JP2003156304A - 流体圧シリンダにおける位置検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構造が簡単で小型化も容易な流体圧シリンダ
における位置検出器で、温度条件の厳しい場所にも対応
が容易で、外部磁気による出力の変動が少なく、製造も
簡単な流体圧シリンダにおける位置検出器を提供する。 【解決手段】 流体圧シリンダにおける位置検出が、導
電体（２）または磁性体あるいは非磁性導電体との重合
部の変化で捉えられるように配置されたコイル（１）
に、周期的にパルス状の電圧を印加し、コンデンサ
（４）の充電、または放電を行わせ、その放電時の電圧
がコンパレータ（５）のしきい値を超えるまでの時間を
電圧に変換する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シリンダロッドの
移動に応じた電圧または電流を出力させる場合、あるい
はシリンダロッドの移動を感知して所定の位置にあるか
どうかを判定して、スイッチ出力を発生させるような場
合の用途に使用する流体圧シリンダにおける位置検出
器。

【０００２】

【従来の技術】従来の流体圧シリンダ用の位置検出器の
１例は、図１１に示すように、ピストン（１１）に磁石
（１９）を内蔵し、その磁力を感知するホール素子等を
用いた磁気センサ（２０）をシリンダチューブ（１８）
の外側に配置していて、磁気センサ（２０）の固定位置
での位置検出である。

【０００３】また他の例では、軸方向の位置検出には差
動トランス等が用いられるが、ポテンショメータは摺動
型のため摺動部が摩耗し長期間の使用に問題があり、差
動トランスは通常３個以上のコイルを使用するため形状
が複雑で、外形も大きく取り付ける場所に制限がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記の初めの例では、
シリンダチューブ（１８）の外側に磁気センサ（２０）
を取り付けるため、例えばシリンダチューブ（１８）の
内径６ｍｍのシリンダの場合、幅１０ｍｍ、高さ２０ｍ
ｍ程度の取り付けスペースを必要とし、そのスペース以
下の狭い所では使用できなかった。また、内径６ｍｍ以
下のシリンダについては、磁石を内蔵することが困難
で、かつシリンダに比較して大きすぎる取り付けスペー
スを必要とするため、その使用は限られていた。

【０００５】さらに、シリンダチューブ（１８）の外側
からピストン（１１）に取り付けた磁石（１９）の磁力
を感知する方式のため、シリンダを近接して設置した場
合に、隣接したシリンダに内蔵された磁石の影響を受け
るため、ある一定の距離をおいて設置する必要があっ
た。また、外部磁界の強い環境では使用できなかった。

【０００６】また、他の差動トランスの場合、温度補償
も兼ねて差動結合させるため、２個の検出コイルは同軸
上に配置されるので、全長は検出距離の２倍以上の長さ
を必要とし、また励磁コイルを含め、計３個のコイルを
使用するため小型化に適さず、小型機器や設置スペース
の狭いところでは形状的制約を受けるという問題点があ
り、計測原理から位置計測のため磁性体を使用するの
で、外部磁気の影響を受け易いという問題点があった。

【０００７】本発明は、従来の流体圧シリンダ用の位置
検出器の問題点に鑑み、小型で、非接触または摺動部を
なくし、温度変化や外部磁気の影響による出力の変化も
少なく、構造が簡単な流体圧シリンダ用の位置検出器を
提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の流体圧シリンダ用の位置検出器は、図１ま
たは図８に示すように、コイルと導電体（または磁性体
あるいは非磁性導電体）よりなる変位検出部と抵抗、コ
ンデンサ、コンパレータまたは固定周波数パルス発振器
と、電圧トリガー部と発振周期電圧変換部（２１）等に
より構成される。

【０００９】本流体圧シリンダ用の位置検出器には、図
１、図３、図４および図５のようにコイルの外（又は
内）側に導電体（または磁性体）を設置する形状、図２
および図６のようにコイルの外側に非磁性導電体を設置
する形状がある。

