JP2000338121A - 回転センサの評価装置及びその評価方法 - Google Patents
回転センサの評価装置及びその評価方法Info
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- JP2000338121A JP2000338121A JP11150285A JP15028599A JP2000338121A JP 2000338121 A JP2000338121 A JP 2000338121A JP 11150285 A JP11150285 A JP 11150285A JP 15028599 A JP15028599 A JP 15028599A JP 2000338121 A JP2000338121 A JP 2000338121A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転センサの定量的な評価を行うことがで
き、回転センサに損傷を与える危険もない回転センサの
評価装置及びその評価方法を提供する。 【解決手段】 バイアス磁束を発生させるための1組の
バイアス磁束発生用コイル12間に、磁束に変化を与え
るもう1組の磁束変動用コイル13を設け、該磁束変動
用コイル13間に、評価を行う回転センサ31の感磁部
を配置している。そして、バイアス磁束発生用コイル1
2は、鉄心ヨーク11の間隙を挟んだ両端に巻き付けら
れて配置され、磁束変動用コイル13は、内側直径とコ
イル間の距離が同じにされたヘルムホルツ構造にするこ
とで解決している。
き、回転センサに損傷を与える危険もない回転センサの
評価装置及びその評価方法を提供する。 【解決手段】 バイアス磁束を発生させるための1組の
バイアス磁束発生用コイル12間に、磁束に変化を与え
るもう1組の磁束変動用コイル13を設け、該磁束変動
用コイル13間に、評価を行う回転センサ31の感磁部
を配置している。そして、バイアス磁束発生用コイル1
2は、鉄心ヨーク11の間隙を挟んだ両端に巻き付けら
れて配置され、磁束変動用コイル13は、内側直径とコ
イル間の距離が同じにされたヘルムホルツ構造にするこ
とで解決している。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、感磁部にホール素
子等を有する回転センサの磁気的および電気的評価を行
うための回転センサの評価装置及びその評価方法に関す
るものである。
子等を有する回転センサの磁気的および電気的評価を行
うための回転センサの評価装置及びその評価方法に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】図3は、回転センサ31の外観図を示し
たものである。
たものである。
【0003】図3に示すように、7ミリ角のパッケージ
32の中心に感磁部である回転検知用のホール素子とそ
の信号を処理するICチップが一緒に封入されている。
この回転センサ31の3つの端子のうち一つは電源供給
端子33であり、もう一つは接地接続端子34で、最後
は信号出力端子35である。
32の中心に感磁部である回転検知用のホール素子とそ
の信号を処理するICチップが一緒に封入されている。
この回転センサ31の3つの端子のうち一つは電源供給
端子33であり、もう一つは接地接続端子34で、最後
は信号出力端子35である。
【0004】この回転センサ31は、電源供給端子33
に、例えば、5ボルトの電圧を加えたときの信号出力端
子35の電圧が、0磁界中で2.5ボルト発生し、0.
5テスラの磁束密度を与えると120ミリボルト変化す
るものである。また、ICチップは、アナログ波をデジ
タル波に変換するものである。
に、例えば、5ボルトの電圧を加えたときの信号出力端
子35の電圧が、0磁界中で2.5ボルト発生し、0.
