JPH02233534A - 熱線反射ガラス板 - Google Patents
熱線反射ガラス板Info
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- JPH02233534A JPH02233534A JP5356789A JP5356789A JPH02233534A JP H02233534 A JPH02233534 A JP H02233534A JP 5356789 A JP5356789 A JP 5356789A JP 5356789 A JP5356789 A JP 5356789A JP H02233534 A JPH02233534 A JP H02233534A
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Classifications
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
- C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
- C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
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- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/28—Other inorganic materials
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、冷暖房効果を向上させるよう日射の透過率を
減じるとともに、耐薬品性ならびに耐摩耗性を改善した
熱線反射ガラス板、特に可視光透過率が３０％程度以下
、日射透過率２０％程度以下、可視光反射率４５％程度
以下の建築用窓ガラスに遺し、単板でも充分使用可能な
熱線反射ガラス板に関する。
減じるとともに、耐薬品性ならびに耐摩耗性を改善した
熱線反射ガラス板、特に可視光透過率が３０％程度以下
、日射透過率２０％程度以下、可視光反射率４５％程度
以下の建築用窓ガラスに遺し、単板でも充分使用可能な
熱線反射ガラス板に関する。
従来、例えば建築用窓ガラスとして透明誘電体または透
明導電膜／銀／透明誘電体または透明導電膜の構成で高
い可視光透過率を達成し、銀の高反射性能を利用して日
射透過率の低い断熱ガラスとし、これを合せガラスにす
ることで−使用されている。しかしながら銀膜は耐摩耗
性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置し
ておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質が
起り、手で触れただけで剥離する現象が起こるという非
常に弱いものであった。
明導電膜／銀／透明誘電体または透明導電膜の構成で高
い可視光透過率を達成し、銀の高反射性能を利用して日
射透過率の低い断熱ガラスとし、これを合せガラスにす
ることで−使用されている。しかしながら銀膜は耐摩耗
性、耐湿性に弱く、合せガラスに加工処理せずに放置し
ておくと数日以内で膜に異変が発現し、膜の変色変質が
起り、手で触れただけで剥離する現象が起こるという非
常に弱いものであった。
このため最近では合せガラスでなくても単板のままでも
使用して耐候性、耐久性があるというものが種々提案さ
れている。例えば、特開昭６３−２４２９４８号公報に
は、熱線反射ガラスについて記載されており、ガラス基
板表面に基板側から順に金属膜、窒化物膜及び酸化物膜
を積層して形成した膜側表面の可視光反射率２０％以下
の熱線反射ガラスが開示され、金属膜としてＣｒｓ Ｔ
ｉｓＺｒｓ Ｈｆｓ Ｔａｓ Ｓｉ及びこれらの合金、
並びにステンレスのなかから選ばれたもの、窒化物とし
てＴｉｓ Ｚｒ， Ｔａｓ ＣｒＳＫｆの窒化物及びこ
れらの複合窒化物のなかから選ばれたもの、酸化物とし
てＴｉＳＣｒｓ Ｚｒｓ ｓｔ， ＡＩ％ Ｈｆｓ Ｔ
ａｓ Ｎｂの酸化物及びこれらの複合酸化物のなかから
選ばれたものであり、具体的にはガラス基板／クロム膜
／窒化チタン膜／酸化チタン膜、あるいはガラス基板／
ステンレス膜／窒化チタンＩＩＩＩ／酸化チタン膜の構
成が記載されている。またそのほかに例えば、特開昭６
１−１５１０４５号公報には、太陽エネルギーの反射の
ための製品およびその製造法について記載されており、
透明な基材、該透明な基材の表面上に付着され吸収およ
び干渉効果により色を呈する金属化合物の透明なフィル
ム、および該金属化合物の透明フィルム上に付着された
高反射性の透明な金属フィルムからなることが開示され
、透明な基材はガラス、高反射性の透明な金厘フィルム
は銀、金、銅、アルミニウムおよびそれらの混合物より
なる群から選ばれたもの、金属化合物はステンレス鋼、
ニッケル合金、銅、鉄、コバルトおよびそれらの混合物
の酸化物およびチッ化物よりなる群から選ばれたもので
あること、スパッタリングでフィルム？形成すること、
ならびにガラス面側からの反射において金色を呈するこ
とが記載されている。
使用して耐候性、耐久性があるというものが種々提案さ
れている。例えば、特開昭６３−２４２９４８号公報に
は、熱線反射ガラスについて記載されており、ガラス基
板表面に基板側から順に金属膜、窒化物膜及び酸化物膜
を積層して形成した膜側表面の可視光反射率２０％以下
の熱線反射ガラスが開示され、金属膜としてＣｒｓ Ｔ
ｉｓＺｒｓ Ｈｆｓ Ｔａｓ Ｓｉ及びこれらの合金、
並びにステンレスのなかから選ばれたもの、窒化物とし
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れらの複合窒化物のなかから選ばれたもの、酸化物とし
てＴｉＳＣｒｓ Ｚｒｓ ｓｔ， ＡＩ％ Ｈｆｓ Ｔ
ａｓ Ｎｂの酸化物及びこれらの複合酸化物のなかから
選ばれたものであり、具体的にはガラス基板／クロム膜
／窒化チタン膜／酸化チタン膜、あるいはガラス基板／
ステンレス膜／窒化チタンＩＩＩＩ／酸化チタン膜の構
成が記載されている。またそのほかに例えば、特開昭６
１−１５１０４５号公報には、太陽エネルギーの反射の
ための製品およびその製造法について記載されており、
透明な基材、該透明な基材の表面上に付着され吸収およ
び干渉効果により色を呈する金属化合物の透明なフィル
ム、および該金属化合物の透明フィルム上に付着された
高反射性の透明な金属フィルムからなることが開示され
、透明な基材はガラス、高反射性の透明な金厘フィルム
