JPH01184016A - 気体分離装置 - Google Patents

気体分離装置

Info

Publication number
JPH01184016A
JPH01184016A JP63010037A JP1003788A JPH01184016A JP H01184016 A JPH01184016 A JP H01184016A JP 63010037 A JP63010037 A JP 63010037A JP 1003788 A JP1003788 A JP 1003788A JP H01184016 A JPH01184016 A JP H01184016A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
adsorption
adsorption tower
tower
separation means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP63010037A
Other languages
English (en)
Inventor
Iwao Otani
大谷 巌
Takayuki Ando
安藤 隆之
Masaki Kawai
河合 正毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Tokico Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokico Ltd filed Critical Tokico Ltd
Priority to JP63010037A priority Critical patent/JPH01184016A/ja
Publication of JPH01184016A publication Critical patent/JPH01184016A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はPSA式(p ressur135WinQA
 dsorpt ion )の気体分離装置に係り、例
えば窒素8wi素発生1i置として用いて好適な気体分
離装置に関する。
従来の技術 従来の、PSA式気体分離装置は、分子ふるいカーボン
からなる吸着剤を用いて、空気を窒素とHIAに分離し
、いずかれ一方を製品ガスとして取出し、使用するもの
であった。
このため、例えばPSA式窒素発生装買にあっては、吸
着剤を充填した吸着塔に圧縮空気を導入して昇圧する吸
着工程と、該吸着塔内を大気開放し又は真空ポンプで減
圧する脱着工程とを繰返し、吸着工程では吸着塔内の吸
着剤に酸素分子を吸着させて、窒素を外部に取出し、一
方脱着工程では吸着された酸素を脱着し、次の吸着工程
に鑑えるようになっている。
発明が解決しようとする問題点 しかるに従来の気体分離装置では、1台の気体分離装置
からは一種類の気体しか分離生成することができず、よ
って窒素と酸素を夫々生成しようとした場合、窒素発生
装置と酸素発生装置を別個に設けねばならなかった。更
に従来の気体分離装置では例えばPSA式窒素発生装置
は脱着工程において分子ふるいカーボンに吸着されてい
たIllll子分子く含むガスを単に大気放出しており
、またPSA式酸素発生装置は同じく脱着、L稈におい
て窒素分子を多く含むガスを大気放出していた。
このため、各発生装置は常に空気から窒素又は酸素を分
離することとなり、一方脱着工程では窒素又は酸素を多
く含むガスを排出しており、窒素発生装置及び酸素発生
装置をまとめて見た場合、各製品ガスの生成効率が悪い
という問題点があった。
本発明は上記の点に鑑みて創作されたものであり、1台
の分離装置で混合気体に含まれる二種類のガスを分離生
成する構成とすることにより、製品ガスの生成効率を向
上させた気体分離装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明では、気体分離装置
に第1の吸着分離手段と、第2の吸着分離手段を設けた
ことを特徴とする。
第1の吸着分離手段は、製品ガスとして取出される第1
