JP2000229408A

JP2000229408A - 液体吐出ヘッドの製造方法、液体吐出ヘッド、ヘッドカートリッジおよび液体吐出記録装置

Info

Publication number: JP2000229408A
Application number: JP3326999A
Authority: JP
Inventors: Haruhiko Terai; 晴彦寺井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-02-10
Filing date: 1999-02-10
Publication date: 2000-08-22

Abstract

(57)【要約】【課題】オリフィスプレートに多数の吐出口、および
流路内にそれぞれ進入させる多数の凸部を形成するため
にオリフィスプレートを分割せずにオリフィスプレート
を作製することが可能となる液体吐出ヘッドの製造方法
を実現する。【解決手段】押出成形機のダイから溶融樹脂をフィル
ム状に押出し、押出されたフィルム状樹脂に、所定の形
状のレリーフ型を備えたロールを押圧することで、その
レリーフ型によってフィルム状樹脂３に複数の吐出口４
１および複数の凸部４５を形成する。それぞれの凸部４
５は吐出口４１ごとに独立してそれぞれの吐出口４１の
周囲に形成される。フィルム状樹脂３に吐出口４１およ
び凸部４５を形成してなるオリフィスプレートが、ヘッ
ド本体に備えられた流路内に凸部４５が進入して嵌合す
るように接着剤によりヘッド本体に接合されることで、
液体吐出ヘッドが製造される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を飛翔液滴と
して噴射して液滴を被記録媒体に付着させることにより
記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法や、その製造方法
により製造された液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッド
を有するヘッドカートリッジおよび液体吐出記録装置に
関する。

【０００２】また本発明は、紙、糸、繊維、布帛、皮
革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス
等の被記録媒体に対して記録を行う、プリンタ、複写
機、通信システムを有するファクシミリ、プリンタ部を
有するワードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装
置と複合的に組み合わせた産業記録装置に適用できる液
体吐出ヘッドの製造方法や、その製造方法により製造さ
れた液体吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッ
ドカートリッジおよび液体吐出記録装置に関する。な
お、本発明における『記録』とは、文字や図形など意味
を持つ画像を被記録媒体に形成することだけでなく、パ
ターン等の意味を持たない画像を被記録材に形成するこ
とも意味する。

【０００３】

【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドに形成された
オリフィスから記録液としてのインクを吐出することに
より記録を行うインクジェット記録装置が、低騒音、高
速記録などの点で優れた記録装置として知られている。

【０００４】このインクジェット記録装置については、
これまでにもさまざまなものが提案され、改良が加えら
れて商品化されたものもあれば現在、実用化への努力が
続けられているものもある。

【０００５】図２４は、従来のインクジェット記録装置
に備えられる液体吐出ヘッドについて説明するための斜
視図である。

【０００６】図２４に示すように、従来のインクジェッ
ト記録装置に備えられる液体吐出ヘッドでは、インクを
吐出するための吐出口（オリフィス）２４１が形成され
たオリフィスプレート２４０と、吐出口２４１にそれぞ
れ連通した流路２６１を構成するための溝が形成された
天板２６０と、流路２６１の壁面の一部を構成し、か
つ、吐出のためのエネルギーを発生するエネルギー発生
素子２５１を有する基板２５０とによって構成されてい
る。流路２６１を形成するように基板２５０のエネルギ
ー発生素子２５１側の面に天板２６０を接合してヘッド
本体２４６が構成されており、それぞれの吐出口２４１
が、それぞれの吐出口２４１に対応する流路２６１と連
通するように、ヘッド本体２４６の、接合面２４４ａを
含む前端面に接着樹脂によりオリフィスプレート２４０
が接合されている。

【０００７】オリフィスプレート２４０に形成された吐
出口２４１は微細なものであり、この吐出口２４１が液
体吐出ヘッドの吐出性能を左右する重要な要素となって
いる。従って、液体吐出ヘッドのオリフィスプレート２
４０の性能としては、微細な吐出口２４１が設けられる
ため、加工性がよいことや、また、インクに直接接触す
るため、耐インク性がよいことなどが必要とされる。

【０００８】近年の記録技術の進歩に伴って、高速、高
精細な記録が要求されるようになりつつあり、このた
め、吐出口２４１の大きさ（オリフィス径）が微小にな
り、かつ吐出口２４１が高密度に形成されるようになっ
てきた。その結果、オリフィスプレート２４０の材料と
して、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリ
フェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン
などの樹脂フィルムを用い、その樹脂フィルムにエキシ
マレーザのアブレーションによる微細加工でオリフィス
を形成する方法が最も一般的に用いられている。

【０００９】しかしながら、オリフィスプレート２４０
をヘッド本体２４６に接合する際に、微細な吐出口２４
１を、吐出口２４１と連通させる流路２６１と隙間なく
接続することは極めて難しい。

【００１０】上記の対策としては、図２４に示されるよ
うに、オリフィスプレート２４０のヘッド本体２４６側
の面における吐出口２４１の周辺に凸部２４５を形成
し、その凸部２４５全体、または凸部２４５の一部を流
路２６１内に進入させて嵌合する方法が用いられてい
た。この方法により、オリフィスプレート２４０を接着
する際に用いられる接着樹脂の、吐出口２４１または流
路２６１への流れ込みが防止される。オリフィスプレー
ト２４０に凸部２４５を形成する際には、吐出口２４１
の形成と同様に、エキシマレーザによる加工が行われて
いた。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、近年
の記録技術の進歩に伴って、高速、高精細な記録が要求
されるようになりつつあり、記録速度の向上、および解
像度を高くするためにノズルの数はしだいに増加する方
向にある。

【００１２】一方で、工業用に、現在最も一般的に用い
られているエキシマレーザはＫｒＦレーザであり、Ｋｒ
Ｆレーザの実用上の出力は５００ｍＪから７００ｍＪが
最大となっている。このクラスの出力のレーザを用いた
場合に、微細加工時の精度の確保に適した縮小光学系の
マスクを用いると、レーザ加工の有効エリアは１／２ｉ
ｎｃｈ程度以下になる。ここで、ノズル数の多い液体吐
出ヘッドを作製する際に必要なレーザ加工のエリアが、
レーザの有効加工エリアよりも大きい場合では、一つの
ヘッドを一括で加工できないため、液体吐出ヘッドの構
成部品をレーザの有効加工エリア内の大きさに分割し、
分割された構成部品をそれぞれ別々に加工することにな
る。

【００１３】図２４に示した液体吐出ヘッドを製造する
ためにオリフィス２４１を形成する際の穴加工でオリフ
ィスプレート２４０を分割して加工した場合、オリフィ
スプレート２４０の、分割された部分同士を接続した時
にオリフィスプレート２４０のつなぎ目で誤差が生じる
と、そのつなぎ目の誤差が液体吐出ヘッドにおけるノズ
ルピッチの誤差となり、液体吐出ヘッドの記録品位が低
下するという問題点がある。

【００１４】また、レーザ加工により凸部２４５を形成
するためにオリフィスプレート２４０を分割して加工す
る場合では、凸部２４５につなぎ目を設定するとオリフ
ィスプレート２４０のつなぎ目の誤差は、流路２６１内
に進入させる凸部２４５のずれになってしまうという問
題点がある。この場合、流路２６１に対する凸部２４５
と吐出口２４１の位置がずれて、つなぎ目における吐出
口２４１の形状が不良になったり、流路２６１への凸部
２４５の進入がうまくできないなどの不良が発生する。

