JP2000512399A - 曲げ可能なミラーおよび製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 熱成形可能なミラーは、ガラスのようなシート上に、珪素膜、または珪素膜とステンレススチール膜との組み合わせのベース層、ニオブ、チタンまたはアルミニウムのような反射性金属膜でできた反射層、および、好ましくは窒化珪素を含む保護層を用いて、反射性コーティングをスパッタ蒸着することにより形成される。得られたミラーは、昇温において熱成形されて、障害になる欠陥のない反射性コーティングを有する曲面ミラーを形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】 曲げ可能なミラーおよび製造法 発明の分野 本発明はミラーに関し、そしてより詳細には、後に所望の曲線形状にヒートベ ンドされる平らな基材を用いて形成されたミラーに関する。 発明の背景 曲面ミラーは自動車用のバックミラー、望遠鏡用の反射表面、等として一般に 用いられている。曲面ミラーは、最初にガラスシートまたは他のシート状基材を 所望の曲線形状に成形し、そして次に、基材の一面またはその反対面に反射性コ ーティングを適用することにより一般に形成される。例えば、観測者の楽しいゆ がんた反射を提供するためにカーニバルにおいて用いられるタイプの曲面ミラー は、所望の形状にガラスシートを成形し、そしてその後、金属銀および保護塗料 オーバーコートを片側表面上にコーティングすることにより製造できる。 ミラーは、Chapinの米国特許第4,166,018号明細書に記載されるようなマグネ トロンスパッタリング技術を用いても製造できる。このタイプのミラーは反射層 としてクロムまたは銀を使用できる。曲面ミラーがマグネトロンスパッタリング 法を用いて製造されるときに、ミラーのためのガラス基材は、最初に、通常２以 上のミラーを製造するサイズで所望のように曲げられる。曲げられたガラスピー スは、曲面ガラスバッチタイプ洗浄器中で洗浄されるか、または、オンライン洗 浄装置中でキャリヤー上で洗浄された後に、それらを 適切なキャリアー上に載せ、そしてマグネトロンスパッタリングによりコーティ ングされる。基材の曲率のために、このように製造した反射性コーティングは均 一でなかった。製造法自体は、マグネトロンスパッタリング装置を通過するキャ リアー上に複数の小さいガラス基材を手で配置する必要があり、一度スパッタリ ング操作が終わると、得られた個々のミラーピースを各々キャリアーから手で取 り出す必要があるので、労が多く、時間がかかるものである。 これらの問題を避けるために、最初に、平らなガラスシートまたは他の基材上 に反射性コーティングをスパッタ蒸着してミラーを形成し、そしてその後、所望 のようにミラーを曲げ、そして切断することは望ましいであろう。しかし、クロ ムを、例えば、反射性金属として用いる通常の反射層で平らなガラスシートをコ ーティングし、そしてその後、ヒートベンドするときに問題がある。一度、コー ティングしたシートを基材の永久変形-即ち、塑性流動を起こさせるために十分 な温度(ガラスでは約1110〜1130°Ｆ)に加熱し、そしてガラスを曲げると、コー ティングはピットと呼ばれる欠陥を生じる傾向がある。ピットは殆ど反射性を有 しない、視覚的に検知可能な小さい円形状の欠陥として見える。ピットの発生の 理由は完全には理解されていないが、曲げ操作の間に、反射層を形成している１ 層以上の反射性スパッタ蒸着膜中に生じる応力に関係しているものと信じられる 。 発明の要旨 本発明は、反射性コーティングに有意な損傷を及ぼすことなく、昇温において 曲面ミラーに成形することができる熱成形可能なミラーに関する。反射性コーテ ィングは３層を備える。第一層はスパッタ蒸着したベース層であり、それは、珪 素膜からなる層、または、 珪素膜およびステンレススチール膜からなる層を含み、珪素膜はステンレススチ ール膜よりも基材の近くにある。