及び第2の気体が含まれた混合気体が供給されこの混合
気体より上記第1の気体を吸着する第1の吸着塔を有し
ており、この第1の吸着塔で上記第1の気体を吸着分離
して第2の気体を多く含む製品ガスを生成すると共に、
上記第1の吸着塔の脱着時に第1の気体を多く含む排出
ガスを排出する。
第2の吸着分離手段は、上記第1の吸着分離手段から排
出される排出ガスが供給されこの排出ガスより上記第2
の気体を吸着する第2の吸着塔を設けており、この第2
の吸着塔で上記第2の気体を吸着分離して第1の気体を
多く含む製品ガスを生成する。
作用 気体分子fi装置を上記構成とすることにより、第1の
吸着分離手段では、第1及び第2の気体が含まれた混合
気体の内、第2の気体を製品ガスとして取出し、残った
第1の気体を多く含むガスを第2の吸着分離手段に送り
込み、第1の気体を製品ガスとして取出すため、1台の
気体分離装置で、二秒類の製品ガスを生成効率良く分離
生成することができる。
実施例 次に本発明の実施例について図面と共に説明する。第1
図は本発明の第1実施例である気体分離装置1の構成図
である。この気体分離装置1は、主として窒素と酸素の
混合気体である空気を供給されて、これを製品ガスたる
窒素と酸素に分離生成する装置である。
同図中、破線で囲まれた2は第1の吸着分離手段であり
、同様に破線で囲まれた3は第2の吸着分離手段である
。後述するように、第1の吸着分離手段2は窒素を製品
ガスとして生成するものであり、また第2の吸着分離手
段3はl素を製品ガスとして生成するものである。この
各吸着分離手段2.3はコンプレッサ4に接続されてい
る。
コンプレッサ4は圧縮空気供給源となるもので、コンプ
レッサ4からの圧縮空気は供給配管5.6を介して各吸
着分離手段2.3に供給されるようになっており、また
吸入側の配管7及び配管5゜6の途中には夫々電磁弁か
らなる切換弁8〜10が設けられている。続いて第1の
吸着分離手段2の構成について説明する。
図中、11.12は吸着塔で、各吸着塔11゜12内に
は夫々酸素を吸着する吸着剤と魁ての分子ふるいカーボ
ン11A、12A(図中、梨地で示す)が充填されてい
る。
13.14は脱着時に吸着塔11.12からの気体を排
出する配管で、夫々共通排出配管15に接続されており
、排出配管15は吸着されたガス(本実施例では吸着さ
れたI!素)を排出するようになっている。そして、前
記配管13.14の途中には夫々吸着塔11.12内の
脱着ガスを半すイクル毎に交互に排出する電磁弁からな
る気体排出用切換弁16.17が設けられている。
一方、18.19は吸着塔11.12からの窒素を夫々
取出す取出配管、20は該各配管18゜19と連結した
取出配管で、各配管18.19の途中には半サイクルの
閂だけ後述の制御の下に交互に開弁する電磁弁からなる
還流取出用切換弁21.22が夫々設けられている。ま
た前記取出配管20は生成される窒素ガスを貯溜する製
品タンク23と接続されている。
また、還流取出用の切換弁21.22は吸着塔11.1
2内を昇圧させるとき、後述するように空気供給用の切
換弁24.25の開弁と略同時に開弁され、製品タンク
23内の窒素ガスを吸着塔11.12内に還流させる。
尚、切換弁24゜25は供給配管5と各吸着塔11.1
2の間に配設されている。
26は吸着塔11.12ffiを連通ずる配管、27は
配管26の途中に設けられた電磁弁からなる均圧用切換
弁で、均圧用弁27は吸着塔11゜12による半サイク
ルの終了時に所定の短時間だけ開弁し、各吸着塔11.
12間を均圧にする。
製品タンク23には製品タンク23の窒素ガスを下流側
に供給する取出配管28が接続されており、取出配管2
8の途中には取出用弁29が配設されている。
次に第2の吸着分離手段3の構成について説明する。図
中、30は吸着塔で、内部には窒素を吸着する吸着剤と
しての分子ふるいカーボン30A(梨地で示す)が充填
されている。前記したコンプレッサ4に接続された配管
6及び第1の吸着分離手段2に設けられた排出配管15
は途中連通された上で吸着塔30に接続されている。尚
、排出配f115の途中位置には切換弁31が、また各
配管6.15に接続されたドレン管32にも大気放出用
の切換弁33が設けられている。
吸着塔30には取出し配管30a及び取出し用切換弁3
4を介して酸素を貯溜する製品タンク35が接続されて
いる。更に製品タンク35には、製品タンク35の酸素
ガスを下流側に供給する取出配管36が接続されており
、この取出配管36の途中には取出用の切換弁37が配
設されている。
上記構成になる気体分離装置iの動作について以下説明
する。
まず吸着塔11を作用させる場合には、第2図(A)に
示すように切換弁8.9.24を開き、他の切換弁は閉
じた状態にする。従って、コンプレッサ4からの圧縮空
気は図中矢印で示す経路で吸着塔11に供給され、吸着
塔11内の分子ふるいカーボン11Aにより空気中の酸
素分子は吸着分離される。次に切換弁21を開弁すると
吸着塔11内の窒素成分が多くなった気体が製品タンク
23内に流入し、ここに貯溜される。以上の窒素生成の
昇圧工程が進むにつれて吸着塔11内に吸着される酸素
分子の量は多くなり、分子ふるいカーボン11Aの吸着
機能は徐々に低下する。そして、分子ふるいカーボンI
IAが所定の吸着力以下となった時、切換弁8.9.2
4を閉弁すると共に切換弁27を開弁する(この状態を
第2図(B)に示す)。これにより各吸着塔11.12
は均圧化される(これを均圧工程という)。
均圧工程が終了すると、切換弁27は閉弁され、続いて
切換弁16.31が開弁され、吸着塔11内に残存して
いる酸素成分の多い気体は、排出配管15より排出され
第2の吸着分離手段3に進行し吸着塔30内に流入する
更に、切換弁10を開弁すると、第2図(C)に示すよ
うにコンプレッサ4がらの圧縮空気は配管6を介して吸
着塔30内に流入される。これにより、吸着塔30内で
は分子ふるいカーボン3゜Aにより窒素分子が吸着分離
される。この時、吸着塔30に流入される気体は、第1
の吸着分離手段2から送られてくる気体と、空気との混
合気体である。また第1の吸着分離手段2から送られて
くる気体は、窒素を除かれた酸素成分の多い気体である
。よって吸着jI30における皇位時間当りの酸素ガス
の生成層は、空気を直接吸着塔30で生成する場合に比
べて大となる。また、吸着塔30に流入する気体はll
!素の含有量が多いため、相対的に窒素の含有量が少な
くなり、よってこの窒素分子を吸着する吸着塔30内の
分子ふるいカーボン30の窒素分子吸着に伴う機能低下
の度合いを遅めることができる。このように、第2の吸
着分離手段における昇圧工程は効率良く行なわれる。 
続いて切換弁34を開弁すると吸着塔30内の酸素成分
が多くなった気体が製品タンク35内に流入し、ここに
貯溜される。以上の酸素生成の昇圧工程が終了すると、
第2図(D)に示すように切換弁10.34を閉弁し切
換弁16.31゜33を開弁し各吸着塔11.30内の
残留気体は大気放出される。これにより各吸着塔11.
30内の分子ふるいカーボン11A、30Aは脱着され
て膨張し次の工程に備える。
続いて、吸着塔11と吸着塔12とを逆にして、上記し
てきた第2図(A)〜(0)で示す工程を繰返して行な
い、吸着塔12の4圧工程において窒素ガスを生成する
と共に、吸着時に酸素を多く含む気体を第2の吸着分離
手段3の吸着塔30内に流入し、酸素ガスを生成する。
そして、ここまでを1サイクルとして順次このり°イク
ルを繰返すことにより、製品ガスたる窒素ガス及び酸素
ガスを連続的に生成することができる。
尚、上記実施例において、排出配管15が短い場合には
、切換弁31を省略することも可能である。
次に、本発明の第2実施例について説明する。
第3図は本発廚の第2実施例である気体分離装置38の
構成図である。気体分離装置38は大略すると第1の吸
着分離手段2.第2の吸着分離手段39及び気体供給手
段40とにより構成されている。
第1の吸着分離手段2は、酸素分子を吸着することによ
り窒素ガスを製品ガスとして生成するものであり、その
構成は前記した第1実施例で示した第1の吸着分離手段
と同一構成である。よって、第1実施例と対応する構成
には第3図に同一符号を付して、その説明を省略する。
