JP2000334952A - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 オリフィスプレートから流路に進入する凸部
によって吐出効率を向上し、しかも簡単な製造装置で容
易かつ短時間で製造可能な構成とする。 【解決手段】 複数の流路を有するヘッド本体に接合さ
れるオリフィスプレート２０に、流路と連通する吐出口
４１と、吐出口４１の内壁からヘッド本体２０側に突出
する凸部４５が一体的に形成されている。この凸部４５
は、各流路４０１の連通口の内側にそれぞれ入り込んで
おり、流路から吐出口へのインクの流れがスムースにな
り、インクの吐出効率が向上する。また、この凸部４５
は、吐出口の並んでいる列方向に対し平行な部分４５ａ
よりも、列方向に対し直交する部分４５ｂが薄肉になっ
ている。これによって、隣り合う吐出口４１に対応する
凸部間の間隔が確保できるので、吐出口４１の高密度配
列が可能になる。
によって吐出効率を向上し、しかも簡単な製造装置で容
易かつ短時間で製造可能な構成とする。 【解決手段】 複数の流路を有するヘッド本体に接合さ
れるオリフィスプレート２０に、流路と連通する吐出口
４１と、吐出口４１の内壁からヘッド本体２０側に突出
する凸部４５が一体的に形成されている。この凸部４５
は、各流路４０１の連通口の内側にそれぞれ入り込んで
おり、流路から吐出口へのインクの流れがスムースにな
り、インクの吐出効率が向上する。また、この凸部４５
は、吐出口の並んでいる列方向に対し平行な部分４５ａ
よりも、列方向に対し直交する部分４５ｂが薄肉になっ
ている。これによって、隣り合う吐出口４１に対応する
凸部間の間隔が確保できるので、吐出口４１の高密度配
列が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液体を吐出して飛
翔液滴により記録を行なう液体吐出ヘッドに関する。そ
して、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プ
ラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒
体に対して記録を行なう、プリンタ、複写機、通信シス
テムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワード
プロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に
組み合わせた産業記録装置に適用できる液体吐出ヘッド
に関する。
翔液滴により記録を行なう液体吐出ヘッドに関する。そ
して、本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プ
ラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の被記録媒
体に対して記録を行なう、プリンタ、複写機、通信シス
テムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワード
プロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合的に
組み合わせた産業記録装置に適用できる液体吐出ヘッド
に関する。
【０００２】なお、本発明における「記録」とは、文字
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与す
ることだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を
付与することも意味する。
【０００３】
【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドの吐出口（オ
リフィス）から記録用液体（インク）を吐出することに
より記録を行なうインクジェット記録装置が、低騒音、
高速記録などの点で優れた記録装置として知られてい
る。このようなインクジェット記録装置として、これま
でにも様々な方式のものが提案され改良が加えられて、
商品化されたものや実用化のために現在開発中のものが
ある。
リフィス）から記録用液体（インク）を吐出することに
より記録を行なうインクジェット記録装置が、低騒音、
高速記録などの点で優れた記録装置として知られてい
る。このようなインクジェット記録装置として、これま
でにも様々な方式のものが提案され改良が加えられて、
商品化されたものや実用化のために現在開発中のものが
ある。
【０００４】従来のインクジェット記録装置の一例とし
ては、図１４，１５に示すように、インクを吐出するた
めのオリフィスプレート２００と、吐出口２０１に連通
する流路２０２を形成するための天板２０３と、流路２
０２内に設けられ液体吐出のためのエネルギーを発生す
るエネルギー発生素子２０３を有する基板２０４とから
構成された液体吐出ヘッドを有するものがある。
ては、図１４，１５に示すように、インクを吐出するた
めのオリフィスプレート２００と、吐出口２０１に連通
する流路２０２を形成するための天板２０３と、流路２
０２内に設けられ液体吐出のためのエネルギーを発生す
るエネルギー発生素子２０３を有する基板２０４とから
構成された液体吐出ヘッドを有するものがある。
【０００５】オリフィスプレート２００に設けられてい
る液体吐出用の微小な吐出口２０１が、液体吐出ヘッド
の吐出性能を左右する重要な要素となっている。すなわ
ち、液体吐出ヘッドのオリフィスプレート２００は、微
細な吐出口２０１を形成するために加工性がよく、イン
クの直接接触のために耐インク性がよい材質のものが求
められる。従来はこのような条件を満たすものとして、
ステンレス、ニッケル、クロム、アルミニウムなどの金
属プレートや、所望の厚みが容易に得られて安価なポリ
イミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポ
リフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリプロピレン等の樹脂フィルムなどが用いられて
いる。
る液体吐出用の微小な吐出口２０１が、液体吐出ヘッド
の吐出性能を左右する重要な要素となっている。すなわ
ち、液体吐出ヘッドのオリフィスプレート２００は、微
細な吐出口２０１を形成するために加工性がよく、イン
クの直接接触のために耐インク性がよい材質のものが求
められる。従来はこのような条件を満たすものとして、
ステンレス、ニッケル、クロム、アルミニウムなどの金
属プレートや、所望の厚みが容易に得られて安価なポリ
イミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポ
リフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリプロピレン等の樹脂フィルムなどが用いられて
いる。
【０００６】そして、特開平２−２０４０４８号公報に
は、吐出効率を向上させるために、オリフィスプレート
の一部が流路内に進入している構成の液体吐出ヘッドが
開示されている。具体的には、オリフィスプレートを形
成する材料の一部が熱により軟化し、流路内に入り込ん
だ後、吐出口を形成する構成である。さらに米国特許第
５６０４５２１号には、オリフィスを開口させた凸部を
ヘッド本体との接合面に設けたオリフィスプレートを用
い、このオリフィスプレートの接合面に接着樹脂を塗布
した後、凸部をヘッド本体の流路にはめ込んだ液体吐出
ヘッドが開示されている。
は、吐出効率を向上させるために、オリフィスプレート
の一部が流路内に進入している構成の液体吐出ヘッドが
開示されている。具体的には、オリフィスプレートを形
成する材料の一部が熱により軟化し、流路内に入り込ん
だ後、吐出口を形成する構成である。さらに米国特許第
５６０４５２１号には、オリフィスを開口させた凸部を
ヘッド本体との接合面に設けたオリフィスプレートを用
い、このオリフィスプレートの接合面に接着樹脂を塗布
した後、凸部をヘッド本体の流路にはめ込んだ液体吐出
ヘッドが開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、オリフィスに
はめ込むための凸部を有する場合、吐出口がテーパー形
状となるため、流路を高密度に配列する際には、凸部の
高密度配列に限界があった。
はめ込むための凸部を有する場合、吐出口がテーパー形
状となるため、流路を高密度に配列する際には、凸部の
高密度配列に限界があった。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、液滴を
吐出するための複数の吐出口が列状に並べて設けられて
いるオリフィスプレートと、複数の吐出口にそれぞれ連
通する複数の流路と、複数の流路に液体を供給するため
の液室と、複数の流路に対応して配設され液滴を吐出す
るためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素
子とを備えたヘッド本体とを有し、オリフィスプレート
が、吐出口に連通する流路の連通口が配設されたヘッド
本体の接合面に接合されている液体吐出ヘッドにおい
て、オリフィスプレートには、吐出口の内周部から突出
し少なくとも一部が連通口から流路内に進入する壁状の
凸部が形成されており、壁状の凸部の幅が、複数の吐出
口の並ぶ列方向に対して直交する部分よりも、列方向に
対して平行な部分の方が厚く形成されているところにあ
る。
吐出するための複数の吐出口が列状に並べて設けられて
いるオリフィスプレートと、複数の吐出口にそれぞれ連
通する複数の流路と、複数の流路に液体を供給するため
の液室と、複数の流路に対応して配設され液滴を吐出す
るためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素
子とを備えたヘッド本体とを有し、オリフィスプレート
が、吐出口に連通する流路の連通口が配設されたヘッド
本体の接合面に接合されている液体吐出ヘッドにおい
て、オリフィスプレートには、吐出口の内周部から突出
し少なくとも一部が連通口から流路内に進入する壁状の
凸部が形成されており、壁状の凸部の幅が、複数の吐出
口の並ぶ列方向に対して直交する部分よりも、列方向に
対して平行な部分の方が厚く形成されているところにあ
る。
【０００９】これによると、オリフィスプレートの吐出
口とヘッド本体の流路との間が隙間なく接続（接合や接
着等）でき、液体の流れがスムースになる。また、オリ
フィスプレートの吐出口とヘッド本体の流路とを容易に
精度よく接続（接合や接着等）でき、しかもオリフィス
プレートとヘッド本体との接合強度が高まる。また、凸
