JP2003178574A - 高密度メモリセンス増幅器 - Google Patents
高密度メモリセンス増幅器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】選択されなかったセルからの漏れ電流を最小限に
抑える、高密度抵抗性メモリアレイ用の回路の提供。 【解決手段】第1と第2の入力ノート゛(74,75)を備えた差動
増幅器(Q5,Q6)を含み、センシンク゛されるメモリセル(RM)の両端
に印加される読み取り電圧(VR)に応答して、抵抗性メモリア
レイ(30)の複数状態メモリセル(RM)のテ゛ータを読み取るためのセ
ンス増幅器(38)が提供される。センス回路(A1,Q1,Q2)は、印
加される読み取り電圧(VR)によってメモリセル(RM)の電流
を決定し、メモリセル(RM)の電流を表すセンス電流を差動増幅
器の第1の入力ノート゛(74)に加える。基準回路(A2,Q3,Q4)
は、差動増幅器の第2の入力ノート゛(75)に基準電流を加え
るための第1と第2の抵抗素子(RH,RL)を備え、メモリセル
(RM)の状態を判定するためにセンス電流と比較される基
準値を提供する。
抑える、高密度抵抗性メモリアレイ用の回路の提供。 【解決手段】第1と第2の入力ノート゛(74,75)を備えた差動
増幅器(Q5,Q6)を含み、センシンク゛されるメモリセル(RM)の両端
に印加される読み取り電圧(VR)に応答して、抵抗性メモリア
レイ(30)の複数状態メモリセル(RM)のテ゛ータを読み取るためのセ
ンス増幅器(38)が提供される。センス回路(A1,Q1,Q2)は、印
加される読み取り電圧(VR)によってメモリセル(RM)の電流
を決定し、メモリセル(RM)の電流を表すセンス電流を差動増幅
器の第1の入力ノート゛(74)に加える。基準回路(A2,Q3,Q4)
は、差動増幅器の第2の入力ノート゛(75)に基準電流を加え
るための第1と第2の抵抗素子(RH,RL)を備え、メモリセル
(RM)の状態を判定するためにセンス電流と比較される基
準値を提供する。
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、メモリセンス増幅
器の分野に関する。とりわけ、本発明は、制御されたセ
ンス電圧と、基準電流を提供する複数の抵抗素子を有す
る高密度メモリセンス増幅器に関する。 【0002】 【従来の技術】ランダムアクセスメモリ(RAM)アレ
イの場合、増幅器を用いて、アドレス指定されたメモリ
セルの状態がセンシング(検出)され、センシングされ
た状態を表す信号がアレイの出力に供給される。このセ
ンス増幅器は、RAMアレイのタイプに応じてさまざま
な形態をとる。スタティックランダムアクセスメモリ
(SRAM)アレイまたはダイナミックランダムアクセ
スメモリ(DRAM)アレイの場合、メモリは、揮発
性、すなわちアレイの電源がオフになるとデータが保持
されないことが多い。こうしたメモリは、複雑である場
合が多く、ステアリング(デコーダ)回路及びクロック
ド電流モード増幅器のような複雑なセンシング回路要素
を必要とする。 【0003】対照的に、交点アレイのような不揮発性メ
モリアレイでは、長期保持、高密度及び高速アクセスに
関連した、交点タイプのような極めて単純でコンパクト
なメモリセルが利用される。不揮発性アレイは、各交点
セル毎にヒューズまたはアンチヒューズ(anti-fuse)
を備えるライトワンス型とすることもできるし、あるい
はそれぞれ、2つ以上の状態間で変化することが可能な
交点磁気セルを備えた磁気ランダムアクセスメモリ(M
RAM)アレイのような複数の読み取り書き込み系統と
することも可能である。 【0004】こうした高密度抵抗性メモリアレイにおけ
る主要な問題は、選択されなかったセルから選択された
メモリセルを分離して、セル状態の正確なセンシングを
得る必要があるという点である。セルが非常に接近して
おり、そのサイズが小さいため、選択されたセルからの
電流に干渉する、選択されなかったセルからの「寄生」
漏れ電流に関する重大な問題が生じることになる。さら
に、セル及び導体のサイズが小さいので、電圧及び電流
が減少し、その結果、セルのデータを正確に判定するの
に、電流及び電圧をいっそう精密に測定することが必要
になる。 【0005】例えば、MRAMアレイの場合、一般に、
選択されたセルの磁気状態、従って、セルによって格納
されたデータは、異なるセル状態にある行及び列の接合
部における、選択されたセルを通る電流のわずかな差に
よって求められる。メモリセルの接合部の全てが、多く
の並列経路を介して互いに結合されているので、単一メ
モリセルの抵抗状態のセンシングは、信頼できない可能
性がある。ある任意のメモリセルについてセンシングさ
れる抵抗は、他の行及び列の接合部におけるセルの抵抗
と並列をなす、センシングされるメモリセルの接合部の
抵抗に等しい。さらに、センス増幅器の固有のわずかな
差は、選択されたメモリセルのセンシング試行時に、抵
抗性交点アレイに印加されるわずかな差動電圧をまねく
可能性がある。これらのわずかな差動電圧によって、セ
ル状態のセンシングを妨害する寄生電流または「スニー
クパス」電流が生じる可能性がある。従って、セルデー
タの真の読み取りを達成するために、選択された各セル
を選択されなかったセルから分離する必要がある。 【0006】2001年7月3日にPernerに付与された
特許文献1には、差動増幅器及び2つの直接挿入前置増
幅器を含む高密度メモリアレイに関する読み取り回路が
開示されている。前置増幅器は、セルの入力ノード及び
出力ノード間に等電圧を印加することによって、選択さ
れなかったセルに「等電位」分離を施し、これによって
選択されなかったセルを通る望ましくない電流を最小限
に抑える。 【0007】MRAMセルを利用したアレイのような高
密度抵抗性メモリアレイに関するもう1つの問題は、セ
ル状態が、アンチヒューズメモリにおけるように、コン
ダクタンスまたはノンコンダクタンスによって測定され
ないために生じる。それどころか、MRAMセルの状態
は、異なる磁気状態による抵抗の変化によって生じるセ
ル接合部の導電率の微小な差によって判定される。従っ
て、セルからセンス増幅器までのセンシングされた電流
の正確な「ミラー」を提供し、並びに信頼できる基準に
対してセンシングされる電流を測定し、セルの状態を判
定する手段を設けるのは困難である。 【0008】アプローチの1つは、メモリ回路が1つの
メモリセルに単一ビットの情報を格納する基準メモリア
レイを利用することであった。データは、ある状態のメ
モリセルに格納され、既知状態の基準セルと比較され
る。セル情報は、メモリセルと基準セルとの抵抗差を検
出することによって読み取られる。このアプローチにお
けるセンス方式は、選択されたメモリセルにおけるデー
タの確実なセンシングに必要な分離のために、各メモリ
セル及び基準セルに直列トランジスタを含むことに依存
している。明白な欠点は、各基準セル及びメモリセル毎
に直列トランジスタを必要とするため、メモリアレイの
有効面積が増大することである。この基準メモリアプロ
ーチの一例が、2000年4月25日にNajiに付与され
た特許文献2に示されている。 【0009】もう1つのアプローチは、1対のセルを利
用して1ビットのデータを格納することであった。デー
タは、ある状態のメモリセル及び逆の状態の他のメモリ
セルに記憶される。セル情報は、1対のセルのメモリ接
合部間における抵抗差を検出することによって読み取ら
れ、「ビット・ビット・バー」アプローチと呼ばれてい
る。セル対からの出力によって、センシングに利用可能
な信号が2倍にされ、従ってエラーが最小限に抑えられ
る。明かな欠点は、各記憶ビット毎に2つのメモリセル
が必要になるため、メモリアレイの有効記憶容量が半分
に削減されるということである。この基準メモリアプロ
ーチの一例が、2001年2月20日にLuckに付与され
た特許文献3に示されている。 【0010】 【特許文献1】米国特許第6、256、247B1号明
細書 【特許文献2】米国特許第6,055,178号明細書 【特許文献3】米国特許第6,191,989号明細書 【特許文献4】米国特許第6,169,686号明細書 【0011】 【発明が解決しようとする課題】従って、例えば、選択
されなかったセルの接合部にかかる電圧電位を最小限に
抑えることによって、選択されなかったセルからの漏れ
電流を最小限に抑える、高密度抵抗性メモリアレイ用の
実用的な回路が必要とされている。さらに、選択されな
かったセルからの寄生電流によって、選択されたセルの
電流の正確さが損なわれないように、選択されなかった
セルから選択されたセルを分離することが必要とされて
いる。さらに、測定される電流の歪みを回避するため
に、差動センス増幅器に固有のわずかな差を最小限に抑
えることが重要である。さらに、センシングされた電流
を基準に対して正確に測定するために、センス増幅器に
対してセンシングされるセル電流の正確な変換及びミラ
ーリングを施さなければならない。最後に、アレイの有
効記憶密度を損なうことのない、基準電流を提供する有
効な手段が必要とされている。 【0012】 【課題を解決するための手段】本発明は、高密度メモリ