5テスラの磁束密度を与えると120ミリボルト変化す
るものである。また、ICチップは、アナログ波をデジ
タル波に変換するものである。
【0005】このような回転センサ31は、例えば、回
転系に設けられた金属製の歯車の外周に、回転センサ3
1の感磁部が近接するように設置し、その歯車の外周と
回転センサ31を貫くように永久磁石などで一定の磁束
を与え、回転センサ31の出力電圧をモニタすること
で、その出力電圧の周期的変化から回転数を検出するよ
うになっている。
転系に設けられた金属製の歯車の外周に、回転センサ3
1の感磁部が近接するように設置し、その歯車の外周と
回転センサ31を貫くように永久磁石などで一定の磁束
を与え、回転センサ31の出力電圧をモニタすること
で、その出力電圧の周期的変化から回転数を検出するよ
うになっている。
【0006】この回転センサの感磁部のホール素子の動
作の健全性を検出するには、回転センサの磁気的および
電気的評価を行う必要がある。
作の健全性を検出するには、回転センサの磁気的および
電気的評価を行う必要がある。
【0007】この回転センサの磁気的および電気的評価
には、回転センサに周期的な磁束変化を与える必要があ
る。
には、回転センサに周期的な磁束変化を与える必要があ
る。
【0008】従来は、永久磁石によりバイアス磁束を与
え、そのバイアス磁束を与えたものと、金属製の歯車等
を回転センサの表面に通過させることによって周期的な
磁束変化を与えたものとの双方で回転センサの磁気的、
電気的評価を行っている。
え、そのバイアス磁束を与えたものと、金属製の歯車等
を回転センサの表面に通過させることによって周期的な
磁束変化を与えたものとの双方で回転センサの磁気的、
電気的評価を行っている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、バイア
ス磁束として永久磁石を用いるので、永久磁石が経時的
に減磁を起こしたり、永久磁石によって歯車が磁化され
たり、永久磁石によって磁気的な変動を与えているため
にキャリブレーションが容易にできず定量的な評価が行
えない問題がある。
ス磁束として永久磁石を用いるので、永久磁石が経時的
に減磁を起こしたり、永久磁石によって歯車が磁化され
たり、永久磁石によって磁気的な変動を与えているため
にキャリブレーションが容易にできず定量的な評価が行
えない問題がある。
【0010】また、歯車を回転させて磁束変化を与える
評価方法は、回転センサの動作確認しか行えない。すな
わち、動作、不動作の判定しか行えない。
評価方法は、回転センサの動作確認しか行えない。すな
わち、動作、不動作の判定しか行えない。
【0011】この歯車を回転させて磁束変化を与えて評
価する場合、回転センサの表面と歯車の表面の空隙によ
って検出する電圧が変動し、回転センサの表面と歯車の
表面の空隙を大きくすると磁束の変化が小さくなり、回
転センサの評価を行うことができない。一方、空隙を小
さくすると金属製歯車が回転センサの表面と接触し、回
転センサの表面に損傷を与えてしまう危険がある。
価する場合、回転センサの表面と歯車の表面の空隙によ
って検出する電圧が変動し、回転センサの表面と歯車の
表面の空隙を大きくすると磁束の変化が小さくなり、回
転センサの評価を行うことができない。一方、空隙を小
さくすると金属製歯車が回転センサの表面と接触し、回
転センサの表面に損傷を与えてしまう危険がある。
【0012】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
で、回転センサの定量的な評価を行うことができ、回転
センサに損傷を与える危険もない回転センサの評価装置
及びその評価方法を提供することを目的とする。
で、回転センサの定量的な評価を行うことができ、回転
センサに損傷を与える危険もない回転センサの評価装置
及びその評価方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ホール素子もしくは磁気抵抗素子を感磁部
に設けた回転センサの磁気的および電気的評価を行うた
めの回転センサの評価装置において、バイアス磁束を発
生させるための1組のバイアス磁束発生用コイル間に、
磁束に変化を与えるもう1組の磁束変動用コイルを設
け、該磁束変動用コイル間に、評価を行う回転センサの
感磁部を配置している。そして、バイアス磁束発生用コ
イルは、鉄心ヨークの間隙を挟んだ両端に巻き付けられ
て配置され、磁束変動用コイルは、内側直径とコイル間
の距離が同じにされたヘルムホルツ構造である。
するために、ホール素子もしくは磁気抵抗素子を感磁部
に設けた回転センサの磁気的および電気的評価を行うた
めの回転センサの評価装置において、バイアス磁束を発
生させるための1組のバイアス磁束発生用コイル間に、