第二層は反射層であり、それはベース層よりも 基材から離れた位置にある。それはニオブ、チタンまたはアルミニウムのような 反射性金属膜のスパッタ蒸着により形成され、ニオブが好ましい。第三層は保護 膜であり、それは、反射層よりも基材から離れた位置にあり、保護膜はミラーの 反射率が加熱曲げ加工時に５０％未満に低下しないように十分な酸素透過の抑制 を行う。第三層は、好ましくは、スパッタ蒸着した窒化珪素、スパッタ蒸着した 酸化アルミニウムまたはスパッタ蒸着した二酸化珪素を含み、これらの中で、窒 化珪素が好ましい。 本発明の熱成形可能なミラーは、反射性コーティングの層が蒸着される温度よ り高い温度で熱成形されるときに、原子の拡散および／または構造転位が種々の スパッタ膜の間で起こり、曲げたミラー製品の反射特性を変えることがある。し かし、本発明の熱成形可能なミラーは、このように加熱および曲げに付されたと きに、その重要なミラーの光学特性（低い透過率、高い反射率）をおおかた保持 し、そして好ましくは完全に保持する。 この為、別の態様において、本発明は、上記のタイプの熱成形可能なミラーを 用意すること、および、基材が塑性変形を起こすことができる温度（例えば、ガ ラス基材の場合にはガラス転移温度）に前記ミラーを付し、その温度において、 平らなミラーを所望の曲面形状に曲げて曲面ミラーを製造すること、および、そ の曲面形状を維持しながら曲面ミラーを冷却することにより製造される曲面ミラ ーに関する。得られる曲面ミラーは、望ましくは、曲面ミラーを構成した熱成形 可能な平らなミラーの反射率の少なくとも約１００％を保持し、そして透過率の 約１５０％を越えない。 本発明の曲面ミラーは、望ましくは、少なくとも５０％の半球反 射率(hemispherical reflectance)(200〜2600nmの波長範囲にわたって、反射率 計および積分球を用いて測定)および約４．０％以下の透過率を示す。本明細書 中の「反射率」は、おおよそ人間の目と同様のディテクターセル（ＣＩＥ標準順 応視曲線(CIE standard photopic curve)）および積分球を用いて、２５°±５ °の入射角で２８５４°Ｋのフィラメント温度でタングステンランプを用いて反 射率計を用いて測定される。ミラー製品の良好な光学特性に加えて、膜の積層は 平らな状態および曲げた状態の両方の状態で物理的および化学的に耐久性である べきである。 図面の簡単な説明 図１は本発明の熱成形可能なミラーの分解断面略図である。 図２は本発明の別の態様の分解部分断面略図である。 図３は加熱曲げ加工装置の使用を示す略図である。 好ましい態様の詳細な説明 図１は本発明の熱成形可能なミラー１０を示し、ここで、平らなシート状の基 材１２はガラスである。ガラスは好ましい基材であるが、加熱されたときに塑性 流動を起こすことができる他の基材、例えば、プラスティック（例えば、ポリ( メチルメタクリレート)）および金属（例えば、アルミニウム）が使用されても よい。順に、ベース層１４、反射層１６および保護層１８が基材の平らな表面２ ０の上にスパッタ蒸着されており、反射性コーティングを形成している。図１の 態様において、ベース層１４は基材の平らな表面２０上に直接スパッタ蒸着され ている。ベース層は、Chapinの米国特許第4,166,018号明細書に記載されるタイ プのマグネトロンスパッタリング技術を用いてガラス表面上にスパッタ蒸着され た珪素の膜２２ を含み、この教示を参照により本明細書中に取り入れる。「スパッタ蒸着」、「 スパッタ蒸着された」等は本明細書中において使用され、マグネトロンスパッタ リングにより製造されるタイプのコーティングを指す。マグネトロンスパッタリ ング技術は当業界において周知である。 珪素膜２２は約３ｍＴでアルゴン雰囲気下で珪素ターゲットから蒸着されうる ことは理解されるであろう。珪素膜２２は実質的に厚さは様々であってよいが、 望ましくは、約３００Å〜約１５００Åである。