と一体化するための実用的な回路を提供する。本発明の
回路要素は、選択されたセルに対し、及び同時に選択さ
れた基準セルに対して、正確なセンス電圧を印加する。
本発明は、「等電位」分離を施して、選択されなかった
メモリセルからの漏れ電流の寄生効果を最小限に抑える
回路要素を提供する。本発明は、選択されなかったセル
から選択されたセルを分離するための手段を提供する。
さらに、本発明は、完全な基準メモリアレイを必要とす
ることなく、センシングされる電流に関して正確な基準
を提供する。さらに、本発明は、抵抗性メモリセルへの
アクセス及びセンシングを提供し、同時に他の高密度セ
ンシングアプローチと同等の読み取りアクセス時間を維
持する。 【0013】本発明の1つの好適な実施形態において、
第1と第2の入力ノードを備えた差動増幅器を含み、セ
ンシングされるメモリセルの両端に印加される読み取り
電圧に応答して、抵抗性メモリアレイの複数状態メモリ
セルのデータを読み取るためのセンス増幅器が設けられ
ている。印加される読み取り電圧によってメモリセルの
電流を決定し、メモリセル電流を表すセンス電流を差動
増幅器の第1の入力ノードに加えるセンス回路が、設け
られている。差動増幅器の第2の入力ノードに基準電流
を加えるために第1と第2の抵抗素子を備える基準回路
が設けられており、基準電流は、メモリセルの状態を判
定するために、センス電流と比較される値を提供する。 【0014】第1の抵抗素子は、メモリセルの第1の状
態を表す第1の抵抗を有し、第2の抵抗素子は、メモリ
セルの第2の状態を表す第2の抵抗を有する。電圧源に
よって、第1と第2の抵抗素子の両端に読み取り電圧が
印加され、第1と第2の抵抗素子を通る電流を平均する
ことによって、基準電流が発生する。第1の変換トラン
ジスタが、差動増幅器の第1のノードにメモリセルセン
ス電流を加え、第2の変換トランジスタが、差動増幅器
の第2のノードに基準電流を加える。コンパレータ回路
を用いて、差動増幅器の第1と第2の入力ノードにおけ
る信号が比較され、センシングされるメモリセルの状態
を表す出力が提供される。 【0015】本発明の別の好適な実施形態は、差動増幅
器を利用して、抵抗性メモリアレイのセンシングされる
複数状態メモリセルのデータを読み取る方法である。こ
の方法は、印加される読み取り電圧を利用して、メモリ
セルに電流を発生するステップと、差動増幅器の第1の
入力ノードにメモリセル電流の電流を表すセンス電流を
加えるステップとを含む。第1と第2の抵抗素子を備え
た基準回路を利用して、基準電流を発生させ、差動増幅
器の第2の入力ノードに基準電流が加えられ、基準電流
が、メモリセルの状態を判定するために、センス電流と
比較される値を提供する。 【0016】基準電流は、メモリセルの第1の状態を表
す抵抗を備えた第1の基準エレメント子の両端に読み取
り電圧を印加して、第1の基準電流を発生し、メモリセ
ルの第2の状態を表す抵抗を備えた第2の基準エレメン
トの両端に読み取り電圧を印加して、第2の基準電流を
発生することによって発生される。 【0017】第1及び第2の基準電流が平均され、その
平均電流が、差動増幅器の第2の入力ノードに加えられ
る。電源電圧が、差動増幅器の第1のノードに対するミ
ラートランジスタの両端に印加されて、センスノード電
圧が発生し、差動増幅器の第2のノードに対する基準ト
ランジスタの両端に印加されて、基準ノード電圧が発生
する。差動増幅器の第1のノードにおいて、センス電流
を表す第1の電圧が発生し、第2のノードにおいて、基
準電流を表す第2の電圧が発生する。差動増幅器の第1
及び第2の入力ノードにおける第1及び第2の電圧を比
較することにより、センシングされるメモリセルの状態
を表す出力が提供される。 【0018】本発明の他の態様及び利点については、本
発明の原理を一例として示す添付図面に関連して、以下
の詳細な説明から明らかになるであろう。 【0019】 【発明の実施の形態】図1には、典型的な従来技術の交
点メモリアレイが示されている。第1の方向に延びる行
導体12は、ワード線と呼ばれ、第1の方向に対して通
常垂直な第2の方向に延びる列導体14は、ビット線と
呼ばれる。メモリセル16は、通常、正方形または矩形
アレイに配列されるので、各メモリセル単位16は、1
つのワード線12及び交差するビット線14に接続され
る。 【0020】抵抗性RAMアレイにおいて、各メモリセ
ルの抵抗は、2つ以上の状態を有し、メモリセルのデー
タは、セルの抵抗状態の関数である。抵抗性メモリセル
は、1つ以上の磁性層、ヒューズまたはアンチヒュー
ズ、あるいはそのエレメントの公称抵抗の大きさに影響
を与えることによって情報を格納または生成する任意の
エレメントを含むことが可能である。抵抗性RAMアレ
イに用いられる他のタイプの抵抗素子には、読み取り専
用メモリの一部としてのポリシリコン抵抗器、及び光メ
モリ、撮像装置、または浮遊ゲートメモリデバイスの一
部としての浮遊ゲートトランジスタが含まれる。 【0021】抵抗性ランダムアクセスメモリの1つのタ
イプは、各メモリセルが絶縁層によって分離された複数
の磁性層から形成されている、磁気ランダムアクセスメ
モリ(MRAM)である。磁性層の1つは、ピン止め層
(pinned layer)と呼ばれ、磁気の向きが、対象の範囲
内に印加された磁界が存在する状態で回転しないように
固定されている。もう1つの磁性層は、センス層と呼ば
れ、磁気の向きが、ピン止め層の状態と整合された状態
と、ピン止め層の状態と整合されていない状態との間で
変動可能である。絶縁トンネル障壁層が、磁性ピン止め
層と磁性センス層との間に挟まれている。この絶縁トン
ネル障壁層によって、量子力学トンネル電流が、センス
層とピン止め層との間を流れることが可能になる。トン
ネル効果は、電子スピン依存であり、それによりメモリ
セルの抵抗は、センス層とピン止め層の相対的磁化の向
きの関数になる。センス層の2つの状態に関する接合抵
抗の変動によって、メモリセルに格納されたデータが判
定される。2001年1月2日にBrug他に付与された特
許文献4には、こうした磁気メモリセルのメモリが開示
されている。 【0022】図2を参照すると、MRAMメモリセルが
示されている。メモリ単位16は、3層メモリセル20
として示されている。各セル20毎に、セル20の磁性
センス層22の向きに従って、1ビットの情報が格納さ
れる。通常、セル20は、論理状態「1」及び「0」に
対応する2つの安定した磁気状態を備えている。センス
層22の両方向矢印15は、この2値状態機能を示して
いる。セル20のピン止め層24は、薄い絶縁体26に
よってセンス層から分離されている。ピン止め層24
は、層24の一方向矢印17によって示されるように、
磁気の向きが固定されている。センス層22の磁気状態
が、ピン止め層24の磁化方向と同じ方向に向けられる
場合、そのセルの磁化は「平行」と呼ばれる。同様に、
センス層22の磁気状態が、ピン止め層24の磁化方向
と逆の方向に向けられる場合、そのセルの磁化は、「反
平行」と呼ばれる。これらの向きはそれぞれ、低抵抗状
態及び高抵抗状態に対応する。 【0023】選択されたメモリセル20の磁気状態は、
選択されたメモリセルと交差するワード線12及びビッ
ト線14に電流を加えることによって変更可能である。
この電流によって、2つの直交磁界が生じ、この直交磁
界を組み合わせると、選択されたメモリセル20のセン
ス層の磁化の向きが、平行状態と反平行状態の間で切り
換わることになる。選択されなかった他のメモリセル
は、選択されなかったメモリセルと交差するワード線ま
たはビット線からの磁界だけにさらされる。この単一磁
界は、選択されなかったセルのセンス層の磁気の向きを
変化させるほど強力ではなく、従って、その磁気の向き
が保持される。 【0024】図3には、本発明による交点抵抗性メモリ
アレイ30が示されている。メモリアレイ30には、行
セレクタ回路32及び列デコーダ回路34が接続されて
おり、メモリセル36の適合する行及び列に電圧を印加
することによってメモリセル36を選択する。センス増
幅器38が、列デコーダ回路34のスイッチ39によっ
て、選択されたメモリセル36のビット線40に接続さ
れる。行セレクタ回路32によって、選択されたメモリ
セル36のワード線42に電圧Vrowが印加され、ビ
ット線40に電圧Vreadが印加される。同じビット
線電圧が、ビット線40に沿って選択されなかったセル
の全てに印加される。しかし、選択されなかったセル
は、ワード線電圧Vrowを受電するが、ビット線40
にほとんど出力電流を供給しない。メモリセルの選択
後、センスアンプ38の増幅器A1(図4を参照された
い)は、列40を電圧Vreadに保持するように動作
する。 【0025】メモリコントローラ44は、読み取り制御
及びアドレス選択信号46を受信し、それぞれ、ライン
47及び48によって、行選択回路32及び列デコーダ
回路34に適切な行及び列選択信号を供給する。コンパ
レータクロック信号49が、後述する目的のために、セ
ンス増幅器38に加えられる。 【0026】図3に示すように、基準エレメント50及
び51が、ワード線42を横切って並列に接続されてい
る。電圧Vrowによってメモリセル36が選択される