磁束に変化を与えるもう1組の磁束変動用コイルを設
け、該磁束変動用コイル間に、評価を行う回転センサの
感磁部を配置している。そして、バイアス磁束発生用コ
イルは、鉄心ヨークの間隙を挟んだ両端に巻き付けられ
て配置され、磁束変動用コイルは、内側直径とコイル間
の距離が同じにされたヘルムホルツ構造である。
【0014】上記構成により、本発明の回転センサの評
価装置は、回転センサの定量的な評価を行うことがで
き、回転センサに損傷を与える危険もない回転センサの
評価装置及びその評価方法が実現できる。
価装置は、回転センサの定量的な評価を行うことがで
き、回転センサに損傷を与える危険もない回転センサの
評価装置及びその評価方法が実現できる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を添付
図面にしたがって説明する。
図面にしたがって説明する。
【0016】図1は、本発明の実施形態の一つである回
転センサの評価装置の横断面図を示したものである。
転センサの評価装置の横断面図を示したものである。
【0017】図1に示すように、鉄心ヨーク11の間隙
を挟んだ両端に、銅線を巻き付けて1組のバイアス磁束
発生用コイル12を設け、そのバイアス磁束発生用コイ
ル12間に、もう1組の磁束変動用コイル13を設ける
と共に、この磁束変動用コイル13間に評価する回転セ
ンサ31の感磁部を配置している。
を挟んだ両端に、銅線を巻き付けて1組のバイアス磁束
発生用コイル12を設け、そのバイアス磁束発生用コイ
ル12間に、もう1組の磁束変動用コイル13を設ける
と共に、この磁束変動用コイル13間に評価する回転セ
ンサ31の感磁部を配置している。
【0018】ここで用いるバイアス磁束発生用コイル1
2は、鉄製(FC20)で直径25ミリメートルのC字
形のヨーク11の間隙を挟んだ両端に、直径1ミリメー
トルのエナメル被覆の銅線を巻き付けてコイル状にす
る。コイル状にした後に、直径100ミリメートルのス
テンレス管に挿入した後、エポキシ樹脂で含浸してバイ
アス磁束発生用コイル12を製作する。
2は、鉄製(FC20)で直径25ミリメートルのC字
形のヨーク11の間隙を挟んだ両端に、直径1ミリメー
トルのエナメル被覆の銅線を巻き付けてコイル状にす
る。コイル状にした後に、直径100ミリメートルのス
テンレス管に挿入した後、エポキシ樹脂で含浸してバイ
アス磁束発生用コイル12を製作する。
【0019】そして、磁束変動用コイル13は、直径
0.2ミリメートルのエナメル被覆の銅線を内径3ミリ
メートル、外径5ミリメートル、高さ5ミリメートルと
なるよう巻き、板厚5ミリメートルのベークライト板に
穴を開け、その中にコイルを入れてエポキシ樹脂を含浸
して製作した。
0.2ミリメートルのエナメル被覆の銅線を内径3ミリ
メートル、外径5ミリメートル、高さ5ミリメートルと
なるよう巻き、板厚5ミリメートルのベークライト板に
穴を開け、その中にコイルを入れてエポキシ樹脂を含浸
して製作した。
【0020】この2つのコイルのインダクタンスを測定
したところ、バイアス磁束発生用コイル12は40ヘン
リー、磁束変動用コイル13は約220ヘンリーになっ
た。
したところ、バイアス磁束発生用コイル12は40ヘン
リー、磁束変動用コイル13は約220ヘンリーになっ
た。
【0021】まず、上記構成である本発明の回転センサ
の評価装置の評価方法の手順を説明する。
の評価装置の評価方法の手順を説明する。
【0022】図2は、本発明の回転センサの評価装置に
おける評価方法のフローチャートを示したものである。
おける評価方法のフローチャートを示したものである。
【0023】図2に示すように、まず、F1で評価を開
始し、F2で評価する回転センサを磁束変動用コイル間
に設置する。そして、F3で、回転センサの信号出力端
子に電圧計を取り付ける。さらに、F4で回転センサの
電源供給端子に駆動電圧を印可する。この後、F5でバ
イアス磁束発生用コイルに通電する。
始し、F2で評価する回転センサを磁束変動用コイル間
に設置する。そして、F3で、回転センサの信号出力端
子に電圧計を取り付ける。さらに、F4で回転センサの
電源供給端子に駆動電圧を印可する。この後、F5でバ
イアス磁束発生用コイルに通電する。
【0024】次に、F6で磁束変動用コイルの通電電流
の振幅値を任意に設定し、F7で磁束変動用コイルに電
流を1周期分通電する。その後、step1の判断で回
転センサの動作確認を行う。
の振幅値を任意に設定し、F7で磁束変動用コイルに電
流を1周期分通電する。その後、step1の判断で回
転センサの動作確認を行う。
【0025】ここで、評価する回転センサが動作したと
きは(Yes)、F8でそのときの回転センサの出力電
圧の最大振幅値を記録し、F9で評価を終了する。