４００Åの厚さの珪素膜は良好 な結果を提供した。次の説明に固執するつもりはないが、珪素層は熱成形可能な ミラーを曲げるときに反射性コーティング中に生じる物理応力を減じる傾向があ るようである。しかし、より厚い珪素膜を使用すると、曲げたミラーの反射率を 低下させることがあり、その為、珪素膜の厚さを制御するのにある程度注意しな ければならない。 図１に示すように、ベース層１４は珪素膜２２の上に付着したステンレススチ ール膜２４を含む。ステンレススチール膜２４は反射性コーティングの透過率を 低下させ、そして反射率を上げるように機能する。ステンレススチール層２４の 厚さはかなり様々であってよいが、好ましくは約５０Å〜約２５０Åの範囲であ り、ステンレススチール層が約２２５Åを越えない厚さであるときに最も良好な 結果が得られる。ステンレススチール膜２４の更なる目的は、下層の珪素膜２２ と、次に適用される反射性金属膜１６との間の反応を抑制することである。例え ば、ステンレススチール層２４がないと、珪素膜２２とチタン反射膜１６との間 の反応は珪素化チタンを生成し、それは反射性コーティングの反射率を低下させ うる。ニオブの膜を反射層として用いるときに、ステンレススチール膜は省略さ れてよい。 図１を再び参照すると、ベース層１４の上に反射層１６がある。層１６は、望 ましくは反射性金属膜のスパッタ蒸着により形成され;ニオブ、チタンおよびア ルミニウム金属は層１６のために使用されうる反射性金属の典型的なものであり 、ニオブは好ましい金属であり、そしてチタンは次に好ましい。反射層１６の厚 さは少なくとも５０％の反射率（２００〜２６００ｎｍの波長範囲にわたって、 屈折率計および積分球を用いて測定された半球反射率）および約４．０％を越え ない透過率を有するミラーを提供するような厚さであるべきである。反射は層１ ６の外側表面２６から主として起こる。上記の通り、下層のステンレススチール 膜２４は、存在するときには、反射性に寄与する。好ましくは、反射層１６は２ ００Å〜５００Åの厚さを有するスパッタ蒸着したニオブ金属であり、約３６０ Åの厚さは良好な結果を与える。チタン金属膜は１００Å〜３００Åの厚さを有 してよく、約２００Åの厚さが良好な結果を与える。 図１において１８で示しているのは保護層であり、それは望ましくは金属反射 層１６の上に直接的にスパッタ蒸着されるものであり、保護層は、曲げの間に下 層の金属層に酸素が透過することを抑制する、物理的および化学的に耐久性の材 料の層である。保護層は、望ましくは、加熱曲げ成形の間に５０％未満に反射率 が低下することを防止するために十分に酸素透過性を抑制する。窒化珪素または 酸化アルミニウムの膜は保護層として、または保護層の中で使用されてよく、二 酸化珪素の膜も使用できると考えられる。スパッタ蒸着した窒化珪素膜は好まし く、そして約５０〜約１５０Åの範囲の厚さであってよく、約１００Åの範囲の 厚さが好ましい。 ここで図２を参照すると、反射性コーティング３０はガラスシート１２の平ら な表面２０の上に描かれており、反射性コーティングの層は図１の層と同一であ るが、図１のステンレススチール層２４ がない。即ち、図２のベース層１４はスパッタ蒸着した珪素の膜であり、反射層 １６はチタンまたはアルミニウムのような反射性金属のスパッタ蒸着膜であり、 そして保護層１８は窒化珪素または酸化アルミニウムの膜を含む。 スパッタされた材料の他の追加の層が、ベース層、反射層および保護層の間ま たはいずれかの面の上に配置されてもよいことは理解されるであろう。但し、こ のような追加の層は、ミラーが加熱成形に付されるときに、反射性コーティング の障害となるピット形成または他の欠陥の形成に寄与しない。例えば、ステンレ ススチールは透過率を更に低下させるために基材に追加されてもよい。薄いアル ミニウムまたは銀の膜は反射率を上げる目的で反射層の上または下に追加されて もよい。さらに、珪素およびチタンの酸化物ような薄い金属酸化物膜は、ピンホ ール形成に対する耐性を改良するためにベース層の下に配置されてよい。