JP2003113473A5 - - Google Patents

Claims (13)

1. 装置内のコーティングチャンバーを有する加熱された蒸留器と、コーティングガスが予熱されるために前記コーティングチャンバーの長さに沿って配置されるコーティングガス供給導管と、及びコーティング帯域に予熱されたコーティングガスを分配するための前記導管に関して配置されるガス分配導管とからなる化学蒸着装置であって、
   前記コーティングチャンバーは前記蒸留器で前記コーティングチャンバーの長さに沿って複数のコーティング帯域を有し、
   前記ガス分配導管は、予熱されたコーティングガスを各コーティング帯域に供給するために各コーティング帯域で複数のガス排出開口部を含み、
   各コーティング帯域で前記ガス排出開口部に対立するマニホールド壁を含み、前記マニホールド壁は、視線のガス流路が各コーティング帯域で前記ガス排出開口部からガスの流れの開口部まで存在しないように、各コーティング帯域で前記ガス排出開口部と一直線でない複数のガスの流れの開口部を有することを特徴とすることを特徴とする化学蒸着装置。
2. 前記導管は、最低位のコーティング帯域に近隣する前記ガス分配導管へのガス排出開口部を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 前記導管は、下部の主要なガス排出開口部の上の前記ガス分配導管に通じているブリード開口部を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
4. 前記導管は、前記ガス分配導管の長さに沿って、複数のブリード開口部を含むことを特徴とする請求項３に記載の装置。
5. 前記ガス排出開口部は、前記コーティング帯域の各々の中間地点に位置していることを特徴とする請求項１に記載の装置。
6. 各コーティング帯域に関する隔壁を含み、前記隔壁は、使用済みのコーティングガスが各コーティング帯域から廃棄される開口部を含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
7. コーティングチャンバーの長さに沿って加熱されたコーティングチャンバーにコーティングガスを流入することと、前記コーティングガスが導管を通過して流れるように前記コーティングガスを加熱することと、及び前記コーティングチャンバーのガス分配導管に予熱されたコーティングガスを排出することからなり、
   前記コーティングチャンバーの長さに沿って、配置された前記ガス分配導管から複数のコーティング帯域の各々へ前記予熱されたコーティングガスを排出することを含み、
   各コーティング帯域で対立するマニホールド壁でのガス分配導管から前記予熱されたコーティングガスを排出することを含み、前記マニホールド壁は、視線のガス流路が各コーティング帯域で前記ガス排出開口部からガスの流れの開口部まで存在しないように、各コーティング帯域で前記ガス排出開口部と一直線でない複数のガスの流れの開口部を有することを特徴とする化学蒸着方法。
8. 前記導管の低端部で前記予熱されたコーティングガスを排出することを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記コーティングガスが前記導管に導入する以前に、前記コーティングガスを予熱することを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
10. 前記コーティングガスは、前記導管の上流の前記コーティングチャンバー外に配置されるガスマニホールドで予熱されることを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. 前記導管の前記低端部の上のブリード開口部によって、前記予熱されたコーティングガスを排出することをさらに含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
12. 前記コーティング帯域の各々の中間地点でガス分配導管から前記予熱されたコーティングガスを排出することを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。
13. 各コーティング帯域に関して配置された隔壁の開口部によって、各コーティング帯域から使用済みのコーティングガスを廃棄することを含むことを特徴とする請求項７に記載の方法。