第2の吸着分離手段39は、吸II塔41.42、製品
タンク43.切換弁44〜52及び供給配管53、排出
配管54を含む配9155〜61より構成されている。
この第2の吸着分離手段39は、吸着塔41.42内に
窒素分子を吸着する分子ふるいカーボン41A、42A
 (梨地で示す)が充填されている点を除き、他の構成
部品の配設構造は第1の吸着分離手段2の構造と同一構
造とされている。 気体供給手段40は、気体収納タン
ク62、コンプレッサ63.ドライヤ64及び切換弁6
5〜70を設けてなる。
気体収納タンク62は、画成されたふたつのタンク室6
2a、62bとにより構成されており、各タンク室62
a、62bには夫々配管71゜72を介してコンプレッ
サ63から圧縮気体が供給され得るよう構成されている
。また、各配管71.72の途中には切換弁65.66
が設けられている。更にタンク室62aには、第1の吸
着分離手段2の供給配管5が接続されており、一方、タ
ンク室62bには第2の吸着分離手段39の供給配管5
3が接続されている。この供給配管53の途中位置には
切換弁67が設けられている。後述するようにこの気体
収納タンク62のタンク室62aには窒素を多く含む気
体が一時収納され、またタンク室62bには酸素を多く
含む気体が一時収納される。コンプレッサ63は、吸入
側が三つに分岐されており、第1の吸着分離手段2の排
出配管15から分岐された配管73.第2の吸着分離手
段39の排出配管54及び空気が取入れられる取入れ配
管74が夫々接続されている。また、排出配管54には
切換弁70が、配管73には切換弁69が、更に取入れ
配管74には、取入れられる空気から水分を取除くドラ
イヤ64と切換弁68とが夫々設けられている。
上記のように本実施例では、同一構成のふたつの吸着分
離手段2.39を適宜に組合せ、これを気体供給手段4
0で支配する構成とすることにより、一方の吸着分離手
段2を窒素ガス生成用に、他方の吸着分離手段39を酸
素ガス生成用に使用するものである。以下、上記構成の
気体分離装置38の動作について説明する。
まず、気体収納タンク62内に気体が収納されていない
状態からの動作(始動時の動作)について説明する。こ
の時、第4図(A)に示すように切換弁24,66.6
8を開弁しコンプレッサ63を起動させる。これにより
、空気は取入れ配管74より、切換弁68.ドライヤ6
4.コンプレッサ63.切換弁66を経て一旦タンク室
62a内に流入し、更に供給配管5を介して吸着塔11
内に圧縮空気が流入する。よって吸着塔11において酸
素分子の吸着が行なわれ、切換弁21を開弁すると製品
ガスたる窒素ガスが製品タンク23内に流入し、ここに
貯溜される(窒素生成の昇圧工程)。次に第4図(B)
に示すように、切換弁21.24.66.68を閉弁し
、切換弁16゜17を開弁すると、各吸着塔IC12は
均圧化される(均圧工程)。
その後、切換弁17を閉弁すると共に切換弁51.49
を開弁する(第4図(C)に示す)と、吸着塔11内の
気体は切換弁16.排出配管15゜切換弁51を介して
第2の吸着分離手段39の供給配管53に流入し、更に
切換弁49を関して吸着塔41内に流入する。これによ
り吸着塔11内は更に低圧となり、充填されている分子
ふるいカーボン11Aに吸着された酸素分子は脱着され
てゆく。このとき、第2の吸着分離手段39の吸着塔4
1に流入する気体は、酸素を多く含む気体である。
続いて、切換弁49.51を閉弁すると共に切換弁65
.69を開弁した上でコンプレッサ63を作動する(第
4図(D)に示す)。これにより吸着塔11内に残留し
ている酸素を多く含む気体は、コンプレッサ63により
吸引され、配管13゜73、切換弁69を介してコンプ
レッサ63に到り、圧縮されて&!管71.切換弁65
を介してタンク室62a内に流入してここに一旦貯溜さ
れる。
これにより、吸着塔11では内圧が真空に近くなり分子
ふるいカーボン11Aは再生されJl[が促進されるた
め、次に吸着塔11において吸着が行なわれる際、効率
良く酸素分子の吸着を行なうことができる。
次にコンプレッサ63を停止させ、切換弁16゜65.