は銀、金、銅、アルミニウムおよびそれらの混合物より
なる群から選ばれたもの、金属化合物はステンレス鋼、
ニッケル合金、銅、鉄、コバルトおよびそれらの混合物
の酸化物およびチッ化物よりなる群から選ばれたもので
あること、スパッタリングでフィルム？形成すること、
ならびにガラス面側からの反射において金色を呈するこ
とが記載されている。
さらに特開昭６４−３０３６号公報には、低反射性被覆
物品が記載されており、透明な基体（ガラス）の表面上
に付着された色を示す金属合金酸化物の透明なフィルム
及び該金属合金酸化物（ステンレス鋼、その酸化物）フ
ィルム上に付着された低反射性透明金属合金（ニッケル
及びクロムからなる群）フィルムからなるものが開示さ
れ、スパソターで成膜すること、あるいはガラス表面か
ら反射してブロンズ色を示すことが記載されている。さ
らにまた特開昭６３−２４７３５２号公報には、反応性
スパッタリングによる透明コーティングについて記載さ
れており、基材、基材上のコーティング膜およびコーテ
ィング上の保護膜を含む構成のコートした物品であって
、この保護膜がアルミニウムおよびケイ素を含む合金で
あるターゲットを反応性ガス中、特に０２％がＮ２＋０
■ガス中の割合で１０〜３０％にあるなかでスパッタす
ることにより形成された反応生成物の？定形層を含む膜
であることが記載され、具体的にはＡＩ−ＳｉＲｘ（但
しＲ：例えば０．３ ｏ，＋ｏ．７Ｎｚ等反応ガス）の
保護膜とするものが開示されている。
物品が記載されており、透明な基体（ガラス）の表面上
に付着された色を示す金属合金酸化物の透明なフィルム
及び該金属合金酸化物（ステンレス鋼、その酸化物）フ
ィルム上に付着された低反射性透明金属合金（ニッケル
及びクロムからなる群）フィルムからなるものが開示さ
れ、スパソターで成膜すること、あるいはガラス表面か
ら反射してブロンズ色を示すことが記載されている。さ
らにまた特開昭６３−２４７３５２号公報には、反応性
スパッタリングによる透明コーティングについて記載さ
れており、基材、基材上のコーティング膜およびコーテ
ィング上の保護膜を含む構成のコートした物品であって
、この保護膜がアルミニウムおよびケイ素を含む合金で
あるターゲットを反応性ガス中、特に０２％がＮ２＋０
■ガス中の割合で１０〜３０％にあるなかでスパッタす
ることにより形成された反応生成物の？定形層を含む膜
であることが記載され、具体的にはＡＩ−ＳｉＲｘ（但
しＲ：例えば０．３ ｏ，＋ｏ．７Ｎｚ等反応ガス）の
保護膜とするものが開示されている。
前述したような従来のガラス基板の表面に第１層として
先ずＳＵＳ ＜ステンレス）薄膜を成膜した単独層ある
いは２層、例えばガラス基板／ＳＵＳ／ＴｉＮの構成で
は熱線反射性能は得られるものの比較的耐薬品性に劣り
、特に耐酸性に劣るとともに耐アルカリ性についても比
較的うすいコンクリート溶融液のようなものだと膜が剥
離したりすることがあり、耐摩耗性も必ずしも充分であ
るものとは言い難く、仮りに建築窓ガラス等で膜面を室
内側にして使用したとしても、掃除などでかなり強く擦
ることがある場合には膜の劣化あるいは傷が発現し易い
等の懸念があるものであり、特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載のようにたとえ、ＴｉＯ■等の酸化物膜を
オーバーコートしたとしても、また特開昭６３−２４７
３５２号公報に記載のようなＡＩ・ＳｉＲｘ等の保護膜
をオーバーコートしたとしても膜全体として充分耐薬品
性あるいは耐摩耗性等の耐久性があるものとは必ずしも
言い難いものであって単板の建築窓ガラスとしても改善
が望まれるところであった。
先ずＳＵＳ ＜ステンレス）薄膜を成膜した単独層ある
いは２層、例えばガラス基板／ＳＵＳ／ＴｉＮの構成で
は熱線反射性能は得られるものの比較的耐薬品性に劣り
、特に耐酸性に劣るとともに耐アルカリ性についても比
較的うすいコンクリート溶融液のようなものだと膜が剥
離したりすることがあり、耐摩耗性も必ずしも充分であ
るものとは言い難く、仮りに建築窓ガラス等で膜面を室
内側にして使用したとしても、掃除などでかなり強く擦
ることがある場合には膜の劣化あるいは傷が発現し易い
等の懸念があるものであり、特開昭６３−２４２９４８
号公報に記載のようにたとえ、ＴｉＯ■等の酸化物膜を
オーバーコートしたとしても、また特開昭６３−２４７
３５２号公報に記載のようなＡＩ・ＳｉＲｘ等の保護膜
をオーバーコートしたとしても膜全体として充分耐薬品
性あるいは耐摩耗性等の耐久性があるものとは必ずしも
言い難いものであって単板の建築窓ガラスとしても改善
が望まれるところであった。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明は、従来のかかる欠点に鑑みてなしたものであっ
て、ＳＵＳの窒化物ＩＩ膜を透明ガラス板の表面に第１
層として少な《とも成膜すること、ならびに順次、特定
の窒化物または窒素酸化物薄膜、特定の酸化物薄膜なら
びに特定の酸化物または窒素酸化物薄膜をそれぞれ巧み
に組み合わせることで、特に高耐薬品性、高耐摩耗性を
もたらし、可視光透過率が３０％程度以下、日射透過率
が２０％程度以下、可視光反射率が４５％程度以下と熱
線反射性能を充分有し、単板使用で充分耐久性を有する
熱線反射ガラス板を提供するものである。
て、ＳＵＳの窒化物ＩＩ膜を透明ガラス板の表面に第１
層として少な《とも成膜すること、ならびに順次、特定
の窒化物または窒素酸化物薄膜、特定の酸化物薄膜なら
びに特定の酸化物または窒素酸化物薄膜をそれぞれ巧み
に組み合わせることで、特に高耐薬品性、高耐摩耗性を
もたらし、可視光透過率が３０％程度以下、日射透過率
が２０％程度以下、可視光反射率が４５％程度以下と熱
線反射性能を充分有し、単板使用で充分耐久性を有する
熱線反射ガラス板を提供するものである。
すなわち、本発明は、透明ガラス板の表面に、少なくと
もＳＵＳの窒化物ＩＩＩＩｉｊＩを成膜したことを？徴
とする熱線反射ガラス板、ならびに透明ガラス板の表面
に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形成した後、被膜時の雰囲気
中でのＮｚ：Ｏｇ比が１００：０〜５０：５０のもとで
Ｔｉ， Ｃｒ， Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜を
成膜したことを特徴とする熱線反射ガラス板、および透
明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形成した後
、被膜時の雰囲気中でのＮｚ：０２比が１００：０〜５
