JP2000337526A - バルブ - Google Patents
バルブInfo
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- JP2000337526A JP2000337526A JP2000110243A JP2000110243A JP2000337526A JP 2000337526 A JP2000337526 A JP 2000337526A JP 2000110243 A JP2000110243 A JP 2000110243A JP 2000110243 A JP2000110243 A JP 2000110243A JP 2000337526 A JP2000337526 A JP 2000337526A
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- gas
- outlet
- sealing
- chamber
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
- F16K1/30—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces specially adapted for pressure containers
- F16K1/301—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces specially adapted for pressure containers only shut-off valves, i.e. valves without additional means
- F16K1/302—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces specially adapted for pressure containers only shut-off valves, i.e. valves without additional means with valve member and actuator on the same side of the seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K41/00—Spindle sealings
- F16K41/10—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube
- F16K41/12—Spindle sealings with diaphragm, e.g. shaped as bellows or tube with approximately flat diaphragm
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lift Valve (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Valve-Gear Or Valve Arrangements (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【解決課題】 超高純度気体を汚染することなく、湿潤
領域が小さく容易にパージ可能で必要なときに容易に交
換可能なバルブを提供する。 【解決手段】 バルブ（１）は、気体が排出されるバル
ブ出口を有するバルブチャンバ（１５）を規定し、往復
移動可能なシーリング部材を含むバルブ本体（７）を有
する。バルブチャンバは、気体源と流体連通状態にあ
る。シーリング部材は、バルブ出口から排出された気体
の流れ方向とほぼ平行な方向で、バルブチャンバ内のバ
ルブ出口管（１９）の入り口端部を取り巻くシーリング
面（１７）との接触位置及び非接触位置の間で往復移動
する。バルブ出口管の他方の端部は、出口端部を形成す
る。
領域が小さく容易にパージ可能で必要なときに容易に交
換可能なバルブを提供する。 【解決手段】 バルブ（１）は、気体が排出されるバル
ブ出口を有するバルブチャンバ（１５）を規定し、往復
移動可能なシーリング部材を含むバルブ本体（７）を有
する。バルブチャンバは、気体源と流体連通状態にあ
る。シーリング部材は、バルブ出口から排出された気体
の流れ方向とほぼ平行な方向で、バルブチャンバ内のバ
ルブ出口管（１９）の入り口端部を取り巻くシーリング
面（１７）との接触位置及び非接触位置の間で往復移動
する。バルブ出口管の他方の端部は、出口端部を形成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超高純度気体源か
ら超高純度気体を流すバルブ装置に関する。ここで、
「超高純度」とは、５０ｐｐｍ以下の総純度を有する気
体を意味し、「気体」とは気体混合物並びに原子核気体
を包含する。
ら超高純度気体を流すバルブ装置に関する。ここで、
「超高純度」とは、５０ｐｐｍ以下の総純度を有する気
体を意味し、「気体」とは気体混合物並びに原子核気体
を包含する。
【０００２】
【従来の技術及び解決しようとする課題】超高純度気体
は、通常、貯蔵シリンダ内に保存されていて、例えば電
子製造産業など純度が基本的に要求される種々のプロセ
スで用いられる。気体が用いられるべき製造装置へのシ
リンダからの気体の流れは、シリンダに連結されている