【００１０】また、コイルと導電体（または磁性体）の
相対位置は、コイル外部を導電体（または磁性体）が通
過するもの（図１および図５）、コイル内部を導電体
（または磁性体）が通過するもの（図３および図４）が
ある。

【００１１】ここでは、コイルのインダクタンス変化を
捉える回路として、図１と図８のように２種類の回路を
示した。いずれの方式もコイルのインダクタンス変化を
時間の変化で捉えるという考え方は同じであるが、コイ
ルに印加する発振回路と、取り出し時間（デューティ）
位置が異なる。

【００１２】上記パルス出力回路に用いるコンパレータ
は、反転出力の比較器であり、入力電圧が低電圧から上
昇するときは、しきい値を超えるまでハイレベルを出力
し、しきい値を超えるとローレベルを出力する。また、
入力電圧が高電圧側から下降するときは、しきい値を超
えるまではローレベルを出力し、しきい値を超えるとハ
イレベルを出力する。また、しきい値にヒステリシスを
持たせることにより、安定して連続発振を続けさせるこ
とができる。具体的には、コンパレータの他にオペアン
プや論理素子のシュミットインバータなどが利用でき
る。

【００１３】上記パルス出力部に用いる固定周波数パル
ス発振器とフリップフロップ回路並びにコンパレータを
用いた回路で、パルスの出力タイミングを操作すること
で、ハードウエアのみで温度補償特性の調整とか、直線
性向上のために利用することもできる。

【００１４】発振周期電圧変換部（２１）は、コンデン
サの放電の過渡状態をコンパレータのしきい値で判定す
ることにより得られる時間を電圧に変換する部分であ
る。

【００１５】出力変換部（２２）は被検出物の変位に対
応した電圧、または電流を出力するか、予め指定した位
置に対して被検出物がどちら側にあるかを比較・判定し
てスイッチ出力を発生させるものである。

【００１６】

【作用】この流体圧シリンダ用の位置検出器において、
コンパレータによりコイルにパルス状の電圧を印加する
と、被検出物である導電体（または磁性体あるいは非磁
性導電体）とコイルが重合する量に応じてコイルのイン
ダクタンスが変化し、これに応じてコンパレータ入力部
の電圧が変化する。

【００１７】このインダクタンスの変化は導電体をコイ
ルに挿入する場合は、コイルより発生する磁束により導
電体表面に渦電流が発生し、それが損失となりインダク
タンスを減少させる方向に働き、磁性体を挿入する場合
は磁性体がコイルより発する磁束を集中させる働きをし
てインダクタンスを増加させる。

【００１８】また、導電性の磁性体の場合は、それぞれ
相反する特性を兼ね備えるため、インダクタンスが増加
するか減少するかは影響の強いほうの特性で決まる。

【００１９】図７はヒステリシスを有するコンパレータ
を用いて連続発振させるブロックズを示し、図９はコン
パレータよりコイルにパルス状の電圧を印加すると、コ
イルのインダクタンスと、抵抗、コンデンサによって決
まる時定数でコンデンサに電荷が充電される様子を示
す。

【００２０】コンデンサの充電される側の極は、コンパ
レータの入力側にも接続されているので、コンパレータ
のしきい値を超えて電圧が上昇すると、図７のように、
コンパレータの出力が０Ｖ（ボルト）またはグランドに
反転し、コンデンサは放電を始める。この時、コイルの
インダクタンスと、抵抗、コンデンサにより決まる時定
数でコンデンサは電荷を放電する。

【００２１】この放電電圧が、コンパレータのしきい値
を超えて下降すると、コンパレータの出力はハイレベル
に変化するので連続して発振を続け、ハイレベルになる
までの時間（図７の周期Ｔｄ）を電圧等に変換して出力
とする。

