JP2003149041A - レーザドプラ振動計 - Google Patents
レーザドプラ振動計Info
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 49
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】レーザドプラ振動計において、測定対象物上の
振動測定点を死角を生じさせないように視認可能とす
る。 【解決手段】レーザドプラ振動計本体部５０は、測定対
象物１００に向けてレーザ光を出射し、その反射レーザ
光を取り込み、オシロスコープ７０の表示画面上に、測
定対象物の振動を表わす波形を表示する。前記レーザド
プラ振動計本体部５０の対物レンズ５１とその他の光学
系５２との間の、レーザ光の光路上にハーフミラーを配
備し、測定対象物の像をＣＣＤカメラ５４で撮影する。
振動測定点を死角を生じさせないように視認可能とす
る。 【解決手段】レーザドプラ振動計本体部５０は、測定対
象物１００に向けてレーザ光を出射し、その反射レーザ
光を取り込み、オシロスコープ７０の表示画面上に、測
定対象物の振動を表わす波形を表示する。前記レーザド
プラ振動計本体部５０の対物レンズ５１とその他の光学
系５２との間の、レーザ光の光路上にハーフミラーを配
備し、測定対象物の像をＣＣＤカメラ５４で撮影する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光の周波数
のドプラ偏倚を利用して測光対象物の振動を測定するレ
ーザドプラ振動計に関する。
のドプラ偏倚を利用して測光対象物の振動を測定するレ
ーザドプラ振動計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、微小振動計測にレーザドプラ
振動計が広く利用されている。
振動計が広く利用されている。
【０００３】図１は、レーザドプラ振動計の原理構成図
である。
である。
【０００４】レーザ光源１１から出射したレーザ光１１
ａは、ビームスプリッタ１２で分割され、一方はＡＯＭ
（音響光学変調器）１３を経由することにより一定の周
波数だけ偏倚を受けた参照レーザ光１１ｂとなり、ビー
ムスプリッタ１４を経由して受光素子１５に入射する。
また、ビームスプリッタ１２で分割されたもう一方のレ
ーザ光は、ビームスプリッタ１６を経由して微小振動す
る測定対象物１に入射し、その測定対象物１で反射し
て、入射レーザ光１１ｃの光路と同一の光路を逆に辿っ
て戻ってきた反射レーザ光１１ｄを、ビームスプリッタ
１６およびミラー１７を介してビームスプリッタ１４に
導き、そのビームスプリッタ１４で参照レーザ光１１ｂ
に重畳させて受光素子に導く。
ａは、ビームスプリッタ１２で分割され、一方はＡＯＭ
（音響光学変調器）１３を経由することにより一定の周
波数だけ偏倚を受けた参照レーザ光１１ｂとなり、ビー
ムスプリッタ１４を経由して受光素子１５に入射する。
また、ビームスプリッタ１２で分割されたもう一方のレ
ーザ光は、ビームスプリッタ１６を経由して微小振動す
る測定対象物１に入射し、その測定対象物１で反射し
て、入射レーザ光１１ｃの光路と同一の光路を逆に辿っ
て戻ってきた反射レーザ光１１ｄを、ビームスプリッタ
１６およびミラー１７を介してビームスプリッタ１４に
導き、そのビームスプリッタ１４で参照レーザ光１１ｂ
に重畳させて受光素子に導く。
【０００５】こうすると、受光素子１５で得られる信号
は、ＡＯＭ１３で受けた周波数偏倚を中心周波数とする
信号であって、さらに測定対象物１の振動で周波数変調
を受けた信号となる。
は、ＡＯＭ１３で受けた周波数偏倚を中心周波数とする
信号であって、さらに測定対象物１の振動で周波数変調
を受けた信号となる。
【０００６】その周波数変調分を取り出すことにより測
定対象物１の振動周波数やその振幅を知ることができ
る。
定対象物１の振動周波数やその振幅を知ることができ
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のレーザドプラ振
