JP2002169122A - ガルバノミラー装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 従来のガルバノミラー装置は、反射ミラーの
傾き中心と重心とは不一致であるために、反射ミラーの
反射面と垂直方向の形状寸法が大きく、小型が困難であ
り、また、搬送時の衝撃に対して破損防止のための反射
ミラー固定具を必要とした。 【解決手段】 少なくともミラー１２を有する可動部３
０と、この可動部３０を固定部材３５に対して第１の軸
２０及び第2の軸２１回りに傾き可能に支持する支持手
段３４と、駆動手段を有するガルバノミラーにおいて、
前記支持手段３４は前記ミラー１２に対して前記第１の
軸２０方向に配置され、前記第１の駆動手段と第２の駆
動手段は、前記可動部３０に静電磁界を供給するマグネ
ット３８と、前記マグネットからの静磁界に対して前記
可動部を前記第１の軸２０回りと第２の軸２１回りに傾
き駆動させる電磁界を発生させる電磁コイル３２，３３
からなることをガルバノミラー装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、光磁気
ディスクドライブ、追記型ディスクドライブ、相変化型
ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ、光カード等
の光記録媒体に対して情報を記録および／または再生す
る情報記録再生装置や、光スキャナー、光通信用の光偏
向器等の光学装置に使用するガルバノミラー装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】光磁気ディスクドライブ、追記型ディス
クドライブ、相変化型ディスクドライブ、ＣＤ−ＲＯ
Ｍ、ＤＶＤ、光カード等の光記録媒体に対して情報を記
録および／または再生する情報記録再生装置や、光スキ
ャナー、光通信等の光偏光器等の光学装置においては、
例えば、光記録媒体に設けられている所定のデータ記録
トラックに光束を高精細に投射させるための光束の傾き
調整や、光通信で所定の回線に光通信信号を中継するた
めの光通信光束の切替に、反射ミラーの傾きを調整可能
とするガルバノミラー装置が使用される。

【０００３】前記情報記録再生装置に用いられる光ピッ
クアップから光記録媒体に投射される光束の傾き調整用
のガルバノミラー装置は、例えば、特開平５−１２６８
６号公報に開示されている。

【０００４】この特開平５−１２６８６号公報に開示さ
れているガルバノミラー装置を図７を用いて説明する。
なお、図７は、ガルバノミラー装置の断面図である。

【０００５】図７に示すガルバノミラー装置は、円形の
反射ミラー７４の裏面にロの字状に巻回された複数のコ
イルからなる電磁コイル７５が反射ミラー７４の中心Ｄ
１に対して対称に設けられ、この電磁コイル７５の短辺
は反射ミラー７４の側面に折り曲げ固定されている。前
記反射ミラー７４は、ミラー支持部７６の上表面に固定
されている。このミラー支持部７６は、該支持部７６の
裏面中央に形成された一体型の支持柱７７とベース７８
を介して、筒状のハウジング７１に取り付けられ、前記
支持柱７７にはヒンジ７７ａが設けられている。前記反
射ミラー７４は、前記ヒンジ７７ａで任意の方向に傾き
回動可能に支持されている。

【０００６】前記ハウジング７１には、前記反射ミラー
７４の側面と対向するようにリング状のバックヨーク７
２が設けられ、このバックヨーク７２の内周面に多極着
磁マグネット７３が設けられている。この多極着磁マグ
ネット７３は、その磁極が前記反射ミラー７４の側面の
設けた電磁コイル７５の折り曲げ部と１対１に対応させ
て設けられている。

【０００７】このようなガルバノミラー装置において、
前記電磁コイル７５の所望のコイルに電流を供給して、
そのコイルの両側で、該コイルと対応する着磁マグネッ
ト７３と逆向きの磁界を発生させると、前記反射ミラー
７４は、例えば図中の矢印ＳとＴの方向に左手の法則の
電磁作用によって逆向きの力が発生し、中心Ｄ１回りの
回転トルクを生じさせる。

【０００８】このようにして、前記電磁コイル７４の複
数のコイルに所定の電流を供給し、その複数のコイルに
発生する磁界と、前記着磁マグネット７３との電磁作用
によって、前記ヒンジ７７ａを中心に任意の方向に傾き
回動させることが可能となる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前述の特開平５−１２
６８６号公報においては、情報記録再生装置に用いる光
ピックアップのガルバノミラー装置は、５つの方向に駆
動する為の５個のコイルからなる電磁コイル７５の短辺
が反射ミラー７４とこの反射ミラー７４を固定するミラ
ー支持部７６の側面を取り囲む様に配置されている。

【００１０】さらに、前記電磁コイル７５の短辺の周囲
を多極着磁マグネツト７３が取り囲むように設けられて
いる。

【００１１】このため、前記ミラー支持部７６は、前記
反射ミラー７４の反射面の裏面側の端部の中心部分から
延在させ、かつ、ヒンジ７７ａを有した支持柱７７で支
持されている。

【００１２】これにより、前記ミラー支持部７６の回転
中心、すなわち、反射ミラー７４を傾けるときの回転中
心が前記ヒンジ７７ａとなる。一方、前記ミラー支持部
７６の重心は、反射ミラー７４と一体で傾く可動部の中
心付近に位置する図中Ｇで示す点となり、前記反射ミラ
ー７４の回転中心７７ａとが大きくずれてしまう。この
ミラー支持部７６の重心Ｇと回転中心７７ａとが大きく
ずれることにより、反射ミラー７４の回転駆動時に共振
が発生しやすく、回転駆動制御が劣化する。また、ガル
バノミラー装置の反射ミラー７４とハウジング７１の全
体形状が、前記反射ミラー７４の反射面に対して垂直方
向に大きくなる。

【００１３】情報記録再生装置の光ピックアップや光偏
光器の小型軽量化が望まれ、かつ、ガルバノミラー装置
による高精度の光束の傾き調整が求められているが、前
述の従来のガルバノミラー装置は、反射ミラー７４の反
射面に対する垂直方向の大きさが大きくなる課題があ
る。

【００１４】本発明は、上記課題に鑑み、ミラーの駆動
特性が良好で、全体形状が小型化可能で、かつ、搬送時
の衝撃に対して十分耐えられるガルバノミラー装置を提
供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明のガルバノミラー
装置は、少なくともミラーを有する可動部と、この可動
部を固定部材に対して第１の軸及び第2の軸回りに傾き
可能に支持する支持手段と、前記可動部を前記第1の軸
回りに駆動する第1の駆動手段と、前記第２の軸回りに
駆動する第２の駆動手段を有するガルバノミラーにおい
て、前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段は、前記第
1の軸に対して第1の軸を含む前記ミラーの反射面に垂直
な面の両側に配置すると共に、前記支持手段は前記ミラ
ーに対して前記第１の軸方向に配置されていることを特
徴とする。

【００１６】本発明のガルバノミラー装置の第１の駆動
手段３２は、表面が多極着磁されたマグネットを有する
ことを特徴とする。

【００１７】本発明のガルバノミラー装置は、前記第１
の駆動手段及び第2の駆動手段に兼用使用されるコイル
を有することを特徴とする。

【００１８】また、本発明のガルバノミラー装置は、前
記第１の駆動手段及び第2の駆動手段に兼用使用される
マグネツトを有することを特徴とする。

【００１９】さらに、本発明のガルバノミラー装置の第
１の駆動手段と第２の駆動手段は、前記可動部に静磁界
を供給するマグネットと、前記マグネットからの静磁界
に対して前記可動部を前記第１の軸回りと第２の軸回り
に傾き駆動させる電磁界を発生させる電磁コイルからな
ることを特徴とする。

【００２０】本発明のガルバノミラー装置は、前記可動
部に前記電磁コイルを配置し、前記固定部材に前記マグ
ネットを配置したことを特徴とする。

【００２１】本発明のガルバノミラー装置は、前記可動
部に前記マグネットを配置し、前記固定部材に前記電磁
コイルを配置したことを特徴とする。

【００２２】本発明のガルバノミラー装置の支持手段
は、弾性部材を用いて、前記可動部を第１と第２の軸回
りに傾き駆動させた際に、変形及び復元可能な形状に成
形された支持バネであることを特徴とする。