入り口及び製造装置に導く気体導管に連結されている出
口を有するバルブによって与えられる。かようなバルブ
の基本的な機能は、流れを調節可能に制御するよりもむ
しろ、気体の流れを可能とするか若しくは防止するもの
である。
は、通常、貯蔵シリンダ内に保存されていて、例えば電
子製造産業など純度が基本的に要求される種々のプロセ
スで用いられる。気体が用いられるべき製造装置へのシ
リンダからの気体の流れは、シリンダに連結されている
入り口及び製造装置に導く気体導管に連結されている出
口を有するバルブによって与えられる。かようなバルブ
の基本的な機能は、流れを調節可能に制御するよりもむ
しろ、気体の流れを可能とするか若しくは防止するもの
である。
【０００３】かようなバルブは、幾つかの厳しい条件を
要求する。第一に、バルブは、漏出しないように緊密で
なければならない。バルブは、超高純度気体を汚染する
であろう環境中の空気又は他の周囲の大気の進入を防止
しなければならない。同様に望ましくないことは、超高
純度気体の大気中への漏出である。なぜなら、かような
気体は、有毒であるか及び／又は自然発火性であること
が多いからである。かようなバルブからの気体の漏出
は、摩耗ゆえに、特に問題である。気体の流れは、同じ
ステージにおいて、摩耗しがちなシーリング面の間の接
触に依存して発生し、よって超過時間経過により、漏出
を生じる。
要求する。第一に、バルブは、漏出しないように緊密で
なければならない。バルブは、超高純度気体を汚染する
であろう環境中の空気又は他の周囲の大気の進入を防止
しなければならない。同様に望ましくないことは、超高
純度気体の大気中への漏出である。なぜなら、かような
気体は、有毒であるか及び／又は自然発火性であること
が多いからである。かようなバルブからの気体の漏出
は、摩耗ゆえに、特に問題である。気体の流れは、同じ
ステージにおいて、摩耗しがちなシーリング面の間の接
触に依存して発生し、よって超過時間経過により、漏出
を生じる。
【０００４】バルブは、「清浄な」材料から作られてい
なければならない。つまり、気体と接触している材料
は、汚染物として作用するであろう分子又は粒子を解放
しないものでなければならない。同様に、バルブは、例
えば研磨作用又は腐食作用の原因となるバルブ材料の随
伴する分子又は粒子からの気体の流れを防止するように
構成されなければならない。汚染防止を補助するため
に、バルブを貫通する気体の流れは、特にバルブを開い
ている場合に考慮されなければならない。バルブが最初
に開かれる際には、気体はバルブ出口に向かって加速さ
れる傾向がある。気体の流れ経路が複雑すなわち乱流を
生じる場合には、気体の加速する「塊」は、バルブの内
面に衝突して、気体を汚染するバルブ材料の急激な摩耗
及び粒子の剥離を生じる。バルブはさらに、かような汚
染を最小限にするように構成されなければならず、パー
ジ工程を容易且つ効果的に達成することが必要である。
多くの製造工程は、連続的な超高純度気体の供給を必要
とする。したがって、工程の個々のステージで、第２の
気体の汚染がなく且つ気体の大気中への解放なしに、一
方の超高純度気体の供給を取り除き、他方の超高純度気
体の供給で置換することが必要である。よって、効果的
なパージが絶対的に必要である。
なければならない。つまり、気体と接触している材料
は、汚染物として作用するであろう分子又は粒子を解放
しないものでなければならない。同様に、バルブは、例
えば研磨作用又は腐食作用の原因となるバルブ材料の随
伴する分子又は粒子からの気体の流れを防止するように
構成されなければならない。汚染防止を補助するため
に、バルブを貫通する気体の流れは、特にバルブを開い
ている場合に考慮されなければならない。バルブが最初
に開かれる際には、気体はバルブ出口に向かって加速さ
れる傾向がある。気体の流れ経路が複雑すなわち乱流を
生じる場合には、気体の加速する「塊」は、バルブの内
面に衝突して、気体を汚染するバルブ材料の急激な摩耗
及び粒子の剥離を生じる。バルブはさらに、かような汚
染を最小限にするように構成されなければならず、パー
ジ工程を容易且つ効果的に達成することが必要である。
多くの製造工程は、連続的な超高純度気体の供給を必要
とする。したがって、工程の個々のステージで、第２の
気体の汚染がなく且つ気体の大気中への解放なしに、一
方の超高純度気体の供給を取り除き、他方の超高純度気
体の供給で置換することが必要である。よって、効果的
なパージが絶対的に必要である。
【０００５】この要求の結果として、バルブは、貫通し
て流れる気体を汚染してはならず、効果的なパージが容
易になされなければならず、「湿潤領域」は小さいもの
でなければならない。すなわち、気体と相互に接触する
か又は流れが生じるバルブの湿潤領域の表面積は最小で
なければならない。湿潤領域を小さくすることは、気体
の流れを汚染するかもしれない粒子が運ばれるであろう
バルブの接触可能な表面積を減少させるので、及び気体
分子が一時的に結合してパージ工程をより困難にするか
もしれないバルブの接触可能な表面積を減少させるの
で、重要である。
て流れる気体を汚染してはならず、効果的なパージが容
易になされなければならず、「湿潤領域」は小さいもの
でなければならない。すなわち、気体と相互に接触する
か又は流れが生じるバルブの湿潤領域の表面積は最小で
なければならない。湿潤領域を小さくすることは、気体
の流れを汚染するかもしれない粒子が運ばれるであろう
バルブの接触可能な表面積を減少させるので、及び気体
