JP2002107376A

JP2002107376A - 測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ

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Publication number: JP2002107376A
Application number: JP2001249317A
Authority: JP
Inventors: Marc A Gessford; マーク・エイ・ジェスフォード; Mark W Nightingale; マーク・ダブリュー・ナイチンゲール; W Reed Gary; ゲイリー・ダブリュー・リード
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 2000-08-21
Filing date: 2001-08-20
Publication date: 2002-04-10
Anticipated expiration: 2021-08-20
Also published as: US6603297B1; JP4113343B2; CN1340714A

Abstract

(57)【要約】【課題】低容量の測定プローブと一緒に使用し、低容
量及びインスタンスで、交換可能なプローブ・チップ・
アダプタ。【解決手段】測定プローブ50から延びたプロービング
・チップ54に接続するプローブ・チップ・アダプタ70〜
76。一端にボアを有し、他端にプロービング接点が形成
された導電性要素80と；この導電性要素のボア内に配置
され、導電性要素を測定プローブのプロービング・チッ
プに反復的に固定できるように、引っ張り強度、圧縮ひ
ずみ、硬度、たわみ力、伸び及び回復率が充分である導
電性エラストマとを具えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般に、測定プロ
ーブ用のプローブ・アダプタに関し、特に、超高周波の
シングル・エンド型及び差動型の測定プローブと共に使
用できるプローブ・チップ・アダプタに関する。

【０００２】

【従来の技術】プローブ・チップ・アダプタは、種々の
形式の電気部品をプロービング（信号検出）できるよう
に、測定プローブ用に開発されたアクセサリである。こ
れらアダプタにより、回路基板に設けられた矩形ピン、
回路基板上の接地点、表面実装集積回路素子のリード線
などとの接続が可能になる。本願特許出願人であるアメ
リカ合衆国オレゴン州ビーバートンのテクトロニクス・
インコーポレイテッドが製造販売しているＰ６２４３型
能動プローブ１０は、図８に示す構成であり、ソケット
型プローブ・チップ１２と、接地ソケット１４とを具え
ている。なお、かかる従来の能動プローブは、例えば、
本願出願人に譲渡されたアメリカ合衆国意匠特許第３５
４９２３号に示されている。ソケット型プローブ・チッ
プ１２の全長は、０．２５５インチ（６．４７７ｍｍ）
であり、その直径は、０．０６５インチ（１．６５１ｍ
ｍ）である。このプローブ・チップ１２に設けられたボ
ア（穴）の直径は、０．０３８インチ（０．９６５２ｍ
ｍ）であり、その長さは、０．２２５インチ（５．７１
５ｍｍ）である。種々の形式のプローブ・チップ・アダ
プタをソケット型プローブ・チップ１２に挿入して、種
々の形式のプロービングが可能となる。

【０００３】位置決め援助型プローブ・チップ・アダプ
タ１６は、例えば、本願出願人に譲渡されたアメリカ合
衆国特許第５３８７８７２号（日本特許第２７０９５７
０号に対応）に記載されており、中央ボア２０を有する
ハウジング１８を有し、このボア２０にプロービング・
チップ２２を受ける。すなわち、ハウジング１８内のボ
ア２０を介して、プロービング・チップ２２が伸びる。
なお、本明細書では、プローブ・チップ及びプロービン
グ・チップという用語を用いるが、これら用語の使い分
けは便宜的であり、厳密に区別するものではない。よっ
て、本明細書では、同じ構成要素をプロービング・チッ
プと呼んだり、プローブ・チップと呼んだりする場合も
ある。ハウジング１８は、複数のスロット２４を一端に
有するように歯の形状に形成され、これらスロットを集
積回路素子の複数のリードの間に位置決め可能である。
ボア２０は、これらスロット２４の１個に伸びており、
その露出した部分にプロービング・チップ２２がくる。
プロービング・チップ２２の他端は、ハウジング１８の
他端から伸びて、ソケット型プローブ・チップ１２に挿
入される。標準プロービング・チップ２６は、シャフト
２８を有し、その一端が尖端３０に向かって細くなり、
集積回路素子のリードなどをプロービングする。シャフ
ト２８の他端は、ソケット型プローブ・チップ１２に挿
入される。このプロービング・チップ２６は、ソケット
型プローブ・チップ１２と接触するように、円錐形状の
突出部３２をシャフト２８に形成してもよい。アダプタ
３４は、導電性シャフト３８に取り付けられた可撓性の
導電性リード３６を有するアセンブリであり、導電性シ
ャフト３８がソケット型プローブ・チップ１２に挿入さ
れる。アダプタ４０は、一端が矩形ピン・ソケット４２
であり（図では、ボア部が円形に示めしている）、他端
がプローブ・チップ１２に挿入される接触シャフト４４
である。これらアダプタ１６、２６、３４及び４０の接
触シャフト（プローブ・チップ１２と接触するシャフ
ト）の長さは、０．２５０インチ（６．３５ｍｍ）のレ
ンジである。これらアダプタは、選択的にプローブ・チ
ップ１２に挿入して取り付けられる。

【０００４】上述のプローブ・チップ・アダプタは、本
願出願人のテクトロニクス・インコーポレイテッドが製
造販売しているＰ６２４６型差動プローブの如き差動型
プローブと一緒にも使用できる。差動プローブと共に使
用するときは、一般的に、２個のアダプタが使用しやす
いように互いに取り付けられている。例えば、２個の可
撓性の導電性リード・アダプタを台形ハウジングに位置
決めし、これら可撓性導電性リードをハウジングの一端
から伸ばし、接触シャフトをハウジングの他端から伸ば
す。可撓性導電性リードの幾何学的ピッチは、表面実装
集積回路素子リードと両立性があり、接点シャフトの幾
何学的ピッチは、測定プローブのソケット型プローブ・
チップと両立性がある。複数の標準プロービング・チッ
プをプラスチックの如き絶縁材料に取り付けて、接点シ
ャフト端の幾何学的ピッチがプロービング・チップと両
立性のあるようにし、各プロービング・チップ・シャフ
トを曲げて、プロービング・チップが表面実装集積回路
素子の種々の幾何学的ピッチと一致するようにできる。
曲がったシャフトのプロービング・チップは、絶縁材料
内で回転可能にして、集積回路素子の幾何学的ピッチに
合うように、プロービング・チップの幾何学的ピッチを
変更してもよい。差動矩形ピン・アダプタは、一端から
伸びた複数の接触シャフトを有するハウジングを具える
が、これら接触シャフトは、差動プローブ・チップ接点
の幾何学的ピッチと両立性がある。ハウジングの他端か
ら伸びたワイヤは、矩形ピン・アダプタに取り付けられ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】プローブ・チップの静
電容量（以下、単に容量という）及びインスタンスは、
測定プローブで単一又は複数のソケット型プローブ・チ
ップを用いる際の最大の欠点である。チップの容量及び
インスタンスは、プローブの入力帯域幅を制限する。益
々高い周波数で動作する集積回路及びハイブリッド回路
を絶えず開発している電子工業分野では、プローブ・チ
ップの容量及びインスタンスを著しく低下させる新たな
形式の測定プローブの開発が求められている。これに
は、プローブ・チップの長さ及び直径を短くする必要が
ある。同様に、これら低容量プローブ用に長さ及び直径
を短くしたプローブ・チップ・アダプタが求められてい
る。

【０００６】よって、低容量測定プローブと両立性のあ
るプローブ・チップ・アダプタが必要とされている。か
かるアダプタは、種々の形式構造に適用可能であり、こ
れらアダプタの長さ及び直径を短くして、付加的なプロ
ーブ・チップの容量及びインスタンスをできるだけ小さ
くしなければならない。このアダプタは、物理的又は電
気的接続性を損なうことなく、測定プローブの低容量プ
ローブ・チップに繰り返し取り付け可能でなければなら
ない。

