JP2003148894A - 熱交換用コイル、空調機及び空調機を用いた空調方法 - Google Patents
熱交換用コイル、空調機及び空調機を用いた空調方法Info
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Abstract
るのに加えて、効率良く加湿も行う。 【解決手段】 冷却コイル5のコイル本体21のフィン
22の表面に設けられた親水・保水性層と、該親水・保
水性層に水を供給する給水手段24とを備える。給水手
段24は、親水・保水性層の上部に供給した水が親水・
保水性層を通過して親水・保水性層の下部にまで至り、
そこで回収した水を再び親水・保水性層の上部に供給す
る循環系25と、親水・保水性層の上部に新たに水を補
給する補給系26から成っている。補給系26が熱交換
用コイルに流れ込む空気の流れの下流側に、循環系が同
空気の流れの上流側にそれぞれ配置されている。
Description
時にケミカル物質も取り除くことができる、熱交換用コ
イル、該熱交換用コイルが組み込まれた空調機、及び該
空調機を用いた空調方法に関する。
ルミニウム製のフィンを用いている。しかしながら、高
集積度の半導体や液晶を製造する工場で使用される空調
機にあっては、アルミニウム製のフィンをそのまま用い
ることなく、表面をアクリル樹脂等でコーティングした
ものを用いている。これは、アルミニウム成分が工場内
のクリーンルームに侵入して汚染源になるのを避けるた
めである。
液晶等の製造工場では、アルミニウム成分がクリーンル
ーム内に侵入するのを防止するのに止まらず、工場内に
取り入れる外気から、空気汚染源のおそれのある、塩酸
イオンや亜硝酸イオン、硝酸イオン、アンモニアイオン
等のケミカル物質を積極的に取り除くことができる、空
調機の出現が望まれている。
加湿装置として、蒸気加湿器や水スプレー等が組み込ま
れているが、このような加湿装置は、蒸気加湿器の場合
エネルギーロスがあり、水スプレー方式の場合加湿効率
が悪く水の使用量が多い、また、双方の加湿装置とも、
空調機内でかなりの占有スペースを占めており、このた
め、空調機自体が大型化するという問題があった。
で、その目的とするところは、ケミカル物質を積極的に
取り除くことができるのに加えて、効率良く加湿も行え
る熱交換用コイル及び該熱交換用コイルが組み込まれた
空調機並びに該空調機を用いた空調方法を提供すること
にある。また、本発明は、従来のものに比べて小型化が
図れる空調機を提供することも目的としている。
め、請求項1に係る発明では、熱交換用コイル本体のフ
ィンの表面に設けられた親水・保水性層と、該親水・保
水性層に水を供給する給水手段とを備えてなることを特
徴としている。
熱交換用コイルにおいて、前記給水手段は、親水・保水
性層の上部に供給した水が親水・保水性層を通過して該
親水・保水性層の下部にまで至り、そこで回収した水を
再び親水・保水性層の上部に供給する循環系と、親水・
保水性層の上部に新たに水を補給する補給系から成って
いることを特徴としている。
熱交換用コイルにおいて、前記補給系が当該熱交換用コ
イルに流れ込む空気の流れの下流側に、循環系が同空気
の流れの上流側にそれぞれ配置されていること特徴とし
ている。
2記載の熱交換用コイルにおいて、前記給水手段は、当
該熱交換用コイルに流れ込む空気の流れの下流側のコイ
ル面により水を供給し、同空気の流れの上流側で水を捕
集する機構を備えたことを特徴としている。
2記載の熱交換用コイルにおいて、前記給水手段は、前
記熱交換用コイル本体に接するように配置された給水パ
ッドを介して前記親水・保水性層に水を供給することを
特徴としている。
2記載の熱交換用コイルにおいて、前記給水手段は、前
記熱交換用コイル本体に接するように配置された集水パ
ッドを介して前記親水・保水性層から集水することを特
徴としている。
いずれかに記載の熱交換用コイルを、冷却コイル及び加
熱コイルとしてそれぞれ有して成ることを特徴としてい
る。
空調機を用いた空調方法であって、夏季には運転休止中
の加熱コイルの表面の親水・保水性層に給水手段から水
