来る。
大気圧換算で、純ＳＦ６ガスの０．０１５ＭＰａ・ａｂ
ｓ相当の約５％になった時、尚ＰＳＡガス分離部に導入
する圧力分だけ高圧であるときは、その圧力相当分の１
を乗じた濃度まで下げてやる必要がある。また被回収容
器１とガス分離部への導入口の間にガス分離に必要な圧
力に昇圧するコンプレッサーを設置することも出来る。
この場合は被回収容器１内の圧力は大気圧とすることが
出来るので約５％まで達すると終了することが出来る。
【００２５】 図２に別の好ましい１実施例のＳＦ６ガ
ス回収装置のフローシートを示す。このＳＦ６ガス回収
装置の構成は、ガス分離部３，ガス供給部７，加圧部
２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯蔵する貯液器
５より成り立っており、第１の実施例と同一構成である
が、ガス分離部３がＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を吸
着剤として吸着筒１９，２０に充填してある。ここの動
作以外は実施例１と同じであるのでこのガス分離部分を
中心に説明する。被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が下
がってくると、ガス分離部の電磁弁１０を閉じ、同９を
開いて被回収ガスを導入し、ＳＦ６ガスを分離する。す
なわちＳＦ６ガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒１
９，２０と電磁弁１２，２１〜２７と真空ポンプ１５で
構成されるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２
１を開いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収
ガス中のＳＦ６ガスが吸着されて除去される吸着筒の他
端出口より電磁弁２５，２７を通って非吸着ガスである
混合ガス（ＳＦ６ガスを含まないガス）が導出される。
これを吸着工程という。
ス回収装置のフローシートを示す。このＳＦ６ガス回収
装置の構成は、ガス分離部３，ガス供給部７，加圧部
２，液化部４及び液化したＳＦ６ガスを貯蔵する貯液器
５より成り立っており、第１の実施例と同一構成である
が、ガス分離部３がＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を吸
着剤として吸着筒１９，２０に充填してある。ここの動
作以外は実施例１と同じであるのでこのガス分離部分を
中心に説明する。被回収ガス中のＳＦ６ガスの濃度が下
がってくると、ガス分離部の電磁弁１０を閉じ、同９を
開いて被回収ガスを導入し、ＳＦ６ガスを分離する。す
なわちＳＦ６ガスを吸着する吸着剤を充填した吸着筒１
９，２０と電磁弁１２，２１〜２７と真空ポンプ１５で
構成されるガス分離部３の一方の吸着筒１９に電磁弁２
１を開いて導入すると、吸着筒１９内の吸着剤に被回収
ガス中のＳＦ６ガスが吸着されて除去される吸着筒の他
端出口より電磁弁２５，２７を通って非吸着ガスである
混合ガス（ＳＦ６ガスを含まないガス）が導出される。
これを吸着工程という。
【００２６】 吸着筒１９の吸着剤にＳＦ６ガスが吸着
し、満杯になる前に電磁弁９，２１と２５，２７を閉と
し、再生工程の終了した吸着筒２０の電磁弁２３，２
４，２６を閉とし、電磁弁３７を開とし、着筒１９と２
０の均圧化を行い、吸着筒１９内の非吸着ガスを中心に
吸着筒２０内に移す。この工程は吸着工程の完了した吸
着筒内のＳＦ６ガスの濃度を高める働きをする。その
後、次の工程を入れて更にＳＦ６ガスの濃度を高めるこ
とも出来る。すなわち電磁弁１２，２１を開としてＳＦ
６ガスで吸着筒１９内をパージして吸着筒１９内の混合
ガスを吸着筒２０の方へ追い出す工程である。かかる均
圧工程，パージ工程はＳＦ６ガスが液化可能濃度に達し
ていれば全部又は一部を省くことが出来る。そしてこの
後（このとき一部ＳＦ６ガスも移る）、電磁弁２１，１
２，３７を閉とし、電磁弁２２，１１を開とし、真空ポ
ンプ１５にて吸着筒内１９のＳＦ６ガスを導出してバッ
ファタンク２８に送り、これを加圧部で昇圧する。吸着
筒１９は十分に真空引きし、ＳＦ６ガスを回収するとと
もに吸着剤の再生を行う。吸着筒２０は電磁弁９，２
３，２６，２７を開とし、被回収ガスを導入し、吸着筒
１９と同様に吸着工程を行う。以上、ガス分離部に使用
する吸着剤にＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を用いるた
め、ＳＦ６ガスの回収を再生工程で行う以外は、実施例
１と同じ動作である。
し、満杯になる前に電磁弁９，２１と２５，２７を閉と
し、再生工程の終了した吸着筒２０の電磁弁２３，２