【００２２】また、コンパレータのしきい値にヒステリ
シスがない場合も、コイルの逆起電力によるオーバーシ
ュートにより発振を維持できる可能性があるが、不安定
なため、コンパレータのしきい値にヒステリシスを設
け、図８に示す電位差（ＶＨとＶＬの差）△Ｖを十分に
確保して、安定して発振させることが重要である。

【００２３】次にコンデンサへの充・放電の電圧変化を
観測し、それを電圧に変換し出力とする方法について述
べる。

【００２４】連続して発振しているコンパレータの出力
電圧反転のタイミングに合わせて、一定時間幅を有する
矩形波Ｔｃを生成し、その矩形波の実効値をとること
で、出力となる電圧を生成できる。

【００２５】このような出力電圧の生成方法では、コン
パレータの出力周期をＴとすると、出力電圧はＴｃ／Ｔ
となり、実効値を求めるときに周期Ｔの方が変化するた
め、コイルのインダクタンスと出力電圧の比例関係が損
なわれる。

【００２６】そこで、別途固定パルス発振回路を追加
し、周期Ｔで動作するクロックの立ち上がりから、コン
パレータの出力が反転する間、コイルにパルス状の電圧
を印加し、コンデンサの放電時にコンパレータのしきい
値を通過するときの信号を基準に矩形波を生成し、この
時の時間Ｔｄを実効値に取ると、出力はＴｄ／Ｔとな
り、周期Ｔが一定なので、インダクタンスの変化に比例
した出力を得ることができる。

【００２７】この方式は周期Ｔ内で複数回のパルスを出
力しても効果は同様で、コイル等の形状上の制約によ
り、インダクタンスが小さく得られる出力が少ない場合
は、クロックの１周期内に複数回のパルス電圧を出力し
て時間をかせぐことにより、安定した出力を得ることが
できる。

【００２８】その他の電圧変換の方法として、コンデン
サの放電時にコンパレータのしきい値を通過するまでの
時間を計測し、その時間に比例した電圧を出力する方法
も容易に考えられる。

【００２９】さらに、本流体圧シリンダにおける位置検
出器は、コイルを空心コイルとし、被検出物を非磁性の
導電体（図２および図６の（１７））とすることによ
り、直流磁気に反応しない材料で構成することも可能な
ため、外部の直流磁気の影響を受けないものが構成で
き、また交流磁気に対しては小径のコイルを用いること
で、影響を少なくすることができる。

【００３０】

【実施例】図１において、シリンダロッド（１２）を導
電体（２）または磁性体とし、位置の変化とともにコイ
ル（１）との重合距離（１０）が変化するように配置す
ることで、変位検出部を構成させ、コイル（１）の一端
に抵抗（６）、バッファ（７）、フリップフロップ回路
（８）、固定周波数パルス発振器（９）を接続し、コイ
ル（１）の他端にヒステリシスを有するしきい値を備え
た反転出力のコンパレータ（５）を接続し、その端部は
フリップフロップ回路（８）のリセット部に接続し、コ
イル（１）とこのコンパレータ（５）間にコンデンサ
（４）を接続し、その端部は０Ｖまたはグランド（３）
に接地する。

【００３１】さらに、固定周波数パルス発振器（９）よ
り固定周波数パルスを発生させ、コイル（１）のインダ
クタンス変化に応じてヒステリシスを有するしきい値を
備えた反転出力のコンパレータ（５）の出力電圧が規定
上限電圧ＶＨに達するとフリップフロップ回路のリセッ
ト回路が働いてコイル（１）とコンパレータ（５）の電
圧がディスチャージされ、この電圧が規定下限電圧ＶＬ
に達する瞬間にトリガーをかけて、固定周波数パルス発
振時から規定下限電圧ＶＬに達するまでの時間Ｔｄを計
測する。

【００３２】図５および図６は図４の変形であるが、図
５および図６はピストン（１１）の両側軸が同一直径で
あるため、前後のポートから同じ量の流入流体に対して
前後に同一移動量が得られる構造であり、流体圧サーボ
シリンダの場合に良く採用される形状である。また、流
体圧サーボシリンダの場合には、前後の移動量の確認の
ため、あるいは移動量をフィードバックするために正確
なシリンダ位置の計測が不可欠である。

【００３３】図１から図４については、コイルの取り出
しをヘッドカバー（１３）側より行い、また、コイルの
設置もヘッドカバー（１３）に固定しているが、これを
図１０に示すように、コイルを流体圧シリンダのピスト
ンロッド出力端側から取り出すことも可能であり、又結
合する場所もヘッドカバー（１３）に限定する必要はな
く、別途固定台（２３）に結合すればよい。さらに、こ
の方案は現有する（あるいは市販の）流体圧シリンダを
一部改造するだけで本発明の位置検出器の取付が可能で
ある。

【００３４】

【発明の効果】本発明は、前述のよう流体圧シリンダの
位置検出器が小形で単純な構造で検出できるため、以下
に記載されるような効果を呈する。

【００３５】流体圧シリンダの位置検出部は１つのコイ
ルと１つの導電体（または磁性体あるいは非磁性導電
体）のみで構成されるため、差動変圧器やレゾルバのよ
うに、複数のコイル間の相対位置が厳密に定められる機
構と比較して、外形、全長等を小さくできるので、従来
形状的、または寸法的に困難であった様々な場所に用い
ることができる。

【００３６】検出部がコイルと導電体（または磁性体あ
るいは非磁性導電体）のみで構成できるので、コイルと
導電体（または磁性体あるいは非磁性導電体）の高
（低）温度対策が容易で、使用温度条件の厳しい場所に
も設置できる。

【００３７】非磁性導電体（１７）を挿入することで、
感度が上昇し、ピストンロッド（１２）の移動に敏感に
なり、微細な移動の検知が可能になり、また、ピストン
ロッド（１２）の材料が例えばプラスティックあるいは
セラミック等の非金属材料であっても本発明の位置検出
器がそのまま適用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】導電体（２）または磁性体で作成されたシリン
ダロッド（１２）の中心部軸方向にあけられた穴にコイ
ル（１）を配置した流体圧シリンダの位置検出器の全体
ブロック図。

【図２】シリンダロッド（１２）の中心部軸方向にあけ
られた穴に、密着固定した中空円筒非磁性導電体（１
７）の内周部にコイル（１）を配置した流体圧シリンダ
の位置検出器。

【図３】シリンダロッド（１２）の中心部に導電体
（２）または磁性体を挿入固定し、導電体（２）または
磁性体の外周部にコイル（１）を配置した流体圧シリン
ダの位置検出器。

【図４】シリンダロッド（１２）の中心部に導電体
（２）または磁性体を挿入固定し、導電体（２）または
磁性体の他端をシリンダの外部に突出させ、その外周に
コイル（１）を配置した流体圧シリンダの位置検出器。

【図５】シリンダロッド（１２）と同径の導電体（２）
または磁性体を反シリンダロッド突出側に突出させ、突
出させた導電体（２）または磁性体の中心部にあけた穴
の内部にコイル（１）を配置した流体圧シリンダの位置
検出器。

【図６】シリンダロッド（１２）と同径の軸を反シリン
ダロッド突出側に突出させ、突出させた軸の中心部にあ
けた穴に密着固定した中空円筒非磁性導電体（１７）の
内周部にコイル（１）を配置した流体圧シリンダの位置
検出器。