【００２３】本発明により、可動部の第１の軸方向と平
行に第１の軸回りと第２の軸回りに傾き駆動させる駆動
手段を設け、かつ、前記可動部の第１の軸方向に固定部
材に支持する支持手段を設けることが可能となり、可動
部の回転中心と重心とを容易に一致あるいは近づけるこ
とが可能となり、ガルバノミラー装置の小型が実現でき
る。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明の実施形
態を説明する。図１は本発明に係るガルバノミラー装置
の一実施形態の構成を説明する分解斜視図で、図２は本
発明に係るガルバノミラー装置の使用例を説明する説明
図で、図３は本発明に係るガルバノミラー装置の一実施
形態の組立状態を示す正面図で、図４は本発明に係るガ
ルバノミラー装置の一実施形態の組立状態を示す側面図
である。

【００２５】最初に図２を用いて、本発明に係るガルバ
ノミラー装置の使用例を光通信用の光路切替装置に適用
した例を用いて説明する。ガルバノミラー装置１１は、
一本の光ファイバー１３の端部から出射した光通信信号
伝送用の光を平行光レンズ１４で平行光１７に変換し
て、ガルバノミラー装置１１の反射ミラー１２の反射面
に投射させる。この反射ミラー１２は、図中第１の回転
軸２０と第２の回転軸２１の軸回りに傾き可能となって
いる。前記反射ミラー１２で反射された反射光１８は、
この反射光１８と略垂直な平面上に３段３列に並べた合
計９つの集光レンズ１５ａ〜１５ｉのいずれか一つに前
記反射ミラー１２の第１と第２の回転軸２０，２１回り
への傾き調整によって、選択的に入射させる。前記複数
の集光レンズ１５ａ〜１５ｉそれぞれには、光ファイバ
１６ａ〜１６ｉの端部が接続されている。

【００２６】つまり、前記光ファイバー１３から出射さ
れ平行レンズ１４で変換された平行光１７は、前記反射
ミラー１２で入射される。この反射ミラー１２は、第１
と第２の回転軸２０，２１回りに回転駆動させて、前記
集光レンズ１５ａ〜１５ｉのいずれかに反射光１８を入
射させるように選択する。選択された集光レンズ１５ａ
〜１５ｉのいずれかに入射された反射光１８は、選択さ
れた集光レンズ１５ａ〜１５ｉに接続された光ファイバ
ー１６ａ〜１６ｉへと伝送される。

【００２７】また、図２に示したガルバノミラー装置１
１を情報記録再生装置の光ピックアップに用いたとする
と、図示していないが、前記集光レンズ１５ａ〜１５ｉ
を単一の集光レンズとし、この単一の集光レンズに入射
させる光を反射ミラー１２を２方向に傾けることにより
光記録媒体上の集光レンズの光スポットをトラッキング
方向とタンジェンシャル方向に移動させることができ
る。この光記録媒体に投射する光が光記録媒体に形成さ
れている情報記録トラックに正確に投射させるために、
前記反射ミラー１２の第１回転軸２０と第２回転軸２１
回りに傾けて調整する。

【００２８】このような光通信の光路切替装置及び情報
記録再生装置の光ピックアップに用いる本発明のガルバ
ノミラー装置１１の具体的構成について図１、図３，及
び図４を用いて説明する。

【００２９】矩形状の反射ミラー１２は、可動部３０に
収納固定される。この可動部３０は、前記矩形状の反射
ミラー１２の外周面を収納固定する箱形状のミラー保持
部材３１、第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電
磁コイル３３ａ，３３ｂ、支持バネ３４ａ〜３４ｄから
構成されている。このミラー保持部材３１には、前記反
射ミラー１２を内面に図中第１と第２の回転軸２０，２
１と平行に収納配置されている。前記ミラー保持部材３
１の図中第１の回転軸２０と平行な左右両外側面には、
後述する第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２の電
磁コイル３３ａ，３３ｂが嵌合される凸部３１ａ，３１
ｂ，３１ｄ，３１ｅが設けられ、かつ、前記凸部３１
ａ，３１ｂの間には凹部３１ｃ、及び前記凸部３１ｄ，
３１ｅの間には凹部３１ｆが設けられている。なお、図
１には図の関係から凸部３１ｄ，３１ｅと凹部３１ｆな
図示していない。