０：５０のもとでＴｉＳＣｒＳＴａの窒化物または窒素
酸化物薄膿を成膜し、ついでＴｉＳＳｎｓ Ｃｒｓ Ｔ
ａの酸化物薄膜を積層したことを特徴とする熱線反射ガ
ラス板、さらに透明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物
薄膿を形成した後、被膜時の雰回気中でのＮ２：Ｏ２比
が１００：０〜５０：５０のもとでＴｉ， Ｃｒｓ Ｔ
ａの窒化物または窒素酸化物薄膜を成膜し、ついでＴｉ
ｓ Ｓｎｓ Ｃｒｘ Ｔａの酸化物薄膜を積層し、さら
に該表面に被膜時の雰囲気中でのＮ２；Ｏ２比がＯ：１
００〜５０：５０のもとでＳｉ・ＡＩ％ Ｓｉ−Ｎｉ−
． Ｓｉ−ＴｉのＳｉ合金の酸化物または窒素酸化物ｍ
ｓを積層したことを特徴とする熱線反射ガラス板を提供
するものである。
もＳＵＳの窒化物ＩＩＩＩｉｊＩを成膜したことを？徴
とする熱線反射ガラス板、ならびに透明ガラス板の表面
に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形成した後、被膜時の雰囲気
中でのＮｚ：Ｏｇ比が１００：０〜５０：５０のもとで
Ｔｉ， Ｃｒ， Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜を
成膜したことを特徴とする熱線反射ガラス板、および透
明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形成した後
、被膜時の雰囲気中でのＮｚ：０２比が１００：０〜５
０：５０のもとでＴｉＳＣｒＳＴａの窒化物または窒素
酸化物薄膿を成膜し、ついでＴｉＳＳｎｓ Ｃｒｓ Ｔ
ａの酸化物薄膜を積層したことを特徴とする熱線反射ガ
ラス板、さらに透明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物
薄膿を形成した後、被膜時の雰回気中でのＮ２：Ｏ２比
が１００：０〜５０：５０のもとでＴｉ， Ｃｒｓ Ｔ
ａの窒化物または窒素酸化物薄膜を成膜し、ついでＴｉ
ｓ Ｓｎｓ Ｃｒｘ Ｔａの酸化物薄膜を積層し、さら
に該表面に被膜時の雰囲気中でのＮ２；Ｏ２比がＯ：１
００〜５０：５０のもとでＳｉ・ＡＩ％ Ｓｉ−Ｎｉ−
． Ｓｉ−ＴｉのＳｉ合金の酸化物または窒素酸化物ｍ
ｓを積層したことを特徴とする熱線反射ガラス板を提供
するものである。
ここで、透明ガラス板の表面に成膜する第１１として少
なくともＳＵＳの窒化物薄１１１（Ｓ［ＪＳＮｘとする
）を用いることとしたのは、該ＳＵＳＮｘの方がＳＵＳ
より透明ガラス板との密着力および膜自身の強度が向上
し、特に耐酸性が良化するからであり、膜厚については
３０〜２５０人、より好ましくは５０〜１２０人であっ
て、透明ガラス板側での反射色はシルバー系の色調とな
り、所要の色調、可視光透過率ならびに可視光反射率に
対し、前記範囲内で種々対応できるものであり、例えば
厚味が厚いほどよりシルバー色になり、また薄くして第
２層ならびに第３層の厚味を変えて色調の調整もできパ
リエーシ旨ンをもつようにできるものであり、３０人未
満では膜が不均一となり好ましくな＜ 、２５０人を超
えるとミラー効果となりすぎるものとなって透視性が非
常に少なくなり、例えば可視光透過率が約１０％以下と
なり建築用窓ガラスとしては好ましくなくなり第２層や
第３層等との色調バランスがとれなくなるものである。
なくともＳＵＳの窒化物薄１１１（Ｓ［ＪＳＮｘとする
）を用いることとしたのは、該ＳＵＳＮｘの方がＳＵＳ
より透明ガラス板との密着力および膜自身の強度が向上
し、特に耐酸性が良化するからであり、膜厚については
３０〜２５０人、より好ましくは５０〜１２０人であっ
て、透明ガラス板側での反射色はシルバー系の色調とな
り、所要の色調、可視光透過率ならびに可視光反射率に
対し、前記範囲内で種々対応できるものであり、例えば
厚味が厚いほどよりシルバー色になり、また薄くして第
２層ならびに第３層の厚味を変えて色調の調整もできパ
リエーシ旨ンをもつようにできるものであり、３０人未
満では膜が不均一となり好ましくな＜ 、２５０人を超
えるとミラー効果となりすぎるものとなって透視性が非
常に少なくなり、例えば可視光透過率が約１０％以下と
なり建築用窓ガラスとしては好ましくなくなり第２層や
第３層等との色調バランスがとれなくなるものである。
なおミラー効果を求める際に？この限りでないことは言
うまでもない。第２層として被膜時の雰囲気中でのＮ２
二〇■比が１００：０〜５０：５０のもとでＴｉｓ Ｃ
ｒＳＴａの窒化物または窒素酸化物薄膜を用いることと
したのは、ＴｉＮｘＯｙ（０〈Ｘ≦１，０≦ｙ≦２）、
ＣｒＮｘＯｙ （０ ＜ ｘ≦１，０≦ｙ≦３７２）、
ＴａＮｘＯｙ （０ ＜ ｘ≦１， Ｏ≦ｙ≦５７２）
として第１層のＳＵＳＮｘ ！！膜との密着力が大きく
、しかもついで成膜する第３層の酸化物膜とも密着性が
よいからであり、さらに干渉膜として色調ならびに可視
光透過率の調整に役立つものであり、また耐摩耗性なら
びに耐薬品性についても向上傾向を示すものであり、さ
らにまた窒化物ならびに窒素酸化物例えばＴｉＮｘ〜Ｔ
ｉＮｘＯｙが用いられるなかで、どちらかといえば酸化
物例えばＴｉｄｙが多少、好ましくは１０％以下含まれ
る方がより耐摩耗性が向上するような傾向が見られるも
のであり、膜厚については１５０〜６００人、好まし《
は２００〜５００人であって、１５０人未満であれば、
膜面倒の可視光反射率が高くなりすぎ、色調のバリエー
シコンがとり難くなり、膜の強度も低下するものである
からであり、６００人を超えると可視光透過率が低下し
すぎるためである。第３層としてＴＩＳＳｎｓ ＣｒＳ
Ｔａの酸化物薄膜を用いることとしたのは、ＴｉＯｘな
らびにＳｎＯｘ （０ ＜ ｘ≦２）、Ｃｒｕｘ （０
くχ≦３７２）、ＴａＯｘ （０ ＜ ｘ≦５７２）と
して窒化物例えばＴｉＮｘと密着性が比較的よいが、特
に第２層がＴｉＮｘＯｙ等の窒素酸化物の際に有効であ
って第１層から第３層までの密着力もよくなるものであ
り、耐薬品性、耐摩耗性も良好なものとなって保護膜性
がより発揮できるものとなり、さらに膜面の反射防止の
役目をも発揮するからであり、膜厚については５０〜４
００人、好ましくは１００〜３００人であって、５０人
未満であれば、保護膜性能ならびに反射防止性能が劣る
ものとなって好ましくな＜、４００人を超えると逆に反
射防止性能が減少する傾向があり、また酸化物の成膜に
はどちらかと言えば時間がかかるので必要以上の膜厚に
すると生産性に直接影響するからである。
うまでもない。第２層として被膜時の雰囲気中でのＮ２
二〇■比が１００：０〜５０：５０のもとでＴｉｓ Ｃ
