JP2000356471A - 連続搬送焼成炉 - Google Patents
連続搬送焼成炉Info
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 71
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 52
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910008045 Si-Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006411 Si—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021431 alpha silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 炉内における焼成温度のバラツキが小さく、
炉内のクリーン度を確保し、試験焼成炉として小型化可
能な連続搬送焼成炉を提供する。 【解決手段】 ローラーハース式の連続搬送焼成炉１０
である。少なくとも２以上の区画された加熱室１，２，
３から構成されており、これらの各加熱室１，２，３は
被焼成品１９を相互に連続搬送し得るように構成されて
いる。
炉内のクリーン度を確保し、試験焼成炉として小型化可
能な連続搬送焼成炉を提供する。 【解決手段】 ローラーハース式の連続搬送焼成炉１０
である。少なくとも２以上の区画された加熱室１，２，
３から構成されており、これらの各加熱室１，２，３は
被焼成品１９を相互に連続搬送し得るように構成されて
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、フラットディス
プレイパネル（以下、ＦＤＰと称す。）用基板等を焼成
する連続搬送焼成炉、特に、ＦＤＰ用基板などの試験焼
成炉として小型で好適に使用することができる連続搬送
焼成炉に関するものである。
プレイパネル（以下、ＦＤＰと称す。）用基板等を焼成
する連続搬送焼成炉、特に、ＦＤＰ用基板などの試験焼
成炉として小型で好適に使用することができる連続搬送
焼成炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 近年になり、ＦＤＰの一種であるプラ
ズマディスプレイパネルは画面の大型化対応の主力製品
として注目されており、各社が開発を進めている。この
ようなＦＤＰの一種であるプラズマディスプレイパネル
を製造するに当たっては、焼成炉が必要不可欠であり、
ガラス基板のアニール工程、電極、バリヤリブ、誘電
体、蛍光体などの印刷技術による厚膜プロセスなどにお
いて使用される。
ズマディスプレイパネルは画面の大型化対応の主力製品
として注目されており、各社が開発を進めている。この
ようなＦＤＰの一種であるプラズマディスプレイパネル
を製造するに当たっては、焼成炉が必要不可欠であり、
ガラス基板のアニール工程、電極、バリヤリブ、誘電
体、蛍光体などの印刷技術による厚膜プロセスなどにお
いて使用される。
【０００３】 上記焼成工程においては、例えば、厚膜
プロセスでは、炉内における焼成温度の均一化とクリー
ン化は当然に要求されるところであるが、ＦＤＰは今後
さらに大型化・高微細化と、何より大量生産と安く製造
することが要請されている。
プロセスでは、炉内における焼成温度の均一化とクリー
ン化は当然に要求されるところであるが、ＦＤＰは今後
さらに大型化・高微細化と、何より大量生産と安く製造
することが要請されている。
【０００４】 一方、上記のようなＦＤＰ用基板を焼成
するに当たっては、小型で簡易な試験用の焼成炉が求め
られている。試験用焼成炉としては、通常、次の２つの
方式が採用される。第一には、試験焼成品を実機寸法と
してバッチ炉により確認する方式であり、第二には、試
験焼成品及び焼成炉の両者を相似的に小型化し、確認す
る方式である。
するに当たっては、小型で簡易な試験用の焼成炉が求め
られている。試験用焼成炉としては、通常、次の２つの
方式が採用される。第一には、試験焼成品を実機寸法と
してバッチ炉により確認する方式であり、第二には、試
