JP2003165687A - 天井搬送車 - Google Patents
天井搬送車Info
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C17/00—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports
- B66C17/04—Overhead travelling cranes comprising one or more substantially horizontal girders the ends of which are directly supported by wheels or rollers running on tracks carried by spaced supports with lifting beams, e.g. slewable beams, carrying load-engaging elements, e.g. magnets, hooks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C9/00—Travelling gear incorporated in or fitted to trolleys or cranes
- B66C9/02—Travelling gear incorporated in or fitted to trolleys or cranes for underhung trolleys or cranes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
- B66C1/22—Rigid members, e.g. L-shaped members, with parts engaging the under surface of the loads; Crane hooks
- B66C1/28—Duplicate, e.g. pivoted, members engaging the loads from two sides
- B66C1/30—Duplicate, e.g. pivoted, members engaging the loads from two sides and also arranged to grip the sides of the loads
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ホイスト付きの天井搬送車で、搬送中の振動
が物品に伝わるのを抑制する。 【解決手段】 物品４の上部を支持するチャック機構１
０をホイスト７に備えると共に、チャック機構１０で支
持した物品４の落下を防止する落下防止機構１４を設
け、前記収納した物品４に対して水平に進退可能である
移動体１８を備え、移動体１８は進退方向に対する側断
面がＬ字に形成され、移動体１８の水平部分１８ａを物
品の落下防止手段とし、移動体の垂直部分１８ｂの物品
４側の面に、ゴムダンパ１９を設けて物品４の押当部材
を構成し、落下防止機構１４に設けた可動部を、回転系
の可動部のみで構成した。
が物品に伝わるのを抑制する。 【解決手段】 物品４の上部を支持するチャック機構１
０をホイスト７に備えると共に、チャック機構１０で支
持した物品４の落下を防止する落下防止機構１４を設
け、前記収納した物品４に対して水平に進退可能である
移動体１８を備え、移動体１８は進退方向に対する側断
面がＬ字に形成され、移動体１８の水平部分１８ａを物
品の落下防止手段とし、移動体の垂直部分１８ｂの物品
４側の面に、ゴムダンパ１９を設けて物品４の押当部材
を構成し、落下防止機構１４に設けた可動部を、回転系
の可動部のみで構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ホイストを備え、
床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車に
関し、特に、ホイストにより支持されて搬送車内に収納
された物品の支持機構に関する。
床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車に
関し、特に、ホイストにより支持されて搬送車内に収納
された物品の支持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、ホイストを備え、床面の上方
に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車（以下、搬送
車）が知られている。搬送車は、軌道に沿って走行を行
う走行部と、物品を収納する物品支持部とから構成され
る。このような搬送車は、ホイストに設けたチャック機
構により物品の上部に形成されるハンドルを支持して巻
き上げることにより、搬送車内部に物品を収納する。物
品の収納状態は、ホイストが、物品を支持したチャック
機構を最上位置に到達させると終了であり、この状態に
おいて、搬送車の物品搬送が行われる。
に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車（以下、搬送
車）が知られている。搬送車は、軌道に沿って走行を行
う走行部と、物品を収納する物品支持部とから構成され
る。このような搬送車は、ホイストに設けたチャック機
構により物品の上部に形成されるハンドルを支持して巻
き上げることにより、搬送車内部に物品を収納する。物
品の収納状態は、ホイストが、物品を支持したチャック
機構を最上位置に到達させると終了であり、この状態に
おいて、搬送車の物品搬送が行われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】近年、ウエハを搬送す
る天井搬送車においては、高速化が求められているが、
天井搬送車を高速で走行させようとすると、搬送車内部
に収納された物品が、ホイストの牽引ワイヤ先端に設け
たチャックを支点として、揺動してしまう。搬送される