部の、吐出口の並んでいる列方向に対し直交する部分が
薄肉になっているので、隣り合う吐出口に対応する凸部
間の間隔が確保でき、吐出口の高密度配列が可能にな
る。
口とヘッド本体の流路との間が隙間なく接続（接合や接
着等）でき、液体の流れがスムースになる。また、オリ
フィスプレートの吐出口とヘッド本体の流路とを容易に
精度よく接続（接合や接着等）でき、しかもオリフィス
プレートとヘッド本体との接合強度が高まる。また、凸
部の、吐出口の並んでいる列方向に対し直交する部分が
薄肉になっているので、隣り合う吐出口に対応する凸部
間の間隔が確保でき、吐出口の高密度配列が可能にな
る。
【００１０】壁状の凸部が、吐出口の内周部全周に沿っ
て設けられていてもよい。
て設けられていてもよい。
【００１１】また、本発明の他の特徴は、オリフィスプ
レートには、吐出口の内周部から突出し少なくとも一部
が連通口から流路内に進入する壁状の凸部が形成されて
おり、オリフィスプレートのヘッド本体への接合面側に
て、複数の吐出口の並ぶ列方向に対して直交する位置の
吐出口の内端部と比べて、列方向に対して平行に位置す
る壁状の凸部が、オリフィスプレートの板厚方向に高く
形成されているところにある。この構成によると、オリ
フィスプレートとヘッド本体とが接着剤層により接着さ
れる際に接着剤が流路に流入することを防ぐ構成が、効
率よく形成できる。
レートには、吐出口の内周部から突出し少なくとも一部
が連通口から流路内に進入する壁状の凸部が形成されて
おり、オリフィスプレートのヘッド本体への接合面側に
て、複数の吐出口の並ぶ列方向に対して直交する位置の
吐出口の内端部と比べて、列方向に対して平行に位置す
る壁状の凸部が、オリフィスプレートの板厚方向に高く
形成されているところにある。この構成によると、オリ
フィスプレートとヘッド本体とが接着剤層により接着さ
れる際に接着剤が流路に流入することを防ぐ構成が、効
率よく形成できる。
【００１２】この場合、壁状の凸部が、列方向に対して
平行な部分と列方向に直交する部分とを含み、列方向に
直交する位置の吐出口の内端部が、壁状の凸部の、列方
向に対して直交する部分の先端部であってもよい。また
は、壁状の凸部が、列方向に対して平行な部分のみ設け
られていてもよい。
平行な部分と列方向に直交する部分とを含み、列方向に
直交する位置の吐出口の内端部が、壁状の凸部の、列方
向に対して直交する部分の先端部であってもよい。また
は、壁状の凸部が、列方向に対して平行な部分のみ設け
られていてもよい。
【００１３】壁状の凸部の内側面の少なくとも一部が曲
面であってもよい。また、この曲面が、吐出口の形状に
実質的に相似した形状であってもよい。これによると、
液体吐出の方向安定性が高まる。
面であってもよい。また、この曲面が、吐出口の形状に
実質的に相似した形状であってもよい。これによると、
液体吐出の方向安定性が高まる。
【００１４】壁状の凸部の列方向に対して平行な部分の
外側に、列方向に実質的に平行な遮断壁部および溝部の
いずれか一方、または両方が設けられていてもよい。こ
れによると、オリフィスプレートとヘッド本体とが接着
剤層により接着される際に接着剤が流路に流入すること
を、より効果的に防止できる。
外側に、列方向に実質的に平行な遮断壁部および溝部の
いずれか一方、または両方が設けられていてもよい。こ
れによると、オリフィスプレートとヘッド本体とが接着
剤層により接着される際に接着剤が流路に流入すること
を、より効果的に防止できる。
【００１５】隣り合う吐出口の間に、オリフィスプレー
トとヘッド本体との接合時につぶれ変形している、列方
向に実質的に直交する遮断壁部が設けられていてもよ
い。また、隣り合う吐出口の間に、列方向に実質的に直
交する溝部が設けられていてもよい。
トとヘッド本体との接合時につぶれ変形している、列方
向に実質的に直交する遮断壁部が設けられていてもよ
い。また、隣り合う吐出口の間に、列方向に実質的に直
交する溝部が設けられていてもよい。
【００１６】壁状の凸部が、長手方向に先細となるテー
パ状に形成されていてもよい。また、幅方向に先細とな
るテーパ状に形成されていてもよい。この場合、凸部の
連通口への進入がスムースになる。
パ状に形成されていてもよい。また、幅方向に先細とな
るテーパ状に形成されていてもよい。この場合、凸部の
連通口への進入がスムースになる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１８】図1，２に本発明の第１の実施形態の液体
吐出ヘッドを示している。複数の流路４０１およびこの
複数の流路４０１と連通する単一の液室４０２を構成す
るための溝状の凹部が形成された天板４００と、吐出エ
ネルギーを発生するためのエネルギー発生素子（本実施
形態では発熱素子であるヒータ）１０１およびこれに電
気信号を供給するためのアルミニウムの配線（図示せ
ず）とが成膜技術によってシリコン基板上に形成された
基板（ヒータボード）１００とが接合されて、ヘッド本
体２０が構成されている。そして、天板４００と基板１
００とが接合されることによって、流路４０１と液室４
０２とが、天板４００と基板１００との間に構成され
る。
吐出ヘッドを示している。複数の流路４０１およびこの
複数の流路４０１と連通する単一の液室４０２を構成す
るための溝状の凹部が形成された天板４００と、吐出エ
ネルギーを発生するためのエネルギー発生素子（本実施
形態では発熱素子であるヒータ）１０１およびこれに電
気信号を供給するためのアルミニウムの配線（図示せ
ず）とが成膜技術によってシリコン基板上に形成された
基板（ヒータボード）１００とが接合されて、ヘッド本
体２０が構成されている。そして、天板４００と基板１
００とが接合されることによって、流路４０１と液室４
０２とが、天板４００と基板１００との間に構成され
る。
【００１９】各流路４０１の連通口（先端開口部）が位
置する開口配設面（ヘッド本体２０の接合面）４４に
は、オリフィスプレート４０が接着剤層４２によって貼
り合わされる。本実施形態のオリフィスプレート４０
は、厚さが５０μｍのポリサルフォンフィルムからな
る。オリフィスプレート４０には、各流路４０１とそれ
ぞれ連通する複数の吐出口４１が設けられており、この
吐出口４１の内壁からヘッド本体２０側に突出する凸部
４５が一体的に形成されている。この凸部４５は、各流
路４０１の連通口の内側にそれぞれ入り込んでいる。凸
部４５および吐出口４１は、先細になるテーパ状に形成
されている。
置する開口配設面（ヘッド本体２０の接合面）４４に
は、オリフィスプレート４０が接着剤層４２によって貼
り合わされる。本実施形態のオリフィスプレート４０
は、厚さが５０μｍのポリサルフォンフィルムからな
る。オリフィスプレート４０には、各流路４０１とそれ
ぞれ連通する複数の吐出口４１が設けられており、この
吐出口４１の内壁からヘッド本体２０側に突出する凸部
４５が一体的に形成されている。この凸部４５は、各流
路４０１の連通口の内側にそれぞれ入り込んでいる。凸
部４５および吐出口４１は、先細になるテーパ状に形成
されている。
【００２０】図３に本実施形態の凸部をオリフィスプレ
ート内面（裏面）側から見た拡大図を示している。本実
施形態では、吐出口４１の内周部全周に沿って、壁状の
凸部４５が形成されている。この凸部４５は、吐出口の
並んでいる列方向に対し平行な部分４５ａよりも、列方
向に対し直交する部分４５ｂが薄肉になっている。これ
によって、隣り合う吐出口４１に対応する凸部間の間隔
が確保できるので、吐出口４１の高密度配列が可能にな
る。例えば、、３５．５〜４２．５μm程度のピッチで
６００〜７２０ｄｐｉ（dots per inch）の密度とする
ことができる。
ート内面（裏面）側から見た拡大図を示している。本実
施形態では、吐出口４１の内周部全周に沿って、壁状の
凸部４５が形成されている。この凸部４５は、吐出口の
並んでいる列方向に対し平行な部分４５ａよりも、列方
向に対し直交する部分４５ｂが薄肉になっている。これ
によって、隣り合う吐出口４１に対応する凸部間の間隔
が確保できるので、吐出口４１の高密度配列が可能にな
る。例えば、、３５．５〜４２．５μm程度のピッチで
６００〜７２０ｄｐｉ（dots per inch）の密度とする
ことができる。
【００２１】そして、この凸部４５により、オリフィス
プレート４０の吐出口４１とヘッド本体２０の流路４０
１との間が隙間なく接続でき、インクの流れがスムース
になりインクの吐出速度向上および印字品質向上と、吐
出効率の向上が達成できる。また、オリフィスプレート
４０の吐出口４１とヘッド本体２０の流路４０１とを容
易に精度よく接続でき、しかもオリフィスプレート４０
とヘッド本体２０との接合強度が高まる。さらに、接着
剤層４２からはみ出した接着剤が流路４０１内に入り込
んで流路特性を変化させることが防げる。
プレート４０の吐出口４１とヘッド本体２０の流路４０
１との間が隙間なく接続でき、インクの流れがスムース
になりインクの吐出速度向上および印字品質向上と、吐
出効率の向上が達成できる。また、オリフィスプレート
４０の吐出口４１とヘッド本体２０の流路４０１とを容
易に精度よく接続でき、しかもオリフィスプレート４０
とヘッド本体２０との接合強度が高まる。さらに、接着
剤層４２からはみ出した接着剤が流路４０１内に入り込
んで流路特性を変化させることが防げる。
【００２２】この液体吐出ヘッドによると、液室４０２
から各流路４０１へ液体（インク）が供給される。そし
て、図示しない駆動手段が、形成すべき画像に応じてイ
ンク吐出すべき流路４０１を選択し、選択された流路４
０１内のヒータ１０１に駆動信号を供給する。駆動信号
を受けたヒータ１０１は発熱し、その流路４０１内のイ
ンクを加熱する。加熱されたインクは発泡し、その気泡
の成長に伴う圧力によってインク滴が吐出口４１から外
部へ吐出する。外部へ吐出するインク滴は、図示しない
記録媒体（記録紙等）に付着し、記録媒体上に画像が形
成される。本実施形態では、凸部４５が形成されている
ことにより、流路４０１から吐出口４１へのインクの流
れが円滑で、吐出効率がよい。
から各流路４０１へ液体（インク）が供給される。そし
て、図示しない駆動手段が、形成すべき画像に応じてイ
ンク吐出すべき流路４０１を選択し、選択された流路４
０１内のヒータ１０１に駆動信号を供給する。駆動信号
を受けたヒータ１０１は発熱し、その流路４０１内のイ
ンクを加熱する。加熱されたインクは発泡し、その気泡
の成長に伴う圧力によってインク滴が吐出口４１から外
部へ吐出する。外部へ吐出するインク滴は、図示しない
記録媒体（記録紙等）に付着し、記録媒体上に画像が形
成される。本実施形態では、凸部４５が形成されている
ことにより、流路４０１から吐出口４１へのインクの流