動計では、測定対象物１の、入射レーザ光１１ｃが照射
された点の振動が測定されるが、振動を測定しようとす
る点を目で確認しながらその振動測定点に入射レーザ光
１１ｃを正確に照射したいという要求がある。
動計では、測定対象物１の、入射レーザ光１１ｃが照射
された点の振動が測定されるが、振動を測定しようとす
る点を目で確認しながらその振動測定点に入射レーザ光
１１ｃを正確に照射したいという要求がある。
【０００８】この要求を満足するために、従来、ＣＣＤ
カメラを備えることが提案されている。
カメラを備えることが提案されている。
【０００９】図２、図３は、測定箇所を視認することが
できるように構成された従来の装置の概要を示す図であ
る。
できるように構成された従来の装置の概要を示す図であ
る。
【００１０】ここには、レーザドプラ振動計１０に隣接
した位置にＣＣＤカメラ２０が備えられている。
した位置にＣＣＤカメラ２０が備えられている。
【００１１】ここでは、磁気ディスク１ａにアクセスし
ている状態の磁気ヘッド１ｂを測定対象物としており、
図２の場合、レーザドプラ振動計１０からの入射レーザ
光１１ｃが磁気ヘッド１ｂに照射されるとともに、その
照射位置をＣＣＤカメラ２０で視認することができる。
ている状態の磁気ヘッド１ｂを測定対象物としており、
図２の場合、レーザドプラ振動計１０からの入射レーザ
光１１ｃが磁気ヘッド１ｂに照射されるとともに、その
照射位置をＣＣＤカメラ２０で視認することができる。
【００１２】しかしながら、この構成の場合、磁気ディ
スク１ａや磁気ヘッド１ｂに対する位置をずらして図３
のように磁気ディスク１ａの下側の磁気ヘッド１ｂの振
動測定を行なおうとすると、その測定位置をＣＣＤカメ
ラ２０で映し出すことができない。
スク１ａや磁気ヘッド１ｂに対する位置をずらして図３
のように磁気ディスク１ａの下側の磁気ヘッド１ｂの振
動測定を行なおうとすると、その測定位置をＣＣＤカメ
ラ２０で映し出すことができない。
【００１３】このように、図２、図３に示すような、Ｃ
ＣＤカメラを備えた従来の装置の場合、死角が生じてＣ
ＣＤカメラで測定位置を映し出すことができない場合が
あるという問題がある。
ＣＤカメラを備えた従来の装置の場合、死角が生じてＣ
ＣＤカメラで測定位置を映し出すことができない場合が
あるという問題がある。
【００１４】また、レーザドプラ振動計１０には対物レ
ンズ１８が備えられており、測定対象物への入射レーザ
光が測定対象物上に小さなスポットを結ぶように対物レ
ンズ１８が調整され、その一方で、ＣＣＤカメラ２０側
では、ＣＣＤカメラ２０でピントの合った画像を映し出
すために撮影レンズ２８が調整される。このように、図
２、図３に示す構成の場合、レーザドプラ振動計１０の
対物レンズ１８とＣＣＤカメラ２０の撮影レンズ２８と
の双方を調整する必要がある。
ンズ１８が備えられており、測定対象物への入射レーザ
光が測定対象物上に小さなスポットを結ぶように対物レ
ンズ１８が調整され、その一方で、ＣＣＤカメラ２０側
では、ＣＣＤカメラ２０でピントの合った画像を映し出
すために撮影レンズ２８が調整される。このように、図
２、図３に示す構成の場合、レーザドプラ振動計１０の
対物レンズ１８とＣＣＤカメラ２０の撮影レンズ２８と
の双方を調整する必要がある。
【００１５】本発明は、上記事情に鑑み、死角を生じる
ことなく測定位置を観察することが可能な構成を備えた
レーザドプラ振動計を提供することを目的とする。
ことなく測定位置を観察することが可能な構成を備えた
レーザドプラ振動計を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明のレーザドプラ振動計は、レーザ光を測定対象物に入
射し該測定対象物で反射して入射レーザ光の光路と同一
の光路を逆に辿って戻ってきた反射レーザ光の、該測定
対象物の振動により生じた周波数のドプラ偏倚を利用し
て該測定対象物の振動を測定するレーザドプラ振動計に
おいて、撮像センサと、入射レーザ光と反射レーザ光が
