JP2002127422A

JP2002127422A - インクジェットヘッド

Info

Publication number: JP2002127422A
Application number: JP2001147294A
Authority: JP
Inventors: Takao Nishikawa; 卓男西川; Katsuaki Komatsu; 克明小松
Original assignee: Konica Minolta Inc
Current assignee: Konica Minolta Inc
Priority date: 2000-05-17
Filing date: 2001-05-17
Publication date: 2002-05-08

Abstract

(57)【要約】【課題】短時間にドライバ基板を接続可能で、かつコン
パクト化が可能で、しかもノズル密度を上げることが可
能である。【解決手段】インクジェットヘッドは、複数の隔壁を介
して形成される第１のチャネル列と、隔壁に対して設け
られた電極１５と、この各々の電極１５に続いて設けら
れた取出電極１６とを具備する第１の基板１０と、複数
の隔壁を介して形成される第２のチャネル列と、隔壁に
対して設けられた電極２５と、この各々の電極２５に続
いて設けられた取出電極２６とを具備する第２の基板２
０と、第１及び第２の基板の各基板に対してそれぞれ電
気的に接続されるドライバ基板１９ｂ，２９ｂとを有
し、第１の基板１０と第２の基板２０とを貼り合わせて
構成し、第１及び第２の基板のそれぞれの取出電極１
６，２６は、異方性導電材３０を介してそれぞれ対応す
るドライバ基板１９ｂ，２９ｂと接続され、かつ、取出
電極１６，２６とドライバ基板１９ｂ，２９ｂとの接続
点のピッチ幅は１５０μｍ以下である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、電極に電圧を印
加してチャネルを変形させてインクを吐出するインクジ
ェットヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】このように電極に電圧を印加してチャネ
ルを変形させてインクを吐出するインクジェットヘッド
には、複数の隔壁を介して形成されるチャネル列と、隔
壁に対して設けられた電極と、この各々の電極に続いて
設けられた取出電極とを具備し、取出電極にドライバ基
板を接続し、このドライバ基板から与えられる駆動電源
により電極に電圧を印加するように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このドライバ基板とし
てフレキシブル基板が用いられ、このドライバ基板と取
出電極との接続には、導電性接着剤、異方性導電ゴム、
ワイヤーボンディング等があったが、硬化時間が長くな
ったり、電流を多く流す必要があるヘッド系の接続には
不利であったり、ヘッドのチャネル数が多くなると、接
続時間が長くなったり、ヘッド自身が大きくなりコンパ
クト化できなくなっていた。

【０００４】また、ノズル密度をあげるために、第１の
基板と第２の基板とを貼り合わせて２列のチャネル列か
らインクを吐出する構造のものでは、第１の基板と第２
の基板の両面へのドライバ基板の接続が非常に困難であ
る。

【０００５】この発明は、かかる点に鑑みてなされたも
ので、短時間にドライバ基板を接続可能で、かつコンパ
クト化が可能で、しかもノズル密度を上げることが可能
なインクジェットヘッドを提供することを目的としてい
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決し、かつ
目的を達成するために、この発明は、以下のように構成
した。

【０００７】請求項１に記載の発明は、『複数の隔壁を
介して形成される第１のチャネル列と、前記隔壁に対し
て設けられた電極と、この各々の電極に続いて設けられ
た取出電極とを具備する第１の基板と、複数の隔壁を介
して形成される第２のチャネル列と、前記隔壁に対して
設けられた電極と、この各々の電極に続いて設けられた
取出電極とを具備する第２の基板と、前記第１及び第２
の基板の各基板に対してそれぞれ電気的に接続されるド
ライバ基板と、を有し、前記第１の基板と前記第２の基
板とを貼り合わせて構成し、前記第１及び第２の基板の
それぞれの前記取出電極は、異方性導電材を介してそれ
ぞれ対応する前記ドライバ基板と接続され、かつ、前記
取出電極と前記ドライバ基板との接続点のピッチ幅は１
５０μｍ以下であることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。』である。

【０００８】この請求項１に記載の発明によれば、第１
の基板と第２の基板とを貼り合わせ、この両基板の取出
電極は、異方性導電材を介してドライバ基板と接続さ
れ、かつ、接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であり、
取出電極とドライバ基板とを短時間に確実、かつコンパ
クトに接続可能で、しかもノズル密度を増加することが
できる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、『前記各々の基
板の取出電極は、前記貼り合わせる際の面と反対側の面
側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の
インクジェットヘッド。』である。