ｒＳＴａの窒化物または窒素酸化物薄膜を用いることと
したのは、ＴｉＮｘＯｙ（０〈Ｘ≦１，０≦ｙ≦２）、
ＣｒＮｘＯｙ （０ ＜ ｘ≦１，０≦ｙ≦３７２）、
ＴａＮｘＯｙ （０ ＜ ｘ≦１， Ｏ≦ｙ≦５７２）
として第１層のＳＵＳＮｘ ！！膜との密着力が大きく
、しかもついで成膜する第３層の酸化物膜とも密着性が
よいからであり、さらに干渉膜として色調ならびに可視
光透過率の調整に役立つものであり、また耐摩耗性なら
びに耐薬品性についても向上傾向を示すものであり、さ
らにまた窒化物ならびに窒素酸化物例えばＴｉＮｘ〜Ｔ
ｉＮｘＯｙが用いられるなかで、どちらかといえば酸化
物例えばＴｉｄｙが多少、好ましくは１０％以下含まれ
る方がより耐摩耗性が向上するような傾向が見られるも
のであり、膜厚については１５０〜６００人、好まし《
は２００〜５００人であって、１５０人未満であれば、
膜面倒の可視光反射率が高くなりすぎ、色調のバリエー
シコンがとり難くなり、膜の強度も低下するものである
からであり、６００人を超えると可視光透過率が低下し
すぎるためである。第３層としてＴＩＳＳｎｓ ＣｒＳ
Ｔａの酸化物薄膜を用いることとしたのは、ＴｉＯｘな
らびにＳｎＯｘ （０ ＜ ｘ≦２）、Ｃｒｕｘ （０
くχ≦３７２）、ＴａＯｘ （０ ＜ ｘ≦５７２）と
して窒化物例えばＴｉＮｘと密着性が比較的よいが、特
に第２層がＴｉＮｘＯｙ等の窒素酸化物の際に有効であ
って第１層から第３層までの密着力もよくなるものであ
り、耐薬品性、耐摩耗性も良好なものとなって保護膜性
がより発揮できるものとなり、さらに膜面の反射防止の
役目をも発揮するからであり、膜厚については５０〜４
００人、好ましくは１００〜３００人であって、５０人
未満であれば、保護膜性能ならびに反射防止性能が劣る
ものとなって好ましくな＜、４００人を超えると逆に反
射防止性能が減少する傾向があり、また酸化物の成膜に
はどちらかと言えば時間がかかるので必要以上の膜厚に
すると生産性に直接影響するからである。
なおＳｎＯｘに替えてＺｎＳｎＯｘ （０ ＜ ｘ≦３
）を採用することができる。ことに第４層をオーバコー
トする際には有効である。第４Ｎとして被膜時の雰囲気
中ｉ’（７）ＮｚＦＯｚ比がＯ：１００〜５ｏ：５ｏノ
も（７）１？Ｓｉ・ＡＩＸＳｉ・Ｎｉｓ Ｓｉ−Ｔｉの
Ｓｉ合金の酸化物または窒素酸化物薄膜を用いることと
したのは、Ｓｉ・ＡＩＮｘＯｙ（０≦Ｘ≦７／３， Ｑ
＜ｙ≦７７２）、Ｓｉ−ＴｉＮｘＯｙ（０≦ｘ＜７／３
，Ｏ＜ｙ≦４）、ＳｉＮｉＮｘＯｙ（０≦ｘ＜７／３．
０＜ｙ≦３）としてＤＣスバ７夕法で成膜でき製造上
非常に有利であって生産性も向上し、充分ＳｉｎｇやＡ
１２０ｉ等を含んだ酸化物だけあるいは酸化物と窒化物
との複合薄膜となるためガラスに近い組成物となって高
耐摩耗性を有する薄膜となるものであり、第１層から第
４層までに至る各層間の密着性を向上することにもなり
、積層した多層膜全体としても剥離等の発現を防止して
強度アップにつなげることができるものであり、膜厚に
ついては３００人以上、好ましくは４００〜２０００人
、最適には５００〜１０００人であって、特に第３層と
第４層をあわせトータル膜厚で５ｏｏ人以上であること
が好ましいものであり、例えばＣＳ−１０Ｆ（摩耗輸）
を用勺）でのテーバ試験にて１０００回回転後における
可視光透過率の変化を４％以下とするためには本第４層
ならびに上記膜厚が必要であり、より耐久性をもたしめ
ることとなってより長い間膜の欠陥等が目立たないもの
となるという効果をもたらすものであり、２０００人以
内が好ましいとしたのは２０００人を超えて厚すぎると
次第にクラック等の不具合を発現し易くなる傾向がある
こと、ならびに２０００人を超える厚みとしても保ｌ［
膜としての効果の増大をほとんど期待できずほぼ一定と
なることからである．いずれにしても上述のように第４
層まで順次禎層するようにしたものは全体として耐摩耗
性ならびに耐薬品性を著しく向上して単板窓ガラスとし
て有用なものとすることができるためである． なお、透明ガラス板としては無色または着色の無機質あ
るいは有機質ガラス板であれば、いずれも採用できるこ
とは言うまでもない。
）を採用することができる。ことに第４層をオーバコー
トする際には有効である。第４Ｎとして被膜時の雰囲気
中ｉ’（７）ＮｚＦＯｚ比がＯ：１００〜５ｏ：５ｏノ
も（７）１？Ｓｉ・ＡＩＸＳｉ・Ｎｉｓ Ｓｉ−Ｔｉの
Ｓｉ合金の酸化物または窒素酸化物薄膜を用いることと
したのは、Ｓｉ・ＡＩＮｘＯｙ（０≦Ｘ≦７／３， Ｑ
＜ｙ≦７７２）、Ｓｉ−ＴｉＮｘＯｙ（０≦ｘ＜７／３
，Ｏ＜ｙ≦４）、ＳｉＮｉＮｘＯｙ（０≦ｘ＜７／３．
０＜ｙ≦３）としてＤＣスバ７夕法で成膜でき製造上
非常に有利であって生産性も向上し、充分ＳｉｎｇやＡ
１２０ｉ等を含んだ酸化物だけあるいは酸化物と窒化物
との複合薄膜となるためガラスに近い組成物となって高
耐摩耗性を有する薄膜となるものであり、第１層から第
４層までに至る各層間の密着性を向上することにもなり
、積層した多層膜全体としても剥離等の発現を防止して
強度アップにつなげることができるものであり、膜厚に
ついては３００人以上、好ましくは４００〜２０００人
、最適には５００〜１０００人であって、特に第３層と
第４層をあわせトータル膜厚で５ｏｏ人以上であること
が好ましいものであり、例えばＣＳ−１０Ｆ（摩耗輸）
を用勺）でのテーバ試験にて１０００回回転後における
可視光透過率の変化を４％以下とするためには本第４層
ならびに上記膜厚が必要であり、より耐久性をもたしめ
ることとなってより長い間膜の欠陥等が目立たないもの
となるという効果をもたらすものであり、２０００人以
内が好ましいとしたのは２０００人を超えて厚すぎると
次第にクラック等の不具合を発現し易くなる傾向がある
こと、ならびに２０００人を超える厚みとしても保ｌ［
膜としての効果の増大をほとんど期待できずほぼ一定と
なることからである．いずれにしても上述のように第４
層まで順次禎層するようにしたものは全体として耐摩耗
性ならびに耐薬品性を著しく向上して単板窓ガラスとし
て有用なものとすることができるためである． なお、透明ガラス板としては無色または着色の無機質あ
るいは有機質ガラス板であれば、いずれも採用できるこ
とは言うまでもない。
前述したとおり、本発明の熱線反射ガラス板は、透明ガ
ラス板表面に、第１層としてＳｉｌＳＮｘ薄膜を形成せ
しめたもの、さらに該ＳＵＳＮＸ薄膜の表面に特定のＴ
ｉｓ Ｃｒ， Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜を積
層したもの、さらにまた前記ＳＵＳＮｘ薄膜と特定のＴ