好まし くは、それぞれのベース層、反射層および保護層は隣接しており、即ち、それら の間に中間層を含まずに形成される。この為、ベース層１４は、好ましくはガラ スまたは他の基材の平らな表面２０上に直接形成され、そして、ベース層１４が 珪素膜およびステンレススチール膜、２２、２４でできている場合に、この膜は 望ましくは珪素膜２２の上に直接スパッタ蒸着されたステンレススチール膜２４ でできている。反射性金属膜１６は、望ましくは、ベース層１４の露出表面上に 直接的に、ニオブ、チタンまたはアルミニウムのスパッタ蒸着により形成される 。同様に、保護層１８は、望ましくは、反射層１６の上に直接的にスパッタ蒸着 される。最も好ましい態様において、ベース層１４は珪素であり、反射層は銀層 に隣接したニオブ膜であり、そして、保護層はニオブ膜に隣接した窒化珪素膜で ある。ニオブは、得られるミラーがミラーの物性に損傷を与えることなく曲げ温 度においてよ り長時間滞留することを可能にするようであるので、ニオブはチタンまたは他の 反射性金属と比較して反射膜として特に好ましい。 図３は曲面ガラスシートの熱成形に有用な熱金型を示す。このタイプの金型は 、例えば、曲面の自動車風防および曲面ガラスシートであって、自動車バックミ ラーとしての使用のためのミラー表面を後に提供するもの、等の形成のためにこ の目的で一般に使用されている。金型は凹型上側表面４２を有する雌型４０およ び下向きの凸型表面４６を有する雄型４４からなる。使用時に、金型部分はガラ スの軟化温度に加熱され、そして図１との関係で記載されるような熱曲げ成形可 能なミラーを、その反射性コーティング２８を下に向けて雌型部材の表面上に置 く。平らなガラスシートがその軟化点にまで加熱されると、金型の上側表面４２ の形状に下向きに撓む。その後雌型部分４４を、ガラスシートの他方の表面に対 して下向きに押し、表面４２に対するガラスシートの滑らかな形状を確保するよ うに作用する。一度、曲げが完了すると、金型をミラー１０のガラス転移点より 低い温度に冷却し、金型部品を分離し、そして曲げられたミラーを取り出す。金 型操作温度は一般に１１１０〜１１３０°Ｆの範囲である。 本発明のミラーの反射性コーティングは、曲げの前および後に、実質的に耐久 性を示すべきである。即ち、コーティングは、摩擦、極端な高温および低温、湿 分、並びに、溶剤、例えば、アルコールおよび塩スプレーに対して耐性を示すべ きである。摩擦に対する耐性は、１ｋｇの荷重で、メタノール洗浄したコーティ ングされた表面を１００回往復させて通常の鉛筆消しゴム（Blaisdell（商標）# 536Tまたは同等物）をスライドさせることにより測定できる。合格するためには 、コーティングは有意な膜損失または反射率損失を示さないべきである。スパッ タ蒸着膜積層の基材に対する付着性は 、ＭＩＬ−Ｃ−４８４９７Ａに記載されるように、感圧接着テープでコーティン グを剥がそうとすることにより試験できる。アルコールに対する耐性は、手の圧 力で、イソプロパノール−浸漬したきれいな布でコーティング上の特定の領域を 摩擦することにより試験できる。塩スプレー試験はＡＳＴＭ Ｂ−１１７に記載 されており、そして２４０時間続けられる。湿分に対する耐性を試験するために は、コーティングされた試料を、４５℃および９８〜１００％相対湿度に維持さ れた湿分チャンバー内に５００時間暴露する。上記の試験の各々の後に、試験し たコーティングを視覚的に評価して、欠陥を検知する。 例１ 市販のマグネトロンスパッタリングラインを用いて、平らなガラスシートの上 側のきれいな表面を連続のゾーンにおいて様々なターゲットからスパッタリング に付し、ガラスシートの移動速度および種々のマグネトロンスパッタリング装置 に送られる電力は種々のスパッタリング膜の所望の厚さを提供するようなもので あった。ガラスシートが最初に通る３つの領域は珪素ターゲットおよびアルゴン 雰囲気を有し、約４００Åの厚さを有する珪素膜のスパッタ蒸着を行った。