きは(Yes)、F8でそのときの回転センサの出力電
圧の最大振幅値を記録し、F9で評価を終了する。
【0026】step1の判断で、回転センサが動作し
ないときは(No)、もう一度F6に戻って、磁束変動
用コイル13の通電電流の振幅値を変え、F7で磁束変
動用コイルに電流を1周期分通電して、step1で、
再評価を行う。
ないときは(No)、もう一度F6に戻って、磁束変動
用コイル13の通電電流の振幅値を変え、F7で磁束変
動用コイルに電流を1周期分通電して、step1で、
再評価を行う。
【0027】次に、以上のフローチャートに基づいて、
図3に示した回転センサ31の評価方法をより具体的に
説明する。
図3に示した回転センサ31の評価方法をより具体的に
説明する。
【0028】まず、回転センサ31は、電源供給端子3
3に、5ボルトの電圧を加えたときの信号出力端子35
の電圧が、0磁界中で2.5ボルト発生し、0.5テス
ラの磁束密度を与えると120ミリボルト変化するもの
を用いた。
3に、5ボルトの電圧を加えたときの信号出力端子35
の電圧が、0磁界中で2.5ボルト発生し、0.5テス
ラの磁束密度を与えると120ミリボルト変化するもの
を用いた。
【0029】この回転センサ31を、図1で説明したよ
うに、磁束変動用コイル13間に設置し、回転センサ3
1の電源供給端子33に定電圧電源より入力側に駆動電
圧5ボルトを印可し、出力側には電圧計で出力電圧をモ
ニタする。
うに、磁束変動用コイル13間に設置し、回転センサ3
1の電源供給端子33に定電圧電源より入力側に駆動電
圧5ボルトを印可し、出力側には電圧計で出力電圧をモ
ニタする。
【0030】そしてバイアス磁束発生用コイル15に、
0.3テスラの磁束密度が発生するように電流を通電
し、磁束変動用コイル13には、周波数10ヘルツで、
振幅が、50、100、200、300、400、80
0ガウスとなるように定電流電源とファンクションジェ
ネレータを用いて順次通電し、評価を行った。
0.3テスラの磁束密度が発生するように電流を通電
し、磁束変動用コイル13には、周波数10ヘルツで、
振幅が、50、100、200、300、400、80
0ガウスとなるように定電流電源とファンクションジェ
ネレータを用いて順次通電し、評価を行った。
【0031】この評価方法にて100個の回転センサを
評価した結果を表1に示した。
評価した結果を表1に示した。
【0032】
【表1】
【0033】表1は、発生磁束が50〜800ガウスと
なるように、磁束変動用コイルに通電したときの、回転
センサの動作個数を示したものであり、図2のフローチ
ャートF6〜F8およびstep1で説明したように、
磁束変動用コイルの通電電流を徐々に増加させたとき
に、評価を行う回転センサが、どのくらいの大きさの発
生磁束で動作を開始するかを、発生磁束と個数で表した
ものである。つまり、回転センサの磁束に対する動作感
度を表しており、表1の下欄の50ガウスから上欄にい
くにつれて動作感度が低くなり、NGは、不動作を示し
ており、これにより、発生磁束によって100個の回転
センサのランクを細分化することができる。
なるように、磁束変動用コイルに通電したときの、回転
センサの動作個数を示したものであり、図2のフローチ
ャートF6〜F8およびstep1で説明したように、
磁束変動用コイルの通電電流を徐々に増加させたとき
に、評価を行う回転センサが、どのくらいの大きさの発
生磁束で動作を開始するかを、発生磁束と個数で表した
ものである。つまり、回転センサの磁束に対する動作感
度を表しており、表1の下欄の50ガウスから上欄にい
くにつれて動作感度が低くなり、NGは、不動作を示し
ており、これにより、発生磁束によって100個の回転
センサのランクを細分化することができる。
【0034】次に、図4に従来の評価方法と、本発明の
評価方法による時間ごとの磁束密度を調べた結果を示し
た。
評価方法による時間ごとの磁束密度を調べた結果を示し
た。
【0035】図4は、横軸を時間(msec)にとり、
縦軸を回転センサの出力電圧(V)をとって、磁束変化
に対する回転センサの電圧波形を示したもので、aは、
本発明による磁束変動用コイルの磁束変化に基づいて検
出された回転センサの電圧波形変化、bは、従来の歯車
で磁束変化を起こさせたときの回転センサの電圧波形変
化を示している。
縦軸を回転センサの出力電圧(V)をとって、磁束変化
に対する回転センサの電圧波形を示したもので、aは、
本発明による磁束変動用コイルの磁束変化に基づいて検
出された回転センサの電圧波形変化、bは、従来の歯車
で磁束変化を起こさせたときの回転センサの電圧波形変
化を示している。
【0036】この図4によれば、両者の波形は、一致し
ないが、振幅及び周期は、ほぼ同一となり、磁束変動用
