JP2003019874A - 印刷用スクリーン紗 - Google Patents
印刷用スクリーン紗Info
- Publication number
- JP2003019874A JP2003019874A JP2001208781A JP2001208781A JP2003019874A JP 2003019874 A JP2003019874 A JP 2003019874A JP 2001208781 A JP2001208781 A JP 2001208781A JP 2001208781 A JP2001208781 A JP 2001208781A JP 2003019874 A JP2003019874 A JP 2003019874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printing
- screen
- gauze
- antireflection film
- stainless steel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
- Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
Abstract
リーン紗の改良により、写真製版の際にシャドー部下方
の感光層に紫外線が入射するのを防ぎ、印刷用スクリー
ンに原板マスクと等しい形の孔を形成し、精密印刷を可
能にする。 【解決手段】 ステンレス鋼の細い線材を経糸16およ
び緯糸17に用いて製織された紗状織物の少なくとも片
面を金属の酸化物、窒化物もしくは炭化物又はフッ化マ
グネシウムからなる紫外線用の反射防止膜16a、17
aで被覆する。
Description
印刷用スクリーン紗に関し、特にプリント配線等の精密
印刷を可能にするものである。
鋼からなる直径10〜50μmの細い線材を経糸および
緯糸に用いて100〜800メッシュの紗状織物を製織
し、その表裏両面にステンレス鋼をスパッタ蒸着して上
記の経糸および緯糸をステンレス鋼からなるアモルファ
ス構造の厚み10〜1000nmの蒸着膜で被覆したも
のが知られている(特開平8−118835号公報参
照)。この印刷用スクリーン紗は、上記の蒸着膜を有し
ないものに比べ、印刷インキやトナー、捺染糊に対する
濡れ性が優れるため、精密印刷が可能である。
は、経糸および緯糸の表面がステンレス鋼で形成されて
いて光反射性を有するため、写真製版に際し、紫外線硬
化性樹脂からなる水溶性乳剤を塗布、乾燥して感光層を
形成し、得られたスクリーンの片面に原板マスクを介し
て紫外線を照射し露光したとき、感光層に入った紫外線
の一部が経糸または緯糸の表面で反射し、この反射光が
本来露光の不要な部分の感光層を感光させて硬化し、そ
のため硬化部分の面積が設計よりも広くなり、印刷イン
キ等の通過する孔が狭くなるという問題があった。
11を形成した状態の断面図を示し、スクリーン紗10
は、ステンレス鋼製の経糸10aと緯糸(図示されてい
ない)とで製織され、ステンレス鋼の蒸着膜(図示され
ていない)を有しており、感光層11は前記の紫外線硬
化性樹脂で形成されている。12は原板マスクであり、
透明部12aとシャドー部12bとからなり、この原板
マスク12を感光層11の表面に重ね、紫外線Lを照射
すると、その一部はシャドー部12bによって感光層1
1への入射を遮られるが、残りは透明部12aを経て感
光層11へ入射し、感光、硬化させる。そして、感光層
11に入射した紫外線Lは、更に経糸10aまたは緯糸
に当たって反射するものと、当たらずに感光層11を貫
通するものとに分かれ、当たって反射したものの一部L
aは、シャドー部12bの下の感光層11に入射し、こ
の部分を感光、硬化させる。
外したスクリーン紗10が感光層11と共に現像に付さ
れ、この処理で感光層11の感光部分を残して非感光部
分が除去され、印刷インキや塗料の通過可能な孔が形成
され、印刷版(スクリーン型)13(図2参照)が得ら
れる。したがって、上記シャドー部12bの下方部分に
入射する紫外線Laが存在しない場合は、図2(a)に
示すように、印刷版13には、シャドー部12bと等し
い形の孔13aが形成されるが、実際には上記シャドー
部12bの下方に入射する紫外線Laが存在するため、
図2(b)に示すように、印刷版13に形成される孔1
3aは、上部がシャドー部12bとほぼ等しく、下部が
狭い台形断面となる。
ス鋼線を経糸、緯糸とするスクリーン紗を改良すること
により、写真製版の際にシャドー部下方の感光層に紫外
線が入射するのを防いで感光層に原板マスクと等しい形
の孔を形成し、もって印刷インキ、トナー、捺染糊およ
びペースト等の透過性を向上し、プリント回路等で要求
される精密印刷を可能にするものである。
クリーン紗は、ステンレス鋼の細い線材を経糸および緯
糸に用いて製織された紗状織物の少なくとも片面が金属
