JP2003117330A - 気体分離装置 - Google Patents
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Abstract
縮機と吸着槽が連通し、吸着槽に圧縮空気を供給してい
る状態において、圧縮機のドライヤの水分を排出する場
合が生じたときは、吸着槽に供給する圧縮空気が減少に
よって窒素ガス生成効率が低下し、生成する窒素ガスの
濃度が低下してしまうという問題があった。 【解決手段】 圧縮機3と吸着槽1,2が空気供
給用弁8,9の閉弁により遮断された状態の均圧工程中
にドライヤ4のドレン排出弁4aを開弁し、ドライヤ4
内に蓄積された水分を排出することにより、窒素ガスを
生成する吸着・取出工程中の吸着槽1,2内の圧力低下
を防ぎ、窒素ガスの生成効率の低下を防止する。
Description
り、特にPSA式(Pressure Swing Absorption)の気
体分離装置に関し、例えば窒素発生装置または酸素発生
装置として用いて好適な気体分離装置に関する。
子ふるいカーボンやゼオライトなどからなる吸着剤を用
いて空気を窒素ガスと酸素ガスに分離し、いずれか一方
を製品ガスとして取り出し、使用するものである。
一対の吸着槽を有するPSA式窒素発生装置にあって
は、(a)吸着工程:吸着剤が充填された吸着槽に圧縮
機により圧縮された圧縮空気を導入すると共に、製品タ
ンク内に残存する窒素ガスを吸着槽に還流して吸着槽内
を昇圧させ圧力を利用して吸着剤に酸素分子を吸着させ
る工程、(b)取出工程:吸着工程から引続き、圧縮機
から圧縮空気を吸着槽に導入し続けると同時に、吸着剤
により分離生成された窒素ガスを吸着槽より取り出す工
程、(c)均圧工程:取出工程終了後の吸着槽に残存す
る窒素濃度の高い残留ガスを吸着工程前の他の吸着槽に
供給して各吸着槽間の圧力を均圧化を図り、次回の吸着
工程の吸着効率を高めて、より高純度の窒素ガスを生成
するための工程、(d)再生工程:均圧工程終了後の吸
着槽内を大気解放または真空ポンプで減圧して吸着剤に
吸着された酸素分子を脱着することにより吸着剤を再生
する工程、が順次行われる。
槽毎に繰返し行われ、各吸着槽における工程が連携して
実行されるように各機器が制御される。即ち、一対の吸
着槽を有する気体分離装置においては、一方の吸着槽で
吸着工程及び取出工程が完了し、他方の吸着槽で再生工
程が完了した後、均圧工程を行う。
分離装置では、上記各工程(a)〜(d)を繰り返して
窒素ガスを分離生成しているが、吸着槽に圧縮空気を供
給する空気供給ユニット(圧縮機,空気タンク,ドライ
ヤ)の駆動及びドライヤの水分排出の制御と、気体分離
ユニット(吸着槽,製品タンクなど)の各工程の制御と
が互いに独立して行われている。
気は空気タンクに蓄圧され、吸着工程時に空気タンク内
から、圧縮空気の水分を取除くためのドライヤを介して
圧縮空気が気体分離ユニットに供給される。
定圧力未満であるときにロード運転(通常運転)が行わ
れ、空気タンクの圧力が所定圧力に達するとアンロード
運転(無負荷運転時)に切り換わる。アンロード運転時
は圧縮機の駆動用モータは駆動されたままであるが、給
気弁が開いた状態に保持されて圧縮空気の生成は行われ
ない。
するために、ドライヤは制御タイマーなどによって、一
定の時間が経過した際に、また空気タンクは一定の水分
量が溜まった際に気体分離ユニットとは独立した制御で
水分の排気が行われていた。
気供給ユニットから気体分離ユニットに圧縮空気を供給
する場合のように、ドライヤと気体分離ユニットが連通
している状態において、ドライヤの水分を排出した場合
は、吸着槽に供給する窒素ガスの生成に必要な圧縮空気
が減少することにより、吸着槽内の吸着圧力が低下し、
生成される窒素ガスの濃度が低下してしまうという問題
点があった。
配管を電磁弁で遮断した場合、空気タンク内の圧力が上
昇し、所定圧力を越えてしまうと圧縮機がアンロード運
転に切替ってしまう。この場合、圧縮機は所定圧力未満