【０００７】したがって、本発明は、低容量測定プロー
ブと両立性があり、種々の形式構造に適用可能であり、
プローブ・チップの容量及びインスタンスが小さく、測
定プローブの低容量プローブ・チップに繰り返し取り付
け可能である測定プローブ用プローブ・チップ・アダプ
タの提供にある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、測定プローブ
用プローブ・チップ・アダプタであり、かかるプローブ
（５０）は、この測定プローブから伸びた少なくとも１
個のプロービング・チップ（５４）を有する。プローブ
・チップ・アダプタ（７０〜７６）は、少なくとも１個
の導電性要素（８０）を具えており、一端にボア（８
２）を有し、他端にプロービング接点（８４）が形成さ
れている。導電性要素のボア内には、導電性エラストマ
（９０）が配置されており、導電性要素を測定プローブ
のプローブ・チップに反復的に固定できるように、この
導電性エラストマの引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、
たわみ力、伸び及び回復率が充分である。プロービング
接点は、一端から尖端に細くなったシャフト（８６）を
有するプロービング・チップとして、又は、０．０２５
インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンと両立性のあるス
プリング接点（１１６）を受ける導電性要素内に形成さ
れたボアとして構成できる。プロービング接点の異なる
構成は、ある角度に折り曲がったプロービング・チップ
のシャフト（１５８）を有する構成となる。導電性要素
は、好ましくは、単一の部品として機械加工により作製
される。代わりに、導電性要素は、かかる要素のボア端
に関連した第１導電部材（１２４）と、導電要素のプロ
ービング接点端に関連した第２導電部材（１２６）とか
ら構成し、これら第１及び第２導電部材を互いに連結し
てもよい。

【０００９】プローブ・チップ・アダプタは、シングル
・エンド測定プローブ及び差動測定プローブの両方と一
緒に使用できる。差動プローブと共に用いる場合、導電
性要素がある角度で折れ曲がったプローブ・チップは、
第１幾何学的ピッチの少なくとも第１位置から、第２幾
何学的ピッチの第２位置に向かって横方向に移動可能で
ある。

【００１０】本発明の目的、利点及び新規な特徴は、添
付図を参照した以下の詳細な説明から一層明らかになろ
う。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は、本発明によるプローブ・
チップ・アダプタと共に使用可能な測定プローブ５０の
斜視図である。この測定プローブ５０は、高い帯域幅の
回路をプロービングするのに設計された広帯域高周波数
測定プローブである。測定プローブ５０は、プローブ・
ヘッド５２を有し、このプローブ・ヘッド５２は、その
一端から伸びるプロービング・チップ５４を有する。同
軸ケーブル５６は、プローブ・ヘッド５２の他端から伸
びて、このプローブ・ヘッド５２を、オシロスコープ、
スペクトラム・アナライザ、ロジック・アナライザなど
の測定機器に接続する。プローブ・ヘッド５２は、導電
性筒状ハウジング５８を有し、このハウジング５８内に
基板が含まれている。能動素子及び受動素子が基板上に
設けられ、プローブ入力回路を形成する。プロービング
・チップ５４及び同軸ケーブル５６は、基板に電気的に
接続される。絶縁材料が、筒状ハウジング５８と、同軸
ケーブル５６の一部とを包囲する。