の酸化物、窒化物もしくは炭化物又はフッ化マグネシウ
ムからなる紫外線用の反射防止膜で被覆されていること
を特徴とする。
の際、常法にしたがって紫外線硬化性樹脂からなる感光
層と一体化し、得られたスクリーンの表面、すなわち経
糸および緯糸が反射防止膜で被覆されている側に原板マ
スクを重ねて紫外線を照射し、次いで現像、水洗により
非露光部分を洗い流して印刷版(スクリーン型)とされ
るが、経糸および緯糸を構成するステンレス鋼の細い線
材の少なくとも片面が紫外線用の反射防止膜で被覆され
ているので、紫外線照射の際、反射防止膜からの反射光
が大幅に減少する。
あっても、その部分は原板マスクの反対側に位置するの
で、露光用の紫外線が当たることはない。したがって、
原板マスクのシャドー部下方の感光剤に紫外線が入射し
て該部が硬化することはなく、そのため現像、水洗によ
ってシャドー部と同一形状の孔が形成され、原板マスク
と等しい型模様の印刷版(スクリーン型)が得られる。
ケル、クロームおよびケイ素等の金属の酸化物、窒化物
もしくは炭化物又はフッ化マグネシウムで形成される。
この反射防止膜は、特に物理蒸着膜が好ましい。これら
の物理蒸着膜は、経糸および緯糸を構成するステンレス
鋼と共に導電性を有しているので、静電気の帯電による
障害も防ぐことができる。そして、物理蒸着膜であるた
め、耐剥離性に優れる。また、物理蒸着を紗状織物の表
面に向けて施すことにより、蒸着膜が経糸および緯糸の
表面側半周を裏面側へ越えて広く形成される。
の断面を示し、ステンレス鋼線からなる経糸16および
緯糸17の表面側にそれぞれ反射防止膜16aおよび1
7aが形成されている。スクリーン紗15の片側(図3
の上方)から物理蒸着法によって前記金属酸化物等の蒸
気を下向きに飛ばした場合は、蒸気が主として経糸16
および緯糸17の上面に付着して上記の金属酸化物等と
ほぼ同じ組成の金属酸化物からなる蒸着膜が形成され、
その厚みを適当に設定することにより反射防止膜16
a、17aを構成するが、金属酸化物が蒸気の形で飛ば
されるため、一部が経糸16、緯糸17の下面側にも回
って付着し、反射防止膜16a、17aが経糸16、緯
糸17の片側半分よりも広い範囲にわたって形成され
る。
紗の反射率は、特に波長250〜450nmの紫外線に
対して15%以下であることが好ましく、15%を超え
た場合は、設計通りの製版が困難になる。上記の反射率
を得るためには、前記の物理蒸着を行う際の蒸着時間等
を制御することにより、上記反射防止膜の厚みを3〜2
50nmに設定することが好ましい。また、透過率は、
上記の紫外線に対して45%以上が好ましい。そして、
紫外線として上記波長のものを選択することにより、上
記範囲の紫外線に感光性の紫外線硬化樹脂を使用するこ
とが可能になり、取扱が容易になる。また、上記の反射
防止膜は、単層でもよいが、屈折率を異にする2種以上
の反射防止膜からなる多層構造として反射率を一層小さ
くすることもできる。また、上記の反射防止膜を表裏両
面に形成した場合は、印刷インキ、トナー、捺染糊およ
びペースト等の透過性が一層向上する。
を構成するステンレス鋼は、マルテンサイト系、フェラ
イト系、オーステナイト系等のステンレス鋼であり、特
にオーステナイト系ステンレス鋼の中でモリブデンを添
加したもの(例えば、SUS316)は、耐食性、耐塩
素性および耐酸性等に優れる点で特に好ましい。この発
明では、上記のステンレス鋼からなる細い線材が織物の
経糸および緯糸として使用されるが、その太さは、10
〜50μm、特に15〜30μmが好ましく、10μm
未満では、細過ぎて切断し易く、反対に50μmを超す
と細い線の印刷が著しく困難になる。
0メッシュ、特に250〜700メッシュが好ましい。
この密度が100メッシュ未満では細い線からなる精密
な図柄の印刷、捺染が不可能になり、反対に800メッ
シュを超した場合は、製造が困難になる。なお、上記ス
クリーン紗の織り組織は、平組織等の目ずれの生じ難
い、縦横均一な開口面を有する組織が好ましい。
に用いて250〜700メッシュの平織物を製織し、こ
れを紗状織物(スクリーン紗原反)とし、その表面側に
酸化チタン等の金属酸化物をスパッタ蒸着して経糸およ
び緯糸に厚み3〜250nmの反射防止膜を形成する。
得られたスクリーン紗に紫外線硬化性樹脂からなる水溶
性乳剤を塗布、乾燥して感光層を形成し、その表面(経
糸・緯糸の反射防止膜側)に原板マスクを重ねて紫外線
を照射し、次いで現像、水洗すると、原板マスクと同じ
型模様を備えた印刷版(スクリーン型)が得られる。そ
して、この印刷版は、濡れ性および導電性を兼備してい
るため、印刷時の裏回りも良好で、かつ静電気の帯電に
よる障害もなく、極めて精密な印刷が可能である。
し、密閉可能なチャンバ20の下部にチタンからなる平
板状のターゲット21が表面を上にして中空のターゲッ
トソース22上に固定され、このターゲットソース22
