JP2000351643A - 光ファイバ母材の脱水焼結装置 - Google Patents
光ファイバ母材の脱水焼結装置Info
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- JP2000351643A JP2000351643A JP16156499A JP16156499A JP2000351643A JP 2000351643 A JP2000351643 A JP 2000351643A JP 16156499 A JP16156499 A JP 16156499A JP 16156499 A JP16156499 A JP 16156499A JP 2000351643 A JP2000351643 A JP 2000351643A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 脱水焼結作業を安定して確実に行うことがで
きる。 【解決手段】 マッフル１内に光ファイバ母材を吊り下
げて支持する支持部材１００を挿入させるためにマッフ
ル１上部側に開口した孔２１Ａに、ガス溜まり空間２Ａ
を設け、このガス溜まり空間２Ａに向けて適宜のガスを
外部から供給する供給管３を接続し、マッフル１内とガ
ス溜まり空間２Ａ内との圧力差を測定する差圧計４を設
け、この差圧計４で測定した差圧に応じて供給管３を通
りガス溜まり空間に供給されるガス流量を調整する流量
調整手段５を設け、マッフル１とガス溜まり空間２Ａと
の内圧差をなくすように構成した。
きる。 【解決手段】 マッフル１内に光ファイバ母材を吊り下
げて支持する支持部材１００を挿入させるためにマッフ
ル１上部側に開口した孔２１Ａに、ガス溜まり空間２Ａ
を設け、このガス溜まり空間２Ａに向けて適宜のガスを
外部から供給する供給管３を接続し、マッフル１内とガ
ス溜まり空間２Ａ内との圧力差を測定する差圧計４を設
け、この差圧計４で測定した差圧に応じて供給管３を通
りガス溜まり空間に供給されるガス流量を調整する流量
調整手段５を設け、マッフル１とガス溜まり空間２Ａと
の内圧差をなくすように構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、光ファイバの製
造工程の一部である脱水焼結工程に使用する光ファイバ
母材の脱水焼結装置に関するものである。
造工程の一部である脱水焼結工程に使用する光ファイバ
母材の脱水焼結装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、光ファイバを製造するため、例
えばＶＡＤ法では、周知のように、スートを合成させた
後に、そのスートを脱水させるとともに高温で焼結して
透明なプリフォームを製造している。
えばＶＡＤ法では、周知のように、スートを合成させた
後に、そのスートを脱水させるとともに高温で焼結して
透明なプリフォームを製造している。
【０００３】即ち、この脱水作業は、例えば図３に示す
ように、支持部材１００で吊り下げた光ファイバ母材１
０１をマッフル１０２内に載置し、加熱炉１０３により
加熱させて行っている。また、このマッフル１０２内に
は、脱水酸基（ＯＨ）処理（即ち、水酸基をハロゲン元
素と置換する）を行うために例えば塩素ガスを供給させ
るようになっており、塩素雰囲気中で脱水させている。
ように、支持部材１００で吊り下げた光ファイバ母材１
０１をマッフル１０２内に載置し、加熱炉１０３により
加熱させて行っている。また、このマッフル１０２内に
は、脱水酸基（ＯＨ）処理（即ち、水酸基をハロゲン元
素と置換する）を行うために例えば塩素ガスを供給させ
るようになっており、塩素雰囲気中で脱水させている。
【０００４】そして、この脱水作業に引き続き行う焼結
作業では、ヘリウム（Ｈｅ）ガスをマッフル１０２内に
送り込みながらプリフォーム１０１を高温で加熱して透
明ガラス化を行っている。また、このような脱水焼結を
行うマッフルにあっては、図４に示すように、マッフル
１０２内のガス圧を調整するために排気孔１０２Ａから
ガスの排気を適宜行っている。
作業では、ヘリウム（Ｈｅ）ガスをマッフル１０２内に
送り込みながらプリフォーム１０１を高温で加熱して透
明ガラス化を行っている。また、このような脱水焼結を
行うマッフルにあっては、図４に示すように、マッフル
１０２内のガス圧を調整するために排気孔１０２Ａから
ガスの排気を適宜行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな脱水焼結作業にあっては、支持部材１００とマッフ
ルの蓋１０４との隙間から内部のガスが漏れだして内圧
が一定しない場合があり、脱水焼結作業の不安定さ、不
確実さ、母材の品質不良等を招いている。
うな脱水焼結作業にあっては、支持部材１００とマッフ
ルの蓋１０４との隙間から内部のガスが漏れだして内圧
が一定しない場合があり、脱水焼結作業の不安定さ、不
確実さ、母材の品質不良等を招いている。
【０００６】そこで、この発明は、上記した事情に鑑
み、脱水焼結作業を安定して確実に行うことができる光
ファイバ母材の脱水焼結装置を提供することを目的とす
るものである。
み、脱水焼結作業を安定して確実に行うことができる光
ファイバ母材の脱水焼結装置を提供することを目的とす
るものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】即ち、この請求項１に記
載の発明は、適宜のガス雰囲気中のマッフル内で光ファ
イバ母材を高温加熱して透明化させる光ファイバ母材の
脱水焼結装置において、 前記マッフル内に光ファイバ
母材を吊り下げて支持する支持部材を挿入させるために
マッフル上部側に開口した挿入孔に、ガス溜まり空間を
設け、このガス溜まり空間に向けて適宜のガスを外部か
ら供給する供給管を接続し、前記マッフル内と前記ガス
溜まり空間内との圧力差を測定する差圧計を設け、この
差圧計で測定した差圧に応じて前記供給管を通りガス溜
まり空間に供給されるガス流量を調整する流量調整手段
を設け、前記マッフルとガス溜まり空間との内圧差をな
くすように構成したものである。
載の発明は、適宜のガス雰囲気中のマッフル内で光ファ
イバ母材を高温加熱して透明化させる光ファイバ母材の
脱水焼結装置において、 前記マッフル内に光ファイバ
母材を吊り下げて支持する支持部材を挿入させるために
マッフル上部側に開口した挿入孔に、ガス溜まり空間を
設け、このガス溜まり空間に向けて適宜のガスを外部か
ら供給する供給管を接続し、前記マッフル内と前記ガス
溜まり空間内との圧力差を測定する差圧計を設け、この
差圧計で測定した差圧に応じて前記供給管を通りガス溜
まり空間に供給されるガス流量を調整する流量調整手段
を設け、前記マッフルとガス溜まり空間との内圧差をな
くすように構成したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な一実施例
について添付図面を参照しながら説明する。なお、この
実施例において、従来例と同一部分には同一符号を付し
て重複説明を避ける。図１はこの発明の実施例に係る光
ファイバ母材の脱水焼結装置を示すものであり、この脱
水焼結装置では、マッフル１の閉鎖蓋２にガス空間２Ａ
を設け、この空間２Ａに向けて適宜のガスを供給する供
給管３を接続し、マッフル１本体内と空間２Ａ内との圧
力差を測定する差圧計４を設け、供給管３を通り空間２
Ａに供給されるガスの流量を調整する流量調整手段５を
備えている。
について添付図面を参照しながら説明する。なお、この
実施例において、従来例と同一部分には同一符号を付し
て重複説明を避ける。図１はこの発明の実施例に係る光
ファイバ母材の脱水焼結装置を示すものであり、この脱
水焼結装置では、マッフル１の閉鎖蓋２にガス空間２Ａ
を設け、この空間２Ａに向けて適宜のガスを供給する供
給管３を接続し、マッフル１本体内と空間２Ａ内との圧
力差を測定する差圧計４を設け、供給管３を通り空間２
Ａに供給されるガスの流量を調整する流量調整手段５を
備えている。
【０００９】閉鎖蓋２には、中央部にボス２１を形成す
るとともにこのボスの孔２１Ａの周面全体に亙りガス溜
まり空間（以下空間と略す）２Ａを形成している。ま
た、このボス２１には孔２１Ａ内を貫挿して設けた支持
部材１００との間にできるだけ隙間ができぬようにする
ため、Ｏリング２２が上下一対取り付けられている。な
お、この空間２Ａは、マッフル内の空間と略同一圧力に
設定されてあるため、常時大気圧よりもやや高めに圧力
調整されている。
るとともにこのボスの孔２１Ａの周面全体に亙りガス溜
まり空間（以下空間と略す）２Ａを形成している。ま
た、このボス２１には孔２１Ａ内を貫挿して設けた支持
部材１００との間にできるだけ隙間ができぬようにする
ため、Ｏリング２２が上下一対取り付けられている。な
お、この空間２Ａは、マッフル内の空間と略同一圧力に
設定されてあるため、常時大気圧よりもやや高めに圧力
調整されている。
【００１０】供給管３は、マッフル１本体内部へ供給す
るガスと同一ガス、即ちこの実施例では焼結時にはヘリ
ウムガス（脱水時には塩素ガスを供給）を空間２Ａ内へ
送り込んで供給するものであり、先端部が閉鎖蓋２の空
間２Ａに連結されている。また、この供給管３の基端部
側はヘリウムガス供給タンクやボンベ等の供給手段と連
結されている。この供給管３により空間２Ａ部分に溜ま
り込むヘリウムガスが、マッフル１内部から外部へのヘ
リウムガスの漏れを防止するとともに外部からマッフル
１内部へ各種不純物の混入したガスが進入するのを防止
する。
るガスと同一ガス、即ちこの実施例では焼結時にはヘリ
ウムガス（脱水時には塩素ガスを供給）を空間２Ａ内へ
送り込んで供給するものであり、先端部が閉鎖蓋２の空
間２Ａに連結されている。また、この供給管３の基端部