【００１２】広帯域及びギガヘルツの周波数レンジを達
成するために、プローブ・チップの容量及びインダクタ
を最小に維持する必要がある。この点を達成するため
に、プロービング・チップ５４の長さ及び直径を、でき
る範囲で最小にする。さらに、基板が筒状ハウジング５
８の端部から先に延びて、この基板と、プローブ入力に
おける筒状ハウジングとの間の浮遊容量を最小にする。
プローブ・チップ・ホルダ６０は、筒状ハウジング５８
の端部に接続され、このホルダ６０の空洞が基板を受け
る。ホルダ６０内にボアを形成してプロービング・チッ
プ５４を受けるので、このプロービング・チップ５４の
一端がホルダ６０から伸び、プロービング・チップ５４
の他端が基板に接続する。このボアの直径は、０．０１
９インチ（０．４８２６ｍｍ）のレンジであり、その長
さは、０．０６０インチ（１．５２４ｍｍ）のレンジで
ある。プロービング・チップ５４の直径は、約０．０１
８インチ（０．４５７２ｍｍ）であり、その全長は、
０．２０４インチ（５．２７５ｍｍ）のレンジである。
また、このプロービング・チップ５４は、ホルダ６０の
端部から０．１０７インチ（２．７１８ｍｍ）のレンジ
で伸びる。測定プローブ・ヘッド５２及びプローブ・チ
ップ・ホルダ６０は、例えば、本願出願人に譲渡され２
０００年６月２９日出願のアメリカ合衆国特許出願第０
９／６０７５７４号（日本特許出願第２００１−１６３
０５１号に対応）にも記載されている。

【００１３】本発明のプローブ・チップ・アダプタは、
プローブ・チップ・アダプタ７０、７２、７４及び７６
で代表的に示すように、任意の数のプロービング接点と
一緒に構成することができる。例として、プローブ・ポ
イント型プローブ・チップ・アダプタ７０と、図１の線
Ａ−Ａ’に沿った断面図である図２を参照する。アダプ
タ７０は、導電性要素８０を有し、この導電性要素８０
は、一端に形成されたボア８２と、他端に形成されたプ
ロービング接点８４とを有する。好ましくは、ベベル
（斜面）８３がボアの開口部に形成されて、プロービン
グ・チップ５４にアダプタ７０を配置するのを容易にす
る。この特定実施例において、プロービング接点８４
は、尖端８８に向かって先細りになっている。導電性要
素８０の全長は、約０．２３５インチ（５．９６９ｍ
ｍ）である。導電性要素８０のボア８２側の端部の外径
は、約０．０６０インチ（１．５２４ｍｍ）であり、こ
のボア８２の内径は、約０．０４０インチ（１．０１６
ｍｍ）である。ボア８２の深さ（奥行き）は、約０．１
１５インチ（２．９２１ｍｍ）である。プローブ接点シ
ャフト８６の直径は、約０．０１８インチ（０．４５７
ｍｍ）であり、そのチップ（尖端）までの全長は、約
０．１００インチ（２．５４ｍｍ）である。

【００１４】ボア８２内に導電性エラストマ９０を配置
し、プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ
７０を測定プローブ５０のプロービング・チップ５４に
固定する。導電性エラストマ９０は、特定の特性を有す
る。これら特性は、プロービング・チップ５４にプロー
ブ・チップ・アダプタを反復的に固定できるようにする
のに充分な引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ
力、伸び、回復率（Percent Recovery）などである。好
ましくは、エラストマ９０の引っ張り強度が３００ＰＳ
Ｉ（Pounds Per Square Inch absolute:ボンド／平方イ
ンチ絶対圧力）、即ち、２．０７Ｍｐａ（パスカル：ニ
ュートン／平方メートル）のレンジであり、最大圧縮ひ
ずみ率が２５％であり、硬度が４５ショア硬さのレンジ
であり、２５％たわみ力が４ｌｂ／ｉｎ（ポンド／イン
チ）、即ち、０．７１Ｋｇ／ｃｍのレンジであり、５０
％たわみ力が１２ｌｂ／ｉｎ、即ち、２．１４Ｋｇ／ｃ
ｍのレンジであり、伸びが２５０％のレンジである。圧
縮ひずみは、２５％のたわみにおけるたわみの百分率で
表される。回復率は、１００％から、圧縮ひずみ値の４
分の１を減算した圧縮ひずみから求まる。圧縮ひずみが
２５％の場合、回復率は、９３．７５％である。銀・銅
導電フィラー（充填剤）は、好適には、０．００８オー
ム／ｃｍのレンジの体積抵抗率のエラストマに使用され
る。上述の条件に合う導電性エラストマの一例は、アメ
リカ合衆国マサチューセッツ州ウォバーンのパーカー・
ハニフィン（Parker Hannifin）の一部門であるチョメ
リクス（Chomerics）が製造販売しているチョ・フォー
ム（Cho-Form）２．１である。本発明の要旨を逸脱する
ことなく、同様な特性の他の形式の導電性エラストマを
用いてもよい。

