JP2003185035A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】流体通路と他のスペースとの連通を遮断するベ
ローズの耐久性を向上させることにある。 【解決手段】押圧機構６４は、押圧プレート７４ととも
に一体的に変位するように設けられ、第１開口部１２と
第２開口部１４との間に形成された連通室２４と他のス
ペースであるゲート室２６との連通を遮断するベローズ
９０ａ、９０ｂと、前記ベローズ９０ｂの内周側に設け
られ、前記連通室２４を流通する流体が該ベローズ９０
ｂ側に進入することを阻止する円筒部材９２とを備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造装置等の高純度ガス系、超高真空系において使用する
ことが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、半導体製造装置等の
高純度ガス系や超高真空系においてゲートバルブが使用
されている。このゲートバルブは、弁箱と、前記弁箱に
形成された弁座と、前記弁座に着座しまたは該弁座から
離間することにより流体通路を開閉する弁板と、前記弁
板を開閉操作するために前記弁箱内に設けられた弁板駆
動機構とから構成されている。

【０００３】ところで、従来技術に係るゲートバルブで
は、流体通路に処理ガスを導入した場合、この処理ガス
が弁板駆動機構のスペース内に入り込み、吸着現象等に
よって弁板駆動機構の外表面およびスペースを形成する
弁箱内壁に付着するため、前記付着したガスの除去が難
しいという不具合がある。

【０００４】そこで、従来技術に係るゲートバルブで
は、弁箱の外部に設けられた駆動ピストン機構によって
弁箱内に臨む弁棒を揺動させ、前記弁棒の端部に連結さ
れた弁板を振り子運動させることによって流体通路を開
閉する構成が採用されている（例えば、特開平３−２３
９８８４号公報参照）。

【０００５】この場合、前記特開平３−２３９８８４号
公報に開示されたゲートバルブでは、加圧通路を介して
供給される圧力流体の作用下に軸方向に沿って伸縮する
リング状のベローズと、前記ベローズに連動し弁座側に
向かって一体的に変位する弁板押えとが設けられてい
る。

【０００６】すなわち、特開平３−２３９８８４号公報
に開示されたゲートバルブでは、弁箱の流体通路を弁板
によって閉塞する場合、加圧通路を介して圧力流体を導
入することによりベローズおよび弁板押えを一体的に弁
座側に向かって変位させ、前記弁板押えを弁板に当接さ
せる。さらに、弁座に着座した弁板を前記弁板押えによ
って弁座側に向かって押圧することにより流体通路を閉
塞している。

【０００７】一方、前記閉塞状態のときから弁板が揺動
して弁箱の流体通路が開成している場合には、ベローズ
および弁板押えを前記閉塞状態のときよりもさらに弁座
側に向かって変位させ、前記弁板押えを弁座に対して直
接的に着座させる。

【０００８】この結果、流体通路を流通するガスが弁箱
内の他の空間部に流入しないようにベローズによってシ
ールしている。換言すると、弁箱内において弁板駆動機
構が占めるスペースは、前記ベローズによって流体通路
から完全に遮断されるように設けられている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平３−２３９８８４号公報に開示された従来技術に係
るゲートバルブでは、流体通路中を流通する副生成物が
金属製のベローズの内壁面を構成する襞に付着し、前記
付着した副生成物が冷却されて固化される。前記ベロー
ズが縮小する際、前記固化された副生成物が該ベローズ
の襞の間に挟持されることにより該ベローズに損傷を与
えるおそれがある。この結果、ベローズの耐久性が劣化
して、流体通路と弁板駆動機構が占めるスペースとを遮
断する機能が低下するという不具合がある。