ｉ， Ｃｒｓ Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜につ
いでＴｉ，． Ｓｎｓ ＣｒＳＴａの酸化物薄膜を順次
積層したもの、さらにまた前記３層の表面に特定のＳｉ
合金の酸化物または窒素酸化物ＩＩ膜をオーバーコート
したものと、単層から４１１まで巧みに組み合せ配した
ことにより、可視光透過率が３０％程度以下、日射透過
率が２０％程度以下、可視光反射率が４５％程度以下と
充分断熱効果を有し、シルバー系色調を有するものとな
り、しかも各薄膜層の密着性を高めることができるとと
もに、より耐薬品性がある特定の窒化物、酸化物、窒素
酸化物を特異に配して、積層した多層膜全体としての耐
摩耗性ならびに耐食性を向上せしめることになって、し
たがって耐久性のある単板の熱線反射ガラス板として充
分建築用窓ガラスはもちろん車輌用窓ガラスとしても特
異場所に採用可能ならしめたものである。特に本発明の
薄膜層を遠宜特異な模様、例えば格子状、すだれ状、水
玉状、蜂の巣状等を透明ガラス板に配設すればさらに透
視度を向上せしめることができ、断熱性能とともに調整
できて特異なものとすることができるものである。
ラス板表面に、第１層としてＳｉｌＳＮｘ薄膜を形成せ
しめたもの、さらに該ＳＵＳＮＸ薄膜の表面に特定のＴ
ｉｓ Ｃｒ， Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜を積
層したもの、さらにまた前記ＳＵＳＮｘ薄膜と特定のＴ
ｉ， Ｃｒｓ Ｔａの窒化物または窒素酸化物薄膜につ
いでＴｉ，． Ｓｎｓ ＣｒＳＴａの酸化物薄膜を順次
積層したもの、さらにまた前記３層の表面に特定のＳｉ
合金の酸化物または窒素酸化物ＩＩ膜をオーバーコート
したものと、単層から４１１まで巧みに組み合せ配した
ことにより、可視光透過率が３０％程度以下、日射透過
率が２０％程度以下、可視光反射率が４５％程度以下と
充分断熱効果を有し、シルバー系色調を有するものとな
り、しかも各薄膜層の密着性を高めることができるとと
もに、より耐薬品性がある特定の窒化物、酸化物、窒素
酸化物を特異に配して、積層した多層膜全体としての耐
摩耗性ならびに耐食性を向上せしめることになって、し
たがって耐久性のある単板の熱線反射ガラス板として充
分建築用窓ガラスはもちろん車輌用窓ガラスとしても特
異場所に採用可能ならしめたものである。特に本発明の
薄膜層を遠宜特異な模様、例えば格子状、すだれ状、水
玉状、蜂の巣状等を透明ガラス板に配設すればさらに透
視度を向上せしめることができ、断熱性能とともに調整
できて特異なものとすることができるものである。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。ただし
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
本発明は係る実施例に限定されるものではない。
スＩＬ上
大きさ６００ Ｘ ６００鶴２、厚さ３ ， Ｏ ｎの
可視光透過率約８９．５％のクリア板ガラス（ＦＬ３）
を中性洗剤、水すすぎ、イソブロビルアルコールで順次
洗浄し、乾燥した後、ＤＣマグネトロン反応スパッタリ
ング装置の真空槽内にセットしてあるＳｕＳ３１６のタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、つ
ぎに前記槽内を真空ポンプで約５ Ｘ ＩＯ−”Ｔｏｒ
ｒまでに脱気した後、該真空槽内にＮ２ガスを導入して
真空度を約２．５ Ｘ １０− ’Ｔｏｒｒに保持し、
前記ＳｕＳ３１６のターゲットに約２．５ＫＨの電力を
印加し、ＤＣマグネトロン反応スパッタのなかを、前記
ＳｕＳ３１６ターゲット上方においてスピード約４０Ｏ
ｎ／ｗｉｎで前記板ガラスを搬送することによって約１
５０人厚さのＳＵＳＮｘｌｌ膜を単層として成膜した。
可視光透過率約８９．５％のクリア板ガラス（ＦＬ３）
を中性洗剤、水すすぎ、イソブロビルアルコールで順次
洗浄し、乾燥した後、ＤＣマグネトロン反応スパッタリ
ング装置の真空槽内にセットしてあるＳｕＳ３１６のタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、つ
ぎに前記槽内を真空ポンプで約５ Ｘ ＩＯ−”Ｔｏｒ
ｒまでに脱気した後、該真空槽内にＮ２ガスを導入して
真空度を約２．５ Ｘ １０− ’Ｔｏｒｒに保持し、
前記ＳｕＳ３１６のターゲットに約２．５ＫＨの電力を
印加し、ＤＣマグネトロン反応スパッタのなかを、前記
ＳｕＳ３１６ターゲット上方においてスピード約４０Ｏ
ｎ／ｗｉｎで前記板ガラスを搬送することによって約１
５０人厚さのＳＵＳＮｘｌｌ膜を単層として成膜した。
得られた単層膜を有する熱線反射ガラス板について、可
視光透過率ならびに可視光反射率（３８０〜７８０ｒ＋
ｍ）ならびに日射透過率（３４０〜１８００ｎｍ）につ
いては３４０型自記分光光度計（日立製作所製）とＪＩ
ＳＺ８７２２、ＪＩＳＲ３１０６によってそれぞれその
光学的特性を求めた。またテーバ試験による透過率の差
については、テーバ試験機（ＭＯＤＥＬ５０３， ＴＹ
ＢＥＲ社製）に膜面を上にした１０ＣＩＩ１角の試験片
をセットし、膜面に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（Ｃ
Ｓ−１０Ｆ）が２ケ所で当たるようになっているもので
、試料を３００回ならびに１０００回回転した後、可視
光透過率を測定し、試験前の測定値と対比し、その変化
量すなわち差をもって表わした数値である。さらに耐薬
品性のうち耐酸試験については、酸Ａとして常温で約Ｉ
Ｎの｝ＩＣｌ溶液中に前記試験片を豹６時間浸漬した後
、ならびに酸Ｂとして約６０℃の温度で０． １５Ｎの
ＨＣＩ溶液中に前記試験片を約４８時間浸漬した後、膜
の劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試験
については、アルカリ八として常温で約ＩＮのＮａｉｌ
｛溶液中に試験片を約６時間浸漬した後、またアルカリ
Ｂとして約６０℃の温度で約０． １２５ＮのＮａＯＨ
溶液に試験片を約４８時間浸漬した後、ならびにアルカ
リＣとして約６０℃の温度で約０．５８のＮａＯＨ溶液
中に試験片を約４８時間漫潰した後、膜の劣化状態を目
視によって判断したものであり、それぞれＯ印はほとん
ど劣化が見られなかったもの、Ｘ印は劣化が明らかに目
立ったもので、Δ印はその中間である。前述の各測定値
は表１に示す通りで断熱性に優れる等、より優れた住居
性を示す光学的特性を有し、耐摩耗性、耐食性を充分有
し、耐候性耐久性を向上したものとなり、単板窓ガラス