に通される冷水で上記ターゲット21が下面から冷却さ
れる。このターゲット21の上方左右にアノード23が
水平に設置され、このアノード23およびターゲット2
1間に直流電源Eによって500〜1000Vの直流電
圧が印加される。
4が水平に、かつ回転自在に設置され、その左上方に前
記のステンレス鋼線からなる紗状織物Fの送出し軸25
が、また右上方にスクリーン紗Faの巻取り軸26がそ
れぞれ水平に、かつ回転自在に設置される。そして、送
出し軸25に巻かれた紗状織物Fが引出され、左上部の
ガイドローラ27aを経て上記水冷シリンダ24に巻回
され、右上部のガイドローラ27bを経て巻取り軸26
に巻き取られる。また、チャンバ20に真空ポンプ2
8、アルゴンガス供給用ガスボンベ29aおよび酸素ガ
ス供給用ガスボンベ29bがそれぞれ接続される。
り軸26および水冷シリンダ24を回転し、紗状織物F
を反時計方向に所定の速度で送りながら水冷シリンダ2
4を冷却し、上記紗状織物Fの表面温度を60℃以下に
維持する。一方、真空ポンプ28を駆動してチャンバ2
0内圧力を1.3×10-3Pa程度に減圧し、次いでアル
ゴンガス供給用ガスボンベ29aからアルゴンガスを導
入してチャンバ20内圧力を6.6×10-2Pa程度に調
整し、続いて酸素ガス供給用ガスボンベ29bから酸素
ガスを導入してチャンバ20内圧力を1.3×10-1Pa
程度に調整し、しかるのち上記のアノード23およびタ
ーゲット21間に500〜1000Vの直流電圧を印加
してターゲット21からチタンを飛び出させ、このチタ
ンを酸素ガスと反応させて酸化チタンとし、この酸化チ
タンを上記紗状織物Fの経糸および緯糸上に付着させ、
経糸および緯糸の半周以上を酸化チタンの蒸着膜で被覆
する。このとき、紗状織物Fの送り速度を調整して蒸着
膜の厚さを3〜250nmに制御して反射防止膜とし、
スクリーン紗Faを得る。
鉛、ニッケル、クローム、ケイ素等を使用した場合は、
亜鉛やニッケル、クローム、ケイ素の酸化物からなる反
射防止膜が得られる。
を用い、その他は実施形態1と同様にしてチタン、亜
鉛、ニッケル、クローム、ケイ素等の金属を窒素ガスと
反応させ、これによって窒化物からなる反射防止膜を形
成する。
スを用い、その他は実施形態1と同様にしてチタン、亜
鉛、ニッケル、クローム、ケイ素等の金属を、メタンガ
スから分離した炭素ガスと反応させ、これによって炭化
物からなる反射防止膜を形成する。
代えてフッ化マグネシウムを使用し、かつ酸素ガス供給
用ガスボンベ29bの使用を止め、アルゴンガスの雰囲
気下でスパッタリングを行うことにより、フッ化マグネ
シウムからなる反射防止膜を形成する。
対する片側からのスパッタリングが終わった後、この原
反Fを裏返しに取付けて2度目のスパッタリングを裏側
から行うことにより、経糸および緯糸の全面に反射防止
膜を形成することができ、この場合は濡れ性が一層向上
する。そして、図5に示すように、チャンバ内に2組の
スパッタリング装置を設置すると、表裏のスパッタリン
グを連続して行うことができる。
り、その中央部左右に第1水冷シリンダー31および第
2水冷シリンダー32が並設され、左側の第1水冷シリ
ンダー31が反時計方向に、また右側の第2水冷シリン
ダー32が時計方向にそれぞれ駆動により回転する。
織物Fの送出し軸33が、また上記第2水冷シリンダー
32の上方にスクリーン紗Fの巻取り軸34がそれぞれ
回転自在に設置される。そして、送出し軸33から引出
された紗状織物Fは、第1ガイドローラ35aを経て第
1水冷シリンダー31に裏面が接するように巻回され、
この第1水冷シリンダー31から第2ガイドローラ35
bを経て離脱し、上方の第3ガイドローラ35c、第4
ガイドローラ35dに導かれて上記巻取り軸34の上を
通り、下方の第5ガイドローラ35eを経て第2水冷シ
リンダー32に表面が接するように巻回され、この第2
水冷シリンダー32から第6ガイドローラ35fを経て
離脱し、スクリーン紗Faとして巻取り軸34に引取ら
れる。
水冷シリンダー32の下方には、それぞれ左右一対の第
1アノード37および第2アノード38が設置される。
そして、第1アノード37および第2アノード38の下
方にそれぞれ水冷式の第1ターゲットソース39および
第2ターゲットソース40が設置され、これら第1ター
ゲットソース39および第2ターゲットソース40の上
にそれぞれチタンからなる平板状ターゲット31がそれ
ぞれ固定され、第1アノード37と第1ターゲットソー
ス39の間および第2アノード38と第2ターゲットソ
ース40の間にそれぞれ電圧500〜1000Vの直流
電源Eが介設される。
り軸34および水冷シリンダー31、32を回転し、送
出し軸33から紗状織物Fを所定の速度で送出し、第1
水冷シリンダー31および第2水冷シリンダー32に順
に接触させて巻取り軸34で引取りながら、第1水冷シ