【００１０】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たものであり、流体通路と他のスペースとの連通を遮断
する遮断部材の耐久性を向上させることが可能なゲート
バルブを提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、一方の第１ポートと他方の第２ポート
とを連通させる流体通路が形成された本体部と、駆動機
構の付勢作用下に円弧状に揺動自在に設けられ、前記流
体通路を開閉する弁ディスクと、前記弁ディスクを押圧
しまたは着座部に着座する押圧部材に連結され、前記第
１ポートと第２ポートとの間に形成された連通室と他の
スペースとの連通を遮断する遮断部材が設けられた押圧
機構と、前記遮断部材の内周側に設けられ、前記連通室
を流通する流体が遮断部材側に進入することを阻止する
保護部材と、を備えることを特徴とする。

【００１２】この場合、前記遮断部材をリング状に形成
された金属製のベローズによって構成し、前記保護部材
を前記ベローズの内周側に配設された円筒部材によって
構成するとよい。

【００１３】なお、前記円筒部材の軸線方向に沿った一
端部を押圧部材に固着し、その他端部を流体通路に沿っ
て延在する自由端とし、該円筒部材が押圧部材と一体的
に変位自在に設けられるとよい。

【００１４】さらに、前記第１ポートまたは第２ポート
を囲繞するシール部材が装着されたプレートを、該第１
ポートまたは第２ポートに近接する本体部の内壁面に着
脱自在に保持することにより、前記プレートの交換が簡
便となり、メンテナンス作業時間が短縮できてよい。

【００１５】本発明によれば、遮断部材によって連通室
と他のスペースとの連通が遮断された際、連通室に流入
する流体が保護部材によって遮断部材側に進入すること
が阻止される。従って、遮断部材に流体中に含有する副
生成物等が付着することを防止して該遮断部材の耐久性
が劣化することが阻止される。

【００１６】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら
以下詳細に説明する。

【００１７】図１および図２において、参照符号１０
は、本発明の第１の実施の形態に係るゲートバルブを示
す。このゲートバルブ１０は、チャンバー側に連通する
第１開口部（第１ポート）１２と真空ポンプ側に連通す
る第２開口部（第２ポート）１４とが相互に対向して形
成され、前記第１開口部１２と第２開口部１４とを連通
させる流体通路が形成されたボデイ（本体部）１８と、
枢軸２０を回動中心として前記ボデイ１８の内部空間内
を所定角度の範囲内において揺動自在に設けられた弁デ
ィスク２２とを備える。

【００１８】なお、前記ボデイ１８の内部空間は、チャ
ンバー側の第１開口部１２と真空ポンプ側の第２開口部
１４とが連通して負圧流体が流通する連通室２４と、前
記連通室２４の上部側に設けられボデイ１８の内壁面に
よって形成された他のスペースとして機能するゲート室
２６とを含む。

【００１９】前記弁ディスク２２は、枢軸２０に軸着さ
れた軸部２８と、略円盤状に形成された円盤部３０とが
一体的に構成され、図２に示されるように、側面方向か
らみた場合、軸部２８の軸線が円盤部３０の軸線に対し
て所定の角度だけ交差するように設けられている。前記
円盤部３０には、略円形状の環状溝に沿って第１シール
部材３２が装着され、前記第１シール部材３２がボデイ
１８の内壁面に形成された着座部３４に着座することに
より、第１開口部１２が気密に閉塞される。

【００２０】前記ボデイ１８の上部には、駆動機構とし
て機能するシリンダ機構３６が設けられ、前記シリンダ
機構３６は、シリンダ室に連通する一組の圧力流体出入
ポート（図示せず）が形成されたシリンダチューブ３８
と、前記シリンダ室に沿って往復動作する図示しないピ
ストンと、一端部が前記弁ディスク２２の軸部２８に連
結され他端部が前記ピストンに連結されたピストンロッ
ド４０とを有する。

