JP2000513104A - 携帯式電子精密ノギス - Google Patents

携帯式電子精密ノギス

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JP2000513104A JP10548647A JP54864798A JP2000513104A JP 2000513104 A JP2000513104 A JP 2000513104A JP 10548647 A JP10548647 A JP 10548647A JP 54864798 A JP54864798 A JP 54864798A JP 2000513104 A JP2000513104 A JP 2000513104A
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Abstract

(57)【要約】 ジョー(10、20)をそれぞれ有するスライド(2)とシャフト(1)とを包含する携帯式精密ノギス。スライドはさらに、ジョー(10、20)間の距離を電子ディスプレイ(12)上に表示することを可能にする電子手段(11)を備えている。電子手段は電池(110、111)により給電される。シャフト(2)には、磁化周期λで磁化されたスケール(21)が設けられている。電子手段(11)は、スケール(21)に対面して配置された磁気抵抗電極のアレイを備えたセンサ(112)を包含している。磁気抵抗電極の抵抗値は、スケール(21)に沿うセンサ(112)の長手位置の正弦関数である。磁気抵抗電極の組は、直列に接続された少なくとも8個の電極から形成される少なくともいくつかの磁気抵抗電極組を包含し、磁気抵抗電極組の電気抵抗を増大させ、装置全体の電力消費を減少させる。

Description

【発明の詳細な説明】 携帯式電子精密ノギス 本発明は直線寸法を測定するのに使用される携帯式電子精密ノギス、即ちスラ イドゲージに関する。特に本発明は、電子式精密ノギスに関する。 従前のノギスは競争価格で、よりよい読みを与える電子ノギスによって徐々に 取って代られる傾向にある。今日一般に使用されている多くの電子ノギスは静電 容量センサーを有している。ノギスシャフト上の電極配列と、ノギス スライド 上の反対側に配置された電極配列との間に起る容量の変化を、シャフトに沿うス ライドの位置によって情報を供給するように測定する。この情報をスライドと通 常一体化されたスクリーン上に表示する。この種の回線は、例えばブラウン ア ンド シャープ テーザエスエイの欧州特許出願第96810686号に記載してある。 静電容量の測定の原理は、それがすぐれた解決と正確さとを提供するが故に確 立されている一方、他方これら装置の電気消費が極めて小なるが故に、例えば電 池によって強化できる。しかし静電容量式のセンサーノギスが適正に作動するた めには、清潔に保持しなければならない。しかし湿った環境で、或いは例えば潤 滑剤を撒き散らした或いは埃っぽい環境で作動するよう間違って取扱はれている 。かかる悪条件下にあっては、電子ノギスよりも手動ノギスまたは時計型ノギス の方がよい。 従って、本発明の目的は、従来装置に比べて改良された携帯式 電子ノギスを提供することにある。特に、本発明の目的は、塵埃や潤滑油に対す る鋭敏度が低いセンサを包含し、百万分の百程度の分解能と百万分の数百程度の 精度、すなわち同様な価格の容量性ノギスにより得られる性能に匹敵する性能を 持ち、例えばリチウム電池のような簡単な電池によって作動させ得るように電力 消費を充分に低めたノギスを提供することにある。 本発明によれば、これらの目的は、磁化周期λを有する磁化されたスケールを 備えたシャフトと、このシャフトに沿って長手方向に移動できるスライドと、前 記シャフト及び前記スライドにそれぞれ設けられたジョーと、前記スライドに配 設された自己出力型の電子回路とを包含するノギスであって、前記電子回路が、 単一のセンサを包含し、このセンサが、前記スケールに対面して配設されたn個 の磁気抵抗電極のアレイを備え、この磁気抵抗電極の抵抗値が前記磁気スケール に沿うその長手方向位置の関数であり、nが2よりも大きい数であり、前記電子 回路が、前記磁気抵抗電極の抵抗値から、前記ジョー間の間隔に依存する情報を 決定して、この情報を電子ディスプレイに表示するようにしたノギスにより達成 される。 本発明によるノギスのシャフトは、磁化周期λを有する磁化されたスケールを 備えている。センサは、スケールに対面して配設された磁気抵抗電極のアレイを 備え、この磁気抵抗電極の抵抗値が前記磁気スケールに沿うセンサの長手方向位 置の周期関数である。磁気抵抗電極の数は多く、いずれにしても2よりも大きい 数である。電子回路は、磁気抵抗電極の抵抗値から、ノギスのジ ョー間の間隔に依存する情報を決定することができる。この情報は、電子ディス プレイ上に表示される。 直線寸法または角度寸法を測定する磁気抵抗電極を備えたセンサは、それ自体 公知である。しかし、この公知のセンサの磁気抵抗電極の抵抗は、電池電源とす るには、余りにも弱い。従って、このようなセンサを、例えば携帯式精密ノギス のような高電力消費の電気的自己出力型装置に用いることは、今までもくろまれ たことがなかった。 磁気抵抗材料の特性を利用したノギスは、既に例えぱ米国特許第5029402号明 細書、米国特許第4226024号明細書及び米国特許第5174041号明細書に記載され公 知である。これらの明細書には、それぞれ磁気抵抗電極を包含する2つの各別な センサを備えたノギスが記載されている。これら2つのセンサ間の距離は臨界的 なもので、測定の達成精度を決定する。2つだけの磁気抵抗電極を用いることで 適用される計測の原理は、精密ノギス、すなわち長さを0.1mm以下の分解能 及び精度をもって測定することができるノギス構造を可能とするものではない。 この理由から、この形式のノギスを用いることは、肉片の測定とか樹木の幹の直 径の測定とかの要求精度がそんなに高くない特定の用途に運命付けられている。 従って、これらの明細書の教示を、非常に異なった技術領域の精密測定に転置す ることはできない。 本発明は、以下の図面に例示した実施形態についての記載を読むことにより、 さらによく理解されよう。 図1は、本発明による携帯式電子ノギスの展開図である。 