としても有用なものとなり得るものとなり、後記の比較
例１、２のＳＵＳＩＭのものより優れたものが得られた
ことが明らかである。なお本実施例のガラス面から見た
色調としては淡いシルバー系色であった。
視光透過率ならびに可視光反射率（３８０〜７８０ｒ＋
ｍ）ならびに日射透過率（３４０〜１８００ｎｍ）につ
いては３４０型自記分光光度計（日立製作所製）とＪＩ
ＳＺ８７２２、ＪＩＳＲ３１０６によってそれぞれその
光学的特性を求めた。またテーバ試験による透過率の差
については、テーバ試験機（ＭＯＤＥＬ５０３， ＴＹ
ＢＥＲ社製）に膜面を上にした１０ＣＩＩ１角の試験片
をセットし、膜面に荷重５００ｇのかかった摩耗輪（Ｃ
Ｓ−１０Ｆ）が２ケ所で当たるようになっているもので
、試料を３００回ならびに１０００回回転した後、可視
光透過率を測定し、試験前の測定値と対比し、その変化
量すなわち差をもって表わした数値である。さらに耐薬
品性のうち耐酸試験については、酸Ａとして常温で約Ｉ
Ｎの｝ＩＣｌ溶液中に前記試験片を豹６時間浸漬した後
、ならびに酸Ｂとして約６０℃の温度で０． １５Ｎの
ＨＣＩ溶液中に前記試験片を約４８時間浸漬した後、膜
の劣化状態を見て判断したものであり、耐アルカリ試験
については、アルカリ八として常温で約ＩＮのＮａｉｌ
｛溶液中に試験片を約６時間浸漬した後、またアルカリ
Ｂとして約６０℃の温度で約０． １２５ＮのＮａＯＨ
溶液に試験片を約４８時間浸漬した後、ならびにアルカ
リＣとして約６０℃の温度で約０．５８のＮａＯＨ溶液
中に試験片を約４８時間漫潰した後、膜の劣化状態を目
視によって判断したものであり、それぞれＯ印はほとん
ど劣化が見られなかったもの、Ｘ印は劣化が明らかに目
立ったもので、Δ印はその中間である。前述の各測定値
は表１に示す通りで断熱性に優れる等、より優れた住居
性を示す光学的特性を有し、耐摩耗性、耐食性を充分有
し、耐候性耐久性を向上したものとなり、単板窓ガラス
としても有用なものとなり得るものとなり、後記の比較
例１、２のＳＵＳＩＭのものより優れたものが得られた
ことが明らかである。なお本実施例のガラス面から見た
色調としては淡いシルバー系色であった。
裏隻史１
前記実施例１と同様の方法で行い、透明ガラス板の搬送
スピードのみ約３００鶴／ｍｉｎにより、約２００人厚
さのＳｉｌＳＮｄｌ膜を成膜した。
スピードのみ約３００鶴／ｍｉｎにより、約２００人厚
さのＳｉｌＳＮｄｌ膜を成膜した。
得られた熱線反射ガラス板は前記実施例１と同様に試験
した結果、表１に示す通り、前記実施例１と同等以上の
ものを得ることができ、比較例１ならびに２より優れた
ものが得られたことが明らかである。なお本実施例の色
調も実施例１とほぼ同色系となった。
した結果、表１に示す通り、前記実施例１と同等以上の
ものを得ることができ、比較例１ならびに２より優れた
ものが得られたことが明らかである。なお本実施例の色
調も実施例１とほぼ同色系となった。
大１■工
前記実施例１と同様の方法で、まず第１層として真空度
約２．５ Ｘ １０−３ＴｏｒｒでＮ２ガス中を電力約
２．５Ｋ一の印加して搬送スピード約１００Ｏｎ／ｗｉ
ｎにより約６０人厚さのＳＵＳＮｘ ＠膜を形成し、つ
いで第２層としてＴｉターゲットでもって、真空度約２
．５Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ， Ｎｚ：Ｏｔ：Ｏ．９５：０
．０５ガス、電力約２．５ＫＷ、搬送スピード約８６ｍ
ｍ／ｗｉｎにより約３５０人厚さのＴｉＮｘＯｙ薄膜を
積層した。
約２．５ Ｘ １０−３ＴｏｒｒでＮ２ガス中を電力約
２．５Ｋ一の印加して搬送スピード約１００Ｏｎ／ｗｉ
ｎにより約６０人厚さのＳＵＳＮｘ ＠膜を形成し、つ
いで第２層としてＴｉターゲットでもって、真空度約２
．５Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ， Ｎｚ：Ｏｔ：Ｏ．９５：０
．０５ガス、電力約２．５ＫＷ、搬送スピード約８６ｍ
ｍ／ｗｉｎにより約３５０人厚さのＴｉＮｘＯｙ薄膜を
積層した。
得られた熱線反射ガラス板は実施例１と同様に試験した
結果、表１に示す通り、実施例１、２と同様に断熱性に
優れ、耐食性ならびに耐摩耗性については実施例１、２
より優れたものとなり、後記比較例３、４のガラス板／
ＳＵＳ／ＴｉＮまたはＴａＮの膜構成より優れたものが
得られていることがわかる。なお本実施例等のガラス面
から見た色調としては淡いブルー系シルバー色であった
。
結果、表１に示す通り、実施例１、２と同様に断熱性に
優れ、耐食性ならびに耐摩耗性については実施例１、２
より優れたものとなり、後記比較例３、４のガラス板／
ＳＵＳ／ＴｉＮまたはＴａＮの膜構成より優れたものが
得られていることがわかる。なお本実施例等のガラス面
から見た色調としては淡いブルー系シルバー色であった
。
ス１』１Ｌユｌ
実施例３と同様の方法で、まず第１層として透明ガラス
板の搬送スピードのみ約６６７ｕ／ｗｉｎで約９０人厚
さ、約５００ｍｎ／ｗｉｎで約１２０人厚さ、ついで第
２層としてＴｉＮｘＯｙ薄膜にづいては実施例３と同様
に、またＴａＮｘＯｙ １１膜についてはＴａターゲッ
トを用いて真空度約２．５Ｘ１０”’ＴｏｒｒＳＮｚ：
Ｑ！−０．９５：０．０５ガス、電力約２．５κ獣搬送
スビー？約７８ｎ／ｓｉｎで約４５０人厚さ、さらにＴ
ｉＮ薄膜についてはＴｉターゲットを用いて真空度２．
５ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒｓ電力２．５ＫＷ，搬送スピ
ード約１０Ｏｎ＋／ｍｉｎで約３５０人厚さにそれぞれ
実施して、表１に示す３層の膜構成で積層した． 得られた熱線反射ガラス板は実施例１と同様に試験した
結果、表１に示す通り、実施例３とほぼ同等の光学的特
性ならびに耐食性を示し、特に耐摩耗性については実施
例３以上の耐久性のある数値を示すものでより向上した
ものであった。なお色調としては実施例３とほぼ同色系
であった。
板の搬送スピードのみ約６６７ｕ／ｗｉｎで約９０人厚
さ、約５００ｍｎ／ｗｉｎで約１２０人厚さ、ついで第
２層としてＴｉＮｘＯｙ薄膜にづいては実施例３と同様
に、またＴａＮｘＯｙ １１膜についてはＴａターゲッ
トを用いて真空度約２．５Ｘ１０”’ＴｏｒｒＳＮｚ：
Ｑ！−０．９５：０．０５ガス、電力約２．５κ獣搬送
スビー？約７８ｎ／ｓｉｎで約４５０人厚さ、さらにＴ
ｉＮ薄膜についてはＴｉターゲットを用いて真空度２．
５ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒｓ電力２．５ＫＷ，搬送スピ
