JP2000348392A - 光ディスク用スタンパの剥離方法及びその装置 - Google Patents
光ディスク用スタンパの剥離方法及びその装置Info
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- JP2000348392A JP2000348392A JP11156304A JP15630499A JP2000348392A JP 2000348392 A JP2000348392 A JP 2000348392A JP 11156304 A JP11156304 A JP 11156304A JP 15630499 A JP15630499 A JP 15630499A JP 2000348392 A JP2000348392 A JP 2000348392A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スタンパ複製工程における剥離開始点処理を
作業性良く安全に、かつ、スタンパ表面を損傷すること
なく行えるスタンパ剥離装置を提供する。 【解決手段】 ワーク剥離機構として、ワークを真空吸
着するターンテーブル２１を有するワーク保持ステーシ
ョン２０と、ワークの一方のスタンパを真空吸着するリ
リーサー３０とを設け、さらにターンテーブル２１上の
ワークにおけるスタンパ同士の密着部の外周部に圧縮空
気を噴射するための噴射ノズルを設ける。リリーサー３
０は、昇降機構によりターンテーブル２１に対して相対
的に、かつワークの密着面に垂直方向に離間移動自在と
する。剥離開始点処理では、ターンテーブル２１とリリ
ーサー３０とでワークを挟持し、これらを一体回転させ
ながら、噴射ノズルから圧縮空気をワークに吹きつけ
る。
作業性良く安全に、かつ、スタンパ表面を損傷すること
なく行えるスタンパ剥離装置を提供する。 【解決手段】 ワーク剥離機構として、ワークを真空吸
着するターンテーブル２１を有するワーク保持ステーシ
ョン２０と、ワークの一方のスタンパを真空吸着するリ
リーサー３０とを設け、さらにターンテーブル２１上の
ワークにおけるスタンパ同士の密着部の外周部に圧縮空
気を噴射するための噴射ノズルを設ける。リリーサー３
０は、昇降機構によりターンテーブル２１に対して相対
的に、かつワークの密着面に垂直方向に離間移動自在と
する。剥離開始点処理では、ターンテーブル２１とリリ
ーサー３０とでワークを挟持し、これらを一体回転させ
ながら、噴射ノズルから圧縮空気をワークに吹きつけ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マスタースタンパ
からマザースタンパを複製し、またはマザースタンパか
らサンスタンパを複製する光ディスク用スタンパのファ
ミリー・メイキング工程における、電鋳後の密着状態の
マスタースタンパとマザースタンパまたは、マザースタ
ンパとサンスタンパを相互に剥離する方法および、この
方法を実施するのに好適な装置に関するものである。
からマザースタンパを複製し、またはマザースタンパか
らサンスタンパを複製する光ディスク用スタンパのファ
ミリー・メイキング工程における、電鋳後の密着状態の
マスタースタンパとマザースタンパまたは、マザースタ
ンパとサンスタンパを相互に剥離する方法および、この
方法を実施するのに好適な装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の光ディスク作製用のスタンパの製
造方法について説明すると、まず情報ピットをガラス盤
上にフォトレジストにより形成する。これをもとにして
ニッケル電鋳を行い、ガラス盤に対してネガ型に析出し
たマスタースタンパをガラス盤から剥離する。つぎに、
同様に電極を繰り返してマスタースタンパからマザース
タンパ、マザースタンパからサンスタンパをそれぞれ複
製し（これを一般的にファミリ・メイキングと呼
ぶ。）、光ディスク成形用のスタンパとして提供してい
る。
造方法について説明すると、まず情報ピットをガラス盤
上にフォトレジストにより形成する。これをもとにして
ニッケル電鋳を行い、ガラス盤に対してネガ型に析出し
たマスタースタンパをガラス盤から剥離する。つぎに、
同様に電極を繰り返してマスタースタンパからマザース
タンパ、マザースタンパからサンスタンパをそれぞれ複
製し（これを一般的にファミリ・メイキングと呼
ぶ。）、光ディスク成形用のスタンパとして提供してい
る。
【０００３】そして、上記マザースタンパをマスタース
タンパから、サンスタンパをマザースタンパからそれぞ
れ剥離する工程では、作業者がまずマザースタンパとマ
スタースタンパとの重合物、サンスタンパとマザースタ
ンパとの重合物（これらをワークと呼ぶ）の重合面の周
縁部に、カッター等の鋭利な工具を用いて切れ目を入れ
（これはスタンパの外周部のみを剥離するための処理で
あって、剥離開始点処理と呼ばれる。）、その後に両者
を手で引き離すようにして剥離する。
タンパから、サンスタンパをマザースタンパからそれぞ
れ剥離する工程では、作業者がまずマザースタンパとマ
スタースタンパとの重合物、サンスタンパとマザースタ
ンパとの重合物（これらをワークと呼ぶ）の重合面の周