と、基準エレメント50及び51も選択される。選択
後、センス増幅器38の演算増幅器A2(図4)は、列
52及び53を読み取り電圧Vreadに保持するよう
に動作する。従って、基準エレメント50及び51に
は、選択されたメモリセル36に印加されるのと同じ電
圧がかかることになる。 【0027】センス増幅器38は、セル36から格納さ
れたデータを示す信号電流をS′で受信する。同様に、
基準エレメント50及び51からの出力信号電流が、二
重スイッチ56を介して、S″でセンス増幅器38に加
えられる。さらに、センス増幅器38によって、メモリ
セルからのS′におけるセンス電流とS″における基準
電流とが比較され、メモリセル36に格納されたデータ
を表す出力信号V0が提供される。 【0028】次に、図4を参照すると、回路要素60に
は、センス増幅器38と、他の関連回路要素コンポーネ
ントとが含まれている。メモリエレメントRMは、少な
くとも2つのメモリ状態が高抵抗及び低抵抗によって示
される抵抗装置であると仮定され、2つの部分、すなわ
ち線形抵抗部分と非線形抵抗部分から構成され得る。各
メモリエレメントRMは、メモリエレメントRMの高抵
抗状態及び低抵抗状態に対応する1対の基準エレメント
RH及びRLに関連している。増幅器38は、抵抗素子
RMを通るセンス電流の決定に関連したセンス側(左
側)と、抵抗素子RH及びRLを流れる電流から基準電
流を提供する基準側(右側)とを備えている。 【0029】データは、選択されたメモリセルを通るミ
ラードセンス電流とミラード平均基準電流を比較するこ
とによってセンシングされる。ミラードセンス電流とミ
ラード平均電流は、同様の態様で発生する。センスエレ
メント及び基準エレメントにセンス電圧が印加され、結
果として生じるセンス電流及び基準電流が、1組の電流
変換装置を流れる。基準電流変換装置において、RH及
びRL電流を合計し、その合計をほぼ2に等しい係数で
割ることによって、ミラード平均基準電流が得られる。
センス及び平均基準電流変換装置の出力が、クロックド
差動電流コンパレータに接続されて、センス操作が完了
する。 【0030】図4の回路要素についてさらに詳述する
と、抵抗素子RM、RH、及びRLは、ここでは、それ
ぞれ、ダイオード62、64、及び66によって表され
る非線形抵抗器と直列に接続されている。各ダイオード
に対する入力は、読み取り電圧VRである。多数の選択
されなかったセルの合成寄生抵抗が、ダイオード68と
直列をなす抵抗素子RPによって表されている。外部か
ら供給される電圧VSが、選択されなかった全てのセル
のダイオードに印加される。同様に、基準側では、外部
電圧VSが、寄生抵抗をノード70に接続する2つの基
準列からの寄生抵抗を表す抵抗素子RP/2に直列に接
続された、同様のダイオード69に印加される。抵抗素
子RP/2の出力は、電位VS″を有するノード72に
おいて、抵抗素子RH及びRLの出力に接続されてい
る。抵抗素子RPの出力は、電位VS′を有するノード
70において、抵抗素子RMの出力に接続されている。 【0031】電位VS′をできる限りVSに近い値に維
持するために、電圧制御回路が、ノード70に接続され
ている。トランジスタQ1は、ノード70に接続された
ドレインと、アースに接続されたソースを有する。高利
得演算増幅器A1は、入力の1つとしてVSを有し、そ
のフィードバック入力はノード70に接続されている。
増幅器A1の出力は、トランジスタQ1のゲートに送り
込まれる。トランジスタQ1及び増幅器A1は、ノード
70の電位VS′をアレイ電圧VSに極めて近い値に維
持するように動作する。 【0032】同じ電圧制御回路が、並列基準抵抗素子R
H及びRLの出力においてノード72に接続されてい
る。トランジスタQ3は、ノード72に接続されたドレ
インと、アースに接続されたソースとを有する。高利得
演算増幅器A2は、入力の1つとしてVSを有し、その
フィードバック入力はノード72に接続されている。増
幅器A2の出力は、トランジスタQ3のゲートに送り込
まれる。トランジスタQ3及び増幅器A2は、電位
VS″をアレイ電圧VSに極めて近い値に維持する。 【0033】トランジスタQ1を流れるセンス電流は、
選択されたメモリ素子RMを通る電流と、ダイオード6
8によって表される、選択されなかったセルと直列をな
すほぼゼロバイアスのダイオード及び抵抗素子RPを流
れる寄生電流との合計である。VS≒VS′の等電位分
離、及び低漏洩ダイオードによって、寄生電流は、R M
を通るセンス電流よりはるかに少なくなる。 【0034】トランジスタQ3を流れる基準電流は、基
準抵抗素子RH及びRLを流れる2つの電流と、ダイオ
ード69によって表される、選択されなかったセルと直
列に接続されたほぼゼロバイアスのかかったダイオード
及び抵抗素子RP/2を流れる寄生電流との合計であ
る。ノード72は、これら2つの電流に関する合計ノー
ドの働きをする。 【0035】トランジスタQ1のゲートは、トランジス
タQ5及びQ6を含む差動増幅回路に、トランジスタQ
1を通るセンス電流を「ミラーリングする(mirror)」
変換トランジスタQ2のゲートに接続されている。トラ
ンジスタQ2のドレインは、センスノード74に接続さ
れて、後述する差動増幅器に対する入力としてミラード
センス電流を供給する。 【0036】同様に、トランジスタQ3のゲートは、同
じ差動増幅回路に、トランジスタQ3を通る基準電流を
「ミラーリングする」変換トランジスタQ4のゲートに
接続されている。トランジスタQ3とQ4のサイズの比
は、約2対1であり、従って、本明細書においてミラー
ド平均基準電流と呼ばれる、トランジスタQ4を流れる
ミラー電流は、2つの基準電流の合計の1/2になる。
トランジスタQ3及びQ4のサイズの比は、回路及びデ
バイスの物理的特性によって決まり、最適なミラード平
均基準電流が得られるように調整される。トランジスタ
Q4のドレインが、基準ノード75に接続されており、
差動増幅器に対するもう1つの入力としてミラード平均
基準電流が供給される。 【0037】上述のセンス電圧VS及び電圧制御回路及
び電流変換回路の設計は、メモリエレメントRMと基準
メモリエレメントRH及びRLとの抵抗比較におけるエ
ラーを最小限に抑えるため、センス増幅器38のセンス
側及び基準側の両方に関して同一に近い。 【0038】トランジスタQ5及びQ6、及びクロック
ド増幅器76には、当該技術において既知の差動増幅器
またはクロックド電流コンパレータが含まれている。セ
ンス電流が、Q1を流れ、ミラードセンス電流が、トラ
ンジスタQ5のドレインから流出する。基準電流が、合
計されてトランジスタQ3を流れ、ミラード平均基準電
流が、トランジスタQ6のドレインから流出する。ミラ
ードセンス電流が、ミラード平均基準電流を超えると、
センスノード74の電圧が、基準ノード75の電圧未満
に引き下げられ、クロックドコンパレータ増幅器76の
出力電圧が、論理0になる。ミラードセンス電流が、ミ
ラード平均基準電流未満になると、センスノード74の
電圧が、引き上げられて、基準ノード75の電圧を超
え、クロックドコンパレータ増幅器76の出力が、論理
1になる。 【0039】メモリセルがセンシングされた後、回路が
安定化する時間に、ノード74及び75における電圧が
サンプリングされ得るように、コンパレータ増幅器76
が刻時される点に留意されたい。刻時機能は、メモリア
レイ全体の機能を刻時する、図3に示すような外部発生
源46から供給されるのが好ましい。 【0040】本発明の利点の1つは、センス増幅回路要
素が、制御されたセンス電圧VS′及び制御された基準
電圧VS″を供給し、両方の電圧が、できる限りアレイ
電圧VSに近い値に維持されるということである。この
結果は、選択されなかったセルを流れる電流を最小限に
抑え、アレイの残りの部分からセンス増幅器を分離する
のに役立つ。一般に、VSは、おそらく100ミリボル
トといった、アースにかなり近い値に選択されるので、
寄生漏れ電流はできる限り少なく保たれる。 【0041】本発明のもう1つの利点は、2つ以上の基
準エレメントを利用することにより、メモリセルの状態
に従って、センス電流を超えるか、またはそれ未満の選
択量に調整されることが可能な平均電流が供給されると
いう点である。このアプローチは、結果として生じる信
号がメモリセル信号の値の倍になる可能性のある、「ビ
ットビットバー」アプローチと極めて対照的である。本
発明の上述のアプローチに対するもう1つ有利な点は、
メモリアレイに必要な電流及び電圧が大幅に減少するの
で、回路に必要な電力が削減され、熱放散が低減すると
いう点である。 【0042】本発明のもう1つの利点は、必要な基準エ
レメントを設けるために、ほぼ2倍の数のメモリエレメ
ントを必要とするビットビットバー設計に対して、必要
なメモリエレメント数が減少するという点である。 【0043】次に図5を参照すると、本発明の好適な実
施形態の主なステップを示す流れ図が示されている。こ
の流れ図には、差動増幅器を用いて、抵抗性メモリアレ
イのセンシングされる複数状態のメモリセルのデータを
読み取る方法が示されている。ステップ80において、
印加される読み取り電圧を利用して、メモリセルに電流
を発生させる。次にステップ82において、差動増幅器