69を開弁すると共に、切換弁49.67を開弁すると
、第4図(E)に示す如く、タンク室62a内に圧縮貯
溜されていた酸素を多く含む、 気体は、第2の吸着分
離手段39の供給配管53及び切換弁49を介して吸着
塔41に流入する。
前工程において吸着塔41内には既に酸素分子を多く含
む気体が充填されており、更に本工程において吸着塔4
1には気体収納タンク62より酸素を多く含む圧縮気体
が流入するため、吸、13M41における窒素の吸着は
良好に行なわれ、よって酸素ガスを生成効率良く生成す
ることができる。切換弁46を開弁すると、製品ガスた
る酸素ガスは製品タンク43内に流入し、ここに貯溜さ
れる(M索生成の昇圧工程)。
I!素生成の昇圧工程が終了すると、切換弁49゜67
を開弁すると共に切換弁44.45を開弁して各吸着塔
41.42を均圧化する。続いて均圧工程終了後、第4
図(F)に示すように、切換弁44.45を閉弁すると
伴に切換弁16,49゜51を開弁する。これにより吸
着塔41は減圧され、分子ふるいカーボン41Aに吸着
されていた窒素は脱着され、窒素を多く含む気体は真空
に近い状態とされている第1の吸着分離手段2の吸着塔
11に配管15.13を介して吸引されていく。
よって、吸着塔11内には窒素を多く含む気体が充填さ
れる。
続いて、切換弁16.49.51を閉弁し、切換弁44
,70.66を開弁すると共にコンプレッサ63を作動
させる(この状態を第4図(G)に示す)。これにより
吸着塔41内に残留した窒素を多く含む気体は、コンプ
レッサ63に吸引されて排出配管54.切換弁70を介
してコンプレッサ63に到り、ここで圧縮されて配e7
2.切換弁66を介してタンク室62aに流入し、ここ
に−旦貯溜される。
この時、吸着塔41はコンプレッ+163により減圧さ
れるため、窒素のWA着は良好に進み分子ふるいカーボ
ン41Aは確実に再生され、よって次に窒素の吸着を行
なう際、効率良く吸着処理を行なうことができる。一方
、タンク室62aへの気体の供給両は、分離生成された
製品ガスが各製品タンク23.43に貯溜されるため通
常ネジすることになる。そこで、タンク室62a内には
圧力センサ(図示せず)が設けられており、内圧が所定
値に達しない場合には圧力センサがこれを検出し、図示
しない制御手段が電磁弁である切換弁68を開弁するよ
う構成されている。よって空気は必要時に自動的に気体
分離装置38内へ供給されてゆく。またこの時、外部空
気はドライヤ64を通して気体分離装置38内に取込ま
れる。
上記の如くタンク室62aに貯溜された気体は、少なく
とも通常空気に比べて窒素濃度の高い気体となっている
。よって、再び切換弁24を開弁して第1の吸着分離手
段2において窒素ガスの分離生成を行なう際、■吸着塔
11内の分子ふるいカーボン11Aは第4図(C)、(
D)で説明した工程で確実に1112着され再生してお
り、■第4図(F)で説明した工程により吸着塔11内
には既に窒素を多く含む気体が充填されており、■更に
気体収納タンク62から供給される気体は窒素を多く含
む気体であるため、吸着塔11における酸素の@6効率
は高められ、又窒素の発生量も従来に比べて地間される
。第2の吸着分離手段39においても同様のことがいえ
、窒素の吸着効率は高められ酸素の発生量を増大させる
ことができる。
また本実施例では、脱着工程においてコンプレッサ63
の吸引力を利用して各分子ふるいカーボン11A、12
A、41A、42Aを再生するので確実な12@を行な
うことができ、次の吸W I &における吸着力を高め
ることができる。更に各吸着分離手段2.39の脱着工
程で排出される排出ガスは、大気放出することなく気体
収納タンク62−に窒素成分の多い気体と酸素成分の多
い気体で区分されて貯溜され、これらの区分された気体
は各昇圧工程において適宜各吸着分離手段2゜39に供
給される。これにより、前記のように各製品ガスの生成
量を増大できると共に、常時外部の空気を取込む必要が
なくなる。一般にドライヤ64は電熱器を利用して空気
を乾燥させるため、多きな電力を消費する。しかるに本
実施例になる気体分離装W!38では、常時外部空気を
取込む必要がないため、外部空気を取込む時のみドライ
ヤ64を作動させる構成とすることにより消費電力の低
減を図ることができる。
尚、上記各構成の内、第1の吸着分離手段2の吸着塔1
1.12と第2の吸着分離手段39の吸着塔41.42
の容積比、及び気体収納タンク62の各タンク室62a
、62bの容積比は、空気中に含まれる窒素と酸素の比
より、吸着塔11゜12の方を大きく、またタンク室6
2の方を大きくすることが望ましい。
また、上記実施例では吸着塔11.41を主とする気体
分離装置38の半分の構成の動作について説明したが、
吸着塔12.42を主とする他の半分の構成についても
略同様の動作を行なうためその動作説明は省略する。
発明の効果 上述の如く本発明によれば、1台の気体分離装置で二種
類の製品ガスを生成できるため、従来のように製品ガス
の種類毎に気体分離装置を必要とすることがなくなり、
また第2の吸着分離手段で生成分離する気体を多く含み
、第1の吸着分離手段で排出される気体を、大気放出す
ることなく第2の吸着分離手段に供給するため、第2の
吸着力 ・離手段では生成効率良く製品ガスの生成を行
なうことができる等の特長を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例である気体分離装置の構成
図、第2図は第1図に示す気体分離装置の動作を順を追
って説明するための図、第3図は本発明の第2実施例で
ある気体分離装置の構成図、第4耐は第3図に示す気体
分I11装置の動作を順を追って説明するための図であ
る。 1・・・気体分離装置、2・・・第1の吸着分離手段、
3・・・第2の吸着分離手段、4・・・コンプレッサ、
5゜6・・・供給配管、11.12・・・吸着塔、15
・・・排出配管、23・・・製品タンク、3o・・・吸
着塔、35・・・製品タンク、38・・・気体分離装置
、39・・・第2の吸着分離手段、4o・・・気体供給
手段、41.42・・・吸着塔、43・・・製品タンク
、53・・・供給配管、54・・・排出配管、62・・
・気体収納タンク、63・・・コンプレッサ、64・・
・ドライヤ。 特許出願人 ト キ コ 株式会社 同   弁理士 松 浦 兼 行 i1肉 嬉4図 (A) 棺4図 (B) 第4図 (C) 嬉4図 (D) 省4図 (E) 1!4図 (F) ′@4図 (G)

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 製品ガスとして取出される第1及び第2の気体が含まれ
    た混合気体が供給され、この混合気体より上記第1の気
    体を吸着する第1の吸着塔を有しており、該第1の吸着
    塔で上記第1の気体を吸着分離して第2の気体を多く含
    む製品ガスを生成すると共に、上記第1の吸着塔の脱着
    時に第1の気体を多く含む排出ガスを排出する第1の吸
    着分離手段と、 上記第1の吸着分離手段から排出される排出ガスが供給
    され、この排出ガスより上記第2の気体を吸着する第2
    の吸着塔を設けており、該第2の吸着塔で上記第2の気
    体を吸着分離して第1の気体を多く含む製品ガスを生成
    する第2の吸着分離手段とを設けてなることを特徴とす
    る気体分離装置。
JP63010037A 1988-01-20 1988-01-20 気体分離装置 Pending JPH01184016A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63010037A JPH01184016A (ja) 1988-01-20 1988-01-20 気体分離装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63010037A JPH01184016A (ja) 1988-01-20 1988-01-20 気体分離装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH01184016A true JPH01184016A (ja) 1989-07-21

Family

ID=11739194

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63010037A Pending JPH01184016A (ja) 1988-01-20 1988-01-20 気体分離装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH01184016A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002047003A (ja) * 2000-08-03 2002-02-12 Teijin Ltd 吸着型酸素発生装置
WO2002085496A1 (en) * 2001-04-16 2002-10-31 Nippon Sanso Corporation Method and system for separating gas
WO2003045536A1 (en) * 2001-11-27 2003-06-05 Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device
WO2003086586A1 (en) 2002-04-15 2003-10-23 Nippon Sanso Corporation Gas separating method
JP2007296231A (ja) * 2006-05-02 2007-11-15 Teruo Kobayashi 動物治療用濃縮酸素供給装置及び動物治療用濃縮酸素供給方法
DE102007054051A1 (de) 2007-11-13 2009-05-20 Genima Innovations Marketing Gmbh System und Verfahren zur Verringerung von Angst und Belastungen des Patienten bei der Zahnbehandlung
US7824472B2 (en) 2005-11-14 2010-11-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Method and apparatus for pressure swing adsorption