縁部に、カッター等の鋭利な工具を用いて切れ目を入れ
（これはスタンパの外周部のみを剥離するための処理で
あって、剥離開始点処理と呼ばれる。）、その後に両者
を手で引き離すようにして剥離する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記剥離開
始点処理では、すべて手作業で行わなければならず、ま
た熟練を要する作業でもあり、非効率的で生産能率が悪
かった。さらに、カッター等の鋭利な工具を用いるので
怪我が発生したり、スタンパ表面（上記重合面）に傷を
つけたりするおそれがあった。
始点処理では、すべて手作業で行わなければならず、ま
た熟練を要する作業でもあり、非効率的で生産能率が悪
かった。さらに、カッター等の鋭利な工具を用いるので
怪我が発生したり、スタンパ表面（上記重合面）に傷を
つけたりするおそれがあった。
【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、スタンパ複製工程における剥離開始点処理を作業性
良く安全に、かつ、スタンパ表面を損傷することなく実
施することができるスタンパ剥離方法およびその装置を
提供することにある。
で、スタンパ複製工程における剥離開始点処理を作業性
良く安全に、かつ、スタンパ表面を損傷することなく実
施することができるスタンパ剥離方法およびその装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の光ディ
スク用スタンパの剥離方法は、マスタースタンパからマ
ザースタンパを複製し、またはマザースタンパからサン
スタンパを複製する光ディスク用スタンパのファミリー
・メイキング工程における、電鋳後の密着状態のワーク
すなわち、マスタースタンパとマザースタンパまたは、
マザースタンパとサンスタンパを相互に剥離するに際
し、剥離開始点処理においてワークの外周側からワーク
におけるスタンパ同士の密着部に加圧気体を吹きつけて
ワーク外周部を剥離した後、一方のスタンパを他方のス
タンパに対して相対的に、かつ、前記スタンパ同士の密
着面に垂直方向に離間移動させることにより、これらの
スタンパを剥離することを特徴とする。
スク用スタンパの剥離方法は、マスタースタンパからマ
ザースタンパを複製し、またはマザースタンパからサン
スタンパを複製する光ディスク用スタンパのファミリー
・メイキング工程における、電鋳後の密着状態のワーク
すなわち、マスタースタンパとマザースタンパまたは、
マザースタンパとサンスタンパを相互に剥離するに際
し、剥離開始点処理においてワークの外周側からワーク
におけるスタンパ同士の密着部に加圧気体を吹きつけて
ワーク外周部を剥離した後、一方のスタンパを他方のス
タンパに対して相対的に、かつ、前記スタンパ同士の密
着面に垂直方向に離間移動させることにより、これらの
スタンパを剥離することを特徴とする。
【０００７】請求項２に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置は、請求項１に記載の方法を実施するための装
置であって、ワーク剥離機構としてワーク保持ステーシ
ョンと、ワークの一方のスタンパを保持するためのリリ
ーサーとを備えているとともに、前記ワーク保持ステー
ションに保持されたワークにおけるスタンパ同士の密着
部に加圧気体を吹きつけるための加圧気体噴射手段を備
え、前記ワーク剥離機構の少なくとも一方は昇降機構に
より、他方のワーク剥離機構に対して相対的に、かつ、
スタンパ同士の密着面に垂直方向に離間移動自在とされ
ていることを特徴とする。
剥離装置は、請求項１に記載の方法を実施するための装
置であって、ワーク剥離機構としてワーク保持ステーシ
ョンと、ワークの一方のスタンパを保持するためのリリ
ーサーとを備えているとともに、前記ワーク保持ステー
ションに保持されたワークにおけるスタンパ同士の密着
部に加圧気体を吹きつけるための加圧気体噴射手段を備
え、前記ワーク剥離機構の少なくとも一方は昇降機構に
より、他方のワーク剥離機構に対して相対的に、かつ、
スタンパ同士の密着面に垂直方向に離間移動自在とされ
ていることを特徴とする。
【０００８】請求項３に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置は、請求項２において前記ワーク保持ステーシ
ョンが、ワークを真空吸着するための回転（自転）自在
のターンテーブルを備えていることを特徴とする。
剥離装置は、請求項２において前記ワーク保持ステーシ
ョンが、ワークを真空吸着するための回転（自転）自在
のターンテーブルを備えていることを特徴とする。
【０００９】請求項４に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置は、請求項３において前記ターンテーブルが回
転速度を調節しうるものであり、かつ、回転を強制的に
停止させるためのブレーキ機構を備えていることを特徴
とする。
剥離装置は、請求項３において前記ターンテーブルが回
転速度を調節しうるものであり、かつ、回転を強制的に
停止させるためのブレーキ機構を備えていることを特徴
とする。