同一の光路を有する部分に配備された、測定対象物から
の光を撮像センサに導くビームスプリッタとを備えたこ
とを特徴とする。
明のレーザドプラ振動計は、レーザ光を測定対象物に入
射し該測定対象物で反射して入射レーザ光の光路と同一
の光路を逆に辿って戻ってきた反射レーザ光の、該測定
対象物の振動により生じた周波数のドプラ偏倚を利用し
て該測定対象物の振動を測定するレーザドプラ振動計に
おいて、撮像センサと、入射レーザ光と反射レーザ光が
同一の光路を有する部分に配備された、測定対象物から
の光を撮像センサに導くビームスプリッタとを備えたこ
とを特徴とする。
【００１７】本発明のレーザドプラ振動計は、上記ビー
ムスプリッタを、入射レーザ光と反射レーザが同一の光
路を有する部分に配備して、撮像センサで測定対象物の
像をとらえるように構成したため、測定対象物を、入射
レーザ光と同一の光軸方向に観察することになり、死角
を生じさせることなく測定対象物の測定位置を確認する
ことができる。
ムスプリッタを、入射レーザ光と反射レーザが同一の光
路を有する部分に配備して、撮像センサで測定対象物の
像をとらえるように構成したため、測定対象物を、入射
レーザ光と同一の光軸方向に観察することになり、死角
を生じさせることなく測定対象物の測定位置を確認する
ことができる。
【００１８】ここで、上記本発明のレーザドプラ振動計
において、入射レーザ光と反射レーザ光が同一の光路を
有する部分の、ビームスプリッタよりも測定対象物に寄
った位置に、入射レーザ光を測定対象物上に集光させる
とともにその測定対象物を撮像センサ上に結像させる対
物レンズを備えることが好ましい。
において、入射レーザ光と反射レーザ光が同一の光路を
有する部分の、ビームスプリッタよりも測定対象物に寄
った位置に、入射レーザ光を測定対象物上に集光させる
とともにその測定対象物を撮像センサ上に結像させる対
物レンズを備えることが好ましい。
【００１９】上記の位置に対物レンズを備えることによ
り、測定対象物上へのレーザ光の集光と測定対象物の撮
像センサ上への結像との双方が一緒に調整され、操作性
が大きく向上する。
り、測定対象物上へのレーザ光の集光と測定対象物の撮
像センサ上への結像との双方が一緒に調整され、操作性
が大きく向上する。
【００２０】さらに、上記本発明のレーザドプラ振動計
において、上記ビームスプリッタは、上記同一の光路か
らの退避が自在なものであることが好ましい。
において、上記ビームスプリッタは、上記同一の光路か
らの退避が自在なものであることが好ましい。
【００２１】上記のビームスプリッタを光路の途中に配
備すると、振動測定のためのレーザ光の光量が弱まり、
測定対象物によっては光量不足になるおそれがある。一
方、測定位置の確認は、測定開始前に行なう必要がある
ものの、測定位置を一旦確認した後の測定中は確認不要
であることが多い。
備すると、振動測定のためのレーザ光の光量が弱まり、
測定対象物によっては光量不足になるおそれがある。一
方、測定位置の確認は、測定開始前に行なう必要がある
ものの、測定位置を一旦確認した後の測定中は確認不要
であることが多い。
【００２２】そこで、上記のように、ビームスプリッタ
を光路から退避自在に構成しておくことにより、測定位
置の確認とレーザ光の光量の確保との双方を満足させる
ことができる。
を光路から退避自在に構成しておくことにより、測定位
置の確認とレーザ光の光量の確保との双方を満足させる
ことができる。
【００２３】さらに、上記本発明のレーザドプラ振動計
によって、上記ビームスプリッタと上記撮像センサとの
間に、レーザ光の波長と同一波長の光をカットする光学
フィルタを備えることが好ましい。
によって、上記ビームスプリッタと上記撮像センサとの
間に、レーザ光の波長と同一波長の光をカットする光学
フィルタを備えることが好ましい。
【００２４】こうすることにより、測定対象物を、強力
なレーザ光による輝度のアンバランスによりマスクされ
てしまうことなく映し出すことができる。
なレーザ光による輝度のアンバランスによりマスクされ
てしまうことなく映し出すことができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【００２６】図４は、本発明の一実施形態としてのレー
ザドプラ振動計の外観構成を示す模式図である。
ザドプラ振動計の外観構成を示す模式図である。
【００２７】ここには、スタンド３０に、高さ調整装置
４０を介在させて、レーザドプラ振動計本体部５０が取
り付けられている。このレーザドプラ振動計本体部５０
の下方には、測定対象物（ここでは磁気ディスク装置）
１００が置かれており、レーザドプラ振動計本体部５０
から、この測定対象物１００に向けてレーザ光が入射さ
れ、その測定対象物１００で反射してレーザドプラ振動
計本体部５０に戻ってきた反射レーザ光がそのレーザド
プラ振動計本体部５０に取り込まれ、図１を参照して説
明した原理により、測定対象物１００の振動の情報を含
んだ信号Ｓが生成される。その信号Ｓは、信号解析器６
０に入力されてその信号Ｓから振動の情報のみの信号が
生成され、その生成された信号がオシロスコープ７０に
入力され、そのオシロスコープ７０の表示画面上に、測
定対象物の振動を表わす波形が表示される。
４０を介在させて、レーザドプラ振動計本体部５０が取
り付けられている。このレーザドプラ振動計本体部５０
の下方には、測定対象物（ここでは磁気ディスク装置）
１００が置かれており、レーザドプラ振動計本体部５０
から、この測定対象物１００に向けてレーザ光が入射さ
れ、その測定対象物１００で反射してレーザドプラ振動
計本体部５０に戻ってきた反射レーザ光がそのレーザド
プラ振動計本体部５０に取り込まれ、図１を参照して説
明した原理により、測定対象物１００の振動の情報を含
んだ信号Ｓが生成される。その信号Ｓは、信号解析器６
０に入力されてその信号Ｓから振動の情報のみの信号が
生成され、その生成された信号がオシロスコープ７０に
入力され、そのオシロスコープ７０の表示画面上に、測
定対象物の振動を表わす波形が表示される。
【００２８】また、レーザドプラ振動計本体部５０の、
測定対象物１００の側には対物レンズ５１が配備され、
その対物レンズ５１と、その他の光学系（図１参照）５
２との間には、ハーフミラー等が配備されたモニタ光学
系５３が備えられている。
測定対象物１００の側には対物レンズ５１が配備され、
その対物レンズ５１と、その他の光学系（図１参照）５
２との間には、ハーフミラー等が配備されたモニタ光学
系５３が備えられている。
【００２９】測定対象物１００には、レーザドプラ振動
計本体部５０からの入射レーザ光とは別に、外光（ある
いは人工的な照明光）が照射されており、外光（照明
光）の、測定対象物１００で反射した光は、対物レンズ
５１を通りモニタ光学系５３内のハーフミラー（図５を
参照して後述する）で反射して小型のＣＣＤカメラ５４
の撮像面に結像され、そのＣＣＤカメラ５４で、測定対
象物１００の、入射レーザ光が照射されたポイントを含
むその周囲の領域の像が撮影されて、モニタ８０上に映
し出される。
計本体部５０からの入射レーザ光とは別に、外光（ある
いは人工的な照明光）が照射されており、外光（照明
光）の、測定対象物１００で反射した光は、対物レンズ
５１を通りモニタ光学系５３内のハーフミラー（図５を
参照して後述する）で反射して小型のＣＣＤカメラ５４
の撮像面に結像され、そのＣＣＤカメラ５４で、測定対
象物１００の、入射レーザ光が照射されたポイントを含
むその周囲の領域の像が撮影されて、モニタ８０上に映
し出される。
【００３０】図５は、レーザドプラ振動計本体部５０の
モニタ光学系５３の縦断面図、図６はそのモニタ光学系
５３の平面図である。
モニタ光学系５３の縦断面図、図６はそのモニタ光学系
５３の平面図である。
【００３１】モニタ光学系５３には、測定対象物１００
（図４参照）に向かう入射レーザ光と測定対照物で反射
してこのレーザドプラ振動計本体部５０に入射した反射
レーザ光の光路（これら入射レーザ光と反射レーザ光の
光軸は同一である）に配置されたハーフミラー５５が備
