JP2002258200A

JP2002258200A - 偏向走査装置

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Publication number: JP2002258200A
Application number: JP2001053612A
Authority: JP
Inventors: Mikio Nakasugi; 幹夫中杉; Kazumi Sato; 一身佐藤; Akihiro Fukutomi; 章宏福冨; Tadashi Arai; 忠新井; Hajime Mori; 源森; Shinya Kumagai; 真也熊谷
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-02-28
Filing date: 2001-02-28
Publication date: 2002-09-11
Anticipated expiration: 2021-02-28
Also published as: JP4474064B2

Abstract

(57)【要約】【課題】空気溜りの容積を決定する誤差要因を少なく
して、軸受の構成部材の加工および取り付けの容易化を
図るとともに、安定して回転軸の振動を抑制し得る信頼
性の高い偏向走査装置を提供する。【解決手段】貫通孔を有するモータハウジング１と、
その貫通孔に固定された固定スリーブ２と、固定スリー
ブ２に回転自在に嵌合された回転軸３と、回転軸を磁気
力によって軸方向に浮揚させる第１，第２の永久磁石１
４，１５と、固定スリーブ２の下方を密閉して空気溜り
１６を形成するスラストカバー１７とを備え、回転軸３
に取り付けた回転多面鏡７で光ビームを偏向走査する偏
向走査装置において、固定スリーブ２およびスラストカ
バー１７をともにモータハウジング１の貫通孔内に突設
された突条部１９で軸方向に位置決めして固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸に取り付け
た回転鏡で光ビームを偏向走査する偏向走査装置に関
し、特にその回転軸を動圧軸受によって支持する機構を
有するものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の偏向走査装置は、た
とえば、レーザビームプリンタ・複写機・ファクシミリ
等の電子写真方式の画像形成装置に広く利用されてい
る。

【０００３】近年、この種の偏向走査装置では、回転多
面鏡を高速かつ高精度に回転させることが要求されてお
り、特にレーザビームプリンタ等では、この要求を満た
すために非接触で回転する動圧空気軸受が用いられてい
る。

【０００４】図５は特開平１１−１４９２９に記載され
ている動圧空気軸受を有する偏向走査装置を示す図であ
る。同図において、回転多面鏡１０１を固定支持した回
転軸１０２が、ハウジング１０３に固定された固定スリ
ーブ１０４に回転自在に嵌合されている。回転軸１０２
と固定スリーブ１０４との間には数μｍの隙間が設けら
れ、回転軸１０２のラジアル方向を支持するための動圧
空気軸受が構成されている。

【０００５】回転軸１０２の下端面には第１の永久磁石
１０５が固定され、固定スリーブ１０４の下端面には第
２の永久磁石１０６が固定されている。第１、第２の永
久磁石１０５，１０６は磁気的な吸引力を生じるように
配置され、回転軸１０２のスラスト方向を浮揚支持する
ための磁気スラスト軸受が構成されている。

【０００６】しかし、回転軸１０２が磁気的な吸引力に
よって浮揚支持されているだけでは、外部から回転軸１
０２に振動等が加わった場合に回転軸１０２の振動の振
幅が大きくなったり、減衰時間が長くなったりする。こ
のような回転軸１０２の振動の振幅を小さくしたり、減
衰時間を短縮するために、第１の永久磁石１０５の下方
に空気溜り１０７が設けられているとともに、この空気
溜り１０７を密封するためのカバー１０８が第２の永久
磁石１０６の下端面に固定されている。

【０００７】なお、回転軸１０２の上部には支持部材１
０９が固定されており、この支持部材１０９の側面には
駆動マグネット１１０が固定されている。上記の回転多
面鏡１０１は支持部材１０９の上面に取り付けられ、板
ばね１１１、押え板１１２、Ｃリング１１３によって固
定されている。また、ハウジング１０３の上面には基板
１１４が固定されており、基板１１４にはコイル１１５
とコア１１６などによって構成されるステータが駆動マ
グネット１１０に対向するように配置され、駆動モータ
が構成されている。そして、回転多面鏡１０１と駆動マ
グネット１１０には図示しない重りが載置され、回転体
全体のバランスが取られている。