【００１５】これに対して、吐出口２４１ごとに凸部２
４５を独立して形成し、隣り合う凸部２４５の間につな
ぎ目を設定する場合、つなぎ目がオーバラップすること
で、凸部２４５を形成する際の除去加工における加工深
さの二倍の深さの溝ができたり、つなぎ目がアンダーカ
ットすることでその箇所に壁状の加工残りができたりす
るという問題点が発生することがある。また、レーザ加
工で凸部２４５を形成するには、オリフィスプレートの
広い面に対して多大な除去加工をする必要があるため、
カーボンなどの副生成物の発生も多く、レーザ加工の後
処理の手間もかかるという問題点がある。また、レーザ
加工機も、大規模なものが必要となり、液体吐出ヘッド
を製造するための装置のコストが高くなってしまう。

【００１６】本発明の目的は、流路を有するヘッド本体
に、吐出口が形成されたオリフィスプレートを接合して
液体吐出ヘッドを製造する際に、オリフィスプレートの
吐出口の周囲に凸部を形成し、その凸部をヘッド本体の
流路内に進入させてオリフィスプレートをヘッド本体に
接合する液体吐出ヘッドの製造方法において、吐出口お
よび凸部を形成するためにオリフィスプレートを分割し
て作製することによりオリフィスのピッチの誤差や吐出
口の形状不良、流路への凸部の進入がうまくできないこ
となどの不良がない液体吐出ヘッドの製造方法や、液体
吐出ヘッド、その液体吐出ヘッドを有するヘッドカート
リッジおよび液体吐出記録装置を提供することにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した
複数の吐出口、および前記吐出口の周囲に、前記流路内
に進入して嵌合するように前記吐出口ごとにそれぞれ独
立して形成された複数の凸部を備えて前記ヘッド本体に
接合されたオリフィスプレートとを有する液体吐出ヘッ
ドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製
するために押出成形により溶融樹脂をフィルム状に押出
してフィルム状樹脂を形成する工程と、前記フィルム状
樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロール
を押圧することにより、前記フィルム状樹脂に前記吐出
口および前記凸部を同時に連続的に形成し、前記フィル
ム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形
成されてなる前記オリフィスプレートを作製する工程
と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接
合面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレー
トとの接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィ
スプレートを前記接着剤により前記本体ヘッドに接着す
る工程とを有する。

【００１８】上記の発明では、液体吐出ヘッドを製造す
る際に、押出成形により溶融樹脂をフィルム状に押出す
ことでフィルム状樹脂を形成し、フィルム状樹脂の表面
に、所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する
ことによりフィルム状樹脂に吐出口、およびヘッド本体
の流路内に進入して嵌合する凸部を同時に連続的に形成
してオリフィスプレートを作製するので、従来のように
多数の吐出口および凸部をレーザ加工により形成するた
めにオリフィスプレートを分割して作製する必要がなく
なる。従って、従来ではオリフィスプレートを分割して
作製した際にオリフィスプレートのつなぎ目の誤差によ
る吐出口のピッチの誤差や、吐出口の形状不良、流路へ
の凸部の進入がうまくいかないことなどの問題点が発生
していたが、それらの問題点がすべてなくなる。また、
隣り合う凸部の間でつなぎ目を設定した場合に、凸部を
形成する際の除去加工における加工深さの二倍の深さの
溝ができたり、つなぎ目に壁状の加工残りができたりす
るという問題点がなくなる。さらに、吐出口や凸部を形
成する際にレーザを用いないので、カーボンなどの副生
成物の発生がないために後処理の手間もかからず、大規
模なレーザ加工機も必要なく、製造装置のコストを低く
抑えることができる。

【００１９】また、本発明は、上記の構成の液体吐出ヘ
ッドを製造方法であって、オリフィスプレートを作製す
る工程として、押出成形により溶融樹脂をフィルム状に
押出してフィルム状樹脂を形成する工程と、前記フィル
ム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロ
ールを押圧することにより、前記フィルム状樹脂に、前
記吐出口を形成するための凹部が中央部にそれぞれ形成
された前記複数の凸部を形成する工程と、前記複数の凹
部のそれぞれの底面にレーザを照射することで前記フィ
ルム状樹脂に前記吐出口を複数形成する工程とを有す
る。

【００２０】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記凸部を形成するた
めの、それぞれ独立した複数の突起部を形成する工程
と、それぞれの前記突起部の先端面の中央部にレーザを
照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口および
前記凸部を複数形成する工程とを有する。

【００２１】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記複数の凸部を形成
するための連続した突起部、および該突起部に配置され
た前記吐出口を形成する工程と、前記連続した突起部
の、前記吐出口および前記凸部に対応する部分を除く部
分にレーザを照射することで前記凸部を複数形成する工
程とを有する。

【００２２】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記吐出口を形成する
ための、それぞれ独立した複数の凹部を有する、前記複
数の凸部を形成するための連続した突起部を形成する工
程と、前記連続した突起部の、前記凹部および前記凸部
に対応する部分を除く部分にレーザを照射することで前
記凸部を複数形成する工程と、前記複数の凹部のそれぞ
れの底面にレーザを照射することで前記フィルム状樹脂
に前記吐出口を複数形成する工程とを有する。

【００２３】上記の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記フィルム状樹脂の表面にロールを押圧する工程
の後の工程が、前記複数の凹部のそれぞれの底面にレー
ザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を
複数形成する工程と、前記連続した突起部の、前記吐出
口および前記凸部に対応する部分を除く部分にレーザを
照射することで前記フィルム状樹脂に前記凸部を複数形
成する工程とで構成されていてもよい。

【００２４】さらに、本発明の液体吐出ヘッドの製造方
法は、オリフィスプレートを作製する工程として、押出
成形により溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状
樹脂を形成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、
所定の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧すること
により、前記フィルム状樹脂に、前記複数の凸部を形成
するための連続した突起部を形成する工程と、前記連続
した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対応する部
分を除く部分にレーザを照射することで、前記凸部を形
成するための、それぞれ独立した複数の突起部を形成す
る工程と、前記独立したそれぞれの突起部の先端面の中
央部にレーザを照射することで、前記フィルム状樹脂に
前記吐出口および前記凸部を複数形成する工程とを有す
る。

【００２５】上記の液体吐出ヘッドの製造方法におい
て、前記フィルム状樹脂の表面にロールを押圧する工程
の後の工程が、前記連続した突起部の、前記吐出口に対
応する部分にレーザを照射することで前記フィルム状樹
脂に前記吐出口を複数形成する工程と、前記連続した突
起部の、前記吐出口および前記凸部に対応する部分を除
く部分にレーザを照射することで前記フィルム状樹脂に
前記凸部を複数形成する工程とから構成されていてもよ
い。

【００２６】上記のとおりの発明でも、オリフィスプレ
ートを作製する際にフィルム状樹脂の表面に、レリーフ
型を備えたロールを押圧することにより、凹部を有する
凸部、凸部を形成するためのそれぞれ独立した複数の突
起部、凸部を形成するための連続した突起部、または吐
出口を形成する工程と、レーザ加工の工程とを組み合わ
せることで、多数の吐出口を有するオリフィスプレート
を分割して作製せずに一体のものとして製作することが
できる。従って、多数の吐出口を有するオリフィスプレ
ートを作製する際にも、オリフィスプレートのつなぎ目
もなく、吐出口や凸部などの寸法精度が良好になる。こ
れにより、オリフィスプレートの凸部をヘッド本体の流
路に勘合することができないなどの不良がなくなる。ま
た、作製されたオリフィスプレートを用いて構成された
液体吐出ヘッドにより記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られる。

【００２７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２８】（第１の実施の形態）図１は、本発明の第
１の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法が適用される
液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図である。
図２は、図１に示される液体吐出ヘッドの、流路方向に
沿った断面図である。