を供給し、冬季には運転休止中の冷却コイルの表面の親
水・保水性層に給水手段から水を供給することを特徴と
している。
の形態を説明する。図1(a)、(b)は本発明にかか
る外気処理用の空調機(以下、外調機という)の概略断
面図である。この図に示すように、ここで示す外調機1
は、外気取入口2aと流出口2bを有し、かつ流出口2
bにダクト2cが接続されたケーシング2内に、空気の
流れを基準として上流側から順に、プレフィルタ3、中
性能フィルタ4、冷却コイル5、加熱コイル6、再加熱
コイル7、ファン8、高性能フィルタ9を備える。
かれていて、使用頻度に応じて新たなフィルタ面が空気
流路中に自動的に繰り出されるものであり、ケーシング
2の外気取入口2aから入ってくる空気から比較的大き
なゴミを捕獲するものである。中性能フィルタ4は、プ
レフィルタ3で取り切れなかった比較的小さなゴミを捕
獲するものである。なお、冷却コイル5及び加熱コイル
6については後ほど詳しく説明する。再加熱コイル7
は、主に温湿度制御をするため、前段の冷却コイル5と
加熱コイル6を通過した空気をさらに加熱するものであ
る。
点温度計11と乾球温度計12とがそれぞれ介装されて
いる。これら両温度計11,12は、冷却コイル5、加
熱コイル6及び再加熱コイル7へそれぞれ供給する熱媒
体の流量を制御する図示せぬ制御装置に電気的に接続さ
れている。
4で取りきれなかったさらに小さなゴミを捕獲するもの
である。これにより、当該外調機では図示しないクリー
ンルームへ供給できるようなきわめて清浄度の高い空気
を得ることができる。
お、加熱コイル6は基本的な構成が冷却コイルの構成と
同一であるのでその説明は省略し、同一構成要素には同
一符号を付すこととする。図3、図4に示す実施の形態
は、冷却コイル5のフィン22の表面に設けられた親水
・保水性層23内を水がほぼ垂直に移動し、かつフィン
22の表面において水と空気とがそれぞれ直交するよう
に接触する、いわゆる垂直・直交流方式の例である。
ル本体21と、コイル本体21を構成するコイルの実質
的な表面積を増やすよう該コイルに溶接あるいは固着さ
れかつ互いに平行に配置される多数のフィン22とを備
える。また、フィン22の表裏両面には親水・保水性層
23が設けられ、この親水・保水性層23に水を供給す
る給水手段24が設けられている。
ミニウム製のフィン22の上にアクリル樹脂がコーティ
ングされ、さらにこのアクリル樹脂コーティング層の上
にアクリル繊維の糸または薄い布地(図2では布地23
aの例を示している)が接着または溶着されることによ
り形成されるものである。なお、アルミニウム製のフィ
ン22の上に単にアクリル樹脂がコーティングされるだ
けの層は疎水性であって、親水・保水性層にはなり得な
い。
接着または溶着されるものは、アクリル繊維の糸あるい
は布地に限られることなく、他の材料からなる糸あるい
は布地であってもよい。要は、親水・保水性のある繊維
または繊維構造のものであって、フィン22の表面に添
加される水を吸引して繊維本体のみならず繊維相互間を
も濡らす状態となり、表面全体を均一に濡れ面を作るも
のであればよい。
の上にエポキシ樹脂がコーティングしたものも近年使用
されているが、この層だけでは、単に親水性しか得られ
ず保水性の性質は得られない。このような親水性のみの
エポキシ樹脂層では、少量の水によってフィン表面全体
を濡れ面とすることは難しい。少量の水でフィン表面全
体を濡れ面とするには、親水性に加えて保水性も必要で
ある。保水性を得るには、このエポキシ樹脂コーティン
グ層の上に、さらに、エポキシ樹脂繊維やアクリル繊維
の糸または布地を接着または溶着させたり、また、エポ
キシ樹脂コーティング層の上に、吸水性のある繊維また
は無機物などを混入させた樹脂をコーティングするのが
有効である。
コーティング層上にさらにアクリル繊維やエポキシ樹脂
繊維等からなる布地23aを接着等する場合には、コイ
ル本体22を通過する空気の全体の圧力損失を低く抑え
るため、並びにフィンの密度を高めて配置するために、
できるでけ厚さの薄い布地を用いるのが好ましい。
性層23の上部に供給した水が親水・保水性層23を通