分子が一時的に結合してパージ工程をより困難にするか
もしれないバルブの接触可能な表面積を減少させるの
で、重要である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】したがって、本発明は、
超高純度気体と一緒に用いるためのバルブを提供する。
該バルブは、バルブチャンバを規定し、気体が排出され
るバルブ出口を有し、往復運動可能なシーリング部材を
含むバルブ本体を備える。本発明のバルブは、バルブチ
ャンバが気体源と流体連通状態にあり、シーリング部材
がバルブ出口から排出された気体の流れの方向にほぼ平
行な軸に沿って、バルブチャンバ内に配置されたシーリ
ング部材がバルブ出口管の入り口端部を取り巻くシーリ
ング面と接触する位置及び非接触位置との間で往復運動
可能であり、バルブ管の反対側の出口端部はバルブ出口
を形成し、ライニング部材はバルブ本体内に解放可能に
保持されていて、往復運動可能なシーリング部材と一緒
にバルブチャンバの一部を規定し、バルブ出口管は該バ
ルブチャンバの一部に解放可能に取り付けられている、
ことを特徴とする。
超高純度気体と一緒に用いるためのバルブを提供する。
該バルブは、バルブチャンバを規定し、気体が排出され
るバルブ出口を有し、往復運動可能なシーリング部材を
含むバルブ本体を備える。本発明のバルブは、バルブチ
ャンバが気体源と流体連通状態にあり、シーリング部材
がバルブ出口から排出された気体の流れの方向にほぼ平
行な軸に沿って、バルブチャンバ内に配置されたシーリ
ング部材がバルブ出口管の入り口端部を取り巻くシーリ
ング面と接触する位置及び非接触位置との間で往復運動
可能であり、バルブ管の反対側の出口端部はバルブ出口
を形成し、ライニング部材はバルブ本体内に解放可能に
保持されていて、往復運動可能なシーリング部材と一緒
にバルブチャンバの一部を規定し、バルブ出口管は該バ
ルブチャンバの一部に解放可能に取り付けられている、
ことを特徴とする。
【０００７】かような配置によって、湿潤領域は、バル
ブ出口管の入り口端部と出口端部との間に規定された領
域だけとなり、最小化することができる。バルブチャン
バは、気体と定常接触するかもしれないが、この容積が
パージを必要とするほどではないので許容可能である。
シーリング面がバルブチャンバ内の気体によって取り巻
かれている周縁のシールと接触するので、バルブの開放
時の気体の流れはバルブ出口管内に加速され、不必要な
制限すなわち曲げなしに設計され、気体の最初の「塊」
はバルブ材料に衝突せず、よって、気体を汚染するかも
しれない粒子の剥離を避けることができる。まさに、バ
ルブ出口管が、気体を自由に通過させることができる構
成になっているので、バルブ出口管及びバルブ出口管シ
ーリング面によって囲まれた往復運動可能なシーリング
部材の領域（湿潤領域）が容易にパージされることをも
意味する。気体の流れに露出されているバルブ出口管の
表面は、気体との反応及び／又は気体の汚染を最小にす
る適切な材料から容易に形成することができ、全体の装
置は少なくとも慣用のバルブと同じ程度の漏出に対する
緊密さとなるように構成することができる。
ブ出口管の入り口端部と出口端部との間に規定された領
域だけとなり、最小化することができる。バルブチャン
バは、気体と定常接触するかもしれないが、この容積が
パージを必要とするほどではないので許容可能である。
シーリング面がバルブチャンバ内の気体によって取り巻
かれている周縁のシールと接触するので、バルブの開放
時の気体の流れはバルブ出口管内に加速され、不必要な
制限すなわち曲げなしに設計され、気体の最初の「塊」
はバルブ材料に衝突せず、よって、気体を汚染するかも
しれない粒子の剥離を避けることができる。まさに、バ
ルブ出口管が、気体を自由に通過させることができる構
成になっているので、バルブ出口管及びバルブ出口管シ
ーリング面によって囲まれた往復運動可能なシーリング
部材の領域（湿潤領域）が容易にパージされることをも
意味する。気体の流れに露出されているバルブ出口管の
表面は、気体との反応及び／又は気体の汚染を最小にす
る適切な材料から容易に形成することができ、全体の装
置は少なくとも慣用のバルブと同じ程度の漏出に対する
緊密さとなるように構成することができる。
【０００８】非常に好ましくは、バルブ出口管の出口端
部は、連続使用のために、バルブから排出された気体を
導く手段を密閉するシーリング面によって囲まれてい
る。
部は、連続使用のために、バルブから排出された気体を
導く手段を密閉するシーリング面によって囲まれてい
る。
【０００９】この態様において、気体が用いられるべき
装置まで気体を誘導する気体導管は、バルブにシーリン
グ的に容易に取り付けられることができる。バルブ出口
管は、容易に交換可能なようにバルブから分離可能な一
体的部材であることが有利である。よって、バルブの単
一パーツを交換することによって、摩耗したすべてのこ
れらのバルブのパーツ（主としてバルブ出口管の入り口
端部及び出口端部にあるシーリング面）を非常に素早く
且つ容易に交換することができる。
装置まで気体を誘導する気体導管は、バルブにシーリン
グ的に容易に取り付けられることができる。バルブ出口
管は、容易に交換可能なようにバルブから分離可能な一
体的部材であることが有利である。よって、バルブの単
一パーツを交換することによって、摩耗したすべてのこ
れらのバルブのパーツ（主としてバルブ出口管の入り口
端部及び出口端部にあるシーリング面）を非常に素早く
