JP2003142801A

JP2003142801A - エッチングレジストインク

Info

Publication number: JP2003142801A
Application number: JP2001342332A
Authority: JP
Inventors: Naohiro Honda; 直弘本田; Shigenori Nagahara; 重徳永原; Satoshi Imahashi; 聰今橋
Original assignee: Toyobo Co Ltd
Current assignee: Toyobo Co Ltd
Priority date: 2001-11-07
Filing date: 2001-11-07
Publication date: 2003-05-16

Abstract

(57)【要約】【課題】作業環境問題や大気汚染等の環境問題を低減
し、しかもそのレジストの性能、特に硬化感度、耐エッ
チング性、接着性等に優れたエッチングレジストインク
を提供すること。【解決手段】酸性基含有樹脂、反応性プレポリマーおよ
び／または反応性モノマー、光重合開始剤を含む組成物
を、乳化剤によりエマルジョン化した光硬化性組成物か
ら得られるエッチングレジストインクであり、乳化剤と
して分解性界面活性剤を含有し、かつ実質的には酸性基
が中和されていないことを特徴とするエッチングレジス
トインクである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、エッチングレジス
トインクに関し、詳しくは分解性界面活性剤を含有する
エッチングレジストインクであり、このエッチングレジ
ストインクからなるレジストの性能、特に硬化感度、耐
エッチング性、接着性等が優れたエッチングレジストイ
ンクおよびその硬化方法に関する。また本発明エッチン
グレジストインクはプリント配線板のレジスト用途に適
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、エッチングレジストインクは
設備の簡素化による省エネルギー化、労務コストの削減
による省力化等の問題を解決する目的で使用されてい
る。しかし、実用化されているエッチングレジストイン
クは速硬化性や塗工性をより良くするために、比較的低
分子量の反応性モノマーや有機溶剤を使用または併用さ
れている場合が多い。このため、反応性モノマーや有機
溶剤による臭気、有毒性、引火性等の作業環境問題や大
気汚染等の環境問題が生じている。

【０００３】そこで、これらの問題を解決することを目
的として、以下に示す光硬化性組成物が開示されてい
る。（１）樹脂設計の段階で、ポリマーの共重合等により化
合物中に親水性部位を導入して水溶解性をもたせた光硬
化性組成物、（２）樹脂配合の段階で、界面活性剤等に
より水分散性をもたせた光硬化性組成物、さらには
（３）前述の光硬化性組成物にアクリルエマルジョンや
水溶性高分子等を併用した光硬化性組成物である。この
ように種々の水性光硬化性組成物が開示されているが、
これらの光硬化性組成物をエッチングレジストインクと
して用いても、水分散性、保存安定性、もしくはエッチ
ングレジストの性能、特に硬化感度、耐エッチング性、
接着性等に問題があるため、未だに実用化に至っていな
いのが現状である。

【０００４】前記問題を解決するため、特開平２−３０
０２０４号公報には、粒子表面に重合性二重結合を導入
したエマルジョン組成物の製造方法が開示されている。
粒子表面に重合性二重結合を導入することによって、あ
る程度架橋密度を高くできるものの、硬化物の性能、特
に硬化感度、耐水性（耐沸水性）、接着性を充分に満足
するものではなかった。また、製造工程が複雑でコスト
が高くなる難点もあった。特開平９−１５７４９５号公
報には、エマルジョン粒子が三次元架橋した高分子エマ
ルジョン及びその製造方法が開示されている。この製造
法では簡易に製造でき、架橋密度も向上し有効である
が、硬化物の性能、特に硬化感度、耐水性、接着性等を
未だ充分に満足するものではなかった。特開平８−３０
２２４０号公報には、組成物が重合反応によりエマルジ
ョンのミセル中の重合性化合物同士が化学結合する架橋
型エマルジョンを含有する光硬化性組成物が開示されて
いる。しかしながら硬化物同士の化学結合が強過ぎるた
めに基材との接着性に劣り、またその他に硬化感度、耐
水性等の硬化物の性能を満足するものではない。特許第
３０３２８５１号公報には水溶性高分子を用いた光硬化
性組成物が開示されている。しかしながら水溶性高分子
ポリマーを使用しているため、組成物の水分散性や保存
安定性は改良されたものの、エッチングレジストとして
使用するには、レジストとしての性能、特に硬化感度、
耐エッチング性、接着性等に乏しいという根本的な問題
があり、実用レベルまで達していない。