図2は、本発明のノギスに採用された電子手段の拡大部分図である。 図3は、本発明によるノギスのスケールの上方の磁気抵抗センサの斜視図であ る。 図4は、測定ブリッジを構成するようにした磁気抵抗電極の接続の第1の実施 例を示す電気回路図である。 図1は、本発明による携帯式電子ノギスの展開図である。このノギスの構造は 、例えば本出願人の特許出願EP 719999に記載されて知られており、その内容を ここに参照する。この特許出願明細書では、シャフトに沿うスライドの案内手段 とジョーを制御する手段との可能で有利な実施例を述べている。 本発明のノギスは、シャフト2と、このシャフトに沿って長手方向に移動でき るスライド1とを包含している。シャフトは、ノギスの使用目的に従って、異な った長さのものとすることができる。典型的な長さは、例えば15、20または 40cmである。スライドには可動ジョー10が設けられており、シャフトには 固定ジョー20が設けられている。例えば液晶ディスプレイのようなディスプレ イ12が、2つのジョー間の間隙に依存する情報を表示する。例えぱディスプレ イ12は、5個の数宇を示すものとすることができ、ピリオドの後の2つの数字 は2つのジョー10及び20の間のmmの距離を示す。 磁化されたスケール21が、例えば接着剤のような任意の公知固定手段により シャフトに取り付けられている。このスケールは、好適にはシャフト2の全長に 亘って延在するものとする。別 の実施例としては、スケールをシャフト2の一部分だけに長手方向に延在させ、 この部分の上を、センサ112(後述する)を移動させることができるようにす る。 シャフト2及びスライド1は、好適には、例えば経済的な例としてはアルミニ ウムで、他のより丈夫な例としてはスチールで作られる。スケール21は、例え ば軟鉄または高磁気保持力を有するフェライト層を塗布したガラスの支持体のよ うな永久磁石材料製のものとすることが必要である。このスケールは、図2及び 図3に見られるように、磁化周期λをもって磁化されている。図に例示されてい る実施態様では、この周期磁化は、基本的に水平すなわちスケール21の長手方 向軸線に沿っている。垂直の周期磁化すなわちスケールの軸線に垂直な周期磁化 を有するスケールも作ることができ、これは、磁気ドメインが寄生磁界によって 移動させられにくい、隣接磁気ドメインの安定性がよくなるという利点を提供す るものである。 この好適な実施形態におけるシャフトとスケールは2つの各別の部片から組み 立てられているが、シャフトが好適な材料で作られていると、このシャフトを直 接に磁化して、スケールとシャフトとを単一の要素に一体化することも可能であ ることを注目すべきである。 スケール21は、非磁性材料22の保護層で被覆されている。この保護被覆は 、例えば使用者がディスプレイ12を読み取ることなしに測定を直接的に行うこ とを可能とするように、マーキング220を付けた自己接着性合成樹脂シートに より達成すること ができる。 この実施形態では、スライド1は、3つの側面、すなわち下面及び両側面にお いてシャフト2を囲んでいる。プリント配線回路板115が、スライドの頂部に 直接に、好適にはねじにより取り付けられている。スライドとプリント配線回路 板115との整合は、スケール21とプリント配線回路板115との間の間隔が 優れた精度をもって管理され得るに充分な精密さである。必要に応じて、この距 離を調整するために適宜な手段を設けることができる。 符号11により示す電子手段は、ノギスのジョー10及び20間の間隙に依存 して、電子液晶ディスプレイ12上に情報を表示することを可能にする。この電 子手段は、プリント回路板115上に直接組み込まれている。これは、図3に略 示されている単一の磁気抵抗センサ112を主として包含している。磁気抵抗セ ンサ112は、磁化されたスケール21に対向してプリント回路板115の下に 組み込まれている。センサ112は、各群1120の多くの磁気抵抗電極112 1(図2)のアレイを包含している。このアレイの異なった抵抗の値は、スライ ド1のシャフト2上の位置の周期関数である。エポキシ被覆116は、磁気抵抗 センサ112を保護して、磁気抵抗路1121がシャフト上の塵埃粒子によって 引っかかれるのを防いでいる。電子手段11はさらに、例えば電池110のよう な自己出力型電気供給手段を包含している。電池110は、好適には偏平なリチ ュウム電池により構成させ、これにより装置の数時間に及ぶ自律制御作動を保証 させなけ ればならない。電気供給手段はまた、スライドのハウジング上に設けた光電池に より構成させることもできる。オプションとして、電気供給手段はまた、スケー ル21の反対側でプリント配線回路板115の下にはめ込んだ直流発電機111 をも包含する。この直流発電機111は、例えば誘導巻線型要素を包含する。ス ライド1がスケールに沿って移動した時、誘導巻線型要素を横切る可変磁界が、 これらの要素に電流を発生し、この電流を、蓄電器または再充電可能な電池11 0の再充電に用いるのである。ASIC型集積回路113は、センサ112上の磁気 抵抗電極の抵抗値から、ジョー10及び20間の間隙に依存する情報を決定し、 ジョー間の距離を表すようにディスプレイ12を制御する。電子手段11はまた 、好適にはセンサ112の反対側のプリント配線回路板115の上面に装架した 永久磁石114をオプションとして包含する。この永久磁石のおかげで、センサ 112の磁気抵抗電極1121は、所要の特性を与えるように分極化される。 電子手段111は、ハウジング13、好適には合成の衝撃防止材料製のハウジ ングにより保護されている。このハウジングの形状は、人間工学的な形状であり 、スライドを左右両方向に容易に動かせるようにしている。このため、ハウジン グ13は、突出したノンスリップ部分130を備えており、このノンスリップ部 分のおかげで、スライドが非常に容易に操作することができる。ハウジング13 に穿設した開口131は、ディスプレイ12を見ることを可能としている。スイ ッチ132は、例えばノギスの使用開始、またはリセット、連続する計測値の加 算ないしは平均など のような作動を指令する。ハウジングは、取り外したり、電池110の交換のた めに少なくとも部分的に開いたりすることができる。オプションとして備える光 電池コネクタ133は、ノギス1と例えばプリンタ、パソコン、または機械のよ うな外部装置との間のインターフェイスとしてのものである。 磁気抵抗センサ112は、図3に略図的に示されている多数の磁気抵抗電極1 121を包含する。磁気抵抗電極1121は、平行電極のアレイとして配置され ている。これらの電極の長さは、0.1mmから10mmの間の長さのもので、 好適には、丁度チップ112の幅以下のものである。例えば、センサ112の幅 が1.4mmであるとすると、磁気抵抗電極の長さは、例えば1mm近くに設定 される。電極の幅は、極端に薄く、現在のセンサ製造技術が許す限り、好適には 40ミクロン以下、例えば5ミクロンのような薄さとする。その厚さは、100 nm以下、好適には50nm以下である。このような寸法とすることにより、高 抵抗を有する集積電極を形成することが可能となり、従来のセンサの電力消費量 よりも電力消費量を減少させることができ、これにより、簡単な電池110によ り給電することが可能となる。このような寸法はまた、センサの電子回路に過度 の困難を生じさせることなく、電極の抵抗変化を測定するに充分なスケール磁界 の感度を得ることを可能とする。 様々な磁気抵抗電極1121が、センサ112に長手方向に並べられており、 スケール2によって発生する周期λの磁界Hx(x)に関して様々な位相位置を 占める。スケール2から充分な 距離aでは、磁界は、大略xの正弦関数である。各磁気抵抗電極1121上のス ケール21で発生する磁界は、従ってこの電極の長手方向位置の正弦関数である 。各電極1121の抵抗は、スライド1がシャフトに沿って移動する時、正弦波 として展開する。集積回路113は、各種抵抗1121の値からスライドの位置 を決定して、この情報をディスプレイ112上に表示する。 図4は、磁気抵抗電極1121の好適な接続方式を略図的に例示している。磁 気抵抗電極は、この例では2つの測定ブリッジ(ホイートストン ブリッジ)を 形成するように接続されている。各ブリッジの対応する電極は、90度すなわち λ/4だけ位相がずれている。各ブリッジは、4つの磁気抵抗電極ABCD及び A’B’C’D’(または後述するように、好適には4組の磁気抵抗電極)から なる。電極または1組の電極A、A’は、電極または1組の電極C、C’に対し て180度だけ位相がずれている。同様に、電極または1組の電極B、B’は、 電極または1組の電極D、D’に対して180度だけ位相がずれている。 電極A、A’、B、B’は、電極B、B’、D、D’と同じ位相を占めている 。しかしながら、各対AB、A’B’、CD、C’D’の磁気抵抗電極は、例え ば+45度及び−45度の反対する方向の”床屋の看板柱”構造を有している。 同形の磁界Hxは、+45度の方向を向いた床屋看板柱構造を備えた磁気抵抗電 極に、−45度の方向を向いた床屋看板柱構造の磁気抵抗電極で生じる抵抗変化 とは反対の抵抗Δrの変化を生じる。この結果、磁気抵抗電極における反対方向 の床屋看板柱構造は、180度だけ位相 がずれたのと同じ効果を有する。床屋看板柱構造を用いることは、磁界Hxによ り各磁気抵抗電極1121の生じた抵抗Δrにおける変化が制御され得ることを 保証する。異なった方向の床屋看板柱構造、例えば同じセンサに+45度と−4 5度とに向いた構造を用いることにより、電極配置に付加的な自由度を与え、そ の密度を増大すること、及び幾何学的配置のエラーのよりよい補償を得ることを 可能とする。 2つのブリッジは、電圧UP及びUNの間で給電される。ブリッジ出力で受け られた信号は、それぞれ点C及びC’間の点S及びS’間で集められる。出力C C’で受けた信号は、出力SS’で受けた信号に対して90度だけ位相がずれて いる。これらの測定ブリッジを用いることにより、例えばスケールとセンサとの 間の間隔に由来するエラーを補償することが可能であり、このようにして、前述 の形式の古典的なノギスで見い出されるような単純なガイド機構を用いてさえも 、10ミクロン以下、5ミクロン程度の測定の正確さを達成することが可能とな る。 センサ112はさらに、図示してない少なくとも1つの補償抵抗を包含してい る。この補償抵抗の抵抗値は、磁界が印加されていない時、前記測定ブリッジを 平衡させるように、製造過程においてレーザーにより調節され得る。この抵抗は 、測定ブリッジを更正することを可能としている。 センサの電力消費をさらに減少させるために、電極の組AからD’は、好適に は直列接続のいくつかの磁気抵抗電極1121により構成させる。組ごとの磁気 抵抗電極の数は、好適には4以上 であるが、これはチップ112の寸法によってのみ制約される。本発明の1実施 形態においては、組当たりの磁気抵抗電極の数は72である。それぞれ72個の 電極4組で構成される2つの測定ブリッジを備えたこの非限定的な例においては 、センサ112上の磁気抵抗電極1121の総数は、576個である。従って、 各組の抵抗及び点UP及びUN間の各測定ブリッジABCD及びA’B’C’D ’の抵抗は、10KΩ以上、好適には50KΩ以上で、限られた容量の単一のリ チウム電池により、数時間はこのノギスに電力を供給することを可能にする。 各組を構成する電極は、すべて同じ位相位置、すなわち周期λの距離にある位 置を占めることができる。第1の好適な実施例においては、各組の電極は、近接 した位相位置、例えばkを全数、wを各組の電極の広がりを示すパラメータとす ると、kλ−w/2とkλ+w/2との間に拡がる位置を占めるように広がる。 1つの例では、Wはλ/4に等しい。同じ組でwだけ広がった連続する電極のユ ニットは群と呼ばれ、図3に符号1120により示されている。この形状によれ ば、厚さwの間隔に広がった電極の抵抗の平均である組をなす電極AからD’の 抵抗の結果値を達成することが可能である。第1の実施例と組み合わせることが できる第2の好適な実施例では、各組は、180度位相がずれているが反対方向 の床屋看板柱構造を備えた電極を包含している。 このシステムの幾何学的エラーの最適補償を達成するために、磁気抵抗センサ 112の電極1121は、周期λをkだけ、好適には周期λを少なくとも2つだ け、例えば6つだけ広げられてい る。この上限は、チップ112の寸法によってのみ決定される。 