リンダー31では上記の紗状織物Fを裏側から冷却し、
また第2水冷シリンダー32では表側から冷却する。一
方、密閉チャンバ30に接続されている真空ポンプ(図
示されていない)を駆動して密閉チャンバ30の内部圧
力を1.3×10-3Pa程度に減圧し、次いでアルゴンガ
ス供給用ガスボンベ(図示されていない)からアルゴン
ガスを導入して上記密閉チャンバ30の内部圧力を6.
6×10-2Pa程度に調整し、更に酸素ガス供給用ガスボ
ンベ(図示されていない)から酸素ガスを導入してチャ
ンバ30内圧力を1.3×10-1Pa程度に調整する。
ターゲットソース39間および第2アノード38・第2
ターゲットソース40間にそれぞれ直流電圧を印加して
平板状ターゲット41からチタンを飛び出させ、酸素と
反応させて酸化チタンとし、これを第1水冷シリンダー
31上の紗状織物Fの表面および第2水冷シリンダー3
2上の紗状織物Fの裏面にそれぞれ付着させ、急冷して
アモルファス構造の厚み3〜250nmの反射防止膜を
形成してスクリーン紗Faを得る。
えて亜鉛、ニッケル、クローム、ケイ素等を使用した場
合は、その酸化物からなる反射防止膜が得られる。ま
た、酸素ガスに代えて窒素ガスを用いた場合は、窒化物
からなる反射防止膜が得られる。また、酸素ガスに代え
てメタンガスを用いた場合は、炭化物からなる反射防止
膜が得られる。また、ターゲット41のチタンに代えて
フッ化マグネシウム使用し、かつ酸素ガスの使用を止
め、アルゴンガスの雰囲気下でスパッタリングを行った
場合は、フッ化マグネシウムからなる反射防止膜が得ら
れる。
6)からなる線径18μmの線材を経糸および緯糸とす
る500メッシュの平織物を使用し、前記実施形態5の
方法で表裏両面にスパッタリングを行い、実施例1、2
の印刷用スクリーン紗を製造した。また、実施形態5に
おいて、ターゲットにステンレス鋼製を用い、雰囲気ガ
スにアルゴンガスを用いる以外は実施形態5と同様にし
て比較例1のスクリーン紗を製造した。また、上記の線
材からなる平織物をそのまま用いて比較例2のスクリー
ン紗とした。これらのスクリーン紗の特性を下記の表1
に示す。
スクリーン紗をそれぞれスクリーン枠(サイズ320×
320mm)に張り、感光乳剤を塗布し、その中央部(サ
イズ100×100mm)に原板マスクを密着した。次い
で、波長200〜450nmの紫外線を照射し、現像し
て製版し、UVペースト(ソマール社製「ER−70
B」)、ガラスペースト(奥野製薬社製「ELD−52
0」)および銀ペースト(アサヒ化学社製「LS−50
4HC」)を用いて印刷テストを行い、印刷前と印刷後
の被印刷物(コート紙)の重量を測定し、その差からペ
ーストの塗布量を算出し、この塗布量で印刷性能を比較
した。
工業株式会社製、商品名「LS15GX」)を使用し、
スキージ圧力を3.5kg/cm2 に、押込み量(被印刷物
にスキージゴムの先端を接触させ、この位置を基準にし
て印圧を加えた際のスキージヘッドの下降距離)を0.
3 mm に、オフコンタクト(刷版の印刷面と被印刷物間
のギャップ)を1.0mmに、スキージ硬度を70度に、
スキージ角度を75度に、印刷速度を100mm/秒 に
それぞれ設定した。ただし、試料番号1〜3のそれぞれ
で10回ずつペースト塗布量を試験し、その算術平均を
算出した。その結果を下記の表2に示す。
2は、特に可視光領域に近い波長360nmの紫外線に
対する反射率が小さいため、平均塗布量が大きくなり、
小さい孔や幅の狭いスリットの形成が可能になり、精密
印刷が可能であった。一方、比較例1、2は、反射率が
大きいため、平均塗布量が少なくなり、実施例に比べて
印刷性が劣っていた。
クリーン紗は、写真製版に際し、反射防止膜を有しない
もに比べて再現性に優れ、原板マスクと等しい型模様の
印刷版(スクリーン型)が得られ、かつ濡れ性も良好で
あるため、印刷インキ等の透過性が向上し、精密印刷や
精密捺染が可能になる。特に請求項2に係る発明は、反
射防止膜の耐剥離性に優れている。また、請求項3に係
る発明は、反射防止膜の反射率を限定するものであるか
ら、設計通りの製版が一層容易になる。
る。
る。
る。
る。
部 13:印刷版(スクリーン型)、13a:孔 15:実施形態のスクリーン紗 16:経糸 17:緯糸 16a、17a:反射防止膜 F:スクリーン紗原反(紗状織物) Fa:スクリーン紗 20、30:チャンバ 21、41:ターゲット 22、39、40:ターゲットソース 23、37、38:アノード 24、31、32:水冷シリンダ 25、33:送出し軸 26、34:巻取り軸 27a、27b、35a〜35f:ガイドローラ 28:真空ポンプ 29a、29b:ガスボンベ E:直流電源
Claims (3)
- 【請求項1】 ステンレス鋼の細い線材を経糸および緯
糸に用いて製織された紗状織物の少なくとも片面が金属
の酸化物、窒化物もしくは炭化物又はフッ化マグネシウ
ムからなる紫外線の反射防止膜で被覆されていることを
特徴とする印刷用スクリーン紗。 - 【請求項2】 反射防止膜が物理蒸着膜である請求項1
に記載の印刷用スクリーン紗。 - 【請求項3】 反射防止膜の反射率が250〜450n
mの波長域において15%以下である請求項1または2
に記載の印刷用スクリーン紗。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001208781A JP3492652B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 印刷用スクリーン紗 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001208781A JP3492652B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 印刷用スクリーン紗 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003019874A true JP2003019874A (ja) | 2003-01-21 |
| JP3492652B2 JP3492652B2 (ja) | 2004-02-03 |
Family
ID=19044537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001208781A Expired - Lifetime JP3492652B2 (ja) | 2001-07-10 | 2001-07-10 | 印刷用スクリーン紗 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3492652B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007324349A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 分割装置及びセラミック配線基板の製造方法 |
| JP2009008526A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Nippon Instrument Kk | 水銀原子蛍光分析装置 |
| JP2011011480A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Air Water Inc | スクリーン印刷用金属メッシュ織物およびその製造方法ならびにスクリーン版 |
| WO2013022097A1 (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-14 | 太陽化学工業株式会社 | プライマー薄膜を含む構造体及び該構造体の製造方法 |
| JP2016013639A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | 株式会社Nbcメッシュテック | スクリーン印刷用金属メッシュ織物およびスクリーン印刷用スクリーン版 |
-
2001
- 2001-07-10 JP JP2001208781A patent/JP3492652B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007324349A (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 分割装置及びセラミック配線基板の製造方法 |
| JP2009008526A (ja) * | 2007-06-28 | 2009-01-15 | Nippon Instrument Kk | 水銀原子蛍光分析装置 |
| JP2011011480A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-01-20 | Air Water Inc | スクリーン印刷用金属メッシュ織物およびその製造方法ならびにスクリーン版 |
| WO2013022097A1 (ja) * | 2011-08-10 | 2013-02-14 | 太陽化学工業株式会社 | プライマー薄膜を含む構造体及び該構造体の製造方法 |
| JPWO2013022097A1 (ja) * | 2011-08-10 | 2015-03-05 | 太陽化学工業株式会社 | プライマー薄膜を含む構造体及び該構造体の製造方法 |
| US9469097B2 (en) | 2011-08-10 | 2016-10-18 | Taiyo Yuden Chemical Technology Co., Ltd. | Structure including thin primer film and method of producing said structure |
| JP2016013639A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | 株式会社Nbcメッシュテック | スクリーン印刷用金属メッシュ織物およびスクリーン印刷用スクリーン版 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3492652B2 (ja) | 2004-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4869778A (en) | Method of forming a patterned aluminum layer and article | |
| JP2886254B2 (ja) | 感光性樹脂版の製造方法及びそれに用いる製版装置 | |
| TW202428921A (zh) | 遮罩及遮罩之製造方法 | |
| JP2003019874A (ja) | 印刷用スクリーン紗 | |
| KR100329022B1 (ko) | 미세패턴의네사유리막으로피복된유리기판의제조방법 | |
| SU948301A3 (ru) | Светочувствительный материал дл получени изображений | |
| JP3483868B2 (ja) | 印刷用スクリーン紗 | |
| CN1014944B (zh) | 制造阴罩的方法 | |
| JP2008162197A (ja) | スクリーンマスクおよびその製造法 | |
| TW200302165A (en) | Member for a mask film, process for producing a mask film using the member and process for producing a printing plate of a photosensitive resin using the mask film | |
| CN1136103C (zh) | 喷孔片的制造方法 | |
| JP2000174486A (ja) | 透光性電磁波シールドフィルムおよび透光性電磁波シールドパネルの製造方法 | |
| JP2000258921A (ja) | パターン形成方法およびその形成パターン | |
| JP2010069835A (ja) | スクリーン印刷用マスク及びその製造方法 | |
| JP2004255883A (ja) | 印刷版を製造するためのマスク調製 | |
| JP2002245931A (ja) | プラズマディスプレイパネル用電極基板の製造方法 | |
| JP2007334058A (ja) | スクリーン印刷用版およびその製造方法 | |
| JP2004207659A (ja) | 回路の製造方法および該回路を備えた回路板 | |
| KR900001704B1 (ko) | 슬롯형 구멍 새도우마스크의 제조방법 | |
| JPH11288080A (ja) | フォトレジスト印刷用マスクと印刷装置および印刷方法と電極箔の製造方法および印刷用ロール | |
| JP3387151B2 (ja) | 凹 版 | |
| JPH05270161A (ja) | スクリーン印刷版 | |
| KR100756395B1 (ko) | 전자파 차폐막의 제조방법 및 이에 사용되는 전자파차폐용 몰드기판의 제조방법 및 그 전자파 차폐용 몰드기판 | |
| JP2000066362A (ja) | シャドウマスク用ハードマスク及びその製造方法 | |
| JP2008147507A (ja) | 電磁波シールド材ロール体及びその製造方法、ディスプレイ用電磁波シールドフィルム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3492652 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091114 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 7 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101114 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111114 Year of fee payment: 8 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121114 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131114 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |