JP2003011048A - フィルム研磨装置 - Google Patents
フィルム研磨装置Info
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- JP2003011048A JP2003011048A JP2001197617A JP2001197617A JP2003011048A JP 2003011048 A JP2003011048 A JP 2003011048A JP 2001197617 A JP2001197617 A JP 2001197617A JP 2001197617 A JP2001197617 A JP 2001197617A JP 2003011048 A JP2003011048 A JP 2003011048A
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- JP
- Japan
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- film
- product
- outer diameter
- polishing
- diameter surface
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製品３の表面粗さと共にtp値も向上できるフ
ィルム研磨装置１を提供すること。 【解決手段】 フィルム研磨装置１は、製品３の外径面
に研磨フィルム２を所定の荷重で押し当てるフィルム押
圧手段を備えている。そのフィルム押圧手段は、弾性体
であるクッションプレート５にて鉄等の剛体から成るプ
レッシャプレート６を保持し、そのプレッシャプレート
６を介して研磨フィルム２を製品３の外径面に押し当て
ている。但し、プレッシャプレート６は、製品３の外径
面に対し円周方向の２点で当接し、その当接点で研磨フ
ィルム２を製品３の外径面に押し当てている。これによ
り、プレッシャプレート６の当接点にて製品３の外径面
が強制的に研磨加工されるので、前工程で研削加工され
た製品３の外径面を高精度に研磨でき、外径面の面粗さ
及びtp値を規格値まで向上させることができる。
ィルム研磨装置１を提供すること。 【解決手段】 フィルム研磨装置１は、製品３の外径面
に研磨フィルム２を所定の荷重で押し当てるフィルム押
圧手段を備えている。そのフィルム押圧手段は、弾性体
であるクッションプレート５にて鉄等の剛体から成るプ
レッシャプレート６を保持し、そのプレッシャプレート
６を介して研磨フィルム２を製品３の外径面に押し当て
ている。但し、プレッシャプレート６は、製品３の外径
面に対し円周方向の２点で当接し、その当接点で研磨フ
ィルム２を製品３の外径面に押し当てている。これによ
り、プレッシャプレート６の当接点にて製品３の外径面
が強制的に研磨加工されるので、前工程で研削加工され
た製品３の外径面を高精度に研磨でき、外径面の面粗さ
及びtp値を規格値まで向上させることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面に砥粒を塗布
した研磨フィルムにより製品の外径面を研磨するフィル
ム研磨装置に関する。
した研磨フィルムにより製品の外径面を研磨するフィル
ム研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、研削加工の後工程として、製
品の表面粗さを向上させる目的で研磨加工が行われてい
る。この研磨加工では、表面に砥粒を塗布した研磨フィ
ルムを使用して製品の表面（外径面）を研磨するフィル
ム研磨装置が公知であり、例えば、図４に示す様に、弾
性体から成るローラ100 にて研磨フィルム110 を製品12
0 の外径面に押し当てながら巻き取ると共に、製品120
を回転させて外径面を研磨するものである。
品の表面粗さを向上させる目的で研磨加工が行われてい
る。この研磨加工では、表面に砥粒を塗布した研磨フィ
ルムを使用して製品の表面（外径面）を研磨するフィル
ム研磨装置が公知であり、例えば、図４に示す様に、弾
性体から成るローラ100 にて研磨フィルム110 を製品12
0 の外径面に押し当てながら巻き取ると共に、製品120
を回転させて外径面を研磨するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のフィ
ルム研磨装置では、研磨フィルム110 を製品120 の外径
面に押圧しているローラ100 が弾性体であることから、
製品120 との間に研磨フィルム110 を挟み込んでいるロ
ーラ100 の表面が製品120 の形状に倣って変形するた
め、製品120 の表面粗さは向上できるが、前工程（研削
