JP2003143877A - 圧電素子利用のモ−タ− - Google Patents

圧電素子利用のモ−タ−

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JP2003143877A
JP2003143877A JP2001334684A JP2001334684A JP2003143877A JP 2003143877 A JP2003143877 A JP 2003143877A JP 2001334684 A JP2001334684 A JP 2001334684A JP 2001334684 A JP2001334684 A JP 2001334684A JP 2003143877 A JP2003143877 A JP 2003143877A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、圧電素子を駆動源として回転運動を
発生させる圧電素子利用のモ−タを提供することを目的
としている。 【解決手段】圧電素子利用のモ−タ−Aは、回転自在に
支持された回転軸1と、この回転軸1の端面に設けられ
た第1の電極3と、この第1の電極3に設けられた圧電
素子4と、この圧電素子4に設けられた第2の電極5
と、この第2の電極5と第1の電極3で圧電素子4を挟
む構成とし、第2の電極5に設けられた慣性体6とを有
したモ−タ−であって、圧電素子4は円盤形状をなし、
ランジュバン型で、該円盤は二分割された第1の分割片
41と第2の分割片42を有し、第1の分割片41と第2の分
割片42とは分極方向が異なるように設けられるものであ
り、第1の電極41と前記第2の電極42との間に電圧を印
加して第1の分割片41の変移方向と第2の分割片42の変
移方向とを異ならせて回転変移を発生させ、回転軸1を
駆動させるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、圧電素子利用のモ−タ−に係
り、特に、圧電素子を駆動源として回転運動を発生させ
る圧電素子利用のモ−タに関する。
【0002】
【従来の技術】従来より圧電素子を駆動源として直進運
動を発生させるものとして、例えば、特公平4−520
70号公報記載の「圧電・電歪素子を用いた衝撃力によ
る微小移動装置」があり、また、回転運動を行うものと
して、超音波モ−タ−がある。超音波モ−タ−は、ロ−
タ−と、円周の外周に圧電素子を配置したステ−タ−と
を有し、圧電素子に電圧を与えて圧電素子を伸縮させて
ステ−タ−側に圧電素子による進行波を形成し、この進
行波によりステ−タ−に強く接触しているロ−タ−を回
転させるものである。しかしながら、上述の超音波モ−
タ−にあっては、円周の外周に圧電素子を複数配置し、
該圧電素子の伸縮による進行波を電圧制御等により形成
しなければならず、制御が複雑になると共に、円周の外
周に圧電素子を複数配置するため、小型化の点で制約を
受けるという問題点があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した問
題点を除去するようにした圧電素子利用のモ−タ−を提
供するものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の圧電素子利用のモ−タ−は、回転自
在に支持された回転軸と、この回転軸の端面に設けられ
た第1の電極と、この第1の電極に設けられた圧電素子
と、この圧電素子に設けられた第2の電極と、この第2
の電極と前記第1の電極で前記圧電素子を挟む構成と
し、前記第2の電極に設けられた慣性体とを有したモ−
タ−であって、前記圧電素子は円盤形状をなし、ランジ
ュバン型で、該円盤は二分割された第1の分割片と第2
の分割片を有し、前記第1の分割片と前記第2の分割片
とは分極方向が異なるように設けられるものであり、前
記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加して
前記第1の分割片の変移方向と前記第2の分割片の変移
方向とを異ならせて回転変移を発生させ、前記回転軸を
駆動させるものである。
【0005】また、請求項2記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、請求項1記載の圧電素子利用のモ−タ−におい
て、第1の分割片は分割されて複数の第1’の分割片を
形成し、この複数の第1’の分割片の分極方向は全て同
じであると共に、第2の分割片は分割されて複数の第
2’の分割片を形成し、この複数の第2’の分割片の分
極方向は全て同じである。
【0006】また、請求項3記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、回転自在に支持された回転軸と、この回転軸の