【０００５】

【発明の解決しようとする課題】本発明は、作業環境問
題や大気汚染等の環境問題を低減し、しかもそのレジス
トの性能、特に硬化感度、耐エッチング性、接着性等に
優れたエッチングレジストインクを提供することを課題
とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らはエッチング
レジストインクおよびその硬化方法について、前記課題
を解決するために鋭意、研究、検討した結果、遂に本発
明を完成するに到った。すなわち本発明は、酸性基含
有樹脂、反応性プレポリマーおよび／または反応性モノ
マー、光重合開始剤を含む組成物を、乳化剤によりエマ
ルジョン化した光硬化性組成物から得られるエッチング
レジストインクであり、乳化剤として分解性界面活性剤
を含有し、かつ実質的には酸性基が中和されていないこ
とを特徴とするエッチングレジストインク。分解性界
面活性剤がノニオン性界面活性剤である前記記載のエ
ッチングレジストインク。反応性プレポリマーが少な
くとも１分子中に１個以上のエチレン性不飽和結合と酸
性基を含有する前記または記載のエッチングレジス
トインク。前記〜のいずれかに記載のエッチング
レジストインクを塗工した後、光処理および／または熱
処理するエッチングレジストインクである。

【０００７】本発明で使用される反応性プレポリマーと
は、分子量（重量分子量Ｍｗ）５０００〜１００万、好
ましくはＭｗ５０００〜１０万、さらに好ましくはＭｗ
５０００〜５万のエチレン性不飽和基を有する高分子化
合物である。具体的には、エポキシ（メタ）アクリレー
ト、ポリウレタン（メタ）アクリレート、ポリエステル
（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレ
ート、シリコン（メタ）アクリレート、ポリブタジエン
（メタ）アクリレート、ポリアミド（メタ）アクリレー
ト、ポリアミドイミド（メタ）アクリレート等を例示で
きる。

【０００８】本発明において用いられる少なくとも１分
子中に１個のエチレン性不飽和結合と酸性基を含有する
反応性プレポリマーとしては、例えば、エポキシ化合物
にアクリル酸などを反応させ、これによって生じた水酸
基に酸無水物を反応させたポリマー等が挙げられる。

【０００９】本発明で使用される反応性モノマーとは、
少なくとも１分子中に１個以上のエチレン性不飽和結合
を有するモノマーであり、以下の化合物および以下の化
合物の混合物を例示できる。具体的には、スチレン、酢
酸ビニル、N−ビニルピロリオン等のビニルモノマー、
ブチルアクリレート、２−エチルヘキシルアクリレー
ト、n−ヘキシルアクリレート、シクロヘキシルアクリ
レート、n−ドデシルアクリレート、イソホロニルアク
リレート、ジシクロペンテニルオキシエチルアクリレー
ト、フェノキシエチルアクリレート等の単官能モノマ
ー、１，４−ブタンジオールジアクリレート、１，６−
ヘキサンジオールジアクリレート、ジュエチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、ポリエチレングリコールジアクリレート、トリ
プロピレングリコールジアクリレート、ビスフェノール
Ａジエトキシジアクリレート、トリメチロールプロパン
トリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレ
ート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート等の多官能モノ
マー等が例示できる。

【００１０】本発明で使用される酸性基含有樹脂とは、
分子量（重量分子量Ｍｗ）５０００〜１００万の高分子
化合物である。好ましくはＭｗ５０００〜１０万、さら
に好ましくはＭｗ５０００〜５万の高分子化合物であ
り、樹脂中に酸性基を含有していればどんな樹脂でもよ
く、上記反応性プレポリマーおよび／または反応性モノ
マーと酸性基含有モノマーを（共）重合させた化合物等
を例示できる。具体的にはエポキシ化合物に、アクリル
酸などを反応させ、これによって生じた水酸基に酸無水
物を反応させた樹脂が挙げられる。その他、アクリル
酸、メタクリル酸、２−メタクリロイロキシエチルアシ
ッドホスフェートなどの酸性基を含有するビニルモノマ
ーを非酸性ビニルモノマーと共重合した樹脂も使用でき
る。非酸性ビニルモノマーとしては、例えば、スチレ
ン、α−メチルスチレン、フルオロスチレン、ビニルピ
リジン等の芳香族モノビニル化合物、メチル（メタ）ア
クリレート、エチレ（メタ）アクリレート、ブチル（メ
タ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリ
レート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、
グリシジル（メタ）アクリレート、N,N−ジメチルアミ
ノエチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸
エステルモノマー、（メタ）アクリロニトリル等のシア
ン化ビニル化合物等を用いることができる。また、重合
速度および重合中の安定性等の点で許容されうる範囲内
においてブタジエン、イソプレン等の共役二重結合化合
物や酢酸ビニル等のビニルエステル類や４−メチル−１
−ペンテン等のα―オレフィン類も使用することができ
る。これらの非酸性ビニルモノマーは単独で使用しても
良く、二種以上を組み合せ使用してもよい。

【００１１】本発明で使用される酸性基含有樹脂の酸性
基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、スルフィ
ン酸基、硫酸基、リン酸基、ホスホン酸基、ホスフィン
酸基、フェノール基などが挙げられる。これらの酸性基
の中で、カルボキシル基が特に好ましい。その酸価は３
０〜２００ｍｇＫＯＨ/ｇであることが好ましい。さら
に好ましくは３０〜１５０ｍｇＫＯＨ/ｇである。酸価
が低くなりすぎると、アルカリ水に対する溶解性が悪く
なるためにアルカリ現像が困難になり、酸価が高くなり
すぎると、アルカリ現像の際に露光部の膜減りが生じる
ので好ましくない。なお実質的にはこれらの酸性基は金
属イオンやアンモニウムイオン等で中和されていないこ
とが必須である。

【００１２】本発明で使用される乳化剤としての界面活
性剤とは、気体―液体、液体―液体間の界面に吸着また
は配列し、その界面または表面の性質を著しく変化させ
る物質のことである。界面活性剤が吸着する性質は、界
面活性剤のもつ構造的な特異性に起因するといわれるも
ので、一般的には界面において表面張力を低下させる等
のエネルギー変化を起こすものである。界面活性剤は、
構造的には、極性をもち、水に溶解あるいは親和する親
水部をもつ物質、無極性で有機溶剤に溶解あるいは親和
する親油部をもつ物質、または親水部と親油部を同時に
分子内にもつ物質である。界面活性剤には、乳化剤、分
散剤、帯電防止剤、凝集剤、可溶化剤、浸透剤と呼ばれ
るような、助剤的役割を果たすものも含む。

【００１３】本発明で使用される分解性界面活性剤は、
カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、ノニオ
ン性界面活性剤、両性界面活性剤、その他の界面活性剤
に分類されるが、外からのエネルギー（熱、光、酸塩
基、圧力等）の付与により、分解する界面活性剤であれ
ば、任意である。しかし硬化物の性能、特に硬化感度、
耐エッチング性を考慮すると、酸分解性のノニオン性界
面活性剤がより好ましい。また、界面活性剤は１種類だ
けでなく、２種類以上を併用して配合してもよい。具体
的には、分解性でカチオン性界面活性剤として、脂肪酸
アミン塩およびその４級アンモニウム塩、芳香族４級ア
ンモニウム塩、複素環４級アンモニウム塩等が例示され
る。分解性でアニオン性界面活性剤として、脂肪酸石け
ん、Ｎ−アシルアミノ酸塩、アルキルエーテルカルボン
酸塩、アシル化ペプチド、アルキルスルホン酸塩、アル
キルベンゼンおよびアルキルナフタレンスルホン酸塩、
スルホコハク酸塩、α−オレフィンスルホン酸塩、Ｎ−
アシルスルホン酸塩、硫酸化油、アルキル硫酸塩、アル
キルエーテル硫酸塩、アルキルアリルエーテル硫酸塩、
アルキルアミド硫酸塩、アルキルリン酸塩、アルキルエ
ーテルリン酸塩、アルキルアリルエーテルリン酸塩等が
例示される。分解性でノニオン性界面活性剤として、ア
ルキルおよびアルキルアリルポリオキシエチレンエーテ
ル、アルキルアリルホルムアルデヒド縮合ポリオキシエ
チレンエーテル、ポリオキシプロピレンを親油基とする
ブロックポリマー、ポリオキシエチレンポリオキシプロ
ピルアルキルエーテル、グリセリンエステルのポリオキ
シエチレンエーテル、ソルビタンエステルのポリオキシ
エチレンエーテル、ソルビトールエステルのポリオキシ
エチレンエーテル、ポリエチレングリコール脂肪酸エス
テル、グリセリンエステル、ポリグリセリンエステル、
ソルビタンエステル、プロピレングリコールエステル、
脂肪酸アルカノールアミド、ポリオキシエチレン脂肪酸
アミド、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アミンオ
キシド、アセチレングリコール、ポリアセチレングリコ
ールエステル、等が例示される。分解性で両性界面活性
剤として、カルボキシベタイン型、スルホベタイン型、
アミノカルボン酸塩、イミダゾリン誘導体等が例示され
る。その他にも、分解性のフッ素系界面活性剤や反応性
界面活性剤等が例示される。

【００１４】これらの分解性界面活性剤の使用量は、エ
ッチングレジストインクの保存安定性や硬化物の性能等
により任意であるが、好ましくはエッチングレジストイ
ンクに対して０．０１〜８０重量％程度であり、さらに
好ましくは０．１〜５０重量％であり、なおさらに好ま
しくは０．１〜１０重量％である。０．０１％未満では
光硬化性組成物が均一に分散できなくなり、８０重量％
を超えると硬化物の性能（接着性、耐エッチング性）が
悪くなる。また保存安定性をよくするには、界面活性剤
は１重量％以上使用するのが好ましい。

【００１５】本発明で使用される光重合開始剤として
は、以下の化合物を例示できる。ただし電子線で硬化さ
せる場合には重合開始剤は不要である。具体的には、通
常紫外線硬化性化合物に使用されているものである。例
えば、アセトフェノン、ベンゾフェノン、ベンゾインエ
ーテル、クロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェ
ノン、α―アミノアセトフェノン、ベンジルメチルケタ
ール、チオキサントン、α―アシルオキシムエステル、
アシルホスフィンオキシド、グリオキシエステル、３−
ケトクマリン、２−エチルアンスラキノン、カンファー
キノン、ミヒラーケトン等が例示できる。これらの光重
合開始剤は、エッチングレジストインク中に通常０．１
〜５０重量％、好ましくは１〜２０重量％範囲で使用さ
れる。

【００１６】本発明において、酸性基含有樹脂、反応性
プレポリマー、反応性モノマー、分解性界面活性剤およ
び光重合開始剤のそれぞれの配合量としては、固形分に
対して、酸性基含有樹脂が０〜９９．９重量％、好まし
くは５０〜９９．９重量％、反応性プレポリマーが０〜
９９．９重量％、好ましくは０〜５０重量％、反応性モ
ノマーが０〜９９．９重量％、好ましくは０〜５０重量
％、界面活性剤が０．０１〜８０重量％、好ましくは
０．１〜５０重量％、光重合開始剤が０．１〜５０重量
％、好ましくは１〜２０重量％である。ただし酸性基含
有樹脂に１個以上のエチレン性不飽和結合を有する場合
は、反応性プレポリマーや反応性モノマーは含まなくて
もよい。

【００１７】本発明においては、前記組成にさらに希釈
剤を配合してもよく、本発明で使用される稀釈剤として
は、必ず水を含有するが、水以外にも水溶性有機溶剤を
混合してもよい。水溶性有機溶剤としては、例えば、メ
タノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノー
ル、アセトン、メチルエチルケトン、テトラヒドロフラ
ン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノブチルエーテル、１−メト
キシ−２−プロパノール等の水と親和性の良い有機溶剤
が挙げられる。稀釈剤は、エッチングレジストインク中
に通常０〜８０重量％、好ましくは０〜５０重量％の範
囲で使用され、稀釈剤中の水と水溶性有機溶剤の配合比
は０：１００〜１００：０であり、好ましくは０：１０
０〜５０：５０であり、さらに好ましくは０：１００〜
３０：７０である。

【００１８】なお、本発明のエッチングレジストインク
には、任意の色素、顔料、レベリング剤、消泡剤、充填
剤等を添加することができるが特に限定するものではな
い。また必要があれば、分解性界面活性剤を分解するた
めに、酸発生剤や塩基発生剤等の界面活性剤の分解剤を
エッチングレジストに加えることもできる。さらにこれ
らを複数加えることも可能である。

【００１９】本発明でエッチングレジストインクを乳化
剤でエマルジョン化するために強制乳化法が用いられ
る。すなわち、稀釈剤に溶解しない化合物と稀釈剤を均
一に分散させるために、分解性界面活性剤を添加し、さ
らにホモジナイザー等の攪拌装置を使って、強力に攪拌
分散させてエマルジョンが得られる。本発明では強制乳
化により、酸性基含有樹脂、反応性プレポリマーおよび
／または反応性モノマー、光重合開始剤と稀釈剤が分解
性界面活性剤によって均一に分散している。

【００２０】本発明は、前述した酸性基含有樹脂、反応
性プレポリマー、反応性モノマーおよび光重合開始剤を
含む組成物を、分解性界面活性剤を乳化剤としてエマル
ジョン化した光硬化性組成物エマルジョンであり、作業
環境問題や大気汚染等の環境問題を低減し、しかもその
レジストの性能、特に硬化感度、耐エッチング性、接着
性等に優れたエッチングレジストインクを提供すること
ができる。

【００２１】本発明で得られたエッチングレジストイン
クの硬化物を得る硬化方法としては、光処理および／ま
たは熱処理による硬化方法が挙げられる。光処理に使用
する活性エネルギー線としては、波長領域１５０〜５０
０（ｍμ）、好ましくは波長領域３００〜４００（ｍ
μ）で、エネルギー量としては０〜３０００（ｍJ／ｃ
ｍ²）が好ましい。使用する光源としては低圧水銀灯、
高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、紫外線
蛍光灯、ケミカルランプ、キセノンランプ、ジルコニウ
ムランプ等が望ましい。熱処理の温度としては、１２０
〜２００℃、好ましくは１３０〜１５０℃である。１２
０℃以下未満の温度では反応が不充分であり、目的の性
能を示す硬化物を得にくい。上記方法以外にも硬化物を
得る方法として、６０〜１１０℃で熱処理後、光処理を
行い、更に１２０〜２００℃で熱処理して硬化する方法
が挙げられる。

【００２２】本発明で得られたエッチングレジストは、
例えばポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチ
レンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレン
フィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィ
ルム、ポリイミド銅張積層板、リジッド板、ガラス板、
紙等の基材に塗工して、前記硬化方法により得ることが
できるが、塗工基材はこれらに限定するものではない。

【００２３】塗工方法としては、例えばグラビアコート
方式、キスコート方式、ディップ方式、スプレーコート
方式、カーテンコート方式、エアナイフコート方式、ブ
レードコート方式、リバースロールコート方式、スクリ
ーン印刷方式、静電スプレーコー方式等の方法が採用で
きるがこれらに限定するものではない。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明のエッチングレジストイン
クの一実施態様例としては、(I)酸性基含有樹脂、反応
性プレポリマ−および／または反応性モノマー、光重合
開始剤、分解性界面活性剤、光酸発生剤および稀釈剤を
強制乳化してエマルジョン化した光硬化性組成物を得
る。(II)光硬化性組成物をポリイミドフィルム銅張積層
板の銅箔表面に乾燥処理後の厚みが約１０（μｍ）にな
るように塗工し、８０℃で２０分間乾燥する。(III)得
られた塗工膜面へ３ＫＷ超高圧水銀灯を用い１００（mJ
／ｃｍ²）の照度で光硬化させる。(IV)このような硬化
方法によって得られたエッチングレジストを評価項目に
沿って評価する。