れが円滑で、吐出効率がよい。
【００２３】なお、オリフィスプレート４０の材質とし
ては、ステンレス、ニッケルなどの金属フィルム、また
は耐インク性に優れたプラスチックフィルム、例えば、
ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルフ
ァイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材が望まし
い。
ては、ステンレス、ニッケルなどの金属フィルム、また
は耐インク性に優れたプラスチックフィルム、例えば、
ポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルフ
ァイド、ポリプロピレンなどの樹脂フィルム材が望まし
い。
【００２４】次に、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法
について説明する。
について説明する。
【００２５】まず、オリフィスプレート４０の製造方法
として２通りの方法を説明する。
として２通りの方法を説明する。
【００２６】図４は、オリフィスプレートの第1の製造
方法に用いられるレーザー加工装置の概略構成図であ
る。このレーザー加工装置は、レーザー光２を発するレ
ーザー光源であるレーザー発振器１と、レーザー発振器
１からのレーザー光によりワークＷの加工を行う加工系
が設けられた装置フレーム６と、ワークＷの加工に関す
る情報処理および制御を行う情報処理・制御系７とを有
する。
方法に用いられるレーザー加工装置の概略構成図であ
る。このレーザー加工装置は、レーザー光２を発するレ
ーザー光源であるレーザー発振器１と、レーザー発振器
１からのレーザー光によりワークＷの加工を行う加工系
が設けられた装置フレーム６と、ワークＷの加工に関す
る情報処理および制御を行う情報処理・制御系７とを有
する。
【００２７】レーザー加工装置で使用するレーザー発振
器１としては、例えば、ＹＡＧレーザー発振器や、ＣＯ
2レーザー発振器や、エキシマレーザー発振器や、Ｎ2レ
ーザー発振器等、高出力のものが考えられるが、本実施
形態においては、エキシマレーザー発振器の中のＫｒ−
Ｆエキシマレーザー発振器が用いられている。
器１としては、例えば、ＹＡＧレーザー発振器や、ＣＯ
2レーザー発振器や、エキシマレーザー発振器や、Ｎ2レ
ーザー発振器等、高出力のものが考えられるが、本実施
形態においては、エキシマレーザー発振器の中のＫｒ−
Ｆエキシマレーザー発振器が用いられている。
【００２８】装置フレーム６は、光学系８と、ワークＷ
の位置を観察および測定する観察・測定系９と、マスク
１０と、ワークＷを移動させるためのワークステーショ
ン１１とを有する。光学系８は、装置フレーム６に入射
されるレーザー光２の光軸ａ上に配置されたビーム整形
光学系およびケラー照明光学系８ａと、マスク１０の像
をワークＷの加工面に結像させる投影光学系８ｂとを有
し、ビーム整形光学系およびケラー照明光学系８ａと投
影光学系８ｂとの間にマスク１０が配置されている。
の位置を観察および測定する観察・測定系９と、マスク
１０と、ワークＷを移動させるためのワークステーショ
ン１１とを有する。光学系８は、装置フレーム６に入射
されるレーザー光２の光軸ａ上に配置されたビーム整形
光学系およびケラー照明光学系８ａと、マスク１０の像
をワークＷの加工面に結像させる投影光学系８ｂとを有
し、ビーム整形光学系およびケラー照明光学系８ａと投
影光学系８ｂとの間にマスク１０が配置されている。
【００２９】図５には、マスク１０を拡大して示してい
る。本実施形態のマスク１０は、前記構成の液体吐出ヘ
ッドのオリフィスプレート４０を加工するために、加工
単位面積当たりのレーザー光透過率が部分的に変えられ
ており、図１に示す吐出口４１に対応する領域（吐出口
形成部分）５０の透過率が１００％、凸部４５に対応す
る領域（凸部形成部分）５１の透過率が０％、そしてそ
れ以外の部分５３の透過率が３０％となっている。
る。本実施形態のマスク１０は、前記構成の液体吐出ヘ
ッドのオリフィスプレート４０を加工するために、加工
単位面積当たりのレーザー光透過率が部分的に変えられ
ており、図１に示す吐出口４１に対応する領域（吐出口
形成部分）５０の透過率が１００％、凸部４５に対応す
る領域（凸部形成部分）５１の透過率が０％、そしてそ
れ以外の部分５３の透過率が３０％となっている。
【００３０】投影光学系８ｂは、マスク１０の耐久性を
考慮すると、縮小光学系であることが好ましい。本実施
形態では、４分の１倍の縮小の投影光学系８ｂが設けら
れている。
考慮すると、縮小光学系であることが好ましい。本実施
形態では、４分の１倍の縮小の投影光学系８ｂが設けら
れている。
【００３１】ワークステーション１１の詳細な構成につ
いては図示していないが、上記光軸ａに対するワークＷ
の傾きを調整するために、適宜な調整手段を備えるとよ
い。例えば、互いに直交する３軸と、２つの軸回りの回
転の５軸について自由度を持つステージの組み合わせで
ワークステーション１１を構成してもよい。回転調整の
ための中心をワークＷの加工中心に合わせる構成にする
ことにより、調整手段の制御を簡素化することができ
る。
いては図示していないが、上記光軸ａに対するワークＷ
の傾きを調整するために、適宜な調整手段を備えるとよ
い。例えば、互いに直交する３軸と、２つの軸回りの回
転の５軸について自由度を持つステージの組み合わせで
ワークステーション１１を構成してもよい。回転調整の
ための中心をワークＷの加工中心に合わせる構成にする
ことにより、調整手段の制御を簡素化することができ
る。
【００３２】ワークステーション１１上でのワークＷの
位置決めのために、ワークＷをワークステーション１１
に取り付ける治具１１ａに、ワークステーション１１上
に配置したワークＷに突き当てる複数の基準ピンが設け
られているとよい。また、治具１１ａ上に、上記突き当
て機構の他に、エアー吸引などによるクランプ機構を設
けて、これをオートハンドと一体化し、ワークステーシ
ョン１１へのワークＷの自動供給を可能にするとよい。
さらに、ワークＷを複数個同時にワークステーション１
１にセットすることで、とりおき時間を短縮するように
してもよい。ただし、この場合には、調整手段の回転方
向の１軸については、これをワークＷの中心に配置でき
ないので、測定時とワークＷの移動時とで、基準値の変
換を行う必要がある。
位置決めのために、ワークＷをワークステーション１１
に取り付ける治具１１ａに、ワークステーション１１上
に配置したワークＷに突き当てる複数の基準ピンが設け
られているとよい。また、治具１１ａ上に、上記突き当
て機構の他に、エアー吸引などによるクランプ機構を設
けて、これをオートハンドと一体化し、ワークステーシ
ョン１１へのワークＷの自動供給を可能にするとよい。
さらに、ワークＷを複数個同時にワークステーション１
１にセットすることで、とりおき時間を短縮するように
してもよい。ただし、この場合には、調整手段の回転方
向の１軸については、これをワークＷの中心に配置でき
ないので、測定時とワークＷの移動時とで、基準値の変
換を行う必要がある。
【００３３】観察・測定系９は、１対の観測器と光軸ａ
上に配置された２面のミラー９ｄとにより構成されてい
る。観測器は、対物レンズを備えた鏡筒９ａと、鏡筒９
ａに組み込まれた落照射明光源９ｂと、鏡筒９ａに接続
されたＣＣＤカメラセンサ９ｃとからなる。
上に配置された２面のミラー９ｄとにより構成されてい
る。観測器は、対物レンズを備えた鏡筒９ａと、鏡筒９
ａに組み込まれた落照射明光源９ｂと、鏡筒９ａに接続
されたＣＣＤカメラセンサ９ｃとからなる。
【００３４】各観測器およびミラー９ｄは、投影光学系
８ｂとワークステーション１１との間に配置されてお
り、レーザー照射時にはミラー９ｄは光軸ａから外れ、
測定時にのみ光軸ａ上に移動するようにしてある。本実
施形態では、ミラー９ｄの移動は、図示しないエアシリ
ンダ機構により制御されている。
８ｂとワークステーション１１との間に配置されてお
り、レーザー照射時にはミラー９ｄは光軸ａから外れ、
測定時にのみ光軸ａ上に移動するようにしてある。本実
施形態では、ミラー９ｄの移動は、図示しないエアシリ
ンダ機構により制御されている。
【００３５】情報処理・制御系７には、観察・測定系９
からのワークＷの位置データ、およびパワーディテクタ
ー４からのビームパワーのデータがフィードバックされ
る。具体的には、各観測器に接続されている画像処理系
７ａと、画像処理系７ａに接続されている制御系７ｂ
と、制御系７ｂに接続されワークステーション１１にお
けるワークＷの移動を行なう移動手段７ｃと、制御系７
ｂおよびレーザー発振器１に接続されているインターフ
ェース７ｄとを有している。
からのワークＷの位置データ、およびパワーディテクタ
ー４からのビームパワーのデータがフィードバックされ
る。具体的には、各観測器に接続されている画像処理系
７ａと、画像処理系７ａに接続されている制御系７ｂ
と、制御系７ｂに接続されワークステーション１１にお
けるワークＷの移動を行なう移動手段７ｃと、制御系７
ｂおよびレーザー発振器１に接続されているインターフ
ェース７ｄとを有している。
【００３６】図４に示すワークＷとして、オリフィスプ
レート４０となるポリサルフォンフィルムをワークステ
ーション１１にセットする。そして、レーザー発振器１
からレーザー光２を照射する。レーザー発振器１から発
生されたレーザー光２は、その一部がビームスプリッタ
ー３に反射され、その反射光はパワーディテクター４に
よってモニターされる。一方、ビームスプリッター３を
透過したレーザー光２は、２つの４５°全反射ミラー５
で反射されて装置フレーム６に入射される。なお、ビー
ムスプリッター３は、合成石英の平行平面板で、表面反
射のみでレーザー光２の一部を分離している。
レート４０となるポリサルフォンフィルムをワークステ
ーション１１にセットする。そして、レーザー発振器１
からレーザー光２を照射する。レーザー発振器１から発
生されたレーザー光２は、その一部がビームスプリッタ
ー３に反射され、その反射光はパワーディテクター４に
よってモニターされる。一方、ビームスプリッター３を
透過したレーザー光２は、２つの４５°全反射ミラー５
で反射されて装置フレーム６に入射される。なお、ビー
ムスプリッター３は、合成石英の平行平面板で、表面反
射のみでレーザー光２の一部を分離している。
【００３７】装置フレーム６に入射したレーザー光２
は、ビーム整形光学系およびケラー照明光学系８ａを透
過して、投影光学系８ｂによりマスク１０の像をワーク
Ｗの加工面に結像させる。
は、ビーム整形光学系およびケラー照明光学系８ａを透
過して、投影光学系８ｂによりマスク１０の像をワーク