シー トは、その後、ステンレススチールターゲットから約１７５Åの厚さにステンレ ススチールをスパッタリングする領域を通った。ステンレススチールの領域の次 に、ガラスシートはアルゴン雰囲気中のチタンターゲットの領域を通過し、そし てチタン金属がステンレススチール表面上に約２００Åの厚さまでスパッタリン グされた。最後に、チタンの領域を出た後、ガラスシートを、窒素雰囲気中に珪 素ターゲットがある２つの連続の領域に通し、窒化珪素を約１００Åの最終厚さ にまでスパッタ蒸着した。得られた熱成 形可能なミラーの透過率、反射率およびカラー特性を測定し、そして、その後、 約１１３０°Ｆの温度で、上記の曲げ成形手順に付した。得られた曲面ミラーを 金型から取り出したときに、ミラーをコーティング欠陥に関して調べ、そして反 射率、透過率、カラーおよび耐久性試験にも付した。曇りまたは他の物理的欠陥 は観測されなかった。曲げ成形の前と後での反射率は５７％であり、曲げたミラ ーの透過率は２．２％であり、そして曲げた膜の反射色座標(Hunter，L，a，b S ystem，Illuminant D 65)はａ＝１．２２およびｂ＝５．８０であった。仕上製 品の分析はステンレススチール層から珪素層への鉄およびクロムのある程度の拡 散で珪素化物の生成を示したが、ミラーに対する悪影響はなかった。 例２ 熱成形可能なミラーを例１と実質的に同一の様式で形成したが、ステンレスス チールスパッタリング領域をなくした。このように得られたミラーの反射性コー ティングは、約９６０Åの厚さの珪素膜からなるベース層、約１２５Åの厚さの チタン金属の反射層および約１００Åの厚さの窒化珪素の保護層からなった。ミ ラーは例１に関して上記に記載したように曲げることにより熱成形し、そして反 射率、透過率およびカラー特性を曲げ成形の前と後に測定した。曲げられたミラ ーは、ピット形成および他の欠陥に関しても調べた。視覚的な欠陥または曇りは 曲げの前と後で認められなかった。曲げの前と後で５０％の反射率が得られ、そ して曲げの後の透過率は３．８％と測定された。曲げられた製品はａ＝−０．４ ５、ｂ＝２．３８の反射色座標を示した。 熱成形法の間でどのような化学変化が起こったかを調べるために、例２から得 られた曲げられたミラーの反射性コーティングをオージェ電子分光器（ＡＥＳ） を用いて分析した。珪素膜は隣接のチタ ン金属膜と反応し、珪素化チタンの層を生じ、そして反射性コーティングの反射 率を低下させたことが判った。図１に示した反射性コーティング中に用いられる ステンレススチール膜の１つの目的は、珪素膜およびチタン膜の間の反応を防止 するためのそれらの膜の間のバリアとして作用させることである。珪素膜とチタ ン膜との間の反応にも係わらず、例２で得られた曲面ミラーは欠陥を実質的に含 まず、そして高度に反射性のままであることが判った。 例３ 例１における上記の様式で、ガラス基材上に膜をスパッタリング蒸着すること により、熱成形可能なミラーを形成した。ガラス表面上に、７００Åの厚さで珪 素の第一の膜、次に、４００Åの厚さでニオブの第二の膜、そして１５０Åの窒 化珪素の第三の最後の膜をスパッタリングした。例１に関する上記の通りに曲げ ることにより、ミラーを熱成形し、反射率、透過率およびカラー特性を曲げ手順 の前と後で測定した。外観上の欠陥または曇り（ヘーズ）は曲げの前と後で観測 されなかった。曲げの前と曲げの後の反射率はそれぞれ、５１．２％および５１ ．８％であり、曲げの前と後の両方の透過率は０．４％であった。製品は、曲げ の前にａ＝１．５、ｂ＝７．０の反射色座標を示し、そして曲げの後にａ＝−０ ．１、ｂ＝３．６の反射色座標を示した。反射膜としてのニオブの使用によって 、長くなった（例えば、２０分またはそれ以上の）曲げ手順に耐えることが可能 になる。 本発明の好ましい態様を記載してきたが、様々な変更および調整は本発明の精 神および添付の請求の範囲を逸脱することなくなされうることが理解されるべき である。