【００１０】請求項５に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置は、請求項２，３または４において前記リリー
サーが、前記ワーク保持ステーションに対して相対的に
離間移動自在とされ、かつワークの真空吸着手段を備え
ていることを特徴とする。
剥離装置は、請求項２，３または４において前記リリー
サーが、前記ワーク保持ステーションに対して相対的に
離間移動自在とされ、かつワークの真空吸着手段を備え
ていることを特徴とする。
【００１１】請求項６に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置では、請求項５において前記リリーサーは、前
記ワーク保持ステーションに対する相対的離間移動速度
が調節自在とされていることを特徴とする。
剥離装置では、請求項５において前記リリーサーは、前
記ワーク保持ステーションに対する相対的離間移動速度
が調節自在とされていることを特徴とする。
【００１２】請求項７に記載の光ディスク用スタンパの
剥離装置は、請求項２，３，４，５または６において、
前記加圧気体噴射手段が加圧気体の圧力、ワークに対す
る加圧気体の噴射角度、噴射口の孔径、該噴射口とワー
クとの離間距離の少なくとも一つが可変とされ、該離間
距離が可変である場合には、前記噴射口がワークに対し
接近・離間自在とされていることを特徴とする。
剥離装置は、請求項２，３，４，５または６において、
前記加圧気体噴射手段が加圧気体の圧力、ワークに対す
る加圧気体の噴射角度、噴射口の孔径、該噴射口とワー
クとの離間距離の少なくとも一つが可変とされ、該離間
距離が可変である場合には、前記噴射口がワークに対し
接近・離間自在とされていることを特徴とする。
【００１３】
【実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態を、図面を
参照して説明する。図１はマザースタンパの製造工程を
示すフローチャート、図２は図１の電鋳工程に使用され
る電鋳治具の要部構造を示す断面図である。図３は図１
の電鋳工程で得られた、マザースタンパとマスタースタ
ンパの重合物（ワーク）を示すもので（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図である。図４は図１の電鋳工程で得られ
たマザースタンパの表面形態を示す模式的平面図であ
る。図５は光ディスク用スタンパの剥離装置を示す概略
縦断面図であり、図６は図５の剥離装置によるスタンパ
の剥離開始点処理を示す説明図である。図７は図６の剥
離開始点処理を行うための圧縮空気噴射装置の構成説明
図である。
参照して説明する。図１はマザースタンパの製造工程を
示すフローチャート、図２は図１の電鋳工程に使用され
る電鋳治具の要部構造を示す断面図である。図３は図１
の電鋳工程で得られた、マザースタンパとマスタースタ
ンパの重合物（ワーク）を示すもので（ａ）は平面図、
（ｂ）は正面図である。図４は図１の電鋳工程で得られ
たマザースタンパの表面形態を示す模式的平面図であ
る。図５は光ディスク用スタンパの剥離装置を示す概略
縦断面図であり、図６は図５の剥離装置によるスタンパ
の剥離開始点処理を示す説明図である。図７は図６の剥
離開始点処理を行うための圧縮空気噴射装置の構成説明
図である。
【００１４】まず、図２をもとに電鋳治具の構造を説明
すると、この電鋳治具はマスタースタンパＡ（図３を参
照）を載置するマウンティングプレート１１、複製スタ
ンパの析出範囲を規定するシール用のＯリング１２，１
３、電鋳治具上部１４と電鋳治具下部１５を連結するク
ランプ（図示せず）などの部材を備えている。電鋳治具
上部１４はＯリング１２，１３を有する蓋の部分であ
り、電鋳治具下部１５は、マウンティングプレート１１
が主として構成されている部分である。図２において符
号１６は、電鋳装置のシャフトへの挿入部を示す。上記
マウンティングプレート１１は、これに載置されたマス
タースタンパＡに電流を流す役目を果たすものであるた
め導電性材料で構成されるが、通常チタンやステンレス
スチールが採用される。
すると、この電鋳治具はマスタースタンパＡ（図３を参
照）を載置するマウンティングプレート１１、複製スタ
ンパの析出範囲を規定するシール用のＯリング１２，１
３、電鋳治具上部１４と電鋳治具下部１５を連結するク
ランプ（図示せず）などの部材を備えている。電鋳治具
上部１４はＯリング１２，１３を有する蓋の部分であ
り、電鋳治具下部１５は、マウンティングプレート１１
が主として構成されている部分である。図２において符
号１６は、電鋳装置のシャフトへの挿入部を示す。上記
マウンティングプレート１１は、これに載置されたマス
タースタンパＡに電流を流す役目を果たすものであるた
め導電性材料で構成されるが、通常チタンやステンレス
スチールが採用される。
【００１５】つぎに、マザースタンパＢ（図３を参照）
の複製電鋳工程および、ここで得られたマザースタンパ
ＢをマスタースタンパＡから剥離する剥離工程を図１の
フローチャートをもとに説明する。電鋳治具の上下部１
４，１５をはずし、マウンティングプレート１１上にマ
スタースタンパＡを載置する（ステップＳ１）。つい