且つ容易に交換することができる。
【００１０】バルブ出口端部又は少なくとも気体が貫通
して流れる内部パーツは、入り口シーリング面及び出口
シーリング面を容易に製造することができるように、好
ましくはほぼ筒状である。さらに、バルブにバルブ出口
管を嵌合させるためのネジ溝付嵌合具もまた、容易に製
造すなわち筒状本体に容易に嵌合される。出口管は、出
口管と気体との反応を最小にするような材料で形成さ
れ、表面処理されている。
して流れる内部パーツは、入り口シーリング面及び出口
シーリング面を容易に製造することができるように、好
ましくはほぼ筒状である。さらに、バルブにバルブ出口
管を嵌合させるためのネジ溝付嵌合具もまた、容易に製
造すなわち筒状本体に容易に嵌合される。出口管は、出
口管と気体との反応を最小にするような材料で形成さ
れ、表面処理されている。
【００１１】バルブチャンバは、バルブ出口管の入り口
端部にほぼ環状に配設されているので、バルブが開いて
シーリング部材がバルブ出口管の入り口端部におけるシ
ーリング面から離隔する方向に移動する際に、気体は比
較的自由な流れ経路でバルブ出口管に入り、出口管へ及
び出口管を貫通する均一な気体の流れを作り出し、気体
の流れによるバルブ出口管の内面への衝突及び／又は摩
擦をできる限り最小化する。
端部にほぼ環状に配設されているので、バルブが開いて
シーリング部材がバルブ出口管の入り口端部におけるシ
ーリング面から離隔する方向に移動する際に、気体は比
較的自由な流れ経路でバルブ出口管に入り、出口管へ及
び出口管を貫通する均一な気体の流れを作り出し、気体
の流れによるバルブ出口管の内面への衝突及び／又は摩
擦をできる限り最小化する。
【００１２】バルブチャンバは、バルブ出口管の入り口
端部のまわりにほぼ環状に配設されていてもよい。この
場合には、バルブが開いてシーリング部材がバルブ出口
管の入り口端部におけるシーリング面から離隔する方向
に移動する際に、気体は比較的自由にバルブ出口管内に
流れ、均一な気体の流れを促進し、バルブ出口管の内面
を流れる気体による危険な衝突及び／又は剥離を最小化
する。
端部のまわりにほぼ環状に配設されていてもよい。この
場合には、バルブが開いてシーリング部材がバルブ出口
管の入り口端部におけるシーリング面から離隔する方向
に移動する際に、気体は比較的自由にバルブ出口管内に
流れ、均一な気体の流れを促進し、バルブ出口管の内面
を流れる気体による危険な衝突及び／又は剥離を最小化
する。
【００１３】シーリング部材は、好ましくは、弾性ダイ
アフラムに取り付けられる。弾性ダイアフラムは、バル
ブ出口とは反対側でバルブチャンバを密閉するように構
成されている。当業分野で公知のように、アクチュエー
タは、ダイアフラムの背面に設けられていて、シーリン
グ部材を往復運動させて、バルブを開閉し、一方、ダイ
アフラムを撓ませ、バルブチャンバを周囲の環境から密
閉したまま維持する。
アフラムに取り付けられる。弾性ダイアフラムは、バル
ブ出口とは反対側でバルブチャンバを密閉するように構
成されている。当業分野で公知のように、アクチュエー
タは、ダイアフラムの背面に設けられていて、シーリン
グ部材を往復運動させて、バルブを開閉し、一方、ダイ
アフラムを撓ませ、バルブチャンバを周囲の環境から密
閉したまま維持する。
【００１４】バルブチャンバは、バルブ本体及び往復運
動可能なシーリング部材に解放可能に含まれているライ
ニング部材によって、少なくとも部分的に規定される。
このライニング部材は、摩耗により必要とされる場合
に、不利な反応を防止し、異なる種類の気体と一緒に用
いられるべきバルブを最適に機能させるために、容易に
交換することができる。
動可能なシーリング部材に解放可能に含まれているライ
ニング部材によって、少なくとも部分的に規定される。
このライニング部材は、摩耗により必要とされる場合
に、不利な反応を防止し、異なる種類の気体と一緒に用
いられるべきバルブを最適に機能させるために、容易に
交換することができる。
【００１５】気体が供給されているシリンダから生じる
汚染を最小化するために、ディップチューブは、バルブ
からシリンダの内部まで延在してもよい。ディップチュ
ーブは、例えばベル口を介して、シリンダの内壁から所
定距離のポイントから、シリンダからの気体を自由に流
すことができるようになされている。ディップチューブ
は、当該技術分野で公知である。
汚染を最小化するために、ディップチューブは、バルブ
からシリンダの内部まで延在してもよい。ディップチュ
ーブは、例えばベル口を介して、シリンダの内壁から所
定距離のポイントから、シリンダからの気体を自由に流
すことができるようになされている。ディップチューブ
は、当該技術分野で公知である。
【００１６】
【好ましい実施形態】以下、添付図面を参照しながら、
超高純度気体を用いるバルブの実施形態を例として、本
発明をさらに詳細に説明する。
超高純度気体を用いるバルブの実施形態を例として、本
発明をさらに詳細に説明する。
【００１７】バルブ１は、気体シリンダ３及び導管５に
連結されて示されている。導管５は、シリンダ３内の超
高純度気体の供給を必要とする装置（図示せず）まで、
超高純度気体を誘導する。これらの連結は、当該技術分
野で公知のように、標準ネジ溝３ａ、５ａによってなさ
れる。バルブ１は、シーリング部材９を含む本体７を具
備する。シーリング部材９は、アクチュエータ１１によ
って、（図示する例において、水平軸に沿って）往復運
動可能である。シーリング部材９の端部におけるシーリ