Ｗの加工面に結像させる。
【００３８】本実施形態においては、約１（Ｊ／ｃｍ2
・ｐｕｌｓ）、２００〜４００ｐｕｌｓという条件でレ
ーザー照射を行ない、レーザーアブレーションによるポ
リサルフォンフィルムの切削加工を行った。前記の通
り、マスク１０は、レーザー光透過率が１００％、３０
％、０％に別れているため、この透過率に応じて加工さ
れる。このオリフィスプレート４０の断面図が図１に示
されている。すなわち、透過率１００％の部分は、完全
にポリサルフォンフィルムを貫通する吐出口となり、透
過率３０％の部分はある程度薄く（本実施形態では厚さ
約５０μｍのフィルムを１０〜２０μｍ程度切削して３
０〜４０μｍの厚さに）している。そして透過率０％の
部分は切削されず、相対的な凸部４５となる。
・ｐｕｌｓ）、２００〜４００ｐｕｌｓという条件でレ
ーザー照射を行ない、レーザーアブレーションによるポ
リサルフォンフィルムの切削加工を行った。前記の通
り、マスク１０は、レーザー光透過率が１００％、３０
％、０％に別れているため、この透過率に応じて加工さ
れる。このオリフィスプレート４０の断面図が図１に示
されている。すなわち、透過率１００％の部分は、完全
にポリサルフォンフィルムを貫通する吐出口となり、透
過率３０％の部分はある程度薄く（本実施形態では厚さ
約５０μｍのフィルムを１０〜２０μｍ程度切削して３
０〜４０μｍの厚さに）している。そして透過率０％の
部分は切削されず、相対的な凸部４５となる。
【００３９】一方、レーザー発振器１から照射されたレ
ーザー光２のうちの一部が、ビームスプリッター３に反
射されてパワーディテクター４に入射すると、ビームパ
ワーのデータがパワーディテクター４から情報処理・制
御系７の画像処理系７ａに送出されている。そして画像
処理系７ａによる処理結果が制御系７ｂに送られる。ま
た、観察・測定系９のＣＣＤカメラセンサ９ｃからワー
クＷの位置データが、情報処理・制御系７の制御系７ｂ
にフィードバックされる。
ーザー光２のうちの一部が、ビームスプリッター３に反
射されてパワーディテクター４に入射すると、ビームパ
ワーのデータがパワーディテクター４から情報処理・制
御系７の画像処理系７ａに送出されている。そして画像
処理系７ａによる処理結果が制御系７ｂに送られる。ま
た、観察・測定系９のＣＣＤカメラセンサ９ｃからワー
クＷの位置データが、情報処理・制御系７の制御系７ｂ
にフィードバックされる。
【００４０】制御系７ｂは、供給されたデータ等に基づ
いてワークＷの移動距離を算出し、移動手段７ｃを作動
させて、ワークステーション１１においてワークＷの置
かれたステージ移動を行なわせる。そして、観察・制御
系９により測定された位置データが所定値になると、移
動手段７ｃによる位置調整を終了し、ミラー９ｄを光軸
ａからずらし、レーザー発振器１に対してレーザー光２
の発光を行なわせる信号を所定時間あるいは所定パルス
数だけ供給する。また、パワーディテクター４からのビ
ームパワー情報は、制御系７ｂにフィードバックされ、
ここでインターフェース７ｄを介してレーザー発振器１
に与える出力の大きさの調整を行う。このような制御を
行ないながら、前記の通りレーザーアブレーションによ
るポリサルフォンフィルムの切削加工を行い、吐出口４
１と凸部４５とそれ以外の部分とを形成する。こうして
オリフィスプレート４０の製造が完了する。
いてワークＷの移動距離を算出し、移動手段７ｃを作動
させて、ワークステーション１１においてワークＷの置
かれたステージ移動を行なわせる。そして、観察・制御
系９により測定された位置データが所定値になると、移
動手段７ｃによる位置調整を終了し、ミラー９ｄを光軸
ａからずらし、レーザー発振器１に対してレーザー光２
の発光を行なわせる信号を所定時間あるいは所定パルス
数だけ供給する。また、パワーディテクター４からのビ
ームパワー情報は、制御系７ｂにフィードバックされ、
ここでインターフェース７ｄを介してレーザー発振器１
に与える出力の大きさの調整を行う。このような制御を
行ないながら、前記の通りレーザーアブレーションによ
るポリサルフォンフィルムの切削加工を行い、吐出口４
１と凸部４５とそれ以外の部分とを形成する。こうして
オリフィスプレート４０の製造が完了する。
【００４１】図６は、オリフィスプレートの第２の製造
方法に用いられる製造ラインの一部を模式的に示す図で
ある。この製造ラインでは、押出成形により溶融樹脂を
フィルム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂の表面
に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する
ことで、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形状のパタ
ーンを形成するまでの工程が行われる。
方法に用いられる製造ラインの一部を模式的に示す図で
ある。この製造ラインでは、押出成形により溶融樹脂を
フィルム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂の表面
に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する
ことで、そのフィルム状樹脂の表面に所望の形状のパタ
ーンを形成するまでの工程が行われる。
【００４２】図６に示すように押出成形機３０１のダイ
３０２から溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフ
ィルム状樹脂３０３が形成され、フィルム状樹脂３０３
は冷却ロール３０５とニップロール３０６との間に挟ま
れて、それらのロールによって押圧される。冷却ロール
３０５の表面には、図１〜３に示した吐出口４１および
凸部４５に応じた形状のレリーフ型３０４が取り付けら
れている。このレリーフ型３０４によってフィルム状樹
脂３０３の表面に所望の形状が連続的に形成される。
３０２から溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフ
ィルム状樹脂３０３が形成され、フィルム状樹脂３０３
は冷却ロール３０５とニップロール３０６との間に挟ま
れて、それらのロールによって押圧される。冷却ロール
３０５の表面には、図１〜３に示した吐出口４１および
凸部４５に応じた形状のレリーフ型３０４が取り付けら
れている。このレリーフ型３０４によってフィルム状樹
脂３０３の表面に所望の形状が連続的に形成される。
【００４３】レリーフ型３０４によって表面に所望の形
状が形成されると共に冷却ロール３０５によって冷却さ
れたフィルム状樹脂３０３は、いくつかのロールと、２
つの引き取りロール３０７とを経由した後に巻き取りロ
ール３０８によってロール状に巻き取られる。
状が形成されると共に冷却ロール３０５によって冷却さ
れたフィルム状樹脂３０３は、いくつかのロールと、２
つの引き取りロール３０７とを経由した後に巻き取りロ
ール３０８によってロール状に巻き取られる。
【００４４】このオリフィスプレート製造方法の一例で
は、押出成形機３０１から押出す樹脂材料としてポリサ
ルフォン樹脂（アモコ社製のユーデルＰ３９００）を用
いた。押出成形機３０１から押出す樹脂材料、すなわち
フィルム状樹脂３０３の材料としては、熱可塑性ポリマ
ーを用いることが好ましい。また、具体的には、フィル
ム状樹脂３０３の材料として、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリフェニレンサルファイドまたはポリエーテルエ
ーテルケトンのうちいずれか１つを用いることが好まし
い。
は、押出成形機３０１から押出す樹脂材料としてポリサ
ルフォン樹脂（アモコ社製のユーデルＰ３９００）を用
いた。押出成形機３０１から押出す樹脂材料、すなわち
フィルム状樹脂３０３の材料としては、熱可塑性ポリマ
ーを用いることが好ましい。また、具体的には、フィル
ム状樹脂３０３の材料として、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリフェニレンサルファイドまたはポリエーテルエ
ーテルケトンのうちいずれか１つを用いることが好まし
い。
【００４５】次に、オリフィスプレート４０を作製する
方法について説明する。
方法について説明する。
【００４６】まず、ポリサルフォン樹脂を下記の加工条
件にて、ダイ３０２から厚さ５０μｍとなるように押出
してフィルム状樹脂３０３を形成する。そのフィルム状
樹脂３０３を、表面にレリーフ型３０４が備えられた温
度１５℃の冷却ロール３０５、およびニップロール３０
６により押圧し、フィルム状樹脂３０３を冷却する。 押出し加工条件 ダイ開口： ０．５ｍｍ 押出し機設定温度：後部３１５℃ 中間部３６０℃ ヘ
ッドおよびダイ部３７０℃ 冷却ロール温度：１５℃ 押出し厚み：５０μｍ ニップ圧（エアゲージ圧）：２ｋｇｆ／ｃｍ2 フィルム状樹脂３０３の表面に冷却ロール３０５のレリ
ーフ型３０４が押圧され、このレリーフ型３０４によっ
て、フィルム状樹脂３０３に、図３に示すような吐出口
４１および凸部４５が同時に、フィルム状樹脂３０３の
押出し方向に連続的に複数形成される。
件にて、ダイ３０２から厚さ５０μｍとなるように押出
してフィルム状樹脂３０３を形成する。そのフィルム状
樹脂３０３を、表面にレリーフ型３０４が備えられた温
度１５℃の冷却ロール３０５、およびニップロール３０
６により押圧し、フィルム状樹脂３０３を冷却する。 押出し加工条件 ダイ開口： ０．５ｍｍ 押出し機設定温度：後部３１５℃ 中間部３６０℃ ヘ
ッドおよびダイ部３７０℃ 冷却ロール温度：１５℃ 押出し厚み：５０μｍ ニップ圧（エアゲージ圧）：２ｋｇｆ／ｃｍ2 フィルム状樹脂３０３の表面に冷却ロール３０５のレリ
ーフ型３０４が押圧され、このレリーフ型３０４によっ
て、フィルム状樹脂３０３に、図３に示すような吐出口
４１および凸部４５が同時に、フィルム状樹脂３０３の
押出し方向に連続的に複数形成される。
【００４７】フィルム状樹脂３０３にレリーフ型３０４
によって吐出口４１および凸部４５を形成した後に、フ
ィルム状樹脂３０３の、凸部４５側と反対側の表面（フ
ェイス面）に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィル
ム状樹脂３０３のフェイス面に撥水層を形成する際に
は、まず、そのフェイス面をコロナ処理により親水化し
た後に、塗布装置として康井精機社製のマイクログラビ
アコータを用いて、フィルム状樹脂３０３のフェイス面
に撥水剤を塗布する。ここでは、撥水層の最終の厚さが
０．１μｍとなるように、撥水剤を塗布する工程と、塗
布された撥水剤を８０℃でプリベークする工程とを連続