【００１０】この請求項２に記載の発明によれば、各々
の基板の取出電極は、基板を貼り合わせる際の面と反対
側の面側に設けられていることから、取出電極を設ける
作業が容易で、しかも取出電極へ容易にドライバ基板を
接続することができる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、『複数の隔壁を
介して形成される第１のチャネル列と、前記隔壁に対し
て設けられた電極と、この各々の電極に続いて設けられ
た取出電極とを具備する第１の基板と、複数の隔壁を介
して形成される第２のチャネル列と、前記隔壁に対して
設けられた電極と、この各々の電極に続いて設けられた
取出電極とを具備する第２の基板と、前記第１及び第２
の基板の各基板に対してそれぞれ電気的に接続されるド
ライバ基板と、を有し、前記各チャネル列が背を向ける
ように、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わ
せて構成し、前記第１及び第２の基板のそれぞれの前記
取出電極は、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り
合わせた側とは反対側に設けられ、異方性導電材を介し
てそれぞれ対応する前記ドライバ基板と接続したことを
特徴とするインクジェットヘッド。』である。

【００１２】この請求項３に記載の発明によれば、第１
の基板と第２の基板とを各チャネル列が背を向けるよう
に貼り合わせ、この両基板の取出電極は、第１の基板と
第２の基板とを貼り合わせた側とは反対側に設けられ、
それぞれ異方性導電材を介してドライバ基板と接続した
ので、取出電極とドライバ基板とを短時間に確実、かつ
コンパクトに接続可能で、しかもノズル密度を容易に増
加することができる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、『複数の隔壁を
介して形成される第１のチャネル列と、前記隔壁に対し
て設けられた電極と、この各々の電極に続いて設けられ
た取出電極とを具備する基板と、前記基板に対してその
両側に電気的に接続されるドライバ基板と、を有し、前
記取出電極は、前記基板の両側に設けられるとともに、
異方性導電材を介してその両側に対応する前記ドライバ
基板と接続され、かつ、前記取出電極と前記ドライバ基
板との接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であることを
特徴とするインクジェットヘッド。』である。

【００１４】この請求項４に記載の発明によれば、基板
の取出電極は、異方性導電材を介してドライバ基板と接
続され、かつ、接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であ
り、取出電極とドライバ基板とを短時間に確実、かつコ
ンパクトに接続可能で、しかもノズル密度を増加するこ
とができる。

【００１５】請求項５に記載の発明は、『前記チャネル
と前記各取出電極とが実質的に同じピッチ幅であること
を特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記
載のインクジェットヘッド。』である。

【００１６】この請求項５に記載の発明によれば、各チ
ャネルと各取出電極とが実質的に同じピッチ幅であり、
取出電極とドライバ基板とを確実、かつコンパクトに接
続可能である。

【００１７】請求項６に記載の発明は、『前記チャネル
は、インクチャネルが１つおきに配置されていることを
特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載
のインクジェットヘッド。』である。

【００１８】この請求項６に記載の発明によれば、チャ
ネルは、インクチャネルが１つおきに配置されており、
インクチャネルからインクを吐出しても、他のインクチ
ャネルに影響することがなく、インクチャネルの駆動が
容易である。

【００１９】請求項７に記載の発明は、『前記異方性導
電材に、金属粒子からなる導電粒子を含有する異方性導
電フィルムを用いたことを特徴とする請求項１乃至請求
項６のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。』
である。

【００２０】この請求項７に記載の発明によれば、異方
性導電材に、金属粒子からなる導電粒子を含有する異方
性導電フィルムを用いたから、電極間の導通が良好であ
り、特に、アルミニウム蒸着により形成されたアルミニ
ウム電極を少なくとも一方の電極とした場合にも、その
酸化膜を金属粒子が突き破り、容易に良好な導通を行う
ことができる。

【００２１】請求項８に記載の発明は、『前記取出電極
はアルミニウム蒸着により形成されてなることを特徴と
する請求項７に記載のインクジェットヘッド。』であ
る。

【００２２】この請求項８に記載の発明によれば、異方
性導電材に、金属粒子からなる導電粒子を含有する異方
性フィルムを用いた構成と相俟って、容易に良好な導通
を行なうことができ、接続不良もない高性能のインクジ
ェットヘッドを得ることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、この発明のインクジェット
ヘッドの実施の形態を挙げて説明するが、この発明の形
態はこの例に限定されない。