【００２５】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。なお、実施例中に部とあるのは重量部を意味す
る。また、実施例中における評価項目と方法は、次に述
べる方法による。１）エッチングレジストインクの水分散性と保存安定
性：光硬化性組成物をホモジナイザー（ＪＡＮＫＥ＆Ｋ
ＵＮＫＥＬ（株）製）で強制乳化（１００００ｒｐｍ、
５分）して１ヶ月間静置した後の保存安定性を目視で評
価した。均一分散：○、不均一：× ２）硬化物について以下の性能を評価した。接着性：ポリイミドフィルム銅張積層板の銅箔上に硬
化物を有する試料を使って、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥
離試験法により銅箔との接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐水性（耐沸水性）：ポリイミドフィルム銅張積層板
の銅箔上に硬化物を有する試料を８０℃〜９０℃の沸水
中に１時間浸漬させたあと、硬化物の表面の水滴を拭き
取り、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐酸性：１０％塩酸液と１０％硫酸液を用いて試料を
常温３０分間浸漬させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試
験法により銅箔との接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐溶剤性：トルエンを用いて試料を常温３０分間浸漬
させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐溶剤性：トルエンを用いて試料を常温３０分間浸漬
させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐溶剤性：トルエンを用いて試料を常温３０分間浸漬
させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐溶剤性：トルエンを用いて試料を常温３０分間浸漬
させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐溶剤性：トルエンを用いて試料を常温３０分間浸漬
させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法により銅箔と
の接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 耐エッチング性：エッチング溶液を用いて試料を常温
３０分間浸漬させ、ＪＩＳＫ５４００碁盤目剥離試験法
により銅箔との接着性を評価した。１００／１００：○、８０／１００：△、８０以下
／１００：× 鉛筆硬度：ポリイミドフィルム銅張積層板の銅箔上の
硬化物を、ＪＩＳＫ５４００鉛筆引っ掛け試験法により
評価した。この測定値から硬化膜の感光性の良否を判断
した。 ≧Ｈ：○、 ≧Ｂ：△、Ｆ＜：× 感度：ポリイミドフィルム銅張積層板の銅箔上に硬化
物を有する試料に露光（１００ｍJ／ｃｍ²）および現像
（１％炭酸ナトリウム、１分）を行い、硬化感度を評価
した。細線：ポリイミドフィルム銅張積層板の銅箔上に硬化
物を有する試料に露光、現像、エッチング（塩化鉄）お
よびアルカリ剥離（５％苛性ソーダ）を行い、細線の再
現性を評価した。誤差＝（アルカリ剥離後の銅箔の細線）／（ネガの細
線）誤差が、 ±３０％未満：○、±３０％以上：×

【００２６】実施例１ＭＭＡ−ＭＡＡアクリル樹脂（ナカライテスク（株）製
メタクリル酸メチル-メタクリル酸共重合体 Mw３万、
酸価１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ）３０部、反応性モノマーＤ
ＰＨＡ（日本化薬（株）製）２０部、光重合開始剤ダル
キュア９０７（メルク（株）製）５部、酸分解性界面活
性剤ＧＴ９１−０２Ｅ（アクゾノーベル（株）製）２
部、光酸発生剤（トリフェニルスルホニウム塩、東京化
成（株）製）、１−メトキシ−２−プロパノール３０部
およびイオン交換水１５部をホモジナイザー（ＪＡＮＫ
Ｅ＆ＫＵＮＫＥＬ（株）製）で強制乳化（１００００ｒ
ｐｍ、５分）させ、エッチングレジストインクを得た。