ード約１０Ｏｎ＋／ｍｉｎで約３５０人厚さにそれぞれ
実施して、表１に示す３層の膜構成で積層した． 得られた熱線反射ガラス板は実施例１と同様に試験した
結果、表１に示す通り、実施例３とほぼ同等の光学的特
性ならびに耐食性を示し、特に耐摩耗性については実施
例３以上の耐久性のある数値を示すものでより向上した
ものであった。なお色調としては実施例３とほぼ同色系
であった。
裏１１エニ則
前記実施例３〜６と同様な方法で第２層までを積層し、
その表面に第３層としてＴｉＯ■薄膜をＴｉターゲット
を用いて、真空度２．５Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ，０．ガス
、電力２．５ＫＷ、搬送スピード約５００ｍｍ／ｍｉｎ
で約２００人厚さに積層した。またＴａｚＯｓｆ！膜に
ついてはＴａターゲットを用いて、上述の条件のなか搬
送スピードのみ約４００ｍ／ｗｉｎで約２５０人厚さに
それぞれ積層し、表１のとおりの３層の膜構成を得た。
その表面に第３層としてＴｉＯ■薄膜をＴｉターゲット
を用いて、真空度２．５Ｘ１０−３Ｔｏｒｒ，０．ガス
、電力２．５ＫＷ、搬送スピード約５００ｍｍ／ｍｉｎ
で約２００人厚さに積層した。またＴａｚＯｓｆ！膜に
ついてはＴａターゲットを用いて、上述の条件のなか搬
送スピードのみ約４００ｍ／ｗｉｎで約２５０人厚さに
それぞれ積層し、表１のとおりの３層の膜構成を得た。
得られた熱線反射ガラス板は実施例１と同様な試験した
結果、表１に示す通り、実施例１〜６とほぼ同等の光学
的特性を示し、耐薬品性のうち耐アルカリ性がより向上
するばかりでなく特に耐摩耗性についてはテーバ試験で
の透過率差が１０００回テストで５％以下の数値となり
、単板用窓ガラスとしても採用して耐久性ある好ましい
ものとなるものであった。後記比較例５、６の３層膜構
成のものに比し、耐摩耗性ならびに耐薬品性ことに耐ア
ルカリ性においてより優れたものが得られていることが
わかる。なお本実施例等のガラス面から見た色調として
は淡いグリーン系シルバー色を呈するものであった。
結果、表１に示す通り、実施例１〜６とほぼ同等の光学
的特性を示し、耐薬品性のうち耐アルカリ性がより向上
するばかりでなく特に耐摩耗性についてはテーバ試験で
の透過率差が１０００回テストで５％以下の数値となり
、単板用窓ガラスとしても採用して耐久性ある好ましい
ものとなるものであった。後記比較例５、６の３層膜構
成のものに比し、耐摩耗性ならびに耐薬品性ことに耐ア
ルカリ性においてより優れたものが得られていることが
わかる。なお本実施例等のガラス面から見た色調として
は淡いグリーン系シルバー色を呈するものであった。
スｌ匹迂ヱ怜
前記実施例７〜１０と一部の膜厚のみ変更しほぼ同様の
方法で３層に積層した後、その表面に第４層として、Ａ
Ｉ・Ｓｉ（Ａｌ：Ｓｉ・５０ ： ５０）ターゲソトを
用いて、真空度２．５Ｘ１０弓Ｔｏｒｒｓ Ｎｚ：Ｏｚ
＝１：１ガス、電力３．０κ讐、搬送スピード約２０１
１／ｍｉｎで約５００人厚さのＡ１・ＳｉＮｘＯｙｌｌ
膜を積層し表１の４層の膜構成のものを得た。
方法で３層に積層した後、その表面に第４層として、Ａ
Ｉ・Ｓｉ（Ａｌ：Ｓｉ・５０ ： ５０）ターゲソトを
用いて、真空度２．５Ｘ１０弓Ｔｏｒｒｓ Ｎｚ：Ｏｚ
＝１：１ガス、電力３．０κ讐、搬送スピード約２０１
１／ｍｉｎで約５００人厚さのＡ１・ＳｉＮｘＯｙｌｌ
膜を積層し表１の４層の膜構成のものを得た。
得られた熱線反射ガラス板は実施例１と同様に試験した
結果、表１に示す通り、光学的特性については前記実施
例１〜１０までとほぼ同等であり、耐薬品性および耐摩
耗性についてはより優れたものとなり、特に耐摩耗性は
テーバ試験での透過率差が１０００回テストで４％以下
という数値となり、単板用窓ガラスとして充分耐久性が
あるものとなった。なお後記比較例７の４層膜構成のも
のに比し、耐摩耗性ならびに耐薬品性ことに耐アルカリ
性においてより優れたものが得られた。また本実施例等
のガラス面から見た色調としては淡いグリーン系からイ
エロー系までのシルバー色を呈するものであった。
結果、表１に示す通り、光学的特性については前記実施
例１〜１０までとほぼ同等であり、耐薬品性および耐摩
耗性についてはより優れたものとなり、特に耐摩耗性は
テーバ試験での透過率差が１０００回テストで４％以下
という数値となり、単板用窓ガラスとして充分耐久性が
あるものとなった。なお後記比較例７の４層膜構成のも
のに比し、耐摩耗性ならびに耐薬品性ことに耐アルカリ
性においてより優れたものが得られた。また本実施例等
のガラス面から見た色調としては淡いグリーン系からイ
エロー系までのシルバー色を呈するものであった。
里翌五土二工
前記各実施例と同様の方法によって表１に示す膜構成に
積層し得た。なおＳＵＳＩＩＩＩＩについては、ＳＵＳ
３１６のターゲットを用いて、真空度３．０Ｘ １０−
３Ｔｏｒｒ， Ａｒガス、電力１．０ＸＷ、激送スピ
ード約６０Ｏｎ／Ｉｌｌｉｎで約１００人厚さ、約３０
０ｍ／ｗｉｎで約２００人厚さ、約２０００ ｎ ／屠
ｉロで約３０人厚さ等の要領で成膜した。
積層し得た。なおＳＵＳＩＩＩＩＩについては、ＳＵＳ
３１６のターゲットを用いて、真空度３．０Ｘ １０−
３Ｔｏｒｒ， Ａｒガス、電力１．０ＸＷ、激送スピ
ード約６０Ｏｎ／Ｉｌｌｉｎで約１００人厚さ、約３０
０ｍ／ｗｉｎで約２００人厚さ、約２０００ ｎ ／屠
ｉロで約３０人厚さ等の要領で成膜した。
得られた熱線反射ガラスについては、実施例１と同様の
測定法等に従ってそれぞれ評価し、表１に示した。単層
から４層まで各膜層をそれぞれ実施例と対比してみれば
明らかなように耐摩耗性ならびに耐薬品性において劣る
ものであり、単板用窓ガラスとして採用し難い熱線反射
ガラス板であった。なお色調としては単１から４層まで
前記実施例に対応してほぼ同色系のものであった。
測定法等に従ってそれぞれ評価し、表１に示した。単層
から４層まで各膜層をそれぞれ実施例と対比してみれば
明らかなように耐摩耗性ならびに耐薬品性において劣る
ものであり、単板用窓ガラスとして採用し難い熱線反射
ガラス板であった。なお色調としては単１から４層まで
前記実施例に対応してほぼ同色系のものであった。
以上前述したように本発明は通常のスパッタリングで、
特定物であるＳＵＳＮｘ、窒化物、酸化物ならびに窒素
酸化物の薄膜を特異に組み合わせて単層から多層膜とし
て積層した構成とすることにより、光学的特性も特異性
を有するものとすることができ、高品位の断熱ガラスで
あって特に耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久性に優れ