のセンスノードに、メモリセルの電流を表すミラードセ
ンス電流を加える。ステップ84において、第1と第2
の抵抗素子を備えた基準回路を利用して、基準電流を発
生させる。次にステップ86において、差動増幅器の第
2の入力ノードにミラード平均基準電流を加え、このミ
ラード平均基準電流によって、メモリセルの状態を判定
するために、センス電流と比較される基準値が提供され
る。 【0044】図5には示されていないが、基準電流は、
メモリセルの第1の状態を表す抵抗を備える第1の基準
エレメントの両端に読み取り電圧を印加して、第1の基
準電流を発生させることにより、発生可能である。メモ
リセルの第2の状態を表した抵抗を備える第2の基準エ
レメントの両端に読み取り電圧を印加して、第2の基準
電流が発生する。第1と第2の基準電流を平均して、差
動増幅器の第2のノードに印加されるミラード平均基準
電流が発生する。 【0045】ステップ88に示すように、演算増幅器の
第1のノードに対するミラートランジスタの両端に電源
電圧を印加して、センスノード電圧を発生させる。ステ
ップ90では、演算増幅器の第2のノードに対する基準
トランジスタの両端に電源電圧を印加して、基準ノード
電圧を発生させる。ステップ92では、差動増幅器の第
1のノードにおいて、ミラードセンス電流を表した第1
の出力電圧を発生させ、ステップ94では、第2のノー
ドにおいてミラード平均基準電流を表した第2の出力電
圧を発生させる。ステップ96では、差動増幅器の第1
と第2の入力ノードにおける第1と第2の電圧を比較し
て、センシングされたメモリセルの状態を示す出力を供
給することが含まれる。最後に、ステップ98では、読
み取り操作中に、メモリアレイ内の選択されたメモリセ
ル以外のメモリセルの入力及び出力端子に共通電圧を印
加して、メモリアレイにおける寄生電流が最小限に抑え
られる。 【0046】もちろん、センス増幅器38は、より一般
的なセル当たり複数ビットのメモリに適応させることが
可能であり、この場合、抵抗素子が3つ以上のメモリ状
態を備えることができ、センス増幅器38が3つ以上の
基準状態を備えることができる。やはり、言うまでもな
いが、単一基準エレメントRH及びRLは、複数のメモ
リセルの共通基準として利用することが可能である。従
って、本発明の回路設計によれば、「ビットビットバ
ー」メモリアレイシステムに比べて、メモリアレイの有
効記憶に関して大幅に効率的になる。さらに、基準エレ
メントRH及びR Lは、図3に示すように、メモリアレ
イの一部とすることもできるし、あるいは、センス増幅
器38の一部として、または別様に、メモリアレイから
離れた位置に設けることも可能である。 【0047】以上の実施形態は、本発明の代表的なもの
であるが、当業者には、この詳細な説明及び特許請求の
範囲を検討することによって、あるいは開示された本発
明の実施形態を実施することによって、他の実施形態が
明らかになるであろう。本明細書における詳細な説明及
び実施形態は、単なる例証としてみなされることを意図
しており、本発明は、特許請求の範囲及びその同等物に
よって定義される。 【0048】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施形態を示す。 1.センシングされる複数状態のメモリセル(RM)の
両端に印加された読み取り電圧に応答して、抵抗性メモ
リアレイ(30)の前記メモリセル(RM)のデータを読
み取るためのセンス増幅器(38)であって、(a)第1
と第2の入力ノード(74、75)を備えた差動増幅器(Q
5、Q6)と、(b)印加された読み取り電圧で前記メモ
リセルの電流を決定し、前記メモリセル電流を表すセン
ス電流を前記差動増幅器(Q5、Q6)の第1の入力ノード
(74)に加えるためのセンス回路(A1、Q1、Q2)と、及
び(c)前記差動増幅器(Q5、Q6)の前記第2の入力ノ
ード(75)に平均基準電流を加えるための第1と第2の
抵抗素子(RH、RL)を備える基準回路(A2、Q3、Q
4)とを含み、前記基準電流が、前記メモリセル
(RM)の状態を判定するために前記センス電流と比較
される値を提供する、センス増幅器(38)。 2.前記第1の抵抗素子(RH)が、前記メモリセル
(RM)の第1の状態を表す第1の抵抗を有し、前記第
2の抵抗素子(RL)が、前記メモリセル(RM)の第
2の状態を表す第2の抵抗を有する、上記1のセンス増
幅器。 3.前記基準回路(A2、Q3、Q4)が、前記第1及び第2
の抵抗素子(RH、RL)を通る電流の平均として基準
電流を発生するための平均回路である、上記1のセンス
増幅器。 4.前記平均回路が、前記第1及び第2の抵抗素子(R
H、RL)を通る電流を合計して合計電流を提供し、そ
の合計電流を2分割して、前記平均電流を得るための平
均要素(A2、Q3、Q4)を含む、上記3のセンス増幅器。 5.前記差動増幅器(Q5、Q6)が、前記第1の入力ノー
ド(74)に結合されたミラートランジスタ(Q5)、及び
前記第2の入力ノード(75)に結合された基準トランジ
スタ(Q6)を備える電流ミラーセンシング回路を含む、
上記4のセンス増幅器。 6.前記差動増幅器(Q5、Q6)の前記第1及び第2の入
力ノード(74、75)における信号を比較して、前記セン
シングされるメモリセル(RM)の状態を示す出力(V
0)を提供するためのコンパレータ(76)をさらに含
む、上記5のセンス増幅器。 7.前記差動増幅器の前記第1のノード(74)に前記セ
ンス電流を加えるための第1の変換トランジスタ(Q2)
と、前記差動増幅器の前記第2のノード(75)に前記基
準電流を加えるための第2の変換トランジスタ(Q4)と
をさらに含む、上記1のセンス増幅器。 8.差動増幅器を利用して、抵抗性メモリアレイのセン
シングされる複数状態のメモリセルのデータを読み取る
方法であって、(a)印加される読み取り電圧を利用し
て、前記メモリセルに電流を発生させるステップと、
(b)前記差動増幅器の前記第1の入力ノードに、前記
メモリセル電流の電流を表すセンス電流を加えるステッ
プと、(c)第1と第2の抵抗素子を備えた基準回路を
利用して、基準電流を発生させるステップと、及び
(d)前記差動増幅器の前記第2の入力ノードに前記基
準電流を加えるステップとからなり、前記基準電流が、
前記メモリセルの状態を判定するために前記センス電流
と比較される値を提供する、方法。 9.前記基準電流が、(a)前記メモリセルの第1の状
態を表す抵抗を有する第1の基準エレメントの両端に読
み取り電圧を印加することによって、第1の基準電流を
発生させ、(b)前記メモリセルの第2の状態を表す抵
抗を有する第2の基準エレメントの両端に読み取り電圧
を印加することによって、第2の基準電流を発生させ、
及び(c)前記第1及び第2の基準電流から平均電流を
発生させ、差動増幅器の前記第2の入力ノードに前記平
均電流を加えることによって、発生する、上記8の方
法。 10.前記差動増幅器の前記第1のノードに、前記セン
ス電流を表す第1の電圧を発生させるステップと、前記
第2のノードに、前記基準電流を表す第2の電圧を発生
させるステップと、前記差動増幅器の前記第1と第2の
入力ノードにおける前記第1と第2の電圧を比較して、
前記センシングされるメモリセルの状態を示す出力を提
供するステップとをさらに含む、上記8の方法。 【0049】 【発明の効果】本発明の利点の1つは、センス増幅回路
要素が、制御されたセンス電圧VS′及び制御された基
準電圧VS″を供給し、両方の電圧が、できる限りアレ
イ電圧VSに近い値に維持されるということである。こ
の結果は、選択されなかったセルを流れる電流を最小限
に抑え、アレイの残りの部分からセンス増幅器を分離す
るのに役立つ。一般に、VSは、おそらく100ミリボ
ルトといった、アースにかなり近い値に選択されるの
で、寄生漏れ電流はできる限り少なく保たれる。 【0050】本発明のもう1つの利点は、2つ以上の基
準エレメントを利用することにより、メモリセルの状態
に従って、センス電流を超えるか、またはそれ未満の選
択量に調整されることが可能な平均電流が供給されると
いう点である。このアプローチは、結果として生じる信
号がメモリセル信号の値の倍になる可能性のある、「ビ
ットビットバー」アプローチと極めて対照的である。本
発明の上述のアプローチに対するもう1つ有利な点は、
メモリアレイに必要な電流及び電圧が大幅に減少するの
で、回路に必要な電力が削減され、熱放散が低減すると
いう点である。 【0051】本発明のもう1つの利点は、必要な基準エ
レメントを設けるために、ほぼ2倍の数のメモリエレメ
ントを必要とするビットビットバー設計に対して、必要
なメモリエレメント数が減少するという点である。
器の分野に関する。とりわけ、本発明は、制御されたセ
ンス電圧と、基準電流を提供する複数の抵抗素子を有す
る高密度メモリセンス増幅器に関する。 【0002】 【従来の技術】ランダムアクセスメモリ(RAM)アレ
イの場合、増幅器を用いて、アドレス指定されたメモリ
セルの状態がセンシング(検出)され、センシングされ
た状態を表す信号がアレイの出力に供給される。このセ
ンス増幅器は、RAMアレイのタイプに応じてさまざま
な形態をとる。スタティックランダムアクセスメモリ
(SRAM)アレイまたはダイナミックランダムアクセ
スメモリ(DRAM)アレイの場合、メモリは、揮発
性、すなわちアレイの電源がオフになるとデータが保持
されないことが多い。こうしたメモリは、複雑である場
合が多く、ステアリング(デコーダ)回路及びクロック
ド電流モード増幅器のような複雑なセンシング回路要素
を必要とする。 【0003】対照的に、交点アレイのような不揮発性メ
モリアレイでは、長期保持、高密度及び高速アクセスに
関連した、交点タイプのような極めて単純でコンパクト
なメモリセルが利用される。不揮発性アレイは、各交点
セル毎にヒューズまたはアンチヒューズ(anti-fuse)
を備えるライトワンス型とすることもできるし、あるい
はそれぞれ、2つ以上の状態間で変化することが可能な
交点磁気セルを備えた磁気ランダムアクセスメモリ(M
RAM)アレイのような複数の読み取り書き込み系統と
することも可能である。 【0004】こうした高密度抵抗性メモリアレイにおけ
る主要な問題は、選択されなかったセルから選択された
メモリセルを分離して、セル状態の正確なセンシングを
得る必要があるという点である。セルが非常に接近して
おり、そのサイズが小さいため、選択されたセルからの
電流に干渉する、選択されなかったセルからの「寄生」
漏れ電流に関する重大な問題が生じることになる。さら
に、セル及び導体のサイズが小さいので、電圧及び電流
が減少し、その結果、セルのデータを正確に判定するの
に、電流及び電圧をいっそう精密に測定することが必要
になる。 【0005】例えば、MRAMアレイの場合、一般に、
選択されたセルの磁気状態、従って、セルによって格納
されたデータは、異なるセル状態にある行及び列の接合
部における、選択されたセルを通る電流のわずかな差に
よって求められる。メモリセルの接合部の全てが、多く
の並列経路を介して互いに結合されているので、単一メ
モリセルの抵抗状態のセンシングは、信頼できない可能
性がある。ある任意のメモリセルについてセンシングさ
れる抵抗は、他の行及び列の接合部におけるセルの抵抗
と並列をなす、センシングされるメモリセルの接合部の
抵抗に等しい。さらに、センス増幅器の固有のわずかな
差は、選択されたメモリセルのセンシング試行時に、抵
抗性交点アレイに印加されるわずかな差動電圧をまねく
可能性がある。これらのわずかな差動電圧によって、セ
ル状態のセンシングを妨害する寄生電流または「スニー
クパス」電流が生じる可能性がある。従って、セルデー
タの真の読み取りを達成するために、選択された各セル
を選択されなかったセルから分離する必要がある。 【0006】2001年7月3日にPernerに付与された
特許文献1には、差動増幅器及び2つの直接挿入前置増
幅器を含む高密度メモリアレイに関する読み取り回路が
開示されている。前置増幅器は、セルの入力ノード及び
出力ノード間に等電圧を印加することによって、選択さ
れなかったセルに「等電位」分離を施し、これによって
選択されなかったセルを通る望ましくない電流を最小限
に抑える。 【0007】MRAMセルを利用したアレイのような高
密度抵抗性メモリアレイに関するもう1つの問題は、セ
ル状態が、アンチヒューズメモリにおけるように、コン
ダクタンスまたはノンコンダクタンスによって測定され
ないために生じる。それどころか、MRAMセルの状態
は、異なる磁気状態による抵抗の変化によって生じるセ
ル接合部の導電率の微小な差によって判定される。従っ
て、セルからセンス増幅器までのセンシングされた電流
の正確な「ミラー」を提供し、並びに信頼できる基準に
対してセンシングされる電流を測定し、セルの状態を判
定する手段を設けるのは困難である。 【0008】アプローチの1つは、メモリ回路が1つの
メモリセルに単一ビットの情報を格納する基準メモリア
レイを利用することであった。データは、ある状態のメ
モリセルに格納され、既知状態の基準セルと比較され
る。セル情報は、メモリセルと基準セルとの抵抗差を検
出することによって読み取られる。このアプローチにお
けるセンス方式は、選択されたメモリセルにおけるデー
タの確実なセンシングに必要な分離のために、各メモリ
セル及び基準セルに直列トランジスタを含むことに依存
している。明白な欠点は、各基準セル及びメモリセル毎
に直列トランジスタを必要とするため、メモリアレイの
有効面積が増大することである。この基準メモリアプロ
ーチの一例が、2000年4月25日にNajiに付与され
た特許文献2に示されている。 【0009】もう1つのアプローチは、1対のセルを利
用して1ビットのデータを格納することであった。デー
タは、ある状態のメモリセル及び逆の状態の他のメモリ
セルに記憶される。セル情報は、1対のセルのメモリ接
合部間における抵抗差を検出することによって読み取ら
れ、「ビット・ビット・バー」アプローチと呼ばれてい
る。セル対からの出力によって、センシングに利用可能
な信号が2倍にされ、従ってエラーが最小限に抑えられ
る。明かな欠点は、各記憶ビット毎に2つのメモリセル
が必要になるため、メモリアレイの有効記憶容量が半分
に削減されるということである。この基準メモリアプロ
ーチの一例が、2001年2月20日にLuckに付与され
た特許文献3に示されている。 【0010】 【特許文献1】米国特許第6、256、247B1号明
細書 【特許文献2】米国特許第6,055,178号明細書 【特許文献3】米国特許第6,191,989号明細書 【特許文献4】米国特許第6,169,686号明細書 【0011】 【発明が解決しようとする課題】従って、例えば、選択
されなかったセルの接合部にかかる電圧電位を最小限に
抑えることによって、選択されなかったセルからの漏れ
電流を最小限に抑える、高密度抵抗性メモリアレイ用の
実用的な回路が必要とされている。さらに、選択されな
かったセルからの寄生電流によって、選択されたセルの
電流の正確さが損なわれないように、選択されなかった
セルから選択されたセルを分離することが必要とされて
いる。さらに、測定される電流の歪みを回避するため
に、差動センス増幅器に固有のわずかな差を最小限に抑
えることが重要である。さらに、センシングされた電流
を基準に対して正確に測定するために、センス増幅器に
対してセンシングされるセル電流の正確な変換及びミラ
ーリングを施さなければならない。最後に、アレイの有
効記憶密度を損なうことのない、基準電流を提供する有
効な手段が必要とされている。 【0012】 【課題を解決するための手段】本発明は、高密度メモリ
と一体化するための実用的な回路を提供する。本発明の
回路要素は、選択されたセルに対し、及び同時に選択さ
れた基準セルに対して、正確なセンス電圧を印加する。
本発明は、「等電位」分離を施して、選択されなかった
メモリセルからの漏れ電流の寄生効果を最小限に抑える
回路要素を提供する。本発明は、選択されなかったセル
から選択されたセルを分離するための手段を提供する。
さらに、本発明は、完全な基準メモリアレイを必要とす
ることなく、センシングされる電流に関して正確な基準
を提供する。さらに、本発明は、抵抗性メモリセルへの
アクセス及びセンシングを提供し、同時に他の高密度セ
ンシングアプローチと同等の読み取りアクセス時間を維
持する。 【0013】本発明の1つの好適な実施形態において、
第1と第2の入力ノードを備えた差動増幅器を含み、セ
ンシングされるメモリセルの両端に印加される読み取り
電圧に応答して、抵抗性メモリアレイの複数状態メモリ
セルのデータを読み取るためのセンス増幅器が設けられ
ている。印加される読み取り電圧によってメモリセルの
電流を決定し、メモリセル電流を表すセンス電流を差動
増幅器の第1の入力ノードに加えるセンス回路が、設け
られている。差動増幅器の第2の入力ノードに基準電流
を加えるために第1と第2の抵抗素子を備える基準回路
が設けられており、基準電流は、メモリセルの状態を判
定するために、センス電流と比較される値を提供する。 【0014】第1の抵抗素子は、メモリセルの第1の状
態を表す第1の抵抗を有し、第2の抵抗素子は、メモリ
セルの第2の状態を表す第2の抵抗を有する。電圧源に
よって、第1と第2の抵抗素子の両端に読み取り電圧が
印加され、第1と第2の抵抗素子を通る電流を平均する
ことによって、基準電流が発生する。第1の変換トラン
ジスタが、差動増幅器の第1のノードにメモリセルセン
ス電流を加え、第2の変換トランジスタが、差動増幅器
の第2のノードに基準電流を加える。コンパレータ回路
を用いて、差動増幅器の第1と第2の入力ノードにおけ
る信号が比較され、センシングされるメモリセルの状態
を表す出力が提供される。 【0015】本発明の別の好適な実施形態は、差動増幅
器を利用して、抵抗性メモリアレイのセンシングされる
複数状態メモリセルのデータを読み取る方法である。こ
の方法は、印加される読み取り電圧を利用して、メモリ
セルに電流を発生するステップと、差動増幅器の第1の
入力ノードにメモリセル電流の電流を表すセンス電流を
加えるステップとを含む。第1と第2の抵抗素子を備え
た基準回路を利用して、基準電流を発生させ、差動増幅
器の第2の入力ノードに基準電流が加えられ、基準電流
が、メモリセルの状態を判定するために、センス電流と
比較される値を提供する。 【0016】基準電流は、メモリセルの第1の状態を表
す抵抗を備えた第1の基準エレメント子の両端に読み取
り電圧を印加して、第1の基準電流を発生し、メモリセ
ルの第2の状態を表す抵抗を備えた第2の基準エレメン
トの両端に読み取り電圧を印加して、第2の基準電流を
発生することによって発生される。 【0017】第1及び第2の基準電流が平均され、その
平均電流が、差動増幅器の第2の入力ノードに加えられ
る。電源電圧が、差動増幅器の第1のノードに対するミ
ラートランジスタの両端に印加されて、センスノード電
圧が発生し、差動増幅器の第2のノードに対する基準ト
ランジスタの両端に印加されて、基準ノード電圧が発生
する。差動増幅器の第1のノードにおいて、センス電流
を表す第1の電圧が発生し、第2のノードにおいて、基
準電流を表す第2の電圧が発生する。差動増幅器の第1
及び第2の入力ノードにおける第1及び第2の電圧を比
較することにより、センシングされるメモリセルの状態
を表す出力が提供される。 【0018】本発明の他の態様及び利点については、本
発明の原理を一例として示す添付図面に関連して、以下
の詳細な説明から明らかになるであろう。 【0019】 【発明の実施の形態】図1には、典型的な従来技術の交
点メモリアレイが示されている。第1の方向に延びる行
導体12は、ワード線と呼ばれ、第1の方向に対して通
常垂直な第2の方向に延びる列導体14は、ビット線と
呼ばれる。メモリセル16は、通常、正方形または矩形
アレイに配列されるので、各メモリセル単位16は、1
つのワード線12及び交差するビット線14に接続され
る。 【0020】抵抗性RAMアレイにおいて、各メモリセ
ルの抵抗は、2つ以上の状態を有し、メモリセルのデー
タは、セルの抵抗状態の関数である。抵抗性メモリセル
は、1つ以上の磁性層、ヒューズまたはアンチヒュー
ズ、あるいはそのエレメントの公称抵抗の大きさに影響
を与えることによって情報を格納または生成する任意の
エレメントを含むことが可能である。抵抗性RAMアレ
イに用いられる他のタイプの抵抗素子には、読み取り専
用メモリの一部としてのポリシリコン抵抗器、及び光メ
モリ、撮像装置、または浮遊ゲートメモリデバイスの一
部としての浮遊ゲートトランジスタが含まれる。 【0021】抵抗性ランダムアクセスメモリの1つのタ
イプは、各メモリセルが絶縁層によって分離された複数
の磁性層から形成されている、磁気ランダムアクセスメ
モリ(MRAM)である。磁性層の1つは、ピン止め層
(pinned layer)と呼ばれ、磁気の向きが、対象の範囲
内に印加された磁界が存在する状態で回転しないように
固定されている。もう1つの磁性層は、センス層と呼ば
れ、磁気の向きが、ピン止め層の状態と整合された状態
と、ピン止め層の状態と整合されていない状態との間で
変動可能である。絶縁トンネル障壁層が、磁性ピン止め
層と磁性センス層との間に挟まれている。この絶縁トン
ネル障壁層によって、量子力学トンネル電流が、センス
層とピン止め層との間を流れることが可能になる。トン
ネル効果は、電子スピン依存であり、それによりメモリ
セルの抵抗は、センス層とピン止め層の相対的磁化の向
きの関数になる。センス層の2つの状態に関する接合抵
抗の変動によって、メモリセルに格納されたデータが判
定される。2001年1月2日にBrug他に付与された特
許文献4には、こうした磁気メモリセルのメモリが開示
されている。 【0022】図2を参照すると、MRAMメモリセルが
示されている。メモリ単位16は、3層メモリセル20
として示されている。各セル20毎に、セル20の磁性
センス層22の向きに従って、1ビットの情報が格納さ
れる。通常、セル20は、論理状態「1」及び「0」に
対応する2つの安定した磁気状態を備えている。センス
層22の両方向矢印15は、この2値状態機能を示して
いる。セル20のピン止め層24は、薄い絶縁体26に
よってセンス層から分離されている。ピン止め層24
は、層24の一方向矢印17によって示されるように、
磁気の向きが固定されている。センス層22の磁気状態
が、ピン止め層24の磁化方向と同じ方向に向けられる
場合、そのセルの磁化は「平行」と呼ばれる。同様に、
センス層22の磁気状態が、ピン止め層24の磁化方向
と逆の方向に向けられる場合、そのセルの磁化は、「反
平行」と呼ばれる。これらの向きはそれぞれ、低抵抗状
態及び高抵抗状態に対応する。 【0023】選択されたメモリセル20の磁気状態は、
選択されたメモリセルと交差するワード線12及びビッ
ト線14に電流を加えることによって変更可能である。
この電流によって、2つの直交磁界が生じ、この直交磁
界を組み合わせると、選択されたメモリセル20のセン
ス層の磁化の向きが、平行状態と反平行状態の間で切り
換わることになる。選択されなかった他のメモリセル
は、選択されなかったメモリセルと交差するワード線ま
たはビット線からの磁界だけにさらされる。この単一磁
界は、選択されなかったセルのセンス層の磁気の向きを
変化させるほど強力ではなく、従って、その磁気の向き
が保持される。 【0024】図3には、本発明による交点抵抗性メモリ
アレイ30が示されている。メモリアレイ30には、行
セレクタ回路32及び列デコーダ回路34が接続されて
おり、メモリセル36の適合する行及び列に電圧を印加
することによってメモリセル36を選択する。センス増
幅器38が、列デコーダ回路34のスイッチ39によっ
て、選択されたメモリセル36のビット線40に接続さ
れる。行セレクタ回路32によって、選択されたメモリ
セル36のワード線42に電圧Vrowが印加され、ビ
ット線40に電圧Vreadが印加される。同じビット
線電圧が、ビット線40に沿って選択されなかったセル
の全てに印加される。しかし、選択されなかったセル
は、ワード線電圧Vrowを受電するが、ビット線40
にほとんど出力電流を供給しない。メモリセルの選択
後、センスアンプ38の増幅器A1(図4を参照された
い)は、列40を電圧Vreadに保持するように動作
する。 【0025】メモリコントローラ44は、読み取り制御
及びアドレス選択信号46を受信し、それぞれ、ライン
47及び48によって、行選択回路32及び列デコーダ
回路34に適切な行及び列選択信号を供給する。コンパ
レータクロック信号49が、後述する目的のために、セ
ンス増幅器38に加えられる。 【0026】図3に示すように、基準エレメント50及
び51が、ワード線42を横切って並列に接続されてい
る。電圧Vrowによってメモリセル36が選択される
と、基準エレメント50及び51も選択される。選択
後、センス増幅器38の演算増幅器A2(図4)は、列
52及び53を読み取り電圧Vreadに保持するよう
に動作する。従って、基準エレメント50及び51に
は、選択されたメモリセル36に印加されるのと同じ電
圧がかかることになる。 【0027】センス増幅器38は、セル36から格納さ
れたデータを示す信号電流をS′で受信する。同様に、
基準エレメント50及び51からの出力信号電流が、二
重スイッチ56を介して、S″でセンス増幅器38に加
えられる。さらに、センス増幅器38によって、メモリ
セルからのS′におけるセンス電流とS″における基準
電流とが比較され、メモリセル36に格納されたデータ
を表す出力信号V0が提供される。 【0028】次に、図4を参照すると、回路要素60に
は、センス増幅器38と、他の関連回路要素コンポーネ
ントとが含まれている。メモリエレメントRMは、少な
くとも2つのメモリ状態が高抵抗及び低抵抗によって示
される抵抗装置であると仮定され、2つの部分、すなわ
ち線形抵抗部分と非線形抵抗部分から構成され得る。各
メモリエレメントRMは、メモリエレメントRMの高抵
抗状態及び低抵抗状態に対応する1対の基準エレメント
RH及びRLに関連している。増幅器38は、抵抗素子
RMを通るセンス電流の決定に関連したセンス側(左
側)と、抵抗素子RH及びRLを流れる電流から基準電
流を提供する基準側(右側)とを備えている。 【0029】データは、選択されたメモリセルを通るミ
ラードセンス電流とミラード平均基準電流を比較するこ
とによってセンシングされる。ミラードセンス電流とミ
ラード平均電流は、同様の態様で発生する。センスエレ
メント及び基準エレメントにセンス電圧が印加され、結
果として生じるセンス電流及び基準電流が、1組の電流
変換装置を流れる。基準電流変換装置において、RH及
びRL電流を合計し、その合計をほぼ2に等しい係数で
割ることによって、ミラード平均基準電流が得られる。
センス及び平均基準電流変換装置の出力が、クロックド
差動電流コンパレータに接続されて、センス操作が完了
する。 【0030】図4の回路要素についてさらに詳述する
と、抵抗素子RM、RH、及びRLは、ここでは、それ
ぞれ、ダイオード62、64、及び66によって表され
る非線形抵抗器と直列に接続されている。各ダイオード
に対する入力は、読み取り電圧VRである。多数の選択
されなかったセルの合成寄生抵抗が、ダイオード68と
直列をなす抵抗素子RPによって表されている。外部か
ら供給される電圧VSが、選択されなかった全てのセル
のダイオードに印加される。同様に、基準側では、外部
電圧VSが、寄生抵抗をノード70に接続する2つの基
準列からの寄生抵抗を表す抵抗素子RP/2に直列に接