【００２１】この場合、図１および図２に示されるよう
に、弁ディスク２２の軸部２８の一端部には長溝４２を
有する矩形状の連結部４４が設けられ、前記軸部２８の
一端部とピストンロッド４０の断面半円状に形成された
一端部とがピン部材４６を介して連結される。すなわ
ち、弁ディスク２２の軸部２８は、ピン部材４６に係合
する長溝４２を介して上下方向に変位自在に設けられて
いるとともに、ピン部材４６の一端部に形成された係止
部４８によってピストンロッド４０の一端部から略水平
方向に沿って僅かだけ離間自在に設けられている。

【００２２】さらに、前記ボデイ１８の上部側には、弁
ディスク２２の軸部２８が臨む孔部５０が形成され、前
記孔部５０は、軸部２８の一部を被覆し揺動自在に形成
された金属製のベローズ５２によって閉塞される。前記
ベローズ５２の一端部はボデイ１８に固着された第１プ
レート５４ａに係止され、他端部は軸部２８に嵌合する
第２プレート５４ｂによって係止されている。なお、前
記ベローズ５２は、弁ディスク２２の円盤部３０が円弧
状にスイングする際、前記円盤部３０と一体的にスイン
グする軸部２８に沿って伸縮自在に形成されている。

【００２３】前記枢軸２０は弁ディスク２２の軸部２８
に形成された貫通孔内に嵌合され、該枢軸２０の一端部
２０ａはボデイ１８に形成された長孔５６を貫通して所
定長だけ外部に露呈するように設けられる（図２参
照）。また、枢軸２０の他端部には球状部５８が形成さ
れ、前記球状部５８は、ボデイ１８の内壁面に形成され
た球状孔部内に嵌挿され、前記球状部５８を支点として
ボデイ１８の外部に露呈する枢軸２０の一端部２０ａが
変位自在に設けられる。前記ボデイ１８の外部に露呈す
る枢軸２０の一端部２０ａにはばね部材６０が装着さ
れ、前記ばね部材６０はボデイ１８から所定長だけ略水
平方向に突出して形成された凸部６２に係着される。

【００２４】従って、前記枢軸２０は、ばね部材６０の
ばね力によって常時上方側に向かって付勢された状態に
あり、前記ばね部材６０のばね力に打ち勝つことによ
り、枢軸２０が長孔５６に沿って傾動可能に設けられて
いる。

【００２５】前記ボデイ１８内には、弁ディスク２２の
円盤部３０を略水平方向に沿って押圧することにより第
１シール部材３２を着座部３４に着座させる押圧機構６
４が設けられる。

【００２６】この押圧機構６４は、図２に示されるよう
に、第２開口部１４を有するボデイ１８の一側面に固定
され、第１開口部１２と第２開口部１４とを連通させる
孔部６６が形成された固定プレート６８と、前記孔部６
６を囲繞するように設けられた略ドーナツ状のアクチュ
エータ７０と、前記アクチュエータ７０の駆動作用下に
弁ディスク２２の円盤部３０に向かって進退動作する環
状の押圧プレート（押圧部材）７４とを備える。

【００２７】なお、前記押圧プレート７４には、断面略
円形状の開口部７２が形成され、さらに、前記開口部７
２を囲繞する環状溝に沿って第２シール部材７６が装着
される。前記第２シール部材７６は、ボデイ１８の内壁
面に形成された着座部３４に着座することによりシール
機能が営まれるとともに（図５参照）、該第２シール部
材７６が円盤部３０に当接する際の衝撃を吸収する緩衝
機能が営まれる。

【００２８】前記アクチュエータ７０は、固定プレート
６８の断面矩形状の環状凹部とボデイ１８の断面矩形状
の環状凹部とが合体して形成され、圧力流体供給ポート
７８を介して圧力流体が供給される環状の圧力室８０
と、前記圧力室８０の軸線方向に沿って摺動変位する環
状の押圧ピストン８２と、前記環状の押圧ピストン８２
に所定角度離間して連結された複数の押圧ロッド８４
と、前記押圧ピストン８２を付勢する環状のばね部材８
６とをそれぞれ有する。