【図７】図１のブロック図のタイミングチャート図。

【図８】図１と発振方法を変えた流体圧シリンダの位置
検出器の全体ブロック図。

【図９】図８のブロック図のタイミングチャート図。

【図１０】図１と同一方案で、コイル（１）の設置場所
をシリンダロッド（１２）の出力端側から挿入した場合
の例図。

【図１１】従来の磁気センサを備えた流体圧シリンダの
例図。

【符号の説明】

１ コイル ２ 導電体（または磁性体） ３ 接地部 ４ コンデンサ ５ ヒステリシスを有するしきい値を備えた反転出力の
コンパレータ ６ 抵抗 ７ バッファ ８ フリップフロップ素子 ９ 固定周波数パルス発振器 １０ 重合距離 １１ ピストン １２ ピストンロッド １３ ヘッドカバー １４ ロッドカバー １５ シール １６ シール １７ 非磁性導電体 １８ シリンダチューブ １９ 磁石 ２０ 磁気センサ ２１ 発振周期電圧変換部 ２２ 出力変換部 ２３ 固定台

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三木 正之 京都府京都市下京区七条御所ノ内南町102 番地 株式会社リベックス内 Ｆターム(参考） 2F063 AA02 BA05 CA30 CA34 GA04 GA08 LA08 NA06 3H081 AA02 AA03 BB02 BB03 CC23 DD19 GG06 GG12 GG14