続された、同様のダイオード69に印加される。抵抗素
子RP/2の出力は、電位VS″を有するノード72に
おいて、抵抗素子RH及びRLの出力に接続されてい
る。抵抗素子RPの出力は、電位VS′を有するノード
70において、抵抗素子RMの出力に接続されている。 【0031】電位VS′をできる限りVSに近い値に維
持するために、電圧制御回路が、ノード70に接続され
ている。トランジスタQ1は、ノード70に接続された
ドレインと、アースに接続されたソースを有する。高利
得演算増幅器A1は、入力の1つとしてVSを有し、そ
のフィードバック入力はノード70に接続されている。
増幅器A1の出力は、トランジスタQ1のゲートに送り
込まれる。トランジスタQ1及び増幅器A1は、ノード
70の電位VS′をアレイ電圧VSに極めて近い値に維
持するように動作する。 【0032】同じ電圧制御回路が、並列基準抵抗素子R
H及びRLの出力においてノード72に接続されてい
る。トランジスタQ3は、ノード72に接続されたドレ
インと、アースに接続されたソースとを有する。高利得
演算増幅器A2は、入力の1つとしてVSを有し、その
フィードバック入力はノード72に接続されている。増
幅器A2の出力は、トランジスタQ3のゲートに送り込
まれる。トランジスタQ3及び増幅器A2は、電位
VS″をアレイ電圧VSに極めて近い値に維持する。 【0033】トランジスタQ1を流れるセンス電流は、
選択されたメモリ素子RMを通る電流と、ダイオード6
8によって表される、選択されなかったセルと直列をな
すほぼゼロバイアスのダイオード及び抵抗素子RPを流
れる寄生電流との合計である。VS≒VS′の等電位分
離、及び低漏洩ダイオードによって、寄生電流は、R M
を通るセンス電流よりはるかに少なくなる。 【0034】トランジスタQ3を流れる基準電流は、基
準抵抗素子RH及びRLを流れる2つの電流と、ダイオ
ード69によって表される、選択されなかったセルと直
列に接続されたほぼゼロバイアスのかかったダイオード
及び抵抗素子RP/2を流れる寄生電流との合計であ
る。ノード72は、これら2つの電流に関する合計ノー
ドの働きをする。 【0035】トランジスタQ1のゲートは、トランジス
タQ5及びQ6を含む差動増幅回路に、トランジスタQ
1を通るセンス電流を「ミラーリングする(mirror)」
変換トランジスタQ2のゲートに接続されている。トラ
ンジスタQ2のドレインは、センスノード74に接続さ
れて、後述する差動増幅器に対する入力としてミラード
センス電流を供給する。 【0036】同様に、トランジスタQ3のゲートは、同
じ差動増幅回路に、トランジスタQ3を通る基準電流を
「ミラーリングする」変換トランジスタQ4のゲートに
接続されている。トランジスタQ3とQ4のサイズの比
は、約2対1であり、従って、本明細書においてミラー
ド平均基準電流と呼ばれる、トランジスタQ4を流れる
ミラー電流は、2つの基準電流の合計の1/2になる。
トランジスタQ3及びQ4のサイズの比は、回路及びデ
バイスの物理的特性によって決まり、最適なミラード平
均基準電流が得られるように調整される。トランジスタ
Q4のドレインが、基準ノード75に接続されており、
差動増幅器に対するもう1つの入力としてミラード平均
基準電流が供給される。 【0037】上述のセンス電圧VS及び電圧制御回路及
び電流変換回路の設計は、メモリエレメントRMと基準
メモリエレメントRH及びRLとの抵抗比較におけるエ
ラーを最小限に抑えるため、センス増幅器38のセンス
側及び基準側の両方に関して同一に近い。 【0038】トランジスタQ5及びQ6、及びクロック
ド増幅器76には、当該技術において既知の差動増幅器
またはクロックド電流コンパレータが含まれている。セ
ンス電流が、Q1を流れ、ミラードセンス電流が、トラ
ンジスタQ5のドレインから流出する。基準電流が、合
計されてトランジスタQ3を流れ、ミラード平均基準電
流が、トランジスタQ6のドレインから流出する。ミラ
ードセンス電流が、ミラード平均基準電流を超えると、
センスノード74の電圧が、基準ノード75の電圧未満
に引き下げられ、クロックドコンパレータ増幅器76の
出力電圧が、論理0になる。ミラードセンス電流が、ミ
ラード平均基準電流未満になると、センスノード74の
電圧が、引き上げられて、基準ノード75の電圧を超
え、クロックドコンパレータ増幅器76の出力が、論理
1になる。 【0039】メモリセルがセンシングされた後、回路が
安定化する時間に、ノード74及び75における電圧が
サンプリングされ得るように、コンパレータ増幅器76
が刻時される点に留意されたい。刻時機能は、メモリア
レイ全体の機能を刻時する、図3に示すような外部発生
源46から供給されるのが好ましい。 【0040】本発明の利点の1つは、センス増幅回路要
素が、制御されたセンス電圧VS′及び制御された基準
電圧VS″を供給し、両方の電圧が、できる限りアレイ
電圧VSに近い値に維持されるということである。この
結果は、選択されなかったセルを流れる電流を最小限に
抑え、アレイの残りの部分からセンス増幅器を分離する
のに役立つ。一般に、VSは、おそらく100ミリボル
トといった、アースにかなり近い値に選択されるので、
寄生漏れ電流はできる限り少なく保たれる。 【0041】本発明のもう1つの利点は、2つ以上の基
準エレメントを利用することにより、メモリセルの状態
に従って、センス電流を超えるか、またはそれ未満の選
択量に調整されることが可能な平均電流が供給されると
いう点である。このアプローチは、結果として生じる信
号がメモリセル信号の値の倍になる可能性のある、「ビ
ットビットバー」アプローチと極めて対照的である。本
発明の上述のアプローチに対するもう1つ有利な点は、
メモリアレイに必要な電流及び電圧が大幅に減少するの
で、回路に必要な電力が削減され、熱放散が低減すると
いう点である。 【0042】本発明のもう1つの利点は、必要な基準エ
レメントを設けるために、ほぼ2倍の数のメモリエレメ
ントを必要とするビットビットバー設計に対して、必要
なメモリエレメント数が減少するという点である。 【0043】次に図5を参照すると、本発明の好適な実
施形態の主なステップを示す流れ図が示されている。こ
の流れ図には、差動増幅器を用いて、抵抗性メモリアレ
イのセンシングされる複数状態のメモリセルのデータを
読み取る方法が示されている。ステップ80において、
印加される読み取り電圧を利用して、メモリセルに電流
を発生させる。次にステップ82において、差動増幅器
のセンスノードに、メモリセルの電流を表すミラードセ
ンス電流を加える。ステップ84において、第1と第2
の抵抗素子を備えた基準回路を利用して、基準電流を発
生させる。次にステップ86において、差動増幅器の第
2の入力ノードにミラード平均基準電流を加え、このミ
ラード平均基準電流によって、メモリセルの状態を判定
するために、センス電流と比較される基準値が提供され
る。 【0044】図5には示されていないが、基準電流は、
メモリセルの第1の状態を表す抵抗を備える第1の基準
エレメントの両端に読み取り電圧を印加して、第1の基
準電流を発生させることにより、発生可能である。メモ
リセルの第2の状態を表した抵抗を備える第2の基準エ
レメントの両端に読み取り電圧を印加して、第2の基準
電流が発生する。第1と第2の基準電流を平均して、差
動増幅器の第2のノードに印加されるミラード平均基準
電流が発生する。 【0045】ステップ88に示すように、演算増幅器の
第1のノードに対するミラートランジスタの両端に電源
電圧を印加して、センスノード電圧を発生させる。ステ
ップ90では、演算増幅器の第2のノードに対する基準
トランジスタの両端に電源電圧を印加して、基準ノード
電圧を発生させる。ステップ92では、差動増幅器の第
1のノードにおいて、ミラードセンス電流を表した第1
の出力電圧を発生させ、ステップ94では、第2のノー
ドにおいてミラード平均基準電流を表した第2の出力電
圧を発生させる。ステップ96では、差動増幅器の第1
と第2の入力ノードにおける第1と第2の電圧を比較し
て、センシングされたメモリセルの状態を示す出力を供
給することが含まれる。最後に、ステップ98では、読
み取り操作中に、メモリアレイ内の選択されたメモリセ
ル以外のメモリセルの入力及び出力端子に共通電圧を印
加して、メモリアレイにおける寄生電流が最小限に抑え
られる。 【0046】もちろん、センス増幅器38は、より一般
的なセル当たり複数ビットのメモリに適応させることが
可能であり、この場合、抵抗素子が3つ以上のメモリ状
態を備えることができ、センス増幅器38が3つ以上の
基準状態を備えることができる。やはり、言うまでもな
いが、単一基準エレメントRH及びRLは、複数のメモ
リセルの共通基準として利用することが可能である。従
って、本発明の回路設計によれば、「ビットビットバ
ー」メモリアレイシステムに比べて、メモリアレイの有
効記憶に関して大幅に効率的になる。さらに、基準エレ
メントRH及びR Lは、図3に示すように、メモリアレ
イの一部とすることもできるし、あるいは、センス増幅
器38の一部として、または別様に、メモリアレイから
離れた位置に設けることも可能である。 【0047】以上の実施形態は、本発明の代表的なもの