【００３０】また、前記ミラー保持部材３１の前記第１
の回転軸２０方向の上側面には、形状が略Ｓ字状に成形
した一対の支持バネ３４ａ，３４ｂの一端が、下側面に
は同じ形状の一対の支持バネ３４ｃ，３４ｄの一端が植
設固定されている。これら各一対の支持バネ３４ａ、３
４ｂと３４ｃ，３４ｄは、弾性部材で形成され、前記可
動部３０に収納固定される反射ミラー１２の中心を基準
に均等位置に植設固定されている。

【００３１】前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂは、
前記可動部３０の両側面の凸部３１ａ，３１ｂ，３１
ｄ，３１ｅの外周に嵌合されるように巻回されたコイル
で、このコイルに供給する電流の向きと大きさに応じ
て、異なる方向と大きさの電磁界を発生する電磁コイル
である。第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂにより回転軸
２０の回りに回転トルクを生じさせ、そのトルクの中心
は回転軸２０上の点Ｄ１にある。

【００３２】前記第２の電磁コイル３３ａは、前記凸部
３１ａと３１ｂの外周にそれぞれ嵌合されるように巻回
され、かつ、巻線方向の異なるたコイル３３ｃ，３３ｄ
からなり、前記第２の電磁コイル３３ｂは、前記凸部３
１ｄ，３１ｅの外周にそれぞれ嵌合するように巻回さ
れ、かつ、巻線方向の異なるコイル３３ｅ，３３ｆから
なっている。前記凹部３１ｃには、前記第２の電磁コイ
ルのコイル３３ｃ，３３ｄが並設され、かつ、コイル３
３ｃ，３３ｄは直列接続されている。前記凹部３１ｆに
は、第２の電磁コイル３３ｂのコイル３３ｅ，３３ｆが
並設され、かつ、コイル３３ｅ、３３ｆは直列接続され
ている。これらコイル３３ｃ〜３３ｆに供給する電流の
向きと大きさに応じて、異なる方向と大きさの電磁界を
発生する電磁コイルである。第２の電磁コイル３３ａ，
３３ｂにより回転軸２１の回りに回転トルクを生じさ
せ、そのトルクの中心は回転軸２１上の点Ｄ１にある。

【００３３】つまり、前記反射ミラー１２を第１の回転
軸２０と第２の回転軸２１に対して平行で、かつ反射面
が図１に示すように図中垂直となるように前記ミラー保
持部材３１に収納固定される。なお、第１の電磁コイル
３２ａ，３２ｂ又は第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂの
発生するトルクの中心Ｄ１と反射ミラー１２、ミラー保
持部材３１，第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２
の電磁コイル３３ａ，３３ｂで構成される可動部３０の
重心Ｇは一致している。また、前記反射ミラー１２をミ
ラー保持部材３１に収納固定する。この反射ミラー１２
が収納固定されたミラー保持部材３１の両側面に前記第
１の電磁コイル３２ａ，３２ｂを嵌合固定し、さらに、
前記第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂを嵌合固定する。

【００３４】このようにミラー保持部材３１に前記反射
ミラー１２、前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，及
び前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂが取付固定さ
れ、かつ、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄが植設固定され
た可動部３０は、固定部材３５に前記支持バネ３４ａ〜
３４ｄを介して固定される。第１の電磁コイル３２ａ，
３２ｂに必要な４つの給電には、４本の支持バネ３４ａ
〜３４ｄを用いて給電する。

【００３５】前記固定部材３５は、全体形状が略コの字
状で、下面部３６と上面部３７との間で前記可動部３０
を支持する前記支持バネ３４ａ〜３４ｄの他端がそれぞ
れ植設固定されるようになっている。前記下面部３６と
上面部３７の両側面には、突堤３６ａ，３６ｂ，３７
ａ，３７ｂがそれぞれ設けられている。その突堤３６ａ
と３７ａとの間にはマグネット３８ａとヨーク３９ａ
が、前記突堤３６ｂと３７ｂの間にはマグネット３８ｂ
とヨーク３９ｂが嵌合固定されるようになっている。