過して該親水・保水性層23の下部にまで至り、そこで
回収した水を再び親水・保水性層23の上部に供給する
循環系25と、親水・保水性層の上部に新たに水を補給
する補給系26とから成っている。
コイル本体21の上方に配置されかつ下面に多数の小孔
を有する給水管25aと、該給水管25aとコイル本体
21との間に、コイル本体21に接するように介装され
る、例えば海綿等多孔性物質からなる給水パッド27
と、コイル本体21の下方に配置される水槽25bと、
この水槽25bで受けた水を再び前記給水管25aに戻
す循環用ポンプ25c付きの戻り管25dとから成って
いる。また、水槽25bにはオーバーフロー水を排出す
る等のための排水管25eが設けられている。
置されかつ下面に多数の小孔を有する給水管26aと、
給水管26aとコイル本体21との間に介装される前述
した給水パッド27と、給水管26aに接続される図示
せぬ補給水手段とからなっている。
7は循環系25と補給系26とで連続した共通のものを
用いているが、勿論、これに限られることなく、循環系
25と補給系26とでそれぞれ別個独立の給水パッドを
用いてもよい。
却コイル5に流れ込む空気の流れの下流側に補給系26
が、また同空気の流れの上流側に循環系25がそれぞれ
配置されている。
明する。外気取入口2aから取り入れた外気は、プレフ
ィルタ3及び中性能フィルタ4を順次通過するとき塵埃
等のゴミが取り除かれ、その後冷却コイル5に至る。夏
季の場合には、冷却コイル5には所定温度まで冷やされ
た熱媒体が流され、この熱媒体と外気との間で冷却コイ
ル5のフィン22を介して熱交換が行われる。外気は予
め定められた設定露点まで冷却されるが、このときの冷
却外気の露点は再加熱コイル7の下流側に配置された露
点温度計11で検出され、その検出値に応じて冷却コイ
ル5へ供給される熱媒体の流量が図示せぬ制御装置を介
して制御される。
外気は、次に、加熱コイル6を通過するが、加熱コイル
に6は熱媒体が供給されず、加熱コイル6を通過すると
きの外気は、ここでは温湿度変化はほとんどない。
を介して水が供給され、該加熱コイル6のフィン表面の
親水・保水性層23は、全面に渡って濡れ面となってい
る。すなわち、給水手段24の給水管25a、26aか
ら供給される水は、給水パッド27に至りここで均一化
されて、下方のコイル本体21に至る。このコイル本体
21に供給された水は、重力によりフィン22の表面の
親水・保水性層23を通って徐々に落下する。このとき
に、フィン22の表面の親水・保水性層23を均一に濡
らし、濡れ面を形成する。この濡れ面に外気が接触し、
該外気に含まれる塩酸イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオ
ン、アンモニウムイオン、有機ガス等のケミカル物質が
取り除かれる。
の水は、水槽25bに至り、ここから戻り管25dに介
装された循環用のポンプ25cによって再び給水管25
aに戻される。また、補給系26からは絶えず新しい水
が補給されるが、その補給分は前記排水管25eからオ
ーバーフロー分として外部へ排出される。または、図1
(b)に示すように、温水コイル側に補給水を供給し、
温水コイルのオーバーフロー水を連通管により冷水コイ
ルの水槽へ供給し、給水から排水方向を空気の流れと逆
方向に流す方法もとることができる。
が除去された外気は、次いで、再加熱コイル7を通過
し、ここで再加熱される。この再加熱される給気の温度
は下流側の乾球温度計12によって検出され、この検出
値に応じて再加熱コイル7へ供給される熱媒体の流量が
図示せぬ制御装置を介して制御される。このようにし
て、外気を予め設定した温湿度条件を満足するように各
コイル5〜7を介して処理する。その後、同処理した外
気はファン8により圧送されて、高性能フィルタ9を通
過してクリーンルームへ供給される。
が運転休止中となるため、この冷却コイル5を濡れ面形
成用のコイルとして利用する、または、冷却コイルを予
熱コイルとして利用する。すなわち、冷却コイル5へ
は、同冷却コイルに付随する給水手段24から水を供給
し、該冷却コイル5のフィン表面の親水・保水性層23
を、全面に渡って水を含む濡れ面とする。そして、こう
して形成した濡れ面に外気を接触させ、該外気から塩酸
イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、アンモニウムイオ
ン、有機ガス等のケミカル物質を取り除くのである。な
お、冬季の場合には、外気温が低く、冷却コイル5のフ
ィン表面の濡れ面が凍結する場合も考えられるが、この
場合には、冷却コイル5に使用後の冷却水等を流し、凍
結を防き、予熱と予備加湿を行うことも可能である。
て、加熱コイル6のフィン表面にも濡れ面を形成し、こ
の濡れ面を湿度制御用として利用する。つまり、加熱コ
イル6へは熱媒体を供給するとともにフィン表面に給水
手段24を介して水を供給して濡れ面とする。これによ
り、外気を加温しながら同時に加湿も行う。このときの
外気が予め設定した露点に達しているか否か露点温度計
11で検出しながら、加熱コイル6への熱媒体の供給量
を制御する。その後、外気は再加熱コイル7によってさ
らに加熱されるが、このとき、再加熱後の外気温度を乾
球温度計12によって検出し、その検出値に応じて再加
熱コイル7へ供給する熱媒体の流量を図示せぬ制御装置
を介して制御する。その後、同処理した外気をファン8
により圧送して、高性能フィルタ9を通過させてクリー
ンルームに供給するのは夏季の場合と同様である。
ル5または加熱コイル6において、それらコイル5,6
に流れ込む空気の流れの下流側に給水手段24の補給系
26を、また同空気の流れの上流側に循環系25をそれ
ぞれ配置している。これは、空気中のケミカル物質を除
去するためには、ケミカル物質を含んでいない水に接触
させるのが最も除去効率が良く、空気は上流側では除去
処理が進んでおらずケミカル濃度が高いが、フィン表面
の水と接触して吸収され除去処理が進む下流側では空気
中のケミカル物質の濃度は減少する。その低い濃度のケ
ミカル物質をさらに除去するために、空気下流側のフィ
ン表面に清浄な補給水を供給し、これにより、ケミカル
除去効果を向上させているのである。同じ考え方で、冷
却コイル5と温水コイル6へ供給し、排水する水の流れ
を対応させた方式を図1(b)に示す。
交換用コイルの他の実施の形態について説明する。図5
〜図7に示した冷却コイルまたは加熱コイル用の熱交換
用コイルは、コイル本体31のフィン32を斜めに傾斜
させて配置し、そのフィン32の片面(上面)に設けた
親水・保水性層の上位側から水を供給して水を重力を利
用して下位側へ流し、この水の流れと直交するように空
気の流れを形成してなる、いわゆる斜流・直交流方式の
例である。
のコイル本体31と、コイル本体31を構成するコイル
の表面積を増やすよう該コイルに溶接あるいは固着され
かつ互いに平行に配置される多数のフィン32とを備え
る。また、フィン32の上面には前述した親水・保水性
層が設けられ、この親水・保水性層に水を供給する給水
手段34が設けられている。
を循環する循環系35と、親水・保水性層の上位に新た
に水を補給する補給系36とから成っていて、循環系3
5は、それら熱交換用コイル30に流れ込む空気の流れ
の上流側に配置され、補給系36が同空気の流れの下流
側に配置されている。また、コイル本体31の下方に水
槽35bが配置され、水槽35bに配水管35eが設け
られている点は、前述の図3、図4で示したものと同様
である。
32が水平面に対して所定の角度θaを有するように斜
めに傾斜して配置されていること、フィン32の上面側
にのみ親水・保水性層が設けられていること、給水手段
34の循環系35及び補給系36のそれぞれの給水管3
5a、36aが起立状態で配置されていること、また、
斜めに配置されたフィン32の下位側に集水パッド37
が配置されていることが前述の実施の形態と異なる点で
ある。
段34の循環系35及び補給系36のそれぞれの給水管
35a、36aから供給された水は、斜めに配置された
フィン32の上位側から下位側へ、フィン32上面の親
水・保水性層全面をほぼ均一に濡らしながら徐々に流下
し、集水パッド37に達する。ここに達した水は、集水
パッド37を垂直に流下し、水槽35bに集まる。水槽