４，２６を閉とし、電磁弁３７を開とし、着筒１９と２
０の均圧化を行い、吸着筒１９内の非吸着ガスを中心に
吸着筒２０内に移す。この工程は吸着工程の完了した吸
着筒内のＳＦ６ガスの濃度を高める働きをする。その
後、次の工程を入れて更にＳＦ６ガスの濃度を高めるこ
とも出来る。すなわち電磁弁１２，２１を開としてＳＦ
６ガスで吸着筒１９内をパージして吸着筒１９内の混合
ガスを吸着筒２０の方へ追い出す工程である。かかる均
圧工程，パージ工程はＳＦ６ガスが液化可能濃度に達し
ていれば全部又は一部を省くことが出来る。そしてこの
後（このとき一部ＳＦ６ガスも移る）、電磁弁２１，１
２，３７を閉とし、電磁弁２２，１１を開とし、真空ポ
ンプ１５にて吸着筒内１９のＳＦ６ガスを導出してバッ
ファタンク２８に送り、これを加圧部で昇圧する。吸着
筒１９は十分に真空引きし、ＳＦ６ガスを回収するとと
もに吸着剤の再生を行う。吸着筒２０は電磁弁９，２
３，２６，２７を開とし、被回収ガスを導入し、吸着筒
１９と同様に吸着工程を行う。以上、ガス分離部に使用
する吸着剤にＳＦ６ガスを吸着する分子篩炭を用いるた
め、ＳＦ６ガスの回収を再生工程で行う以外は、実施例
１と同じ動作である。
【００２７】 また、液化部４の冷却部３１及び液化タ
ンク３２は温度を必要な値まで下げなければならない。
通常は電気冷凍機を用いて冷却するが、前述の通り、被
回収容器にガスを供給するので液体窒素４０を用いてそ
の蒸発潜熱を蒸発器４１を用いて液化部の冷却熱源とし
て用い、その蒸発した窒素ガスを窒素ガス取出口４３よ
り被回収容器に導入し、前記ガス供給源とすることによ
り、効率化を図るようにすることが出来る。尚、液化部
は気密にし、一定の圧力に耐えなければならない。
ンク３２は温度を必要な値まで下げなければならない。
通常は電気冷凍機を用いて冷却するが、前述の通り、被
回収容器にガスを供給するので液体窒素４０を用いてそ
の蒸発潜熱を蒸発器４１を用いて液化部の冷却熱源とし
て用い、その蒸発した窒素ガスを窒素ガス取出口４３よ
り被回収容器に導入し、前記ガス供給源とすることによ
り、効率化を図るようにすることが出来る。尚、液化部
は気密にし、一定の圧力に耐えなければならない。
【００２８】
【発明の効果】 本発明を実施することにより、従来、
回収困難あるいは不完全な回収又は高価な設置と長時間
を要していたものが、比較的簡単な回収装置で、しかも
ほぼ完全に、かつ、比較的短時間にＳＦ６ガスを回収す
ることができるという優れた作用効果を奏する。
回収困難あるいは不完全な回収又は高価な設置と長時間
を要していたものが、比較的簡単な回収装置で、しかも
ほぼ完全に、かつ、比較的短時間にＳＦ６ガスを回収す
ることができるという優れた作用効果を奏する。
【図１】 本発明の好適な一実施例のフローシートであ
る。
る。
【図２】 別の好ましい実施例のフローシートである。
１ 被回収容器 ２ 加圧部 ３ ガス分離部 ４ 液化部 ５ 貯液器 ６ 高圧空気供給部 ７ ガス供給部 ８，９，１０ 電磁弁 １１ 空気乾燥器 １２ コンプレッサー １３ 窒素ボンベ １４ 調圧弁 １５ 真空ポンプ １６ 排気口１ １７ 排気口２ １８ 電磁弁 １９．２０ 吸着筒 ２１〜２７ 電磁弁 ２８ バッファタンク ２９ 定圧弁 ３０ 加圧ポンプ ３１ 冷却部 ３２ 液化タンク ３３，３４ 電磁弁 ３５ 取出口 ３６ 送入口 ４０ 液体窒素タンク ４１ 蒸発器 ４２ 液化部内窒素ガス出口 ４３ 液化部より窒素ガス取出口 ４４ ガス取入口
Claims (8)
- 【請求項１】 ガス供給部とガス分離部で構成されたＳ
Ｆ６ガス回収装置において、被回収容器にガス供給部で
調圧した高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回
収ガスをガス取出口より取り出し、ガス分離部にてＳＦ
６を多く含むガスとＳＦ６をほとんど含まないガスに分
離し、ＳＦ６をほとんど含まないガスを大気中に排出
し、ＳＦ６を含むガスを回収するＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項２】 被回収容器中のＳＦ６ガス又は混合ガス
を吸着する吸着剤を充填した吸着筒を有するＰＳＡ方式
によるガス分離部とガス供給部とで構成するＳＦ６ガス
回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した
高圧ガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合した被回収ガスを
取り出し、該ガス分離部に送入し、加圧吸着工程にて被
回収ガス中の易吸着ガスを吸着筒内の吸着剤に吸着させ
て非吸着ガスと分離し、減圧再生工程にて吸着筒を減圧
し、吸着剤に吸着しているガスを脱着し、ＳＦ６ガスと
混合ガスとを分離して混合ガスを大気中に排出するよう
にしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項３】 ゼオライトを吸着剤として充填した吸着
筒を有するＰＳＡ方式によるガス分離部と窒素ガス供給
部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器
に窒素ガス供給部で調圧した窒素ガスを供給して被回収
容器に充填されているＳＦ６ガスを主とするガスと混合
した被回収ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、加
圧吸着工程にて窒素ガス等を吸着筒内の吸着剤に吸着除
去してＳＦ６ガスと分離し、減圧工程にて吸着筒を減圧
し、吸着剤に吸着している窒素ガス等を脱着し、大気中
に放出するようにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項４】 被回収容器中のＳＦ６ガス以外のガスを
吸着する吸着剤を充填した吸着筒を２本有するＰＳＡ方
式によるガス分離部とガス供給部で構成するＳＦ６ガス
回収装置において、被回収容器にガス供給部で調圧した
高圧ガスを供給し、被回収容器に充填されているＳＦ６
ガスを主とするガスと混合した被回収ガスを取出口より
取り出し、該ガス分離部の一方の吸着筒に送入し、この
加圧吸着工程にある吸着筒にてＳＦ６ガス以外のガスを
吸着筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該
吸着筒の吸着剤が吸着ガスで満杯になる前に被回収ガス
の供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と
入口同士と出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着
筒のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工
程を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工
程に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減
圧再生工程の終了した吸着筒は吸着工程に入り、被回収
ガスを供給してＳＦ６ガスを分離するようにしたＳＦ６
ガス回収装置。 - 【請求項５】 ゼオライトを上流側に分子篩炭を下流側
に充填した吸着筒２本を有するＰＳＡ方式によるガス分
離部と高圧空気供給部で構成するＳＦ６ガス回収装置に
おいて、被回収容器に高圧空気供給部より一定圧の高圧
空気を供給してＳＦ６ガスと混合し、取出口より被回収
ガスを取り出し、該ガス分離部に送入し、１方の加圧吸
着工程にある吸着筒にて窒素ガス，酸素ガス他を該吸着
筒内の吸着剤に吸着させてＳＦ６ガスと分離し、該吸着
筒の吸着剤が該吸着ガスで満杯になる前に被回収ガスの
供給を止め、他方の減圧再生工程の完了した吸着筒と入
口同士と出口同士を結合し、吸着工程の完了した吸着筒
のガスを減圧再生工程の完了した吸着筒に移す均圧工程
を行った後、吸着工程の完了した吸着筒は減圧再生工程
に入り、吸着剤に吸着したガスを大気中に排出し、減圧
再生工程の終了した吸着筒に被回収ガスを供給して吸着
工程に入り、ＳＦ６ガスを分離するようにしたＳＦ６ガ
ス回収装置。 - 【請求項６】 ガス分離部と加圧部と液化部で構成する
ＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器より取り出し
たＳＦ６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ
６ガスとＳＦ６を含まないガスに分離し、ＳＦ６を含ま
ないガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加
圧した後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンクよ
り液体窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化部を
付設して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させるよ
うにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項７】 ガス分離部と加圧部と液化部で構成する
ＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器より取り出し
たＳＦ６を含む被回収ガスをガス分離部に供給し、ＳＦ
６ガスとＳＦ６を含まないガスとに分離し、ＳＦ６を含
まないガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて
加圧した後、液化部に送り、該液化部は液体窒素タンク
よりの液化窒素ガスの主に気化潜熱の雰囲気にこの液化
部を付設して該液化部を冷却し、ＳＦ６ガスを液化させ
るようにし、ガス化した液化窒素を加圧して被回収容器
に供給するようにしたＳＦ６ガス回収装置。 - 【請求項８】 ガス分離部と加圧部，液化部，ガス供給
部で構成するＳＦ６ガス回収装置において、被回収容器
中のＳＦ６ガス濃度が濃いときは被回収ガスを加圧部に
て直接加圧した後、液化部にて冷却液化し、冷却部内の
非液化ガスを加圧部より上流側に戻すよう構成し、該被
回収容器内の内圧が略大気圧（約０ＭＰａ・G）になる
まで行ない、その後、ガス供給部より被回収容器内に一
定圧のガスを供給し、ＳＦ６ガスと混合して圧力を高め
前記加圧冷却による液化回収を継続し、被回収ガス中の
ＳＦ６ガス濃度が一定値以下になると被回収ガスをガス
分離部に送入し、ＳＦ６ガスと混合ガスとを分離し、混
合ガスを大気中に排出し、ＳＦ６ガスを加圧部にて加圧
した後、液化部にて冷却液化するようにしたＳＦ６ガス
回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33081399A JP4033593B2 (ja) | 1999-03-19 | 1999-11-22 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-76374 | 1999-03-19 | ||
| JP7637499 | 1999-03-19 | ||
| JP33081399A JP4033593B2 (ja) | 1999-03-19 | 1999-11-22 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000334247A true JP2000334247A (ja) | 2000-12-05 |
| JP4033593B2 JP4033593B2 (ja) | 2008-01-16 |
Family
ID=26417516
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33081399A Expired - Fee Related JP4033593B2 (ja) | 1999-03-19 | 1999-11-22 | Ｓｆ６ガス回収装置 |
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| JP (1) | JP4033593B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003044146A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Sanyo Electric Industries Co Ltd | 特定ガスの充填濃度調節器 |
| JP2009062295A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Air Water Inc | パーフルオロカーボンガスの精製方法および装置 |
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| CN108355461A (zh) * | 2018-04-16 | 2018-08-03 | 西安交通大学 | 六氟化硫和氮气混合气体净化分离提纯装置及其回收净化提纯六氟化硫方法 |
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| CN113775921A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-12-10 | 国网江苏省电力有限公司电力科学研究院 | 一种六氟化硫气体现场正压式回收装置及方法 |
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| KR20240078104A (ko) * | 2022-11-25 | 2024-06-03 | (주)오운알투텍 | 육불화황 폐가스 회수재생장치 및 이를 이용한 육불화황 폐가스 회수재생방법 |
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-
1999
- 1999-11-22 JP JP33081399A patent/JP4033593B2/ja not_active Expired - Fee Related
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