JP2000352670A

JP2000352670A - 走査型共焦点顕微鏡

Info

Publication number: JP2000352670A
Application number: JP11162436A
Authority: JP
Inventors: Hideo Watabe; 秀夫渡部
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1999-06-09
Filing date: 1999-06-09
Publication date: 2000-12-19
Anticipated expiration: 2019-06-09
Also published as: JP4384290B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、短い時間で、正確な画像情報を取得
することができる走査型共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】試料４に対してレーザ光を照射し、試料４
からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を試
料４の画像情報として得るもので、試料４に対してレー
ザ光を２次元走査する２次元走査機構１２と試料４に対
するレーザ光を焦点位置を調整するレボルバ１５を２次
元走査駆動制御回路１３により制御するとともに、レボ
ルバ１５による焦点位置の調整期間中に２次元走査機構
１２による２次元走査を禁止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料に対する集束
光の走査制御やデータ処理を改善して処理の高速化を図
った走査型共焦点顕微鏡に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】走査型共焦点顕微鏡は、点状光源によっ
て観察試料（以下、試料と称する）の表面を点状に照明
し、この照明された試料表面からの透過光または反射光
を再び点状に集光してピンホール開口を有する検出器に
結像させ、この検出器により結像の輝度情報を得るとい
う共焦点作用を利用した顕微鏡である。

【０００３】図６は、一般的な走査型共焦点顕微鏡の概
略構成図である。

【０００４】点光源１から出射された点状光は、ハーフ
ミラー２を通過したのち収差が補正された対物レンズ３
によって試料４の表面に点状結像される。そして、この
点状照明の試料４による反射光は、再び対物レンズ３を
通過したのちハーフミラー２で反射されて集光する。こ
の集光位置にはピンホール５が配置されており、このピ
ンホール５を通過した上記反射光は光検出器６によって
検出される。

【０００５】このような点状照明をラスタ走査等により
試料４の表面の測定領域全体にわたって２次元走査を行
い、その反射光の光検出器６による検出信号を画像表示
することにより、試料４の表面の２次元画像が得られ
る。

【０００６】この２次元走査には例えばＸ方向にはガル
バノスキャナやレゾナントスキャナ、Ｙ方向にはガルバ
ノスキャナが用いられている。これらＸ，Ｙスキャナに
ガルバノスキャナを組み合わせた場合は、試料４の表面
の走査速度は約１枚／秒程度になり、走査速度を少し向
上させるためにＸスキャナにレゾナントスキャナを用い
たものでは約５枚／秒程度となっている。なお、画素数
は、１０２４×７６８画素となっている。

【０００７】このような走査型共焦点顕微鏡では、上記
共焦点作用により段差のある試料４の表面全てに合焦し
た画像を得られる走査が可能である（以下、エクステン
ド走査）。これは焦点位置で得られる試料４の輝度は最
大輝度となることを利用したもので、ある対物レンズ３
（又は試料４）位置にて得られる試料４の輝度情報と対
物レンズ３（又は試料４）を光軸方向に微少位置ずらし
たところで得られる試料４の輝度情報とを比較し、これ
ら２枚の画像の同一画素同士で輝度の高い方の画素を残
して行くことで、最終的にある光軸方向範囲で得られる
試料４の画像が試料４表面全体に合焦した２次元画像と
なる。また、上記画素比較の際、輝度が高いと判断され
た場合、その時の光軸方向の位置を記憶させることで最
終的に試料４の高さ（凹凸）の情報が得られる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
エクステンド走査では、ある焦点位置における２次元走
査による画像取込みが終了した後に、次の焦点位置に対
物レンズ３（又は試料４）を所定ピッチでＺ軸移動し
て、２次元走査による次の画像取込みを行なうようにし
ている。ところが、一般的に、焦点位置における２次元
走査による画像取込みの周期と焦点位置移動の時間が同
期していないため、走査の帰線期間中に焦点位置の移動
が終了しない間に２次元走査による画像取込みが開始さ
れ、無駄データとなる。このため、次の画像取込みを空
振り（データ取得しない）の時間に充なくてはならず、
所望する枚数の画像を取得するのに多大な時間を要する
という問題が生じる。

【０００９】そこで、画像の取込み時間を短縮するた
め、２次元走査による画像取込みを行いながら対物レン
ズ３（又は試料４）の焦点移動を行なうようにしたもの
もあるが、このようにしたものでは、画像取込みの走査
中に焦点位置が移動しているので、取得された画像は、
試料を斜めに走査したものとなり、エクステンド走査に
より高さの情報を得る過程を考えると、正確な情報とな
り得ないという問題があった。

【００１０】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、短い時間で、正確な画像情報を取得することができ
る走査型共焦点顕微鏡を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
試料に対して集束光を照射して前記試料からの光を受光
し、この受光強度に応じた検出信号を前記試料の画像情
報として得る走査型共焦点顕微鏡において、前記試料に
対して集束光を２次元走査する２次元走査手段と、前記
試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置調整
手段と、前記２次元走査手段および前記焦点位置調整手
段のそれぞれの動作を制御するとともに、少なくとも前
記焦点位置調整手段による焦点位置の調整期間に前記２
次元走査手段による２次元走査を禁止する制御手段とを
具備したことを特徴としている。

【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記制御手段は、２次元走査手段の１ライ
ン走査ごとに出力される水平同期信号とフレーム走査ご
とに出力される垂直同期信号を管理し、前記垂直同期信
号により焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始を
指示するとともに前記２次元走査手段による２次元走査
を禁止し、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整
終了をまって前記２次元走査手段の２次元走査を開始さ
せることを特徴としている。

【００１３】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、前記制御手段は、さらに２次元走査手段の
垂直同期信号に続けて出力される制御信号を管理し、前
記焦点位置調整手段による焦点位置の調整終了が前記制
御信号より前に通知された場合は、前記２次元走査手段
の２次元走査を禁止せず、前記焦点位置調整手段による
焦点位置の調整終了が前記制御信号より後に通知された
場合は、前記制御信号の発生時点で前記２次元走査手段
の２次元走査を一時禁止し、前記焦点位置の調整終了を
まって前記２次元走査手段の２次元走査を開始させるこ
とを特徴としている。

【００１４】この結果、本発明によれば、エクステンド
走査における２次元走査手段での２次元走査と焦点位置
調整手段による焦点位置移動の同期を取ることで、無駄
な２次元走査期間（データを取得できない空振り期間）
を取り除くことができる。

【００１５】また、本発明によれば、２次元走査手段の
垂直同期信号に続けて出力される制御信号との間の期間
も焦点位置調整手段による焦点位置の調整に利用するこ
とができる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。

【００１７】（第１の実施の形態）図１は、本発明が適
用される走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示している。

【００１８】図において、１００は顕微鏡本体で、この
顕微鏡本体１００にはレーザー光源１０が設けられてい
る。このレーザー光源１０は試料４の表面を走査するス
ポット光（集束光）としてのレーザー光を発生させるも
のである。このレーザー光源１０の光路上にはミラー１
１が配置されている。このミラー１１は、このレーザー
光源１０からのレーザー光を２次元走査機構１２に導く
ための反射鏡である。

【００１９】２次元走査機構１２は、ミラー１１を介し
て得たレーザー光源１０からのレーザー光を２次元走査
駆動制御回路１３での制御のもとで、スポット光とし
て、ＸＹ方向に２次元走査するためのものである。

【００２０】２次元走査機構１２を介して２次元走査さ
れたスポット光は、対物レンズ１４を介してステージ１
６上に載置された試料４に照射されるようにしている。
この場合、対物レンズ１４は、レボルバ１５に取付けら
れている。このレボルバ１５は、倍率の異なる複数の対
物レンズ１４を保持したもので、これら対物レンズ１４
のうちの所望の倍率を持つものを顕微鏡の観察光路中に
位置設定可能にするとともに、後述する焦点移動機構２
３の指示により対物レンズ１４を光軸方向に焦点移動で
きるようにしている。

【００２１】一方、試料４からの反射光は、対物レンズ
１４を通り２次元走査機構１２に戻り、この２次元走査
機構１２からハーフミラー１７へと戻されるようになっ
ている。このハーフミラー１７は、２次元走査機構１２
に対するレーザー光源１０の出射光路上に設けられ、２
次元走査機構１２を介して得られる試料４からの反射光
を検出系に導くための半透明鏡である。

【００２２】そして、ハーフミラー１７介して得た試料
４からの反射光は、レンズ１８を透過され、ピンホール
板１９のピンホールを介して光検出器２０で受光される
ようにしている。レンズ１８は、試料４からの反射光を
集光するものであり、ピンホール板１９は所要の径のピ
ンホールを有し、光検出器２０の受光面の前面のレンズ
１８の焦点位置に配置されている。また、光検出器２０
は、ピンホール板１９のピンホールを介して得られる光
をその光量対応の電気信号に変換する光検出素子からな
っている。

【００２３】光検出器２０で光電変換された信号は、２
次元走査駆動制御回路１３からのタイミング信号と共に
コンピュータ２１に送られ、コンピュータ２１において
画像化されモニタ２２に、試料４の表面情報として表示
されるようになっている。

【００２４】コンピュータ２１には、焦点移動機構２３
が接続されている。この焦点移動機構２３は、レボルバ
１５に接続されるとともに、２次元走査駆動制御回路１
３に接続されていて、コンピュータ２１の指示によりレ
ボルバ１５の焦点移動と２次元走査機構１２による２次
元走査を同期して制御できるようにしている。

【００２５】図２は、このように構成された走査型共焦
点顕微鏡の要部をさらに詳述するための図である。

【００２６】この場合、２次元走査機構１２は、Ｘ軸方
向走査用として例えばガルバノミラーまたはレゾナント
スキャナからなるＸスキャナ１２１とＹ軸方向走査用と
して例えばガルバノミラーからなるＹスキャナ１２２を
有し、Ｘスキャナ１２１は、ドライバ１２３により駆動
されて２次元走査の主走査を行ない、Ｙスキャナ１２２
は、ドライバ１２４により駆動されて２次元走査の副走
査を行なうようにしている。

【００２７】焦点移動機構２３は、ドライバ２３１を有
し、レボルバ１５による対物レンズ１４の焦点移動を行
なうようにしている。

【００２８】２次元走査駆動制御回路１３は、Ｘ波形生
成回路１３１、Ｙ波形生成回路１３２および同期生成回
路１３３を有している。Ｘ波形生成回路１３１は、例え
ばアドレスカウンタや波形メモリを有し、２次元走査機
構１２のドライバ１２３に対して駆動信号ＸＤＲＩＶＥ
を出力してＸスキャナ１２１の２次元走査の主走査を制
御するとともに、１ラインの走査ごとに水平同期信号Ｈ
Ｄを出力し、また、Ｙ波形生成回路１３２は、例えばア
ドレスカウンタや波形メモリを有し、同期生成回路１３
３を経由したＸ波形生成回路１３１からのタイミング信
号ＨＤ’で動作し、２次元走査機構１２のドライバ１２
４に対して駆動信号ＹＤＲＩＶＥを出力してＹスキャナ
１２２の２次元走査の副走査を制御するとともに、１フ
レームの走査ごとに垂直同期信号ＶＤを出力する。ま
た、同期生成回路１３３は、Ｘ波形生成回路１３１の１
ライン走査ごとの水平同期信号ＨＤとＹ波形生成回路１
３２の１フレーム走査ごとの垂直同期信号ＶＤにより、
モニタ２２に試料４の画像を表示させるのに必要な同期
信号ＳＹＮＣを出力し、また、焦点移動機構２３のドラ
イバ２３１に対しレボルバ１５による焦点移動の移動開
始信号ＺＳＴＡＲＴを出力するとともに、レボルバ１５
が所定距離だけ移動したところで、ドライバ２３１より
移動終了信号ＺＥＮＤを受取るようにしている。

【００２９】次に、以上のように構成した実施の形態の
作用について説明する。

【００３０】いま、レーザー光源１０から出力されたレ
ーザー光は、ミラー１１で２次元走査機構１２に導か
れ、この２次元走査機構１２でＸＹ軸方向に２次元走査
され、走査されたレーザー光は、対物レンズ１４を通し
て試料４上にスポット光として走査されながら照射され
る。

【００３１】一方、この試料４からの反射光は、対物レ
ンズ１４を通って２次元走査機構１２に戻り、この２次
元走査機構１２からハーフミラー１７、レンズ１８、そ
してピンホール板１９を通って光検出器２０に入射さ
れ、この光検出器２０で光電変換され電気信号としてコ
ンピュータ２１に送出される。

【００３２】この場合、２次元走査機構１２での２次元
走査は、２次元走査駆動制御回路１３により制御される
が、図２に示すＸ波形生成回路１３１では、波形メモリ
に図３に示す波形パターンを用意していて、２次元走査
が開始されると図示しないアドレスカウンタが動作し、
Ａ→Ｂ→Ｃ→Ａとアドレスが進むことで、図４（ａ）に
示す周期的な駆動波形ＸＤＲＩＶＥを２次元走査機構１
２のドライバ１２３に出力する。ドライバ１２３は、駆
動波形ＸＤＲＩＶＥを受取ると、Ｘスキャナ１２１を駆
動して２次元走査の主走査を行なう。同時に、駆動波形
ＸＤＲＩＶＥのうちの帰線期間の始まりを知らせる信
号、つまり、１ラインの走査ごとの水平同期信号ＨＤ
（図４（ｂ））を出力する。

【００３３】これにより、試料４の１ライン分の画素デ
ータが駆動波形ＸＤＲＩＶＥのＡ−Ｂ間（例えば１０２
４画素分）で得られることになる。

【００３４】一方、Ｘ波形生成回路１３１より水平同期
信号ＨＤが出力されると、同期生成回路１３３を経由し
て図４（ｃ）に示すタイミング信号ＨＤ’がＹ波形生成
回路１３２に与えられる。この場合、Ｙ波形生成回路１
３２は、Ｘ波形生成回路１３１と同様な図３に示す波形
パターンを波形メモリに用意していて、同期生成回路１
３３を経由したタイミング信号ＨＤ’を受けて１ライン
ごとにアドレスを進め、Ａ→Ｂ→Ｃ→Ａに応じた図４
（ｄ）に示す周期的な駆動波形ＹＤＲＩＶＥを２次元走
査機構１２のドライバ１２４に出力する。ドライバ１２
４は、駆動波形ＹＤＲＩＶＥを受取ると、Ｙスキャナ１
２２を駆動して２次元走査の副走査を行なう。同時に、
駆動波形ＹＤＲＩＶＥのうちの帰線期間の始まりを知ら
せる信号、つまり、１フレームの走査ごとに図４（ｅ）
に示す垂直同期信号ＶＤを出力する。

【００３５】これにより、試料４の１フレームごとの画
素データが駆動波形ＹＤＲＩＶＥのＡ−Ｂ間（例えば７
６８ライン分）で得られ、これらの動作を繰り返すこと
により、試料４の画像がコンピュタ２１を介してモニタ
２２に表示される。

【００３６】次に、エクステンド走査を説明する。

【００３７】この場合、予め、コンピュータ２１より焦
点移動機構２３のドライバ２３１に対して１フレームご
とのレボルバ１５の移動距離が設定されている。

【００３８】この状態から、コンピュータ２１より２次
元走査駆動制御回路１３の同期生成回路１３３にエクス
テンド走査が指示され、Ｙ波形生成回路１３２が同期生
成回路１３３を経由して与えられるタイミング信号Ｈ
Ｄ’を、例えば図４（ｃ）のａ点のように受取ると、図
４（ｄ）のｂ点のように駆動波形ＹＤＲＩＶＥを２次元
走査機構１２のドライバ１２４に出力する。この場合、
波形メモリの図３に示すＡ点からＹスキャナ１２２によ
り２次元走査の副走査を行ない、同図Ｂ点までで１フレ
ーム分（７６８ライン分）の画像データを取込み、同時
に、図４（ｅ）のｃ点で垂直同期信号ＶＤを出力する。

【００３９】すると、同期生成回路１３３より図４
（ｆ）のｄ点で焦点移動機構２３のドライバ２３１に対
しレボルバ移動信号ＺＳＴＡＲＴが出力され、このレボ
ルバ移動信号ＺＳＴＡＲＴによりレボルバ１５の予め定
められた距離の移動が開始される。同時に、図４（ｅ）
のｃ点の垂直同期信号ＶＤにより図４（ｃ）のｅ点から
Ｙ波形生成回路１３２のアドレスカウンタを駆動するタ
イミング信号ＨＤ’をマスクする。この場合、アドレス
カウンタを止められたＹ波形生成回路１３２は、図３の
Ｂ点の位置で保持され、これにより、レボルバ１５が移
動される間は、２次元走査の副走査は一時停止されるこ
とになる。

【００４０】その後、レボルバ１５の所定距離の移動が
完了すると、図４（ｇ）のｆ点でドライバ２３１より同
期生成回路１３３に移動完了信号ＺＥＮＤが出力され
る。この移動完了信号ＺＥＮＤを同期生成回路１３３が
受取ると、図４（ｃ）のｇ点でタイミング信号ＨＤ’を
マスクが解除され、次の主走査のタイミングで有効とす
ることで、Ｙ波形生成回路１３２は、通常動作に戻り、
次のフレーム走査に移行される。

【００４１】以下、同様にして、焦点位置における２次
元走査による１フレームの画像取込みを終了するごと
に、所定の移動量で焦点移動を行ない、次の焦点位置に
移動して、次の２次元走査による１フレームの画像取込
みを行なうエクステンド走査が行なわれることになる。

【００４２】従って、このような構成によれば、エクス
テンド走査の際のレボルバ１５による焦点位置の移動に
基づいて２次元走査機構１２のＹスキャナ１２２による
２次元走査の副走査期間を制御し、レボルバ１５の移動
距離に対応させて次フレーム走査への処理に移行させる
ようにできるので、エクステンド走査中の隣り合う２つ
の焦点位置間の２次元走査と焦点位置調整移動の非同期
性を吸収できるようになり、従来の走査の帰線期間中に
焦点位置の移動が終了しないと、次の画像取込みを空振
り（データ取得しない）とするものと比べ、無駄な２次
元走査期間（データを取得できない空振り期間）を取り
除くことができ、画像の取込み時間を大幅に短縮でき、
また、従来の画像の取込み時間を短縮するため、２次元
走査による画像取込みを行いながら焦点移動を行なうた
め取得された画像が試料を斜めに走査するものと比べ
て、常に正確な画像情報を取得することができる。

【００４３】（第２の実施の形態）次に、本発明の第２
の実施の形態について説明する。

【００４４】この場合、第１の実施の形態で述べた図１
および図２については、第２の実施の形態でも同様なの
で、これら図１および図２を援用し、また、図３に示す
Ｘ波形生成回路１３１の波形メモリの波形パターンも、
同図を援用するものとする。

【００４５】また、Ｙ波形生成回路１３２の波形メモリ
の波形パターンは、図５に示すように波形メモリのアド
レスＢに垂直同期信号ＶＤを、アドレスＣに制御信号Ｅ
Ｎをそれぞれ出力するようにしている。

【００４６】このようにしても、ある１フレームの画像
データの取得が行なわれると、予め設定された距離だけ
レボルバ１５が焦点移動されるようになるが、ここまで
の動作は、第１の実施の形態と同様である。

【００４７】この場合、図５に示す波形パターンの垂直
帰線期間（アドレスＢ→Ｃ間）中も２次元走査は止まら
ないようになっており、仮に、レボルバ１５の焦点移動
の距離（時間）が小さく、垂直帰線期間Ｂ→Ｃ間でレボ
ルバ１５の移動が完了してしまい、ドライバ２３１から
の移動完了信号ＺＥＮＤよりも制御信号ＥＮの方が後か
ら同期生成回路１３３に通知されるような場合は、２次
元走査を止めることなく、連続したフレームでデータ取
得を行うようになる。また、レボルバ１５の焦点移動の
距離（時間）が大きく、垂直帰線期間Ｂ→Ｃ間でレボル
バ１５の移動が完了せずに、次フレーム内に完了時点が
食い込んでしまい制御信号ＥＮよりも移動完了信号ＺＥ
ＮＤが後で同期生成回路１３３に通知されるような場合
は、制御信号ＥＮの発生時点で２次元走査を一時停止
し、ドライバ２３１からの移動完了信号ＺＥＮＤを待っ
てから次のフレームの走査を再開するようになる。