して行った。このような塗布およびプリベークの工程が
完了してロール状に巻き取られたフィルム状樹脂３０３
を、加熱炉内で１５０℃の温度で５時間加熱することに
より、フィルム状樹脂３０３のフェイス面に撥水層が形
成される。
によって吐出口４１および凸部４５を形成した後に、フ
ィルム状樹脂３０３の、凸部４５側と反対側の表面（フ
ェイス面）に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィル
ム状樹脂３０３のフェイス面に撥水層を形成する際に
は、まず、そのフェイス面をコロナ処理により親水化し
た後に、塗布装置として康井精機社製のマイクログラビ
アコータを用いて、フィルム状樹脂３０３のフェイス面
に撥水剤を塗布する。ここでは、撥水層の最終の厚さが
０．１μｍとなるように、撥水剤を塗布する工程と、塗
布された撥水剤を８０℃でプリベークする工程とを連続
して行った。このような塗布およびプリベークの工程が
完了してロール状に巻き取られたフィルム状樹脂３０３
を、加熱炉内で１５０℃の温度で５時間加熱することに
より、フィルム状樹脂３０３のフェイス面に撥水層が形
成される。
【００４８】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、フィルム状樹脂３０３にレリーフ型３０４を押圧す
る工程と、フィルム状樹脂３０３に撥水層を形成する工
程とを別々に行ったが、それらの２つの工程を１つの工
程で行ってもよい。例えば、フィルム状樹脂３０３にレ
リーフ型３０４を押圧する工程において、フィルム状樹
脂３０３のニップロール３０６側の面に撥水剤を供給し
てその表面に撥水層を形成しながらフィルム状樹脂３０
３の押圧加工を行ってもよい。あるいは、巻き取りロー
ル３０８によってフィルム状樹脂３０３を巻き取る前の
位置に、撥水剤を塗布するためのコーティングロールを
セットし、そのコーティングロールを用いてフィルム状
樹脂３０３に撥水剤を塗布してもよい。
は、フィルム状樹脂３０３にレリーフ型３０４を押圧す
る工程と、フィルム状樹脂３０３に撥水層を形成する工
程とを別々に行ったが、それらの２つの工程を１つの工
程で行ってもよい。例えば、フィルム状樹脂３０３にレ
リーフ型３０４を押圧する工程において、フィルム状樹
脂３０３のニップロール３０６側の面に撥水剤を供給し
てその表面に撥水層を形成しながらフィルム状樹脂３０
３の押圧加工を行ってもよい。あるいは、巻き取りロー
ル３０８によってフィルム状樹脂３０３を巻き取る前の
位置に、撥水剤を塗布するためのコーティングロールを
セットし、そのコーティングロールを用いてフィルム状
樹脂３０３に撥水剤を塗布してもよい。
【００４９】このようにして吐出口４１および凸部４５
が形成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３０３
を、１つの液体吐出ヘッドごとに必要なサイズに切断し
て、図３に示したオリフィスプレート４０が作製され
る。
が形成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３０３
を、１つの液体吐出ヘッドごとに必要なサイズに切断し
て、図３に示したオリフィスプレート４０が作製され
る。
【００５０】次に、オリフィスプレート４０を作製した
後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。
【００５１】前記したいずれかの方法でオリフィスプレ
ート４０を作製する一方、天板４００と基板１００とが
別途形成され、これらが積層状態で接着剤により接着さ
れてヘッド本体２０が構成されている。なお、ヘッド本
体２０の開口開設面（接合面）４４を揃えるために、天
板４００と基板１００とを積層固着した後に、板面に垂
直に切断して、この切断面に流路４０１の連通口を穿設
して開口開設面４４とすることが好ましい。
ート４０を作製する一方、天板４００と基板１００とが
別途形成され、これらが積層状態で接着剤により接着さ
れてヘッド本体２０が構成されている。なお、ヘッド本
体２０の開口開設面（接合面）４４を揃えるために、天
板４００と基板１００とを積層固着した後に、板面に垂
直に切断して、この切断面に流路４０１の連通口を穿設
して開口開設面４４とすることが好ましい。
【００５２】このヘッド本体２０の開口配設面（接合
面）４４に、オリフィスプレート４０がエポキシ接着剤
層４２により接着される。この時、各吐出口４１が各流
路４０１と連通し、凸部４５が各流路４０１の中に進入
するように位置合わせされている。
面）４４に、オリフィスプレート４０がエポキシ接着剤
層４２により接着される。この時、各吐出口４１が各流
路４０１と連通し、凸部４５が各流路４０１の中に進入
するように位置合わせされている。
【００５３】ここで用いる接着剤としては、ＵＶ（紫外
線）を接着剤に照射することによりタック性（粘性）を
保持したままＢステージ（硬化中間状態）化し、その接
着剤を硬化収縮させてから、加熱圧着、または接着剤へ
のさらなるＵＶ照射により部材同士を接着することが可
能なエポキシ系の接着剤を用いる。このような接着剤
は、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能な
ものである。
線）を接着剤に照射することによりタック性（粘性）を
保持したままＢステージ（硬化中間状態）化し、その接
着剤を硬化収縮させてから、加熱圧着、または接着剤へ
のさらなるＵＶ照射により部材同士を接着することが可
能なエポキシ系の接着剤を用いる。このような接着剤
は、Ｂステージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能な
ものである。
【００５４】具体的には、まず上記のようなエポキシ系
の接着剤を転写法によりヘッド本体２０の接合面４４に
転写する。次に、転写された接着剤に１ｍＷ／ｃｍ2の
紫外線を６０秒間照射して接着剤のＢステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。
の接着剤を転写法によりヘッド本体２０の接合面４４に
転写する。次に、転写された接着剤に１ｍＷ／ｃｍ2の
紫外線を６０秒間照射して接着剤のＢステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。
【００５５】次に、オリフィスプレート４０のそれぞれ
の凸部４５を、それぞれに対応する流路４０１内に進入
させて、凸部４５を流路４０１の先端開口部（連通口）
に嵌合させる。凸部４５と流路４０１との嵌合は、すき
まばめとした。こうやって、ヘッド本体２０に対して位
置決めされたオリフィスプレート４０の、凸部４５側と
反対側の面からオリフィスプレート４０に１ｋｇ／ｃｍ
2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本
体２０とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の
温度でヘッド本体２０にオリフィスプレート４０を加熱
圧着し、接着剤の硬化を終了させる。
の凸部４５を、それぞれに対応する流路４０１内に進入
させて、凸部４５を流路４０１の先端開口部（連通口）
に嵌合させる。凸部４５と流路４０１との嵌合は、すき
まばめとした。こうやって、ヘッド本体２０に対して位
置決めされたオリフィスプレート４０の、凸部４５側と
反対側の面からオリフィスプレート４０に１ｋｇ／ｃｍ
2の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘッド本
体２０とを密着させ、その状態を保持したまま６０℃の
温度でヘッド本体２０にオリフィスプレート４０を加熱
圧着し、接着剤の硬化を終了させる。
【００５６】以上説明した工程を経て、図１および図２
に示した液体吐出ヘッドが製造される。
に示した液体吐出ヘッドが製造される。
【００５７】前記した液体吐出ヘッドの製造方法によれ
ば、１つのオリフィスプレート４０は、分割して作製さ
れずに一体のものとして製作されるため、多数の吐出口
４１を有するオリフィスプレート４０を作製する際に
も、オリフィスプレート４０のつなぎ目もなく、吐出口
４１や凸部４５などの寸法精度が良好になる。これによ
り、オリフィスプレート４０の凸部４５をヘッド本体２
０の流路４０１に嵌合することができないという不良が
なくなる。また、作製された液体吐出ヘッドを用いて記
録を行った際の評価においては、オリフィスプレート４
０を分割して作製した場合におけるオリフィスプレート
４０のつなぎ目部分の不良によって生じる飛翔液滴のよ
れや、記録画像のむらなどの不良もなく、良好な記録品
位が得られた。
ば、１つのオリフィスプレート４０は、分割して作製さ
れずに一体のものとして製作されるため、多数の吐出口
４１を有するオリフィスプレート４０を作製する際に
も、オリフィスプレート４０のつなぎ目もなく、吐出口
４１や凸部４５などの寸法精度が良好になる。これによ
り、オリフィスプレート４０の凸部４５をヘッド本体２
０の流路４０１に嵌合することができないという不良が
なくなる。また、作製された液体吐出ヘッドを用いて記
録を行った際の評価においては、オリフィスプレート４
０を分割して作製した場合におけるオリフィスプレート
４０のつなぎ目部分の不良によって生じる飛翔液滴のよ
れや、記録画像のむらなどの不良もなく、良好な記録品
位が得られた。
【００５８】また、液体吐出効率のよい液体吐出ヘッド
を製造するための加工時間が短縮でき生産性の向上が図
れる。加工時に非常に高精度の位置合わせが不要となる
ため、製造が容易になる上に、製造装置の簡略化が可能
となる。
を製造するための加工時間が短縮でき生産性の向上が図
れる。加工時に非常に高精度の位置合わせが不要となる
ため、製造が容易になる上に、製造装置の簡略化が可能
となる。
【００５９】さらに、前記した第２のオリフィスプレー
ト製造方法では、吐出口４１や凸部４５を形成するため
にレーザを用いないので、カーボンなどの副生成物の発
生がないために後処理の手間もかからず、大規模なレー
ザ加工機も必要なく、液体吐出ヘッドを製造する装置の
コストを低く抑えることができる。
ト製造方法では、吐出口４１や凸部４５を形成するため
にレーザを用いないので、カーボンなどの副生成物の発
生がないために後処理の手間もかからず、大規模なレー
ザ加工機も必要なく、液体吐出ヘッドを製造する装置の
コストを低く抑えることができる。
【００６０】次に、図７を参照して本発明の第２の実施
形態について説明する。本実施形態は、オリフィスプレ
ートの壁状の凸部の高さを変えた構成であり、それ以外