【００１５】図３は、図１に示す位置決め援助型プロー
ブ・チップ・アダプタ７２の線Ｂ−Ｂ’に沿う側面の断
面図である。位置決め援助型プローブ・チップ・アダプ
タ７０の導電性要素８０は、プローブ・ポイント型プロ
ーブ・チップ・アダプタ７０の基本的な構成要素を含ん
でいる。導電性要素８０は、その一端に、傾斜したボア
８２を有し、他端には、先細になったプロービング接点
８４が形成されている。ボア８２は、上述と同様に導電
性エラストマ９０で埋まっている。非導電性ハウジング
９４は、その一端に形成された歯９４を有し、スロット
９８ができる。歯９６は、集積回路素子の複数のリード
の間に位置決めされる。ボア１００は、スロット９８の
１つからハウジング９４の他端に伸びて、このハウジン
グ９４内に形成される。導電性要素８０の先細のプロー
ビング接点８４は、ボア１００内に位置決めされ、プロ
ービング・チップ８８がスロット９８内に伸びる。導電
性要素８０のボア側の端部は、ハウジング９４から外側
に伸びて、プロービング・チップ５４の位置にくる。

【００１６】図４は、図１に示した可撓性リード型プロ
ーブ・チップ・アダプタ７４の線Ｃ−Ｃ’に沿った平面
の断面図である。この可撓性リード型プローブ・チップ
・アダプタ７４は、導電性要素８０を具えており、構造
的に上述と類似した傾斜ボア８２を一端に有する。ボア
８２は、上述の如く、導電性エラストマ９０で埋まって
いる。導電性要素８０のプロービング接点８４の一部が
変更されており、平坦部分１０６を有し、先細の指部１
０８が平坦部分１０６から上方に伸びている。可撓性の
導電性リード１１０が平坦部分１０６に位置決めされ、
先細指部１０８が可撓性導電性リード１１０に圧着され
て、このリード１１０を平坦部分１０６に固定する。

【００１７】図５は、図１に示した矩形ピン型プローブ
・チップ・アダプタ７６の線Ｄ−Ｄ’に沿った側部の断
面図である。この矩形ピン型プローブ・チップ・アダプ
タ７６は、導電性要素８０を有し、その一端に、構造的
に上述と同様の傾斜ボア８２を有する。このボア８２
は、上述と同様に、導電性エラストマ９０が充填されて
いる。プローブ接点８４側の端部にはボア１１４が形成
され、その直径は、スプリング接点１１６を受けるに充
分な大きさである。このスプリング接点１１６は、円形
リング１１８と共に形成してもよく、このリング１１８
から伸びた可撓性指部１２０の内側に配置される。第２
ボア１２２の直径は、第１ボア１１４よりも小さい。第
２ボア１２２は、第１ボアの近傍に形成され、矩形ピン
を受ける大きさである。この好適実施例において、ボア
１１４及び１２２並びにスプリング接点１１６の大きさ
は、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンを
受けることができるようになっている。導電性要素８０
の全長は、約０．２７０インチ（６．８５８ｍｍ）であ
る。導電性要素８０の接点側の端部の直径は、約０．０
７２インチ（１．８２９ｍｍ）であり、ボア１１４の直
径は、約０．０５１インチ（１．２９５ｍｍ）であり、
その深さは、約０．０８９インチ（２．２６１ｍｍ）で
ある。ボア１２２の直径は、約０．０３７インチ（０．
９３９ｍｍ）であり、その長さは、０．０４６インチ
（１．１６８ｍｍ）であり、２個のボアを組み合わせた
全長は、約０．１３５インチ（３．４２９ｍｍ）であ
る。スプリング接点１１６の一例は、ニューヨーク州オ
イスタ・ベイのミル・マックス・インコーポレイテッド
が製造している部品番号コンタクト４７番である。これ
らボア１１４、１２２及びスプリング接点１１６の寸法
は、０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピン用
のみに限定されず、本発明の要旨を逸脱することなく、
異なる寸法の矩形ピンに対して異なる寸法のボア及びス
プリング接点を用いてもよい。