になるまでロード運転がされず、気体分離装置に圧縮空
気を供給する能力が低下し、窒素ガスの生成効率が低下
してしまうという問題があった。
分離装置を提供することを目的とする。
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項1
の発明は、圧縮機により圧縮され、除湿手段で水分を取
除かれた圧縮空気を、吸着手段が充填された吸着槽に供
給し、吸着槽内を昇圧させて製品ガスを生成する吸着工
程と、該吸着槽に生成された製品ガスを該吸着槽から取
り出す取出工程と、該吸着槽内の圧力を他の吸着槽内の
圧力と均圧化する均圧工程とを順次行うよう構成された
気体分離装置において、圧縮機と吸着槽との間に設けら
れた遮断手段を遮断したとき、前記除湿手段に設けられ
たドレン排出弁を開弁し、圧縮空気を除湿手段で除湿し
た際に発生した、除湿手段内に蓄積された水分を排出す
ることを特徴とするものである。
気体分離装置において、均圧工程のときに、除湿手段に
設けられたドレン排出弁を開弁し、圧縮機によって圧縮
された圧縮空気を除湿手段で除湿した際に発生した該除
湿手段内に蓄積された水分の排出をすることを特徴とす
るものである。
機能を有する圧縮機により圧縮され、除湿手段で水分を
取除かれた圧縮空気を、吸着手段が充填された吸着槽に
供給し、吸着槽内を昇圧させて製品ガスを生成する吸着
工程と、該吸着槽に生成された製品ガスを該吸着槽から
取り出す取出工程と、該吸着槽内の圧力を他の吸着槽内
の圧力と均圧化する均圧工程とを順次行うよう構成され
た気体分離装置において、圧縮機と吸着槽の間に圧力計
を設け、該圧力計によって計測された圧力が設定された
所定の圧力に達したときに、除湿手段に設けられたドレ
ン排出弁を開弁し、圧縮機によって圧縮された圧縮空気
を除湿手段で除湿した際に発生した該除湿手段内に蓄積
された水分の排出することを特徴とするものである。
気体分離装置において、気体分離装置において、圧縮機
の空気タンク内の圧力が、該圧縮機のアンロード運転に
切替るアンロード運転所定圧力より低い所定の圧力に設
定し、該空気タンク内の圧力が水分排出の設定圧力に達
したときに、除湿手段に設けられたドレン排出弁を開弁
し、圧縮機によって圧縮された圧縮空気を除湿手段で除
湿した際に発生した該除湿手段内に蓄積された水分の排
出をすることを特徴とするものである。
であるPSA式窒素発生装置の全体構成を示す図であ
る。
各吸着槽1,2内にはそれぞれ吸着手段としての分子ふ
るいカーボン1A,2Aが充填されている。
縮機3は圧縮空気を生成し、該圧縮空気はタンク3aに
貯留され、除湿手段である冷凍式ドライヤ4,配管6,
7を介して吸着槽1,2にそれぞれ交互に供給されるよ
うになっており、このため、該配管6,7の途中にはそ
れぞれ電磁弁からなる遮断手段としての空気供給用弁
8,9が設けられている。
イヤ4内に溜まった水分を排出するためのドレン排出弁
4aが設けられている。
せる時に吸着槽1,2からの気体を排出する配管で、排
気音を下げるサイレンサ12に接続されている。そし
て、前記配管10,11の途中にはそれぞれ吸着槽1,
2内の脱着排ガスを半サイクル(一方の吸着槽が吸着工
程から均圧工程まで)毎に交互に排出する電磁弁からな
る排ガス排気弁13,14が設けられている。
しての窒素ガスをそれぞれ取り出す取出配管、17は取
出配管15,16と連結した取出配管で、取出配管1
5,16の途中には半サイクルの間だけ後述の制御回路
100の制御の下に交互に開弁する電磁弁からなる取出
用弁18,19がそれぞれ設けられている。また、前記
取出配管17は製品タンク20と接続されている。
2は配管21の途中に設けられた電磁弁からなる均圧用
弁で、均圧用弁22は吸着槽1,2による半サイクルの
終了間際に所定の数秒だけ開弁し、吸着槽1,2間を均
圧にする(均圧工程)。
ス取出配管で、その途中には電磁弁からなる製品ガス取
出用弁24が設けられている。
り分岐する分岐配管26に接続されている。この濃度計