【００２９】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
より製造される液体吐出ヘッドは、図１に示すように、
基板５０の表面に天板６０を接合してなるヘッド本体４
６と、ヘッド本体４６の前端面に接合されたオリフィス
プレート４０などから構成されている。基板（以下、ヒ
ータボードともいう）５０には、インクなどの液体を吐
出させるために利用される熱エネルギーを発生する複数
のエネルギー発生素子（以下、ヒータともいう）５１
と、エネルギー発生素子５１に電気信号を供給するため
のＡｌ配線とが備えられている。この基板５０は、Ｓｉ
基板上に複数のエネルギー発生素子５１および前記Ａｌ
配線を成膜技術によって形成してなるものである。

【００３０】天板６０の一方の面には、エネルギー発生
素子５１がそれぞれ配置された複数の流路６１を形成す
るための溝や、それぞれの流路６１に供給されるインク
を一時的に保持する液室６２を形成するための溝が形成
されている。さらに、天板６０には、液室６２内にイン
クを供給するための供給口６４が形成されている。それ
ぞれの流路６１にエネルギー発生素子５１が配置される
ように基板５０と天板６０とを接合することにより、複
数の流路６１および複数のエネルギー発生素子５１が備
えられたヘッド本体４６が構成されている。このヘッド
本体４６の前端面に、すなわち、図２に示すように基板
５０の、オリフィスプレート４０との接合面４４ａ、お
よび天板６０の、オリフィスプレート４０との接合面４
４ｂを含む面に、それぞれの流路６１の開口が配置され
ている。

【００３１】一方、オリフィスプレート４０には、流路
６１とそれぞれ連通した複数の吐出口（以下、オリフィ
スともいう）４１が複数形成されている。また、オリフ
ィスプレート４０の、ヘッド本体４６との接合面におけ
る吐出口４１の周囲には、吐出口４１ごとにそれぞれ独
立した凸部４５が複数形成されている。それぞれの凸部
４５が流路６１内に進入し、凸部４５が流路６１に嵌合
した状態で、接着剤である接着樹脂４２によって接合面
４４ａ，４４ｂにオリフィスプレート４０が接合されて
いる。

【００３２】この液体吐出ヘッドでは、エネルギー発生
素子５１から発生した熱エネルギーが流路６１内のイン
クに作用することでエネルギー発生素子５１上で気泡が
発生し、その気泡の発生を利用して吐出口４１からイン
クが吐出される。

【００３３】図３は、本発明の第１の実施形態の液体吐
出ヘッドの製造方法に使用される製造ラインの一部を模
式的に示す図である。図３に示される製造ラインは、図
１および図２に示したオリフィスプレート４０を製造す
るためのものである。この製造ラインでは、押出成形に
より溶融樹脂をフィルム状に押出し、押出されたフィル
ム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロ
ールを押圧することで、そのフィルム状樹脂の表面に所
望の形状のパターンを形成するまでの工程が行われる。

【００３４】図３に示すように押出成形機１のダイ２か
ら溶融樹脂をフィルム状に押出すことによりフィルム状
樹脂３が形成され、フィルム状樹脂３は冷却ロール５と
ニップロール６との間に挟まれて、それらのロールによ
って押圧される。冷却ロール５の表面には、図１および
図２に示した吐出口４１および凸部４５に応じた形状の
レリーフ型４が取り付けられている。このレリーフ型４
によってフィルム状樹脂３の表面に所望の形状が連続的
に形成される。

【００３５】レリーフ型４によって表面に所望の形状が
形成されると共に冷却ロール５によって冷却されたフィ
ルム状樹脂３は、いくつかのロールと、２つの引き取り
ロール７とを経由した後に巻き取りロール８によってロ
ール状に巻き取られる。

【００３６】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、押出成形機１から押出す樹脂材料としてポリサルフ
ォン樹脂（アモコ社製のユーデルＰ３９００）を用い
た。押出成形機１から押出す樹脂材料、すなわちフィル
ム状樹脂３の材料としては、熱可塑性ポリマーを用いる
ことが好ましい。また、具体的には、フィルム状樹脂３
の材料として、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレ
ンサルファイドまたはポリエーテルエーテルケトンのう
ちいずれか１つを用いることが好ましい。

【００３７】次に、オリフィスプレート４０を作製する
方法について説明する。

【００３８】まず、ポリサルフォン樹脂を下記の加工条
件（Ａ）にて、ダイ２から厚さ５０μｍとなるように押
出してフィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹
脂３を、表面にレリーフ型４が備えられた温度１５℃の
冷却ロール５、およびニップロール６により押圧し、フ
ィルム状樹脂３を冷却する。

【００３９】押出し加工条件（Ａ）ダイ開口：０．５ｍｍ押出し機設定温度：後部３１５℃ 中間部３６０℃ ヘ
ッドおよびダイ部３７０℃ 冷却ロール温度：１５℃ 押出し厚み：５０μｍニップ圧（エアゲージ圧）：２ｋｇｆ／ｃｍ² 図４および図５は、図３に示した製造ラインにより作製
されたフィルム状樹脂３の平面図および断面図である。
図４（ａ）はフィルム状樹脂３の平面図であり、図４
（ｂ）は図４（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。また、
図５（ａ）は、図４（ａ）に示されるフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図５（ｂ）は、図５
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【００４０】フィルム状樹脂３の表面に冷却ロール５の
レリーフ型４が押圧されることで、そのレリーフ型４に
よって、図４（ａ）、図４（ｂ）、図５（ａ）および図
５（ｂ）に示すようにフィルム状樹脂３に吐出口４１お
よび凸部４５が同時に、フィルム状樹脂３の押出し方向
に連続的に複数形成される。

【００４１】凸部４５のピッチは６００ｄｐｉの解像度
に相当する間隔であり、凸部４５の外形は四角柱形状と
なっている。凸部４５の外形寸法としては、縦が３０μ
ｍ、横が３０μｍ、高さが１０μｍとなっている。オリ
フィス４１の形状は円錐台となっており、オリフィス４
１の凸部４５側の端面における円の直径がφ２５μｍ、
凸部４５側と反対側の端面における円の直径がφ２０μ
ｍとなっている。このような形状および寸法を有するオ
リフィス４１および凸部４５がフィルム状樹脂３に同時
に、かつ、連続的に形成されるように、レリーフ型４が
作製されている。

【００４２】フィルム状樹脂３にレリーフ型４によって
オリフィス４１および凸部４５を形成した後に、フィル
ム状樹脂３の、凸部４５側と反対側の表面（フェイス
面）に撥水層を形成する。撥水処理剤としては、旭硝子
株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。フィルム状樹
脂３のフェイス面に撥水層を形成する際には、まず、そ
のフェイス面をコロナ処理により親水化した後に、塗布
装置として康井精機社製のマイクログラビアコータを用
いて、フィルム状樹脂３のフェイス面に撥水剤を塗布す
る。ここでは、撥水層の最終の厚さが０．１μｍとなる
ように、撥水剤を塗布する工程と、塗布された撥水剤を
８０℃でプリベークする工程とを連続して行った。この
ような塗布およびプリベークの工程が完了してロール状
に巻き取られたフィルム状樹脂３を、加熱炉内で１５０
℃の温度で５時間加熱することにより、フィルム状樹脂
３のフェイス面に撥水層が形成される。

【００４３】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
は、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押圧する工程
と、フィルム状樹脂３に撥水層を形成する工程とを別々
に行ったが、それらの２つの工程を１つの工程で行って
もよい。例えば、フィルム状樹脂３にレリーフ型４を押
圧する工程において、フィルム状樹脂３のニップロール
６側の面に撥水剤を供給してその表面に撥水層を形成し
ながらフィルム状樹脂３の押圧加工を行ってもよい。あ
るいは、巻き取りロール８によってフィルム状樹脂３を
巻き取る前の位置に、撥水剤を塗布するためのコーティ
ングロールをセットし、そのコーティングロールを用い
てフィルム状樹脂３に撥水剤を塗布してもよい。

【００４４】このようにして吐出口４１および凸部４５
が形成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、
１つの液体吐出ヘッドごとに必要なサイズに切断して、
図１および図２に示したオリフィスプレート４０が作製
される。