えられており、測定対象物１００に照射された外光（又
は照射光）は測定対象物１００で反射し対物レンズ５１
を通過し、ハーフミラー５５で反射し、ＣＣＤカメラ５
４の撮像面上に導びかれる。ここで対物レンズ５１のピ
ント調整により、測定対象物１００をＣＣＤカメラ５４
の撮像面上に結像させ、ＣＣＤカメラ５４で、測定対象
物１００の、入射レーザ光によるレーザスポットの周囲
の領域の画像が取り込まれる。
（図４参照）に向かう入射レーザ光と測定対照物で反射
してこのレーザドプラ振動計本体部５０に入射した反射
レーザ光の光路（これら入射レーザ光と反射レーザ光の
光軸は同一である）に配置されたハーフミラー５５が備
えられており、測定対象物１００に照射された外光（又
は照射光）は測定対象物１００で反射し対物レンズ５１
を通過し、ハーフミラー５５で反射し、ＣＣＤカメラ５
４の撮像面上に導びかれる。ここで対物レンズ５１のピ
ント調整により、測定対象物１００をＣＣＤカメラ５４
の撮像面上に結像させ、ＣＣＤカメラ５４で、測定対象
物１００の、入射レーザ光によるレーザスポットの周囲
の領域の画像が取り込まれる。
【００３２】ここで、対物レンズ５１は、入射レーザ光
が測定対象物１００上で最も小さいスポット径となるよ
うに調整することと、その測定対象物１００がＣＣＤカ
メラ５４で最もピントが合った画像が取り込まれるよう
に調整することの双方の調整機能を兼ねており、それら
の双方が同時に調整されるように対物レンズ５１やＣＣ
Ｄカメラ５４等の配置位置が決められている。この位置
がずれているときは、固定ネジ５６を緩めてＣＣＤカメ
ラ５４の位置が調整される。
が測定対象物１００上で最も小さいスポット径となるよ
うに調整することと、その測定対象物１００がＣＣＤカ
メラ５４で最もピントが合った画像が取り込まれるよう
に調整することの双方の調整機能を兼ねており、それら
の双方が同時に調整されるように対物レンズ５１やＣＣ
Ｄカメラ５４等の配置位置が決められている。この位置
がずれているときは、固定ネジ５６を緩めてＣＣＤカメ
ラ５４の位置が調整される。
【００３３】本実施形態では、このようにして、１つの
調整で、それら双方の調整が同時に行なわれ、良好な操
作性が確保されている。
調整で、それら双方の調整が同時に行なわれ、良好な操
作性が確保されている。
【００３４】また、モニタ光学系５３には、ハーフミラ
ー５５とＣＣＤカメラ５４との間に、ここで使用してい
るレーザ光の波長の光をカットする光学フィルタ５７が
配備されており、この光学フィルタ５７により、測定対
象物１００で反射しさらにハーフミラー５５で反射した
反射レーザ光の光量が大幅にカットされ、その反射レー
ザ光のスポット部分のみＣＣＤカメラ５４に強大な光量
が入射して測定対象物１００がみえにくくなってしまう
という事態が回避されている。
ー５５とＣＣＤカメラ５４との間に、ここで使用してい
るレーザ光の波長の光をカットする光学フィルタ５７が
配備されており、この光学フィルタ５７により、測定対
象物１００で反射しさらにハーフミラー５５で反射した
反射レーザ光の光量が大幅にカットされ、その反射レー
ザ光のスポット部分のみＣＣＤカメラ５４に強大な光量
が入射して測定対象物１００がみえにくくなってしまう
という事態が回避されている。
【００３５】また、ハーフミラー５５には、図６に示す
ように、つまみ５８が固定されており、そのつまみ５８
を矢印ａ−ｂ方向に移動させるとハーフミラー５５も一
緒に移動し、矢印ａ方向に移動させることにより、ハー
フミラー５５をレーザ光の光路から退避させ、矢印ｂ方
向に移動させることにより、ハーフミラー５５光路上に
配置することができる。
ように、つまみ５８が固定されており、そのつまみ５８
を矢印ａ−ｂ方向に移動させるとハーフミラー５５も一
緒に移動し、矢印ａ方向に移動させることにより、ハー
フミラー５５をレーザ光の光路から退避させ、矢印ｂ方
向に移動させることにより、ハーフミラー５５光路上に
配置することができる。
【００３６】光路上にハーフミラーを配置した状態の場