25は製品ガス取出配管23を介して製品タンク20よ
り取出された気体の窒素ガス濃度を測定する。
分岐配管50には、後述の制御手段100より開弁信号
に基づいて該装置自体の起動時のみ所定時間開弁した
後、閉弁する電磁弁よりなる製品ガス排出弁51、及
び、この製品ガス排出弁51を開弁することにより分岐
配管50より外部に排出される製品タンク20内の窒素
ガスの排出量を一定に保つ可変の絞り52が設けられて
いる。
制御回路100は、前述の各電磁弁を開閉制御して窒素
ガスを生成するための弁制御回路101と、前述の濃度
計25により出力される酸素ガス濃度測定信号が入力さ
れ、この酸素ガス濃度測定信号の値から製品タンク20
内の窒素ガス濃度を検出して濃度異常検出回路102及
び異常検出手段としての性能劣化判定回路103に上記
窒素ガス濃度を出力する窒素ガス濃度検出回路104
と、から構成されている。
置の弁制御回路101による動作につき説明する。ま
ず、窒素発生装置としての基本動作について図2,図3
を用いて説明する。尚、図3中、(B)は吸着槽1の状
態を、(C)は吸着槽2の状態を示している。ここで、
窒素発生装置を起動すると、制御回路100の弁制御回
路101の制御の下に各電磁弁が作動し、窒素ガス(製
品ガス)の発生が行われる。
第2の吸着槽2では、吸着工程,取出工程,均圧
工程の動作が、また第1の吸着槽1では〜の間に再
生工程が実行され、のときに第2の吸着槽2との均圧
工程が実行される。
は、第2の吸着槽2側の空気供給用弁9,取出用弁19
を開弁する。これにより、第2の吸着槽2に原料気体と
しての圧縮空気が圧縮機3より供給される。また、製品
タンク20内の窒素ガスは取出配管16,17を逆流し
て上部(下流側)より吸着槽2内に還流する。これによ
り、第2の吸着槽2は圧縮機3からの圧縮空気と製品タ
ンク20内の窒素ガスとの上・下方向から流入したガス
により昇圧状態にあり、分子ふるいカーボン2Aに酸素
が吸着される。
13の開弁により減圧状態にあり、吸着していた酸素が
脱着して排出されている再生工程の状態を示している。
程は、第2の吸着槽2側の空気供給用弁9及び取出用弁
19を吸着工程に引続き開弁したままで、圧縮空気を第
2の吸着槽2に供給し続けるため、第2の吸着槽2内の
圧力が製品タンク20内の圧力より高くなり、第2の吸
着槽2内の窒素ガスが取り出される状態となる。このと
き、第1の吸着槽1は排ガス排出弁13が開弁した減圧
状態の再生工程のままであり、均圧用弁22を閉弁する
ことで終了する。
2を開弁すると共に空気供給用弁9、取出用弁19、排
ガス排出弁13を閉弁し、吸着槽1,2と圧縮機3との
間、及び吸着槽1,2と製品タンク20との間を遮断
し、吸着槽1,2の間を連通する。これにより、第2の
吸着槽2内に残存する窒素ガスは第1の吸着槽1に回収
され、各吸着槽1,2の圧力は均圧となる。なお、上記
均圧工程は通常1〜5秒である。
クルのうちの前半のサイクルが終了したことになり、空
気供給用弁8,取出用弁18,排ガス排出弁14を開弁
することによって、図3の(B),(C)に示すように
図2中の〜に示す後半のサイクルに切替り、これら
の工程を繰り返す。
の吸着槽1では吸着工程,取出工程,均圧工程を
行い、第2の吸着槽2では〜の間に再生工程を行
い、では吸着槽1,2の均圧工程を行う。
イクルを繰り返すことにより、圧縮機3より供給される
原料気体を吸着槽1,2内で窒素ガスとそれ以外のガス
(酸素ガス)とに分離し、吸着槽1,2で分離された窒
素ガスを製品タンク20内に貯留させる。また、これと
共に、製品タンク20内の窒素ガスが吸着槽1,2に還
流されることにより、この窒素ガスに含まれている窒素
ガス以外のガスが吸着槽1,2で取り除かれて再度製品
タンク20内に供給されることにより、製品タンク20
内の窒素ガス濃度自体もより高濃度とすることができ
る。
の制御の他に製品ガス取出用弁24及び製品ガス排出弁
51の開閉制御も行っている。即ち、窒素発生装置の起
動時には弁制御回路101は、前述の基本動作をさせる
ための上記各電磁弁の制御と並行して、製品ガス取出用
弁24には開弁信号を出力せずに製品ガス取出用弁24
を閉弁させたまま製品ガス排出弁51に開弁信号を出力
するとともに、濃度計25により製品ガスの窒素濃度を
測定する。そして、製品ガス排出弁51を開弁させて製
品タンク20内の窒素濃度の低い窒素ガスを分岐配管5
0より排出する状態を本装置が起動されてから製品ガス
の窒素濃度が所定の濃度に達するまで持続させる起動運
転状態時の起動運転制御を行っている。
時間の経過後)、前記弁制御回路101による基本動作
は持続させたまま、製品ガス排出弁51を閉弁するとと
もに、製品ガス取出用弁24に開弁信号を出力して製品
ガス取出用弁24を開弁して製品タンク20内の窒素ガ
スを被供給機器(図示せず)に製品ガス取出配管23を
介して供給する通常運転状態時の通常運転制御を行って
いる。
通常運転制御は、例えば、窒素発生装置自体への電気の
供給が遮断されるか、または、前記装置自体に設けられ
た運転スイッチ(図示せず)がOFF操作されるまで行
われる。
イヤ4の水分の排出制御について説明する。
は、弁制御回路101に均圧弁22の開弁と、取出用弁
18及び空気供給用弁8、又は取出用弁19及び空気供
給用弁9に閉弁の信号を送ると共に、冷凍式ドライヤ4
のドレン排出弁4aに水分の排出のための開弁信号を送
る。ドレン排出弁4aは圧縮機から供給された圧縮空気
から出た冷凍式ドライヤ4内に溜まった水分の排出を均
圧工程中に行い、均圧工程が終了すると同時に冷凍式ド
ライヤ4の水分の排出も終了させる。
1,2の間が空気供給用弁8,9によって共に遮断され
るので、冷凍式ドライヤ4内の水分の排出を行っても吸
着槽1,2内の圧力が低下することなく、気体分離装置
内全体の圧力も下げることもないので、均圧工程終了後
も窒素ガスの供給を効率良く行うことができ、窒素ガス
生成効率を低下させることがない。
1,2の間が遮断されるため、図4に示すように、従来
は均圧工程中に圧縮機3が駆動し続けると空気タンク3
a内の圧力が上昇し、タンク3aの所定圧力を越え、ア
ンロード運転に切換ってしまうが、約1〜5秒程の毎均
圧工程中に水分の排出を行うことにより、圧縮機3から
冷凍式ドライヤ4までの間の圧力は少ししか上昇しない
ためアンロード運転に切換ることがなく、アンロード運
転による気体分離装置に圧縮空気を供給する能力の低下
と、ロード運転への切換りに時間を取られることもな
く、製品ガスの生成効率の低下を防止することができ
る。
いて説明する。第2の実施形態は、上記第1の実施形態
の圧縮機3と空気供給用弁8または9との間に圧力計6
0が設けられた構成となる。この圧力計60によって計
測された圧力が、所定の圧力より高くなったときに、冷
凍式ドライヤ4内に溜まった水分の排出を行い、該所定
の圧力と同じ圧力か、それより低い圧力になったとき
に、水分の排出を停止する。これにより、アンロード運
転に切換る前に、圧縮機3から冷凍式ドライヤ4までの
間の圧力の上昇を抑え、アンロード運転による気体分離
装置内の圧縮空気を供給する能力の低下と、ロード運転
への切換りに時間を取られることもない。
に切換る圧力よりも高く設定されていると、吸着槽1,
2に圧縮空気を供給する圧縮機3は、空気タンク3aの
圧力が上記所定の圧力を超える以前に、アンロード運転
に切換ってしまう。そこで、冷凍式ドライヤ4内に溜ま
った水分の排出を行うタイミングを決定する上記所定圧
力(水分排出圧力)は、このアンロード運転に切換る圧
力よりも低く設定し、空気タンク3a内の圧力が、この
設定された所定の圧力に達したときに水分の排出を行う
ようにしている。これにより、アンロード運転に切換る
前に、圧縮機3から冷凍式ドライヤ4までの間の圧力の
上昇を抑え、アンロード運転による気体分離装置内の圧
力の低下と、ロード運転への切換りに時間を取られるこ
ともない。
を開弁することによるドライヤ4の水分の排出をするタ
イミングを、遮断手段である空気供給弁8,9が遮断さ
れる均圧工程で行う説明をしたが、これに限ることでな
く、図3の(D)及び(E)の点線に示すように取出工
程の終了前において、空気供給弁8,9を開弁するよう
にした場合には、これら両空気供給用弁8,9が共に遮
断されている間であれば、取出工程の間にドレン排出弁
4aを開弁してドライヤ4の水分を排出しても良い。
ヤ4のみの水分の排出について述べたが、同タイミング
でタンク3aに溜まった水分を排出するようにしても良
い。
ドライヤを用いて説明したが、これに限ることはなく、
圧縮空気の水分を除湿することができれば乾燥剤などを
利用したドライヤでも良い。
対の吸着槽を有するPSA式窒素発生装置を用いて説明
したが、これに限ることはなく、圧縮機と吸着槽の間を
遮断する遮断手段を有していれば単一および2つ以上の
吸着槽を有していても良い。
度計25によって製品ガス濃度を測定し、その濃度によ
って製品ガス排出弁51を制御するように説明したが、
これに限ることはなく、気体分離装置が起動されてから
の時間を計測し、所定の時間が経過することで製品ガス
排出弁51の制御をしても良い。
圧縮機と吸着槽の間が遮断される吸着槽への圧縮空気の
供給を必要としないときに除湿手段に溜まった水分の排
出を行うので、吸着槽内の圧力上昇の度合を低下させる
ことなく、吸着槽内で生成される製品ガスの生成効率低
下を防止することができる。
槽の間が遮断される吸着槽への圧縮空気の供給を必要と
しない均圧工程中に除湿手段に溜まった水分の除湿を行
うので、吸着槽内の圧力上昇の度合を低下させることな
く、吸着槽内で生成される製品ガスの生成効率低下を防
止することができる。
ク内の圧力が所定の圧力に達したときに除湿手段に溜ま
った水分の除湿を行うので、タンク内の圧力が急上昇す
ることを抑え、圧縮機がアンロード運転に切換るのを防
ぎ、製品ガスの生成効率の低下を防止することができ
る。
装置の全体構成を示す図である。
作)における給排気の状況を示す図である。
作)のタイムチャートを示す図である。
の圧力変化を示す図である。
構成を示す図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 圧縮機により圧縮され、除湿手段で水分
を取除かれた圧縮空気を、吸着手段が充填された吸着槽
に供給し、吸着槽内を昇圧させて製品ガスを生成する吸
着工程と、該吸着槽に生成された製品ガスを該吸着槽か
ら取り出す取出工程と、該吸着槽内の圧力を他の吸着槽
内の圧力と均圧化する均圧工程とを順次行うよう構成さ
れた気体分離装置において、圧縮機と吸着槽との間に設
けられた遮断手段を遮断したとき、前記除湿手段に設け
られたドレン排出弁を開弁し、圧縮空気を除湿手段で除
湿した際に発生した除湿手段内に蓄積された水分を排出
することを特徴とする気体分離装置。 - 【請求項2】 前記請求項1の気体分離装置において、
前記遮断手段が遮断している均圧工程のときに、除湿手
段に設けられたドレン排出弁を開弁し、圧縮機によって
圧縮された圧縮空気を除湿手段で除湿した際に発生した
該除湿手段内に蓄積された水分の排出をすることを特徴
とする気体分離装置。 - 【請求項3】 アンロード運転機能を有する圧縮機によ
り圧縮され、除湿手段で水分を取除かれた圧縮空気を、
吸着手段が充填された吸着槽に供給し、吸着槽内を昇圧
させて製品ガスを生成する吸着工程と、該吸着槽に生成
された製品ガスを該吸着槽から取り出す取出工程と、該
吸着槽内の圧力を他の吸着槽内の圧力と均圧化する均圧
工程とを順次行うよう構成された気体分離装置におい
て、圧縮機と吸着槽の間に圧力計を設け、該圧力計によ
って計測された圧力が設定された所定の圧力に達したと
きに、除湿手段に設けられたドレン排出弁を開弁し、圧
縮機によって圧縮された圧縮空気を除湿手段で除湿した
際に発生した該除湿手段内に蓄積された水分の排出する
ことを特徴とする気体分離装置。 - 【請求項4】 前記請求項3の気体分離装置において、
ドレン排出弁を開弁する水分排出圧力を、該圧縮機のア
ンロード運転に切替るアンロード運転所定圧力より低い