【００２４】図１はインクジェットヘッドの製造の工程
を示す概略図、図２はインクジェットヘッドのチャネル
を示す断面図、図３は取出電極とドライバ基板との接続
を説明する図、図４及び図５は異方性導電材を用いたド
ライバ基板の接続を説明する図である。

【００２５】まず、第１の基板１０と第２の基板２０と
が用意され、第１の基板１０は、厚基板１１と薄基板１
２とからなり、同様に第２の基板２０も厚基板２１と薄
基板２２とからなる（図１（ａ））。

【００２６】第１の基板１０の薄基板１２上にドライフ
ィルム１３を貼り、このドライフィルム１３に電極を形
成するためのパターンを施したガラス基板（図示せず）
を配置して露光し現像処理をして電極パターンのドライ
フィルム１３を除去する（図１（ｂ））。また、第１の
基板１０には、電極パターンの端部に当接させながらダ
イシング円盤による溝加工を行ないチャネル１４を形成
し、Ａｌ蒸着を行なった後に、残されていたドライフィ
ルム１３（電極パターン以外のドライフィルム）を、そ
の上に蒸着されたアルミニウムとともに溶解除去するこ
とによりチャネル１４に電極１５を形成するとともに、
この電極１５に接続した取出電極１６を形成する（図１
（ｃ））。

【００２７】同様に、第２の基板２０の薄基板２２上に
ドライフィルム２３を貼り、このドライフィルム２３に
電極を形成するためのパターンを施したガラス基板（図
示せず）を配置し、このガラス基板をマスクとして露光
し現像処理をして電極パターンのドライフィルム２３を
除去する。また、第２の基板２０には、同様に溝加工を
行ないチャネル２４を形成し、Ａｌ蒸着を行った後、残
されていたドライフィルム２３を、その上に蒸着された
アルミニウムとともに除去することによりチャネル２４
に電極２５を形成するとともに、この電極２５に接続し
た取出電極２６を形成する。

【００２８】次に、第１の基板１０及び第２の基板２０
に、取出電極１６，２６を残してチャネル１４，２４の
大部分を覆う、インク取り入れ口を備えたカバー基板１
７，２７を設け（図１（ｄ））、第１の基板１０と第２
の基板２０とを、カバー基板１７，２７を設けた側と反
対側で貼り合わせ（図１（ｅ））、中央部を切断して、
チャネル１４，２４に対応する部分にノズル孔１８ａを
有するノズルプレート１８を設けて２個のヘッド本体を
製造する（図１（ｆ））。

【００２９】その後に、それぞれの２個のヘッド本体に
は、第１の基板１０と第２の基板２０とに、インクをチ
ャネル１４，２４に供給するアクチュエータ１９ａ，２
９ａを接続すると共に、取出電極１６，２６にドライバ
基板１９ｂ，２９ｂを接続して同時に２個のインクジェ
ットヘッドを製造する（図１（ｇ））。

【００３０】このように、インクジェットヘッドは、図
１、図２に示すように、複数の隔壁１１ａ，１２ａを介
して形成される第１のチャネル列と、隔壁１１ａ，１２
ａに対して設けられた電極１５と、この各々の電極１５
に続いて設けられた取出電極１６とを具備する第１の基
板１０と、複数の隔壁２１ａ，２２ａを介して形成され
る第２のチャネル列と、隔壁２１ａ，２２ａに対して設
けられた電極２５と、この各々の電極２５に続いて設け
られた取出電極２６とを具備する第２の基板２０と、両
基板１０，２０に電気的に接続されるドライバ基板１９
ｂ，２９ｂとを有し、第１の基板１０と第２の基板２０
とを貼り合わせて構成される。

【００３１】本実施の形態によれば、両基板１０，２０
にそれぞれ設けられたチャネルとは反対側で両基板１
０，２０を接合、即ち、第１のチャネル列と第２のチャ
ネル列とが背を向けた形態で両基板１０，２０を貼り合
わせたので、両基板１０，２０間に取出電極やインクを
供給するアクチュエータが介在して貼り合わせが難しく
なるといったこともなく、インクジェットヘッドの製造
を容易、かつ短時間に高精度に得ることができる。