スケールの表面における磁界HOは、好適には10ないし100kA/mの間 隔に含まれ、次式に示す割合に従って、表面の距離aに指数関数的に減少する。 Hx(a)=HO・e-2 πa/λ 携帯式のノギスでは、スケール21と磁気抵抗電極1121との間の距離を2 00ミクロン以下とすることは、装置のコストをかなり高めることなく達成する ことはできない。かくして、選ばれた距離は、好適には200ミクロンと700 ミクロンの間に含まれるべきであり、この範囲を逸脱すると、距離aの増加はも はや重要な経済的な利点を生まない。本発明の1実施例では、選ばれた距離aは 、500ミクロン、すなわち磁気抵抗センサの通例の性能よりもかなり大きい値 である。 上述の割合は、スケールの距離aにおける磁界Hx(x)が、スケールの周期 λとともに急速に増大することを示す。a=λ/2では、磁界H(a)は既に、 スケールの表面における磁界HOの値のわずか4%を示す。それゆえ、λ=2a を越えて行くことは困難である。さもなければ、結果としてできる磁界は、磁気 抵抗電極の抵抗に感知できる程度の影響を及ぼすにはあまりにも弱い。しかしな がら、Hx(x、a)のn=1とは異なる高調波は、λが減少すると減少し、正 確さの増大を保証する。試験によれば、最適の歩み寄りが、λを2a近く、好適 には1.6aないし2.2aの間とすることにより経験的に達成される。所要の 正確さは、例えばλを0.5から1.5mm、好適には1mmの値とした時 に達成することができることが試験により示された。
【手続補正書】 【提出日】平成11年12月2日(1999.12.2) 【補正内容】 (1)特許請求の範囲を別紙のとおり訂正する。 (2)明細書第1頁下から第2行、「ノギスの方がよい。」の次の行に「 欧州特許第286820号は、帯磁部分を備えたスケールを包含するノギスについて 記述している。このノギスでは、磁気読み取りヘッドがスライドに取り付けてあ り、このスライドの移動によって生ずる磁界の変化を記録している。 しかしながら、このような磁気ヘッドは比較的高価で、しかも体積が大き なもので、ノギスの小さな寸法内に収めることが難しい。また、測定の精度は、 磁気ヘッドの精度及びノイスに直接的に依存するとともに、スケールに対する磁 気ヘッドの正確な位置決めにも依存する。さらに、この装置によりもたらされる 分解能は限られている。」を加入する。 請求の範囲 1. シャフト(2)に沿って長手方向に移動させ得るスライド(1)を包含 し、該スライド及び前記シャフトが、それそれジョー(10)及び(20)を備 え、前記スライドがさらに、前記ジョー(10、20)間の間隙に依存する情報 を電子ディスプレイ(12)に表示する電子手段(11)を備え、該電子手段が 自己出力型給電手段(110、111)を包含し、 前記シャフト(2)が、磁化周期λを有する磁化されたスケール(21)を備 え、 前記電子手段(11)が、前記スケール(21)に対面して配設された、nを 2以上の数とするとき、n個の磁気抵抗電極(1121)のアレイからなる単一 のセンサ(112)を包含し、これら磁気抵抗電極の抵抗の値が、前記スケール (21)に沿うその長手方向の位置の関数であるようにし、前記磁気抵抗電極( 1121)のアレイが、直列接続の磁気抵抗電極(1121)の少なくとも数組 (AからD’)を包含し、 前記電子手段(11)が、前記磁気抵抗電極(1121)の抵抗の値から、前 記ジョー(10、20)間の間隙に依存する情報を決定して、この情報を前記電 子ディスプレイ(12)上に表示するようにする装置(112、113)を更に 備えた携帯式電子精密ノギスにおいて、 前記磁気抵抗電極の組が、少なくとも2つの測定ブリッジを形成するように接 続されていること、および 前記電子手段(11)が、前記少なくとも2つの測定ブリッジ の出力における信号を、前記ジョー(10、20)間の距離を決定するために用 いること を特徴とする携帯式電子精密ノギス。 2. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、各組(AからD’)の直列接続 の磁気抵抗電極(1121)の数が8以上であることを特徴とするノギス。 3. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極の厚さが10 0nm以下で、長さが0.1から10mmの間に包含され、幅が40ミクロン以 下であることを特徴とするノギス。 4. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) の寸法、その材質、及び組当たりの数が、これら磁気抵抗電極の各組(AからD ’)の結果的な抵抗が10kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギ ス。 5. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) の寸法、その材質、及び組当たりの数が、これら磁気抵抗電極の各組の結果的な 抵抗が50kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギス。 6. 請求の範囲1記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121)が 、前記スケールの磁化周期λの少なくともk=2周期分に亘って長手方向にひろ がていることを特徴とするノギス。 7. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) の前記組(AからD’)が、kλ−w/2とkλ+w/2との間に広がっている 位置を占めている電極から構成さ れていることを特徴とするノギス。 8. 請求の範囲1記載のノギスにおいて、第2の測定ブリッジを形成する磁 気抵抗電極(1121)が、第1の測定ブリッジを形成する磁気抵抗電極に対し てλ/4だけ位相がずれており、これら2つの測定ブリッジの出力における信号 (S,S’;C、C’)が90度だけ位相がずれていることを特徴とするノギス 。 9. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、磁気抵抗電極のx個の群(1120)を構成するように長手方向に広がって おり、これらの群が、λ/4だけ間隔を離しており、直列接続の同じ組(Aから D’)の少なくとも2つの磁気抵抗電極(1121)を包含していることを特徴 とするノギス。 10. 請求の範囲1ないし9のいずれかに記載のノギスにおいて、前記磁化さ れたスケール(21)と前記磁気抵抗電極(1121)との間の距離(a)が、 0.2mmと0.7mmとの間にあること、及び前記スケールの周期が、0.5 mmと1.5mmとの間であることを特徴とするノギス。 11. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極が、前記スケ ールの磁化周期λの少なくともk=2周期分に亘って長手方向にひろがているこ とを特徴とするノギス。 12. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極が、少なくと も3mmに亘って長手方向に広がっていることを特徴とするノギス。 13. 請求の範囲に記載のノギスにおいて、少なくとも若干の 磁気抵抗電極(1121)が、床屋看板構造を備えていることを特徴とするノギ ス。 14. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、いくつかの異なった向きの床屋看板構造を備えていることを特徴とするノギ ス。 15. 請求の範囲1記載のノギスにおいて、前記センサ(112)が、前記測 定ブリッジの少なくとも1つの補償抵抗をさらに包含し、その抵抗値が、磁界が 印加されていない場合に前記測定ブリッジを平衡させるように、製造過程におい てレーザーにより調節され得るようにしたことを特徴とするノギス。 16. 前記請求の範囲のいずれかに記載のノギスにおいて、前記電子手段(1 1)が、プリント配線回路板(115)に配置されていること、及び前記磁気セ ンサ(112)が、前記スケール(21)に対面する前記プリント配線回路板( 115)の面に配設されていることを特徴とするノギス。 17. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記電子手段(11)が、前記 磁気抵抗電極(1121)に近接して前記スケール(21)に対面する前記プリ ント配線回路板の面に装架され、前記磁気抵抗電極(1121)に由来する磁界 の方向及び振幅を変更するようにした永久磁石(114)を包含することを特徴 とするノギス。 18. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗センサ(112) が、前記スケール(21)の反対側に合成保護層(116)を塗布されているこ とを特徴とするノギス。 19. 請求の範囲17記載のノギスにおいて、前記スライド(1)が金属製で あること、前記プリント配線回路板(115)が前記スライドに直接に貼付され ており、これにより前記磁気抵抗センサ(112)の磁気抵抗電極が、前記スケ ール(21)の所定距離(a)にあること、及び前記スライドがさらに、前記プ リント配線回路板を覆う合成材料の衝撃防護皮膜(117)を備えており、開口 が、電子ディスプレイをはめるために前記衝撃防護皮膜(117)を貫通して設 けられていることを特徴とするノギス。 20. 前記請求の範囲のいずれかに記載のノギスにおいて、前記電子手段(1 1)がさらに、蓄電器(110)と直流発生器(111)とを包含し、前記磁化 されたスケール(21)に沿う前記スライドの移動が、前記直流発生器(111 )に直流を発生させ、この直流が前記蓄電器(110)を再充電するのに用いら れ、前記蓄電器が前記電子手段(11)に給電するようにしたことを特徴とする ノギス。 21. 前記請求の範囲のいずれかに記載のノギスにおいて、前記シャフト(2 )及び前記スライイド(1)がアルミニウム製のもので、前記スケールが鋼製の ものであることを特徴とするノギス。 22. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記スケール(21)が非磁性 保護層(22)で被覆されていることを特徴とするノギス。 23. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記保護層(22)が、前記シ ャフト(2)に沿う前記スライド(1)の位置を 少なくともおおよそ示すマーキング(220)を有することを特徴とするノギス 。 24. 請求の範囲1記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121)の アレイが、直列接続の少なくとも8個の電極のそれぞれを構成する磁気抵抗電極 (1121)の少なくとも数組(AからD’)からなり、前記磁気抵抗電極(1 121)の厚さが100nm以下で、長さが0.1から10mmの間に包含され 、幅が40ミクロン以下であって、前記磁気抵抗電極の組(AからD’)のそれ ぞれの結果的な抵抗が10kΩ以上であり、このためノギスが前記自己出力型給 電手段(110、111)により簡単に給電され得るようにしたことを特徴とす るノギス。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,DE, DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,IT,L U,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ,CF ,CG,CI,CM,GA,GN,ML,MR,NE, SN,TD,TG),AP(GH,KE,LS,MW,S D,SZ,UG),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ ,MD,RU,TJ,TM),AL,AM,AT,AU ,AZ,BA,BB,BG,BR,BY,CA,CH, CN,CU,CZ,DE,DK,EE,ES,FI,G B,GE,GH,HU,IL,IS,JP,KE,KG ,KP,KR,KZ,LC,LK,LR,LS,LT, LU,LV,MD,MG,MK,MN,MW,MX,N O,NZ,PL,PT,RO,RU,SD,SE,SG ,SI,SK,TJ,TM,TR,TT,UA,UG, US,UZ,VN,YU