コイル13に、10ヘルツの周波数の電源を供給するこ
とで、歯車で磁束変化を起こさせたときと同様の磁束変
化を与えることができる。
ないが、振幅及び周期は、ほぼ同一となり、磁束変動用
コイル13に、10ヘルツの周波数の電源を供給するこ
とで、歯車で磁束変化を起こさせたときと同様の磁束変
化を与えることができる。
【0037】本発明は、2つのホール素子とその信号を
処理するICチップをパッケージの中に一緒に封入した
回転センサを測定するタイプの回転センサの評価装置に
も応用できる。
処理するICチップをパッケージの中に一緒に封入した
回転センサを測定するタイプの回転センサの評価装置に
も応用できる。
【0038】図5は、本発明の他の実施の形態である回
転センサの評価装置の横断面図を示したものである。
転センサの評価装置の横断面図を示したものである。
【0039】図5に示すように、鉄心ヨーク11の間隙
を挟んだ両端に、銅線を巻き付けて1組のバイアス磁束
発生用コイル12を設け、そのバイアス磁束発生用コイ
ル12間に、2組の磁束変動用コイル53を設けると共
に、この磁束変動用コイル53間に評価する回転センサ
54の感磁部を配置している。
を挟んだ両端に、銅線を巻き付けて1組のバイアス磁束
発生用コイル12を設け、そのバイアス磁束発生用コイ
ル12間に、2組の磁束変動用コイル53を設けると共
に、この磁束変動用コイル53間に評価する回転センサ
54の感磁部を配置している。
【0040】ここで用いる磁束変動用コイル53は、直
径0.2ミリメートルのエナメル被覆の銅線を内径3ミ
リメートル、外径5ミリメートル、高さ5ミリメートル
に回転センサ54の2つのホール素子からなる感磁部の
間隔に合わせた間隔で、共巻きにする。この磁束変動用
コイル53を、図1で示した実施形態と同様な板厚5ミ
リメートルのベークライト板に直径10ミリメートルの
穴を開け、その中にコイルを入れてエポキシ樹脂にて含
浸して作製する。
径0.2ミリメートルのエナメル被覆の銅線を内径3ミ
リメートル、外径5ミリメートル、高さ5ミリメートル
に回転センサ54の2つのホール素子からなる感磁部の
間隔に合わせた間隔で、共巻きにする。この磁束変動用
コイル53を、図1で示した実施形態と同様な板厚5ミ
リメートルのベークライト板に直径10ミリメートルの
穴を開け、その中にコイルを入れてエポキシ樹脂にて含
浸して作製する。
【0041】この場合も、図1に示した実施形態の場合
と同様に回転センサ54の定量的な評価を行うことがで
きる。
と同様に回転センサ54の定量的な評価を行うことがで
きる。
【0042】本発明は、150℃の高温下での回転セン
サの評価にも応用できる。
サの評価にも応用できる。
【0043】まず、上記実施形態でのコイルの構造を耐
熱構造にする。例えば、コイルに使用している線材をエ
ナメル線からテフロン被覆線に変えて巻く。コイルの含
浸に使用する樹脂も耐熱性の樹脂を用いる。このように
して製作したコイルを恒温槽に入れて評価を行う。本発
明の評価装置は永久磁石を使用していないため、高温中
で減磁し、磁束変化が小さくなるようなことがない。
熱構造にする。例えば、コイルに使用している線材をエ
ナメル線からテフロン被覆線に変えて巻く。コイルの含
浸に使用する樹脂も耐熱性の樹脂を用いる。このように
して製作したコイルを恒温槽に入れて評価を行う。本発
明の評価装置は永久磁石を使用していないため、高温中
で減磁し、磁束変化が小さくなるようなことがない。
【0044】なお、本発明の回転センサの評価装置にお
けるバイアス磁束発生用コイルは、磁束密度の均一部分
を広くとるためにフェライト製もしくは鉄製の芯もしく
はヨークを用いた中実コイルを用いることが好ましく、
このバイアス磁束発生用コイルの直径は、評価を行う回
転センサの3〜4倍の大きさのものを用いることが好ま
しい。また、磁束変動用コイルは、発生磁束の応答性を
向上させるために中空コイルを用いることが好ましい。
けるバイアス磁束発生用コイルは、磁束密度の均一部分
を広くとるためにフェライト製もしくは鉄製の芯もしく
はヨークを用いた中実コイルを用いることが好ましく、
このバイアス磁束発生用コイルの直径は、評価を行う回
転センサの3〜4倍の大きさのものを用いることが好ま
しい。また、磁束変動用コイルは、発生磁束の応答性を
向上させるために中空コイルを用いることが好ましい。
【0045】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のごとき優れた効果を発揮する。
本発明によれば次のごとき優れた効果を発揮する。
【0046】回転センサに与える周期的な磁束の変化を
コイルによって発生させているので、(1)回転センサ
の定量的な評価を行うことができる。
コイルによって発生させているので、(1)回転センサ