端面に設けられた第1の電極と、この第1の電極に設け
られた圧電素子と、この圧電素子に設けられた第2の電
極と、この第2の電極と前記第1の電極で前記圧電素子
を挟む構成とし、前記第2の電極に設けられた慣性体と
を有したモ−タ−であって、前記圧電素子は底面の直径
より高さが低い円柱形状をなし、該円柱の母線に対して
斜め方向に分極されたものであり、前記第1の電極と前
記第2の電極との間に電圧を印加して前記圧電素子は捩
るように変形して前記回転軸を駆動させるものである。
【0007】また、請求項4記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、回転自在に支持された回転軸と、この回転軸の
端面に立設すると共に、前記回転軸に放射状に設けられ
た複数の第1の電極と、慣性体本体より垂下して前記複
数の第1の電極に対向するように放射状に設けられた複
数の第2の電極を備えた慣性体と、対向する前記第1の
電極と前記第2の電極との間毎に設けられた扇形形状の
複数の圧電素子とを有したモ−タ−であって、前記第1
の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加して前記扇
形形状の圧電素子の内周側と外周側との歪み差を利用し
て前記回転軸を駆動させるものである。
【0008】また、請求項5記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、回転自在に支持された回転軸と、この回転軸の
端面に設けられた第1の電極と、この第1の電極に設け
られた圧電素子と、この圧電素子に設けられた第2の電
極と、この第2の電極と前記第1の電極で前記圧電素子
を挟む構成とし、前記第2の電極に設けられた慣性体と
を有したモ−タ−であって、前記圧電素子は円盤形状
で、前記圧電素子の前記第1の電極側の面に対して前記
圧電素子の前記第2の電極側の面が捩り変移を起こすも
のであり、前記第1の電極と前記第2の電極との間に電
圧を印加して前記圧電素子を捩るように変形して前記回
転軸を駆動させるものである。
【0009】また、請求項6記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、回転自在に支持された回転軸と、この回転軸の
外周面に設けられた第1の電極と、この第1の電極に設
けられた筒形状の圧電素子と、この圧電素子の外周面に
設けられた第2の電極と、この第2の電極に設けられた
慣性体とを有したモ−タ−であって、前記圧電素子は内
周に対して外周が回転変移するものであり、前記第1の
電極と前記第2の電極との間に電圧を印加して前記圧電
素子の変移により前記回転軸を駆動させるものである。
【0010】また、請求項7記載の圧電素子利用のモ−
タ−は、回転自在に支持された回転軸と、この回転軸の
端面より立設して対向する位置に設けられた第1、第2
の慣性体と、この第1の慣性体と前記第2の慣性体との
間に設けられ、前記回転軸の端面より立設した直方体形
状の圧電素子と、この圧電素子と前記第1の慣性体との
間に設けられた第1の電極と、前記圧電素子と前記第2
の慣性体との間に設けられた第2の電極と、前記圧電素
子は分極反転層を用いた素子であり、前記第1の電極と
前記第2の電極との間に電圧を印加して前記圧電素子の
変移により前記回転軸を駆動させるものである。
【0011】
【実施例】本発明の一実施例の圧電素子利用のモ−タ−
を図面を参照して説明する。 (実施例1)Aは圧電素子利用のモ−タ−で、圧電素子
利用のモ−タ−Aは、回転自在に支持された回転軸1を
有している。回転軸1は外周に雄螺子を有し、該雄螺子
は雌螺子体2の内周に設けた雌螺子に螺合して、回転自
在に支持されている。3は回転軸1の端面に設けられた
第1の電極で、4は第1の電極5に設けられた圧電素子
で、5は圧電素子4に設けられた第2の電極で、第2の
電極5と第1の電極3で圧電素子4を挟む構成となって
いる。圧電素子4は、例えば、第1の電極3、第2の電
極5にそれぞれ導電性の接着剤で取り付けられている。
6は、第2の電極5に設けられた慣性体である。なお、
慣性体6の裏面に第2の電極5が、例えば、絶縁性の接
着剤で取り付けられている。
【0012】上述した圧電素子4は円盤形状をなし、ラ
ンジュバン型で、該円盤は図2に示すように、二分割さ
れた第1の分割片41と第2の分割片42を有し、第1の分
割片41と第2の分割片42とは分極方向が異なるように設
けられている(図2の矢印は、分極方向を示してい
る。)。そして、第1の電極3と第2の電極5との間に
印加する電圧は、例えば、鋸歯状の三角波で、立ち上が
りが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形である。圧