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. シャフト(2)に沿って長手方向に移動させ得るスライド(1)を包含 し、該スライド及び前記シャフトが、それぞれジョー(10)及び(20)を備 え、前記スライドがさらに、前記ジョー(10、20)間の間隙に依存する情報 を電子ディスプレイ(12)に表示する電子手段(11)を備え、該電子手段が 自己出力型給電手段(110、111)を包含している携帯式電子精密ノギス( 1)において、 前記シャフト(2)が、磁化周期λを有する磁化されたスケール(21)を備 えていること、 前記電子手段(11)が、前記スケール(21)に対面して配設され、nを2 以上の数とするとき、n個の磁気抵抗電極(1121)のアレイからなる単一の センサ(112)を包含し、これら磁気抵抗電極の抵抗の値が、前記スケール( 21)に沿う長手方向の位置の磁気抵抗電極の関数であるようにしたこと、 及び、前記電子手段(11)がさらに、前記ジョー(10、20)間の間隙に 依存する前記情報を、前記磁気抵抗電極(1121)の抵抗の値から決定し、こ の情報を前記電子ディスプレイ(12)上に表示する手段(112、113)を 包含していることを特徴とする携帯式電子精密ノギス(1)。 2. 請求の範囲1記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121)の アレイが、直列に接続した磁気抵抗電極(1121)の少なくとも数組(Aから D’)を包含すること、及び磁気 抵抗電極の各組の結果的な抵抗が、前記自己出力型給電手段(110、111) だけでノギスを作動させるに充分であることを特徴とするノギス。 3. 請求の範囲2記載のノギスにおいて、各組(AからD’)の直列接続の 磁気抵抗電極(1121)の数が8以上であることを特徴とするノギス。 4. 請求の範囲3記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極の厚さが100 nm以下で、長さが0.1から10mmの間に包含され、幅が40ミクロン以下 であることを特徴とするノギス。 5. 請求の範囲4記載のノギスにおいて、前記磁気抵電極(1121)の寸 法、その材質、及びその数自体が、これら磁気抵抗電極の各組(AからD’)の 結果的な抵抗が10kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギス。 6. 請求の範囲5記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121)の 寸法、その材質、及びその数自体が、これら磁気抵抗電極の各組の結果的な抵抗 が50kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギス。 7. 請求の範囲3記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121)が 、前記スケールの磁化周期λの少なくともk=2周期に亘って長手方向に広がっ ていることを特徴とするノギス。 8. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) 前記組(AからD’)が、kλ−w/2とkλ+w/2との間に広がっている位 置を占めている電極から構成されていることを特徴とするノギス。 9. 請求の範囲2記載のノギスにおいて、前記直列に接続した磁気抵抗電極 (1121)の組(AからD’)が、少なくとも1つの測定ブリッジを形成する ように接続されていること、及び電子手段(11)が前記ジョー(10、20) 間の距離を決定するように前記測定ブリッジの出力における信号(S,S’;C 、C’)を用いることを特徴とするノギス。 10. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、各組(AからD’)ごとの磁気 抵抗電極(1121)の数が8以上であることを特徴とするノギス。 11. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極の厚さが10 0nm以下であり、長さが0.1mm以上であり、幅が40ミクロン以下である ことを特徴とするノギス。 12. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) の寸法、その材質、及びその数自体が、これら磁気抵抗電極の各組(AからD’ )の結果的な抵抗が10kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギス 。 13. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) の寸法、その材質、及びその数自体が、これら磁気抵抗電極の各組の結果的な抵 抗が50kΩ以上であるように選定したことを特徴とするノギス。 14. 請求の範囲8記載のノギスにおいて、前記直列に接続した磁気抵抗電極 の組(AからD’)が、少なくとも2つの測定ブリッジを形成するように接続さ れていること、及び電子手段(11)が前記ジョー(10、20)間の距離を決 定するように前記 測定ブリッジの出力における信号を用いることを特徴とするノギス。 15. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、第2の測定ブリッジを形成する 磁気抵抗電極(1121)が、第1の測定ブリッジを形成する磁気抵抗電極に対 してλ/4だけ位相がずれており、2つの測定ブリッジの出力における信号(S ,S’;C,C’)が90度だけ位相がずれていることを特徴とするノギス。 16. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、磁気抵抗電極のx個の群(1120)構成するように長手方向に広がってお り、これらの群が、λ/4だけ間隔を話しており、直列に接続した磁気抵抗電極 の組(AからD’)のうちの少なくとも2つの磁気抵抗電極(1121)を包含 していることを特徴とするノギス。 17. 