【００３６】前記マグネット３８ａ，３８ｂは、図１に
示すように磁極面が２極着磁され異極が向かい合い、前
記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ及び第２の電磁コイ
ル３３ａ，３３ｂに対して静磁界を与えるものである。
前記ヨーク３９ａ，３９ｂは、前記マグネット３８ａ，
３８ｂの静磁界を固定部材３５の両側外部への漏洩を防
止する閉磁路部材である。

【００３７】前記固定部材３５に前記支持バネ３４ａ〜
３４ｄによって支持固定された前記可動部３０の前記第
１の電磁コイル３２ａ，３２ｂにある方向の電流を供給
すると、この第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂで発生す
る電磁界と前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との
左手の法則の電磁作用によって、図１の図中の矢印で示
す方向に力が発生し、前記可動部３０は、支持バネ３４
ａ〜３４ｄを変形させて第１の回転軸２０回りの図中反
時計方向に傾き、また、前記第１の電磁コイル３２ａ，
３２ｂへの供給電流の向きを変えると、図中の矢印と逆
方向の電磁作用による力が生じて、前記可動部３０は、
図中時計方向に傾く。

【００３８】一方、前記第２の電磁コイル３３ａ、３３
ｂにある方向のそれぞれの電流を供給すると、前記第２
の電磁コイル３３ａのコイル３３ｃ，３３ｄ及び第２の
電磁コイル３３ｂのコイル３３ｅ，３３ｆは、巻線方向
がそれぞれ異なるために、異なる向きの電磁界が発生す
る。これらの第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂのそれぞ
れのコイル３３ｃ〜３３ｆから生じる電磁界と前記マグ
ネット３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用によって、
図中の矢印で示すように異なる方向の力が発生し、前記
可動部３０は、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄを変形させ
て、前記第２の回転軸２１回りに図中時計方向に傾き、
前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂの供給電流の向き
を前述と異なる方向に代えると図中反時計方向に傾く。

【００３９】すなわち、前記第１の電磁コイル３２ａ，
３２ｂ、前記第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマ
グネット３８ａ，３８ｂは、第１の回転軸２０を含む反
射ミラー１２の反射面と垂直な平面２０ａに対して対称
に配置され、さらに、平面２０ａで区切られた空間の両
側で、前記平面２０ａを内部に含まないように配置され
ている。さらに、前記反射ミラー１２と可動部３０の第
２の回転軸２１に平行な方向の両側面（反射ミラー１２
の反射面と平行で第１の回転軸２０に垂直な方向）にの
み前記第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂ、第２の電磁コ
イル３３ａ，３３ｂ、及びマグネット３８ａ，３８ｂは
配置され、この第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂは、第
２の回転軸２１を含む反射ミラー１２の反射面に垂直な
平面２１ｂに対して対称に配置されているが、前記平面
２１ｂを内部に含まないように配置されている。

【００４０】このように配置された前記第１の電磁コイ
ル３２ａ，３２ｂと第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂに
供給する電流の向きと大きさによって生じる電磁界と、
前記マグネット３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用に
よって、前記可動部３０が第１の回転軸２０と第２の回
転軸２１回りの傾き角度と方向が調整制御可能となり、
この可動部３０に収納固定されている反射ミラー１２の
反射面の傾き角度と方向が調整制御される。

【００４１】さらに前記可動部３０は、固定部材３５に
対して、可動部３０の第１の回転軸２０方向に配置され
た支持バネ３４ａ〜３４ｄで支持可能となるため、ガル
バノミラー装置１１の全体形状を小型薄型に形成可能と
なる。

【００４２】また、前記支持バネ３４ａ〜３４ｄは、可
動部３０に対して第１の回転軸２０と平行方向な側面に
配置されているために、第１の回転軸２０と垂直な第２
の回転軸２１と平行な側面に配置されている。反射ミラ
ー１２の傾き駆動手段である第１の電磁コイル３２ａ，
３２ｂ、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂ、及びマグネ
ット３８ａ，３８ｂと、支持バネ３４ａ〜３４ｄを直交
する方向に分けて干渉しないように配置することができ
る。