電素子4に上述した電圧を印加すると、第1の分割片41
の変移方向と第2の分割片42の変移方向とが異なってい
るため、圧電素子4全体としては、図2の記載のよう
に、時計回りに回転変移が生じて回転軸1を駆動させる
こととなる。なお、立ち下がりが緩やかな電圧波形の印
加により、圧電素子4の縮みが緩やかとなり、回転軸1
は反時計側に回転せず、慣性体6が時計回りに回転して
圧電素子4の歪みが解消され、その後、立ち上がりが急
激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形の電圧が圧電素子
4に逐次印加されることにより、回転軸1が回転駆動さ
れるようになっている。
【0013】(実施例2)実施例1の圧電素子4は、第
1の分割片41と第2の分割片42と二分割されているが、
本発明にあっては、これに限らず、図3及び図4に示す
ように、第1の分割片41は分割されて複数の第1’の分
割片41’を形成し、この複数の第1’の分割片41’の分
極方向は全て同じであると共に、第2の分割片42は分割
されて複数の第2’の分割片42’を形成し、この複数の
第2’の分割片42’の分極方向は全て同じとなるように
しても良く、第1’の分割片41’及び第2’の分割片4
2’の数は適宜である。なお、図3及び図4に図1及び
図2と同一部分に同一符号を付して、その説明を省略す
る。また、図4の矢印は、分極方向を示している。
【0014】(実施例3)圧電素子利用のモ−タ−A
は、実施例1の圧電素子利用のモ−タ−Aと同様に、回
転自在に支持された回転軸1を有している。回転軸1は
外周に雄螺子を有し、該雄螺子は雌螺子体2の内周に設
けた雌螺子に螺合して、回転自在に支持されている(図
5参照)。3は回転軸1の端面に設けられた第1の電極
で、4は第1の電極5に設けられた圧電素子で、5は圧
電素子4に設けられた第2の電極で、第2の電極5と第
1の電極3で圧電素子4を挟む構成となっている。圧電
素子4は、例えば、第1の電極3、第2の電極5にそれ
ぞれ導電性の接着剤で取り付けられている。6は、第2
の電極5に設けられた慣性体である。なお、慣性体6の
裏面に第2の電極5が、例えば、絶縁性の接着剤で取り
付けられている。
【0015】上述した圧電素子4は底面の直径より高さ
が低い円柱形状をなし、該円柱の母線に対して斜め方向
に分極されたものとなっている(図6の矢印は、分極方
向を示している。)。圧電素子4は、例えば、扇形に分
割して形成されている。そして、第1の電極3と第2の
電極5との間に印加する電圧は、例えば、鋸歯状の三角
波で、立ち上がりが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧
波形である。圧電素子4に上述した電圧を印加すると、
圧電素子4の円柱の母線に対して斜め方向に分極されて
いるため、圧電素子4全体としては、図6記載のよう
に、時計回りに回転変移が生じて回転軸1を駆動させる
こととなる。なお、立ち下がりが緩やかな電圧波形の印
加により、圧電素子4の縮みが緩やかとなり、回転軸1
は反時計側に回転せず、慣性体6が時計回りに回転して
圧電素子4の歪みが解消され、その後、立ち上がりが急
激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形の電圧が圧電素子
4に逐次印加されることにより、回転軸1が回転駆動さ
れるようになっている。
【0016】(実施例4)圧電素子利用のモ−タ−A
は、実施例1の圧電素子利用のモ−タ−Aと同様に、回
転自在に支持された回転軸1を有している。回転軸1は
外周に雄螺子を有し、該雄螺子は雌螺子体2の内周に設
けた雌螺子に螺合して、回転自在に支持されている(図
7参照)。31は複数の第1の電極で、第1の電極31は回
転軸1の端面に立設すると共に、回転軸1の端面に放射
状に複数設けられている(図9参照)。また、6は慣性
体で、慣性体6は慣性体本体60より垂下して複数の第1
の電極31に対向するように放射状に設けられた複数の第
2の電極61を備えている。41は複数の圧電素子で、複数
の圧電素子41は対向する第1の電極31と第2の電極61と
の間毎に設けられ、扇形形状となっている。圧電素子41
は、例えば、第1の電極31、第2の電極61にそれぞれ導
電性の接着剤で取り付けられている。なお、I1 、I2
は絶縁層を示している(図8参照)。
【0017】そして、第1の電極31と第2の電極61との
間に印加する電圧は、例えば、鋸歯状の三角波で、立ち
上がりが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形であ
る。圧電素子41に該電圧を印加すると、扇形形状の圧電