【００１８】導電性要素８０は、好ましくは、真鍮、ベ
リリウム銅、又は類似の導電性材料から機械加工され
る。ボア８２は、ブランク（素材）の一端に機械加工に
より形成する。このブランクの他端を機械加工して、導
電性要素８０のプロービング接点端部を形成する。この
ブランクを、旋盤や類似の機械装置、例えば、研削盤な
どで回転させて、プローブ・ポイント型プローブ・チッ
プ・アダプタ７０用のプロービング接点を形成する。可
撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダプタ７４
にとって、ブランクのプローブ接点端部を打ち抜き加工
して、平坦部分及び先細指部を形成する。矩形ピン型プ
ローブ・チップ・アダプタ７６では、旋盤や類似の機械
装置で回転させて、ブランクのボア側の端部の材料を除
去する。プローブ接点の端部にボアを形成して、スプリ
ング接点を受ける。各プローブ・チップ・アダプタ構造
に対して準備した導電性要素ブランクを加熱処理し、ス
ルファメート・ニッケルの鍍金層の上を金鍍金する。代
わりに、導電性要素８０は、側部断面図に示すように、
第１及び第２導電性部材１２４及び１２６で形成しても
よい。第１導電性部材１２４は、導電性要素８０のボア
８２側の端部と関連し、第２導電性部材１２６は、導電
性要素８０のプローブ接点８４側の端部と関連する。導
電性部材１２４及び１２６を加熱処理し、上述の如く鍍
金して、鑞付け合金や接着などの既知の接合技術を導電
性接着剤などと一緒に用いて一体にして、種々のプロー
ブ・チップ・アダプタを作成する。ブランク用に用いた
材料の形式に応じて、熱処理が不要になる。例えば、矩
形ピン型プローブ・チップ・アダプタのブランクを真鍮
で形成してもよい。これは、充分な硬度を有するが、熱
処理からの利点がない。一方、プローブ・ポイント型プ
ローブ・チップ・アダプタのブランクは、ベリリウム銅
から形成されるが、硬度を増すために熱処理が必要であ
る。

【００１９】図６は、図１に示した測定プローブと類似
の設計特性を有する広帯域高周波数差動測定プローブ１
３０の斜視図を示す。差動測定プローブ１３０は、プロ
ーブ・ヘッド１３２を有し、その一端から第１及び第２
プロービング・チップ１３４及び１３６が伸びている。
同軸ケーブル１３８が他端から伸びて、プローブ・ヘッ
ドを、オシロスコープ、スペクトラム・アナライザ、ロ
ジック・アナライザなどの測定機器に接続する。プロー
ブ・ヘッド１３２は、導電性筒状ハウジング１４０を有
し、このハウジング内に基板を収容する。能動素子及び
受動素子を基板上に設けて、プローブ入力回路を形成す
る。プローブ・チップ１３４及び１３６並びに同軸ケー
ブル１３８は、基板に電気的に接続される。絶縁材料
が、筒状ハウジング１４０と、同軸ケーブル１３８の一
部分とを包囲する。プローブ・チップ・ホルダ１４２
は、筒状ハウジング１４０の端部に結合され、基板を有
する空洞を有する。第１及び第２ボアは、ホルダ１４２
内に形成され、プロービング・チップ１３４及び１３６
を受けるので、これらプロービング・チップの一端がハ
ウジングから伸びて、他端が基板に接触する。上述の如
く、これらボアの直径は、０．０１９インチ（０．４８
３ｍｍ）のレンジであり、長さが０．０６０インチ
（１．５２４ｍｍ）のレンジであり、これらボアの中心
から中心の距離が０．１００インチ（２．５４０ｍｍ）
である。これらプロービング・チップは、全体の直径及
び長さが上述のプロービング・チップと同じであり、ホ
ルダの端部からの伸びる長さも上述と同じである。