【００４５】次に、オリフィスプレート４０を作製した
後の、液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。

【００４６】オリフィスプレート４０を作製した後に
は、上述した工程とは別の工程で作製されたヘッド本体
４６に、接着剤によってオリフィスプレート４０を接合
する。ここで用いる接着剤としては、ＵＶ（紫外線）を
接着剤に照射することによりタック性（粘性）を保持し
たままＢステージ（硬化中間状態）化し、その接着剤を
硬化収縮させてから、加熱圧着、または接着剤へのさら
なるＵＶ照射により部材同士を接着することが可能なエ
ポキシ系の接着剤を用いる。このような接着剤は、Ｂス
テージ化せずに加熱圧着のみでも接着が可能なものであ
る。

【００４７】まず、上記のようなエポキシ系の接着剤を
転写法によりヘッド本体４６の接合面４４ａ，４４ｂに
転写する。次に、転写された接着剤に１ｍＷ／ｃｍ²の
紫外線を６０秒間照射して接着剤のＢステージ化を行
い、接着剤のタック性を保持したまま接着剤の硬化収縮
を終了させる。

【００４８】次に、オリフィスプレート４０のそれぞれ
の凸部４５を、それぞれの凸部４５に対応する流路６１
内に進入させて凸部４５を流路６１の先端部に嵌合す
る。凸部４５と流路６１との勘合は、すきまばめとし
た。

【００４９】次に、オリフィスプレート４０の、凸部４
５側と反対側の面からオリフィスプレート４０に１ｋｇ
／ｃｍ²の荷重をかけて、オリフィスプレート４０とヘ
ッド本体４６とを密着させ、その状態を保持したまま６
０℃の温度でヘッド本体４６にオリフィスプレート４０
を加熱圧着し、接着剤の硬化を終了させる。

【００５０】以上で説明した工程を経て、図１および図
２に示した液体吐出ヘッドが製造される。本実施形態の
液体吐出ヘッドの製造方法によれば、１つのオリフィス
プレート４０は、分割して作製されずに一体のものとし
て製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィ
スプレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート
４０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸
法精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート
４０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合する
ことができないという不良がなくなる。また、作製され
た液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価におい
ては、オリフィスプレートを分割して作製した場合にお
けるオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって
生じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良も
なく、良好な記録品位が得られた。さらに、オリフィス
４１や凸部４５を形成するためにレーザを用いないの
で、カーボンなどの副生成物の発生がないために後処理
の手間もかからず、大規模なレーザ加工機も必要なく、
液体吐出ヘッドを製造する装置のコストを低く抑えるこ
とができる。

【００５１】（第２の実施の形態）図６および図７は、
本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法であり、第１の実施形態と比較して、
吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異なってい
る。以下では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明
する。

【００５２】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第１の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図６（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図６
（ｂ）は、図６（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図７
（ａ）は、図６（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を
拡大した平面図であり、図７（ａ’）は、図７（ａ）の
Ｃ−Ｃ’線断面図である。

【００５３】まず、第１の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図６（ａ）、図６（ｂ）、図７
（ａ）および図７（ａ’）に示すようにフィルム状樹脂
３に、それぞれが独立した複数の凸部４５と、凸部４５
の中央部にそれぞれ配置された複数の凹部４７ａとがフ
ィルム状樹脂３の押出し方向に連続的に形成される。そ
れぞれの凹部４７ａはオリフィス４１を形成するための
ものである。凸部４５のピッチおよび外形寸法は、第１
の実施形態と同様であり、凹部４７ａの深さは４０μｍ
となっている。このような凸部４５および凹部４７ａが
フィルム状樹脂３に同時に形成されるように、冷却ロー
ル５に備えられたレリーフ型が製作されている。

【００５４】次に、フィルム状樹脂３の、凸部４５側と
反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同様な
方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、旭硝
子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【００５５】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
７を参照して説明する。図７（ｂ）、図７（ｃ）は、図
６（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大した平面
図であり、図７（ｂ’）は図７（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面
図、図７（ｃ’）は図７（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図であ
る。

【００５６】図７（ｂ’）に示すように、それぞれの凹
部４７ａの底面にレーザ１３を照射することにより、図
７（ｃ）および図７（ｃ’）に示すようにそれぞれの凹
部４７ａの底面に、フィルム状樹脂３を貫通する貫通孔
を形成する。これにより、凸部４５側と反対側の開口寸
法がφ２０μｍのオリフィス４１がフィルム状樹脂３に
形成される。

【００５７】図８は、フィルム状樹脂３にオリフィス４
１を形成するためのレーザ加工装置を模式的に示す図で
ある。図８に示されるレーザ加工装置には、エキシマレ
ーザ発振器９と、エキシマレーザ発振器９から出射され
たレーザ１３を集光させる集光レンズ１１と、集光レン
ズ１１を透過したレーザ１３をフィルム状樹脂３の所定
の部分に照射させるためのマスク１２とが備えられてい
る。エキシマレーザ発振器９から出射されたレーザ１３
は集光レンズ１１およびマスク１２を介してフィルム状
樹脂３に照射される。フィルム状樹脂３はロール状に巻
かれた状態で収納されており、ここでは、ロール状のフ
ィルム状樹脂３を巻き出すことによりフィルム状樹脂３
の一部を平らにし、フィルム状樹脂３の平らな部分にレ
ーザ１３を照射させる。

【００５８】本実施形態では、図１に示した製造ライン
の装置と、図８に示したレーザ加工装置とが別々になっ
ているが、図１に示した製造ラインにおいて巻き取りロ
ール８の手前に、図８に示したレーザ加工装置を配置す
ることもできる。

【００５９】ここで、フィルム状樹脂３の厚さに対して
凹部４７ａの深さを深くし、レーザ１３でオリフィス４
１を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄くした場合
では、レーザ１３を照射する部分を凹部４７ａの底面に
対してアライメントする必要がなく、凹部４７ａの底面
全体にレーザ１３を照射すればよい。これにより、オリ
フィス４１を形成するプロセスが簡単になり、液体吐出
ヘッドの製造コスト、および製造装置のコストが下が
る。

【００６０】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【００６１】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【００６２】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【００６３】（第３の実施の形態）図９および図１０
は、本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法であり、第１の実施形態と比較し
て、吐出口をレーザ加工により形成する点が主に異なっ
ている。また、第２の実施形態の製造方法と比較して、
レリーフ型の押圧によってフィルム状樹脂に凹部を形成
せずに吐出口を形成する点が異なっている。以下では、
第１および第２の実施形態と異なる点を中心に説明す
る。

【００６４】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第１の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図９（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出され
たポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた前
記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形状
に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図９
（ｂ）は、図９（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図１
０（ａ）は、図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部
を拡大した平面図であり、図１０（ａ’）は、図１０
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【００６５】まず、第１の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図９（ａ）、図９（ｂ）、図１０
（ａ）および図１０（ａ’）に示すようにフィルム状樹
脂３に、凸部４５を形成するための、それぞれが独立し
た複数の突起部４８ａがフィルム状樹脂３の押出し方向
に連続的に形成される。突起部４８ａのピッチおよび外
形寸法は、最終的にフィルム状樹脂３に形成される凸部
４５と同様である。このような突起部４８ａがフィルム
状樹脂３に形成されるように、冷却ロール５に備えられ
たレリーフ型が製作されている。

【００６６】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ａ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【００６７】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
１０を参照して説明する。図１０（ｂ）、図１０（ｃ）
は、図９（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大し
た平面図であり、図１０（ｂ’）は図１０（ｂ）のＣ−
Ｃ’線断面図、図１０（ｃ’）は図１０（ｃ）のＣ−
Ｃ’線断面図である。