加工）で製品120 の表面に生じた大きなうねり（図５参
照）を解消できないという問題がある。その結果、表面
粗さと共に要求されるtp値（負荷長さ率）を向上させる
ことが困難であり、tp値不良が発生する。
ルム研磨装置では、研磨フィルム110 を製品120 の外径
面に押圧しているローラ100 が弾性体であることから、
製品120 との間に研磨フィルム110 を挟み込んでいるロ
ーラ100 の表面が製品120 の形状に倣って変形するた
め、製品120 の表面粗さは向上できるが、前工程（研削
加工）で製品120 の表面に生じた大きなうねり（図５参
照）を解消できないという問題がある。その結果、表面
粗さと共に要求されるtp値（負荷長さ率）を向上させる
ことが困難であり、tp値不良が発生する。
【０００４】なお、tp値とは、図６に示す様に、粗さ曲
線からその平均線の方向に基準長さ（Lm）だけ抜き取
り、この抜き取り部分の粗さ曲線を山頂線に平行な切断
レベルで切断した時に得られる切断長さの和（L1＋L2＋
…＋Ln）の基準長さ（Lm）に対する比を百分率で表した
数値である。本発明は、上記事情に基づいて成されたも
ので、その目的は、製品の表面粗さと共にtp値も向上で
きるフィルム研磨装置を提供することにある。
線からその平均線の方向に基準長さ（Lm）だけ抜き取
り、この抜き取り部分の粗さ曲線を山頂線に平行な切断
レベルで切断した時に得られる切断長さの和（L1＋L2＋
…＋Ln）の基準長さ（Lm）に対する比を百分率で表した
数値である。本発明は、上記事情に基づいて成されたも
ので、その目的は、製品の表面粗さと共にtp値も向上で
きるフィルム研磨装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】（請求項１の発明）本発
明のフィルム研磨装置は、表面に砥粒を塗布した研磨フ
ィルムと、円筒形あるいは円柱形を有する製品の外径面
に研磨フィルムを所定の荷重で押し当てるフィルム押圧
手段とを備え、このフィルム押圧手段により研磨フィル
ムを製品の外径面に押し当てながら製品を回転させて外
径面を研磨する。フィルム押圧手段は、製品の外径面に
研磨フィルムを押し当てる剛体のプレッシャプレートを
有し、このプレッシャプレートが弾性体を介して支持さ
れ、且つ製品の外径面との間に研磨フィルムを円周方向
の２点で挟み込んでいる。
明のフィルム研磨装置は、表面に砥粒を塗布した研磨フ
ィルムと、円筒形あるいは円柱形を有する製品の外径面
に研磨フィルムを所定の荷重で押し当てるフィルム押圧
手段とを備え、このフィルム押圧手段により研磨フィル
ムを製品の外径面に押し当てながら製品を回転させて外
径面を研磨する。フィルム押圧手段は、製品の外径面に
研磨フィルムを押し当てる剛体のプレッシャプレートを
有し、このプレッシャプレートが弾性体を介して支持さ
れ、且つ製品の外径面との間に研磨フィルムを円周方向
の２点で挟み込んでいる。
【０００６】この構成によれば、剛体であるプレッシャ
プレートが製品の形状に倣って変形することがないの
で、前工程で製品の表面に生じた大きなうねりを解消で
き、製品のtp値を向上できる。更に、プレッシャプレー
トは、製品の外径面に対し研磨フィルムを円周方向の２
点で挟み込んでいるので、製品に対するプレッシャプレ
ートの安定性が良い。また、プレッシャプレートが弾性
体を介して支持されているので、製品に対しプレッシャ
プレートを均等に押し付けることができる。これによ
り、製品の外径面に対し研磨フィルムを円周方向の２点
で均等に且つ確実に押し当てることができるので、製品
の外径面を高精度に研磨できる。
プレートが製品の形状に倣って変形することがないの
で、前工程で製品の表面に生じた大きなうねりを解消で
き、製品のtp値を向上できる。更に、プレッシャプレー
トは、製品の外径面に対し研磨フィルムを円周方向の２
点で挟み込んでいるので、製品に対するプレッシャプレ
ートの安定性が良い。また、プレッシャプレートが弾性
体を介して支持されているので、製品に対しプレッシャ
プレートを均等に押し付けることができる。これによ
り、製品の外径面に対し研磨フィルムを円周方向の２点
で均等に且つ確実に押し当てることができるので、製品
の外径面を高精度に研磨できる。
【０００７】（請求項２の発明）請求項１に記載したフ
ィルム研磨装置において、研磨フィルムを巻き取るフィ
ルム巻取り手段を備え、このフィルム巻取り手段により
研磨フィルムを巻取りながら製品の外径面を研磨する。
これにより、製品の外径面に接触する研磨フィルムの研
磨面を順次更新できるので、研磨フィルムを有効に使用
できる。
ィルム研磨装置において、研磨フィルムを巻き取るフィ