【００４８】従って、このようにすれば、垂直帰線期間
Ｂ→Ｃも有効に焦点位置調整のためのレボルバ１５の移
動期間に利用することができるので、さらに効率のよい
画像情報の取得を期待することができる。

【００４９】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、エク
ステンド走査中の連続する焦点位置の移動にともなう２
次元走査手段での２次元走査と焦点位置調整手段による
焦点位置移動の非同期性を吸収できるので、無駄な２次
元走査期間（データを取得できない空振り期間）を取り
除くことができ、短い時間で、正確な画像情報を効率よ
く取得することができる。

【００５０】また、本発明によれば、２次元走査手段の
垂直同期信号に続けて出力される制御信号との間の期間
も焦点位置調整手段による焦点位置の調整に利用するこ
とができるので、さらに効率のよい画像情報の取得を期
待することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。

【図２】第１の実施の形態の要部を詳述するための図。

【図３】第１の実施の形態の動作を説明するための図。

【図４】第１の実施の形態の動作を説明するためのタイ
ムチャート。

【図５】本発明の第２の実施の形態を説明するための
図。

【図６】従来の走査型共焦点顕微鏡の概略構成を示す
図。

【符号の説明】

４：試料、１０：レーザ光源、１１：ミラー、１２：２次元走査機構、１２１：Ｘスキャナ１２２：Ｙスキャナ１２３、１２４：ドライバ１３：２次元走査駆動制御回路、１３１：Ｘ波形生成回路１３２：Ｙ波形生成回路１３３：同期生成回路１４：対物レンズ、１５：レボルバ、１６：ステージ、１７：ハーフミラー、１８：レンズ、１９：ピンホール板、２０：光検出器、２１：コンピュータ、２２：モニタ、２３：焦点移動機構、２３１：ドライバ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料に対して集束光を照射して前記試料
からの光を受光し、この受光強度に応じた検出信号を前
記試料の画像情報として得る走査型共焦点顕微鏡におい
て、前記試料に対して集束光を２次元走査する２次元走査手
段と、前記試料に対する集束光の焦点位置を調整する焦点位置
調整手段と、前記２次元走査手段および前記焦点位置調整手段のそれ
ぞれの動作を制御するとともに、少なくとも前記焦点位
置調整手段による焦点位置の調整期間に前記２次元走査
手段による２次元走査を禁止する制御手段とを具備した
ことを特徴とする走査型共焦点顕微鏡。
【請求項２】前記制御手段は、２次元走査手段の１ラ
イン走査ごとに出力される水平同期信号とフレーム走査
ごとに出力される垂直同期信号を管理し、前記垂直同期
信号により焦点位置調整手段による焦点位置の調整開始
を指示するとともに前記２次元走査手段による２次元走
査を禁止し、前記焦点位置調整手段による焦点位置の調
整終了をまって前記２次元走査手段の２次元走査を開始
させることを特徴とする請求項１記載の走査型共焦点顕
微鏡。
【請求項３】前記制御手段は、さらに２次元走査手段
の垂直同期信号に続けて出力される制御信号を管理し、
前記焦点位置調整手段による焦点位置の調整終了が前記
制御信号より前に通知された場合は、前記２次元走査手
段の２次元走査を禁止せず、前記焦点位置調整手段によ
る焦点位置の調整終了が前記制御信号より後に通知され
た場合は、前記制御信号の発生時点で前記２次元走査手
段の２次元走査を一時禁止し、前記焦点位置の調整終了
をまって前記２次元走査手段の２次元走査を開始させる
ことを特徴とする請求項２記載の走査型共焦点顕微鏡。