【手続補正書】 【提出日】平成１１年９月７日（１９９９．９．７） 【補正内容】 請求の範囲 １．熱を加えたときに塑性流動を起こすことができる平らな基材および、前記 基材の表面上に形成されたスパッタ蒸着された反射性コーティング、を含む熱成 形可能なミラーであって、前記ミラーは昇温において反射性コーティングに有意 な損傷を与えることなく成形可能であり、前記反射性コーティングが、 ａ．珪素膜で形成された層を含むか、または、珪素膜およびステンレススチー ル膜で形成された層を含む、スパッタ蒸着されたベース層、ここで、前記珪素膜 は前記ステンレススチール膜よりも前記基材に近い、 ｂ．前記ベース層よりも前記基材から離れた位置にあり、且つ、反射性ニオブ 膜のスパッタ蒸着により形成されたニオブ反射層、および、 ｃ．前記ベース層または前記反射層よりも前記基材から離れた位置にあり、加 熱曲げ成形時に５０％未満にミラーの反射率を低下させないように十分に酸素透 過を抑制する、耐久性保護層、 を含む、熱成形可能なミラー。 ２．前記耐久性保護層が窒化珪素、酸化アルミニウムまたは酸化珪素を含む、 請求項１記載のミラー。 ３．前記ニオブ反射層が２００Å〜５００Åの厚さである、請求項１または２ 記載のミラー。 ４．前記ベース層が３００Å〜１５００Åの厚さの珪素膜を含む、請求項１〜 ３のいずれか１項 記載のミラー。 ５．前記珪素膜と前記反射層との間に、５０〜２５０Åの厚さのスパッタ蒸着 されたステンレススチール膜を含む、請求項１〜４のいずれか１項記載のミラー 。 ６．基材がガラスである、請求項１〜５のいずれか１項記載のミラー。 ７．平らなガラス基材、および、前記基材の片側表面上に形成された多層反射 性コーティングを含む熱成形可能なミラーであって、前記ミラーは反射性コーテ ィングに有意な物理的損傷を与えることなくガラス基材の軟化点で成形可能であ り、前記反射性コーティングは、珪素膜、前記珪素膜よりも基材から離れた位置 にあるニオブ膜を含む反射層、および、前記ニオブ膜よりも基材から離れた位置 にある窒化珪素膜を含む保護層を含み、それぞれの膜は４％以下の透過率および ５ ０％以上の反射率を反射性コーティングに与える厚さを有するものである、熱 成形可能なミラー。 ８．ニオブ膜の厚さが２００Å〜５００Åである、請求項７記載の熱成形可能 なミラー。 ９．請求項１〜８のいずれか１項記載のミラーを用意する工程、基材が塑性変 形することができる温度に前記ミラーを加熱する工程、その温度で前記ミラーを 所望の曲面形状に曲げる工程および前記曲面形状を維持しながら前記ミラーを冷 却する工程を含む、曲面ミラーの製造法。 １０．請求項１〜８のいずれか１項記載の平らなミラーを用意すること、基材 が塑性変形することができる温度に前記平らなミラーを加熱すること、前記温度 で前記平らなミラーを所望の曲面形状に曲げて、曲面ミラーを形成させること、 および、前記曲面形状を維持しながら前記曲面ミラーを冷却すること、により製 造された曲面ミラー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マックスウェル，スコット エー. アメリカ合衆国，ウィスコンシン 53556, ローン ロック，ブランチ ロード イー 2882

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．熱を加えたときに塑性流動を起こすことができる平らな基材および、前記 基材の表面上に形成されたスパッタ蒸着された反射性コーティング、を含む熱成 形可能なミラーであって、前記ミラーは昇温において反射性コーティングに有意 な損傷を与えることなく成形可能であり、前記反射性コーティングが、 ａ．珪素膜で形成された層を含むか、または、珪素膜およびステンレススチー ル膜で形成された層を含む、スパッタ蒸着されたベース層、ここで、前記珪素膜 は前記ステンレススチール膜よりも前記基材に近い、 ｂ．