圧力に設定し、前記圧力計の圧力が水分排出圧力に達し
たときに、前記除湿手段に設けられたドレン排出弁を開
弁し、圧縮機によって圧縮された圧縮空気を除湿手段で
除湿した際に発生した該除湿手段内に蓄積された水分の
排出をすることを特徴とする気体分離装置。
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|---|---|---|---|
| JP2001311940A JP3867229B2 (ja) | 2001-10-09 | 2001-10-09 | 気体分離装置 |
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|---|---|
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007153629A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Hitachi Ltd | 窒素ガス発生装置 |
| JP2008214151A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Teijin Pharma Ltd | 酸素濃縮装置 |
| JP2008248847A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hitachi Ltd | ガス昇圧圧縮装置 |
| US8337599B2 (en) | 2007-05-07 | 2012-12-25 | Teijin Pharma Limited | Oxygen concentrator |
| JP2020015021A (ja) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | コフロック株式会社 | 圧力スイング吸着装置の制御方法及び圧力スイング吸着装置 |
| JP2020142180A (ja) * | 2019-03-06 | 2020-09-10 | エア・ウォーター株式会社 | 高酸素ガスの供給装置および方法 |
| CN113041784A (zh) * | 2021-05-06 | 2021-06-29 | 广州烈得高压缩机有限公司 | 一种制氮系统及制氮方法 |
-
2001
- 2001-10-09 JP JP2001311940A patent/JP3867229B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007153629A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-21 | Hitachi Ltd | 窒素ガス発生装置 |
| JP2008214151A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Teijin Pharma Ltd | 酸素濃縮装置 |
| JP2008248847A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Hitachi Ltd | ガス昇圧圧縮装置 |
| US8337599B2 (en) | 2007-05-07 | 2012-12-25 | Teijin Pharma Limited | Oxygen concentrator |
| JP2020015021A (ja) * | 2018-07-27 | 2020-01-30 | コフロック株式会社 | 圧力スイング吸着装置の制御方法及び圧力スイング吸着装置 |
| JP7236069B2 (ja) | 2018-07-27 | 2023-03-09 | コフロック株式会社 | 圧力スイング吸着装置の制御方法及び圧力スイング吸着装置 |
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