【００６８】図１０（ｂ’）に示すように、それぞれの
突起部４８ａの先端面の中央部にレーザ１３を照射する
ことにより、図１０（ｃ）および図１０（ｃ’）に示す
ようにそれぞれの突起部４８ａの中央部に、フィルム状
樹脂３を貫通する貫通孔、すなわちオリフィス４１を形
成する。これにより、凸部４５側と反対側の開口寸法が
φ２０μｍのオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形成
される。ここでは、第２の実施形態の図８に示したレー
ザ加工装置を用いて、第２の実施形態と同様な方法によ
り、フィルム状樹脂３にオリフィス４１を形成する。

【００６９】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【００７０】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【００７１】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【００７２】（第４の実施の形態）図１１および図１２
は、本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法であり、第１の実施形態と比較し
て、吐出口の周囲の凸部を形成する際にレーザを用いる
点が主に異なっている。以下では、第１の実施形態と異
なる点を中心に説明する。

【００７３】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第１の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図１１（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図１１
（ｂ）は、図１１（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図
１２（ａ）は、図１１（ａ）に示したフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図１２（ａ’）は、図１
２（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【００７４】まず、第１の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これによって、冷却ロール５に備えられた前
記レリーフ型によって、図１１（ａ）、図１１（ｂ）、
図１２（ａ）および図１２（ａ’）に示すようにフィル
ム状樹脂３に、凸部４５を形成するための、フィルム状
樹脂３の押出し方向に連続した突起部４８ｂ、および突
起部４８ｂに配置された複数のオリフィス４１が形成さ
れる。突起部４８ｂの外形寸法は、幅が３０μｍ、高さ
が１０μｍとなっている。このような突起部４８ｂおよ
びオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形成されるよう
に、冷却ロール５に備えられたレリーフ型が製作されて
いる。

【００７５】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ｂ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【００７６】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
１２を参照して説明する。図１２（ｂ）、図１２（ｃ）
は、図１１（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大
した平面図であり、図１２（ｂ’）は図１２（ｂ）のＣ
−Ｃ’線断面図、図１２（ｃ’）は図１２（ｃ）のＣ−
Ｃ’線断面図である。

【００７７】図１２（ｂ’）に示すように、突起部４８
ｂの先端面におけるオリフィス４１および凸部４５に対
応する部分を除く部分にレーザ１３を照射することによ
り、図１２（ｃ）および図１２（ｃ’）に示すように、
突起部４８ｂの不要な部分を除去し、オリフィス４１ご
とにそれぞれが独立した複数の凸部４５を形成する。こ
こでは、第２の実施形態の図８に示したレーザ加工装置
を用いて凸部４５を形成するが、第２の実施形態で用い
たマスク１２の代わりに、凸部４５を形成するための所
定のパターンを有する別のマスクを用いてレーザ加工を
行う。

【００７８】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【００７９】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【００８０】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【００８１】（第５の実施の形態）図１３〜図１５は、
本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法である。

【００８２】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第１の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図１３（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図１３
（ｂ）は、図１３（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図
１４（ａ）は、図１３（ａ）に示したフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図１４（ａ’）は、図１
４（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【００８３】まず、第１の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図１３（ａ）、図１３（ｂ）、図
１４（ａ）および図１４（ａ’）に示すようにフィルム
状樹脂３に、凸部４５を形成するための、フィルム状樹
脂３の押出し方向に連続した突起部４８ｂ、および突起
部４８ｂに配置された複数の凹部４７ｂが形成される。
それぞれの凹部４７ａはオリフィス４１を形成するため
のものであり、複数の凹部４７ｂはそれぞれ独立してい
る。突起部４８ｂの外形寸法は、幅が３０μｍ、高さが
１０μｍとなっている。このような突起部４８ｂおよび
凹部４７ｂがフィルム状樹脂３に形成されるように、冷
却ロール５に備えられたレリーフ型が製作されている。

【００８４】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ｂ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【００８５】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
１４および図１５を参照して説明する。図１４（ｂ）、
図１４（ｃ）、図１５（ａ）および図１５（ｂ）は、図
１３（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大した平
面図である。図１４（ｂ’）は図１４（ｂ）のＣ−Ｃ’
線断面図、図１４（ｃ’）は図１４（ｃ）のＣ−Ｃ’線
断面図、図１５（ａ’）は図１５（ａ）のＣ−Ｃ’線断
面図、図１５（ｂ’）は図１５（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面
図である。

【００８６】図１４（ｂ’）に示すように、突起部４８
ｂの先端面における凹部４７ｂおよび凸部４５に対応す
る部分を除く部分にレーザ１３を照射することにより、
図１４（ｃ）および図１４（ｃ’）に示すように、突起
部４８ｂの不要な部分を除去し、凹部４７ｂごとにそれ
ぞれが独立した複数の凸部４５を形成する。

【００８７】次に、図１５（ａ’）に示すように、それ
ぞれの凹部４７ｂの底面にレーザ１３を照射することに
より、図１５（ｂ）および図１５（ｂ’）に示すように
それぞれの凹部４７ｂの底面に、フィルム状樹脂３を貫
通する貫通孔を形成する。これにより、凸部４５側と反
対側の開口寸法がφ２０μｍのオリフィス４１がフィル
ム状樹脂３に形成される。

【００８８】本実施形態においても、第２の実施形態の
図８に示したレーザ加工装置を用いて凸部４５およびオ
リフィス４１を形成する。凸部４５を形成する際には、
第２の実施形態で用いたマスク１２の代わりに、第４の
実施形態と同様に凸部４５を形成するための所定のパタ
ーンを有する別のマスクを用いてレーザ加工を行う。ま
た、オリフィス４１を形成する際には、凹部４７ｂの底
面を開口させるために第２の実施形態と同様のマスク１
２を用いる。

【００８９】第２の実施形態と同様に、フィルム状樹脂
３の厚さに対して凹部４７ｂの深さを深くし、レーザ１
３でオリフィス４１を開口させる肉厚を必要な寸法公差
内に薄くした場合では、レーザ１３を照射する部分を凹
部４７ｂの底面に対してアライメントする必要がなく、
凹部４７ｂの底面全体にレーザ１３を照射すればよい。
これにより、オリフィス４１を形成するプロセスが簡単
になり、液体吐出ヘッドの製造コスト、および製造装置
のコストが下がる。

【００９０】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【００９１】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【００９２】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【００９３】（第６の実施の形態）図１６および図１７
は、本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法である。本実施形態の製造方法
は、第５の実施形態の製造方法においてレーザ加工によ
りオリフィスを形成する工程と、レーザ加工により凸部
を形成する工程の順番が入れ代わったものである。

【００９４】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、第５の実施形態の図１３に示した突起部４８ｂ
および凹部４７ｂが形成されたフィルム状樹脂３を作製
する。

【００９５】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ｂ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【００９６】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
１６および図１７を参照して説明する。図１６（ａ）、
図１６（ｂ）、図１６（ｃ）、図１７（ａ）および図１
７（ｂ）は、図１３（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ
部を拡大した平面図である。図１６（ａ’）は図１６
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ｂ’）は図１６
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１６（ｃ’）は図１６
（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１７（ａ’）は図１７
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図１７（ｂ’）は図１７
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【００９７】図１６（ａ）および図１６（ａ’）に示す
ように、冷却ロール５に備えられたレリーフ型の押圧に
よりフィルム状樹脂３には、第５の実施形態で説明した
突起部４８ｂおよび凹部４７ｂが形成されている。

【００９８】図１６（ｂ’）に示すように、それぞれの
凹部４７ｂの底面にレーザ１３を照射することにより、
図１６（ｃ）および図１６（ｃ’）に示すようにそれぞ
れの凹部４７ｂの底面に、フィルム状樹脂３を貫通する
貫通孔を形成する。これにより、凸部４５側と反対側の
開口寸法がφ２０μｍのオリフィス４１がフィルム状樹
脂３に形成される。