合、振動測定に用いられる入射レーザ光および反射レー
ザ光の光量がそのハーフミラー５５で低下することにな
り、測定対象物１００の反射率がかなり低い場合などに
測定に十分な光量を確保できないおそれがある。そのよ
うな場合、ハーフミラー５５を光路上に配置し、図４に
示すモニタ８０上で測定対象物１００上の振動測定点を
確認した後、今度はハーフミラー５５を光路から退避さ
せて振動測定を行なう。こうすることにより振動測定点
の確認を行なうとともに、実際の振動測定の際はモニタ
のための光量低下のない、本来の光量を維持した状態で
振動測定を行なうことができる。
合、振動測定に用いられる入射レーザ光および反射レー
ザ光の光量がそのハーフミラー５５で低下することにな
り、測定対象物１００の反射率がかなり低い場合などに
測定に十分な光量を確保できないおそれがある。そのよ
うな場合、ハーフミラー５５を光路上に配置し、図４に
示すモニタ８０上で測定対象物１００上の振動測定点を
確認した後、今度はハーフミラー５５を光路から退避さ
せて振動測定を行なう。こうすることにより振動測定点
の確認を行なうとともに、実際の振動測定の際はモニタ
のための光量低下のない、本来の光量を維持した状態で
振動測定を行なうことができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレーザド
プラ振動計によれば、振動測定点を死角を生じさせずに
確認することができる。
プラ振動計によれば、振動測定点を死角を生じさせずに
確認することができる。
【図１】レーザドプラ振動計の原理構成図である。
【図２】測定箇所を視認することができるように構成さ
れた従来の装置の概要を示す図である。
れた従来の装置の概要を示す図である。
【図３】測定箇所を視認することができるように構成さ
れた従来の装置の概要を示す図である。
れた従来の装置の概要を示す図である。
【図４】本発明の一実施形態としてのレーザドプラ振動
計の外観構成を示す模式図である。
計の外観構成を示す模式図である。
【図５】レーザドプラ振動計本体部のモニタ光学系の縦
断面図である。
断面図である。
【図６】レーザドプラ振動計本体部のモニタ光学系の平
面図である
面図である
１，１００ 測定対象物
１１ レーザ光源
１１ａ 出射レーザ光
１１ｂ 参照レーザ光
１１ｃ 入射レーザ光
１１ｄ 反射レーザ光
１２ ビームスプリッタ
１３ ＡＯＭ
１４ ビームスプリッタ
１５ 受光素子
１６ ビームスプリッタ
１７ ミラー
３０ スタンド
４０ 高さ調整装置
５０ レーザドプラ振動計本体部
５１ 対物レンズ
５２ その他の光学系
５３ モニタ光学系
５４ 小型のＣＣＤカメラ
５５ ハーフミラー
５６ 固定ネジ
５７ 光学フィルタ
５８ つまみ
６０ 信号解析器
７０ オシロスコープ
８０ モニタ
フロントページの続き
(72)発明者 古川 裕彦
神奈川県横浜市緑区白山１丁目16番１号
株式会社小野測器内
Ｆターム(参考） 2G064 AB08 BC05 BC15 BC22 BC32
CC41
5J084 AA01 AB16 AC07 AD05 BA03
BA40 BB01 BB20 BB24 DA01
DA07 EA20 EA25
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ光を測定対象物に入射し該測定対
象物で反射して入射レーザ光の光路と同一の光路を逆に
辿って戻ってきた反射レーザ光の、該測定対象物の振動
により生じた周波数のドプラ偏倚を利用して該測定対象
物の振動を測定するレーザドプラ振動計において、 撮像センサと、 前記入射レーザ光と前記反射レーザ光が同一の光路を有
する部分に配備された、前記測定対象物からの光を前記
撮像センサに導くビームスプリッタとを備えたことを特
徴とするレーザドプラ振動計。 - 【請求項２】 前記入射レーザ光と前記反射レーザ光が
同一の光路を有する部分の、前記ビームスプリッタより
も前記測定対象物に寄った位置に、入射レーザ光を前記
測定対象物上に集光させるとともに該測定対象物を前記