であるが、当業者には、この詳細な説明及び特許請求の
範囲を検討することによって、あるいは開示された本発
明の実施形態を実施することによって、他の実施形態が
明らかになるであろう。本明細書における詳細な説明及
び実施形態は、単なる例証としてみなされることを意図
しており、本発明は、特許請求の範囲及びその同等物に
よって定義される。 【0048】以下においては、本発明の種々の構成要件
の組み合わせからなる例示的な実施形態を示す。 1.センシングされる複数状態のメモリセル(RM)の
両端に印加された読み取り電圧に応答して、抵抗性メモ
リアレイ(30)の前記メモリセル(RM)のデータを読
み取るためのセンス増幅器(38)であって、(a)第1
と第2の入力ノード(74、75)を備えた差動増幅器(Q
5、Q6)と、(b)印加された読み取り電圧で前記メモ
リセルの電流を決定し、前記メモリセル電流を表すセン
ス電流を前記差動増幅器(Q5、Q6)の第1の入力ノード
(74)に加えるためのセンス回路(A1、Q1、Q2)と、及
び(c)前記差動増幅器(Q5、Q6)の前記第2の入力ノ
ード(75)に平均基準電流を加えるための第1と第2の
抵抗素子(RH、RL)を備える基準回路(A2、Q3、Q
4)とを含み、前記基準電流が、前記メモリセル
(RM)の状態を判定するために前記センス電流と比較
される値を提供する、センス増幅器(38)。 2.前記第1の抵抗素子(RH)が、前記メモリセル
(RM)の第1の状態を表す第1の抵抗を有し、前記第
2の抵抗素子(RL)が、前記メモリセル(RM)の第
2の状態を表す第2の抵抗を有する、上記1のセンス増
幅器。 3.前記基準回路(A2、Q3、Q4)が、前記第1及び第2
の抵抗素子(RH、RL)を通る電流の平均として基準
電流を発生するための平均回路である、上記1のセンス
増幅器。 4.前記平均回路が、前記第1及び第2の抵抗素子(R
H、RL)を通る電流を合計して合計電流を提供し、そ
の合計電流を2分割して、前記平均電流を得るための平
均要素(A2、Q3、Q4)を含む、上記3のセンス増幅器。 5.前記差動増幅器(Q5、Q6)が、前記第1の入力ノー
ド(74)に結合されたミラートランジスタ(Q5)、及び
前記第2の入力ノード(75)に結合された基準トランジ
スタ(Q6)を備える電流ミラーセンシング回路を含む、
上記4のセンス増幅器。 6.前記差動増幅器(Q5、Q6)の前記第1及び第2の入
力ノード(74、75)における信号を比較して、前記セン
シングされるメモリセル(RM)の状態を示す出力(V
0)を提供するためのコンパレータ(76)をさらに含
む、上記5のセンス増幅器。 7.前記差動増幅器の前記第1のノード(74)に前記セ
ンス電流を加えるための第1の変換トランジスタ(Q2)
と、前記差動増幅器の前記第2のノード(75)に前記基
準電流を加えるための第2の変換トランジスタ(Q4)と
をさらに含む、上記1のセンス増幅器。 8.差動増幅器を利用して、抵抗性メモリアレイのセン
シングされる複数状態のメモリセルのデータを読み取る
方法であって、(a)印加される読み取り電圧を利用し
て、前記メモリセルに電流を発生させるステップと、
(b)前記差動増幅器の前記第1の入力ノードに、前記
メモリセル電流の電流を表すセンス電流を加えるステッ
プと、(c)第1と第2の抵抗素子を備えた基準回路を
利用して、基準電流を発生させるステップと、及び
(d)前記差動増幅器の前記第2の入力ノードに前記基
準電流を加えるステップとからなり、前記基準電流が、
前記メモリセルの状態を判定するために前記センス電流
と比較される値を提供する、方法。 9.前記基準電流が、(a)前記メモリセルの第1の状
態を表す抵抗を有する第1の基準エレメントの両端に読
み取り電圧を印加することによって、第1の基準電流を
発生させ、(b)前記メモリセルの第2の状態を表す抵
抗を有する第2の基準エレメントの両端に読み取り電圧
を印加することによって、第2の基準電流を発生させ、
及び(c)前記第1及び第2の基準電流から平均電流を
発生させ、差動増幅器の前記第2の入力ノードに前記平
均電流を加えることによって、発生する、上記8の方
法。 10.前記差動増幅器の前記第1のノードに、前記セン
ス電流を表す第1の電圧を発生させるステップと、前記
第2のノードに、前記基準電流を表す第2の電圧を発生
させるステップと、前記差動増幅器の前記第1と第2の
入力ノードにおける前記第1と第2の電圧を比較して、
前記センシングされるメモリセルの状態を示す出力を提
供するステップとをさらに含む、上記8の方法。 【0049】 【発明の効果】本発明の利点の1つは、センス増幅回路
要素が、制御されたセンス電圧VS′及び制御された基
準電圧VS″を供給し、両方の電圧が、できる限りアレ
イ電圧VSに近い値に維持されるということである。こ
の結果は、選択されなかったセルを流れる電流を最小限
に抑え、アレイの残りの部分からセンス増幅器を分離す
るのに役立つ。一般に、VSは、おそらく100ミリボ
ルトといった、アースにかなり近い値に選択されるの
で、寄生漏れ電流はできる限り少なく保たれる。 【0050】本発明のもう1つの利点は、2つ以上の基
準エレメントを利用することにより、メモリセルの状態
に従って、センス電流を超えるか、またはそれ未満の選
択量に調整されることが可能な平均電流が供給されると
いう点である。このアプローチは、結果として生じる信
号がメモリセル信号の値の倍になる可能性のある、「ビ
ットビットバー」アプローチと極めて対照的である。本
発明の上述のアプローチに対するもう1つ有利な点は、
メモリアレイに必要な電流及び電圧が大幅に減少するの
で、回路に必要な電力が削減され、熱放散が低減すると
いう点である。 【0051】本発明のもう1つの利点は、必要な基準エ
レメントを設けるために、ほぼ2倍の数のメモリエレメ
ントを必要とするビットビットバー設計に対して、必要
なメモリエレメント数が減少するという点である。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術の抵抗性交点メモリデバイスを示す概
略図である。 【図2】MRAMメモリセル及びそれに接続された導体
の従来技術による構造を示す概略図である。 【図3】本発明によるMRAMメモリセルアレイ及びセ
ンシングエレメントの構造を示す略ブロック図である。 【図4】本発明によるセンス増幅器を示す回路図であ
る。 【図5】本発明によるメモリセルの抵抗状態をセンシン
グする方法の流れ図である。 【符号の説明】 30 抵抗性メモリアレイ 38 センス増幅器 74 センスノード 75 基準ノード 76 クロックドコンパレータ増幅器 A1、A2 演算増幅器 Q1〜Q6 トランジスタ RH、RL 抵抗素子(基準エレメント) RM メモリセル V0 出力
略図である。 【図2】MRAMメモリセル及びそれに接続された導体
の従来技術による構造を示す概略図である。 【図3】本発明によるMRAMメモリセルアレイ及びセ
ンシングエレメントの構造を示す略ブロック図である。 【図4】本発明によるセンス増幅器を示す回路図であ
る。 【図5】本発明によるメモリセルの抵抗状態をセンシン
グする方法の流れ図である。 【符号の説明】 30 抵抗性メモリアレイ 38 センス増幅器 74 センスノード 75 基準ノード 76 クロックドコンパレータ増幅器 A1、A2 演算増幅器 Q1〜Q6 トランジスタ RH、RL 抵抗素子(基準エレメント) RM メモリセル V0 出力
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フロントページの続き
(72)発明者 アンドリュー・エル・ヴァン・ブロックリ
ン
アメリカ合衆国オレゴン州97330,コーバ
リス,ノースウエスト・ハッピー・バレ
イ・ドライブ・6050
(72)発明者 ピーター・ジェイ・フリッケ
アメリカ合衆国オレゴン州97330,コーバ
リス,ロウダ・ウェイ・7101
(72)発明者 ジェイムス・アール・イートン・ジュニア
アメリカ合衆国カリフォルニア州94306,
パロアルト,シャスタ・ドライブ・373
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】センシングされる複数状態のメモリセル
(RM)の両端に印加された読み取り電圧に応答して、
抵抗性メモリアレイ(30)の前記メモリセル(RM)の
データを読み取るためのセンス増幅器(38)であって、 (a)第1と第2の入力ノード(74、75)を備えた差動
増幅器(Q5、Q6)と、 (b)印加された読み取り電圧で前記メモリセルの電流
を決定し、前記メモリセル電流を表すセンス電流を前記
差動増幅器(Q5、Q6)の第1の入力ノード(74)に加え
るためのセンス回路(A1、Q1、Q2)と、及び (c)前記差動増幅器(Q5、Q6)の前記第2の入力ノー
ド(75)に平均基準電流を加えるための第1と第2の抵
抗素子(RH、RL)を備える基準回路(A2、Q3、Q4)
とを含み、前記基準電流が、前記メモリセル(RM)の
状態を判定するために前記センス電流と比較される値を
提供する、センス増幅器(38)。
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