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002047003A (ja) * 2000-08-03 2002-02-12 Teijin Ltd 吸着型酸素発生装置
KR100838166B1 (ko) * 2001-04-16 2008-06-13 다이요 닛산 가부시키가이샤 가스 분리 방법 및 그 장치
WO2002085496A1 (en) * 2001-04-16 2002-10-31 Nippon Sanso Corporation Method and system for separating gas
US6955711B2 (en) 2001-04-16 2005-10-18 Taiyo Nippon Sanso Corporation Method and system for separating gas
WO2003045536A1 (en) * 2001-11-27 2003-06-05 Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device
US6923844B2 (en) 2001-11-27 2005-08-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separation method and device
KR100879129B1 (ko) * 2001-11-27 2009-01-19 다이요 닛산 가부시키가이샤 가스 분리 방법 및 장치
WO2003086586A1 (en) 2002-04-15 2003-10-23 Nippon Sanso Corporation Gas separating method
US7300497B2 (en) 2002-04-15 2007-11-27 Taiyo Nippon Sanso Corporation Gas separating method
CN1299800C (zh) * 2002-04-15 2007-02-14 日本酸素株式会社 气体分离方法
US7824472B2 (en) 2005-11-14 2010-11-02 Taiyo Nippon Sanso Corporation Method and apparatus for pressure swing adsorption
JP2007296231A (ja) * 2006-05-02 2007-11-15 Teruo Kobayashi 動物治療用濃縮酸素供給装置及び動物治療用濃縮酸素供給方法
DE102007054051A1 (de) 2007-11-13 2009-05-20 Genima Innovations Marketing Gmbh System und Verfahren zur Verringerung von Angst und Belastungen des Patienten bei der Zahnbehandlung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0758625B1 (en) Method of recovering oxygen-rich gas
KR100260001B1 (ko) 압력 변동 흡착 방법
KR100491684B1 (ko) 압력순환흡착을 이용한 산소농축방법 및 장치
KR100300939B1 (ko) 진공 압력 순환 흡착 방법
US4973339A (en) Pressure swing absorption process and system for gas separation
JP3310249B2 (ja) 1つの吸着器と1つのブロワーを使用する酸素製造方法及び装置
US6048384A (en) PSA process and system using simultaneous top and bottom evacuation of absorbent bed
JPH1087302A (ja) 単一段二次高純度酸素濃縮機
JP2000153124A (ja) 酸素が富化されたガスを製造する圧力スイング吸着方法
JP2000354726A (ja) 圧力スゥイング吸着プロセス及び装置
EP0564107A1 (en) Method and apparatus for producing ozone
US5997611A (en) Single vessel gas adsorption system and process
JPH08168631A (ja) 圧力変化と吸着による気体混合物の処理方法
JPH01184016A (ja) 気体分離装置
JPH11267439A (ja) ガス分離方法及びこの方法を実施するガス分離装置
JPH10272332A (ja) ガス分離装置及びその運転方法
JP2006015221A (ja) 気体分離装置
CN210764337U (zh) 一种负压吸附高纯制氮装置
KR200287409Y1 (ko) 압력순환흡착을 이용한 산소농축장치
JPH10194708A (ja) 酸素濃縮装置
KR100228239B1 (ko) 제품질소 농도에 따른 압력변동흡착식 질소제조장치와 방법
JP3073061B2 (ja) 気体分離装置
JPH11347336A (ja) 小型ガス分離装置
JP3895037B2 (ja) 低圧酸素濃縮法
JP4594223B2 (ja) 窒素ガス発生装置