物品が、多数のウエハを収納したカセットのように、振
動耐久性の低い場合は、前述のような揺動による衝撃に
よって、悪影響を受けてしまう。そこで本発明は、ホイ
スト付きの天井搬送車で、搬送中の振動が物品に伝わる
のを抑制する。
る天井搬送車においては、高速化が求められているが、
天井搬送車を高速で走行させようとすると、搬送車内部
に収納された物品が、ホイストの牽引ワイヤ先端に設け
たチャックを支点として、揺動してしまう。搬送される
物品が、多数のウエハを収納したカセットのように、振
動耐久性の低い場合は、前述のような揺動による衝撃に
よって、悪影響を受けてしまう。そこで本発明は、ホイ
スト付きの天井搬送車で、搬送中の振動が物品に伝わる
のを抑制する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。即ち、請求項１においては、ホイス
トを備え、床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天
井搬送車であって、ホイストに設けられ、物品の上部を
支持するチャック機構と、チャック機構で支持した物品
の落下を防止する落下防止機構と、物品の側面に押し当
てられる押当部材と、を備えたものである。
る課題は以上の如くであり、次に該課題を解決するため
の手段を説明する。即ち、請求項１においては、ホイス
トを備え、床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天
井搬送車であって、ホイストに設けられ、物品の上部を
支持するチャック機構と、チャック機構で支持した物品
の落下を防止する落下防止機構と、物品の側面に押し当
てられる押当部材と、を備えたものである。
【０００５】請求項２においては、前記押当部材は、落
下防止機構に設けられるものである。
下防止機構に設けられるものである。
【０００６】請求項３においては、前記落下防止機構
は、天井搬送車に収納された物品に対して水平方向に進
退可能である移動体を備え、移動体は進退方向に対する
側断面がＬ字形状に形成され、移動体の水平部分を物品
の落下防止手段とし、移動体の垂直部分の物品側の面
に、前記押当部材が設けられているものである。
は、天井搬送車に収納された物品に対して水平方向に進
退可能である移動体を備え、移動体は進退方向に対する
側断面がＬ字形状に形成され、移動体の水平部分を物品
の落下防止手段とし、移動体の垂直部分の物品側の面
に、前記押当部材が設けられているものである。
【０００７】請求項４においては、前記落下防止機構の
可動部を、回転系の可動部のみで構成したものである。
可動部を、回転系の可動部のみで構成したものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例である天井搬送
車１の構成について、図１から図３を用いて説明する。
図１は天井搬送車１を示す斜視図であり、図２は軌道１
２および天井搬送車１を示す正面断面図であり、図３は
天井搬送車１を示す平面断面図である。搬送車１は、図
１、図２に示すように、上部に走行部２を設け、下部に
物品支持装置３を設けており、走行部２と物品支持装置
３とは、連結体６により連結される。走行部２は、図３
に示すように、中央のメインフレーム３１と、該メイン
フレーム３１の前後に位置する車輪支持部３２・３２と
から構成される。車輪支持部３２・３２とメインフレー
ム３１とは、回動軸３３・３３を介して連結されてお
り、車輪支持部３２・３２がメインフレーム３１に対し
て回動自在となっている。そして、軌道１２に設けた曲
線部を、搬送車１が走行可能となるようにしている。ま
た、走行部２の下方には、荷物を搭載できるように構成
した物品支持装置３が設けられている。物品支持装置３
は、連結体６を介して、走行部２に支持される。
車１の構成について、図１から図３を用いて説明する。
図１は天井搬送車１を示す斜視図であり、図２は軌道１
２および天井搬送車１を示す正面断面図であり、図３は
天井搬送車１を示す平面断面図である。搬送車１は、図
１、図２に示すように、上部に走行部２を設け、下部に
物品支持装置３を設けており、走行部２と物品支持装置
３とは、連結体６により連結される。走行部２は、図３
に示すように、中央のメインフレーム３１と、該メイン
フレーム３１の前後に位置する車輪支持部３２・３２と
から構成される。車輪支持部３２・３２とメインフレー
ム３１とは、回動軸３３・３３を介して連結されてお
り、車輪支持部３２・３２がメインフレーム３１に対し
て回動自在となっている。そして、軌道１２に設けた曲
線部を、搬送車１が走行可能となるようにしている。ま
た、走行部２の下方には、荷物を搭載できるように構成
した物品支持装置３が設けられている。物品支持装置３
は、連結体６を介して、走行部２に支持される。
【０００９】また、連結体６の左右には、搬送車１への
給電手段として、一対のピックアップユニット９・９
が、それぞれ左右に設けられている。ピックアップユニ
ット９はＥ字形状のコア１５を備え、該コア１５の開口
部に、軌道１２の下方に設けた給電線５・５を挿入可能
としている。そして、給電線５・５を流れる交流電流か
ら発生する磁場から、電磁誘導を利用して、コア１５に
設けたピックアップコイル１７で電力を受電する。給電
線５・５は、軌道１２の下側に設けた給電線ホルダ３４
に支持される。なお、搬送車１への給電手段としては、
コアと給電線とによる非接触給電方式に限定されるもの
ではない。
給電手段として、一対のピックアップユニット９・９
が、それぞれ左右に設けられている。ピックアップユニ
ット９はＥ字形状のコア１５を備え、該コア１５の開口
部に、軌道１２の下方に設けた給電線５・５を挿入可能
としている。そして、給電線５・５を流れる交流電流か
ら発生する磁場から、電磁誘導を利用して、コア１５に
設けたピックアップコイル１７で電力を受電する。給電
線５・５は、軌道１２の下側に設けた給電線ホルダ３４
に支持される。なお、搬送車１への給電手段としては、
コアと給電線とによる非接触給電方式に限定されるもの
ではない。