前記ベース層よりも前記基材から離れた位置にあり、且つ、反射性金属膜 のスパッタ蒸着により形成された反射層、および、 ｃ．前記ベース層または前記反射層よりも前記基材から離れた位置にあり、加 熱曲げ成形時に５０％未満にミラーの反射率を低下させないように十分に酸素透 過を抑制する、耐久性保護層、 を含む、熱成形可能なミラー。 ２．前記耐久性保護層が窒化珪素、酸化アルミニウムまたは酸化珪素を含む、 請求項１記載のミラー。 前記反射層がスパッタ蒸着されたニオブ、チタンまたはアルミニウムである、 請求項１記載のミラー。 ３．前記反射層が１００Å〜３００Åの厚さのチタンである、請求項１記載の ミラー。 ４．前記反射層が２００Å〜５００Åの厚さのニオブである、請求項１記載の ミラー。 ５．前記ベース層が３００Å〜１５００Åの厚さの珪素膜を含む、請求項１記 載のミラー。 ６．前記珪素膜と前記反射層との間に、５０〜２５０Åの厚さのスパッタ蒸着 されたステンレススチール膜を含む、請求項５記載のミラー。 ７．基材がガラスである、請求項１記載のミラー。 ８．平らなガラス基材、および、前記基材の片側表面上に形成された多層のス パッタ蒸着された反射性コーティングを含む熱成形可能なミラーであって、前記 ミラーは、反射性コーティングに対して有意な物理的損傷を与えることなく前記 ガラス基材の軟化温度で成形可能であり、前記反射性コーティングは、スパッタ 蒸着された珪素膜、前記珪素膜よりも前記基材から離れた位置にあるスパッタ蒸 着されたチタン膜を含む反射層、前記珪素膜と前記チタン膜との間の位置にある スパッタ蒸着されたステンレススチール膜、並びに、前記チタン膜よりも前記基 材から離れた位置にある、スパッタ蒸着された窒化珪素膜を含む保護層を含み、 それぞれの膜は約４％以下の透過率および約５０％以上の反射率を反射性コーテ ィングに与える厚さを有するものである、熱成形可能なミラー。 ９．前記チタン膜が約２２５Å以下の厚さである、請求項６記載のミラー。 １０．平らなガラス基材、および、前記基材の片側表面上に形成された多層反 射性コーティングを含む熱成形可能なミラーであって、前記ミラーは反射性コー ティングに有意な物理的損傷を与えることなくガラス基材の軟化点で成形可能で あり、前記反射性コーティングは、珪素膜、前記珪素膜よりも基材から離れた位 置にあるニオブ膜を含む反射層、および、前記チタン膜よりも基材から離れた位 置にある窒化珪素膜を含む保護層を含み、それぞれの膜は約４％以下の透過率お よび約５０％以上の反射率を反射性コーティングに与える厚さを有するものであ る、熱成形可能なミラー。 １１．平らなガラス基材、および、前記基材の片側表面上に形成された多層反 射性コーティングを含む熱成形可能なミラーであって、前記ミラーは反射性コー ティングに有意な物理的損傷を与えることなくガラス基材の軟化点で成形可能で あり、前記反射性コーティングは、前記ガラス基材から外側に向かって、珪素膜 、前記珪素膜に隣接したニオブ金属の反射膜、および前記反射膜に隣接した窒化 珪素膜を含み、それぞれの膜は約４％以下の透過率および約５０％以上の反射率 を反射性コーティングに与える厚さを有するものである、熱成形可能なミラー。 １２．ニオブ膜の厚さが２００Å〜５００Åである、請求項１１記載の熱成形 可能なミラー。 １３．請求項１〜８のいずれか１項記載のミラーを用意する工程、基材が塑性 変形することができる温度に前記ミラーを加熱する工程、その温度で前記ミラー を所望の曲面形状に曲げる工程および前記曲面形状を維持しながら前記ミラーを 冷却する工程を含む、曲面ミラーの製造法。 １４．請求項１〜８のいずれか１項記載の平らなミラーを用意すること、基材 が塑性変形することができる温度に前記平らなミラーを加熱すること、前記温度 で前記平らなミラーを所望の曲面形状に曲げて、曲面ミラーを形成させること、 および、前記曲面形状を維持しながら前記曲面ミラーを冷却すること、により製 造された曲面ミラー。