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体圧シリンダにおいて、導電体（２）
   又は磁性体で作成されたシリンダロッド（１２）の内部
   に、軸方向にあけた穴の内側に隙間をもたせてコイル
   （１）を配置し、コイル（１）を流体圧シリンダ（以下
   シリンダと称す）の固定側に結合し、シリンダに供給さ
   れた流体によるピストン（１１）の面圧力によってシリ
   ンダロッド（１２）がコイル（１）の外周を移動したと
   き、コイル（１）と導電体（２）又は磁性体間の重合距
   離（１０）又は面積が変化するように構成し、このコイ
   ル（１）に周期的に短波形を印加すると、シリンダロッ
   ド（１２）の移動に応じて重合距離（１０）または面積
   が変化するため、コイル（１）と導電体（２）又は磁性
   体間の渦電流損およびインダクタンスが変化して、短波
   形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状態を
   観測してシリンダロッド（１２）の移動距離を検出でき
   るように構成した流体圧シリンダにおける位置検出器。
2. 【請求項２】 流体圧シリンダにおいて、シリンダロッ
   ド（１２）の内部に、軸方向にあけた穴の内側に非磁性
   導電体で作成された中空円筒部（１７）を密着して挿入
   固定し、さらに内側に隙間をもたせてコイル（１）を配
   置し、コイル（１）をシリンダの固定側に結合し、シリ
   ンダに供給された流体によるピストン（１１）の面圧力
   によってシリンダロッド（１２）すなわち非磁性導電体
   で作成された中空円筒部（１７）がコイル（１）の外周
   を移動したとき、コイル（１）と非磁性導電体で作成さ
   れた中空円筒部（１７）間の重合距離（１０）又は面積
   が変化するように構成し、このコイル（１）に周期的に
   短波形を印加すると、シリンダロッド（１２）の移動に
   応じて重合距離（１０）又は面積が変化するため、コイ
   ル（１）と非磁性導電体で作成された中空円筒部（１
   ７）間の渦電流損およびインダクタンスが変化して、短
   波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状態
   を観測してシリンダロッド（１２）の移動距離を検出で
   きるように構成した流体圧シリンダにおける位置検出
   器。
3. 【請求項３】 流体圧シリンダにおいて、シリンダロッ
   ド（１２）の内部に軸方向に穴を穿ち、さらにその中心
   部に導電体（２）又は磁性体を挿入結合し、導電体
   （２）又は磁性体の外周に若干の隙間をもたせてコイル
   （１）を配置し、コイル（１）をシリンダの固定側（例
   えばヘッドカバー（１３））に結合し、シリンダに供給
   された流体によるピストン（１１）の面圧力によってシ
   リンダロッド（１２）すなわち導電体（２）又は磁性体
   がコイル（１）の内周を移動したとき、コイル（１）と
   導電体（２）又は磁性体間の重合距離（１０）又は面積
   が変化するように構成し、このコイル（１）に周期的に
   短波形を印加すると、シリンダロッド（１２）すなわち
   導電体（２）又は磁性体の移動に応じて重合距離（１
   ０）又は面積が変化するため、コイル（１）と導電体
   （２）又は磁性体間の渦電流損およびインダクタンスが
   変化して、短波形の減衰状態が変化するので、この短波
   形の減衰状態を観測してシリンダロッド（１２）の移動
   距離すなわちシリンダロッド位置を検出できるように構
   成した流体圧シリンダにおける位置検出器。
4. 【請求項４】 流体圧シリンダにおいて、シリンダロッ
   ド（１２）の内部に導電体（２）又は磁性体を挿入結合
   し、導電体（２）又は磁性体の他端をシリンダの外部に
   突出させ、さらに、導電体（２）又は磁性体の外周に隙
   間をもたせてコイル（１）を配置し、コイル（１）をシ
   リンダの固定側に結合し、シリンダに供給された流体に
   よるピストン（１１）の面圧力によってシリンダロッド
   （１２）すなわち導電体（２）又は磁性体がコイル
   （１）の内周を移動したとき、コイル（１）と導電体
   （２）又は磁性体間の重合距離（１０）又は面積が変化
   するように構成し、このコイル（１）に周期的に短波形
   を印加すると、シリンダロッド（１２）すなわち導電体
   （２）又は磁性体の移動に応じて重合距離（１０）又は
   面積が変化するため、コイル（１）と導電体（２）又は
   磁性体間の渦電流損およびインダクタンスが変化して、
   短波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状
   態を観測してシリンダロッド（１２）の移動距離を検出
   できるように構成した流体圧シリンダにおける位置検出
   器。
5. 【請求項５】 流体圧シリンダにおいて、突出側のシリ
   ンダロッド（１２）の直径と同一直径を有する導電体
   （２）又は磁性体をピストン（１１）の反シリンダロッ
   ド（１２）側に結合して他端をシリンダの外部に突出さ
   せ、さらに、導電体（２）又は磁性体の内部に、軸方向
   にあけた穴の内側に若干の隙間を持たせてコイル（１）
   を配置し、コイル（１）をシリンダの固定側（例えばヘ
   ッドカバー（１３））に結合し、シリンダに供給された
   流体によるピストン（１１）の面圧力によってシリンダ