【００３２】次に、取出電極とドライバ基板との接続に
ついて説明するが、両基板１０，２０とも共通の作業で
行なえるため、以下、第１の基板１０を参照して説明す
る。このインクジェットヘッドの取出電極１６には、図
３に示すように、異方性導電材３０を介してドライバ基
板１９ｂが加熱加圧ツール３１を用いて加熱加圧して接
続される。ドライバ基板１９ｂと取出電極１６との接続
点のピッチ幅は１５０μｍ以下である。この接続点のピ
ッチ幅とは、図５（ａ）にＰとして示されているよう
に、取出電極１６の電極列に関して電極列と直交する方
向におけるその電極ピッチを指す。インクジェットヘッ
ドのチャネルに対応する取出電極のピッチ幅（接続点の
ピッチ幅）、及びドライバ基板の電極のピッチ幅をとも
に１５０μｍ以下とすることが特に好ましい。

【００３３】これらピッチ幅が１５０μｍを超える場合
には、半田による接続の方が簡単に製造できる可能性が
あるが、１５０μｍ以下ではショート不良を多く発生
し、ノズルの高密度化が困難となる。また、この際にノ
ズルは高密度化し、各ノズルに対応する取出電極は扇状
に拡げて低密度化することも考えられるが、コンパクト
なインクジェットヘッドを得ることができず、このよう
な半田による接続では、ノズルが高密度でコンパクトな
インクジェットヘッドを得ることが難しく、また特に、
１５０μｍ以下のピッチ幅の電極を接続する際に、以下
のように接続を行うことが非常に有利である。

【００３４】更に、異方性導電材３０を用いたドライバ
基板１９ｂの接続を図４及び図５に基づいて具体的に説
明する。

【００３５】ドライバ基板１９ｂに、図４（ａ）に示す
ように、テフロン（登録商標）シート３２を介し加熱加
圧ツール３１を用いて、異方性導電材３０を仮圧着す
る。異方性導電材３０の仮圧着は、０．０５〜０．５Ｍ
Ｐａ／ｃｍ²、５０〜１００℃、３〜１０ｓｅｃで行な
う。使用する異方性導電材３０は、取出電極１６の電極
間の空間（取出電極１６の電極列間の空間）及び、後述
するドライバ基板１９ｂの電極１９ｂ１の電極間の空間
（電極１９ｂ１の電極列間の空間）を埋めるだけの体積
を持った厚さにする。

【００３６】取出電極１６と電極１９ｂ１との電極高さ
のトータルが３０μｍで電極〜電極間（電極のピッチ幅
を１００％としたとき、電極列と直交する方向における
電極がある部分と無い部分の幅の割合）が５０％づつの
場合、異方性導電材３０の厚さは、１５μｍ以上であ
る。

【００３７】本実施の形態にように、ドライバ基板１９
ｂ側に異方性導電材３０を仮圧着した後に、本圧着を行
なう方が両基板１０，２０を張り合わせる両面接続にお
いては時間短縮でき好ましい。圧着時は、図４（ａ）に
示すように、テフロンシート３２を狭む。テフロンシー
ト３２には、はみ出た異方性導電材３０の樹脂が加熱加
圧ツール３１に付着しないようにし、また圧力を均一に
する作用もある。

【００３８】取出電極１６とドライバ基板１９ｂの電極
１９ｂ１の位置合わせは、予めドライバ基板１９ｂ１の
電極ピッチを図５（ａ）に示すようにマイナス交差で作
っておいて、第１の基板１０の取出電極１６と図５
（ａ）のように合わせる。このとき、図５（ｂ）のよう
な電極ピッチにしてしまうと、ドライバ基板１９ｂが伸
びきれなく接続不良を起こすので好ましくない。

【００３９】次に、異方性導電材３０を本圧着する。こ
の異方性導電材３０の本圧着は、２〜３ＭＰａ／ｃ
ｍ²、１７０〜２５０℃、１０〜３０ｓｅｃで行なう。

【００４０】図４（ｂ）に示すように、仮圧着と同様に
して、加熱加圧ツール３１とドライバ基板１９ｂの間に
テフロンシート３２を狭み、はみ出た異方性導電材３０
の樹脂が加熱加圧ツール３１に付着しないようにし、ま
た加熱加圧ツール３１による圧力を均一にする。テフロ
ンシート３２は、２０〜１５０μｍが好ましい。