【００９９】次に、図１７（ａ’）に示すように、突起
部４８ｂの先端面におけるオリフィス４１および凸部４
５に対応する部分を除く部分にレーザ１３を照射するこ
とにより、図１７（ｂ）および図１７（ｂ’）に示すよ
うに、突起部４８ｂの不要な部分を除去し、オリフィス
４１ごとにそれぞれが独立した複数の凸部４５を形成す
る。本実施形態においても、第５の実施形態と同様に、
第２の実施形態の図８に示したレーザ加工装置を用いて
凸部４５およびオリフィス４１を形成する。

【０１００】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法で
も、第２の実施形態と同様に、フィルム状樹脂３の厚さ
に対して凹部４７ｂの深さを深くし、レーザ１３でオリ
フィス４１を開口させる肉厚を必要な寸法公差内に薄く
した場合では、レーザ１３を照射する部分を凹部４７ｂ
の底面に対してアライメントする必要がなく、凹部４７
ｂの底面全体にレーザ１３を照射すればよい。これによ
り、オリフィス４１を形成するプロセスが簡単になり、
液体吐出ヘッドの製造コスト、および製造装置のコスト
が下がる。

【０１０１】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【０１０２】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【０１０３】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【０１０４】（第７の実施の形態）図１８〜図２０は、
本発明の第７の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
ついて説明するための図である。本実施形態の液体吐出
ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法により
製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状のも
のを製造する方法である。

【０１０５】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、オリフィスプレートを作製するためのフィルム
状樹脂を形成する。ここでは、第１の実施形態で用いた
レリーフ型４の代わりに、レリーフ型４とは異なる別の
所定の形状のレリーフ型を備えた冷却ロール５を用い
る。図１８（ａ）は、押出成形機１のダイ２から押出さ
れたポリサルフォン樹脂が、冷却ロール５に備えられた
前記レリーフ型によって押圧されることにより所定の形
状に形成されたフィルム状樹脂の平面図であり、図１８
（ｂ）は、図１８（ａ）のＡ−Ａ’線断面図である。図
１９（ａ）は、図１８（ａ）に示したフィルム状樹脂の
Ｂ部を拡大した平面図であり、図１９（ａ’）は、図１
９（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【０１０６】まず、第１の実施形態と同様な押出し加工
条件（Ａ）で、ポリサルフォン樹脂をダイ２から厚み５
０μｍとなるようにフィルム状に押出すことにより、フ
ィルム状樹脂３を形成する。そのフィルム状樹脂３を、
表面に前記レリーフ型が備えられた温度１５℃の冷却ロ
ール５、およびニップロール６により押圧すると同時に
冷却する。これにより、冷却ロール５に備えられた前記
レリーフ型によって、図１８（ａ）、図１８（ｂ）、図
１９（ａ）および図１９（ａ’）に示すようにフィルム
状樹脂３に、図１および図２に示した複数の凸部４５を
形成するための、フィルム状樹脂３の押出し方向に連続
した突起部４８ｃが形成される。それぞれの突起部４８
ｃは、凸部４５を形成するためのものであり、突起部４
８ｃの外形寸法は、幅が３０μｍ、高さが１０μｍとな
っている。このような突起部４８ｃがフィルム状樹脂３
に形成されるように、冷却ロール５に備えられたレリー
フ型が製作されている。

【０１０７】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ｃ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【０１０８】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
１９および図２０を参照して説明する。図１９（ｂ）、
図１９（ｃ）、図２０（ａ）および図２０（ｂ）は、図
１８（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ部を拡大した平
面図である。図１９（ｂ’）は図１９（ｂ）のＣ−Ｃ’
線断面図、図１９（ｃ’）は図１９（ｃ）のＣ−Ｃ’線
断面図、図２０（ａ’）は図２０（ａ）のＣ−Ｃ’線断
面図、図２０（ｂ’）は図２０（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面
図である。

【０１０９】図１９（ｂ’）に示すように、突起部４８
ｃの先端面の、図１および図２に示したオリフィス４１
および凸部４５に対応する部分を除く部分にレーザ１３
を照射することにより、図１９（ｃ）および図１９
（ｃ’）に示すように、突起部４８ｃの不要な部分を除
去し、それぞれが独立した複数の突起部４８ｄを形成す
る。それぞれの突起部４８ｄの外形形状は凸部４５と同
様なものであり、それぞれの突起部４８ｄの外形寸法
は、縦が３０μｍ、横が３０μｍ、高さが１０μｍとな
っている。

【０１１０】次に、図２０（ａ’）に示すように、それ
ぞれの突起部４８ｄの先端面の中央部にレーザ１３を照
射することにより、図２０（ｂ）および図２０（ｂ’）
に示すようにそれぞれの突起部４８ｄの中央部に、フィ
ルム状樹脂３を貫通する貫通孔、すなわちオリフィス４
１を形成する。これにより、凸部４５側の開口寸法がφ
２５μｍ、凸部４５側と反対側の開口寸法がφ２０μｍ
のオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形成される。

【０１１１】本実施形態においても、第２の実施形態の
図８に示したレーザ加工装置を用いて突起部４８ｄや、
凸部４５およびオリフィス４１を形成する。突起部４８
ｄを形成する際には、第２の実施形態で用いたマスク１
２の代わりに、第４の実施形態と同様に凸部４５を形成
するための所定のパターンを有する別のマスクを用いて
レーザ加工を行う。また、オリフィス４１を形成する際
には、突起部４８ｄの中央部を開口させるために第２の
実施形態と同様のマスク１２を用いる。

【０１１２】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【０１１３】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【０１１４】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【０１１５】（第８の実施の形態）図２１および図２２
は、本発明の第８の実施形態の液体吐出ヘッドの製造方
法について説明するための図である。本実施形態の液体
吐出ヘッドの製造方法は、第１の実施形態の製造方法に
より製造された液体吐出ヘッドと同様な構成および形状
のものを製造する方法である。本実施形態の製造方法
は、第７の実施形態の製造方法と比較して、流路に嵌合
させる凸部の外形形状を形成する前に吐出口を先に形成
する点が異なっている。

【０１１６】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
おいても、第１の実施形態の図３に示した製造ラインに
よって、第７の実施形態の図１８に示した突起部４８ｃ
が形成されたフィルム状樹脂３を作製する。

【０１１７】次に、フィルム状樹脂３の、突起部４８ｃ
側と反対側の面（フェイス面）に、第１の実施形態と同
様な方法により撥水層を形成する。撥水処理剤として、
旭硝子株式会社製のＣＴＸ−ＣＺ５Ａを用いた。

【０１１８】次に、フィルム状樹脂３に撥水層を形成し
た後の、オリフィスプレートを作製する工程について図
２１および図２２を参照して説明する。図２１（ａ）、
図２１（ｂ）、図２１（ｃ）、図２２（ａ）および図２
２（ｂ）は、図１８（ａ）に示したフィルム状樹脂のＢ
部を拡大した平面図である。図２１（ａ’）は図２１
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図２１（ｂ’）は図２１
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図、図２１（ｃ’）は図２１
（ｃ）のＣ−Ｃ’線断面図、図２２（ａ’）は図２２
（ａ）のＣ−Ｃ’線断面図、図２２（ｂ’）は図２２
（ｂ）のＣ−Ｃ’線断面図である。

【０１１９】図２１（ａ）および図２１（ａ’）に示す
ように、冷却ロール５に備えられたレリーフ型の押圧に
よりフィルム状樹脂３には、第７の実施形態で説明した
突起部４８ｃが形成されている。