験焼成品及び焼成炉の両者を相似的に小型化し、確認す
る方式である。
【０００５】 しかしながら、第一方式のバッチ炉によ
る試験では、ローラーハース式などの連続炉における加
熱室から他の加熱室への焼成品の移動（乗り移り）に伴
うガス流れの影響の確認が不可能であるという問題があ
る。また、第二方式でいうような小型のローラーハース
式試験焼成炉においては、大型製品の全体としての温度
分布の実証ができず、量産化時の問題点を見出すことが
できないという欠点がある。また、炉壁近傍と炉中央部
との焼成に与える影響の相違などを判断することができ
ない。
る試験では、ローラーハース式などの連続炉における加
熱室から他の加熱室への焼成品の移動（乗り移り）に伴
うガス流れの影響の確認が不可能であるという問題があ
る。また、第二方式でいうような小型のローラーハース
式試験焼成炉においては、大型製品の全体としての温度
分布の実証ができず、量産化時の問題点を見出すことが
できないという欠点がある。また、炉壁近傍と炉中央部
との焼成に与える影響の相違などを判断することができ
ない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 従って、本発明は、
上記した課題に鑑みてなされたものであり、その目的
は、炉内における焼成温度のバラツキが小さく、炉内の
クリーン度を確保するとともに、試験焼成炉として小型
化可能な連続搬送焼成炉を提供することにある。
上記した課題に鑑みてなされたものであり、その目的
は、炉内における焼成温度のバラツキが小さく、炉内の
クリーン度を確保するとともに、試験焼成炉として小型
化可能な連続搬送焼成炉を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、ローラーハース式の焼成炉であって、少なくとも
２以上の区画された加熱室から構成されているととも
に、これらの各加熱室は被焼成品を相互に連続搬送し得
るように構成されていることを特徴とする連続搬送焼成
炉、が提供される。本発明の焼成炉は、より具体的に
は、外壁たる炉体と、該炉体を保護するための耐熱鋼板
からなるパネルカバーと、該炉体の内側を覆う断熱材層
と、該断熱材層の内側に配設される内張りとを備えて構
成され、該断熱材層と該内張りの間であって焼成炉の上
部及び底部に加熱用ヒータが配置されていることが好ま
しい。
れば、ローラーハース式の焼成炉であって、少なくとも
２以上の区画された加熱室から構成されているととも
に、これらの各加熱室は被焼成品を相互に連続搬送し得
るように構成されていることを特徴とする連続搬送焼成
炉、が提供される。本発明の焼成炉は、より具体的に
は、外壁たる炉体と、該炉体を保護するための耐熱鋼板
からなるパネルカバーと、該炉体の内側を覆う断熱材層
と、該断熱材層の内側に配設される内張りとを備えて構
成され、該断熱材層と該内張りの間であって焼成炉の上
部及び底部に加熱用ヒータが配置されていることが好ま
しい。
【０００８】 また、本発明の連続搬送焼成炉において
は、炉の内張りをＳｉ−ＳｉＣ系材料により構成すると
ともに、該内張りの外部にガスラジアントチューブヒー
タ、あるいはガスラジアントチューブヒータと電気ヒー
タの組合せを配設して加熱することが好ましい。また、
上記した本発明の連続搬送焼成炉は、ＦＤＰ用基板の試
験焼成炉として特に好ましく適用することができる。
は、炉の内張りをＳｉ−ＳｉＣ系材料により構成すると
ともに、該内張りの外部にガスラジアントチューブヒー
タ、あるいはガスラジアントチューブヒータと電気ヒー
タの組合せを配設して加熱することが好ましい。また、
上記した本発明の連続搬送焼成炉は、ＦＤＰ用基板の試
験焼成炉として特に好ましく適用することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】 本発明に係る連続搬送焼成炉を
図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明するが、本発
明はこれらの実施形態に限られるものではない。図１は
本発明に係る連続搬送焼成炉の一実施例を示す概略断面
図で、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１に於い