【００４１】また、図４（ｂ）のように、ドライバ基板
１９ｂは、カバーレイ１９ｂ２が第１の基板１０のエッ
ジを避けるようにして接続する。

【００４２】また、上述の通り説明を省略するが、取出
電極２６も取出電極１６と同様にして、異方性導電材３
０を介してドライバ基板２９ｂと接続される。

【００４３】このように、第１の基板１０と第２の基板
２０とを貼り合わせ、この両基板１０，２０の取出電極
１６，２６は、異方性導電材３０を介してドライバ基板
１９ｂ，２９ｂと接続され、かつ、接続点のピッチ幅は
１５０μｍ以下であり、取出電極１６，２６とドライバ
基板１９ｂ，２９ｂとを短時間に確実、かつコンパクト
に接続可能で、しかもノズル密度を増加することができ
る。

【００４４】また、各チャネル１４，２４のチャネル列
と各取出電極１６，２６の電極列とが実質的に同じピッ
チ幅であり、取出電極１６，２６とドライバ基板１９
ｂ，２９ｂとを確実、かつコンパクトに接続可能であ
る。

【００４５】チャネル１４，２４は、インクチャネルと
ダミーチャネル列とを交互に配列して、インクチャネル
が１つおきに配置されており、インクチャネルからイン
クを吐出するように、そのインクチャネルの隔壁がせん
断変形しても、他のインクチャネルに影響することがな
く、インクチャネルの駆動が容易である。

【００４６】各々の基板１０，２０の取出電極１６，２
６は、貼り合わせる際の面と反対側の面側に設けられる
ことから、取出電極１６，２６を設ける作業が容易で、
しかも取出電極１６，２６へ容易にドライバ基板１９
ｂ，２９ｂを接続することができる。

【００４７】図６及び図７はインクジェットヘッドの他
の実施の形態を示し、図６はインクジェットヘッドの概
略構成図、図７はインクジェットヘッドのチャネルを示
す断面図である。

【００４８】この実施の形態のインクジェットヘッド
は、複数の隔壁４１ａ，４２ａを介して形成される第１
のチャネル列と、隔壁４１ａ，４２ａに対して設けられ
た電極４５と、この各々の電極４５に続いて設けられた
取出電極４６とを両側に具備する厚基板４１と薄基板４
２とからなる基板４０と、基板４０の両側に設けられた
取出電極４６のそれぞれに電気的に接続されるドライバ
基板４９とを有する。チャネル４４は、インクチャネル
とダミーチャネルとを交互に配列して、インクチャネル
が１つおきに配置されており、インクチャネルからイン
クを吐出するように、そのインクチャネルの隔壁がせん
断変形しても、他のインクチャネルに影響することがな
く、インクチャネルの駆動が容易である。

【００４９】両側に設けられる取出電極４６はそれぞ
れ、異方性導電材５０を介してドライバ基板４９と接続
され、かつ、接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であ
り、この異方性導電材５０を介しての接続は、図４及び
図５と同様であるから説明を省略する。

【００５０】このように、異方性導電材５０を介してド
ライバ基板４９が基板４０の両面に配置され、チャンネ
ル間隔の倍ピッチでの電極引き出しができる。

【００５１】この実施の形態の図１乃至図５に示す第１
の基板及び第２の基板、或は図６及び図７に示す基板
は、圧電性材料が用いられる。この圧電性材料は、電圧
を加えることにより応力変化を生じるものであれば特に
限定されず、公知のものが用いられ、有機材料からなる
基板であっても良いが、圧電性非金属材料からなる基板
が好ましく、この圧電性非金属材料からなる基板とし
て、例えば成形、焼成等の工程を経て形成されるセラミ
ックス基板、又は成形、焼成を必要としないで形成され
る基板等がある。有機材料としては、有機ポリマー、有
機ポリマーと無機物とのハイブリッド材料が挙げられ
る。

【００５２】セラミックス基板としては、ＰＺＴ（Ｐｂ
ＺｒＯ₃−ＰｂＴｉＯ₃、第三成分添加ＰＺＴがあり、第
三成分としてはＰｂ（Ｍｇ_1/2Ｎｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｍ
ｎ_1/3Ｓｂ_2/3）Ｏ₃、Ｐｂ（Ｃｏ_1/3Ｎｂ_2/3）Ｏ₃等があ
り、さらにＢａＴｉＯ₃、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ₃、ＬｉＴ
ａＯ₃等を用いて形成することができる。