【００２９】前記押圧ロッド８４の端部には環状の押圧
プレート７４が連結され、前記押圧ピストン８２、押圧
ロッド８４および押圧プレート７４はそれぞれ一体的に
変位するように設けられている。

【００３０】また、図３に示されるように、一端部が前
記押圧プレート７４に連結され且つ他端部が前記固定プ
レート８８に連結された一組のリング状のベローズ（遮
断部材）９０ａ、９０ｂが設けられる。このベローズ９
０ａ、９０ｂは、それぞれ異なる直径からなる金属製材
料によって形成され、外周側のベローズ９０ａと内周側
のベローズ９０ｂとの二重構造に構成されている。前記
一組のベローズ９０ａ、９０ｂの間には複数の押圧ロッ
ド８４が配設され、前記押圧ロッド８４は前記ベローズ
９０ａ、９０ｂによってシールされる。なお、前記ベロ
ーズ９０ａ、９０ｂは、後述するように、連通室２４と
ゲート室２６との連通を遮断する機能を営む。

【００３１】さらに、ベローズ９０ｂの内周側には、図
３に示されるように、第１開口部１２と第２開口部１４
とを連通させる流体通路に沿って延在する円筒部材（保
護部材）９２が設けられる。前記円筒部材９２の一端部
９２ａは押圧プレート７４に固着され、該押圧プレート
７４と一体的に変位するように設けられている。前記円
筒部材９２の他端部９２ｂは、第２開口部１４の内壁面
と所定のクリアランスを介して移動可能に設けられた自
由端に形成される。流体通路を流通する流体は、チャン
バー側の第１開口部１２から真空ポンプ側の第２開口部
１４に向かって流通するため、円筒部材９２の第２開口
部１４側を自由端としても差し支えないからである。

【００３２】前記円筒部材９２を設けることにより、流
体通路を流通する流体がベローズ９０ａ、９０ｂ側に導
入することが阻止され、該ベローズ９０ａ、９０ｂの襞
に副生成物が付着することを防止することができる。

【００３３】この場合、押圧ピストン８２、押圧ロッド
８４および押圧プレート７４は、ばね部材８６のばね力
によって着座部３４（弁ディスク２２の円盤部３０）側
に向かって一体的に変位するように付勢されており、一
方、圧力流体供給ポート７８から圧力室８０に圧力流体
が供給されることにより、ばね部材８６のばね力に抗し
て押圧ピストン８２、押圧ロッド８４および押圧プレー
ト７４が着座部３４（弁ディスク２２の円盤部３０）か
ら離間する方向に一体的に変位するように設けられてい
る。

【００３４】本発明の第１の実施の形態に係るゲートバ
ルブ１０は、基本的には以上のように構成されるもので
あり、次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００３５】先ず、チャンバー側の第１開口部１２と真
空ポンプ側の第２開口部１４とが連通した状態に設定さ
れているとともに、図示しない圧力流体供給源から圧力
流体を圧力室８０に供給して押圧ピストン８２、押圧ロ
ッド８４および押圧プレート７４がばね部材８６のばね
力に抗して弁ディスク２２の円盤部３０から離間する方
向に付勢された状態を初期位置とする。なお、前記初期
位置では、弁ディスク２２の円盤部３０は、図１の二点
鎖線で示す位置にあるものとする。

【００３６】前記初期位置において、図示しない圧力流
体供給源から一方のシリンダ室に圧力流体を供給してシ
リンダ機構３６を付勢することにより、ピストンおよび
ピストンロッド４０が矢印Ｘ１方向に沿って変位する。
ピン部材４６を介して前記ピストンロッド４０の一端部
に係合する軸部２８を介して弁ディスク２２の円盤部３
０は、枢軸２０を回動中心として円弧状に所定の角度だ
けスイングする。

【００３７】この場合、軸部２８の一端部に設けられた
連結部４４の長溝４２に係合するピン部材４６が長溝４
２に沿って変位することにより、枢軸２０を回動中心と
して円盤部３０を円滑にスイングさせることができる。

【００３８】シリンダ機構３６を構成するピストンロッ
ド４０の変位作用下に、弁ディスク２２の円盤部３０が
所定角度だけスイングして第１開口部１２に対向する位
置に到達したときに円盤部３０のスイング動作を停止さ
せる。その際、円盤部３０に装着された第１シール部材
３２は、着座部３４に着座しておらず、着座部３４との
間で所定の離間間隔が設けられた状態にある（図４参
照）。

【００３９】弁ディスク２２の円盤部３０が所定間隔離
間して第１開口部１２と対向する状態において、圧力室
８０に供給されていた圧力流体の供給を停止し、前記圧
力室８０内の圧力流体を外部に排出する。圧力室８０内
の圧力が減圧されてばね部材８６のばね力が圧力室８０
内の圧力に打ち勝つことにより、押圧ピストン８２、押
圧ロッド８４、押圧プレート７４および円筒部材９２が
一体的に円盤部３０側に向かって変位し、該円盤部３０
を押圧する。

【００４０】ばね部材８６のばね力の作用下に押圧プレ
ート７４が前記円盤部３０を着座部３４側に向かって押
圧することにより、枢軸２０および弁ディスク２２が一
体的に僅かに傾動し、前記円盤部３０に装着された第１
シール部材３２が着座部３４に着座して第１開口部１２
が閉塞される。押圧プレート７４の第２シール部材７６
が円盤部３０の側面に当接する際、緩衝機能が営まれる
（図２参照）。

【００４１】なお、枢軸２０が弁ディスク２２と一体的
に傾動する際、該枢軸２０の一端部２０ａに係着された
ばね部材６０を押圧し、ボデイ１８に形成された長孔５
６に沿って変位する。

【００４２】このようにして第１開口部１２が弁ディス
ク２２の円盤部３０によって閉塞された状態において、
前記第１開口部１２を開成するためには、図示しない圧
力流体供給源によって圧力室８０に圧力流体を供給し、
ばね部材８６のばね力に抗して押圧ピストン８２、押圧
ロッド８４および押圧プレート７４を前記とは逆方向に
変位させ、押圧プレート７４を弁ディスク２２の円盤部
３０から離間させる。

【００４３】押圧プレート７４が離間して弁ディスク２
２の円盤部３０に対する押圧力が解除された際、前記弁
ディスク２２の円盤部３０は、枢軸２０の一端部２０ａ
に係着されたばね部材６０のばね力によって該枢軸２０
を僅かに上方に向かって付勢する力が作用し、軸部２８
を介して前記枢軸２０に連結された弁ディスク２２が着
座部３４から所定間隔離間した状態となる。

【００４４】なお、前記弁ディスク２２が着座部３４か
ら所定間隔離間した状態では、押圧プレート７４との間
に所定のクリアランスが形成されて該弁ディスク２２は
ボデイ１８の内壁面に対して非接触状態にあるものとす
る。

【００４５】そこで、シリンダ機構３６を付勢して弁デ
ィスク２２の円盤部３０を前記とは逆方向に円弧状にス
イングさせることにより、初期位置に復帰する。

【００４６】前記初期位置において、圧力室８０内の圧
力流体を外部に排出させる。圧力室８０内の圧力が減圧
されてばね部材８６のばね力が圧力室８０内の圧力に打
ち勝つことにより、押圧ピストン８２、押圧ロッド８
４、押圧プレート７４および円筒部材９２が一体的に第
１開口部１２側に向かって変位し、押圧プレート７４の
第２シール部材７６が第１開口部１２の着座部３４に直
接当接することによりシールされる（図５参照）。