請求の範囲1〜7のいずれかに記載のノギスにおいて、前記磁化された スケール(21)と前記磁気抵抗電極(1121)との間の距離(a)が、0. 2mmと0.7mmとの間にあること、及び前記スケールの周期が、0.5mm と1.5mmの間であることを特徴とするノギス。 18. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極が、前記スケ ールの磁化周期λの少なくともk=2周期に亘って長手方向に広がっていること を特徴とするノギス。 19. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極が、少なくと も3mmに亘って長手方向に広がっていることを特徴とするノギス。 20. 請求の範囲1から16のいずれかに記載のノギスにおいて、少なくとも 若干の磁気抵抗電極(1121)が、床屋看板柱構造を備えていることを特徴と するノギス。 21. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、いくつかの異なった向きの床屋看板柱構造を備えていることを特徴とするノ ギス。 22. 請求の範囲9記載のノギスにおいて、前記センサ(112)が、前記測 定ブリッジの少なくとも1つの補償抵抗を包含し、その抵抗値が、磁界が引加さ れてない場合に前記測定ブリッジを平衡させるように、製造過程においてレーザ ーにより調節されうるようにしたことを特徴とするノギス。 23. 前記請求の範囲のいずれかに記載のノギスにおいて、前記電子手段(1 1)が、プリント配線回路板(115)に配置されていること、及び前記磁気抵 抗センサ(112)が、前記スケール(21)に対面する前記プリント配線回路 板(115)の面に配設されていることを特徴とするノギス。 24. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記電子手段(11)が、前記 磁気抵抗電極(1121)に近接して前記スケール(21)に対面する前記プリ ント配線回路板の面に装架され、前記磁気抵抗電極(1121)に由来する磁界 の方向及び振幅を変更するようにした永久磁石(114)を包含することを特徴 とするノギス。 25. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗センサ(112) に、前記スケール(21)の反対側に合成保護層 (116)を塗布したことを特徴とするノギス。 26. 請求の範囲24記載のノギスにおいて、前記スライド(1)が金属製で あること、前記プリント配線回路板(115)が前記スライドに直接に貼付され ており、これにより前記磁気抵抗センサ(112)の磁気抵抗電極が、前記スケ ール(2)の所定距離(a)にあること、及び前記スライドがさらに、前記プリ ント配線回路板を覆う合成材料の衝撃防護皮膜(117)を備えており、電子デ ィスプレイをはめる開口を前記衝撃防護皮膜(117)を貫通して設けたことを 特徴とするノギス。 27. 請求の範囲1〜16のいずれかに記載のノギスにおいて、前記電子手段 (11)がさらに、蓄電器(110)と直流発生器(111)とを包含し、前記 磁化されたスケール(21)に沿う前記スライドの移動が前記直流発生器(11 1)に直流を発生し、この電流が前記蓄電器(110)を再充電するのに用いら れ、前記蓄電器が前記電子手段(11)に給電するようにしたことを特徴とする ノギス。 28. 請求の範囲1〜16のいずれかに記載のノギスにおいて、前記ルール( 21)が前記スケール(2)とは異なった材料製のものであることを特徴とする ノギス。 29. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記シャフト(2)及び前記ス ライド(1)がアルミニウム製のもので、前記スケールが鋼製のものであること を特徴とするノギス。 30. 請求の範囲28記載のノギスにおいて、前記スケール(21)が非磁性 保護層(22)で被覆されていることを特徴とする ノギス。 31. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記保護層(22)が、前記シ ャフト(2)に沿う前記スライド(1)の位置を少なくともおおよそ示すマーキ ング(220)を有することを特徴とするノギス。 32. シャフト(2)に沿って長手方向に移動させ得るスライド(1)を包含 し、該スライド及び前記シャフトが、それぞれジョー(10)及び(20)を備 え、前記スライドがさらに、前記ジョー(10、20)間の間隙に依存する情報 を電子ディスプレイ(12)に表示する電子手段(11)を備え、該電子手段が 自己出力型給電手段(110、111)を包含しており、前記シャフト(2)が 、磁化周期λを有する磁化されたスケールを備えており、前記電子手段(11) が、前記スケール(21)に対面して配設されたn個の磁気抵抗電極(1121 )のアレイからなる単一のセンサ(112)を包含し、これら磁気抵抗電極の抵 抗の値が、前記スケール(21)に沿う長手方向の位置の磁気抵抗電極の関数で あるようにし、前記電子手段(11)がさらに、前記ジョー(10、20)間の 間隙に依存する前記情報を、前記磁気抵抗電極(1121)の抵抗の値から決定 し、この情報を前記電子ディスプレイ(12)上に表示する手段(112、11 3)を包含し、前記磁気抵抗電極(1121)のアレイが、直列に接続した少な くとも8個の電極のそれぞれを構成する磁気抵抗電極(1121)の少なくとも 数組(AからD’)を包含し、前記磁気抵抗電極(1121)の厚さが100n m以下で、長さが0. 1から10mmの間に包含され、幅が40ミクロン以下であって、前記磁気抵抗 電極の組(AからD’)のそれぞれの結果的な抵抗が10kΩ以上であり、この ためノギスが前記自己出力型給電手段(110、111)により簡単に給電され うるようにした携帯式電子精密ノギス(1)。 33. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、前記スケールの磁化周期λの少なくとも2周期にわたって広がっていること を特徴とするノギス。 34. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、磁気抵抗電極の組(AからD’ )のそれぞれの結果的な抵抗が50kΩ以上であることを特徴とするノギス。 35. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、直列接続の磁気抵抗電極(11 21)の前記組(AからD’)が、少なくとも1つの測定ブリッジを形成するよ うに接続されていること、及び前記電子手段が、前記測定ブリッジの出力におけ る信号(S,S’;C、C’)を用いて、前記ジョー(10、20)間の距離を 決定するようにしたことを特徴とするノギス。 36. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、直列接続の磁気抵抗電極(11 21)の前記組(AからD’)が、少なくとも2つの測定ブリッジを形成するよ うに接続されていること、及び前記電子手段が、前記測定ブリッジの出力におけ る信号(S,S’;C,C’)を用いて、前記ジョー(10、20)間の距離を 決定するようにしたことを特徴とするノギス。 37. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、第2の測定ブリ ッジを構成する磁気抵抗電極(1121)が、第1の測定ブリッジを構成する磁 気抵抗電極(1121)に対してλ/4だけ位相をずらされており、これら2つ の測定ブリッジの出力における信号がλ/4だけ位相がずれていることを特徴と するノギス。 38. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極が、磁気抵抗 電極(1121)のx群(1120)を構成するように長手方向にひろがってお り、前記群はλ/4だけ間隔をあけており、同じ組の少なくとも2つの磁気抵抗 電極を包含し、直列に接続されていることを特徴とするノギス。 39. 請求の範囲32記載のノギスにおいて、前記磁化されたスケール(21 )と前記磁気抵抗電極との間の距離(a)が、0.2mm〜0.7mmの範囲に 包含されていること、及び前記スケールの磁化周期λが0.5〜1.5mmの範 囲に包含されていることを特徴とするノギス。 40. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、前記スケールの磁化周期λの少なくともk=2周期に等しいか、これよりも 長い長さに亘って長手方向に広がっていることを特徴とするノギス。 41. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、3mmに等しいか、これよりも長い長さに亘って長手方向に広がっているこ とを特徴とするノギス。 42. 請求の範囲32記載のノギスにおいて、少なくとも若干の磁気抵抗電極 (1121)が、床屋看板柱構造を備えていることを特徴とするノギス。 43. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記磁気抵抗電極(1121) が、いくつかの異なった向きの床屋看板柱構造を備えていることを特徴とするノ ギス。 44. 請求の範囲32記載のノギスにおいて、前記センサ(112)がさらに 、前記測定ブリッジの少なくとも1つの補償抵抗を包含し、その抵抗値が、磁界 が引加されてない場合に前記測定ブリッジを平衡させるように、製造過程におい てレーザーにより調節されうるようにしたことを特徴とするノギス。 45. 請求の範囲32に記載のノギスにおいて、前記電子手段(11)が、プ リント配線板(115)に配置されていることを特徴とするノギス。 46. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記電子手段(11)が、前記 磁気抵抗電極(1121)に近接して装架された永久磁石(114)を包含する こと、前記磁気抵抗センサ(112)が、前記スケール(21)に対面する前記 プリント配線回路板の側に配設されていること、及び前記永久磁石(114)が 、前記磁気抵抗センサ(112)に対面する前記プリント配線回路板の他面に配 設されていることを特徴とするノギス。 47. 請求の範囲45記載のノギスにおいて、前記スケール(21)が合成保 護層(22)により被覆されていることを特徴とするノギス。 48. 請求の範囲45記載のノギスにおいて、前記スライド(1)が金属製で あること、前記プリント配線回路板(115)が前記スライドに直接に貼付され ており、これにより前記磁気抵抗セン サ(112)の磁気抵抗電極が、前記スケール(2)の所定距離(a)にあるこ と、及び前記スライドがさらに、前記プリント配線回路板を覆う合成材料の衝撃 防護皮膜(117)を備えており、電子ディスプレイをはめる開口が、前記衝撃 防護皮膜(117)を貫通して設けられていることを特徴とするノギス。 49. 請求の範囲32記載のノギスにおいて、前記電子手段(11)がさらに 、蓄電器(110)と直流発生器(111)とを包含し、前記磁化されたスケー ル(21)に沿う前記スライドの移動が前記直流発生器(111)に直流を発生 し、この電流が前記蓄電器(110)を再充電するのに用いられ、前記蓄電器が 前記電子手段(11)に給電するようにしたことを特徴とするノギス。 50. 請求の範囲32記載のノギスにおいて、前記ルール(21)が前記スケ ール(2)とは異なった材料製のものであることを特徴とするノギス。 51. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、前記スケール(21)が、高い 保磁力を有する材料を被覆した非磁性材料製のものであることを特徴とするノギ ス。 52. 請求の範囲50または51記載のノギスにおいて、前記スケールが、非 磁性保護層(22)で被覆されていることを特徴とするノギス。 53. 前記請求の範囲記載のノギスにおいて、保護層(22)が、前記シャフ ト(2)に沿う前記スライド(1)の位置を少なくともおおよそ示すマーキング (220)を有することを特徴とするノギス。 54. 0.1mmより高い精度で寸法を測定するための前記各請求項記載のノ ギスの用法。
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