で、電鋳治具を電鋳槽（図示せず）に浸漬し、電鋳を施
す（ステップＳ２）。電鋳終了後に電鋳治具を引き上
げ、簡単な水洗・乾燥を行い、電鋳治具を解体し（ステ
ップＳ３〜Ｓ５）、マスタースタンパＡとこの表面に析
出複製したスタンパ（マザースタンパＢ）との重合物
（ワーク）をそのまま取り出した後（ステップＳ６）、
マスタースタンパＡからマザースタンパＢを、以下の装
置・方法で剥離する（ステップＳ７）。なお、マザース
タンパＢからサンスタンパを複製する場合には、マウン
ティングプレート１１上にマスタースタンパＡに代えて
マザースタンパＢを載置する（図示せず）。
の複製電鋳工程および、ここで得られたマザースタンパ
ＢをマスタースタンパＡから剥離する剥離工程を図１の
フローチャートをもとに説明する。電鋳治具の上下部１
４，１５をはずし、マウンティングプレート１１上にマ
スタースタンパＡを載置する（ステップＳ１）。つい
で、電鋳治具を電鋳槽（図示せず）に浸漬し、電鋳を施
す（ステップＳ２）。電鋳終了後に電鋳治具を引き上
げ、簡単な水洗・乾燥を行い、電鋳治具を解体し（ステ
ップＳ３〜Ｓ５）、マスタースタンパＡとこの表面に析
出複製したスタンパ（マザースタンパＢ）との重合物
（ワーク）をそのまま取り出した後（ステップＳ６）、
マスタースタンパＡからマザースタンパＢを、以下の装
置・方法で剥離する（ステップＳ７）。なお、マザース
タンパＢからサンスタンパを複製する場合には、マウン
ティングプレート１１上にマスタースタンパＡに代えて
マザースタンパＢを載置する（図示せず）。
【００１６】上記ワークの形状は図３（ａ）（ｂ）に示
すとおりで、φＭａはマスタースタンパＡの直径を、φ
ＭｂはマザースタンパＢの直径をそれぞれ示す（φＭａ
はφＭｂよりも大きい）。図３（ｂ）において、マザー
スタンパＢの下面はマスタースタンパＡのグルーブ形成
面と重合・密着し、マザースタンパＢの下面には、図４
に示すようにマスタースタンパＡのグルーブＧが転写さ
れている。また、例えば図４に示すように、マザースタ
ンパＢの直径はφ２１５〜φ２４０（単位はｍｍ、以下
同じ）に、グルーブ領域の外径×内径はφ１２０×φ４
４にそれぞれ設定される。
すとおりで、φＭａはマスタースタンパＡの直径を、φ
ＭｂはマザースタンパＢの直径をそれぞれ示す（φＭａ
はφＭｂよりも大きい）。図３（ｂ）において、マザー
スタンパＢの下面はマスタースタンパＡのグルーブ形成
面と重合・密着し、マザースタンパＢの下面には、図４
に示すようにマスタースタンパＡのグルーブＧが転写さ
れている。また、例えば図４に示すように、マザースタ
ンパＢの直径はφ２１５〜φ２４０（単位はｍｍ、以下
同じ）に、グルーブ領域の外径×内径はφ１２０×φ４
４にそれぞれ設定される。
【００１７】つぎに、上記電鋳工程で得られたマザース
タンパＢをマスタースタンパＡから剥離する（または、
サンスタンパをマザースタンパから剥離する）ための装
置の構造および、これによる剥離方法について、図５乃
至図７をもとに説明する。
タンパＢをマスタースタンパＡから剥離する（または、
サンスタンパをマザースタンパから剥離する）ための装
置の構造および、これによる剥離方法について、図５乃
至図７をもとに説明する。
【００１８】この剥離装置は、ワーク（図示せず）を載
置して真空吸着するターンテーブル２１を有するワーク
保持ステーション２０と、ワークを構成する一方のスタ
ンパを真空吸着するリリーサー３０と、ワーク保持ステ
ーション２０およびリリーサー３０を支持・駆動する支
持・駆動部４０と、ターンテーブル２１に保持されたワ
ークにおけるスタンパ同士の密着部に圧縮空気を吹きつ
けるための圧縮空気噴射装置５０（図７を参照）とを備
えている。
置して真空吸着するターンテーブル２１を有するワーク
保持ステーション２０と、ワークを構成する一方のスタ
ンパを真空吸着するリリーサー３０と、ワーク保持ステ
ーション２０およびリリーサー３０を支持・駆動する支
持・駆動部４０と、ターンテーブル２１に保持されたワ
ークにおけるスタンパ同士の密着部に圧縮空気を吹きつ
けるための圧縮空気噴射装置５０（図７を参照）とを備
えている。
【００１９】ターンテーブル２１は、支持・駆動部４０
を構成する架台４１により水平方向に支持され、このタ
ーンテーブル２１の表面（上面）に形成された真空吸着
孔は回転軸２２に形成された流路２２ａに連通し、さら
にこの流路２２ａは減圧配管２３を介して真空ポンプ
（図示せず）に連絡されている。また上記回転軸２２、
したがってターンテーブル２１はモータ２４と、一対の
プーリ２５，２６とベルト２７とからなる回転装置によ
り回転するようになっている。
を構成する架台４１により水平方向に支持され、このタ
ーンテーブル２１の表面（上面）に形成された真空吸着
孔は回転軸２２に形成された流路２２ａに連通し、さら
にこの流路２２ａは減圧配管２３を介して真空ポンプ
（図示せず）に連絡されている。また上記回転軸２２、
したがってターンテーブル２１はモータ２４と、一対の
プーリ２５，２６とベルト２７とからなる回転装置によ
り回転するようになっている。
【００２０】リリーサー３０は、支持・駆動部４０の昇
降軸４２の上端部に設けた支持部材４３で支持され、水