【００４７】前記押圧機構６４の付勢作用下に押圧プレ
ート７４が変位して第１開口部１２の着座部３４に着座
することにより、チャンバー側の第１開口部１２と真空
ポンプ側の第２開口部１４とがそれぞれ連通する連通室
２４が形成され、前記連通室２４は、シール機能を営む
ベローズ９０ａ、９０ｂによって閉塞されることにより
ボデイ１８内の他の空間であるゲート室２６と気密に分
離形成される。従って、連通室２４を流通するガス等が
該連通室２４から外部に漏出することを阻止することが
できる。

【００４８】この結果、弁ディスク２２がスイングして
第１開口部１２から所定角度だけ離間している状態、換
言すると弁ディスク２２が第１開口部１２と対向してい
ない状態においても、押圧プレート７４を変位させて第
１開口部１２に直接着座させることにより、連通室２４
の気密性を保持することができる。

【００４９】本発明の第１の実施の形態では、ベローズ
９０ｂの内周側に円筒部材９２を設け、該ベローズ９０
ｂ側に流体通路を流通する流体が進入しないように該ベ
ローズ９０ｂを保護している。従って、第１の実施の形
態では、流体通路を流通する流体中に含有する副生成物
がベローズ９０ｂの襞に付着して該ベローズ９０ｂの耐
久性が劣化することを防止することができる。この結
果、ベローズ９０ｂの耐久性を向上させ、該ベローズ９
０ｂに対するメンテナンス周期を延長させることができ
る。

【００５０】また、第１の実施の形態では、連通室２４
を流通するガスが、常時、ゲート室２６側に進入しない
構成となっているため、腐蝕を減少させることができ
る。

【００５１】さらに、第１の実施の形態では、チェンバ
ー側にガスを流し真空ポンプ側で真空引きして排気して
いる際、弁ディスク２２がチェンバー側の第１開口部１
２と対向する状態にないため、副生成物の付着によるシ
ール不良を防止することができるとともに、副生成物の
付着を防止するためのヒータをゲート近傍に取り付ける
必要がない。従って、第１シール部材３２への副生成物
の付着を防止することにより、剥離した副生成物による
ダストの発生を阻止してクリーンな環境を保持すること
ができる。

【００５２】さらにまた、第１の実施の形態では、弁デ
ィスク２２を押圧する押圧機構６４を簡素な構造によっ
て構成することにより、安価に製造することができる。

【００５３】次に、本発明の第２の実施の形態に係るゲ
ートバルブ１００を図６に示す。なお、以下の実施の形
態において、同一の構成要素には同一の参照符号を付
し、その詳細な説明を省略する。

【００５４】この第２の実施の形態に係るゲートバルブ
１００は、第１開口部１２の内壁面に近接する部位に、
該第１開口部１２を囲繞するシール部材１０２が装着さ
れたシール用プレート１０４を一組の突起部１０５ａ、
１０５ｂを介して保持し、前記シール用プレート１０４
を第１開口部１２の内壁面と弁ディスク２２の円盤部３
０との間に着脱自在に介装している点に特徴がある。前
記シール用プレート１０４には円形状の孔部が形成さ
れ、前記孔部の周縁部に形成された薄肉のシール保持部
１０６にシール部材１０２の溝部が装着される。

【００５５】前記シール部材１０２が装着されたシール
用プレート１０４を着脱自在に設けることにより、前記
シール用プレート１０４を簡便に短時間で交換すること
ができ、メンテナンスの作業時間の短縮化を図ることが
できる。

【００５６】また、弁ディスク２２に第１シール部材３
２を直接装着する必要がないため、弁ディスク２２の厚
みを減少させることができる。また、従来技術と比較し
てベローズ９０ａ、９０ｂの伸張量を減少させることに
より、該ベローズ９０ａ、９０ｂの耐久性を向上させる
ことができる。