   ロッド（１２）すなわち導電体（２）又は磁性体がコイ
   ル（１）の外周を移動したとき、コイル（１）と導電体
   （２）又は磁性体間の重合距離（１０）又は面積が変化
   するように構成し、このコイル（１）に周期的に短波形
   を印加すると、シリンダロッド（１２）すなわち導電体
   （２）又は磁性体の移動に応じて重合距離（１０）又は
   面積が変化するため、コイル（１）と導電体（２）又は
   磁性体間の渦電流損およびインダクタンスが変化して、
   短波形の減衰状態が変化するので、この短波形の減衰状
   態を観測してシリンダロッド（１２）の移動距離すなわ
   ちシリンダロッド位置を検出できるように構成した流体
   圧シリンダにおける位置検出器。
6. 【請求項６】 流体圧シリンダにおいて、突出側のシリ
   ンダロッド（１２）の直径と同一直径を有する軸をピス
   トン（１１）の反シリンダロッド（１２）側に結合して
   他端をシリンダの外部に突出させ、さらに、突出させた
   軸の内部に、軸方向にあけた穴の内側に非磁性導電体で
   作成された中空円筒部（１７）を密着して挿入固定し、
   非磁性体で作成された中空円筒部（１７）の内側に若干
   の隙間を持たせてコイル（１）を配置し、コイル（１）
   をシリンダの固定側（例えばヘッドカバー（１３））に
   結合し、シリンダに供給された流体によるピストン（１
   １）の面圧力によってシリンダロッド（１２）すなわち
   非磁性導電体で作成された中空円筒部（１７）がコイル
   （１）の外周を移動したとき、コイル（１）と非磁性導
   電体で作成された中空円筒部（１７）間の重合距離（１
   ０）又は面積が変化するように構成し、このコイル
   （１）に周期的に短波形を印加すると、シリンダロッド
   （１２）すなわち非磁性導電体で作成された中空円筒部
   （１７）の移動に応じて重合距離（１０）又は面積が変
   化するため、コイル（１）と非磁性導電体で作成された
   中空円筒部（１７）間の渦電流損およびインダクタンス
   が変化して、短波形の減衰状態が変化するので、この短
   波形の減衰状態を観測してシリンダロッド（１２）の移
   動距離を検出できるように構成した流体圧シリンダにお
   ける位置検出器。
7. 【請求項７】 請求項１〜６の流体圧シリンダにおける
   位置検出器において、コイル（１）の一端に抵抗
   （６）、バッファ（７）、フリップフロップ素子
   （８）、固定周波数パルス発振器（９）を接続し、コイ
   ル（１）の他端にヒステリシスを有するしきい値を備え
   たコンパレータ（５）を接続し、その他端はフリップフ
   ロップ回路（８）のリセット部に接続し、コイル（１）
   とコンパレータ（５）間にコンデンサ（４）を接続し、
   その他端はグランド（３）に接地させ、シリンダロッド
   の移動に応じてコイル（１）の内周部（又は外周部）を
   移動する導電体（２）または磁性体、あるいは非磁性導
   電体で作成された中空円筒部（１７）を設け、コイル
   （１）と導電体（２）または磁性体あるいは非磁性導電
   体で作成された中空円筒部（１７）との距離、または重
   合距離（１０）、または重合面積に応じてコイル（１）
   のインダクタンスが変化するように構成し、固定周波数
   パルス発振器（９）より固定周波数パルスを発生させ、
   コイル（１）のインダクタンス変化に応じてヒステリシ
   スを有するしきい値を備えたコンパレータ（５）の入力
   電圧が規定上限電圧ＶＨに達すると、フリップフロップ
   素子へのリセット回路が働き、バッファ（７）の出力が
   グランドレベルになるため、コイル（１）とコンパレー
   タ（５）間の電圧がディスチャージされ、この電圧が規
   定下限電圧ＶＬに達するとトリガーを働かせて時間を固
   定し、この固定周波数パルス立ち上がり時間から規定下
   限電圧ＶＬに達するまでの時間Ｔｄを計測し、この時間
   をシリンダロッド位置として検出する流体圧シリンダに
   おける位置検出器。
8. 【請求項８】 請求項１〜６の流体圧シリンダにおける
   位置検出器において、コイル（１）の一端に抵抗
   （６）、コンデンサ（４）を接続し、コイル（１）の他
   端に発振周期電圧変換部（２１）を接続し、抵抗（６）
   とコンデンサ（４）の間と発振周期電圧変換部（２１）
   の間にヒステリシスを有するしきい値を備えた反転出力
   のコンパレータ（５）を接続して、ヒステリシスを有す
   るしきい値を備えたコンパレータ（５）の出力を発振さ
   せ、シリンダロッドの移動に応じてコイル（１）の内周
   部（又は外周部）を移動する導電体（２）または磁性体
   あるいは非磁性導電体で作成された中空円筒部（１７）
   を設け、コイル（１）と導電体（２）または磁性体ある
   いは非磁性導電体で作成された中空円筒部（１７）の重
   合距離（１０）、またはコイル（１）と導電体（２）ま
   たは磁性体間あるいは非磁性導電体で作成された中空円
   筒部（１７）の距離に応じてコイル（１）のインダクタ
   ンスが変化するように構成したとき、コイル（１）と抵
   抗（６）を合わせたインピーダンスが変化するため、コ
   ンデンサ（４）の充・放電の時間が変化し、それにより
   コンパレータ（５）の出力の発振周期が変化するので、
   その周期を観測し、この周期の変化をシリンダロッド位
   置として検出する流体圧シリンダにおける位置検出器。