【０００８】このような偏向走査装置においては、回転
軸１０２と固定スリーブ１０４の間の隙間が数μｍと極
めて狭くされているとともに、空気溜り１０７が密封さ
れているために、回転軸１０２が上下動しても空気溜り
１０７の圧力が変化して回転軸１０２の振動を減衰させ
る作用、即ちエアダンパの役割を担っている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
ような従来技術においては、第１，第２の永久磁石１０
５，１０６の加工精度や、第１の永久磁石１０５やカバ
ー１０８の取り付け精度によっては、空気溜り１０７の
容積が大きくなってしまう場合があり、回転軸１０２が
上下動しても空気溜り１０７の圧力変化が小さく回転軸
１０２の振動を減衰させるエアダンパ効果が充分に作用
せず、回転軸１０２を含む回転体が固定部材に衝突した
りして、精度を劣化させたり破損させたりして、信頼性
を低下させることがある。

【００１０】また、カバー１０８を第２の永久磁石１０
６に直接接着する構成をとっているため、接着時に未硬
化の接着剤が空気溜り１０７に入り込んでしまうおそれ
があった。万一、未硬化の接着剤がラジアル方向を支持
するための動圧空気軸受まで到達してしまうと、軸受そ
のものの作動に影響を及ぼすことがある。

【００１１】本発明は上記の従来技術の課題を解決する
ためになされたもので、その目的とするところは、空気
溜りの容積を決定する誤差要因を少なくして、軸受の構
成部材の加工および取り付けの容易化を図るとともに、
安定して回転軸の振動を抑制し得る信頼性の高い偏向走
査装置を提供することにある。

【００１２】さらに、本発明の第２の目的は、蓋部材を
固定するための接着剤が空気溜りまたは軸受に侵入する
ことを防いで、軸受の作動の信頼性を向上することにあ
る。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明にあっては、貫通孔を有するハウジングと、該
ハウジングの貫通孔に固定された固定スリーブと、該固
定スリーブに回転自在に嵌合された回転軸と、該回転軸
を磁気力によって軸方向に浮揚させる浮揚手段と、前記
回転軸の下方に密閉された空気溜りを形成する蓋部材
と、を備え、前記回転軸に取り付けた回転鏡で光ビーム
を偏向走査する偏向走査装置において、前記固定スリー
ブおよび前記蓋部材はともに前記ハウジングによって軸
方向に位置決めされて固定されることを特徴とする。

【００１４】この構成によれば、固定スリーブと蓋部材
とがハウジングによって軸方向に位置決めされるため、
両部材の間に形成される空気溜りの容積を決定する誤差
要因を少なくすることができる。

【００１５】前記ハウジングは、前記貫通孔の周面に突
条部を有し、該突条部の上面に前記固定スリーブの下端
を当接させ、かつ、同突条部の下面に前記蓋部材の上端
を当接させて、該固定スリーブおよび該蓋部材を軸方向
に位置決めするとよい。

【００１６】ハウジングの突条部の軸方向の厚み（突条
部の上面と下面との間の寸法）によって空気溜りの容積
が決定されることになるので、厳密な寸法精度が要求さ
れるのはこの突条部の軸方向の厚みだけで足りる。な
お、加工容易性および取り付け安定性を考慮すれば、突
条部はハウジングの貫通孔の周面に全周的に設けられて
いることが好ましい。

【００１７】前記蓋部材の外周面と前記ハウジングの貫
通孔の周面とを接着して該蓋部材を固定するとよい。

【００１８】このように接着すれば、蓋部材と貫通孔の
間の接着面に未硬化の接着剤が残留していたとしても、
蓋部材の上端がハウジングの突条部の下面に当接してい
るため、接着材が軸受まで侵入することが阻まれる。

【００１９】前記蓋部材は嫌気性紫外線硬化型の接着剤
で接着されることが好ましい。

【００２０】前記浮揚手段は、前記回転軸の下端に固定
された第１の永久磁石と、前記固定スリーブの下端に該
第１の永久磁石と対向して固定された第２の永久磁石
と、を有してなるとよい。

【００２１】前記第２の永久磁石の軸方向の厚みは、前
記固定スリーブの下端と前記蓋部材との間隔以下である
とよい。

【００２２】前記蓋部材は、前記空気溜りに突出する突
出部を有するとよい。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下に図面を参照して、この発明
の好適な実施の形態を例示的に詳しく説明する。ただ
し、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、
材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載が
ない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣
旨のものではない。