ング面１３（当該技術分野で公知のように、柔らかいシ
ーリング材料からなる）は、バルブチャンバ１５内で、
バルブ入り口管１９の入り口端部に形成されている環状
シーリング面１７との接触位置及び非接触位置の間で移
動する。他方のバルブ入り口管１９の出口端部は、柔ら
かい材料のシーリングワッシャ２３に対してシール作用
を奏する別の環状シーリング面２１を有する。環状シー
リング面２１は、当該技術分野で公知のように、導管５
の環状シーリング面２５に対してもシール作用を奏す
る。
連結されて示されている。導管５は、シリンダ３内の超
高純度気体の供給を必要とする装置（図示せず）まで、
超高純度気体を誘導する。これらの連結は、当該技術分
野で公知のように、標準ネジ溝３ａ、５ａによってなさ
れる。バルブ１は、シーリング部材９を含む本体７を具
備する。シーリング部材９は、アクチュエータ１１によ
って、（図示する例において、水平軸に沿って）往復運
動可能である。シーリング部材９の端部におけるシーリ
ング面１３（当該技術分野で公知のように、柔らかいシ
ーリング材料からなる）は、バルブチャンバ１５内で、
バルブ入り口管１９の入り口端部に形成されている環状
シーリング面１７との接触位置及び非接触位置の間で移
動する。他方のバルブ入り口管１９の出口端部は、柔ら
かい材料のシーリングワッシャ２３に対してシール作用
を奏する別の環状シーリング面２１を有する。環状シー
リング面２１は、当該技術分野で公知のように、導管５
の環状シーリング面２５に対してもシール作用を奏す
る。
【００１８】バルブ出口管は、ネジ溝２７ａによってラ
イニング部材２７内にシールされている。ライニング部
材２７は、弾性ダイアフラム２９によって、本体７内に
スライドし及び本体７内に解放可能に保持されている。
弾性ダイアフラム２９には、シーリング部材９が取り付
けられている。ディップチューブ３１には、シリンダ３
からバルブチャンバ１５まで気体を流す導管が設けられ
ている。
イニング部材２７内にシールされている。ライニング部
材２７は、弾性ダイアフラム２９によって、本体７内に
スライドし及び本体７内に解放可能に保持されている。
弾性ダイアフラム２９には、シーリング部材９が取り付
けられている。ディップチューブ３１には、シリンダ３
からバルブチャンバ１５まで気体を流す導管が設けられ
ている。
【００１９】ダイアフラム２９は、ライニング部材２７
に対して（例えば溶接によって）、及びアクチュエータ
シーリング装置３３によってバルブ本体７の内壁に、シ
ーリング的に保持されている。アクチュエータシーリン
グ装置３３は、さらに、バルブ本体７の突出する肩部３
５に対してロックされているライニング部材２７を保持
する作用も奏する。
に対して（例えば溶接によって）、及びアクチュエータ
シーリング装置３３によってバルブ本体７の内壁に、シ
ーリング的に保持されている。アクチュエータシーリン
グ装置３３は、さらに、バルブ本体７の突出する肩部３
５に対してロックされているライニング部材２７を保持
する作用も奏する。
【００２０】導管５は、ネジ溝５ａによって、取り付け
部材３７に、解放可能に取り付けられている。取り付け
部材３７は、バルブ本体７のリセス３９内に嵌合するよ
うに形成されている。この配置は、取り付け部材３７が
図面において水平軸に沿って右から左にリセス３９にス
ライドできるが、取り付け部材３７はバルブ本体７に対
する軸回転はできないようにする。これは、リセス３９
に嵌合する取り付け部材３７のパーツを六角形で「ナッ
ト形状」プロファイルに形成し、対応してリセス３９の
形状を形成することによって、利便に達成される。取り
付け部材３７は、スクリューキャップ４１によって、本
体７に対して解放可能にしかし密閉的に保持される。こ
の取り付け部材３７とスクリューキャップ４１との配置
は、導管５を本体１に取り付けるためにスクリューネジ
溝５ａを締め付ける際に与えられて且つバルブの別のパ
ーツ（特にバルブ出口管１９及びそのシーリング面１
７，２１）に伝達されるトルクを防止し、ユーザーが導
管をバルブに締め付ける大きな手（ham-fisted）によっ
てしばしば生じるダメージを防止する補助となるので、
非常に有利な効果となる。
部材３７に、解放可能に取り付けられている。取り付け
部材３７は、バルブ本体７のリセス３９内に嵌合するよ
うに形成されている。この配置は、取り付け部材３７が
図面において水平軸に沿って右から左にリセス３９にス
ライドできるが、取り付け部材３７はバルブ本体７に対
する軸回転はできないようにする。これは、リセス３９
に嵌合する取り付け部材３７のパーツを六角形で「ナッ
ト形状」プロファイルに形成し、対応してリセス３９の
形状を形成することによって、利便に達成される。取り
付け部材３７は、スクリューキャップ４１によって、本
体７に対して解放可能にしかし密閉的に保持される。こ
の取り付け部材３７とスクリューキャップ４１との配置
は、導管５を本体１に取り付けるためにスクリューネジ
溝５ａを締め付ける際に与えられて且つバルブの別のパ
ーツ（特にバルブ出口管１９及びそのシーリング面１
７，２１）に伝達されるトルクを防止し、ユーザーが導
管をバルブに締め付ける大きな手（ham-fisted）によっ
てしばしば生じるダメージを防止する補助となるので、
非常に有利な効果となる。
【００２１】バルブ１は、シーリング面１３がバルブ出
口管１９のシーリング面１７に対してしっかりと押しつ
けられている閉鎖位置において示されている。したがっ