【００２０】矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ１
５０及び可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・ア
ダプタ１５２は、上述と同じ設計である。図１のプロー
ブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ７０を変更
して、ある角度で折れ曲がったプローブ・ポイント型プ
ローブ・チップ・アダプタ１５４を形成する。このプロ
ーブ・チップ・アダプタ１５４の詳細を、図６の線Ｅ−
Ｅ’に沿った側部断面図である図７に示す。折れ曲がっ
たプローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプタ１
５４及び１５６の各々は、導電性要素８０を有し、その
一端にボア８２が形成される。上述の如き導電性エラス
トマ９０がボア８２内に配置される。導電性要素８０の
プローブ接点８４側の端部は、ある角度で折れ曲がった
シャフト１５８を有するが、このシャフト１５８は、導
電性要素８０のボア側の端部から伸びている。好適な実
施例において、この導電性要素の中心線からのプロービ
ング・チップ８８のたわみ距離は、寸法１６０で表すと
約０．０４０インチ（１．０１６ｍｍ）である。ある角
度で折れ曲がったプローブ・ポイント型プローブ・チッ
プ・アダプタ１５４及び１５６のたわみ距離により、プ
ローブ・チップ８８がプロービング・チップ１３４及び
１３６の回りで横方向に回転して、これらプローブ・チ
ップ８８の間の幾何学的ピッチを種々の寸法にして、異
なる幾何学的リード・ピッチで試験点又は素子をプロー
ビングできる。

【００２１】一端にボアを有し、他端にプロービング接
点が形成された導電性要素を具えた測定プローブ用のプ
ローブ・チップ・アダプタについて上述した。導電性エ
ラストマを導電性要素のボア内に配置する。導電性要素
を測定プローブのプロービング・チップに反復的に固定
できるように、この導電性エラストマは、引っ張り強
度、圧縮ひずみ、硬度、たわみ力、伸び及び回復率が充
分である。プロービング接点は、その一端にて先細にな
ったシャフトを有するプロービング・チップとして構成
してもよいし、ボアを導電性要素内に形成して、０．０
２５インチ（０．６３５ｍｍ）の矩形ピンと両立性のあ
るスプリング接点を受ける。差動構成のプロービング接
点では、プロービング・チップのシャフトがある角度で
折れ曲がった構造となる。導電性要素は、好ましくは、
単一の部品として機械加工される。代わりに、導電性要
素は、この導電性要素のボア側の端部と関連した第１導
電性部材と、導電性要素のプロービング接点側の端部と
関連した第２導電性部材とで形成し、これら第１及び第
２部材を互いに結合したものでもよい。このプローブ・
チップ・アダプタは、シングル・エンド測定プローブ及
び差動測定プローブの両方と一緒に使用可能である。

【００２２】本発明の要旨を逸脱することなく、本発明
の上述の実施例の細部において種々の変形変更が可能な
ことが当業者には理解できよう。

【００２３】

【発明の効果】上述の如く、本発明の測定プローブ用プ
ローブ・チップ・アダプタによれば、低容量測定プロー
ブと両立性があり、種々の形式構造に適用可能であり、
プローブ・チップの容量及びインスタンスが小さく、測
定プローブのプローブ・チップに繰り返し取り付け可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるプローブ・チップ・アダプタと共
に使用可能な測定プローブの斜視図である。

【図２】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであ
り、図１の線Ａ−Ａ’に沿った側面の断面図である。

【図３】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであ
り、図１の線Ｂ−Ｂ’に沿った側面の断面図である。

【図４】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであ
り、図１の線Ｃ−Ｃ’に沿った側面の断面図である。

【図５】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであ
り、図１の線Ｄ−Ｄ’に沿った側面の断面図である。