【００５３】また、成形、焼成を必要としないで形成さ
れる基板として、例えば、ゾルゲール法、積層基板コー
ティング等で形成することができる。ゾルゲール法によ
れば、ゾルは所定の化学組成を持つ均質な溶液に、水、
酸あるいはアルカリを添加し、加水分解等の化学変化を
起こさせることによって調整される。さらに、溶媒の蒸
発や冷却等の処理を加えることによって、目的組成の微
粒子あるいは非金属無機微粒子の前躯体を分散したゾル
が作成され、基板とすることができる。異種元素の微量
添加も含めて、化学組成の均一な化合物を得ることがで
き、出発原料には一般にケイ酸ナトリウム等の水に可溶
な金属塩あるいは金属アルコキシドが用いられ、金属ア
ルコキシドは、一般式Ｍ（ＯＲ）ｎで表される化合物
で、ＯＲ基が強い塩基性を持つため容易に加水分解さ
れ、有機高分子のような縮合過程を経て、金属酸化物あ
るいはその水和物に変化する。

【００５４】また、積層基板コーティングとして、気相
から蒸着させる方法があり、気相からセラミックの基板
を作成する方法には、物理的手段による蒸着方法と、気
相あるいは基板表面の化学反応による製法の二通りに分
類され、さらに、物理蒸着方（ＰＶＤ）は、真空蒸着
法、スパッター法、イオンプレーティング法等に細分さ
れ、また化学的方法にも気相化学反応法（ＣＶＤ）、プ
ラズマＣＶＤ法などがある。物理蒸着法（ＰＶＤ）とし
ての真空蒸着法は、真空中で対象とする物質を加熱して
蒸発させ、その蒸気を基板上に付着させる方法で、スパ
ッター法は目的物質（ターゲット）に高エネルギー粒子
を衝突させ、ターゲット表面の原子・分子が衝突粒子と
運動量を交換して、表面からはじきだされるスパッタリ
ング現象を利用する方法である。またイオンプレーティ
ング法は、イオン化したガス雰囲気中で蒸着を行う方法
である。また、ＣＶＤ法では、膜を構成する原子・分子
あるいはイオンを含む化合物を気相状態にしたのち、適
当なキャリヤーガスで反応部に導き、加熱した基板上で
反応あるいは反応析出させることによって膜を形成し、
プラズマＣＶＤ法はプラズマエネルギーで気相状態を発
成させ、４００℃〜５００℃までの比較的低い温度範囲
の気相化学反応で、膜を析出させる。

【００５５】カバー基板の材料は、特に限定されず、有
機材料からなる基板であっても良いが、非圧電性非金属
材料からなる基板が好ましく、この非圧電性非金属材料
からなる基板として、アルミナ、窒化アルミニウム、ジ
ルコニア、シリコン、窒化シリコン、シリコンカーバイ
ド、石英、ＰＺＴの少なくとも１つから選ばれることが
好ましい。

【００５６】この非圧電性非金属基板は、例えば成形、
焼成等の工程をへて形成されるセラミックス基板、又は
成形、焼成を必要としないで形成される基板等があり、
焼成等の工程をへて形成されるセラミックス基板とし
て、例えばＡｌ₂Ｏ₃、ＳｉＯ₂、それらの混合、混融
体、さらにＺｒＯ₂、ＢｅＯ、ＡｌＮ、ＳｉＣ等を用い
ることができる。有機材料としては、有機ポリマー、有
機ポリマーと有機物とのハイブリッド材料が挙げられ
る。

【００５７】電極となる金属は、白金、金、銀、銅、ア
ルミニウム、パラジウム、ニッケル、タンタル、チタン
を用いることができ、特に、電気的特性、加工性の点か
ら、金、アルミニウム、銅、ニッケルが良く、メッキ、
蒸着、スパッタで形成される。

【００５８】また、異方性導電材としては、接着、導
電、絶縁の３つの機能を同時に兼ね備えた異方性導電フ
ィルム（膜）を用いることが好ましい。この異方性導電
フィルムを構成するバインダー及び導電粒子には、公知
の種々の材料からなるものを用いることができる。特
に、導電粒子が金属粒子であることが好ましい。金属粒
子を用いることによって、アルミニウム蒸着により形成
されたアルミニウム電極の酸化膜を金属粒子が突き破り
良好な導通を行なうことができる。尚、異方性導電材と
しては、異方性導電ゴムを除くことが好ましい。一般的
に、異方性導電ゴムは、大電流を流す必要があるインク
ジェットヘッドの電極接続には不利である。