【００２４】（第１の実施の形態）まず、図３を参照し
て、本発明の第１の実施の形態に係る偏向走査装置の全
体構成について説明する。

【００２５】図３は本実施の形態の偏向走査装置を模式
的に示した平面図である。同図において、偏向走査装置
は、レーザ光等の光ビーム（光束）を発生する光源５１
と、その光ビームを回転多面鏡７の反射面に線状に集光
させるシリンドリカルレンズ５１ａとを有し、光ビーム
を回転多面鏡７の回転によって偏向走査し、結像光学系
である結像レンズ系５２および折り返しミラー５３を経
て回転ドラム上の感光体５４の結像面に結像させる。結
像レンズ系５２は球面レンズ５２ａ、トーリックレンズ
５２ｂ等を有し、感光体５４に結像する点像の走査速度
等を補正するｆθ機能を有する。

【００２６】不図示のモータによって回転多面鏡７が矢
印Ａの方向へ回転すると、その反射面は、回転多面鏡７
の軸線まわりに等速で回転する。前述のように光源５１
から発生され、シリンドリカルレンズ５１ａによって集
光される光ビームの光路と回転多面鏡７の反射面の法線
とがなす角、すなわち該反射面に対する光ビームの入射
角は、回転多面鏡７の回転とともに経時的に変化し、同
様に反射角も変化するため、感光体５４上で光ビームが
集光されてできる点像は回転ドラムの軸方向（主走査方
向）に移動（走査）する。

【００２７】結像レンズ系５２は、回転多面鏡７におい
て反射された光ビームを感光体５４上で所定のスポット
形状の点像に集光するとともに、その点像の主走査方向
への走査速度を等速に保つように設計されたものであ
る。

【００２８】感光体５４に結像する点像は、回転多面鏡
７の回転による主走査と、感光体５４を有する回転ドラ
ムがその軸まわりに回転することによる副走査に伴っ
て、静電潜像を形成する。

【００２９】感光体５４の周辺には、感光体５４の表面
を一様に帯電するための帯電装置、感光体５４の表面に
形成された静電潜像をトナー像に顕像化するための現像
装置、トナー像を記録紙に転写する転写装置（いずれも
不図示）等が配置されており、光源５１から発生する光
ビームによる記録情報が記録紙等にプリントされる。

【００３０】検出ミラー５５は、感光体５４の表面にお
ける記録情報の書き込み開始位置に入射する光ビームの
光路よりも主走査方向上流において光ビームを反射し
て、レンズ５６ａを経てフォトダイオード等を有する受
光素子５６ｂの受光面に導入する。受光素子５６ｂはそ
の受光面が前記光ビームによって照射されたときに、走
査開始位置（書き出し位置）を検出するための走査開始
信号を出力する。

【００３１】光源５１は、ホストコンピュータからの情
報を処理する処理回路５７から与えられる信号に対応し
た光ビームを発生する。光源５１に与えられる信号は、
感光体５４に書き込むべき情報に対応しており、処理回
路５７は、感光体５４の表面において結像する点像が作
る軌跡である一走査線に対応する情報を表す信号を一単
位として光源５１に与える。この情報信号は、受光素子
５６ｂからライン５６ｃを経て与えられる走査開始信号
に同期して送信される。

【００３２】なお、回転多面鏡７、結像レンズ系５２等
は光学箱５０に収容され、光源５１等は光学箱５０の側
壁に取り付けられる。光学箱５０に回転多面鏡７、結像
レンズ系５２等を組み付けたうえで、光学箱５０の上部
開口部に図示しないフタを装着する。

【００３３】続いて、本実施の形態に係る偏向走査装置
の回転多面鏡の軸受部の構成について、図１と図２を参
照しながら詳細に説明する。

【００３４】図１は本実施の形態に係る偏向走査装置の
軸受部の構成を示す半断面図であり、図２は図１の要部
を示す断面図である。

【００３５】図１に示すように、モータハウジング１の
貫通孔に例えばセラミック材料からなる固定スリーブ２
が固定されている。モータハウジング１の貫通孔の周面
には、軸方向の断面形状が略矩形状を呈する突条部１９
が全周的に設けられており、固定スリーブ２は下端面の
一部をその突条部１９の上面に当接させることにより軸
方向に位置決めされている。

【００３６】この固定スリーブ２には例えばセラミック
材料からなる回転軸３が回転自在に嵌合されている。固
定スリーブ２と回転軸３との間には数μｍの隙間が設け
られ、回転軸３のラジアル方向を支持するための動圧空
気軸受が構成されている。そして、回転軸３の下方には
回転軸３のスラスト方向を支持するための後述の磁気ス
ラスト軸受が構成されている。

【００３７】回転軸３の上部には、例えば金属製の支持
部材４が焼嵌め等により固定されており、この支持部材
４の下部には金属製のロータ５がかしめ等により固定さ
れ、このロータ５の内周面には駆動マグネット６が取り
付けられている。

【００３８】支持部材４には回転多面鏡７が嵌め込ま
れ、回転多面鏡７の上面には板ばね８、押え板９及びＣ
リング１０が順次に配置され、Ｃリング１０が支持部材
４に取り付けられることにより、回転多面鏡７が支持部
材４に固定されている。

【００３９】そして、モータハウジング１の上面には基
板１１が固定されており、基板１１の上面にはコイル１
２とコア１３等によって構成されるステータが駆動マグ
ネット６に対向するように配置され、駆動モータが構成
される。

【００４０】回転軸３の下端面には第１の永久磁石１４
が接着等により固定されている。固定スリーブ２の下端
面には第２の永久磁石１５が接着等により固定されてい
る。浮揚手段としての第１，第２の永久磁石１４，１５
は相互に磁気的な力によって軸方向に中立点で釣り合う
ように配置され、回転軸３のスラスト方向を浮揚支持す
る磁気スラスト軸受が構成されている。

【００４１】そして、モータハウジング１の貫通孔の下
端部には、蓋部材としてのスラストカバー１７が取り付
けられ、回転軸３および固定スリーブ２（第１の永久磁
石４）の下方に空気溜り１６を形成している。このとき
スラストカバー１７は、その上面をモータハウジング１
の突条部１９の下面に当接させることによって位置決め
され固定されている。

【００４２】スラストカバー１７はモータハウジング１
の貫通孔を完全に密閉しており、また、固定スリーブ２
と回転軸３との隙間は数μｍに設定されているので、空
気溜り１６は充分に密封されていると言える。

【００４３】なお、このとき、回転軸３が押し下げられ
てスラストカバー１７に衝突すると、回転軸３とスラス
トカバー１７が損傷して密封性が保たれなくなることも
あるため、それらが衝突しないように構成する必要があ
る。

【００４４】ここで、前述したように固定スリーブ２と
スラストカバー１７はモータハウジング１に軸方向に位
置決めされて固定されるため、固定スリーブ２とスラス
トカバー１７との間隔はモータハウジング１の突条部１
９の軸方向の厚みＬによって決定することができる。

【００４５】そして、固定スリーブ２の下端面に固定さ
れる第２の永久磁石１５の厚みｔをＬ≧ｔの関係、即ち
Ｌはｔと同等または僅かに小さい関係とすることによ
り、スラストカバー１７をモータハウジング１に密着さ
せて固定することができる。

【００４６】スラストカバー１７の固定は、スラストカ
バー１７の外周面に嫌気性紫外線硬化型の接着剤１８を
塗布し、モータハウジング１の突条部１９に密着させた
後に、紫外線を照射することによって接着剤１８を硬化
させることにより行われる。

【００４７】このようにスラストカバー１７の上面を突
条部１９に密着させるとともに、スラストカバー１７の
外周面を接着面とすることによって、接着剤１８の軸受
への侵入を防止することができる。

【００４８】さらに、図示のように第２の永久磁石１５
の厚みｔを突条部１９の軸方向の厚みＬよりも僅かに小
さく設定して、第２の永久磁石１５とスラストカバー１
７との間に間隙を設ければ、スラストカバー１７の接着
時に未硬化の接着剤が内側に入り込んだ場合であって
も、その接着剤を間隙内に留めて硬化させることがで
き、接着剤の軸受への侵入をより確実に防止することが
可能となる。

【００４９】このように第１の実施の形態では、固定ス
リーブ２とスラストカバー１７の距離をモータハウジン
グ１の突条部１９の寸法精度だけで決定できるので、空
気溜り１６の容積を決める誤差要因を少なくすることが
でき、回転軸３が上下動した時の空気溜り１６の圧力変
化による回転軸３の振動を抑制させるエアダンパ効果を
より確実に得ることができる。