に集まった水は、ここから戻り管35dに介装された循
環用のポンプ35cによって再び給水管35aに戻され
る。
れる水がフィン32上面の親水・保水性層を均一に濡ら
して濡れ面を形成するが、このとき、濡れ面に外気が接
触し、該外気に含まれる塩酸イオン、亜硝酸イオン、硝
酸イオン、硫酸イオン、アンモニウムイオン、水溶性の
有機ガス等のケミカル物質が取り除かれる。
コイル用の熱交換用コイル40は、斜めに配置したフィ
ン42の表面の親水・保水性層を水が斜めに空気下流側
から上流側に流下し、空気と水は向流方向に流れる、い
わゆる斜流・向流方式の例である。
のコイル本体41と、コイル本体31を構成するコイル
の実質的な表面積を増やすよう該コイルに溶接あるいは
固着されかつ互いに平行に配置される多数のフィン42
とを備える。フィン42は、空気の流れを基準にした下
流側と上流側とで傾斜方向及び角度がそれぞれ異なって
おり、下流側のフィン(以下、第1のフィンと呼ぶ)4
2aは、空気の流れる方向Aに一定の角度θbをもって
傾き、上流側のフィン(以下、第2のフィンと呼ぶ)4
2bは、空気の流れる方向Aと直交する方向に一定の角
度θcをもって傾くように配置されている。そして、こ
れら両フィン42a、42bは図8に示すような3角形
の連結用フィン42cによって接続されている。
面)には前述した親水・保水性層が設けられ、この親水
・保水性層に水を供給する給水手段44が設けられてい
る。給水手段44は、この実施の形態の場合循環系は持
たず、新たに水を補給する補給系のみからなっている。
そして、この給水手段44は、前記フィン42aの上位
側の端部に起立状態で設けられた給水管44aと、この
給水管44aに水を供給する水補給手段とから構成され
ている。
て集水パッド47が配置されている。また、コイル本体
41の下方には水槽45bが配置され、水槽45bには
図示せぬ排水管が設けられている。
段44の給水管44aから供給された水は、斜めに配置
された第1のフィン42aの上位側から下位側へ該第1
のフィン42aの傾斜に沿って、フィン42a上面の親
水・保水性層全面をほぼ均一に濡らしながら徐々に流下
する。そして、連結用のフィン42cを通過して第2の
フィン42bに至り、その後、この第2のフィン42b
の傾斜方向に沿うよう、空気の流れに直交する方向に流
れて集水パッド47に達する。ここに達した水は、集水
パッド47を垂直に流下し、水槽45bに集まる。水槽
45bに集まった水は、ここから排水管45eを介して
外部へ排出される。または、熱交換用コイル40が温水
コイルの場合、この水槽より連通管を介して冷却コイル
の水槽へ給水し、ポンプにより冷却コイル用の補給水と
して利用される。
保水性層を均一に濡らして濡れ面を形成するが、このと
き、濡れ面に外気が接触し、該外気に含まれる塩酸イオ
ン、亜硝酸イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、アンモニ
ウムイオン、水溶性の有機ガス等のケミカル物質が取り
除かれる。
水を用いており、この新たな水は、空気の流れの下流側
に供給されることとなり、空気は濡れ面の下流側に至る
ほど清浄度が高くなり、この清浄度が高くなる空気の下
流側に新たな水を補給するので、空気の清浄度をより高
めるのに有効である。
て新たな水を供給する補給系で構成しているが、これに
限られることなく、図4〜図6、あるいは図6、図7で
説明したように、給水手段44を、循環系と補給系から
構成するようにしても良い。
用コイル本体のフィンの表面に親水・保水性層を設け、
この親水・保水性層に水を供給する給水手段とを備えて
いるから、フィンの表面の親水・保水性層に水を供給し
て濡れ面とし、ここに空気を通過させることにより、空
気から塩酸イオン、亜硝酸イオン、硝酸イオン等の水に
溶けるケミカル物質を除去することができる。また、上
記熱交換用コイル本体のフィンの表面の親水・保水性層
に水を含ませることによって、そこを流れる空気を加湿
することができ、加湿装置として蒸気加湿器や、水スプ
レー等の特別な加湿装置を必要としない。
を、親水・保水性層を循環する循環系と、新たに水を補