【００１０】走行部２には、搬送車１の駆動手段とし
て、図２、図３に示すように、モータ１６が設けられ、
該モータ１６は、前記メインフレーム３１に取り付けら
れている。また、モータ１６のモータ軸と同軸に駆動車
輪２５が設けられており、モータ１６の駆動により駆動
車輪２５が回転するようにしている。
て、図２、図３に示すように、モータ１６が設けられ、
該モータ１６は、前記メインフレーム３１に取り付けら
れている。また、モータ１６のモータ軸と同軸に駆動車
輪２５が設けられており、モータ１６の駆動により駆動
車輪２５が回転するようにしている。
【００１１】図１から図３に示すように、車輪支持部３
２は、走行方向から見た断面が、上側に開口する凹形状
に形成されている。車輪支持部３２の下部の左右両側に
は、左右方向の車軸を有する走行車輪２３・２３が配置
されており、該車軸が車輪支持部３２に固設されてい
る。走行車輪２３は、前後の車輪支持部３２の左右に、
それぞれ配置され、走行部２全体では、前後左右に四輪
の走行車輪２３が設けられている。走行車輪２３・２３
・・・は、軌道１２に形成した走行面４０・４０（後
述）に当接して、搬送車１を軌道１２上に支持する。
２は、走行方向から見た断面が、上側に開口する凹形状
に形成されている。車輪支持部３２の下部の左右両側に
は、左右方向の車軸を有する走行車輪２３・２３が配置
されており、該車軸が車輪支持部３２に固設されてい
る。走行車輪２３は、前後の車輪支持部３２の左右に、
それぞれ配置され、走行部２全体では、前後左右に四輪
の走行車輪２３が設けられている。走行車輪２３・２３
・・・は、軌道１２に形成した走行面４０・４０（後
述）に当接して、搬送車１を軌道１２上に支持する。
【００１２】軌道１２は床面の上方に設けられ、搬送車
１は軌道１２に吊り下げられた状態で走行する。軌道１
２は、軌道方向から見た断面が、下側に開口する凹形状
に形成され、水平方向に延出する基部４２と、基部４２
の両端より下方に延出する側壁４１・４１とからなる。
また、側壁４１・４１の下端より、内側に向けて延出す
る水平部が形成され、該水平部の上面は、走行車輪２３
が当接する走行面４０に形成されている。基部４２の左
右中央部の下面は、駆動車輪２５が当接する走行面４２
ａに形成されている。
１は軌道１２に吊り下げられた状態で走行する。軌道１
２は、軌道方向から見た断面が、下側に開口する凹形状
に形成され、水平方向に延出する基部４２と、基部４２
の両端より下方に延出する側壁４１・４１とからなる。
また、側壁４１・４１の下端より、内側に向けて延出す
る水平部が形成され、該水平部の上面は、走行車輪２３
が当接する走行面４０に形成されている。基部４２の左
右中央部の下面は、駆動車輪２５が当接する走行面４２
ａに形成されている。
【００１３】また、図１に示すように（図２には図示せ
ず）、車輪支持部３２の上部の左右両側には、上下方向
の車軸を有するガイド輪２４・２４が、左右それぞれに
一対ずつ設けられている。左右のガイド輪２４・２４・
・・は、軌道１２に形成した後述の垂直部４１・４１に
略接触状態として、搬送車１が軌道１２に沿って、左右
に位置ズレなく走行するようにしている。
ず）、車輪支持部３２の上部の左右両側には、上下方向
の車軸を有するガイド輪２４・２４が、左右それぞれに
一対ずつ設けられている。左右のガイド輪２４・２４・
・・は、軌道１２に形成した後述の垂直部４１・４１に
略接触状態として、搬送車１が軌道１２に沿って、左右
に位置ズレなく走行するようにしている。
【００１４】物品支持装置３の構成について、図１、図
４を用いて説明する。図４は天井搬送車１を示す側面断
面図である。物品支持装置３には、ホイスト７と、ホイ
スト７を軌道方向に対し左右動可能とするアーム８とが
設けられている。アーム８の下方に、ホイスト７が配置
される。ホイスト７は、チャック機構１０と、チャック
機構１０の昇降手段であるウインチ１１とから構成され
る。ウインチ１１の下方にチャック機構１０が配置さ
れ、チャック機構１０には図示せぬワイヤの先端が取付
けられている。そして、ワイヤを巻取り・巻出しするこ
とで、チャック機構１０を昇降可能としている。
４を用いて説明する。図４は天井搬送車１を示す側面断
面図である。物品支持装置３には、ホイスト７と、ホイ
スト７を軌道方向に対し左右動可能とするアーム８とが
設けられている。アーム８の下方に、ホイスト７が配置
される。ホイスト７は、チャック機構１０と、チャック
機構１０の昇降手段であるウインチ１１とから構成され
る。ウインチ１１の下方にチャック機構１０が配置さ
れ、チャック機構１０には図示せぬワイヤの先端が取付
けられている。そして、ワイヤを巻取り・巻出しするこ
とで、チャック機構１０を昇降可能としている。
【００１５】物品支持装置３を包囲するケーシング１３
は、下面と左右一側面とに、開口部を設けており、ホイ
スト７を左右動可能とすると共に、チャック機構１０の
昇降が可能となるようにしている。
は、下面と左右一側面とに、開口部を設けており、ホイ
スト７を左右動可能とすると共に、チャック機構１０の
昇降が可能となるようにしている。
【００１６】物品４の上端部には、チャック機構１０に
より掴んで物品４を支持するためのハンドル４ａが設け
られている。ハンドル４ａは、水平方向より見て、Ｔ字
状に形成されている。
より掴んで物品４を支持するためのハンドル４ａが設け
られている。ハンドル４ａは、水平方向より見て、Ｔ字
状に形成されている。
【００１７】一方、前記チャック機構１０は、Ｔ字状で
あるハンドル４ａの水平延出部分を、支持可能に構成さ
れている。そして、チャック機構１０により物品４の上
部に設けたハンドル４ａを支持して、ウインチ１１とア
ーム７の駆動により、物品４をケーシング１３内に収納
する。なお、ウインチ１１が、物品４を支持したチャッ
ク機構１０を最上位置まで上昇させた状態が、物品支持
装置３における物品４の収納状態である。
あるハンドル４ａの水平延出部分を、支持可能に構成さ
れている。そして、チャック機構１０により物品４の上
部に設けたハンドル４ａを支持して、ウインチ１１とア
ーム７の駆動により、物品４をケーシング１３内に収納
する。なお、ウインチ１１が、物品４を支持したチャッ
ク機構１０を最上位置まで上昇させた状態が、物品支持
装置３における物品４の収納状態である。
【００１８】物品支持装置３内に収納した物品４の落下
を防止する落下防止機構１４について、図１、図４、図
５を用いて説明する。図５は落下防止機構１４を示す斜
視図である。図１、図４に示すように、前記ケーシング
１３内の下部の前後には、落下防止機構１４・１４が設
けられている。落下防止機構１４は、チャック機構１０
で支持した物品４の落下を防止するための機構であり、
移動体１８を水平方向（前後方向）に進退可能に構成さ
れている。移動体１８は、進退方向に対する側断面がＬ
字形状に形成されており、水平部分１８ａと垂直部分１
８ｂとから構成される。
を防止する落下防止機構１４について、図１、図４、図
５を用いて説明する。図５は落下防止機構１４を示す斜
視図である。図１、図４に示すように、前記ケーシング
１３内の下部の前後には、落下防止機構１４・１４が設
けられている。落下防止機構１４は、チャック機構１０
で支持した物品４の落下を防止するための機構であり、
移動体１８を水平方向（前後方向）に進退可能に構成さ
れている。移動体１８は、進退方向に対する側断面がＬ
字形状に形成されており、水平部分１８ａと垂直部分１
８ｂとから構成される。
【００１９】移動体１８の水平部分１８ａは、物品支持
装置３内に収納した物品４の落下防止手段とされてい
る。前後に設けた落下防止機構１４・１４の駆動（後
述）により、移動体１８・１８をケーシング１４の内側
に向けて進出させると、両移動体１８・１８の水平部分
１８ａ・１８ａが、収納した物品４の前後端の下方位置
に位置する。
装置３内に収納した物品４の落下防止手段とされてい
る。前後に設けた落下防止機構１４・１４の駆動（後
述）により、移動体１８・１８をケーシング１４の内側
に向けて進出させると、両移動体１８・１８の水平部分
１８ａ・１８ａが、収納した物品４の前後端の下方位置
に位置する。
【００２０】このため、チャック機構１０による物品４
の支持が外れた場合にも、物品４が物品支持装置３から
落下するのを、落下防止手段である水平部分１８ａ・１
８ａにより、制止可能である。
の支持が外れた場合にも、物品４が物品支持装置３から
落下するのを、落下防止手段である水平部分１８ａ・１
８ａにより、制止可能である。
【００２１】移動体１８の垂直部分１８ｂには、収納し
た物品４側の面に、弾性部材であるゴムダンパ１９が一
対設けられており、該ゴムダンパ１９は、収納した物品
４への押当部材として構成されている。ゴムダンパ１９
は、図５に示すように、物品４側（ケーシング１３の内
側）に突出する山形に形成されると共に、山形の突出部
内に、上下方向の空洞部分１９ａを設けており、衝撃吸
収作用が増大するように形成されている。そして、前後
に設けた落下防止機構１４・１４の駆動（後述）によ
り、移動体１８・１８をケーシング１４の内側に向けて
進出させると、両移動体１８・１８の垂直部分１８ｂ・
１８ｂは収納した物品４に向けて接近し、垂直部分１８
ｂそれぞれに一対設けたゴムダンパ１９・１９が、物品
４の側面に当接する。
た物品４側の面に、弾性部材であるゴムダンパ１９が一
対設けられており、該ゴムダンパ１９は、収納した物品
４への押当部材として構成されている。ゴムダンパ１９
は、図５に示すように、物品４側（ケーシング１３の内
側）に突出する山形に形成されると共に、山形の突出部
内に、上下方向の空洞部分１９ａを設けており、衝撃吸
収作用が増大するように形成されている。そして、前後
に設けた落下防止機構１４・１４の駆動（後述）によ
り、移動体１８・１８をケーシング１４の内側に向けて
進出させると、両移動体１８・１８の垂直部分１８ｂ・
１８ｂは収納した物品４に向けて接近し、垂直部分１８
ｂそれぞれに一対設けたゴムダンパ１９・１９が、物品
４の側面に当接する。
【００２２】このため、物品４の下端部は、前後からゴ
ムダンパ１９・１９の対により、押し当てられて、安定
的に落下防止機構１４・１４により保持される。ゴムダ
ンパ１９・１９による押し当てがない場合は、物品４の
収納状態において搬送車１が走行すると、走行装置２で
の振動が物品支持装置３に伝搬し、チャック機構１０に
よる物品４のハンドル４ａの支持個所を支点として、物
品４が前後に揺動してしまう。しかし、本発明では、ゴ
ムダンパ１９により構成した押当部材により、物品４側
面の前後を押圧して、物品４を安定的に保持することが
できる。そして、搬送車１の走行等により、物品支持装
置３に振動が伝搬した場合でも、物品４が、チャック機
構１０による支持個所を支点として、前後に揺動するの
を防止することができる。
ムダンパ１９・１９の対により、押し当てられて、安定
的に落下防止機構１４・１４により保持される。ゴムダ
ンパ１９・１９による押し当てがない場合は、物品４の
収納状態において搬送車１が走行すると、走行装置２で
の振動が物品支持装置３に伝搬し、チャック機構１０に
よる物品４のハンドル４ａの支持個所を支点として、物
品４が前後に揺動してしまう。しかし、本発明では、ゴ
ムダンパ１９により構成した押当部材により、物品４側
面の前後を押圧して、物品４を安定的に保持することが
できる。そして、搬送車１の走行等により、物品支持装
置３に振動が伝搬した場合でも、物品４が、チャック機
構１０による支持個所を支点として、前後に揺動するの
を防止することができる。
【００２３】落下防止機構１４には、物品４の押当部材
であるゴムダンパ１９が設けられる構成である。そし
て、落下防止機構１４は、収納した物品４の落下防止手
段と、該物品４の押当部材であるゴムダンパ１９とを、
両方とも駆動可能である。つまり、本実施例の落下防止
機構１４は、落下防止手段を駆動させる落下防止機構
と、押当部材を駆動させる押当機構とを兼用した構成で
ある。
であるゴムダンパ１９が設けられる構成である。そし
て、落下防止機構１４は、収納した物品４の落下防止手
段と、該物品４の押当部材であるゴムダンパ１９とを、
両方とも駆動可能である。つまり、本実施例の落下防止
機構１４は、落下防止手段を駆動させる落下防止機構
と、押当部材を駆動させる押当機構とを兼用した構成で
ある。
【００２４】以上のように、本実施例の落下防止機構１
４を構成することで、物品支持装置３に、チャック機構
１０で支持した物品４の落下を防止する落下防止機構
と、物品の側面に当接させる押当部材とが備えられてい
る。
４を構成することで、物品支持装置３に、チャック機構
１０で支持した物品４の落下を防止する落下防止機構
と、物品の側面に当接させる押当部材とが備えられてい
る。
【００２５】このため、物品の脱落防止を図ると共に、
物品支持装置３（搬送車１）に振動が加えられた場合に
も、物品４が揺動するのを防止することができる。特
に、物品４がウエハを収納したカセット等のように、振
動耐久性の低い部材で構成されている場合でも、物品４
の揺動を防止することができるので、高速での搬送作業
を支障なく行うことができる。
物品支持装置３（搬送車１）に振動が加えられた場合に
も、物品４が揺動するのを防止することができる。特
に、物品４がウエハを収納したカセット等のように、振
動耐久性の低い部材で構成されている場合でも、物品４
の揺動を防止することができるので、高速での搬送作業
を支障なく行うことができる。
【００２６】また、以上において、収納した物品４に対
して水平に進退可能である移動体１８を備え、移動体１
８に、落下防止手段である水平部分１８ａと、押当部材
であるゴムダンパ１９と、を兼用させている。したがっ
て、本実施例の落下防止手段１４は、前述したように、
収納した物品４の落下防止手段と、収納した物品４の押
当部材とを兼用する構成である。
して水平に進退可能である移動体１８を備え、移動体１
８に、落下防止手段である水平部分１８ａと、押当部材
であるゴムダンパ１９と、を兼用させている。したがっ
て、本実施例の落下防止手段１４は、前述したように、
収納した物品４の落下防止手段と、収納した物品４の押
当部材とを兼用する構成である。
【００２７】このため、物品４の落下防止のための落下
防止機構１４により、物品４の揺動防止をも同時に実現
することができる。したがって、部材点数の削減も実現
される。
防止機構１４により、物品４の揺動防止をも同時に実現
することができる。したがって、部材点数の削減も実現
される。
【００２８】次に、落下防止機構１４に設けた移動体１
８を駆動させる駆動伝達機構について、図１、図４、図
５、図６を用いて説明する。落下防止機構１４の駆動の
様子を示す平面図である。特に、図６（ａ）は物品４側
より移動体１８を退入させた状態を示す図であり、図６
（ｂ）は物品４側へ移動体１８を進出させた状態を示す
図であり、図６（ｃ）は物品４側へ移動体１８を最大限
進出させた状態を示す図である。
８を駆動させる駆動伝達機構について、図１、図４、図
５、図６を用いて説明する。落下防止機構１４の駆動の
様子を示す平面図である。特に、図６（ａ）は物品４側
より移動体１８を退入させた状態を示す図であり、図６
（ｂ）は物品４側へ移動体１８を進出させた状態を示す
図であり、図６（ｃ）は物品４側へ移動体１８を最大限
進出させた状態を示す図である。
【００２９】取付板２０は、図１に示すように、落下防
止機構１４のケーシング１３への取付部材であり、該取
付板２０上に、移動体１８を駆動させる駆動源および駆
動伝達機構が設けられている。取付板２０上には支柱２
１・２１が固設されており、該支柱２１・２１上に、支
持板２２が固設されている。支持板２２上には、前記駆
動源としてモータ４３が設けられると共に、ブレーキ４
４が設けられている。
止機構１４のケーシング１３への取付部材であり、該取
付板２０上に、移動体１８を駆動させる駆動源および駆
動伝達機構が設けられている。取付板２０上には支柱２
１・２１が固設されており、該支柱２１・２１上に、支
持板２２が固設されている。支持板２２上には、前記駆
動源としてモータ４３が設けられると共に、ブレーキ４
４が設けられている。
【００３０】前記駆動伝達機構は、モータ４３のモータ
軸４３ａの回転駆動を、移動体１８の前後動に変換する
クランク機構に構成されている。
軸４３ａの回転駆動を、移動体１８の前後動に変換する
クランク機構に構成されている。
【００３１】支持板２２には、モータ４３のモータ軸４
３ａと同軸に挿通孔が形成されており、該挿通孔を通じ
て、モータ軸４３ａは、支持板２２の下方に延出してい
る。モータ軸４３ａの下端には、ギア４５が固設されて
いる。ギア４５の下面には、モータ軸４３ａに対してギ
ア４５の半径方向外側に、回動軸２６が設けられてい
る。つまり回動軸２６は、モータ４３の駆動により、モ
ータ軸４３ａ回りに回転する。ここで、ギア４５は、前
記クランク機構のクランクに構成されている。
３ａと同軸に挿通孔が形成されており、該挿通孔を通じ
て、モータ軸４３ａは、支持板２２の下方に延出してい
る。モータ軸４３ａの下端には、ギア４５が固設されて
いる。ギア４５の下面には、モータ軸４３ａに対してギ
ア４５の半径方向外側に、回動軸２６が設けられてい
る。つまり回動軸２６は、モータ４３の駆動により、モ
ータ軸４３ａ回りに回転する。ここで、ギア４５は、前
記クランク機構のクランクに構成されている。
【００３２】モータ４３の側方に設けたブレーキ４４よ
り、ブレーキ軸４４ａが延出している。ブレーキ４４ａ
の下端にはギア４６が固設されており、前記ギア４５と
噛合している。ブレーキ軸４４ａは、ギア４５・４６の
噛合を介して、モータ軸４３ａの回転時には、従動回転
する構成である。そして、ブレーキ４４は、ブレーキ軸
４４ａを制止することで、落下防止機構１４に設けた駆
動伝達機構の駆動を停止可能としている。
り、ブレーキ軸４４ａが延出している。ブレーキ４４ａ
の下端にはギア４６が固設されており、前記ギア４５と
噛合している。ブレーキ軸４４ａは、ギア４５・４６の
噛合を介して、モータ軸４３ａの回転時には、従動回転
する構成である。そして、ブレーキ４４は、ブレーキ軸