の定量的な評価を行うことができる。
【0047】(2)評価を行う回転センサに損傷を与え
る危険がない。
る危険がない。
【0048】(3)経時的磁気変化がほとんどない。
【0049】(4)コイルが磁化されることはない。
【図1】本発明の一実施の形態を示す横断面図である。
【図2】本発明の評価方法のフローチャートを示す図で
ある。
ある。
【図3】本発明の一実施の形態で評価する回転センサの
外観図である。
外観図である。
【図4】図1に示した実施の形態における磁束変化と従
来の装置の磁束変化における回転センサの出力電圧波形
を示す比較図である。
来の装置の磁束変化における回転センサの出力電圧波形
を示す比較図である。
【図5】本発明の他の実施の形態を示す横断面図であ
る。
る。
11 鉄心ヨーク 12 バイアス磁束発生用コイル 13 磁束変動用コイル 31 回転センサ
Claims (4)
- 【請求項1】 ホール素子もしくは磁気抵抗素子を感磁
部に設けた回転センサの磁気的および電気的評価を行う
ための回転センサの評価装置において、バイアス磁束を
発生させるための1組のバイアス磁束発生用コイル間
に、磁束に変化を与えるもう1組の磁束変動用コイルを
設け、該磁束変動用コイル間に、評価を行う回転センサ
の感磁部を配置したことを特徴とする回転センサの評価
装置。 - 【請求項2】 バイアス磁束発生用コイルは、鉄心ヨー
クの間隙を挟んだ両端に巻き付けられて配置される請求
項1記載の回転センサの評価装置。 - 【請求項3】 磁束変動用コイルは、内側直径とコイル
間の距離が同じにされたヘルムホルツ構造である請求項
1又は2記載の回転センサの評価装置。 - 【請求項4】 ホール素子もしくは磁気抵抗素子を感磁
部に設けた回転センサの磁気的および電気的評価を行う
ための回転センサの評価方法において、バイアス磁束を
発生させるための1組のバイアス磁束発生用コイル間
に、磁束に変化を与えるもう1組の磁束変動用コイルを
設け、該磁束変動用コイル間に、評価を行う回転センサ
の感磁部を配置し、その磁束変動用コイルで発生する磁
束を変化させて回転センサの出力電圧変化から回転セン
サを評価することを特徴とする回転センサの評価方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11150285A JP2000338121A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 回転センサの評価装置及びその評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11150285A JP2000338121A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 回転センサの評価装置及びその評価方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000338121A true JP2000338121A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15493646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11150285A Pending JP2000338121A (ja) | 1999-05-28 | 1999-05-28 | 回転センサの評価装置及びその評価方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000338121A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112967857A (zh) * | 2020-04-17 | 2021-06-15 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 永磁装置 |
-
1999
- 1999-05-28 JP JP11150285A patent/JP2000338121A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112967857A (zh) * | 2020-04-17 | 2021-06-15 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 永磁装置 |
| CN112967857B (zh) * | 2020-04-17 | 2023-12-15 | 北京中科三环高技术股份有限公司 | 永磁装置 |
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