の構成は第１の実施形態と実質的に同じである。第１の
実施形態と同様の構成については、同一の符号を付与し
説明を省略する。
形態について説明する。本実施形態は、オリフィスプレ
ートの壁状の凸部の高さを変えた構成であり、それ以外
の構成は第１の実施形態と実質的に同じである。第１の
実施形態と同様の構成については、同一の符号を付与し
説明を省略する。
【００６１】図７に本実施形態の凸部１４５をオリフィ
スプレート１４０内面（裏面）側から見た拡大図を示し
ている。本実施形態では、吐出口１４１の内周部全周に
沿って、壁状の凸部１４５が形成されている。この凸部
１４５は、吐出口１４１の並んでいる列方向に対し平行
な部分１４５ａよりも、列方向に対し直交する部分１４
５ｂの高さが低くなっているため、壁の厚さが薄く高密
度配列に対応できる。吐出口１４１間の狭い部分に塗布
される接着剤は少量であるため、比較的低い壁状の凸部
１４５ｂでもはみ出した接着剤を遮断することができ
る。これに対し、複数の吐出口１４１のなす列の外側の
広い面積の部分には多量の接着剤が塗布されるので、は
み出す接着剤も多量となる可能性がある。本実施例は、
それを遮断するために、比較的高い壁状の凸部１４５ａ
を形成しているため、はみ出す接着剤量に対し、すぐれ
た製造安定性信頼性が得られる。本実施形態では、壁状
の凸部１４５の、吐出口１４１間の狭い部分からはみ出
す接着剤を遮断するための、列方向に対し直交する部分
１４５ｂの高さは低く、吐出口１４１のなす列の外側の
広い面積の部分からはみ出す接着剤を遮断するための、
列方向に対し平行な部分１４５ａの高さは高く形成され
ている。塗布される接着剤の量や種類（特性）に応じ
て、このように、壁状の凸部１４５の列方向に直交する
部分１４５ｂと平行な部分１４５ａの高さを適宜に設定
することにより、必要最小限の高さの凸部１４５を形成
することができ効率がよい。
スプレート１４０内面（裏面）側から見た拡大図を示し
ている。本実施形態では、吐出口１４１の内周部全周に
沿って、壁状の凸部１４５が形成されている。この凸部
１４５は、吐出口１４１の並んでいる列方向に対し平行
な部分１４５ａよりも、列方向に対し直交する部分１４
５ｂの高さが低くなっているため、壁の厚さが薄く高密
度配列に対応できる。吐出口１４１間の狭い部分に塗布
される接着剤は少量であるため、比較的低い壁状の凸部
１４５ｂでもはみ出した接着剤を遮断することができ
る。これに対し、複数の吐出口１４１のなす列の外側の
広い面積の部分には多量の接着剤が塗布されるので、は
み出す接着剤も多量となる可能性がある。本実施例は、
それを遮断するために、比較的高い壁状の凸部１４５ａ
を形成しているため、はみ出す接着剤量に対し、すぐれ
た製造安定性信頼性が得られる。本実施形態では、壁状
の凸部１４５の、吐出口１４１間の狭い部分からはみ出
す接着剤を遮断するための、列方向に対し直交する部分
１４５ｂの高さは低く、吐出口１４１のなす列の外側の
広い面積の部分からはみ出す接着剤を遮断するための、
列方向に対し平行な部分１４５ａの高さは高く形成され
ている。塗布される接着剤の量や種類（特性）に応じ
て、このように、壁状の凸部１４５の列方向に直交する
部分１４５ｂと平行な部分１４５ａの高さを適宜に設定
することにより、必要最小限の高さの凸部１４５を形成
することができ効率がよい。
【００６２】次に、図８を参照して本発明の第３の実施
形態について説明する。第１，２の実施形態と同様の構
成については、同一の符号を付与し説明を省略する。
形態について説明する。第１，２の実施形態と同様の構
成については、同一の符号を付与し説明を省略する。
【００６３】図８に本実施形態の凸部２４５をオリフィ
スプレート２４０内面（裏面）側から見た拡大図を示し
ている。本実施形態では、壁状の凸部２４５が、吐出口
２４１の内周部全周に沿ってではなく、吐出口２４１の
並んでいる列方向に対し平行な部分にのみ設けられ、列
方向に対し直交する部分には設けられていない構成であ
る。これは、吐出口２４１間の狭い部分に塗布される接
着剤が流路に入り込むおそれはほとんどないとみなし、
吐出口２４１のなす列の外側の広い面積の部分からはみ
出してくる接着剤のみを遮断するようにした構成であ
る。これによると、吐出口２４１をより高密度化するこ
とができる。例えば、２１．２５μｍのピッチで１２０
０ｄｐｉ程度の密度とすることができる。
スプレート２４０内面（裏面）側から見た拡大図を示し
ている。本実施形態では、壁状の凸部２４５が、吐出口
２４１の内周部全周に沿ってではなく、吐出口２４１の
並んでいる列方向に対し平行な部分にのみ設けられ、列
方向に対し直交する部分には設けられていない構成であ
る。これは、吐出口２４１間の狭い部分に塗布される接
着剤が流路に入り込むおそれはほとんどないとみなし、
吐出口２４１のなす列の外側の広い面積の部分からはみ
出してくる接着剤のみを遮断するようにした構成であ
る。これによると、吐出口２４１をより高密度化するこ
とができる。例えば、２１．２５μｍのピッチで１２０
０ｄｐｉ程度の密度とすることができる。
【００６４】図９に示す第４の実施形態では、第３の実
施形態の構成に加えて、壁状の凸部３４５の、吐出口３
４１の並んでいる列方向に対し平行な部分の外側に、や
はり列方向と平行な遮断壁部３４６が形成されている。
遮断壁部３４６は、壁状の凸部３４５と異なり、流路４
０１の連通口内に入り込む位置にではなく、接合時にヘ
ッド本体２０の開口開設面（接合面）４４と当接する位
置に設けられている。そして、この遮断壁部３４６のさ
らに外側に、やはり列方向と平行な溝部３４７が設けら
れている。
施形態の構成に加えて、壁状の凸部３４５の、吐出口３
４１の並んでいる列方向に対し平行な部分の外側に、や
はり列方向と平行な遮断壁部３４６が形成されている。
遮断壁部３４６は、壁状の凸部３４５と異なり、流路４
０１の連通口内に入り込む位置にではなく、接合時にヘ
ッド本体２０の開口開設面（接合面）４４と当接する位
置に設けられている。そして、この遮断壁部３４６のさ
らに外側に、やはり列方向と平行な溝部３４７が設けら
れている。
【００６５】本実施形態によると、流路から離れた位置
で遮断壁部３４６により接着剤３４８の流入を遮断し、
さらにはみ出した接着剤３４８が溝部３４７内に収容さ
れる構成になっているので、流路４０１内への接着剤３
４８が入り込むことをより確実に防止できる。また、溝
部３４７や遮断壁部３４６の凹凸によりオリフィスプレ
ート３４０における接着剤の塗布面積が大きくなってい
るため、オリフィスプレート３４０とヘッド本体２０と
の接着剤による接合強度が向上している。
で遮断壁部３４６により接着剤３４８の流入を遮断し、
さらにはみ出した接着剤３４８が溝部３４７内に収容さ
れる構成になっているので、流路４０１内への接着剤３
４８が入り込むことをより確実に防止できる。また、溝
部３４７や遮断壁部３４６の凹凸によりオリフィスプレ
ート３４０における接着剤の塗布面積が大きくなってい
るため、オリフィスプレート３４０とヘッド本体２０と
の接着剤による接合強度が向上している。
【００６６】図１０に示す本発明の第５の実施形態で
は、第４の実施形態と比較して壁状の凸部４４５の形状
が異なっている。すなわち、壁状の凸部４４５が、吐出
口４４１の並んでいる列方向に対し平行な部分にのみ設
けられており、この凸部４４５の内側面（吐出口４４１
側に向いた面）が、吐出口４４１に相似した曲面４４５
ａになっている。これにより、インク吐出の方向安定性
が高まる。さらに、本実施形態では、壁状の凸部４４５
が長手方向に先細となるように両端部４４５ｂがテーパ
状に形成されている。これにより、流路４０１の連通口
に凸部４４５を進入させる際に作業が容易にできる。
は、第４の実施形態と比較して壁状の凸部４４５の形状
が異なっている。すなわち、壁状の凸部４４５が、吐出
口４４１の並んでいる列方向に対し平行な部分にのみ設
けられており、この凸部４４５の内側面（吐出口４４１
側に向いた面）が、吐出口４４１に相似した曲面４４５
ａになっている。これにより、インク吐出の方向安定性
が高まる。さらに、本実施形態では、壁状の凸部４４５
が長手方向に先細となるように両端部４４５ｂがテーパ
状に形成されている。これにより、流路４０１の連通口
に凸部４４５を進入させる際に作業が容易にできる。
【００６７】そして、第４の実施形態と同様に、吐出口
４４１の並んでいる列方向に対し平行な遮断壁部３４６
および溝部３４７が設けられている。これにより、流路
４０１内への接着剤が入り込むことを防止できるととも
に、オリフィスプレート４４０とヘッド本体２０との接
合強度が向上できる。ただし、この遮断壁部３４６と溝
部３４７のいずれか一方、または両方を省略した構成と
することもできる。
４４１の並んでいる列方向に対し平行な遮断壁部３４６
および溝部３４７が設けられている。これにより、流路
４０１内への接着剤が入り込むことを防止できるととも
に、オリフィスプレート４４０とヘッド本体２０との接
合強度が向上できる。ただし、この遮断壁部３４６と溝
部３４７のいずれか一方、または両方を省略した構成と
することもできる。
【００６８】次に、図１１に示す第６の実施形態につい
て説明する。本実施形態では、第５の実施形態と同様な
壁状の凸部４４５が設けられており、さらに、隣り合う
吐出口４４１の間には、壁状の凸部の代わりに遮断壁部
５４６が設けられている。遮断壁部５４６は、壁状の凸
部と異なって、流路４０１の連通口内に入り込む位置に
ではなく、接合時にヘッド本体２０の接合面４４と当接
する位置に設けられており、オリフィスプレート４４０
とヘッド本体２０との接合によりこの遮断壁部５４６は
つぶれている。この構成により、ノズル間の流路分離性
が高まり、ノズル間の流体的干渉が少なくなり、吐出安
定性が高い。本実施形態によると、流路４０１から離れ
た位置で遮断壁部５４６により接着剤の流入を遮断する
ので、流路４０１内に進入する壁状の凸部が設けられた
構成よりも、流路４０１内へ接着剤が入り込むことをよ
り確実に防止できる。
て説明する。本実施形態では、第５の実施形態と同様な
壁状の凸部４４５が設けられており、さらに、隣り合う
吐出口４４１の間には、壁状の凸部の代わりに遮断壁部
５４６が設けられている。遮断壁部５４６は、壁状の凸
部と異なって、流路４０１の連通口内に入り込む位置に
ではなく、接合時にヘッド本体２０の接合面４４と当接
する位置に設けられており、オリフィスプレート４４０
とヘッド本体２０との接合によりこの遮断壁部５４６は
つぶれている。この構成により、ノズル間の流路分離性
が高まり、ノズル間の流体的干渉が少なくなり、吐出安
定性が高い。本実施形態によると、流路４０１から離れ
た位置で遮断壁部５４６により接着剤の流入を遮断する
ので、流路４０１内に進入する壁状の凸部が設けられた
構成よりも、流路４０１内へ接着剤が入り込むことをよ
り確実に防止できる。
【００６９】図１２に示す第７の実施形態では、第６の
実施形態の遮断壁部に代えて、隣り合う吐出口４４１の
間に、吐出口４４１の列方向に直交する溝部５４７が形
成されている。本実施形態では、はみ出した接着剤を溝
部５４７内に収容することにより、流路４０１内への接
着剤の流入を防いでいる。
実施形態の遮断壁部に代えて、隣り合う吐出口４４１の
間に、吐出口４４１の列方向に直交する溝部５４７が形
成されている。本実施形態では、はみ出した接着剤を溝
部５４７内に収容することにより、流路４０１内への接
着剤の流入を防いでいる。
【００７０】第５の実施形態では壁状の凸部が長手方向
に先細となるように両端部がテーパ状に形成されている
が、図１３に示す第８の実施形態では、壁状の凸部６４
５が幅方向に先細となるように外側面６４５ａがテーパ
状に形成されている。この場合も、流路４０１の連通口
に凸部６４５を進入させる作業が容易にできる。もちろ
ん、壁状の凸部６４５を、長手方向にも幅方向にも先細
となるようにテーパ状に形成すると、より効果的であ
る。
に先細となるように両端部がテーパ状に形成されている
が、図１３に示す第８の実施形態では、壁状の凸部６４
５が幅方向に先細となるように外側面６４５ａがテーパ
状に形成されている。この場合も、流路４０１の連通口
に凸部６４５を進入させる作業が容易にできる。もちろ
ん、壁状の凸部６４５を、長手方向にも幅方向にも先細
となるようにテーパ状に形成すると、より効果的であ
る。
【００７１】なお、以上説明した第１〜８の実施形態の
各構成を様々に組み合わせた構成とすることも可能であ
る。
各構成を様々に組み合わせた構成とすることも可能であ
る。
【００７２】
【発明の効果】本発明によると、オリフィスプレートの
吐出口とヘッド本体の流路との間が隙間なく接続でき、
液体の流れがスムースになる。また、オリフィスプレー
トの吐出口とヘッド本体の流路とを容易に精度よく接続
でき、しかもオリフィスプレートとヘッド本体との接合
強度が高まる。そして、このような液体吐出ヘッドを製
造するための加工時間が短縮でき生産性の向上が図れ
る。加工時に非常に高精度の位置合わせが不要となるた
め、製造が容易になる上に、製造装置の簡略化が可能と
なる。
吐出口とヘッド本体の流路との間が隙間なく接続でき、
液体の流れがスムースになる。また、オリフィスプレー
トの吐出口とヘッド本体の流路とを容易に精度よく接続
でき、しかもオリフィスプレートとヘッド本体との接合
強度が高まる。そして、このような液体吐出ヘッドを製
造するための加工時間が短縮でき生産性の向上が図れ
る。加工時に非常に高精度の位置合わせが不要となるた
め、製造が容易になる上に、製造装置の簡略化が可能と
なる。
【００７３】また、オリフィスプレートの凸部の周囲に
溝を設ける構成とすると、流路および吐出口内への接着
剤の侵入を防ぐことができる。
溝を設ける構成とすると、流路および吐出口内への接着
剤の侵入を防ぐことができる。
【００７４】また、凸部の、吐出口の並んでいる列方向
に対し直交する部分が薄肉になっているので、隣り合う
吐出口に対応する凸部間の間隔が確保でき、吐出口の高
密度配列が可能になる。
に対し直交する部分が薄肉になっているので、隣り合う
吐出口に対応する凸部間の間隔が確保でき、吐出口の高
密度配列が可能になる。
【００７５】また、オリフィスプレートのヘッド本体へ
の接合面側にて、複数の吐出口の並ぶ列方向に対して直
交する位置の吐出口の内端部と比べて、列方向に対して
平行に位置する壁状の凸部が、オリフィスプレートの板
厚方向に高く形成されているとと、オリフィスプレート
とヘッド本体とが接着剤層により接着される際に接着剤
が流路に流入することを防ぐ構成が、効率よく形成でき
る。
の接合面側にて、複数の吐出口の並ぶ列方向に対して直
交する位置の吐出口の内端部と比べて、列方向に対して
平行に位置する壁状の凸部が、オリフィスプレートの板
厚方向に高く形成されているとと、オリフィスプレート
とヘッド本体とが接着剤層により接着される際に接着剤
が流路に流入することを防ぐ構成が、効率よく形成でき
る。
【００７６】壁状の凸部の内側面が、吐出口の形状に実
質的に相似した形状であると、液体吐出の方向安定性が
高まる。
質的に相似した形状であると、液体吐出の方向安定性が
高まる。
【００７７】壁状の凸部の列方向に対して平行な部分の
外側に、列方向に実質的に平行な遮断壁部および溝部の
いずれか一方、または両方が設けられているとと、オリ
フィスプレートとヘッド本体とが接着剤層により接着さ
れる際に接着剤が流路に流入することを、より効果的に
防止できる。
外側に、列方向に実質的に平行な遮断壁部および溝部の
いずれか一方、または両方が設けられているとと、オリ
フィスプレートとヘッド本体とが接着剤層により接着さ
れる際に接着剤が流路に流入することを、より効果的に
防止できる。
【００７８】壁状の凸部が先細となるテーパ状に形成さ
れていると、凸部の連通口への進入がスムースになる。
れていると、凸部の連通口への進入がスムースになる。
【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの要
部を示す模式的断面図である。
部を示す模式的断面図である。
【図２】図１に示す液体吐出ヘッドの一部断面斜視図で
ある。
ある。
【図３】図１に示すオリフィスプレートの裏面の拡大斜
視図である。
視図である。
【図４】図１に示すオリフィスプレートの第１の製造方
法に用いられるレーザー加工装置の概略構成図である。
法に用いられるレーザー加工装置の概略構成図である。
【図５】図４に示すレーザー加工装置によるオリフィス
プレートの製造に用いられるマスクの部分拡大図であ
る。
プレートの製造に用いられるマスクの部分拡大図であ
る。
【図６】図１に示すオリフィスプレートの第２の製造方
法に用いられる製造ラインの概略構成図である。
法に用いられる製造ラインの概略構成図である。
【図７】本発明の第２の実施形態のオリフィスプレート
の裏面の拡大斜視図である。
の裏面の拡大斜視図である。
【図８】本発明の第３の実施形態のオリフィスプレート
の裏面の拡大斜視図である。
の裏面の拡大斜視図である。
【図９】（ａ）は本発明の第４の実施形態のオリフィス
プレートの拡大背面図、（ｂ）はその液体吐出ヘッドの
要部断面図である。
プレートの拡大背面図、（ｂ）はその液体吐出ヘッドの
要部断面図である。
【図１０】本発明の第５の実施形態のオリフィスプレー
トの裏面の拡大斜視図である。
トの裏面の拡大斜視図である。
【図１１】（ａ）は本発明の第６の実施形態のオリフィ
スプレートの拡大背面図、（ｂ）はその断面図である。
スプレートの拡大背面図、（ｂ）はその断面図である。
【図１２】本発明の第７の実施形態のオリフィスプレー
トの要部断面図である。
トの要部断面図である。
【図１３】本発明の第８の実施形態の液体吐出ヘッドの
要部断面図である。
要部断面図である。
【図１４】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的断
面図である。
面図である。
【図１５】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す分解斜視
図である。
図である。
１ レーザー発振器 ２ レーザー光 ３ ビームスプリッター ４ パワーディテクター ５ ４５°全反射ミラー ６ 装置フレーム ７ 情報処理・制御系 ７ａ 画像処理系 ７ｂ 制御系 ７ｃ 移動手段 ８ 光学系 ８ａ ビーム成形光学系およびケラー照明光学系 ８ｂ 投影光学系 ９ 観察・測定系 ９ａ 鏡筒 ９ｂ 落照射明光源 ９ｃ ＣＣＤカメラセンサ ９ｄ ミラー １０ マスク １１ ワークステーション １１ａ 治具 ２０ ヘッド本体 ４０ オリフィスプレート ４１ 吐出口 ４２ 接着剤層 ４４ 開口配設面（接合面） ４５ 凸部 ４５ａ 列方向に平行な部分 ４５ｂ 列方向に直交する部分 ４８ テーパ角 ４９ テーパ角 ５０ 吐出口形成部分 ５１ 凸部形成部分 ５３ その他の部分 １００ 基板（ヒータボード） １０１ エネルギー発生素子（ヒータ） １４０ オリフィスプレート １４１ 吐出口 １４５ 凸部 １４５ａ 列方向に平行な部分 １４５ｂ 列方向に直交する部分 ２４０ オリフィスプレート ２４１ 吐出口 ２４５ 凸部 ３０１ 押出成形機 ３０２ ダイ ３０３ フィルム状樹脂 ３０４ レリーフ型 ３０５ 冷却ロール ３０６ ニップロール ３０７ 引き取りロール ３０８ 巻き取りロール ３４０ オリフィスプレート ３４１ 吐出口 ３４５ 凸部 ３４６ 遮断壁部 ３４７ 溝部 ３４８ 接着剤 ４００ 天板 ４０１ 流路 ４０２ 液室 ４０４ 供給口 ４４０ オリフィスプレート ４４１ 吐出口 ４４５ 凸部 ４４５ａ 曲面 ４４５ｂ 両端部 ４４６ 遮断壁部 ４４７ 溝部 ５４６ 遮断壁部 ５４７ 溝部 ６４０ オリフィスプレート ６４１ 吐出口 ６４５ 凸部 ６４５ａ 外側面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 笠本 雅己 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 長田 虎近 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 杉山 裕之 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 巽 純二 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 池亀 健 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 稲田 源次 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小山 修司 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C057 AF24 AF43 AF93 AG01 AG12 AP02 AP13 AP23 AP25 AP72 AQ03 BA03 BA13
Claims (20)
- 【請求項１】 液滴を吐出するための複数の吐出口が列
状に並べて設けられているオリフィスプレートと、 前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路と、該
複数の流路に液体を供給するための液室と、前記複数の
流路に対応して配設され液滴を吐出するためのエネルギ
ーを発生する複数のエネルギー発生素子とを備えたヘッ