て、１０はローラーハース式の連続搬送焼成炉であり、
第一加熱室１、第二加熱室２、及び第三加熱室３の３つ
の区画された加熱室から構成されており、これらの各加
熱室１，２，３は独自に温度の設定、制御ができる構成
にするとともに、ＦＤＰ用基板などの被焼成品１９を相
互に連続搬送し得るように構成されている。
図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明するが、本発
明はこれらの実施形態に限られるものではない。図１は
本発明に係る連続搬送焼成炉の一実施例を示す概略断面
図で、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。図１に於い
て、１０はローラーハース式の連続搬送焼成炉であり、
第一加熱室１、第二加熱室２、及び第三加熱室３の３つ
の区画された加熱室から構成されており、これらの各加
熱室１，２，３は独自に温度の設定、制御ができる構成
にするとともに、ＦＤＰ用基板などの被焼成品１９を相
互に連続搬送し得るように構成されている。
【００１０】 また、図２を参照すると、１０はローラ
ーハース式の連続搬送焼成炉で、焼成炉１０は、外壁た
る炉体１１と、該炉体１１を保護するための耐熱鋼板か
らなるパネルカバー１２と、該炉体１１の内側を覆う断
熱材層１３と、該断熱材層１３の内側に配設される内張
り１４とを備えて構成され、断熱材層１３と内張り１４
の間であって炉の上部及び底部には加熱用電気ヒータ１
５が配置されている。また、炉内部材として、ローラー
１６、セッター１７、スペーサー１８、及びビーム（図
示せず）等が用いられ、セッター１７の上には被焼成品
であるＰＤＰ用基板１９が載置されている。
ーハース式の連続搬送焼成炉で、焼成炉１０は、外壁た
る炉体１１と、該炉体１１を保護するための耐熱鋼板か
らなるパネルカバー１２と、該炉体１１の内側を覆う断
熱材層１３と、該断熱材層１３の内側に配設される内張
り１４とを備えて構成され、断熱材層１３と内張り１４
の間であって炉の上部及び底部には加熱用電気ヒータ１
５が配置されている。また、炉内部材として、ローラー
１６、セッター１７、スペーサー１８、及びビーム（図
示せず）等が用いられ、セッター１７の上には被焼成品
であるＰＤＰ用基板１９が載置されている。
【００１１】 上記のような構造を有するローラーハー
ス式の連続搬送焼成炉においては、被焼成品１９を第一
加熱室１から、第二加熱室２、及び第三加熱室３へと順
次搬送し、第一加熱室１及び第二加熱室２において、被
焼成品１９を所定のヒートカーブで昇温し、第三加熱室
３で最高加熱温度にて被焼成品１９を焼成する。次い
で、第三加熱室３において被焼成品１９を焼成した後、
ローラー１６を逆回転させることにより、第三加熱室３
から第二加熱室２及び第一加熱室１へと逆に搬送させ
る。その際、第二加熱室２及び第一加熱室１は、焼成品
を所定の冷却ヒートカーブ（降温カーブ）となるように
設定しておくことにより、被焼成品１９は、第一加熱室
１、第二加熱室２、及び第三加熱室３を往復することに
より、適切に焼成されることになる。また、別の実施形
態として、第一加熱室１と第二加熱室２間、及び第二加
熱室２と第三加熱室３間の搬送を別系統とすることによ
って、第一加熱室１と第二加熱室２、及び第二加熱室２
と第三加熱室３の各系統について、第二加熱室２を共有
させた２種の焼成炉として利用することも可能である。
ス式の連続搬送焼成炉においては、被焼成品１９を第一
加熱室１から、第二加熱室２、及び第三加熱室３へと順
次搬送し、第一加熱室１及び第二加熱室２において、被
焼成品１９を所定のヒートカーブで昇温し、第三加熱室
３で最高加熱温度にて被焼成品１９を焼成する。次い
で、第三加熱室３において被焼成品１９を焼成した後、
ローラー１６を逆回転させることにより、第三加熱室３
から第二加熱室２及び第一加熱室１へと逆に搬送させ
る。その際、第二加熱室２及び第一加熱室１は、焼成品
を所定の冷却ヒートカーブ（降温カーブ）となるように
設定しておくことにより、被焼成品１９は、第一加熱室
１、第二加熱室２、及び第三加熱室３を往復することに
より、適切に焼成されることになる。また、別の実施形
態として、第一加熱室１と第二加熱室２間、及び第二加
熱室２と第三加熱室３間の搬送を別系統とすることによ
って、第一加熱室１と第二加熱室２、及び第二加熱室２
と第三加熱室３の各系統について、第二加熱室２を共有
させた２種の焼成炉として利用することも可能である。
【００１２】 このように、本発明の連続搬送焼成炉
は、被焼成品に対してバッチ式であり、焼成炉としては
連続的なものである。そして、本発明の連続搬送焼成炉
によれば、加熱室を２以上の複数としたので、加熱室か
ら加熱室へと被焼成品（又は焼成品）を送ることによ
り、連続焼成炉における移動（乗り移り）に伴うガス流
れの影響の確認が可能となる。なお、ガス流れの影響を
確認するためには、焼成炉を３〜４室、望ましくは３室
の加熱室からなるように構成することが好ましい。ま
た、製品寸法に合わせた試験焼成炉とすることにより、
実生産での寸法効果が確認できる。
は、被焼成品に対してバッチ式であり、焼成炉としては
連続的なものである。そして、本発明の連続搬送焼成炉
によれば、加熱室を２以上の複数としたので、加熱室か
ら加熱室へと被焼成品（又は焼成品）を送ることによ
り、連続焼成炉における移動（乗り移り）に伴うガス流
れの影響の確認が可能となる。なお、ガス流れの影響を
確認するためには、焼成炉を３〜４室、望ましくは３室
の加熱室からなるように構成することが好ましい。ま
た、製品寸法に合わせた試験焼成炉とすることにより、
実生産での寸法効果が確認できる。
【００１３】 さらに、本発明の連続搬送焼成炉におい
ては、内張り１４として、Ｓｉ−ＳｉＣ系材料から構成
されたものを使用し、また、炉内部材としての、ローラ
ー１６、セッター１７、スペーサー１８、及びビームの
うち、少なくともセッター１７およびビームはその材質
がＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成されることが好ましい。
なお、ローラー１６とスペーサー１８、及びその他の炉
内部材もＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成されることがさら
に好ましい。
ては、内張り１４として、Ｓｉ−ＳｉＣ系材料から構成
されたものを使用し、また、炉内部材としての、ローラ
ー１６、セッター１７、スペーサー１８、及びビームの
うち、少なくともセッター１７およびビームはその材質
がＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成されることが好ましい。
なお、ローラー１６とスペーサー１８、及びその他の炉
内部材もＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成されることがさら
に好ましい。
【００１４】 このように、焼成炉の内張り、および炉
内部材の材質をＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成すると、Ｓ
ｉ−ＳｉＣ系材料は熱伝導率が約１５０Ｗ／ｍ・Ｋと極
めて高いためヒーター１５による加熱効率に優れるとと
もに、内張材が均一な面加熱源となるため、局部加熱に
なりやすいガスラジアントチューブヒータや、棒状電気
ヒータ等を使用した焼成炉においても、炉内における焼
成温度のバラツキを小さくすることができる。また、Ｓ
ｉ−ＳｉＣ系材料は曲げ強度が強く、しかもヤング率が
大きいため、荷重変形がほとんどなく、さらに、Ｓｉ−
ＳｉＣ系材料は気孔率を約１％以下という緻密質に制御
することができるため、耐酸化性に優れ、内張りが酸化
劣化して微粉が発生する、いわゆるボロフリ現象も極小
であることから、焼成炉内のクリーン度を確保すること
ができる。
内部材の材質をＳｉ−ＳｉＣ系材料から構成すると、Ｓ
ｉ−ＳｉＣ系材料は熱伝導率が約１５０Ｗ／ｍ・Ｋと極
めて高いためヒーター１５による加熱効率に優れるとと
もに、内張材が均一な面加熱源となるため、局部加熱に
なりやすいガスラジアントチューブヒータや、棒状電気
ヒータ等を使用した焼成炉においても、炉内における焼
成温度のバラツキを小さくすることができる。また、Ｓ
ｉ−ＳｉＣ系材料は曲げ強度が強く、しかもヤング率が
大きいため、荷重変形がほとんどなく、さらに、Ｓｉ−
ＳｉＣ系材料は気孔率を約１％以下という緻密質に制御
することができるため、耐酸化性に優れ、内張りが酸化
劣化して微粉が発生する、いわゆるボロフリ現象も極小
であることから、焼成炉内のクリーン度を確保すること
ができる。
【００１５】 Ｓｉ−ＳｉＣ系材料は、例えば、次のよ
うに製造することができる。まず、所定量のＣ粉末、Ｓ
ｉＣ粉末、バインダー、水又は有機溶媒を混練し、成形
して所望形状の成形体を得る。次いで、この成形体を、
金属Ｓｉ雰囲気下、減圧の不活性ガス又は真空中に置く
ことにより、溶融した金属Ｓｉを成形体中に浸透・含浸
させる方法を挙げることができる。また、Ｓｉ−ＳｉＣ
系材料の他の製造方法としては、グラファイトシートや
カーボンシートを、金属Ｓｉを充填したルツボ等の中に
配置し、加熱して金属Ｓｉを溶融させ、キャピラリ効果
を利用して、上記シートを構成する炭素とＳｉとを反応
させてＳｉＣを生成するとともに、過剰のＳｉを残存さ
せる方法が挙げられる。なお、Ｓｉ−ＳｉＣ系材料とし
ては、例えば、特許第２６４２５７３号公報に記載され
たＳｉＣ質焼結体を挙げることができる。
うに製造することができる。まず、所定量のＣ粉末、Ｓ
ｉＣ粉末、バインダー、水又は有機溶媒を混練し、成形
して所望形状の成形体を得る。次いで、この成形体を、
金属Ｓｉ雰囲気下、減圧の不活性ガス又は真空中に置く
ことにより、溶融した金属Ｓｉを成形体中に浸透・含浸
させる方法を挙げることができる。また、Ｓｉ−ＳｉＣ
系材料の他の製造方法としては、グラファイトシートや
カーボンシートを、金属Ｓｉを充填したルツボ等の中に
配置し、加熱して金属Ｓｉを溶融させ、キャピラリ効果
を利用して、上記シートを構成する炭素とＳｉとを反応
させてＳｉＣを生成するとともに、過剰のＳｉを残存さ
せる方法が挙げられる。なお、Ｓｉ−ＳｉＣ系材料とし
ては、例えば、特許第２６４２５７３号公報に記載され
たＳｉＣ質焼結体を挙げることができる。
【００１６】 Ｓｉ−ＳｉＣ系材料は、ＳｉＣ質材料を
基礎材質とし、その空孔にＳｉが浸透・含浸した材料で
あり、その組成としてはＳｉとＳｉＣを含むものであ
る。具体的には、０．５〜５０重量％のＳｉと、５０〜
９９．５重量％のＳｉＣとを含有するものが強度、耐熱
衝撃性等の点から好ましい。
基礎材質とし、その空孔にＳｉが浸透・含浸した材料で
あり、その組成としてはＳｉとＳｉＣを含むものであ
る。具体的には、０．５〜５０重量％のＳｉと、５０〜
９９．５重量％のＳｉＣとを含有するものが強度、耐熱
衝撃性等の点から好ましい。
【００１７】
【実施例】 以下、本発明を具体的な実施例により、さ
らに説明する。 （実施例１）α−ＳｉＣ粉末（平均粒径２μｍ）１００
重量部に対し、１０重量部のカーボン粉末（平均粒径１
μｍ）、２重量部のバインダー及び３重量部の水分を加
えて混練した後、この混練物を、金型を用い５００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2の圧力で加圧して、外径３８ｍｍφ×５ｍｍ
（厚み）×２４００ｍｍ（長さ）の成形体を得た。得ら
れた成形体を真空中で金属Ｓｉに接触させながら１８０
０℃で２時間保持し、ローラーハース式連続搬送焼成炉
用のローラーをＳｉ−ＳｉＣ焼結体で製造した。
らに説明する。 （実施例１）α−ＳｉＣ粉末（平均粒径２μｍ）１００
重量部に対し、１０重量部のカーボン粉末（平均粒径１
μｍ）、２重量部のバインダー及び３重量部の水分を加
えて混練した後、この混練物を、金型を用い５００ｋｇ
ｆ／ｃｍ2の圧力で加圧して、外径３８ｍｍφ×５ｍｍ
（厚み）×２４００ｍｍ（長さ）の成形体を得た。得ら
れた成形体を真空中で金属Ｓｉに接触させながら１８０
０℃で２時間保持し、ローラーハース式連続搬送焼成炉
用のローラーをＳｉ−ＳｉＣ焼結体で製造した。
【００１８】 次いで、このローラーを、幅２２００ｍ
ｍの支持部の間に配置し、このローラーの上にＦＤＰ用
基板を２段積みした。なお、ＦＤＰ用基板用のセッター
は、１２００ｍｍ×１５００ｍｍの表面積で、１セッタ
ー当たり１３５ｋｇの重量であった。ローラーピッチは
２５０ｍｍで、ローラー４本で１セッターを受ける状態