【００５７】次に、本発明の第３の実施の形態に係るゲ
ートバルブ１１０を図７に示す。

【００５８】この第３の実施の形態に係るゲートバルブ
１１０では、一組の軸受部材１１２ａ、１１２ｂを介し
て枢軸１１４をボデイ１８に回動自在に軸支し、また、
弁ディスク２２の軸部２８の一部を薄肉状にしてばね性
を有する材質によって揺動自在に形成されたばね部１１
６を設けている。従って、前記軸部２８のばね部１１６
の作用下に円盤部３０を傾動させている点に特徴があ
る。

【００５９】このように、弁ディスク２２の軸部２８の
一部にばね性を有するばね部１１６を設けることによ
り、ばね部材６０および凸部６２が不要となり、部品点
数を削減して製造コストを低減することができる。

【００６０】

【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。

【００６１】すなわち、遮断部材によって連通室と他の
スペースとの連通が遮断された際、連通室に流入する流
体が保護部材によって遮断部材側に進入することが阻止
されることにより、流体中に含有する副生成物等が遮断
部材に付着することを防止して該遮断部材の耐久性を向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るゲートバルブ
の縦断面正面図である。

【図２】図１に示すゲートバルブの縦断面側面図であ
る。

【図３】図２に示すゲートバルブの一部省略拡大縦断面
図である。

【図４】図１に示すゲートバルブの動作説明図である。

【図５】図１に示すゲートバルブの動作説明図である。

【図６】本発明の第２の実施の形態に係るゲートバルブ
の縦断面側面図である。

【図７】本発明の第３の実施の形態に係るゲートバルブ
の縦断面側面図である。

【符号の説明】

１０、１００、１１０…ゲートバルブ １２、１４…開
口部 １８…ボデイ ２０、１１４…
枢軸 ２２…弁ディスク ２４…連通室 ２６…ゲート室 ２８…軸部 ３０…円盤部 ３２、７６、１
０２…シール部材 ３４…着座部 ３６…シリンダ
機構 ４４…連結部 ４６…ピン部材 ５２、９０ａ、９０ｂ…ベローズ ５６…長孔 ５８…球状部 ６０、８６…ば
ね部材 ６４…押圧機構 ７０…アクチュ
エータ ７４…押圧プレート ８０…圧力室 ８２…押圧ピストン ８４…押圧ロッ
ド ９２…円筒部材 １０４…シール
用プレート １１６…ばね部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 染谷 満広 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 (72)発明者 宮崎 省吾 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H053 AA02 AA21 AA31 BD05 DA08 DA09 3H066 AA03 BA11 BA38

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方の第１ポートと他方の第２ポートとを
   連通させる流体通路が形成された本体部と、 駆動機構の付勢作用下に円弧状に揺動自在に設けられ、
   前記流体通路を開閉する弁ディスクと、 前記弁ディスクを押圧しまたは着座部に着座する押圧部
   材に連結され、前記第１ポートと第２ポートとの間に形
   成された連通室と他のスペースとの連通を遮断する遮断
   部材が設けられた押圧機構と、 前記遮断部材の内周側に設けられ、前記連通室を流通す
   る流体が遮断部材側に進入することを阻止する保護部材
   と、 を備えることを特徴とするゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記遮断部材はリング状に形成された金属製のベローズ
   からなり、前記保護部材は、前記ベローズの内周側に配
   設された円筒部材からなることを特徴とするゲートバル
   ブ。
3. 【請求項３】請求項２記載のゲートバルブにおいて、 前記円筒部材の軸線方向に沿った一端部は押圧部材に固
   着され、他端部は流体通路に沿って延在する自由端から
   なり、該円筒部材は押圧部材と一体的に変位自在に設け
   られることを特徴とするゲートバルブ。
4. 【請求項４】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記第１ポートまたは第２ポートに近接する本体部の内
   壁面には、該第１ポートまたは第２ポートを囲繞するシ
   ール部材が装着されたプレートが着脱自在に保持される
   ことを特徴とするゲートバルブ。