給する補給系とから構成しているため、親水・保水性層
を濡れ面とする水の消費量を少なくすることができ、水
の使用量を減少できる点において優れる。
当該熱交換用コイルに流れ込む空気の流れの下流側に、
循環系を同空気の流れの上流側にそれぞれ配置してお
り、清浄度の高い空気の下流側に新たな水を補給するの
で、空気からケミカル物質を取り除いて空気清浄度をあ
げるのに有利である。
を、当該熱交換用コイルに流れ込む空気の流れの下流側
のコイル面により水を供給し、同空気の流れの上流側で
水を捕集する機構を備えているから、請求項3記載の発
明と同様に、空気からケミカル物質を取り除いて空気清
浄度をあげるのに有利である。
を、熱交換用コイル本体に接するように配置された給水
パッドを介して親水・保水性層に水を供給するので、親
水・保水性層に均一に水を供給することができ、それら
親水・保水性層に均一の濡れ面を形成するのに有利であ
る。
を、熱交換用コイル本体に接するように配置された集水
パッドを介して親水・保水性層から集水するようにして
いるので、親水・保水性層の下流側から全面に渡って徐
々に水を落下させることができ、均一の濡れ面を形成す
る上で有利である。
5のいずれかに記載の熱交換用コイルを、冷却コイル及
び加熱コイルとしてそれぞれ有するから、これら冷却コ
イル及び加熱コイルが加湿装置として機能することとな
り、請求項1に係る発明と同様に、蒸気加湿器等特別な
加湿装置を必要としない。このため、空調機を小型化す
ることができる。
転休止中の加熱コイルの表面の親水・保水性層に給水手
段から水を供給し、冬季には運転休止中の冷却コイルの
表面の親水・保水性層に給水手段から水を供給するか
ら、運転休止中のコイルの有効利用が図れる。
ある。
親水・保水性層を説明する斜視図である。
斜視図である。
示す斜視図である。
形態を示す要部の斜視図である。
る。
Claims (8)
- 【請求項1】 熱交換用コイル本体のフィンの表面に設
けられた親水・保水性層と、該親水・保水性層に水を供
給する給水手段とを備えてなることを特徴とする熱交換
用コイル。 - 【請求項2】 請求項1記載の熱交換用コイルにおい
て、 前記給水手段は、親水・保水性層の上部に供給した水が
親水・保水性層を通過して該親水・保水性層の下部にま
で至り、そこで回収した水を再び親水・保水性層の上部
に供給する循環系と、親水・保水性層の上部に新たに水
を補給する補給系から成っていることを特徴とする熱交
換用コイル。 - 【請求項3】 請求項2記載の熱交換用コイルにおい
て、 前記補給系が当該熱交換用コイルに流れ込む空気の流れ
の下流側に、循環系が同空気の流れの上流側にそれぞれ
配置されていること特徴とする熱交換用コイル。 - 【請求項4】 請求項1または2記載の熱交換用コイル
において、 前記給水手段は、当該熱交換用コイルに流れ込む空気の
流れの下流側のコイル面により水を供給し、同空気の流
れの上流側で水を捕集する機構を備えたことを特徴とす
る熱交換用コイル。 - 【請求項5】 請求項1または2記載の熱交換用コイル
において、 前記給水手段は、前記熱交換用コイル本体に接するよう
に配置された海綿状の給水パッドを介して前記親水・保
水性層に水を供給することを特徴とする熱交換用コイ
ル。 - 【請求項6】 請求項1または2記載の熱交換用コイル
において、 前記給水手段は、前記熱交換用コイル本体に接するよう
に配置された海綿状の集水パッドを介して前記親水・保
水性層から集水することを特徴とする熱交換用コイル。 - 【請求項7】 請求項1〜6のいずれかに記載の熱交換
用コイルを、冷却コイル及び加熱コイルとしてそれぞれ
有して成ることを特徴とする空調機。 - 【請求項8】 請求項7記載の空調機を用いた空調方法
であって、 夏季には運転休止中の加熱コイルの表面の親水・保水性
層に給水手段から水を供給し、冬季には運転休止中の冷
却コイルの表面の親水・保水性層に給水手段から水を供
給することを特徴とする空調機を用いた空調方法。
Priority Applications (1)
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