であった。なお、セッター及び段積み用スペーサーの材
質はローラーと同様のＳｉ−ＳｉＣ焼結体を用いた。
ｍの支持部の間に配置し、このローラーの上にＦＤＰ用
基板を２段積みした。なお、ＦＤＰ用基板用のセッター
は、１２００ｍｍ×１５００ｍｍの表面積で、１セッタ
ー当たり１３５ｋｇの重量であった。ローラーピッチは
２５０ｍｍで、ローラー４本で１セッターを受ける状態
であった。なお、セッター及び段積み用スペーサーの材
質はローラーと同様のＳｉ−ＳｉＣ焼結体を用いた。
【００１９】 以上の条件で、ＦＤＰ用基板を図１〜２
に示すローラーハース式連続搬送焼成炉にて加熱処理を
行った。加熱処理は、第一加熱室から、順次第二加熱室
及び第三加熱室に移動し、第三加熱室の雰囲気温度が最
高６００℃となるように設定し、焼成後にはローラーを
逆回転させることにより、焼成品を第三加熱室から第二
加熱室及び第一加熱室へと逆に搬送させ、冷却した。ヒ
ートカーブを図３に示す。その結果、第一加熱室、第二
加熱室、及び第三加熱室の加熱条件を適切に設定、制御
することにより、ＦＤＰ用基板を所期の目的通り焼成す
ることができた。従って、連続焼成炉における移動に伴
うガス流れの影響を確認でき、しかも、焼成炉の側壁近
傍と炉中央部における焼成状態も確認できた。
に示すローラーハース式連続搬送焼成炉にて加熱処理を
行った。加熱処理は、第一加熱室から、順次第二加熱室
及び第三加熱室に移動し、第三加熱室の雰囲気温度が最
高６００℃となるように設定し、焼成後にはローラーを
逆回転させることにより、焼成品を第三加熱室から第二
加熱室及び第一加熱室へと逆に搬送させ、冷却した。ヒ
ートカーブを図３に示す。その結果、第一加熱室、第二
加熱室、及び第三加熱室の加熱条件を適切に設定、制御
することにより、ＦＤＰ用基板を所期の目的通り焼成す
ることができた。従って、連続焼成炉における移動に伴
うガス流れの影響を確認でき、しかも、焼成炉の側壁近
傍と炉中央部における焼成状態も確認できた。
【００２０】 また、ＦＤＰ用基板について、最高温度
６００℃での保持工程、及び徐冷工程における基板内温
度分布を測定したところ、±２℃の範囲内であった。さ
らに、クラス１００のクリーンブース内でのＳｉ−Ｓｉ
Ｃ板（１００ｍｍ×１００ｍｍ×５ｍｍ（厚さ））を６
００℃に昇温後２２℃に降温した試料では、レーザー式
パーティクルカウンターに異物発生した数値変化は無
く、クリーン度が確保されていることが分かった。
６００℃での保持工程、及び徐冷工程における基板内温
度分布を測定したところ、±２℃の範囲内であった。さ
らに、クラス１００のクリーンブース内でのＳｉ−Ｓｉ
Ｃ板（１００ｍｍ×１００ｍｍ×５ｍｍ（厚さ））を６
００℃に昇温後２２℃に降温した試料では、レーザー式
パーティクルカウンターに異物発生した数値変化は無
く、クリーン度が確保されていることが分かった。
【００２１】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の連続搬
送焼成炉によれば、焼成炉における移動に伴うガス流れ
の影響の確認が可能となり、また、製品寸法に合わせた
試験焼成炉とすることで、実生産での寸法効果を確認す
ることができる。したがって、試験焼成炉として極めて
好適に使用することができる。さらに、炉内における焼
成温度のバラツキが小さく、クリーン度を確保し得る焼
成炉を提供することができる。
送焼成炉によれば、焼成炉における移動に伴うガス流れ
の影響の確認が可能となり、また、製品寸法に合わせた
試験焼成炉とすることで、実生産での寸法効果を確認す
ることができる。したがって、試験焼成炉として極めて
好適に使用することができる。さらに、炉内における焼
成温度のバラツキが小さく、クリーン度を確保し得る焼
成炉を提供することができる。
【図１】 本発明に係る連続搬送焼成炉の一実施例を示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
【図２】 図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】 実施例１の連続搬送焼成炉におけるヒートカ
ーブである。
ーブである。
１…第一加熱室、２…第二加熱室、３…第三加熱室、１