【００５９】上述の２つの本実施の形態においても、圧
電性ＰＺＴ基板上にアルミニウム蒸着によって設けた取
出電極に対して、ドライバ基板としてのフレキシブル基
板に設けられた電極を接続するのに、金属粒子であるＮ
ｉ粒子が導電粒子として含有された異方性導電フィルム
を用いて接続接着を行い、接続不良もない高性能のイン
クジェットヘッドを得た。

【００６０】以上の実施の形態においては、インクチャ
ネルとダミーチャネルとを交互に配設するインクジェッ
トヘッドを例に挙げて説明したが、同様の製造及び同様
の構造により、ダミーチャネルを設けないインクジェッ
トヘッドを得ることができる。例えば、一方の側から順
番に隣接する３つずつのチャネルを１つの群（順次、第
１群の第１、第２、第３チャネル、第２群の第１、第
２、第３チャネル、・・・、）とすると、同じ第Ｎチャ
ネル（Ｎ：１、２又は３）は同時にインクを射出するよ
う駆動する構成、即ち、例えば、第１、第２、・・・第
ｎ群の第１チャネルを同時に駆動する構成とし、第１チ
ャネルと第２チャネルと第３チャネルとは順次に位相を
ずらしてインク射出する方式とすることもできる。これ
により、インクを射出するよう隔壁が変形されたチャネ
ルに隣接するチャネルに、その変形が影響しないように
することができ、インクチャネルの隣をダミーチャネル
とする必要性をなくし、ノズルの高密度化へ更に貢献で
きて好ましい。

【００６１】また、以上の実施の形態においては、イン
クジェットヘッドの電極を、ドライフィルムを用いて形
成したが、ドライフィルムの代わりに紫外線反応型（紫
外線硬化型）のレジストを塗布する形態で製造すること
もできる。ドライフィルムと同様にして、電極パターン
を施したガラス基板をマスクとして紫外線を照射するこ
とによりレジストに電極パターンを焼き付け、現像処理
を行なうことで電極部のレジストを除去し、その後、電
極パターンの端部に当接させながらダイシング円盤で溝
加工を行なって、電極部及びチャネルとなる溝部以外
は、レジストで覆われた基板に、電極となる金、銀、
銅、アルミニウム、クロム、ニッケル等の蒸着やメッキ
を行い、その後レジストを溶解除去することで製造でき
る。

【００６２】

【発明の効果】前記したように、請求項１に記載の発明
では、第１の基板と第２の基板とを貼り合わせ、この両
基板の取出電極は、異方性導電材を介してドライバ基板
と接続され、かつ、接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下
であり、取出電極とドライバ基板とを短時間に確実、か
つコンパクトに接続可能で、しかもノズル密度を増加す
ることができる。

【００６３】請求項２に記載の発明では、各々の基板の
取出電極は、基板を貼り合わせる際の面と反対側の面側
に設けられることから、取出電極を設ける作業が容易
で、しかも取出電極へ容易にドライバ基板を接続するこ
とができる。

【００６４】請求項３に記載の発明では、第１の基板と
第２の基板とを各チャネル列が背を向けるように貼り合
わせ、この両基板の取出電極は、第１の基板と第２の基
板とを貼り合わせた側とは反対側に設けられ、それぞれ
異方性導電材を介してドライバ基板と接続したので、取
出電極とドライバ基板とを短時間に確実、かつコンパク
トに接続可能で、しかもノズル密度を容易に増加するこ
とができる。

【００６５】請求項４に記載の発明では、基板の取出電
極は、異方性導電材を介してドライバ基板と接続され、
かつ、接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であり、取出
電極とドライバ基板とを短時間に確実、かつコンパクト
に接続可能で、しかもノズル密度を増加することができ
る。

【００６６】請求項５に記載の発明では、各チャネルと
各取出電極とが実質的に同じピッチ幅であり、取出電極
とドライバ基板とを確実、かつコンパクトに接続可能で
ある。