【０１２０】図２１（ｂ’）に示すように、突起部４８
ｃの先端面の、図１および図２に示したオリフィス４１
に対応する部分にレーザ１３を照射することにより、図
２１（ｃ）および図２１（ｃ’）に示すように突起部４
８ｃに、フィルム状樹脂３を貫通する貫通孔、すなわち
オリフィス４１を形成する。これにより、凸部４５側の
開口寸法がφ２５μｍ、凸部４５側と反対側の開口寸法
がφ２０μｍのオリフィス４１がフィルム状樹脂３に形
成される。

【０１２１】次に、図２２（ａ’）に示すように、突起
部４８ｃの先端面におけるオリフィス４１および凸部４
５に対応する部分を除く部分にレーザ１３を照射するこ
とにより、図２２（ｂ）および図２２（ｂ’）に示すよ
うに、突起部４８ｃの不要な部分を除去し、オリフィス
４１ごとにそれぞれが独立した複数の凸部４５を形成す
る。本実施形態においても、第７の実施形態と同様に、
第２の実施形態の図８に示したレーザ加工装置を用いて
オリフィス４１および凸部４５を形成する。

【０１２２】次に、オリフィス４１および凸部４５が形
成されてロール状に巻かれたフィルム状樹脂３を、１つ
の液体吐出ヘッドごとに必要な４インチサイズに切断し
て、図１および図２に示したオリフィスプレート４０が
作製される。

【０１２３】次に、第１の実施形態で説明した方法と同
様に、オリフィスプレート４０の凸部４５がヘッド本体
４６の流路６１内に進入して嵌合するように、オリフィ
スプレート４０をエポキシ系の接着剤によりヘッド本体
４６に接着することで、図１および図２に基づいて説明
した液体吐出ヘッドが製造される。

【０１２４】本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法に
よれば、第１の実施形態と同様に、１つのオリフィスプ
レート４０は、分割して作製されずに一体のものとして
製作されるため、多数の吐出口４１を有するオリフィス
プレート４０を作製する際にも、オリフィスプレート４
０のつなぎ目もなく、吐出口４１や凸部４５などの寸法
精度が良好になる。これにより、オリフィスプレート４
０の凸部４５をヘッド本体４６の流路６１に勘合するこ
とができないという不良がなくなる。また、作製された
液体吐出ヘッドを用いて記録を行った際の評価において
は、オリフィスプレートを分割して作製した場合におけ
るオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によって生
じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良もな
く、良好な記録品位が得られた。

【０１２５】＜液体吐出記録装置＞図２３は、図１およ
び図２に基づいて説明した液体吐出ヘッドを搭載した液
体吐出記録装置の一例であるインクジェット記録装置を
示す斜視図である。図２３に示されるインクジェット記
録装置６００に搭載されたヘッドカートリッジ６０１
は、図１および図２に基づいて説明した液体吐出ヘッド
と、その液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する液
体容器とを有するものである。ヘッドカートリッジ６０
１は、図２３に示すように、駆動モータ６０２の正逆回
転に連動して駆動力伝達ギヤ６０３および６０４を介し
て回転するリードスクリュー６０５の螺旋溝６０６に対
して係合するキャリッジ６０７上に搭載されている。駆
動モータ６０２の動力によってヘッドカートリッジ６０
１がキャリッジ６０７ともとにガイド６０８に沿って矢
印ａおよびｂの方向に往復移動される。インクジェット
記録装置６００には、ヘッドカートリッジ６０１から吐
出されたインクなどの液体を受ける被記録媒体としての
プリント用紙Ｐを搬送する被記録媒体搬送手段（不図
示）が備えられている。その被記録媒体搬送手段によっ
てプラテン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐの紙押
さえ板６１０は、キャリッジ６０７の移動方向にわたっ
てプリント用紙Ｐをプラテン６０９に対して押圧する。

【０１２６】リードスクリュー６０５の一端の近傍に
は、フォトカプラ６１１および６１２が配設されてい
る。フォトカプラ６１１および６１２は、キャリッジ６
０７のレバー６０７ａの、フォトカプラ６１１および６
１２の領域での存在を確認して駆動モータ６０２の回転
方向の切り換えなどを行うためのホームポジション検知
手段である。プラテン６０９の一端の近傍には、ヘッド
カートリッジ６０１の吐出口のある前面を覆うキャップ
部材６１４を支持する支持部材６１３が備えられてい
る。また、ヘッドカートリッジ６０１から空吐出などさ
れてキャップ部材６１４の内部に溜まったインクを吸引
するインク吸引手段６１５が備えられている。このイン
ク吸引手段６１５によりキャップ部材６１４の開口部を
介してヘッドカートリッジ６０１の吸引回復が行われ
る。

【０１２７】インクジェット記録装置６００には本体支
持体６１９が備えられている。この本体支持体６１９に
は移動部材６１８が、前後方向、すなわちキャリッジ６
０７の移動方向に対して直角な方向に移動可能に支持さ
れている。移動部材６１８には、クリーニングブレード
６１７が取り付けられている。クリーニングブレード６
１７はこの形態に限らず、他の形態の公知のクリーニン
グブレードであってもよい。さらに、インク吸引手段６
１５による吸引回復操作にあたって吸引を開始するため
のレバー６２０が備えられており、レバー６２０は、キ
ャリッジ６０７と係合するカム６２１の移動に伴って移
動し、駆動モータ６０２からの駆動力がクラッチ切り換
えなどの公知の伝達手段で移動制御される。ヘッドカー
トリッジ６０１に設けられた発熱体に信号を付与した
り、上記の各機構の駆動制御を行ったりするインクジェ
ット記録制御部はインクジェット記録装置の本体に設け
られており、図２３では示されていない。インクジェッ
ト記録制御部には、液体吐出ヘッドから液体を吐出させ
るための駆動信号を供給する駆動信号供給手段が備えら
れている。

【０１２８】上述した構成を有するインクジェット記録
装置６００では、前記の被記録媒体搬送手段によりプラ
テン６０９上を搬送されるプリント用紙Ｐに対して、ヘ
ッドカートリッジ６０１がプリント用紙Ｐの全幅にわた
って往復移動しながら記録を行う。

【０１２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、以下のよ
うな効果がある。

【０１３０】請求項１に記載の発明は、液体吐出ヘッド
を製造する際に、押出成形により形成されたフィルム状
樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型を備えたロール
を押圧することによりフィルム状樹脂に吐出口、および
ヘッド本体の流路内に進入して嵌合する凸部を同時に連
続的に形成してオリフィスプレートを作製するので、従
来のように多数の吐出口および凸部をレーザ加工により
形成するためにオリフィスプレートを分割して作製した
際に発生していた吐出口のピッチの誤差や、吐出口の形
状不良、流路への凸部の進入がうまくいかないなどの問
題点がすべてなくなるという効果がある。また、隣り合
う凸部の間でつなぎ目を設定した場合に、凸部を形成す
る際の除去加工における加工深さの二倍の深さの溝がで
きたり、つなぎ目に壁状の加工残りができたりするとい
う問題点もなくなる。さらに、吐出口や凸部を形成する
際にレーザを用いないので、カーボンなどの副生成物の
発生がないために後処理の手間もかからず、大規模なレ
ーザ加工機も必要なく、製造装置のコストを低く抑える
ことができるという効果がある。

【０１３１】請求項２〜８に記載の発明は、オリフィス
プレートを作製する際にフィルム状樹脂の表面に、レリ
ーフ型を備えたロールを押圧することにより、凹部を有
する凸部、凸部を形成するためのそれぞれ独立した複数
の突起部、凸部を形成するための連続した突起部、また
は吐出口を形成する工程と、レーザ加工の工程とを組み
合わせることで、オリフィスプレートを分割して作製せ
ず、一体のものとしてオリフィスプレートを製作するた
め、多数の吐出口を有するオリフィスプレートを作製す
る際にも、オリフィスプレートのつなぎ目もなく、吐出
口や凸部などの寸法精度が良好になるという効果があ
る。また、作製されたオリフィスプレートを用いて構成
された液体吐出ヘッドにより記録を行った際の評価にお
いては、オリフィスプレートを分割して作製した場合に
おけるオリフィスプレートのつなぎ目部分の不良によっ
て生じる飛翔液滴のよれや、記録画像のむらなどの不良
もなく、良好な記録品位が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法が適用される液体吐出ヘッドについて説明するた
めの斜視図である。