【００４３】このため、可動部３０の重心Ｇを支持バネ
３４ａ〜３４ｄの支持中心（可動部３０を傾けた際の回
転中心）とを容易に一致させることができる。

【００４４】また、第１と第２の回転軸２０，２１に対
して前記第１と第２の電磁コイル３２ａ，３２ｂ，３３
ａ，３３ｂとマグネット３８ａ，３８ｂを完全に対称に
配置でき、前記第１と第２の電磁コイル３２ａ，３２
ｂ，３３ａ，３３ｂに発生する力によるトルクの中心Ｄ
１を第１と第２の回転軸２０，２１の可動部３０の重心
Ｇに完全に一致させることができるため、可動部３０の
駆動時の共振が発生しない。

【００４５】さらにまた、前記第１と第２の電磁コイル
３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂと支持バネ３４ａ〜３
４ｄとを反射ミラー１２の異なる側面に配置できるの
で、反射ミラー１２の反射面に垂直方向の寸法を小さく
できる。

【００４６】なお、図示していないが、マグネットを可
動部にコイルを固定部に配置した、所謂ムービングマグ
ネットにすることもできる。可動部３０は、前記ミラー
保持部材３１の両側面に設けた第１の電磁コイル３２
ａ，３２ｂと、第２の電磁コイル３３ａ，３３ｂに代え
て、前記固定部材３５に取付固定したマグネット３８
ａ，３８ｂを前記ミラー保持部材３１の両側面に取付固
定した構成とする。一方、前記固定部材３５の両側面の
突堤３６ａ，３６ｂと３７ａ、３７ｂの間に前記第１の
電磁コイル３２ａ，３２ｂと第２の電磁コイル３３ａ，
３３ｂを配置させる。この固定部材３５の両側面に設け
た第１の電磁コイル３２ａ，３２ｂと第２の電子コイル
３３ａ，３３ｂに供給する電流によって生じる電磁界
と、前記ミラー保持部材３１の両側面に設けたマグネッ
ト３８ａ，３８ｂの静磁界との電磁作用によって、前記
可動部３０を前記第１の回転軸２０回り、前記第２の回
転軸２１回りに傾き制御することも可能である。

【００４７】次に図５と図６を用いて本発明に係るガル
バノミラー装置の他の実施形態を説明する。図５は、本
発明の他の実施形態の全体構成を説明する斜視図で、図
６は、本発明の他の実施形態の動作を説明する説明図で
ある。なお、図１乃至図４と同一部分は同一符号を付し
て詳細説明は省略する。

【００４８】本発明の他の実施形態の可動部３０’は、
前記反射ミラー１２の収納固定の形状及び固定方法は前
記可動部３０と同じであるが、この可動部３０’の第１
の回転軸２０と平行な反射ミラー１２の反射面と垂直方
向の両側面にそれぞれ２個の電磁コイル５１ａ，５１ｂ
と５２ａ，５２ｂが配置されている。この電磁コイル５
１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂが配置された可動部３
０’は、前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７に
支持バネ５３ａ〜５３ｄで取付支持されている。

【００４９】この支持バネ５３ａ〜５３ｄは、弾性部材
を用いて略Ω形状に形成され、基端は前記可動部３０’
に、他端は前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７
に植設固定されている。

【００５０】前記可動部３０’の電磁コイル５１ａ、５
１ｂと平行して２極着磁された２つのマグネット５４
ａ，５４ｂを接合した静磁界マグネット５４と、電磁コ
イル５２ａ，５２ｂと平行して２極着磁された２つのマ
グネット５５ａ，５５ｂを接合した静磁界マグネット５
５が、前記固定部材３５の下面部３６と上面部３７との
間に取付固定されている。つまり、前記静磁界マグネッ
ト５４，５５は、前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２
ａ，５２ｂに静磁界を供給するように配置されている。

【００５１】前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，
５２ｂには、電磁界発生用電流がそれぞれ個別に供給さ
れるようになっている。

【００５２】このような構成のガルバノミラー装置の動
作について、図６を併用して説明する。前記電磁コイル
５１ａ，５１ｂには、前記静磁界マグネット５４、５５
からの静磁界に対して、前記可動部３０’が電磁作用に
よって図６（ａ）の図中Ｎ方向に力が発生する電磁界を
生じさせる電流を供給し、前記電磁コイル５２ａ，５２
ｂには、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界
に対して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６
（ａ）の図中Ｌ方向に力が発生する電流を供給すると、
前記可動部３０’は第１の回転軸２０を中心として、図
中半時計方向に傾き回転する。また、前記電磁コイル５
１ａ，５１ｂと５２ａ、５２ｂへの供給電流の向きを代
えると、前記可動部３０’は、第１の回転軸２０を中心
に図中時計方向に傾き回転する。