素子41の内周側と外周側との歪み差により、回転軸1
が、例えば、時計回りに回転駆動されるようになってい
る。なお、立ち下がりが緩やかな電圧波形の印加によ
り、圧電素子41の縮みが緩やかとなり、回転軸1は反時
計側に回転せず、慣性体6が時計回りに回転して圧電素
子41の歪みが解消され、その後、立ち上がりが急激で、
立ち下がりが緩やかな電圧波形の電圧が圧電素子41に逐
次印加されることにより、回転軸1が回転駆動されるよ
うになっている。
【0018】(実施例5)圧電素子利用のモ−タ−A
は、実施例1の圧電素子利用のモ−タ−Aと同様に、回
転軸1は外周に雄螺子を有し、該雄螺子は雌螺子体2の
内周に設けた雌螺子に螺合して、回転自在に支持されて
いる(図10参照)。3は回転軸1の端面に設けられた
第1の電極で、4は第1の電極5に設けられた圧電素子
で、5は圧電素子4に設けられた第2の電極で、第2の
電極5と第1の電極3で圧電素子4を挟む構成となって
いる。圧電素子4は、例えば、第1の電極3、第2の電
極5にそれぞれ導電性の接着剤で取り付けられている。
6は、第2の電極5に設けられた慣性体である。なお、
慣性体6の裏面に第2の電極5が、例えば、絶縁性の接
着剤で取り付けられている。
【0019】上述した圧電素子4は図11に示すように
円盤形状で、圧電素子4の第1の電極3側の面に対して
圧電素子4の第2の電極5側の面が捩り変移を起こすも
のである(図11の矢印は、分極方向を示してい
る。)。そして、第1の電極3と第2の電極5との間に
印加する電圧は、例えば、鋸歯状の三角波で、立ち上が
りが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形である。圧
電素子4に上述した電圧を印加すると、圧電素子4を捩
るように変形して回転軸1を駆動させることとなる。な
お、立ち下がりが緩やかな電圧波形の印加により、圧電
素子4の縮みが緩やかとなり、回転軸1は反時計側に回
転せず、慣性体6が時計回りに回転して圧電素子4の歪
みが解消され、その後、立ち上がりが急激で、立ち下が
りが緩やかな電圧波形の電圧が圧電素子4に逐次印加さ
れることにより、回転軸1が回転駆動されるようになっ
ている。
【0020】(実施例6)圧電素子利用のモ−タ−A
は、実施例1の圧電素子利用のモ−タ−Aと同様に、回
転自在に支持された回転軸1を有している。回転軸1は
外周に雄螺子を有し、該雄螺子は雌螺子体2の内周に設
けた雌螺子に螺合して、回転自在に支持されている(図
12参照)。3は回転軸1の外周面に設けられた第1の
電極で、4は第1の電極3に設けられた筒形状の圧電素
子で、圧電素子4は、図13に示すように、内周に対し
て外周が回転変移するもので、例えば、第1の電極3に
導電性の接着剤で取り付けられ、5は圧電素子4の外周
面に設けられた第2の電極で、第2の電極5と第1の電
極3で圧電素子4を挟む構成となっている。第2の電極
5は、例えば、導電性の接着剤で圧電素子4に取り付け
られている。6は、第2の電極5に設けられた慣性体で
ある。なお、慣性体6の裏面に第2の電極5が、例え
ば、絶縁性の接着剤で取り付けられている。
【0021】そして、第1の電極3と第2の電極5との
間に印加がする電圧は、例えば、鋸歯状の三角波で、立
ち上がりが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形であ
る。圧電素子4に該電圧を印加すると、内周に対して外
周が回転変移するため、圧電素子4全体としては、図1
3の記載のように、時計回りに回転変移が生じて回転軸
1を駆動させることとなる。なお、立ち下がりが緩やか
な電圧波形の印加により、圧電素子4の縮みが緩やかと
なり、回転軸1は反時計側に回転せず、慣性体6が時計
回りに回転して圧電素子4の歪みが解消され、その後、
立ち上がりが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形の
電圧が圧電素子4に逐次印加されることにより、回転軸
1が回転駆動されるようになっている。
【0022】(実施例7)圧電素子利用のモ−タ−A
は、回転自在に支持された回転軸1を有している。回転
軸1は外周に雄螺子を有し、該雄螺子は雌螺子体2の内
周に設けた雌螺子に螺合して、回転自在に支持されてい
る(図14参照)。第1の慣性体6と第2の慣性体6’
は、回転軸1の端面より立設し、第1の慣性体6と第2
の慣性体6’は対向する位置に設けられている。この第
1の慣性体6と第2の慣性体6’との間には、回転軸1
の端面より立設した直方体形状の圧電素子4が設けられ
ている。そして、圧電素子4と第1の慣性体6との間に
第1の電極3が、圧電素子4と第2の慣性体6’との間
に第2の電極5がそれぞれ設けられている。第2の電極
5と第1の電極3で圧電素子4を挟む構成となってい
る。
【0023】上述した圧電素子4は、図15に示すよう
に直方体形状をなし、分極反転層を用いた素子であり、
圧電素子4を絶縁性を有する接着剤で回転軸1の端面に
固定し、圧電素子4の両面、つまり、第1の電極3と第
2の電極5に電圧を印加がすると、圧電素子4の自由端
に捻じれを生じる。第1の電極3と第2の電極5との間
に印加がする電圧は、例えば、鋸歯状の三角波で、立ち
上がりが急激で、立ち下がりが緩やかな電圧波形であ
る。圧電素子4に上述した電圧を印加すると、圧電素子
4は、図15に示すように、全体としては、時計回りに
回転変移が生じて回転軸1を駆動させることとなる。な
お、立ち下がりが緩やかな電圧波形の印加により、圧電
素子4の縮みが緩やかとなり、回転軸1は反時計側に回
転せず、慣性体6が時計回りに回転して圧電素子4の歪
みが解消され、その後、立ち上がりが急激で、立ち下が
りが緩やかな電圧波形の電圧が圧電素子4に逐次印加さ
れることにより、回転軸1が回転駆動されるようになっ
ている。
【0024】なお、上述の実施例においては、第1の電
極3と第2の電極5で圧電素子4を挟む構成を単数とし
ているが、回転軸1の中途に第1の電極3と第2の電極
5で圧電素子4を挟む構成を別途設けることにより、回
転力を増すようにしても良い。
【0025】
【発明の効果】本発明によれば、圧電素子を駆動源とし
て回転運動を発生させる圧電素子利用のモ−タを得るこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の一実施例の圧電素子利用のモ
−タ−の概略的斜視図である。
【図2】図2は、図1の圧電素子の概略的斜視図であ
る。
【図3】図3は、図1と異なる他の実施例の圧電素子利
用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図4】図4は、図1の圧電素子の概略的斜視図であ
る。
【図5】図5は、図3と異なる他の実施例の圧電素子利
用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図6】図6は、図5の圧電素子の概略的斜視図であ
る。
【図7】図7は、図5と異なる他の実施例の圧電素子利
用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図8】図8は、図7の概略的断面図である。
【図9】図9は、図8の9−9線による概略的断面図で
ある。
【図10】図10は、図7と異なる他の実施例の圧電素
子利用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図11】図11は、図10の圧電素子の概略的斜視図
である。
【図12】図12は、図9と異なる他の実施例の圧電素
子利用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図13】図13は、図12の圧電素子の概略的斜視図
である。
【図14】図14は、図12と異なる他の実施例の圧電
素子利用のモ−タ−の概略的斜視図である。
【図15】図15は、図14の圧電素子の概略的斜視図
である。
【符号の説明】
A 圧電素子利用のモ−タ− 1 回転軸 3 第1の電極 4 圧電素子 5 第2の電極 6 慣性体 41 第1の分割片 42 第2の分割片

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の端面に設けられた第1の電極と、 この第1の電極に設けられた圧電素子と、 この圧電素子に設けられた第2の電極と、 この第2の電極と前記第1の電極で前記圧電素子を挟む
    構成とし、 前記第2の電極に設けられた慣性体とを有したモ−タ−
    であって、 前記圧電素子は円盤形状をなし、ランジュバン型で、該
    円盤は二分割された第1の分割片と第2の分割片を有
    し、 前記第1の分割片と前記第2の分割片とは分極方向が異
    なるように設けられるものであり、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記第1の分割片の変移方向と前記第2の分割片の変
    移方向とを異ならせて回転変移を発生させ、前記回転軸
    を駆動させることを特徴とする圧電素子利用のモ−タ
    −。
  2. 【請求項2】第1の分割片は分割されて複数の第1’の
    分割片を形成し、この複数の第1’の分割片の分極方向
    は全て同じであると共に、第2の分割片は分割されて複
    数の第2’の分割片を形成し、この複数の第2’の分割
    片の分極方向は全て同じであることを特徴とする請求項
    1記載の圧電素子利用のモ−タ−。
  3. 【請求項3】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の端面に設けられた第1の電極と、 この第1の電極に設けられた圧電素子と、 この圧電素子に設けられた第2の電極と、 この第2の電極と前記第1の電極で前記圧電素子を挟む
    構成とし、 前記第2の電極に設けられた慣性体とを有したモ−タ−
    であって、 前記圧電素子は底面の直径より高さが低い円柱形状をな
    し、該円柱の母線に対して斜め方向に分極されたもので
    あり、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記圧電素子は捩るように変形して前記回転軸を駆動
    させることを特徴とする圧電素子利用のモ−タ−。
  4. 【請求項4】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の端面に立設すると共に、前記回転軸に放射
    状に設けられた複数の第1の電極と、 慣性体本体より垂下して前記複数の第1の電極に対向す
    るように放射状に設けられた複数の第2の電極を備えた
    慣性体と、 対向する前記第1の電極と前記第2の電極との間毎に設
    けられた扇形形状の複数の圧電素子とを有したモ−タ−
    であって、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記扇形形状の圧電素子の内周側と外周側との歪み差
    を利用して前記回転軸を駆動させることを特徴とする圧
    電素子利用のモ−タ−。
  5. 【請求項5】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の端面に設けられた第1の電極と、 この第1の電極に設けられた圧電素子と、 この圧電素子に設けられた第2の電極と、 この第2の電極と前記第1の電極で前記圧電素子を挟む
    構成とし、 前記第2の電極に設けられた慣性体とを有したモ−タ−
    であって、 前記圧電素子は円盤形状で、前記圧電素子の前記第1の
    電極側の面に対して前記圧電素子の前記第2の電極側の
    面が捩り変移を起こすものであり、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記圧電素子を捩るように変形して前記回転軸を駆動
    させることを特徴とする圧電素子利用のモ−タ−。
  6. 【請求項6】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の外周面に設けられた第1の電極と、 この第1の電極に設けられた筒形状の圧電素子と、 この圧電素子の外周面に設けられた第2の電極と、 この第2の電極に設けられた慣性体とを有したモ−タ−
    であって、 前記圧電素子は内周に対して外周が回転変移するもので
    あり、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記圧電素子の変移により前記回転軸を駆動させるこ
    とを特徴とする圧電素子利用のモ−タ−。
  7. 【請求項7】回転自在に支持された回転軸と、 この回転軸の端面より立設して対向する位置に設けられ
    た第1、第2の慣性体と、 この第1の慣性体と前記第2の慣性体との間に設けら
    れ、前記回転軸の端面より立設した直方体形状の圧電素
    子と、 この圧電素子と前記第1の慣性体との間に設けられた第
    1の電極と、 前記圧電素子と前記第2の慣性体との間に設けられた第
    2の電極と、 前記圧電素子は分極反転層を用いた素子であり、 前記第1の電極と前記第2の電極との間に電圧を印加し
    て前記圧電素子の変移により前記回転軸を駆動させるこ
    とを特徴とする圧電素子利用のモ−タ−。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008271668A (ja) * 2007-04-18 2008-11-06 Alps Electric Co Ltd アクチュエータ
JP2008271667A (ja) * 2007-04-18 2008-11-06 Alps Electric Co Ltd アクチュエータ
NL1037558C2 (en) * 2009-12-16 2011-06-20 Janssen Prec Engineering B V Cryogenic compatible actuator.
CN113098320A (zh) * 2021-04-25 2021-07-09 歌尔微电子股份有限公司 步进电机

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