【図２】図１に示した液体吐出ヘッドの、流路方向に沿
った断面図である。

【図３】本発明の第１の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法に使用される製造ラインの一部を模式的に示す図
である。

【図４】図３に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。

【図５】図３に示した製造ラインにより作製されたフィ
ルム状樹脂の平面図および断面図である。

【図６】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。

【図７】本発明の第２の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。

【図８】フィルム状樹脂にオリフィスを形成するための
レーザ加工装置を模式的に示す図である。

【図９】本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの製
造方法について説明するための図である。

【図１０】本発明の第３の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１１】本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１２】本発明の第４の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１３】本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１４】本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１５】本発明の第５の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１６】本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１７】本発明の第６の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１８】本発明の第７の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図１９】本発明の第７の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図２０】本発明の第７の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図２１】本発明の第８の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図２２】本発明の第８の実施形態の液体吐出ヘッドの
製造方法について説明するための図である。

【図２３】図１および図２に基づいて説明した液体吐出
ヘッドを搭載した液体吐出記録装置の一例であるインク
ジェット記録装置を示す斜視図である。

【図２４】従来のインクジェット記録装置に備えられる
液体吐出ヘッドについて説明するための斜視図である。

【符号の説明】

１押出成形機２ダイ３フィルム状樹脂４レリーフ型５冷却ロール６ニップロール７引き取りロール８巻き取りロール９エキシマレーザ発振器１１集光レンズ１２マスク１３レーザ４０オリフィスプレート４１吐出口（オリフィス）４２接着樹脂４４ａ、４４ｂ接合面４５凸部４６ヘッド本体４７ａ、４７ｂ凹部４８ａ、４８ｂ、４８ｃ、４８ｄ突起部５０基板（ヒータボード）５１エネルギー発生素子（ヒータ）６０天板６１流路６２液室６４供給口６００インクジェット記録装置６０１ヘッドカートリッジ６０２駆動モータ６０３、６０４駆動力伝達ギヤ６０５リードスクリュー６０６螺旋溝６０７キャリッジ６０７ａレバー６０８ガイド６０９プラテン６１０紙押さえ板６１１、６１２フォトカプラ６１３支持部材６１４キャップ部材６１５インク吸引手段６１７クリーニングブレード６１８移動部材６１９本体支持体６２０レバー６２１カムＰプリント用紙

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に前記吐出口および前記凸部を同時に連続的に形成
し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記
複数の凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを
作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項２】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための凹部が中央部にそ
れぞれ形成された前記複数の凸部を形成する工程と、前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成し、前
記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の
凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを作製す
る工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項３】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記凸部を形成するための、それぞれ独立した
複数の突起部を形成する工程と、それぞれの前記突起部の先端面の中央部にレーザを照射
することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口および前記
凸部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐
出口および前記複数の凸部が形成されてなる前記オリフ
ィスプレートを作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項４】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部、および該突起部に配置された前記吐出口を形成する
工程と、前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記凸
部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記複数の吐出
口および前記複数の凸部が形成されてなる前記オリフィ
スプレートを作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項５】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための、それぞれ独立し
た複数の凹部を有する、前記複数の凸部を形成するため
の連続した突起部を形成する工程と、前記連続した突起部の、前記凹部および前記凸部に対応
する部分を除く部分にレーザを照射することで前記凸部
を複数形成する工程と、前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成し、前
記フィルム状樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の
凸部が形成されてなる前記オリフィスプレートを作製す
る工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項６】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記吐出口を形成するための、それぞれ独立し
た複数の凹部を有する、前記複数の凸部を形成するため
の連続した突起部を形成する工程と、前記複数の凹部のそれぞれの底面にレーザを照射するこ
とで前記フィルム状樹脂に前記吐出口を複数形成する工
程と、前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記フ
ィルム状樹脂に前記凸部を複数形成し、前記フィルム状
樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形成さ
れてなる前記オリフィスプレートを作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項７】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部を形成する工程と、前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで、前記
凸部を形成するための、それぞれ独立した複数の突起部
を形成する工程と、前記独立したそれぞれの突起部の先端面の中央部にレー
ザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口お
よび前記凸部を複数形成し、前記フィルム状樹脂に前記
複数の吐出口および前記複数の凸部が形成されてなる前
記オリフィスプレートを作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項８】液体を飛翔液滴として吐出させるための
エネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子、およ
び該エネルギー発生素子がそれぞれ配置された複数の流
路を備えたヘッド本体と、前記流路とそれぞれ連通した複数の吐出口、および前記
吐出口の周囲に、前記流路内に進入して嵌合するように
前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形成された複数の凸
部を備えて前記ヘッド本体に接合されたオリフィスプレ
ートとを有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記オリフィスプレートを作製するために押出成形によ
り溶融樹脂をフィルム状に押出してフィルム状樹脂を形
成する工程と、前記フィルム状樹脂の表面に、所定の形状のレリーフ型
を備えたロールを押圧することにより、前記フィルム状
樹脂に、前記複数の凸部を形成するための連続した突起
部を形成する工程と、前記連続した突起部の、前記吐出口に対応する部分にレ
ーザを照射することで前記フィルム状樹脂に前記吐出口
を複数形成する工程と、前記連続した突起部の、前記吐出口および前記凸部に対
応する部分を除く部分にレーザを照射することで前記フ
ィルム状樹脂に前記凸部を複数形成し、前記フィルム状
樹脂に前記複数の吐出口および前記複数の凸部が形成さ
れてなる前記オリフィスプレートを作製する工程と、前記オリフィスプレートの、前記ヘッド本体との接合
面、または前記本体ヘッドの、前記オリフィスプレート
との接合面に接着剤を塗布する工程と、前記オリフィスプレートを前記接着剤により前記本体ヘ
ッドに接着する工程とを有する液体吐出ヘッドの製造方
法。
【請求項９】前記フィルム状樹脂の表面に、前記所定
の形状のレリーフ型を備えたロールを押圧する工程で
は、前記押出成形の工程でフィルム状に押出された溶融
樹脂を前記ロールによって冷却するように前記溶融樹脂
に前記ロールを押圧する請求項１〜８のいずれか１項に
記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】前記フィルム状樹脂の材料として熱可
塑性ポリマーを用いる請求項１〜９のいずれか１項に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１１】前記フィルム状樹脂の材料としてポリ
サルフォン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレン
サルファイドまたはポリエーテルエーテルケトンのうち
いずれか１つを用いる請求項１〜９のいずれか１項に記
載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１２】熱エネルギーを液体に作用させること
で起こる気泡の発生を利用して液体を吐出する液体吐出
ヘッドであって、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド
の製造方法により製造された液体吐出ヘッド。
【請求項１３】請求項１２に記載に記載の液体吐出ヘ
ッドと、該液体吐出ヘッドに供給される液体を保持する
液体容器とを有するヘッドカートリッジ。
【請求項１４】請求項１２に記載の液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドから液体を吐出させるための駆動
信号を供給する駆動信号供給手段とを有する液体吐出記
録装置。
【請求項１５】請求項１２に記載の液体吐出ヘッド
と、該液体吐出ヘッドから吐出された液体を受ける被記
録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する液体吐
出記録装置。
【請求項１６】前記液体吐出ヘッドから液体を吐出し
て被記録媒体に前記液体を付着させることで記録を行う
ものである請求項１４または１５に記載の液体吐出記録
装置。