たものであり、単板窓ガラスとしても有用な熱線反射ガ
ラス板を提供することができるものである。
特定物であるＳＵＳＮｘ、窒化物、酸化物ならびに窒素
酸化物の薄膜を特異に組み合わせて単層から多層膜とし
て積層した構成とすることにより、光学的特性も特異性
を有するものとすることができ、高品位の断熱ガラスで
あって特に耐摩耗性、耐食性ならびに耐候耐久性に優れ
たものであり、単板窓ガラスとしても有用な熱線反射ガ
ラス板を提供することができるものである。
Claims (4)
- （１）透明ガラス板の表面に、少なくともＳＵＳの窒化
物薄膜を成膜したことを特徴とする熱線反射ガラス板。 - （２）透明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形
成した後、被膜時の雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ＿２比が１
００：０〜５０：５０のもとでＴｉ、Ｃｒ、Ｔａの窒化
物または窒素酸化物薄膜を成膜したことを特徴とする熱
線反射ガラス板。 - （３）透明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形
成した後、被膜時の雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ＿２比が１
００：０〜５０：５０のもとでＴｉ、Ｃｒ、Ｔａの窒化
物または窒素酸化物薄膜を成膜し、ついでＴｉ、Ｓｎ、
Ｃｒ、Ｔａの酸化物薄膜を積層したことを特徴とする熱
線反射ガラス板。 - （４）透明ガラス板の表面に、ＳＵＳの窒化物薄膜を形
成した後、被膜時の雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ＿２比が１
００：０〜５０：５０のもとでＴｉ、Ｃｒ、Ｔａの窒化
物または窒素酸化物薄膜を成膜し、ついでＴｉ、Ｓｎ、
Ｃｒ、Ｔａの酸化物薄膜を積層し、さらに該表面に被膜
時の雰囲気中でのＮ＿２：Ｏ＿２比が０：１００〜５０
：５０のもとでＳｉ・Ａｌ、Ｓｉ・Ｎｉ、Ｓｉ・Ｔｉの
Ｓｉ合金の酸化物または窒素酸化物薄膜を積層したこと
を特徴とする熱線反射ガラス板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5356789A JPH02233534A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | 熱線反射ガラス板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5356789A JPH02233534A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | 熱線反射ガラス板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02233534A true JPH02233534A (ja) | 1990-09-17 |
Family
ID=12946404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5356789A Pending JPH02233534A (ja) | 1989-03-06 | 1989-03-06 | 熱線反射ガラス板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02233534A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5342675A (en) * | 1991-02-21 | 1994-08-30 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat-screening glass |
| US5411794A (en) * | 1991-08-29 | 1995-05-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat-screening glass |
| US5543229A (en) * | 1991-10-30 | 1996-08-06 | Asahi Glass Company Ltd. | Method of making a heat treated coated glass |
| FR2766174A1 (fr) * | 1997-07-21 | 1999-01-22 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
-
1989
- 1989-03-06 JP JP5356789A patent/JPH02233534A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5342675A (en) * | 1991-02-21 | 1994-08-30 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat-screening glass |
| US5411794A (en) * | 1991-08-29 | 1995-05-02 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Heat-screening glass |
| US5543229A (en) * | 1991-10-30 | 1996-08-06 | Asahi Glass Company Ltd. | Method of making a heat treated coated glass |
| FR2766174A1 (fr) * | 1997-07-21 | 1999-01-22 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
| WO1999005072A1 (fr) * | 1997-07-21 | 1999-02-04 | Saint-Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
| US7527868B2 (en) | 1997-07-21 | 2009-05-05 | Saint-Gobain Vitrage | Transparent substrate coated with at least one thin layer |
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