平方向に延びる吸着ハンド３１と、これの下面側に突出
配備された複数の吸着部材３２とを備えている。吸着ハ
ンド３１は、中心軸３３の回りに自由回転できるように
なっており（手回し自在）、吸着部材３２は、減圧配管
３４を介して真空ポンプ（図示せず）に連絡されてい
る。上記昇降軸４２したがってリリーサー３０は、支持
部材４３と一体で垂直方向に昇降自在となっている。ま
た、吸着部材３２の先端部（図５において下端部）に
は、ワーク表面への吸着部材接触時の衝撃を緩和するた
めのバネが設けてある。
降軸４２の上端部に設けた支持部材４３で支持され、水
平方向に延びる吸着ハンド３１と、これの下面側に突出
配備された複数の吸着部材３２とを備えている。吸着ハ
ンド３１は、中心軸３３の回りに自由回転できるように
なっており（手回し自在）、吸着部材３２は、減圧配管
３４を介して真空ポンプ（図示せず）に連絡されてい
る。上記昇降軸４２したがってリリーサー３０は、支持
部材４３と一体で垂直方向に昇降自在となっている。ま
た、吸着部材３２の先端部（図５において下端部）に
は、ワーク表面への吸着部材接触時の衝撃を緩和するた
めのバネが設けてある。
【００２１】上記圧縮空気噴射装置５０は、図７に示す
ように空気源５１、フィルター５２、レギュレーター５
３、２ポート弁５４、流量制御弁５５、および圧縮空気
噴射ノズル５６をこの順に連結して構成され、圧縮空気
噴射ノズル５６の噴射口はターンテーブル２１の上面に
向くように配備されている。この圧縮空気噴射ノズル５
６では（１）圧縮空気の噴射圧力、（２）ワークに対す
る圧縮空気の噴射角度、（３）噴射口の孔径および、
（４）噴射口とワークとの離間距離のいずれも可変とさ
れ、かつ、噴射口がワークに対し接近・離間自在とされ
ている。
ように空気源５１、フィルター５２、レギュレーター５
３、２ポート弁５４、流量制御弁５５、および圧縮空気
噴射ノズル５６をこの順に連結して構成され、圧縮空気
噴射ノズル５６の噴射口はターンテーブル２１の上面に
向くように配備されている。この圧縮空気噴射ノズル５
６では（１）圧縮空気の噴射圧力、（２）ワークに対す
る圧縮空気の噴射角度、（３）噴射口の孔径および、
（４）噴射口とワークとの離間距離のいずれも可変とさ
れ、かつ、噴射口がワークに対し接近・離間自在とされ
ている。
【００２２】この実施の形態では、リリーサー３０が垂
直方向に昇降自在で、ターンテーブル２１は上下位置を
固定されているが、これと逆にターンテーブル２１のみ
を垂直方向に昇降自在としてもよいし、ターンテーブル
２１、リリーサー３０（吸着ハンド３１）の双方を垂直
方向に昇降自在とすることもできる。いずれにしても、
昇降機構によりこれらの少なくとも一方を他方に対して
相対的に、かつ、スタンパ同士の密着面に垂直方向に離
間移動自在とすればよい。
直方向に昇降自在で、ターンテーブル２１は上下位置を
固定されているが、これと逆にターンテーブル２１のみ
を垂直方向に昇降自在としてもよいし、ターンテーブル
２１、リリーサー３０（吸着ハンド３１）の双方を垂直
方向に昇降自在とすることもできる。いずれにしても、
昇降機構によりこれらの少なくとも一方を他方に対して
相対的に、かつ、スタンパ同士の密着面に垂直方向に離
間移動自在とすればよい。
【００２３】また、ターンテーブル２１の回転速度を可
変とすること、ターンテーブル２１の回転を強制的に停
止させるための自動式および手動式のブレーキ機構を設
けること、ターンテーブル２１に対する吸着ハンド３１
の離間移動速度を調節自在とすることが好ましい。
変とすること、ターンテーブル２１の回転を強制的に停
止させるための自動式および手動式のブレーキ機構を設
けること、ターンテーブル２１に対する吸着ハンド３１
の離間移動速度を調節自在とすることが好ましい。
【００２４】つぎに、上記剥離装置によるスタンパの剥
離方法について説明する。図３に示す形態のワークＷを
図５のターンテーブル２１上に図６に示すように載置
し、流路２２ａ内を減圧することによりワークＷを吸着
する。吸着ハンド３１を徐々に降下させ、吸着部材３２
をワークＷの表面に低圧で圧接させ、噴射ノズル５６の
噴射口をワークＷにおけるスタンパ同士の密着部に向け
る。ついで、モータ２４によりターンテーブル２１を適
宜の速度で回転させる。これにより、図６に示すように
リリーサー３０がターンテーブル２１と一体で回転す
る。この状態において、噴射ノズル５６から圧縮空気を
噴射する。これが剥離開始点処理である。
離方法について説明する。図３に示す形態のワークＷを
図５のターンテーブル２１上に図６に示すように載置
し、流路２２ａ内を減圧することによりワークＷを吸着
する。吸着ハンド３１を徐々に降下させ、吸着部材３２
をワークＷの表面に低圧で圧接させ、噴射ノズル５６の
噴射口をワークＷにおけるスタンパ同士の密着部に向け
る。ついで、モータ２４によりターンテーブル２１を適
宜の速度で回転させる。これにより、図６に示すように
リリーサー３０がターンテーブル２１と一体で回転す
る。この状態において、噴射ノズル５６から圧縮空気を
噴射する。これが剥離開始点処理である。
【００２５】電鋳工程において互いに密着したスタンパ
間の間隙は真空状態にある。剥離開始点処理によりこの
密着面の外周部全体に圧縮空気を送り込むことで、真空
破壊が助長され、上記密着面の外周部がその全体にわた
って効率的に剥離する。ついで、ワークＷの表面を吸着
ハンド３１で吸着し、昇降軸４２を徐々に上昇させる。
これにより上記密着面が全面で剥離し、スタンパの剥離
工程が終了する。この場合、マスタースタンパＡとマザ
ースタンパＢを、これらの密着面に垂直方向に離間させ
て剥離するようにしたので、剥離時のスタンパのズレに
起因する、これらスタンパのビット情報精度の低下が発
生することがない。
間の間隙は真空状態にある。剥離開始点処理によりこの
密着面の外周部全体に圧縮空気を送り込むことで、真空
破壊が助長され、上記密着面の外周部がその全体にわた
って効率的に剥離する。ついで、ワークＷの表面を吸着
ハンド３１で吸着し、昇降軸４２を徐々に上昇させる。
これにより上記密着面が全面で剥離し、スタンパの剥離
工程が終了する。この場合、マスタースタンパＡとマザ
ースタンパＢを、これらの密着面に垂直方向に離間させ
て剥離するようにしたので、剥離時のスタンパのズレに
起因する、これらスタンパのビット情報精度の低下が発
生することがない。
【００２６】上記圧縮空気噴射装置５０では、（１）フ
ィルター５２によりスタンパ表面に噴射される圧縮空気
が清浄化され、（２）レギュレーター５３によりスタン
パ表面に噴射される圧縮空気の圧力が制御され、（３）
２ポート弁５４により任意のタイミングで圧縮空気が噴
射され、（４）流量制御弁５５によりスタンパ表面に噴
射される圧縮空気の量が制御される。
ィルター５２によりスタンパ表面に噴射される圧縮空気
が清浄化され、（２）レギュレーター５３によりスタン
パ表面に噴射される圧縮空気の圧力が制御され、（３）
２ポート弁５４により任意のタイミングで圧縮空気が噴
射され、（４）流量制御弁５５によりスタンパ表面に噴
射される圧縮空気の量が制御される。
【００２７】なお、上記実施の形態では圧縮空気噴射ノ
ズル５６を一つ設けるとともに、ワークＷを回転させる
ようにしたが、圧縮空気噴射ノズル５６を多数、ワーク
Ｗを包囲するように等角度間隔で配備した場合には、ワ
ークＷの回転機構を省略することもできる。また、上記
ターンテーブル２１、吸着ハンド３１のいずれも、真空
吸着によってワークを保持するものであるが、これに代
えてメカチャックあるいは磁気チャックを採用すること
もできる。
ズル５６を一つ設けるとともに、ワークＷを回転させる
ようにしたが、圧縮空気噴射ノズル５６を多数、ワーク
Ｗを包囲するように等角度間隔で配備した場合には、ワ
ークＷの回転機構を省略することもできる。また、上記
ターンテーブル２１、吸着ハンド３１のいずれも、真空
吸着によってワークを保持するものであるが、これに代
えてメカチャックあるいは磁気チャックを採用すること
もできる。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば以下の効果が得られる。 （１）請求項１，２に係る発明 スタンパの剥離開始点処理を加圧気体の噴射により行う
ように構成したので、当該開始点処理を作業性良く安全
に、かつ、スタンパ表面を損傷することなく実施するこ
とができ、慎重な作業が軽減される。
よれば以下の効果が得られる。 （１）請求項１，２に係る発明 スタンパの剥離開始点処理を加圧気体の噴射により行う
ように構成したので、当該開始点処理を作業性良く安全
に、かつ、スタンパ表面を損傷することなく実施するこ
とができ、慎重な作業が軽減される。
【００２９】（２）請求項３に係る発明 ワークを真空吸着するためのターンテーブルを設けたた
め、剥離開始点処理をワークの外周部全体にわたって均
等に効率良く行うことができるうえ、加圧気体の噴射ノ
ズルは、これを一つ配備することで足りる。
め、剥離開始点処理をワークの外周部全体にわたって均
等に効率良く行うことができるうえ、加圧気体の噴射ノ
ズルは、これを一つ配備することで足りる。
【００３０】（３）請求項４に係る発明 回転速度の調節が可能、かつ、ブレーキ機構を備えたタ
ーンテーブルを配備したので、剥離開始点処理をより能
率良く行うことができる。
ーンテーブルを配備したので、剥離開始点処理をより能
率良く行うことができる。
【００３１】（４）請求項５に係る発明 リリーサーをワーク保持ステーションに対して相対的に
離間移動自在としたため、ワーク保持ステーションを位
置を固定して設けることができるので、剥離装置全体の
構造がより簡単になる。
離間移動自在としたため、ワーク保持ステーションを位
置を固定して設けることができるので、剥離装置全体の
構造がより簡単になる。
【００３２】（５）請求項６に係る発明 リリーサーとして、ワーク保持ステーションに対する相
対的離間移動速度が調節できるものを設けたため、剥離
の難易度に応じて離間移動速度を調節することにより、
剥離開始点処理後の剥離工程をより確実に行うことがで
きる。
対的離間移動速度が調節できるものを設けたため、剥離
の難易度に応じて離間移動速度を調節することにより、
剥離開始点処理後の剥離工程をより確実に行うことがで
きる。
【００３３】（６）請求項７に係る発明 加圧気体噴射手段として所定構成からなるものを設けた
ため、剥離開始点処理を最適条件下で行うことができ
る。例えば、圧縮空気噴射ノズルの噴射孔径および、空
気圧を可変とした場合には、スタンパの電鋳仕様（密着
強度等）に適合した剥離開始点処理が可能となる。ま
た、圧縮空気の噴射角度および噴射距離を可変とするこ
とで、スタンパの外径等の仕様に適合した開始点処理を
行うことができる。
ため、剥離開始点処理を最適条件下で行うことができ
る。例えば、圧縮空気噴射ノズルの噴射孔径および、空
気圧を可変とした場合には、スタンパの電鋳仕様（密着
強度等）に適合した剥離開始点処理が可能となる。ま
た、圧縮空気の噴射角度および噴射距離を可変とするこ
とで、スタンパの外径等の仕様に適合した開始点処理を
行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るもので、マザースタ
ンパの製造工程を示すフローチャートである。
ンパの製造工程を示すフローチャートである。
【図２】図１の電鋳工程で使用される電鋳治具の要部構
造を示す断面図である。
造を示す断面図である。
【図３】電鋳で得られた、マザースタンパとマスタース
タンパ（またはサンスタンパとマザースタンパ）が重合
したワークを示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正
面図である。
タンパ（またはサンスタンパとマザースタンパ）が重合
したワークを示すもので、（ａ）は平面図、（ｂ）は正
面図である。
【図４】電鋳で得られたマザースタンパの表面形態を示
す模式的平面図である。
す模式的平面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係るもので、光ディスク
用スタンパの剥離装置を示す概略縦断面図である。
用スタンパの剥離装置を示す概略縦断面図である。
【図６】図５の剥離装置によるスタンパの剥離開始点処
理を示す説明図である。
理を示す説明図である。
【図７】図６の剥離開始点処理を行うための圧縮空気噴
射装置の構成説明図である。
射装置の構成説明図である。
１１ マウンティングプレート １４ 電鋳治具上部 １５ 電鋳治具下部 ２０ ワーク保持ステーション ２１ ターンテーブル ２２ 回転軸 ２２ａ 流路 ２３ 減圧配管 ２４ モータ ２５ プーリ ２６ プーリ ２７ ベルト ３０ リリーサー ３１ 吸着ハンド ３２ 吸着部材 ３３ 中心軸 ３４ 減圧配管 ４０ 支持・駆動部 ４１ 架台 ４２ 昇降軸 ４３ 支持部材 ５０ 圧縮空気噴射装置 ５６ 圧縮空気噴射ノズル Ａ マスタースタンパ Ｂ マザースタンパ Ｇ グルーブ Ｗ ワーク
Claims (7)
- 【請求項１】 マスタースタンパからマザースタンパを
複製し、またはマザースタンパからサンスタンパを複製
する光ディスク用スタンパのファミリー・メイキング工
程における、電鋳後の密着状態のワークすなわち、マス
タースタンパとマザースタンパまたは、マザースタンパ
とサンスタンパを相互に剥離するに際し、剥離開始点処
理においてワークの外周側からワークにおけるスタンパ
同士の密着部に加圧気体を吹きつけてワーク外周部を剥
離した後、一方のスタンパを他方のスタンパに対して相
対的に、かつ、前記スタンパ同士の密着面に垂直方向に
離間移動させることにより、これらのスタンパを剥離す
ることを特徴とする光ディスク用スタンパの剥離方法。 - 【請求項２】 マスタースタンパからマザースタンパを
複製し、またはマザースタンパからサンスタンパを複製
する光ディスク用スタンパのファミリー・メイキング工
程における、電鋳後の密着状態のワークすなわち、マス
タースタンパとマザースタンパまたは、マザースタンパ
とサンスタンパを相互に剥離するための装置において、
ワーク剥離機構としてワーク保持ステーションと、ワー
クの一方のスタンパを保持するためのリリーサーとを備
えているとともに、前記ワーク保持ステーションに保持
されたワークにおけるスタンパ同士の密着部に加圧気体
を吹きつけるための加圧気体噴射手段を備え、前記ワー
ク剥離機構の少なくとも一方は昇降機構により、他方の
ワーク剥離機構に対して相対的に、かつ、スタンパ同士
の密着面に垂直方向に離間移動自在とされていることを
特徴とする光ディスク用スタンパの剥離装置。 - 【請求項３】 前記ワーク保持ステーションは、ワーク
を真空吸着するための回転自在のターンテーブルを備え
ていることを特徴とする請求項２に記載の光ディスク用
スタンパの剥離装置。 - 【請求項４】 前記ターンテーブルは回転速度の調節が
可能であり、かつ、回転を強制的に停止させるためのブ
レーキ機構を備えていることを特徴とする請求項３に記
載の光ディスク用スタンパの剥離装置。 - 【請求項５】 前記リリーサーは、前記ワーク保持ステ
ーションに対して相対的に離間移動自在とされ、かつ、
ワークの真空吸着手段を備えていることを特徴とする請
求項２，３または４に記載の光ディスク用スタンパの剥
離装置。 - 【請求項６】 前記リリーサーは、前記ワーク保持ステ
ーションに対する相対的離間移動速度が調節自在とされ
ていることを特徴とする請求項５に記載の光ディスク用
スタンパの剥離装置。 - 【請求項７】 前記加圧気体噴射手段は加圧気体の圧
力、ワークに対する加圧気体の噴射角度、噴射口の孔
径、該噴射口とワークとの離間距離の少なくとも一つが
可変とされ、該離間距離が可変である場合には、前記噴
射口がワークに対し接近・離間自在とされていることを
特徴とする請求項２，３，４，５または６に記載の光デ
ィスク用スタンパの剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156304A JP2000348392A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | 光ディスク用スタンパの剥離方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11156304A JP2000348392A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | 光ディスク用スタンパの剥離方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000348392A true JP2000348392A (ja) | 2000-12-15 |
Family
ID=15624889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11156304A Pending JP2000348392A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | 光ディスク用スタンパの剥離方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000348392A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003083854A1 (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-09 | Fujitsu Limited | Method for duplicating shape |
| WO2003096333A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Multi-layer recording medium forming method and device, and multi-layer recording medium |
| WO2003096331A1 (en) * | 2002-05-09 | 2003-11-20 | Tdk Corporation | Method and device for separating stamper, and multi-layered recording medium |
| KR20220031078A (ko) * | 2019-08-15 | 2022-03-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 평탄화 공정, 장치, 및 물품 제조 방법 |
-
1999
- 1999-06-03 JP JP11156304A patent/JP2000348392A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003083854A1 (en) * | 2002-04-01 | 2003-10-09 | Fujitsu Limited | Method for duplicating shape |
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| CN1317703C (zh) * | 2002-05-09 | 2007-05-23 | Tdk株式会社 | 压模剥离方法和压模剥离装置以及多层记录媒体 |
| KR20220031078A (ko) * | 2019-08-15 | 2022-03-11 | 캐논 가부시끼가이샤 | 평탄화 공정, 장치, 및 물품 제조 방법 |
| JP2022544891A (ja) * | 2019-08-15 | 2022-10-24 | キヤノン株式会社 | 平坦化プロセス、装置、および物品の製造方法 |
| JP2024109753A (ja) * | 2019-08-15 | 2024-08-14 | キヤノン株式会社 | 方法、平坦化システム、および物品の製造方法 |
| JP7555967B2 (ja) | 2019-08-15 | 2024-09-25 | キヤノン株式会社 | 方法、平坦化システム、および物品の製造方法 |
| JP7713064B2 (ja) | 2019-08-15 | 2025-07-24 | キヤノン株式会社 | 方法、平坦化システム、および物品の製造方法 |
| KR102875033B1 (ko) | 2019-08-15 | 2025-10-22 | 캐논 가부시끼가이샤 | 평탄화 공정, 장치, 및 물품 제조 방법 |
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