て、超高純度気体は、シリンダ３、及びディップチュー
ブ３１を介して、ライニング部材２７とダイアフラム２
９とバルブ出口管１９の入り口端部とによって規定され
るバルブチャンバ１５内に密閉されていて、高純度気体
は、バルブ出口管１９を貫通してバルブ１の外に出て導
管５内に導く導管４３には流れることはできない。
口管１９のシーリング面１７に対してしっかりと押しつ
けられている閉鎖位置において示されている。したがっ
て、超高純度気体は、シリンダ３、及びディップチュー
ブ３１を介して、ライニング部材２７とダイアフラム２
９とバルブ出口管１９の入り口端部とによって規定され
るバルブチャンバ１５内に密閉されていて、高純度気体
は、バルブ出口管１９を貫通してバルブ１の外に出て導
管５内に導く導管４３には流れることはできない。
【００２２】バルブを開くと、シーリング部材９は、ア
クチュエータ１１によって、（図面において右から左
に）バルブ出口管１９から離れるように引かれて、各シ
ーリング面１３，１７の間のシーリング接触を中断させ
る。気体は、バルブ１の外に排出されるようにシーリン
グ面１７の周囲全体から導管４３内に流れる。装置は、
気体の「塊」衝突及び導管４３の壁の汚染を生じさせる
かもしれない摩耗を最小化して、導管４３の断面を横断
して均一な気体の流れが可能なようになされている。
クチュエータ１１によって、（図面において右から左
に）バルブ出口管１９から離れるように引かれて、各シ
ーリング面１３，１７の間のシーリング接触を中断させ
る。気体は、バルブ１の外に排出されるようにシーリン
グ面１７の周囲全体から導管４３内に流れる。装置は、
気体の「塊」衝突及び導管４３の壁の汚染を生じさせる
かもしれない摩耗を最小化して、導管４３の断面を横断
して均一な気体の流れが可能なようになされている。
【００２３】バルブ１を閉じると、シーリング部材９及
びダイアフラム２９は、再び、図示された位置に戻り、
シーリング面１３，１７はシーリング接触するようにな
る。こうして、気体はバルブチャンバ１５に収納され
る。次いで、バルブ１は（例えば導管５からバルブ１を
外すため）容易にパージ可能である。なぜなら、パージ
を必要とする気体によって「湿潤された」領域は、比較
的小さなサイズ並びにその「直線状貫通」ゆえに容易に
パージされる導管４３及びほぼ筒状のバルブ出口管１９
の内面だけだからである。
びダイアフラム２９は、再び、図示された位置に戻り、
シーリング面１３，１７はシーリング接触するようにな
る。こうして、気体はバルブチャンバ１５に収納され
る。次いで、バルブ１は（例えば導管５からバルブ１を
外すため）容易にパージ可能である。なぜなら、パージ
を必要とする気体によって「湿潤された」領域は、比較
的小さなサイズ並びにその「直線状貫通」ゆえに容易に
パージされる導管４３及びほぼ筒状のバルブ出口管１９
の内面だけだからである。
【００２４】最も摩耗しやすいバルブのパーツは、バル
ブ出口管１９の入り口端部又は出口端部のいずれかの端
部におけるシーリング面１３及び２１である。シーリン
グ面１３及び２１を一体的なバルブ出口管１９の両端部
に配設することによって、及びシーリング面１３及び２
１を形成する材料を柔らかな材料とすることによって、
かような摩耗はある程度まで改善される。バルブ出口管
１９は、シーリング面が知覚され得ない程度に摩耗した
とき、交換のために容易に取り外すことができる。例え
ば、スクリューキャップ４１のネジを緩めたり、取り付
け部材３７をスライドさせて外したりするだけで、バル
ブ出口管１９を外すことができる（これは、シリンダ３
がほぼ空になったときにのみなされることは明らかであ
る）。
ブ出口管１９の入り口端部又は出口端部のいずれかの端
部におけるシーリング面１３及び２１である。シーリン
グ面１３及び２１を一体的なバルブ出口管１９の両端部
に配設することによって、及びシーリング面１３及び２
１を形成する材料を柔らかな材料とすることによって、
かような摩耗はある程度まで改善される。バルブ出口管
１９は、シーリング面が知覚され得ない程度に摩耗した
とき、交換のために容易に取り外すことができる。例え
ば、スクリューキャップ４１のネジを緩めたり、取り付
け部材３７をスライドさせて外したりするだけで、バル
ブ出口管１９を外すことができる（これは、シリンダ３
がほぼ空になったときにのみなされることは明らかであ
る）。
【００２５】ライニング部材２７及び／又はバルブ出口
管１９は、（例えば、シリンダ３が空になり、バルブ１
を別の気体（混合物）のために用いる場合であって、ラ
イニング部材２７及びバルブ出口管１９を形成する材料
が互換性のないものである場合）単にディップチューブ
３１を取り除き、次いでアクチュエータシーリングアセ
ンブリ３３をシーリング部材９及びダイアフラム２９と
一緒にバルブ本体７から取り除き、ライニング部材２７
及びバルブ出口管１９をスライドさせて、バルブ本体７
から取り除いて、容易に交換することができる。
管１９は、（例えば、シリンダ３が空になり、バルブ１
を別の気体（混合物）のために用いる場合であって、ラ
イニング部材２７及びバルブ出口管１９を形成する材料
が互換性のないものである場合）単にディップチューブ
３１を取り除き、次いでアクチュエータシーリングアセ
ンブリ３３をシーリング部材９及びダイアフラム２９と
一緒にバルブ本体７から取り除き、ライニング部材２７
及びバルブ出口管１９をスライドさせて、バルブ本体７
から取り除いて、容易に交換することができる。