【００５３】次に、前記電磁コイル５１ａと５２ａに
は、前記静磁界マグネット５４、５５からの静磁界に対
して、前記可動部３０’が電磁作用によって図６（ｂ）
の図中Ｌ方向に力が発生する電磁界を生じさせる電流を
供給し、前記電磁コイル５１ｂと５２ｂには、前記静磁
界マグネット５４、５５からの静磁界に対して、前記可
動部３０’が電磁作用によって図６（ｂ）の図中Ｎ方向
に力が発生する電磁界を生じさせる電流を供給すると、
前記可動部３０’は第２の回転軸２１を中心として、図
中半時計方向に傾き回転する。また、前記電磁コイル５
１ａ、５２ａ，及び５１ｂ，５２ｂへの供給電流の向き
を代えると、前記可動部３０’は、第２の回転軸２１を
中心に図中時計方向に傾き回転する。

【００５４】つまり、前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと
５２ａ，５２ｂの供給電流の向きと値を制御調整するこ
とにより、発生する電磁界の向きと大きさが制御でき、
この電磁界と前記静磁界マグネット５４，５５からの静
磁界によって、前記可動部３０’を第１の回転軸２０と
第２の回転軸２１回りに傾き制御可能となる。

【００５５】これにより、前述の本発明の一実施形態に
比して、前記可動部３０’に設ける電磁コイル数が削減
でき、小型軽量化が一層可能となる。

【００５６】なお、この本発明の他の実施形態におい
て、電磁コイル５１ａ，５１ｄと５２ａ，５２ｂ，５２
を可動部３０’に取付固定し、この電磁コイル５１ａ，
５１ｂと５２ａ，５２ｂに対して、固定部材３５に取付
固定された静磁界マグネット５４，５５から静磁界を与
えている。しかし、図示していないが、前記可動部３
０’に前記静磁界マグネット５４，５５を取付固定し、
前記固定部材３５に前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５
２ａ，５２ｂを取付固定して、固定部材３５に取付固定
した電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂからの
電磁界と可動部３０’に取り付けた静磁界マグネット５
４，５５の静磁界との電磁作用で、可動部３０’の傾き
制御も可能である。

【００５７】本発明の実施形態において、４つの電磁コ
イル５１ａ，５１ｂ，５２ａ，５２ｂへは、それぞれ独
立な電流を流す必要がある。合計８本の給電ラインが必
要となる。このために４本の支持バネ５３ａ〜５３ｄは
ベリリウム銅箔とし、その両面にポリイミドの絶縁層
と、さらにその上に銅のパターンを形成し合計８本の給
電ラインを得ている。前記電磁コイル５１ａ，５１ｂと
５２ａ，５２ｂの電流供給路は、前記４本の支持バネ５
３ａ〜５３ｄの両表面に絶縁層を設け、その絶縁層に前
記電磁コイル５１ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂのコイル
端が接続される１つの導電層を積層形成させて、支持バ
ネ５３ａ〜５３ｄの素材と導電層に前記電磁コイル５１
ａ，５１ｂと５２ａ，５２ｂのコイル端を接続させる。

【００５８】具体的には、例えば、前記支持バネ５３ａ
の導電弾性部材の表面をポリイミド等で絶縁層を形成
し、その絶縁層の上に銅箔のメッキ又は印刷で導電層を
形成させ、前記支持バネ５３ａの導電弾性部材に電磁コ
イル５２ａの一端を直接接続し、前記導電層に電磁コイ
ル５２ａの他端を接続する。

【００５９】これにより、電磁界発生電流供給用線路の
削減が可能となる。さらに、前記可動部３０’と固定部
材３５をそれぞれ非導電性の絶縁部材で形成することに
より、前記支持バネ５３ａ〜５３ｄ相互の接触と絶縁が
確保可能となる。また、このような給電は支持バネ３４
ａ〜３４ｄにも適用できる。