【００６７】請求項６に記載の発明では、チャネルは、
インクチャネルが１つおきに配置されており、インクチ
ャネルからインクを吐出しても、他のインクチャネルに
影響することがなく、インクチャネルの駆動が容易であ
る。

【００６８】請求項７に記載の発明では、異方性導電材
に、金属粒子からなる導電粒子を含有する異方性導電フ
ィルムを用いたから、電極側の導通が良好であり、特
に、アルミニウム蒸着により形成されたアルミニウム電
極を少なくとも一方の電極とした場合にも、その酸化膜
を金属粒子が突き破り、容易に良好な導通を行うことが
できる。

【００６９】請求項８に記載の発明では、異方性導電材
に、金属粒子からなる導電粒子を含有する異方性導電フ
ィルムを用いた構成と相俟って、容易に良好な導通を行
なうことができ、接続不良もない高性能のインクジェッ
トヘッドを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】インクジェットヘッドの製造の工程を示す概略
図である。

【図２】インクジェットヘッドのチャネルを示す断面図
である。

【図３】取出電極とドライバ基板との接続を説明する図
である。

【図４】異方性導電材を用いたドライバ基板の接続を説
明する図である。

【図５】異方性導電材を用いたドライバ基板の接続を説
明する図である。

【図６】インクジェットヘッドの概略構成図である。

【図７】インクジェットヘッドのチャネルを示す断面図
である。

【符号の説明】

１０第１の基板１５電極１６取出電極１９ｂドライバ基板２０第２の基板２５電極２６取出電極２９ｂドライバ基板３０異方性導電材４４電極４６取出電極４９ドライバ基板５０異方性導電材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の隔壁を介して形成される第１のチャ
ネル列と、前記隔壁に対して設けられた電極と、この各
々の電極に続いて設けられた取出電極とを具備する第１
の基板と、複数の隔壁を介して形成される第２のチャネル列と、前
記隔壁に対して設けられた電極と、この各々の電極に続
いて設けられた取出電極とを具備する第２の基板と、前記第１及び第２の基板の各基板に対してそれぞれ電気
的に接続されるドライバ基板と、を有し、前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせて構成
し、前記第１及び第２の基板のそれぞれの前記取出電極は、
異方性導電材を介してそれぞれ対応する前記ドライバ基
板と接続され、かつ、前記取出電極と前記ドライバ基板
との接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であることを特
徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】前記各々の基板の取出電極は、前記貼り合
わせる際の面と反対側の面側に設けられていることを特
徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】複数の隔壁を介して形成される第１のチャ
ネル列と、前記隔壁に対して設けられた電極と、この各
々の電極に続いて設けられた取出電極とを具備する第１
の基板と、複数の隔壁を介して形成される第２のチャネル列と、前
記隔壁に対して設けられた電極と、この各々の電極に続
いて設けられた取出電極とを具備する第２の基板と、前記第１及び第２の基板の各基板に対してそれぞれ電気
的に接続されるドライバ基板と、を有し、前記各チャネル列が背を向けるように、前記第１の基板
と前記第２の基板とを貼り合わせて構成し、前記第１及び第２の基板のそれぞれの前記取出電極は、
前記第１の基板と前記第２の基板とを貼り合わせた側と
は反対側に設けられ、異方性導電材を介してそれぞれ対
応する前記ドライバ基板と接続したことを特徴とするイ
ンクジェットヘッド。
【請求項４】複数の隔壁を介して形成される第１のチャ
ネル列と、前記隔壁に対して設けられた電極と、この各
々の電極に続いて設けられた取出電極とを具備する基板
と、前記基板に対してその両側に電気的に接続されるドライ
バ基板と、を有し、前記取出電極は、前記基板の両側に設けられるととも
に、異方性導電材を介してその両側に対応する前記ドラ
イバ基板と接続され、かつ、前記取出電極と前記ドライ
バ基板との接続点のピッチ幅は１５０μｍ以下であるこ
とを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】前記チャネルと前記各取出電極とが実質的
に同じピッチ幅であることを特徴とする請求項１乃至請
求項４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】前記チャネルは、インクチャネルが１つお
きに配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求
項５のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】前記異方性導電材に、金属粒子からなる導
電粒子を含有する異方性導電フィルムを用いたことを特
徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の
インクジェットヘッド。
【請求項８】前記取出電極はアルミニウム蒸着により形
成されてなることを特徴とする請求項７に記載のインク
ジェットヘッド。