０…ローラーハース式連続搬送焼成炉、１１…炉体、１
２…パネルカバー、１３…断熱材層、１４…内張り、１
５…加熱用電気ヒータ、１６…ローラー、１７…セッタ
ー、１８…スペーサー、１９…ＦＤＰ基板。
０…ローラーハース式連続搬送焼成炉、１１…炉体、１
２…パネルカバー、１３…断熱材層、１４…内張り、１
５…加熱用電気ヒータ、１６…ローラー、１７…セッタ
ー、１８…スペーサー、１９…ＦＤＰ基板。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） // Ｈ０１Ｊ 9/48 Ｈ０１Ｊ 9/48
Claims (4)
- 【請求項１】 ローラーハース式の焼成炉であって、少
なくとも２以上の区画された加熱室から構成されている
とともに、これらの各加熱室は被焼成品を相互に連続搬
送し得るように構成されていることを特徴とする連続搬
送焼成炉。 - 【請求項２】 焼成炉が、外壁たる炉体と、該炉体を保
護するための耐熱鋼板からなるパネルカバーと、該炉体
の内側を覆う断熱材層と、該断熱材層の内側に配設され
る内張りとを備えて構成され、該断熱材層と該内張りの
間であって焼成炉の上部及び底部に加熱用ヒータが配置
されている請求項１記載の連続搬送焼成炉。 - 【請求項３】 炉の内張りをＳｉ−ＳｉＣ系材料により
構成するとともに、該内張りの外部にガスラジアントチ
ューブヒータ、あるいはガスラジアントチューブヒータ
と電気ヒータの組合せを配設して加熱する請求項１又は
２記載の連続搬送焼成炉。 - 【請求項４】 加熱室が３室である請求項１〜３のいず
れか１項に記載の連続搬送焼成炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11171535A JP2000356471A (ja) | 1999-06-17 | 1999-06-17 | 連続搬送焼成炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11171535A JP2000356471A (ja) | 1999-06-17 | 1999-06-17 | 連続搬送焼成炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000356471A true JP2000356471A (ja) | 2000-12-26 |
Family
ID=15924935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11171535A Withdrawn JP2000356471A (ja) | 1999-06-17 | 1999-06-17 | 連続搬送焼成炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000356471A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008150646A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Ihi Corp | クラッド材製造設備の加熱冷却装置 |
| JP2014126269A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 連続式焼成炉 |
-
1999
- 1999-06-17 JP JP11171535A patent/JP2000356471A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008150646A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Ihi Corp | クラッド材製造設備の加熱冷却装置 |
| JP2014126269A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Tokai Konetsu Kogyo Co Ltd | 連続式焼成炉 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060905 |