【００６０】また、本発明の他の実施形態の説明におい
て、前記支持バネ５３ａ〜５３ｄの形状は、略Ω字状と
したが、前述の本発明の一実施形態の支持バネ３４ａ〜
３４ｄの用に略Ｓ字状とすることも可能である。すなわ
ち、支持バネ３４ａ〜３４ｄ又は５３ａ〜５３ｄは、前
記可動部３０又は３０’を第１の回転軸２０方向で固定
部材３５に支持でき、かつ、前記可動部３０又は３０’
が第１の回転軸２０と第２の回転軸２１回りに傾き回転
した際に、変形復元可能な形状であれば良く、前述の形
状に限られるものではない。

【００６１】

【発明の効果】本発明のガルバノミラー装置は、反射ミ
ラーが取付固定された可動部を２方向に駆動させる駆動
手段を反射ミラーの一方の両側面に配置し、可動部の支
持部材を反射ミラーの他方の両側面に対向して配置させ
たことにより、可動部の重心と傾き中心を一致又は近づ
けることが容易となり、ガルバノミラーの小型化が可能
となる効果を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態
の構成を説明する分解斜視図。

【図２】本発明のガルバノミラー装置の使用例を説明す
る説明図。

【図３】本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態
の組立状態を示す正面図。

【図４】本発明に係るガルバノミラー装置の一実施形態
の組立状態を示す側面図。

【図５】本発明に係るガルバノミラー装置の他の実施形
態の構成を説明する斜視図。

【図６】本発明に係るガルバノミラー装置の他の実施形
態の動作を説明する説明図。

【図７】従来のガルバノミラー装置を説明する断面図。

【符号の説明】

１１…ガルバノミラー １２…反射ミラー ２０…第１の軸 ２１…第２の軸 ３０…可動部 ３１…ミラー保持部材 ３２…第１の電磁コイル ３３…第２の電磁コイル ３４…支持バネ ３５…固定部材 ３６…下面部 ３７…上面部 ３８…マグネット

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくともミラーを有する可動部と、この
   可動部を固定部材に対して第１の軸及び第2の軸回りに
   傾き可能に支持する支持手段と、前記可動部を前記第1
   の軸回りに駆動する第1の駆動手段と、前記第２の軸回
   りに駆動する第２の駆動手段を有するガルバノミラーに
   おいて、 前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段は、前記第1の
   軸に対して第1の軸を含む前記ミラーの反射面に垂直な
   面の両側に配置すると共に、前記支持手段は前記ミラー
   に対して前記第１の軸方向に配置されていることを特徴
   とするガルバノミラー装置。
2. 【請求項２】前記第１の駆動手段は、表面が多極着磁さ
   れたマグネットを有することを特徴とする請求項１記載
   のガルバノミラー装置。
3. 【請求項３】前記第１の駆動手段及び第2の駆動手段に
   兼用使用されるコイルを有することを特徴とする請求項
   １記載のガルバノミラー装置。
4. 【請求項４】前記第１の駆動手段及び第2の駆動手段に
   兼用使用されるマグネットを有することを特徴とする請
   求項１記載のガルバノミラー装置。
5. 【請求項５】前記第１の駆動手段と第２の駆動手段は、
   前記可動部に静磁界を供給するマグネットと、前記マグ
   ネットからの静磁界に対して前記可動部を前記第１の軸
   回りと第２の軸回りに傾き駆動させる電磁界を発生させ
   る電磁コイルからなることを特徴とする請求項１記載の
   ガルバノミラー装置。
6. 【請求項６】前記可動部に前記電磁コイルを配置し、前
   記固定部材に前記マグネットを配置したことを特徴とす
   る請求項５記載のガルバノミラー装置。
7. 【請求項７】前記可動部に前記マグネットを配置し、前
   記固定部材に前記電磁コイルを配置したことを特徴とす
   る請求項５記載のガルバノミラー装置。
8. 【請求項８】前記支持手段は、弾性部材を用いて、前記
   可動部を第１と第２の軸回りに傾き駆動させた際に、変
   形及び復元可能な形状に成形された支持バネであること
   を特徴とする請求項１乃至７記載のガルバノミラー装
   置。