ルム巻取り手段を備え、このフィルム巻取り手段により
研磨フィルムを巻取りながら製品の外径面を研磨する。
これにより、製品の外径面に接触する研磨フィルムの研
磨面を順次更新できるので、研磨フィルムを有効に使用
できる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１はフィルム研磨装置の構成図で
ある。フィルム研磨装置１は、図１に示す様に、表面に
砥粒を塗布した研磨フィルム２と、円筒形あるいは円柱
形を有する製品３の外径面に研磨フィルム２を所定の荷
重で押し当てるフィルム押圧手段（下述する）と、研磨
フィルム２を巻き取るフィルム巻取り手段（図示しな
い）等を備えている。
基づいて説明する。図１はフィルム研磨装置の構成図で
ある。フィルム研磨装置１は、図１に示す様に、表面に
砥粒を塗布した研磨フィルム２と、円筒形あるいは円柱
形を有する製品３の外径面に研磨フィルム２を所定の荷
重で押し当てるフィルム押圧手段（下述する）と、研磨
フィルム２を巻き取るフィルム巻取り手段（図示しな
い）等を備えている。
【０００９】フィルム押圧手段は、ベース部４に支持さ
れたクッションプレート５と、このクッションプレート
５に保持されたプレッシャプレート６とを有し、このプ
レッシャプレート６を介して研磨フィルム２を製品３の
外径面に押し当てている。クッションプレート５は、ゴ
ム等の弾性体であり、プレッシャプレート６に対しフロ
ーティング機能を持たせている。
れたクッションプレート５と、このクッションプレート
５に保持されたプレッシャプレート６とを有し、このプ
レッシャプレート６を介して研磨フィルム２を製品３の
外径面に押し当てている。クッションプレート５は、ゴ
ム等の弾性体であり、プレッシャプレート６に対しフロ
ーティング機能を持たせている。
【００１０】プレッシャプレート６は、例えば鉄等の剛
体から成り、製品３の外径面に研磨フィルム２を押し当
てている。但し、このプレッシャプレート６は、図２に
示す様に、研磨フィルム２を介して製品３の外径面と対
向する凹Ｒ面６ａ（凹曲面）を有し、この凹Ｒ面６ａの
曲率半径が製品３の半径より若干小さく設定されてい
る。従って、プレッシャプレート６は、製品３の外径面
に対し円周方向の２点（当接点Ａ、Ｂ）で当接し、その
当接点Ａ、Ｂで研磨フィルム２を製品３の外径面に押し
当てている。なお、プレッシャプレート６の凹Ｒ面６ａ
は、その形状及び寸法公差が高精度に加工されている。
体から成り、製品３の外径面に研磨フィルム２を押し当
てている。但し、このプレッシャプレート６は、図２に
示す様に、研磨フィルム２を介して製品３の外径面と対
向する凹Ｒ面６ａ（凹曲面）を有し、この凹Ｒ面６ａの
曲率半径が製品３の半径より若干小さく設定されてい
る。従って、プレッシャプレート６は、製品３の外径面
に対し円周方向の２点（当接点Ａ、Ｂ）で当接し、その
当接点Ａ、Ｂで研磨フィルム２を製品３の外径面に押し
当てている。なお、プレッシャプレート６の凹Ｒ面６ａ
は、その形状及び寸法公差が高精度に加工されている。
【００１１】このフィルム研磨装置１は、図１に示す様
に、フィルム押圧手段により研磨フィルム２を製品３の
外径面に押し当てて、製品３を一定速度で回転させると
共に、研磨フィルム２をゆっくり巻取りながら製品３の
外径面を研磨する。この時、製品３の外径面に研磨フィ
ルム２を押し当てているプレッシャプレート６が剛体で
あるので、そのプレッシャプレート６の当接点Ａ、Ｂに
て製品３の外径面が強制的に研磨加工される。
に、フィルム押圧手段により研磨フィルム２を製品３の
外径面に押し当てて、製品３を一定速度で回転させると
共に、研磨フィルム２をゆっくり巻取りながら製品３の
外径面を研磨する。この時、製品３の外径面に研磨フィ
ルム２を押し当てているプレッシャプレート６が剛体で
あるので、そのプレッシャプレート６の当接点Ａ、Ｂに
て製品３の外径面が強制的に研磨加工される。
【００１２】また、プレッシャプレート６を弾性体であ
るクッションプレート５にて保持しているので、プレッ
シャプレート６の当接点Ａ、Ｂを均等に製品３の外径面
に当てることができる。以上の結果、前工程で研削加工
された製品３の外径面を高精度に研磨でき、外径面の面
粗さ及びtp値を規格値まで向上させることができる。な
お、図１に示したプレッシャプレート６は、当接点Ａ、
Ｂの間が凹Ｒ面６ａに形成されているが、例えば図３に
示す様に、Ｖ字形に凹設されていても良い。
るクッションプレート５にて保持しているので、プレッ
シャプレート６の当接点Ａ、Ｂを均等に製品３の外径面
に当てることができる。以上の結果、前工程で研削加工
された製品３の外径面を高精度に研磨でき、外径面の面
粗さ及びtp値を規格値まで向上させることができる。な