ド本体とを有し、 前記オリフィスプレートが、前記吐出口に連通する前記
流路の連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接
合されている液体吐出ヘッドにおいて、 前記オリフィスプレートには、前記吐出口の内周部から
突出し少なくとも一部が前記連通口から前記流路内に進
入する壁状の凸部が形成されており、 前記壁状の凸部の幅が、複数の前記吐出口の並ぶ列方向
に対して直交する部分よりも、前記列方向に対して平行
な部分の方が厚く形成されていることを特徴とする液体
吐出ヘッド。 - 【請求項２】 前記壁状の凸部が、前記吐出口の内周部
全周に沿って設けられている請求項１に記載の液体吐出
ヘッド。 - 【請求項３】 液滴を吐出するための複数の吐出口が列
状に並べて設けられているオリフィスプレートと、 前記複数の吐出口にそれぞれ連通する複数の流路と、該
複数の流路に液体を供給するための液室と、前記複数の
流路に対応して配設され液滴を吐出するためのエネルギ
ーを発生する複数のエネルギー発生素子とを備えたヘッ
ド本体とを有し、 前記オリフィスプレートが、前記吐出口に連通する前記
流路の連通口が配設された前記ヘッド本体の接合面に接
合されている液体吐出ヘッドにおいて、 前記オリフィスプレートには、前記吐出口の内周部から
突出し少なくとも一部が前記連通口から前記流路内に進
入する壁状の凸部が形成されており、 前記オリフィスプレートの前記ヘッド本体への接合面側
にて、複数の前記吐出口の並ぶ列方向に対して直交する
位置の前記吐出口の内端部と比べて、前記列方向に対し
て平行に位置する前記壁状の凸部が、前記オリフィスプ
レートの板厚方向に高く形成されていることを特徴とす
る液体吐出ヘッド。 - 【請求項４】 前記壁状の凸部が、前記列方向に対して
平行な部分と前記列方向に直交する部分とを含み、前記
列方向に直交する位置の前記吐出口の内端部が、前記壁
状の凸部の、前記列方向に対して直交する部分の先端部
である請求項３に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項５】 前記壁状の凸部が、前記列方向に対して
平行な部分のみ設けられている請求項３に記載の液体吐
出ヘッド。 - 【請求項６】 前記壁状の凸部の内側面の少なくとも一
部が曲面である請求項１〜５のいずれか１項に記載の液
体吐出ヘッド。 - 【請求項７】 前記曲面が、前記吐出口の形状に実質的
に相似した形状である請求項６に記載の液体吐出ヘッ
ド。 - 【請求項８】 前記壁状の凸部の前記列方向に対して平
行な部分の外側に、前記列方向に実質的に平行な遮断壁
部が設けられている請求項１〜７のいずれか１項に記載
の液体吐出ヘッド。 - 【請求項９】 前記壁状の凸部の前記列方向に対して平
行な部分の外側に、前記列方向に実質的に平行な溝部が
設けられている請求項１〜７のいずれか１項に記載の液
体吐出ヘッド。 - 【請求項１０】 前記壁状の凸部の前記列方向に対して
平行な部分の外側に、前記列方向に実質的に平行な遮断
壁部と、前記列方向に実質的に平行な溝部とが設けられ
ている請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘ
ッド。 - 【請求項１１】 隣り合う前記吐出口の間に、前記オリ
フィスプレートと前記ヘッド本体との接合時につぶれ変
形している、前記列方向に実質的に直交する遮断壁部が
設けられている請求項１〜１０のいずれか１項に記載の
液体吐出ヘッド。 - 【請求項１２】 隣り合う前記吐出口の間に、前記列方
向に実質的に直交する溝部が設けられている請求項１〜
１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１３】 前記壁状の凸部が、長手方向に先細と
なるテーパ状に形成されている請求項１〜１２のいずれ
か１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１４】 前記壁状の凸部が、幅方向に先細とな
るテーパ状に形成されている請求項１〜１３のいずれか
１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１５】 前記ヘッド本体の切断面が、該ヘッド
本体が板面に垂直に切断されて、この切断面に前記連通
口が穿設されたものである請求項１〜１４に記載の液体
吐出ヘッド。 - 【請求項１６】 前記吐出口が複数個設けられ、前記エ
ネルギー発生素子が該複数の吐出口のそれぞれに対応し
て複数個設けられている請求項１〜１５に記載の液体吐
出ヘッド。 - 【請求項１７】 前記オリフィスプレートが、樹脂、シ
リコン、セラミックス、もしくは金属材料からなる請求
項１〜１６に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１８】 前記吐出口が、テーパ形状である請求
項１〜１７に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項１９】 前記オリフィスプレートが接着剤層に
より前記ヘッド本体に接合されており、前記接着剤層
が、紫外線照射、赤外線照射あるいは加熱などの処理を
行うことによりＢステージ化する接着剤からなる請求項
１〜１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。 - 【請求項２０】 前記接着剤層が、熱硬化性または／お
よび光エネルギー硬化性のエポキシ系接着剤からなる請
求項１〜１９に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148540A JP2000334952A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド |
| US09/576,612 US6422686B1 (en) | 1999-05-27 | 2000-05-24 | Liquid discharge head and method of manufacturing the same |
| DE60026899T DE60026899T2 (de) | 1999-05-27 | 2000-05-25 | Flüssigkeitsausstosskopf und Verfahren zu seiner Herstellung |
| EP00111304A EP1055518B1 (en) | 1999-05-27 | 2000-05-25 | Liquid discharge head and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11148540A JP2000334952A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000334952A true JP2000334952A (ja) | 2000-12-05 |
Family
ID=15455068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11148540A Pending JP2000334952A (ja) | 1999-05-27 | 1999-05-27 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6422686B1 (ja) |
| EP (1) | EP1055518B1 (ja) |
| JP (1) | JP2000334952A (ja) |
| DE (1) | DE60026899T2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7703880B2 (en) * | 2004-05-18 | 2010-04-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Inkjet recording apparatus |
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| JP4742683B2 (ja) * | 2005-06-02 | 2011-08-10 | ソニー株式会社 | 液体検知装置及び液体吐出装置 |
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| EP3424720B1 (en) | 2016-03-03 | 2020-09-23 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid-discharging head, liquid-discharging unit, and device for discharging liquid |
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| JPH02204048A (ja) | 1989-02-03 | 1990-08-14 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
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1999
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- 2000-05-24 US US09/576,612 patent/US6422686B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-25 DE DE60026899T patent/DE60026899T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2000-05-25 EP EP00111304A patent/EP1055518B1/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE60026899D1 (de) | 2006-05-18 |
| US6422686B1 (en) | 2002-07-23 |
| EP1055518A2 (en) | 2000-11-29 |
| EP1055518B1 (en) | 2006-03-29 |
| EP1055518A3 (en) | 2002-10-16 |
| DE60026899T2 (de) | 2006-10-26 |
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