【図１】図１は、本発明のバルブの一実施形態を示す断
面図である。
面図である。
１：バルブ ７：バルブ本体 ９：シーリング部材 １５：バルブチャンバ １９：バルブ出口管 ２７：ライニング部材 １３，１７，２１，２５：シーリング面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１７Ｃ 13/04 ３０１ Ｆ１７Ｃ 13/04 ３０１Ｚ (72)発明者 リチャード・ホグル アメリカ合衆国カリフォルニア州92056, オーシャンサイド，メリック・コート 4654 (72)発明者 ピーター・バックリー アメリカ合衆国カリフォルニア州92009, カールスバッド，アベダル・ストリート 2623 (72)発明者 ケン・クロス アメリカ合衆国カリフォルニア州92007, カーディフ，カミニト・セプティモ 1220 (72)発明者 デービッド・バーチ イギリス国ジーユー35・９エイチビー，ボ ーデン，ホワイトホール，ザ・リンクス ２ (72)発明者 井上 和弥 長野県伊那市伊那部1946 (72)発明者 ジャック・ワート アメリカ合衆国ニュージャージー州08560, タイタスビル，ベサニ・アベニュー 10
Claims (7)
- 【請求項１】 往復移動可能なシーリング部材を含み気
体が排出されるバルブ出口を有するバルブチャンバを規
定するバルブ本体を具備する超高純度気体と一緒に用い
るためのバルブであって、 上記バルブチャンバは、超高純度気体源と流体連通状態
にあり、 上記シーリング部材は、上記バルブ出口から排出される
気体の流れ方向にほぼ平行な軸に沿って、上記バルブチ
ャンバ内に配置されたバルブ出口管の入り口端部の周囲
を取り巻くシーリング面とのシーリング接触位置及び非
接触位置の間で往復移動可能で、バルブ出口管の反対側
の出口端部はバルブ出口を形成し、 ライニング部材は、解放可能に上記バルブ本体内に保持
されていて、上記往復移動可能なシーリング部材と一緒
に上記バルブチャンバの一部を規定し、上記バルブ出口
管はバルブチャンバの一部に解放可能に取り付けられて
いる、ことを特徴とするバルブ。 - 【請求項２】 請求項１のバルブであって、前記バルブ
出口管の出口端部は、連続使用のためにバルブから排出
された気体を導通する手段をシーリングするためのシー
リング面によって取り囲まれている、ことを特徴とする
バルブ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２のバルブであっ
て、前記バルブ出口管は、一体的に又は別々に除去可能
であることを特徴とするバルブ。 - 【請求項４】 請求項１〜請求項３のいずれか１のバル
ブであって、前記バルブ出口管は、ほぼ筒状である、こ
とを特徴とするバルブ。 - 【請求項５】 請求項１〜請求項４のいずれか１のバル
ブであって、前記バルブチャンバは、前記バルブ出口管
の入り口端部の回りにほぼ環状に配設されている、こと
を特徴とするバルブ。 - 【請求項６】 請求項１〜請求項５のいずれか１のバル
ブであって、 前記シーリング部材が取り付けられる可撓性ダイアフラ
ムを備え、上記ダイアフラムは前記バルブ出口とは反対
側で、バルブチャンバを密閉するように構成されてい
る、ことを特徴とするバルブ。 - 【請求項７】 請求項１〜請求項６のいずれか１のバル
ブであって、 気体を含有するシリンダに取り付けられているときに、
前記バルブチャンバから上記シリンダ内部にまで延在す
るディップチューブを備え、気体を上記シリンダの壁か
らの所定距離にある上記ディップチューブを介して、上
記シリンダから前記バルブチャンバへ自在に流すことを
可能とする、ことを特徴とするバルブ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GBGB9910493.7A GB9910493D0 (en) | 1999-05-06 | 1999-05-06 | Valves |
| GB9910493.7 | 1999-05-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000337526A true JP2000337526A (ja) | 2000-12-05 |
| JP4629829B2 JP4629829B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=10852932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000110243A Expired - Fee Related JP4629829B2 (ja) | 1999-05-06 | 2000-04-12 | バルブ |
Country Status (8)
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|---|---|
| US (1) | US6361020B1 (ja) |
| EP (1) | EP1050701B1 (ja) |
| JP (1) | JP4629829B2 (ja) |
| CN (1) | CN1179140C (ja) |
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| CA (1) | CA2302093A1 (ja) |
| DE (1) | DE60011703D1 (ja) |