【００５０】また、未硬化の接着剤が存在してもスラス
トカバー１７とモータハウジング１または第２の永久磁
石１５との間で硬化する可能性が高く、仮にここで硬化
しなくても、ラジアル方向を支持するための動圧空気軸
受を形成する固定スリーブ２と回転軸３との間にまで到
達する可能性はほとんど無くすことができる。したがっ
て、回転軸の振動を抑制し得る信頼性の高い偏向走査装
置とすることができる。

【００５１】（第２の実施の形態）図４には、本発明の
第２の実施の形態が示されている。上記第１の実施の形
態では、蓋部材たるスラストカバーを平らな円盤状部材
にて構成したが、本実施の形態では、スラストカバーに
段差を設けて空気溜りに突出する突出部を形成してい
る。

【００５２】図４は第２の実施の形態に係る偏向走査装
置の軸受部の構成を示す半断面図である。上記第１の実
施の形態と同一の構成部分については同一の符号を付し
て、その説明は省略する。

【００５３】同図４において、スラストカバー２７には
回転軸３と同心的に段差部２７ａが設けられ、その段差
部２７ａの外周側は空気溜り２６に突出する突出部２７
ｂとなっている。この段差部２７ａの直径Ｄは回転軸３
の下端に固定された第１の永久磁石１４の外径ｄより僅
かに大きくなっている（Ｄ＞ｄ）。

【００５４】また、段差部２７ａの内周側は突出部２７
ｂに比べ相対的に凹んだ凹部２７ｃとなっており、その
深さは、回転軸３の下端面に固定された第１の永久磁石
１４の下端面が最下支点に達した時でも、僅かに隙間が
形成されるように設定される。本実施の形態において
は、支持部材４の下端面と固定スリーブ２の上端面との
距離Ｓが最も接近して配置されているため、第１の永久
磁石１４とスラストカバー２７の凹部２７ｃの上面との
距離Ｋが、Ｋ＞Ｓの関係となるように設定される。すな
わち、凹部２７ｃは、回転軸３および第１の永久磁石１
４の上下動の範囲から待避するように形成されている。

【００５５】第１の実施の形態と同様に、スラストカバ
ー２７はその上面をモータハウジング１の突条部１９下
面に当接させて位置決めされ、スラストカバー２７の外
周部に嫌気性紫外線硬化型の接着剤２８を塗布し紫外線
を照射することにより固定される。

【００５６】本実施の形態によれば、スラストカバー２
７の一部を空気溜り２６側に突出させたことで、その突
出分だけ空気溜り２６の容積を小さくできるので、空気
溜り２６の圧力変化が大きくなり、第１の実施の形態の
ようにフラットな形状のスラストカバーを設けた場合に
比べて、良好なエアダンパ効果を得ることができる。

【００５７】また、回転軸３が最下支点まで押し下げら
れてもスラストカバー２７に回転部材が衝突することが
ないので、精度の劣化や破損のおそれのない信頼性の高
い偏向走査装置を実現できる。また、第１，第２の永久
磁石１４，１５を空気溜りの容積を増やすことなく、最
適な大きさを選択することができるなど、設計の自由度
をあげることも可能となる。

【００５８】なお、本実施の形態では、スラストカバー
２７の外周側に突出部２７ｂを、内周側に凹部２７ｃを
設けた構成としたが、回転軸３の最下支点が比較的上方
にあり、スラストカバーと干渉しないのであれば、スラ
ストカバーの内周側に突出部を設けてもよい。その場合
も空気溜りの容積を小さくしてエアダンパ効果を高める
ことができる。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定スリーブと蓋部材の軸方向の位置をハウジングによ
って位置決めすることにより、両部材の間に形成される
空気溜りの容積を決定する誤差要因を少なくすることが
できるので、軸受の構成部材の加工および取り付けが容
易になるとともに、エアダンパ効果の安定化を図り、偏
向走査装置の信頼性を向上させることが可能となる。

【００６０】さらに、ハウジングの貫通孔の周面に設け
られた突条部によって固定スリーブと蓋部材を位置決め
する構成とすれば、その突条部の軸方向の厚みによって
空気溜りの容積が決定されることになるので、厳密な寸
法精度が要求されるのはこの突条部の軸方向の厚みだけ
で足り、加工および取り付けを一層容易化することが可
能となる。