お、図１に示したプレッシャプレート６は、当接点Ａ、
Ｂの間が凹Ｒ面６ａに形成されているが、例えば図３に
示す様に、Ｖ字形に凹設されていても良い。
【図１】フィルム研磨装置の構成図である。
【図２】製品の外径面に当接するプレッシャプレートの
当接点を示す側面図である。
当接点を示す側面図である。
【図３】製品の外径面に当接するプレッシャプレートの
側面図である。
側面図である。
【図４】従来のフィルム研磨装置の構成図である。
【図５】研磨面の形状を示す断面図である。
【図６】tp値の説明図である。
１ フィルム研磨装置
２ 研磨フィルム
３ 製品
５ クッションプレート（フィルム押圧手段）
６ プレッシャプレート（フィルム押圧手段）
Claims (2)
- 【請求項１】表面に砥粒を塗布した研磨フィルムと、 円筒形あるいは円柱形を有する製品の外径面に前記研磨
フィルムを所定の荷重で押し当てるフィルム押圧手段と
を備え、 このフィルム押圧手段により前記研磨フィルムを前記製
品の外径面に押し当てながら前記製品を回転させて外径
面を研磨するフィルム研磨装置であって、 前記フィルム押圧手段は、前記製品の外径面に前記研磨
フィルムを押し当てる剛体のプレッシャプレートを有
し、このプレッシャプレートが弾性体を介して支持さ
れ、且つ前記製品の外径面との間に前記研磨フィルムを
円周方向の２点で挟み込んでいることを特徴とするフィ
ルム研磨装置。 - 【請求項２】請求項１に記載したフィルム研磨装置にお
いて、 前記研磨フィルムを巻き取るフィルム巻取り手段を備
え、 このフィルム巻取り手段により前記研磨フィルムを巻取
りながら前記製品の外径面を研磨することを特徴とする
フィルム研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001197617A JP2003011048A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | フィルム研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001197617A JP2003011048A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | フィルム研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003011048A true JP2003011048A (ja) | 2003-01-15 |
Family
ID=19035184
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001197617A Pending JP2003011048A (ja) | 2001-06-29 | 2001-06-29 | フィルム研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003011048A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009018364A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Toshiba Corp | 研磨装置および研磨方法 |
| JP2009262316A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sony Corp | ウエハ研磨装置およびウエハ研磨方法 |
-
2001
- 2001-06-29 JP JP2001197617A patent/JP2003011048A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009018364A (ja) * | 2007-07-11 | 2009-01-29 | Toshiba Corp | 研磨装置および研磨方法 |
| JP2009262316A (ja) * | 2008-04-30 | 2009-11-12 | Sony Corp | ウエハ研磨装置およびウエハ研磨方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051018 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20051219 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20060912 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |