JP2003203401A5 - - Google Patents

Claims (34)

1. 平板に樹脂層を形成する方法であって、
   （１）対向する第１主面および第２主面を有して成る平板の第１主面に光硬化性樹脂組成物を塗布すること、
   （２）その後、光硬化性樹脂組成物を露光して硬化させることによって樹脂層を形成すること
   を含み、
   光硬化性樹脂組成物の塗布は、平板の側面がガイド部材に略接し、また、平板の第１主面に対して略同一のレベルでガイド部材の上面が位置するように、ステージ上に平板を配置した状態で光硬化性樹脂組成物をスピンコートすることによって、ガイド部材の上面および平板の第１主面に延在する光硬化性樹脂組成物の塗膜を形成する、液体材料の塗布方法を使用することによって実施し、
   光硬化性樹脂組成物の硬化は、（ａ）平板をステージ上から取り去り、その平板を露光して第１主面上の塗膜部分のみを硬化させること、および（ｂ）平板の側面にガイド部材が略接した状態でガイド部材の上面および平板の第１主面に延在する塗膜を硬化させることのいずれか一方によって実施する、樹脂層の形成方法。
2. 液体材料の塗布方法において、ガイド部材が平板の側面と線で略接する、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
3. ガイド部材は、平板の外周側面に略接する外側ガイド部材である、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
4. 平板は、その厚さ方向に貫通する孔を有し、ガイド部材は、更に平板の内周側面に略接する内側ガイド部材である、請求項３に記載の樹脂層の形成方法。
5. 液体材料の塗布方法において、スピンコート時に、ガイド部材が平板と同じ回転中心の回りで同じ角速度で回転する、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
6. 液体材料の塗布方法において、スピンコートのために平板をステージ上の配置する際、平板の第２主面の外周部はステージと接触しない、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
7. 液体材料の塗布方法において、スピンコートのために平板をステージ上に配置する際、平板の第２主面の内周部はステージと接触しない、請求項４に記載の樹脂層の形成方法。
8. 形成する塗膜の厚さが２０μｍ〜５００μｍである、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
9. 光硬化性樹脂組成物の硬化に際して、塗布した平板をステージから取り去る前に、ガイド部材を平板から遠ざける、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
10. 光硬化性樹脂組成物の硬化に際して、ガイド部材の上面および平板の第１主面に延在する塗膜を硬化させた後、平板をステージから取り去り、平板の外周縁から外に突出している樹脂層部分を除去する、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
11. 平板が光ディスク基板である、請求項１に記載の樹脂層の形成方法。
12. 対向する第１主面および第２主面を有して成る平板の第１主面に液体材料を塗布することを含む、液体材料の塗布方法であって、
    液体材料の塗布は外側ガイド部材を使用して実施し、外側ガイド部材が平板の外周側面に線で略接し、また、平板の第１主面に対して略同一のレベルで外側ガイド部材の上面が位置するように、ステージ上に平板を配置した状態で液体材料をスピンコートすることによって、外側ガイド部材の上面および平板の第１主面に延在する液体材料の塗膜を形成する、液体材料の塗布方法。
13. 対向する第１主面および第２主面を有して成る平板の第１主面に液体材料を塗布することを含む、液体材料の塗布方法であって、
    平板はその厚さ方向に貫通する孔を有し、液体材料の塗布は孔に配置される内側ガイド部材を使用して実施し、内側ガイド部材が平板の内周側面に略接し、また、平板の第１主面に対して略同一のレベルで内側ガイド部材の上面が位置するように、ステージ上に平板 を配置した状態で液体材料をスピンコートすることによって、内側ガイド部材の上面および平板の第１主面に延在する液体材料の塗膜を形成する、液体材料の塗布方法。
14. 内側ガイド部材が平板の内周側面と線で略接する、請求項１３に記載の液体材料の塗布方法。
15. 液体材料の塗布は更に外側ガイド部材を使用して実施し、外側ガイド部材が平板の外周側面に線状で略接し、また、平板の第１主面に対して略同一のレベルで外側ガイド部材の上面が位置するように、ステージ上に平板を配置した状態で液体材料をスピンコートする、請求項１３に記載の液体材料の塗布方法。
16. スピンコート時に、ガイド部材が平板と同じ回転中心の回りで同じ角速度で回転する、請求項１３に記載の液体材料の塗布方法。
17. 形成する塗膜の厚さが２０μｍ〜５００μｍである、請求項１３に記載の液体材料の塗布方法。
18. 外側ガイド部材が平板の外周側面と線で略接する、請求項１２に記載の液体材料の塗布方法。
19. スピンコート時に、ガイド部材が平板と同じ回転中心の回りで同じ角速度で回転する、請求項１２に記載の液体材料の塗布方法。
20. 形成する塗膜の厚さが２０μｍ〜５００μｍである、請求項１２に記載の液体材料の塗布方法。
21. スピンコートによって液体材料を平板に塗布するための塗布装置であって、
    平板を支持し、回転可能なステージ、
    ステージに配置される平板の外周側面と線で略接する外側ガイド部材であって、ステージに配置される平板の第１主面に対して略同一のレベルで位置する上面を有する外側ガイド部材、および
    平板の第１主面上に液体材料を供給する機構、
    を有して成る塗布装置。
22. 平板は、その厚さ方向に貫通する孔を有し、ステージに配置される平板の内周側面と略接する内側ガイド部材を更に有して成り、
    内側ガイド部材は、平板の第１主面に対して略同一のレベルで位置する上面を有し、
    液体材料を供給する機構は、平板の第１主面上および／または内側ガイド部材の上面上に液体材料を供給する、請求項２１に記載の塗布装置。
23. 内側ガイド部材は、平板の内周側面と線で略接する、請求項２２に記載の塗布装置。
24. 平板をステージ上に配置する際、平板の第２主面の外周部はステージと接触しない、請求項２１に記載の塗布装置。
25. 平板をステージ上に配置する際、平板の第２主面の内周部はステージと接触しない、請求項２２に記載の塗布装置。
26. 外側ガイド部材は、ステージの回転と同じ回転中心で同じ角速度で回転する、請求項２１に記載の塗布装置。
27. 外側ガイド部材および内側ガイド部材は、ステージの回転と同じ回転中心で同じ角速度で回転する、請求項２２に記載の塗布装置。
28. 平板に塗布した後、外側ガイド部材を平板から遠ざけ、その後、塗布された平板をステージから取り去る機構を有する、請求項２１に記載の塗布装置。
29. 平板に塗布した後、外側ガイド部材および内側ガイド部材を平板から遠ざけ、その後、塗布された平板をステージから取り去る機構を有する、請求項２２に記載の塗布装置。
30. 請求項１に記載の樹脂層の形成方法を用いる光ディスクの製造方法であって、光透過層または保護層を樹脂層として形成する、光ディスク製造方法。
31. 光硬化性樹脂組成物が硬化した樹脂層を平板上に形成する、樹脂層の形成装置であって、
    請求項２１に記載の塗布装置、
    液体材料としての光硬化性樹脂組成物の塗膜が形成された平板をステージから取り去る機構、および
    取り去った平板上に形成された塗膜部分を露光して光硬化性樹脂組成物を硬化させて樹脂層を形成する機構
    を有して成る、樹脂層の形成装置。
32. 光硬化性樹脂組成物が硬化した樹脂層を平板上に形成する、樹脂層の形成装置であって、
    請求項２１に記載の塗布装置、
    平板の第１主面およびガイド部材の上面上に形成された塗膜をそのまま露光して光硬化性樹脂組成物を硬化させて樹脂層を形成する機構、
    平板をステージから取り去る機構、ならびに
    取り去った平板の縁から突出する樹脂層部分を除去する機構
    を有して成る、樹脂層の形成装置。
33. 光透過層または保護層を有する光ディスクの製造装置であって、光透過層または保護層としての樹脂層を形成する請求項３１に記載の樹脂層の形成装置を有して成る、光ディスクの製造装置。
34. 光透過層または保護層を有する光ディスクの製造装置であって、光透過層または保護層としての樹脂層を形成する請求項３２に記載の樹脂層の形成装置を有して成る、光ディスクの製造装置。