【００６１】そして、蓋部材の外周面を接着面とするこ
とによって、未硬化の接着剤が軸受まで侵入することを
防止することができ、軸受の作動の信頼性を向上させる
ことが可能となる。

【００６２】また、空気溜りに突出する突出部を蓋部材
に設けることによって、空気溜りの容積を小さくしてエ
アダンパ効果を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る偏向走査装置
の軸受部の構成を示す半断面図である。

【図２】図１の要部を示す断面図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態に係る偏向走査装置
を模式的に示した平面図である。

【図４】本発明の第２の実施の形態に係る偏向走査装置
の軸受部の構成を示す半断面図である。

【図５】従来の偏向走査装置の軸受部の構成を示す半断
面図である。

【符号の説明】

１モータハウジング２固定スリーブ３回転軸４支持部材５ロータ６駆動マグネット７回転多面鏡８板ばね９押え板１０Ｃリング１１基板１２コイル１３コア１４第１の永久磁石１５第２の永久磁石１６空気溜り１７スラストカバー１８接着剤１９突条部２６空気溜り２７スラストカバー２７ａ段差部２７ｂ突出部２７ｃ凹部２８接着剤５０光学箱５１光源５１ａシリンドリカルレンズ５２結像レンズ系５２ａ球面レンズ５２ｂトーリックレンズ５３折り返しミラーミラー５４感光体５５検出ミラー５６ａレンズ５６ｂ受光素子５６ｃライン５７処理回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者福冨章宏東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者新井忠埼玉県秩父市大字下影森1248番地キヤノン電子株式会社内 (72)発明者森源埼玉県秩父市大字下影森1248番地キヤノン電子株式会社内 (72)発明者熊谷真也埼玉県秩父市大字下影森1248番地キヤノン電子株式会社内Ｆターム(参考） 2C362 BA08 BA10 DA17 2H045 AA24 AA28 5H605 AA04 AA08 BB05 BB19 CC01 CC02 CC04 CC05 DD03 EB03 EB06 5H607 AA04 BB01 BB14 BB17 CC01 CC05 DD01 DD02 DD03 DD08 DD09 DD16 FF12 GG01 GG02 GG03 GG12 GG14 GG19 JJ04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】貫通孔を有するハウジングと、該ハウジングの貫通孔に固定された固定スリーブと、該固定スリーブに回転自在に嵌合された回転軸と、該回転軸を磁気力によって軸方向に浮揚させる浮揚手段
と、前記回転軸の下方に密閉された空気溜りを形成する蓋部
材と、を備え、前記回転軸に取り付けた回転鏡で光ビームを偏向走査す
る偏向走査装置において、前記固定スリーブおよび前記蓋部材はともに前記ハウジ
ングによって軸方向に位置決めされて固定されることを
特徴とする偏向走査装置。
【請求項２】前記ハウジングは、前記貫通孔の周面に突条部を有し、該突条部の上面に前記固定スリーブの下端を当接させ、
かつ、同突条部の下面に前記蓋部材の上端を当接させ
て、該固定スリーブおよび該蓋部材を軸方向に位置決め
することを特徴とする請求項１に記載の偏向走査装置。
【請求項３】前記蓋部材の外周面と前記ハウジングの貫
通孔の周面とを接着して該蓋部材を固定することを特徴
とする請求項２に記載の偏向走査装置。
【請求項４】前記蓋部材は嫌気性紫外線硬化型の接着剤
で接着されることを特徴とする請求項３に記載の偏向走
査装置。
【請求項５】前記浮揚手段は、前記回転軸の下端に固定された第１の永久磁石と、前記固定スリーブの下端に該第１の永久磁石と対向して
固定された第２の永久磁石と、を有してなることを特徴
とする請求項１〜４のうちいずれか１項に記載の偏向走
査装置。
【請求項６】前記第２の永久磁石の軸方向の厚みは、前
記固定スリーブの下端と前記蓋部材との間隔以下である
ことを特徴とする請求項５に記載の偏向走査装置。
【請求項７】前記蓋部材は、前記空気溜りに突出する突
出部を有することを特徴とする請求項１〜６のうちいず
れか１項に記載の偏向走査装置。