撮像センサ上に結像させる対物レンズを備えたことを特
徴とする請求項１記載のレーザドプラ振動計。 - 【請求項３】 前記ビームスプリッタは、前記同一の光
路からの退避が自在なものであることを特徴とする請求
項１記載のレーザドプラ振動計。 - 【請求項４】 前記ビームスプリッタと前記撮像センサ
との間に、前記レーザ光の波長と同一波長の光をカット
する光学フィルタを備えたことを特徴とする請求項１記
載のレーザドプラ振動計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001350152A JP2003149041A (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | レーザドプラ振動計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001350152A JP2003149041A (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | レーザドプラ振動計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003149041A true JP2003149041A (ja) | 2003-05-21 |
Family
ID=19162713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001350152A Pending JP2003149041A (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | レーザドプラ振動計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003149041A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004138590A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Graphtec Corp | レーザドップラ振動計 |
| KR101007456B1 (ko) | 2009-01-02 | 2011-01-14 | 한국원자력연구원 | 충격파 가시화를 이용한 레이저 비파괴 검사 장치 |
| JP2016090383A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | 株式会社小野測器 | レーザ測定装置及び照準光合成装置 |
| CN110044462A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-23 | 北京工业大学 | 一种激光外差干涉多普勒振动测量光学结构 |
-
2001
- 2001-11-15 JP JP2001350152A patent/JP2003149041A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004138590A (ja) * | 2002-10-21 | 2004-05-13 | Graphtec Corp | レーザドップラ振動計 |
| KR101007456B1 (ko) | 2009-01-02 | 2011-01-14 | 한국원자력연구원 | 충격파 가시화를 이용한 레이저 비파괴 검사 장치 |
| JP2016090383A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | 株式会社小野測器 | レーザ測定装置及び照準光合成装置 |
| CN110044462A (zh) * | 2019-04-29 | 2019-07-23 | 北京工业大学 | 一种激光外差干涉多普勒振动测量光学结构 |
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