| GB (1) | GB9910493D0 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020166543A1 (ja) * | 2019-02-14 | 2020-08-20 | 株式会社ネリキ | 接続ユニット及び接続構造 |
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|---|---|---|---|---|
| JP4049084B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 流体制御弁および液滴吐出装置 |
| CN103032580B (zh) * | 2012-12-27 | 2014-11-05 | 吴忠中创自控阀有限公司 | 多级节流调节阀 |
| CN104455499A (zh) * | 2014-11-28 | 2015-03-25 | 王驭舟 | 组合密封截止阀 |
| CN111257748B (zh) * | 2020-04-02 | 2022-05-20 | 山东泰开高压开关有限公司 | 一种保压快速更换部件的装置、测试装置及方法 |
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| US4638833A (en) * | 1984-11-29 | 1987-01-27 | Atlantic Richfield Company | Choke valve |
| US4660598A (en) * | 1986-01-13 | 1987-04-28 | Spraying Systems Co. | Diaphragm-type antidrip valve |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US2302029A (en) * | 1938-03-04 | 1942-11-17 | Squibb & Sons Inc | Valve apparatus |
| FR2138540B1 (ja) * | 1971-05-27 | 1973-05-25 | Alsthom | |
| US4010769A (en) * | 1972-11-27 | 1977-03-08 | Plast-O-Matic Valves, Inc. | Leak detection arrangement for valve having sealing means |
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| US5810031A (en) * | 1996-02-21 | 1998-09-22 | Aeroquip Corporation | Ultra high purity gas distribution component with integral valved coupling and methods for its use |
-
1999
- 1999-05-06 GB GBGB9910493.7A patent/GB9910493D0/en not_active Ceased
-
2000
- 2000-01-12 US US09/481,583 patent/US6361020B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-24 CA CA002302093A patent/CA2302093A1/en not_active Abandoned
- 2000-04-05 EP EP00302891A patent/EP1050701B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-05 DE DE60011703T patent/DE60011703D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-05 AT AT00302891T patent/ATE269950T1/de not_active IP Right Cessation
- 2000-04-12 JP JP2000110243A patent/JP4629829B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-04-30 CN CNB00108240XA patent/CN1179140C/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| ATE269950T1 (de) | 2004-07-15 |
| CN1179140C (zh) | 2004-12-08 |
| CN1273336A (zh) | 2000-11-15 |
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| GB9910493D0 (en) | 1999-07-07 |
| CA2302093A1 (en) | 2000-11-06 |
| EP1050701B1 (en) | 2004-06-23 |
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| EP1050701A3 (en) | 2002-08-14 |
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