【図６】本発明によるプローブ・チップ・アダプタと共
に使用可能な差動プローブの斜視図である。

【図７】本発明によるプローブ・チップ・アダプタであ
り、図６の線Ｅ−Ｅ’に沿った側面の断面図である。

【図８】ソケット型プローブ・チップ及び関連したプロ
ーブ・チップ・アダプタを有する従来の測定プローブを
示す斜視図である。

【符号の説明】

１０能動プローブ１２ソケット型プローブ・チップ１４接地ソケット１６位置決め援助型プローブ・チップ・アダプタ２６標準プロービング・チップ３４プローブ・チップ・アダプタ４０プローブ・チップ・アダプタ５０測定プローブ５２プローブ・ヘッド５４プロービング・チップ５６同軸ケーブル５８導電性筒状ハウジング６０プローブ・チップ・ホルダ７０プローブ・ポイント型プローブ・チップ・アダプ
タ７２位置決め援助機型プローブ・チップ・アダプタ７４可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・アダ
プタ７６矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ８０導電性要素８２ボア８３ベベル（斜面）８４プロービング接点８６プローブ接点シャフト８８プロービング・チップ９０導電性エラストマ９４ハウジング９６歯９８スロット１００ボア１０６平坦部分１０８先細の指部１１０可撓性導電性リード１１６スプリング接点１１８円形リング１２０可撓性指部１２４、１２６導電性部材１３０差動測定プローブ１３２プローブ・ヘッド１３４、１３６プロービング・チップ１３８同軸ケーブル１４０筒状ハウジング１５０矩形ピン型プローブ・チップ・アダプタ１５２可撓性の導電性リード型プローブ・チップ・ア
ダプタ１５４、１５６プローブ・ポイント型プローブ・チッ
プ・アダプタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者マーク・ダブリュー・ナイチンゲールアメリカ合衆国ワシントン州 98671 ワシュガル 719−トウェンティス・ストリート (72)発明者ゲイリー・ダブリュー・リードアメリカ合衆国オレゴン州 97008 ビーバートンサウス・ウェストロチェスター・ドライブ 14220 Ｆターム(参考） 2G011 AA04 AA07 AA09 AA13 AB01 AB06 AB08 AC12 AC32 AD01 AE01 AF04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定プローブから延びた少なくとも１個
のプロービング・チップを有する上記測定プローブ用の
プローブ・チップ・アダプタであって、一端にボアを有し、他端にプロービング接点が形成され
た少なくとも１個の導電性要素と、該導電性要素の上記ボア内に配置され、上記導電性要素
を上記測定プローブのプロービング・チップに反復的に
固定できるように、引っ張り強度、圧縮ひずみ、硬度、
たわみ力、伸び及び回復率が充分である導電性エラスト
マとを具えた測定プローブ用プローブ・チップ・アダプ
タ。
【請求項２】上記プロービング接点は、一端から尖端
に細くなったシャフトを有するプロービング・チップを
有することを特徴とする請求項１の測定プローブ用プロ
ーブ・チップ・アダプタ。
【請求項３】上記プロービング接点は、上記導電性要
素に形成されてスプリング接点を受けるボアを有するこ
とを特徴とする請求項１の測定プローブ用プローブ・チ
ップ・アダプタ。
【請求項４】上記導電要素は、上記導電要素のボア端
と関連した第１導電性部材と、上記導電要素のプロービ
ング接点端と関連した第２導電性部材とを有し、上記第
１導電性部材及び上記第２導電性部材が互いに接合して
いることを特徴とする請求項１の測定プローブ用プロー
ブ・チップ・アダプタ。
【請求項５】上記測定プローブは、上記測定プローブ
から伸びた第１及び第２プロービング・チップを有する
差動プローブであって、上記プローブ・チップ・アダプ
タは、上記ボア内に配置された導電性エラストマを有す
る第２導電要素を更に具えたことを特徴とする請求項１
の測定プローブ用プローブ・チップ・アダプタ。