４４ａを制止することで、落下防止機構１４に設けた駆
動伝達機構の駆動を停止可能としている。
【００３３】また、ブレーキ４４には、移動体１８の進
退位置を検出する位置検出手段が設けられている。ブレ
ーキ軸４４ａ上端は、ブレーキ４４の上方に位置してお
り、該上端に、ブレーキ軸４４ａの半径方向へ延出する
被検出体３８が設けられている。また、ブレーキ軸４４
ａ上端部において、ブレーキ４４ａの半径方向外側に、
位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂが設けられている。被検
出体３８および位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂにより、
移動体１８の位置検出手段が構成される。位置検出セン
サ３９Ａ・３９Ｂは、光路が遮断されたのを検出する光
センサ、例えば、透過型の光電センサである。位置検出
センサ３９Ａ・３９Ｂのブレーキ軸４４ａ側先端は凹状
に形成されて、ブレーキ軸４４ａの回転に伴い被検出体
３８が通過可能としている。被検出体３８が、センサ３
９Ａ・３９Ｂのブレーキ軸４４ａ側先端を通過すると、
センサ３９Ａ・３９Ｂ先端の凹状内部に形成される光通
路が遮断されて、被検出体３８がセンサ３９Ａ・３９Ｂ
により検出される。位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂは、
移動体１８の最大退入位置と、最大進出位置とが検出で
きるようにしている。移動体１８の最大退入位置とは、
図６（ａ）に示すように、移動体１８が物品４側より最
大限退入して、取付板２０の下方に収納された位置であ
る。また、移動体１８の最大進出位置とは、図６（ｃ）
に示すように、移動体１８が物品４側に最大限進出し
て、物品４の落下防止と押し当てとが実現される位置で
ある。移動体１８の進退位置と、ブレーキ軸４４ａの回
転位置（モータ軸４３ａの回転位置）とは、対応してい
る。したがって、移動体１８の最大退入位置と最大進出
位置とを検出するセンサ３９Ａ・Ｂの配設位置が、この
対応関係より決定される。
退位置を検出する位置検出手段が設けられている。ブレ
ーキ軸４４ａ上端は、ブレーキ４４の上方に位置してお
り、該上端に、ブレーキ軸４４ａの半径方向へ延出する
被検出体３８が設けられている。また、ブレーキ軸４４
ａ上端部において、ブレーキ４４ａの半径方向外側に、
位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂが設けられている。被検
出体３８および位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂにより、
移動体１８の位置検出手段が構成される。位置検出セン
サ３９Ａ・３９Ｂは、光路が遮断されたのを検出する光
センサ、例えば、透過型の光電センサである。位置検出
センサ３９Ａ・３９Ｂのブレーキ軸４４ａ側先端は凹状
に形成されて、ブレーキ軸４４ａの回転に伴い被検出体
３８が通過可能としている。被検出体３８が、センサ３
９Ａ・３９Ｂのブレーキ軸４４ａ側先端を通過すると、
センサ３９Ａ・３９Ｂ先端の凹状内部に形成される光通
路が遮断されて、被検出体３８がセンサ３９Ａ・３９Ｂ
により検出される。位置検出センサ３９Ａ・３９Ｂは、
移動体１８の最大退入位置と、最大進出位置とが検出で
きるようにしている。移動体１８の最大退入位置とは、
図６（ａ）に示すように、移動体１８が物品４側より最
大限退入して、取付板２０の下方に収納された位置であ
る。また、移動体１８の最大進出位置とは、図６（ｃ）
に示すように、移動体１８が物品４側に最大限進出し
て、物品４の落下防止と押し当てとが実現される位置で
ある。移動体１８の進退位置と、ブレーキ軸４４ａの回
転位置（モータ軸４３ａの回転位置）とは、対応してい
る。したがって、移動体１８の最大退入位置と最大進出
位置とを検出するセンサ３９Ａ・Ｂの配設位置が、この
対応関係より決定される。
【００３４】回動軸２６の下端は、第一リンク２７の一
端に、回動自在に設けられている。第一リンク２７の前
記一端に対する他端には、回動軸２８が設けられてお
り、回動軸２８は、第二リンク２９Ｌの中央部に、回動
自在に設けられている。
端に、回動自在に設けられている。第一リンク２７の前
記一端に対する他端には、回動軸２８が設けられてお
り、回動軸２８は、第二リンク２９Ｌの中央部に、回動
自在に設けられている。
【００３５】第二リンク２９Ｌ・２９Ｒは、移動体１８
の進退方向に対する左右に設けられており、次に説明す
るように、平行リンクに構成されている。第二リンク２
９Ｌ・２９Ｒの両端部には、それぞれ、支点軸３０Ｌ・
３０Ｒおよび回動軸３５Ｌ・３５Ｒが設けられている。
支点軸３０は、第二リンク２９の一端（物品４側端）に
設けられる共に、取付板２０に回動自在に設けられてい
る。回動軸３５Ｌ・３５Ｒ間は、連結リンク３６により
接続されている。連結リンク３６の両端部で、回動軸３
５Ｌ・３５Ｒが回動自在に設けられている。
の進退方向に対する左右に設けられており、次に説明す
るように、平行リンクに構成されている。第二リンク２
９Ｌ・２９Ｒの両端部には、それぞれ、支点軸３０Ｌ・
３０Ｒおよび回動軸３５Ｌ・３５Ｒが設けられている。
支点軸３０は、第二リンク２９の一端（物品４側端）に
設けられる共に、取付板２０に回動自在に設けられてい
る。回動軸３５Ｌ・３５Ｒ間は、連結リンク３６により
接続されている。連結リンク３６の両端部で、回動軸３
５Ｌ・３５Ｒが回動自在に設けられている。
【００３６】以上において、支点軸３０Ｌ・３０Ｒは、
取付板２０に設けられており、（水平面内において）位
置変動はない。一方、回動軸２６・２８・３５Ｌ・３５
Ｒは、モータ軸４３ａの回転により、水平面内で位置が
変動する。したがって、モータ４３の駆動により、ギア
４５の回転や第一リンク２７等の移動を介して、第二リ
ンク２９Ｌが支点軸３０回りに回転すると、連結リンク
３６を介して、第二リンク２９Ｒが第二リンク２９Ｌと
平行に回転する。
取付板２０に設けられており、（水平面内において）位
置変動はない。一方、回動軸２６・２８・３５Ｌ・３５
Ｒは、モータ軸４３ａの回転により、水平面内で位置が
変動する。したがって、モータ４３の駆動により、ギア
４５の回転や第一リンク２７等の移動を介して、第二リ
ンク２９Ｌが支点軸３０回りに回転すると、連結リンク
３６を介して、第二リンク２９Ｒが第二リンク２９Ｌと
平行に回転する。
【００３７】支点軸３０Ｌ・３０Ｒはそれぞれ、第二リ
ンク２９Ｌ・２９Ｒに固設されている。取付板２０に
は、支点軸３０Ｌ・３０Ｒと同時に挿通孔が形成されて
おり、該挿通孔を通じて、支点軸３０Ｌ・３０Ｒが取付
板２０の下方に延出している。また、支点軸３０Ｌ・３
０Ｒの下端には、それぞれ、アーム３７Ｌ・３７Ｒが、
一端で固設されている。つまり、第二リンク２９Ｌとア
ーム３７Ｌとは相互に固定されており、支点軸３０Ｌを
支点として回転する。第二リンク２９Ｒとアーム３７Ｒ
も相互に固定されており、支点軸３０Ｒを支点として回
転する。
ンク２９Ｌ・２９Ｒに固設されている。取付板２０に
は、支点軸３０Ｌ・３０Ｒと同時に挿通孔が形成されて
おり、該挿通孔を通じて、支点軸３０Ｌ・３０Ｒが取付
板２０の下方に延出している。また、支点軸３０Ｌ・３
０Ｒの下端には、それぞれ、アーム３７Ｌ・３７Ｒが、
一端で固設されている。つまり、第二リンク２９Ｌとア
ーム３７Ｌとは相互に固定されており、支点軸３０Ｌを
支点として回転する。第二リンク２９Ｒとアーム３７Ｒ
も相互に固定されており、支点軸３０Ｒを支点として回
転する。
【００３８】アーム３７Ｌ・３７Ｒは、アーム３７Ｌ・
３７Ｒの反支点軸３０Ｌ・３０Ｒ側の端部で、移動体１
８に回動自在に設けられている。より詳細には、移動体
１８の垂直部１８ｂの反物品４側の面部に、移動体１８
の進退方向の左右で、取付部１８ｃ・１８ｃが固設され
ている。そして、取付部１８ｃ・１８ｃに、アーム３７
Ｌ・３７Ｒの（反支点軸３０Ｌ・３０Ｒ側の）端部が、
回動自在に設けられている。
３７Ｒの反支点軸３０Ｌ・３０Ｒ側の端部で、移動体１
８に回動自在に設けられている。より詳細には、移動体
１８の垂直部１８ｂの反物品４側の面部に、移動体１８
の進退方向の左右で、取付部１８ｃ・１８ｃが固設され
ている。そして、取付部１８ｃ・１８ｃに、アーム３７
Ｌ・３７Ｒの（反支点軸３０Ｌ・３０Ｒ側の）端部が、
回動自在に設けられている。
【００３９】そして、平行リンクである第二リンク２９
Ｌ・２９Ｒが、それぞれ支点軸３０Ｌ・３０Ｒ回りに回
転すると、第二リンク２９Ｌ・２９Ｒに固定であるアー
ム２７Ｌ・３７Ｒが、それぞれ支点軸３０Ｌ・３０Ｒ回
りに回転して、移動体１８が物品４側に向けて進退す
る。
Ｌ・２９Ｒが、それぞれ支点軸３０Ｌ・３０Ｒ回りに回
転すると、第二リンク２９Ｌ・２９Ｒに固定であるアー
ム２７Ｌ・３７Ｒが、それぞれ支点軸３０Ｌ・３０Ｒ回
りに回転して、移動体１８が物品４側に向けて進退す
る。
【００４０】以上のようにして、取付板２０に、移動体
１８を物品４側に向けて進退移動可能とする駆動伝達機
構が、設けられている。該駆動伝達機構は、前述したよ
うに、モータ軸４３ａの回転運動を、移動体１８の前後
動に変換するクランク機構である。つまり、落下防止機
構１４に設けた駆動伝達機構は、回転系の可動部のみで
構成されるものである。なお前述したように、本実施例
の落下防止機構１８は、物品４の落下防止と、押当てと
を兼用する機構である。
１８を物品４側に向けて進退移動可能とする駆動伝達機
構が、設けられている。該駆動伝達機構は、前述したよ
うに、モータ軸４３ａの回転運動を、移動体１８の前後
動に変換するクランク機構である。つまり、落下防止機
構１４に設けた駆動伝達機構は、回転系の可動部のみで
構成されるものである。なお前述したように、本実施例
の落下防止機構１８は、物品４の落下防止と、押当てと
を兼用する機構である。
【００４１】このため、電動シリンダ等を用いて、部材
同士を滑らせて移動させるような、相対位置変動系の可
動部を設ける場合と比べて、駆動伝達機構からの塵挨の
発生量を著しく減少させることができる。また、移動体
１８は、前述のクランク機構により略直線的に進出する
ため、該移動体１８が物品と擦れ合うことがなく、塵挨
の発生を抑えることができる。したがって、本発明の落
下防止機構１４は、クリーンルーム等、塵挨の発生が問
題となる作業場においても、利用可能である。
同士を滑らせて移動させるような、相対位置変動系の可
動部を設ける場合と比べて、駆動伝達機構からの塵挨の
発生量を著しく減少させることができる。また、移動体
１８は、前述のクランク機構により略直線的に進出する
ため、該移動体１８が物品と擦れ合うことがなく、塵挨
の発生を抑えることができる。したがって、本発明の落
下防止機構１４は、クリーンルーム等、塵挨の発生が問
題となる作業場においても、利用可能である。
【００４２】
【発明の効果】請求項１記載の如く、ホイストを備え、
床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車で
あって、ホイストに設けられ、物品の上部を支持するチ
ャック機構と、チャック機構で支持した物品の落下を防
止する落下防止機構と、物品の側面に押し当てられる押
当部材と、を備えたので、物品の脱落防止を図ると共
に、搬送車に振動が加えられた場合にも、物品が揺動す
るのを防止することができる。特に、物品がウエハを収
納したカセット等のように、振動耐久性の低い部材で構
成されている場合でも、物品の揺動を防止することがで
きるので、搬送作業を支障なく行うことができる。
床面の上方に設けた軌道に沿って走行する天井搬送車で
あって、ホイストに設けられ、物品の上部を支持するチ
ャック機構と、チャック機構で支持した物品の落下を防
止する落下防止機構と、物品の側面に押し当てられる押
当部材と、を備えたので、物品の脱落防止を図ると共
に、搬送車に振動が加えられた場合にも、物品が揺動す
るのを防止することができる。特に、物品がウエハを収
納したカセット等のように、振動耐久性の低い部材で構
成されている場合でも、物品の揺動を防止することがで