【００２７】比較例１実施例１で使用した界面活性剤に代わって、揮発性ノニ
オン性界面活性剤サーフィノ−ル１０４（エアープロダ
クツジャパン（株）製）を使用した以外は全て同じ方法
でエッチングレジストインクを得た。

【００２８】比較例２実施例１で使用した界面活性剤に代わって、アニオン性
界面活性剤ラウリル硫酸ナトリウム（ナカライテスク
（株）製）を使用した以外は全て同じ方法でエッチング
レジストインクを得た。

【００２９】比較例３実施例１で使用した界面活性剤に代わって、ノニオン性
界面活性剤ポリオキシエチレンヘキサデシルエーテル
（ナカライテスク（株）製）を使用した以外は全て同じ
方法でエッチングレジストインクを得た。

【００３０】比較例４実施例１で使用した界面活性剤を添加しない以外は全て
同じ方法でエッチングレジストインクを得た。

【００３１】実施例１および比較例１〜４によって得ら
れたエッチングレジストインクを使って保存安定性を評
価した。次に、実施例１および比較例１〜３によって得
られたエッチングレジストインクをそれぞれ乾燥処理後
の厚みが１０（μｍ）になるよう１ＯＺのポリイミドフ
ィルム銅張積層板に塗工した。そして、８０℃で２０分
間乾燥させ、３ＫＷ高圧水銀灯を用いて１００（ｍＪ／
ｃｍ²）の照度で光硬化させた。これらの硬化膜を評価
項目に沿って評価した。なお、硬化感度の測定は、露光
する際にステップガイドを使い、1%炭酸ナトリウム９０
秒で現像したものを評価した。それら評価結果、実施例
１、比較例１〜４の結果を表１〜２に示す。

【００３２】

【表１】

【００３３】

【表２】

【００３４】

【発明の効果】以上、かかる構成よりなる本発明エッチ
ングレジストインクは、臭気、有毒性、引火性等の作業
環境問題や大気汚染等の環境問題を低減し、水分散性や
保存安定性も良好であり、しかもそのエッチングレジス
トの性能、特に硬化感度、耐エッチング性、接着性に優
れているので、産業界に寄与すること大である。

フロントページの続きＦターム(参考） 2H025 AA01 AA07 AA08 AA13 AA14 AB15 AC01 AD01 BC31 BC51 BJ03 CA00 CB42 CC04 4J038 BA202 DF022 DF042 FA011 FA041 FA061 FA111 FA241 FA251 FA261 FA271 FA281 FA291 GA06 GA13 GA14 JA20 JA27 JA47 JA57 JB01 JB08 JB09 JB11 JB13 JB25 JC09 JC14 JC24 KA03 KA09 MA10 NA11 NA12 NA27 PA17 PB11 4J039 AD03 AD10 AD11 AD15 AD21 AE01 AE04 AE05 AE06 AE07 AE08 AE09 AE11 AF03 AF07 BC07 BC09 BC12 BC16 BC17 BC20 BC34 BC36 BC55 BE22 BE27 CA06 EA03 EA05 EA43 EA45 GA18 5E339 CC01 CD01 CE11 CE19 CF05 CG04 DD04 GG10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】酸性基含有樹脂、反応性プレポリマーおよ
び／または反応性モノマー、光重合開始剤を含む組成物
を、乳化剤によりエマルジョン化した光硬化性組成物か
ら得られるエッチングレジストインクであり、乳化剤と
して分解性界面活性剤を含有し、かつ実質的には酸性基
が中和されていないことを特徴とするエッチングレジス
トインク。
【請求項２】分解性界面活性剤がノニオン性である請求
項１記載のエッチングレジストインク。
【請求項３】反応性プレポリマーが、少なくとも１分子
中に１個以上のエチレン性不飽和結合と酸性基を含有す
る請求項１または請求項２記載のエッチングレジストイ
ンク。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載のエッチン
グレジストインクを塗工した後、光処理および／または
熱処理するエッチングレジストインク。