側はヘリウムガス供給タンクやボンベ等の供給手段と連
結されている。この供給管３により空間２Ａ部分に溜ま
り込むヘリウムガスが、マッフル１内部から外部へのヘ
リウムガスの漏れを防止するとともに外部からマッフル
１内部へ各種不純物の混入したガスが進入するのを防止
する。
【００１１】差圧計４は、マッフル１本体内部の圧力と
空間２Ａの内圧とを同一圧とするためこれら双方の内圧
を常時比較するものであり、マッフル１本体内部と空間
２Ａ内部とを連通・連結するモニタ管４１の一部に取り
付けられている。なお、この差圧計４は、測定した差圧
値に応じた差圧信号が出力されるようになっており、出
力が制御部６（図２参照）の入力に接続されている。
空間２Ａの内圧とを同一圧とするためこれら双方の内圧
を常時比較するものであり、マッフル１本体内部と空間
２Ａ内部とを連通・連結するモニタ管４１の一部に取り
付けられている。なお、この差圧計４は、測定した差圧
値に応じた差圧信号が出力されるようになっており、出
力が制御部６（図２参照）の入力に接続されている。
【００１２】流量調節手段５は、供給管３の一部に設け
たＭＦＣ（マスフローコントローラ）が使用されてお
り、差圧計４で測定した差圧に応じて供給管３を通り空
間２Ａに供給されるガスの流量を調整するようになって
いる。なお、この流量調節手段５は、入力が制御部６
（図２参照）の出力に接続されている。
たＭＦＣ（マスフローコントローラ）が使用されてお
り、差圧計４で測定した差圧に応じて供給管３を通り空
間２Ａに供給されるガスの流量を調整するようになって
いる。なお、この流量調節手段５は、入力が制御部６
（図２参照）の出力に接続されている。
【００１３】従って、この実施例によれば、例えばマッ
フル本体１の内圧値Ｐ１から空間２Ａの内圧値Ｐ２を差
し引いた圧力差Ｐがゼロでなくプラスの場合には、差圧
計４から制御部６へ差圧信号が出力される。これにより
マッフル本体１内部から空間２Ａを通り、ヘリウムガス
が外部へ漏れ出ていることを制御部６が検出する。その
結果、制御部６からは制御信号が流量調整手段５へ直ち
に出力され、少なくとも差圧信号がゼロになるまで流量
調整手段５を作動させ、供給管３を通過するヘリウムガ
ス流量を速やかに増大させる。
フル本体１の内圧値Ｐ１から空間２Ａの内圧値Ｐ２を差
し引いた圧力差Ｐがゼロでなくプラスの場合には、差圧
計４から制御部６へ差圧信号が出力される。これにより
マッフル本体１内部から空間２Ａを通り、ヘリウムガス
が外部へ漏れ出ていることを制御部６が検出する。その
結果、制御部６からは制御信号が流量調整手段５へ直ち
に出力され、少なくとも差圧信号がゼロになるまで流量
調整手段５を作動させ、供給管３を通過するヘリウムガ
ス流量を速やかに増大させる。
【００１４】また、逆にマッフル本体１の内圧値Ｐ１か
ら空間２Ａの内圧値Ｐ２を差し引いた圧力差Ｐがマイナ
スの場合には、直ちに差圧計４から出力される差圧信号
に基づき、制御部６の制御により、差圧信号がゼロにな
るまで流量調整手段５を作動させ、ヘリウムガスの流量
を減少させる。これにより、速やかに双方の内圧を同一
に調整できる。
ら空間２Ａの内圧値Ｐ２を差し引いた圧力差Ｐがマイナ
スの場合には、直ちに差圧計４から出力される差圧信号
に基づき、制御部６の制御により、差圧信号がゼロにな
るまで流量調整手段５を作動させ、ヘリウムガスの流量
を減少させる。これにより、速やかに双方の内圧を同一
に調整できる。
【００１５】なお、この実施例ではヘリウムガスを使用
した焼結工程に適用したが、この発明は特にこれに限定
されず、ハロゲン系のガス、例えば塩素ガス等を使用し
た脱水工程でも同様に適用できる。
した焼結工程に適用したが、この発明は特にこれに限定
されず、ハロゲン系のガス、例えば塩素ガス等を使用し
た脱水工程でも同様に適用できる。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明してきたように、この発明に
よれば、マッフル内に光ファイバ母材を吊り下げて支持
する支持部材を挿入させるためにマッフル上部側に開口
した挿入孔に、ガス溜まり空間を設け、このガス溜まり
空間に向けて適宜のガスを外部から供給する供給管を接
続し、マッフル内とガス溜まり空間内との圧力差を測定
する差圧計を設け、この差圧計で測定した差圧に応じて
供給管を通りガス溜まり空間に供給されるガス流量を調
整する流量調整手段を設けたので、ガス溜まり空間内と
マッフル内との差圧をゼロにするように供給管からガス
溜まり空間へのガス送り込み量を調整できる構成になっ
ており、例えば支持部材とマッフルとの間に形成される
隙間から内部のガスが漏れだして内圧が下がり、外部か
ら各種不純物を含んだ空気等が進入してきてプリフォー
ムが汚損されるといった事態が確実に防止でき、高品質
で信頼性の高い脱水・焼結装置が実現できるようにな
る。
よれば、マッフル内に光ファイバ母材を吊り下げて支持
する支持部材を挿入させるためにマッフル上部側に開口
した挿入孔に、ガス溜まり空間を設け、このガス溜まり
空間に向けて適宜のガスを外部から供給する供給管を接
続し、マッフル内とガス溜まり空間内との圧力差を測定
する差圧計を設け、この差圧計で測定した差圧に応じて
供給管を通りガス溜まり空間に供給されるガス流量を調
整する流量調整手段を設けたので、ガス溜まり空間内と
マッフル内との差圧をゼロにするように供給管からガス
溜まり空間へのガス送り込み量を調整できる構成になっ
ており、例えば支持部材とマッフルとの間に形成される
隙間から内部のガスが漏れだして内圧が下がり、外部か
ら各種不純物を含んだ空気等が進入してきてプリフォー
ムが汚損されるといった事態が確実に防止でき、高品質
で信頼性の高い脱水・焼結装置が実現できるようにな
る。
【図１】この発明にかかる光ファイバ母材の脱水焼結装
置を示す要部断面図。
置を示す要部断面図。
【図２】同装置の電気的接続状態を示す構成ブロック
図。
図。
【図３】従来の脱水焼結装置を示す概略断面図。
【図４】同要部断面図。
１ マッフル ２ 閉鎖蓋 ２Ａ 空間 ３ 供給管 ４ 差圧計 ５ 流量調整手段 １００ 支持部材
Claims (1)
- 【請求項１】 適宜のガス雰囲気中のマッフル（１）内
で光ファイバ母材（１０１）を高温加熱して透明化させ
る光ファイバ母材の脱水焼結装置において、 前記マッフル（１）内に光ファイバ母材（１０１）を吊
り下げて支持する支持部材（１００）を挿入させるため
にマッフル（１）上部側に開口した挿入孔（２１Ａ）
に、ガス溜まり空間（２Ａ）を設け、 このガス溜まり空間（２Ａ）に向けて適宜のガスを外部
から供給する供給管（３）を接続し、 前記マッフル（１）内と前記ガス溜まり空間（２Ａ）内
との圧力差を測定する差圧計（４）を設け、 この差圧計（４）で測定した差圧に応じて前記供給管
（３）を通りガス溜まり空間（２Ａ）に供給されるガス
流量を調整する流量調整手段（５）を設け、 前記マッフル（１）とガス溜まり空間（２Ａ）との内圧
差をなくすように構成したことを特徴とする光ファイバ
母材の脱水焼結装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16156499A JP2000351643A (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 光ファイバ母材の脱水焼結装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16156499A JP2000351643A (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 光ファイバ母材の脱水焼結装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000351643A true JP2000351643A (ja) | 2000-12-19 |
Family
ID=15737520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16156499A Pending JP2000351643A (ja) | 1999-06-08 | 1999-06-08 | 光ファイバ母材の脱水焼結装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000351643A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030056632A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 주식회사 에스티아이 | 광섬유 전단계의 성형물인 프리폼의 탈수 및 탈지로 |
| CN104176925A (zh) * | 2013-05-21 | 2014-12-03 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用玻璃母材的烧结装置及烧结方法 |
-
1999
- 1999-06-08 JP JP16156499A patent/JP2000351643A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030056632A (ko) * | 2001-12-28 | 2003-07-04 | 주식회사 에스티아이 | 광섬유 전단계의 성형물인 프리폼의 탈수 및 탈지로 |
| CN104176925A (zh) * | 2013-05-21 | 2014-12-03 | 信越化学工业株式会社 | 光纤用玻璃母材的烧结装置及烧结方法 |
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