きるので、搬送作業を支障なく行うことができる。
【００４３】請求項２記載の如く、前記押当部材は、落
下防止機構に設けられるので、物品の下部を押当部材に
より押さえることができ、物品を安定的にしっかりと支
持することができる。また、収納した物品の落下を防止
するための落下防止機構により、物品の揺動防止をも同
時に実現することができる。したがって、部材点数の削
減も実現される。
下防止機構に設けられるので、物品の下部を押当部材に
より押さえることができ、物品を安定的にしっかりと支
持することができる。また、収納した物品の落下を防止
するための落下防止機構により、物品の揺動防止をも同
時に実現することができる。したがって、部材点数の削
減も実現される。
【００４４】請求項３記載の如く、前記落下防止機構
は、天井搬送車に収納された物品に対して水平方向に進
退可能である移動体を備え、移動体は進退方向に対する
側断面がＬ字形状に形成され、移動体の水平部分を物品
の落下防止手段とし、移動体の垂直部分の物品側の面
に、前記押当部材が設けられているので、移動体が物品
側へ略直線的に進出することとなり、該移動体が物品と
擦れ合うことがなく、塵挨の発生を抑えることができ
る。したがって、本落下防止機構を、クリーンルーム
等、塵挨の発生が問題となる作業場においても、利用可
能である。
は、天井搬送車に収納された物品に対して水平方向に進
退可能である移動体を備え、移動体は進退方向に対する
側断面がＬ字形状に形成され、移動体の水平部分を物品
の落下防止手段とし、移動体の垂直部分の物品側の面
に、前記押当部材が設けられているので、移動体が物品
側へ略直線的に進出することとなり、該移動体が物品と
擦れ合うことがなく、塵挨の発生を抑えることができ
る。したがって、本落下防止機構を、クリーンルーム
等、塵挨の発生が問題となる作業場においても、利用可
能である。
【００４５】請求項４記載の如く、前記落下防止機構の
可動部を、回転系の可動部のみで構成したので、電動シ
リンダ等を用いて、部材同士を滑らせて移動させるよう
な、相対位置変動系の可動部を設ける場合と比べて、駆
動伝達機構からの塵挨の発生量を著しく減少させること
ができる。したがって、回転系の可動部のみで構成した
本発明の落下防止機構は、クリーンルーム等、塵挨の発
生が問題となる作業場においても、利用可能である。
可動部を、回転系の可動部のみで構成したので、電動シ
リンダ等を用いて、部材同士を滑らせて移動させるよう
な、相対位置変動系の可動部を設ける場合と比べて、駆
動伝達機構からの塵挨の発生量を著しく減少させること
ができる。したがって、回転系の可動部のみで構成した
本発明の落下防止機構は、クリーンルーム等、塵挨の発
生が問題となる作業場においても、利用可能である。
【図１】天井搬送車１を示す斜視図である。
【図２】軌道１２および天井搬送車１を示す正面断面図
である。
である。
【図３】天井搬送車１を示す平面断面図である。
【図４】天井搬送車１を示す側面断面図である。
【図５】落下防止機構１４を示す斜視図である。
【図６】落下防止機構１４の駆動の様子を示す平面図で
ある。
ある。
１ 天井搬送車
４ 物品
７ ホイスト
１０ チャック機構
１４ 落下防止機構
１８ 移動体
１８ａ 水平部分
１８ｂ 垂直部分
Claims (4)
- 【請求項１】 ホイストを備え、床面の上方に設けた軌
道に沿って走行する天井搬送車であって、ホイストに設
けられ、物品の上部を支持するチャック機構と、チャッ
ク機構で支持した物品の落下を防止する落下防止機構
と、物品の側面に押し当てられる押当部材と、を備えた
ことを特徴とする天井搬送車。 - 【請求項２】 前記押当部材は、落下防止機構に設けら
れることを特徴とする請求項１に記載の天井搬送車。 - 【請求項３】 前記落下防止機構は、天井搬送車に収納
された物品に対して水平方向に進退可能である移動体を
備え、移動体は進退方向に対する側断面がＬ字形状に形
成され、移動体の水平部分を物品の落下防止手段とし、
移動体の垂直部分の物品側の面に、前記押当部材が設け
られていることを特徴とする請求項２に記載の天井搬送
車。 - 【請求項４】 前記落下防止機構の可動部を、回転系の
可動部のみで構成した、ことを特徴とする請求項１から
請求項３に記載の天井搬送車。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001366239A JP2003165687A (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 天井搬送車 |
| TW091118191A TW544416B (en) | 2001-11-30 | 2002-08-13 | Overhead traveling carriage |
| KR1020020053746A KR100682390B1 (ko) | 2001-11-30 | 2002-09-06 | 천정운반차 |
| US10/303,735 US7611023B2 (en) | 2001-11-30 | 2002-11-26 | Overhead travelling carriage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001366239A JP2003165687A (ja) | 2001-11-30 | 2001-11-30 | 天井搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003165687A true JP2003165687A (ja) | 2003-06-10 |
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ID=19176165
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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