JP2003207338A - 振動型ジャイロスコープ用振動子および振動型ジャイロスコープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】振動型ジャイロスコープにおいて、振動子から
の回転角速度の検出値のゼロ点温度ドリフトのバラツキ
を低減する。 【解決手段】振動子３３は、振動片１１と、振動片を固
定する固定部２とを備える。振動片１１は、所定平面Ｘ
Ｙに沿って形成されており、一対の側面１１ａ、１１ｂ
を備える。振動子３３は、振動片１１の付け根部分１１
ｅにおいて一方の側面１１ａ側に設けられている一方の
テーパー部１３Ａ、および、付け根部分１１ｅにおいて
他方の側面１１ｂ側に設けられている他方のテーパー部
１３Ｂを備えている。他方のテーパー部１３Ｂの固定部
２からの高さＢが、一方のテーパー部１３Ａの固定部２
からの高さＡよりも小さい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動型ジャイロス
コープ用振動子および振動型ジャイロスコープに関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】最近、振動型ジャイロスコープを自動車
に搭載し、自動車の車体の方向の制御に使用することが
検討されている。例えば自動車の車体回転速度フィード
バック式の車両制御方法に用いる回転速度センサーに振
動型ジャイロスコープを使用するときには、操舵輪の方
向自身は、ハンドルの回転角度によって検出する。これ
と同時に、実際に車体が回転している回転速度を振動ジ
ャイロスコープによって検出する。そして、操舵輪の方
向と実際の車体の回転速度を比較して差を求め、この差
に基づいて車輪トルク、操舵角に補正を加えることによ
って、安定した車体制御を実現する。

【０００３】こうした振動子を実際にエッチングやレー
ザー加工によって成形する際には、製造時の誤差によっ
て、各振動子において、一対の屈曲振動片の共振周波数
にバラツキが発生する。このため、振動子を成形した後
に、各屈曲振動片の付け根部分や支持部をレーザー加工
によって除去し、一対の屈曲振動片の共振周波数を一定
値に調節する必要がある。

【０００４】ところが、例えば車載用などの用途におい
ては、振動型ジャイロスコープの使用温度範囲がきわめ
て広く、例えば、−４０℃−＋８５℃の温度範囲におい
て安定に動作することが要求される。そして、室温にお
いて、一対の屈曲振動片の共振周波数を一定値に調節し
ていても、周囲温度が高温や低温に大きく変化したとき
には、共振周波数の変動やバラツキが大きくなることが
ある。この結果、いわゆるゼロ点温度ドリフトが発生す
る。

【０００５】本出願人は、特開２００１−１２９５２号
公報において、屈曲振動片の両側面の付け根にそれぞれ
テーパー部を設けることによって、ゼロ点温度ドリフト
を抑制することを開示した。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、本発明者が更
に検討を進めると、振動子の材質などによっては新たな
問題点があることが判明してきた。即ち、前述の公開公
報にも記載されているように、屈曲振動片の両側面の付
け根にそれぞれテーパー部を設け、これらのテーパー部
の形状をほぼ同じにすることによって、屈曲振動片の振
動モードの対称性が高まり、ゼロ点温度ドリフトは減少
するものと考えられる。しかし、製造された振動子ごと
にゼロ点温度ドリフトを測定すると、各振動子ごとに、
ゼロ点温度ドリフトの値にバラツキが発生することがあ
った。この場合には、確かに振動子のゼロ点温度ドリフ
トは全体的には低減されていた。しかし、個々の振動子
ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキが大きいために、
結果的に不良品の割合が増大した。

【０００７】なぜなら、振動子のゼロ点温度ドリフトを
ゼロにすることはできなくとも、ゼロ点温度ドリフトが
一定値であれば、振動型ジャイロスコープの検出回路に
温度ドリフトの補正回路を組み込むことによって、ゼロ
点温度ドリフトを相殺することが可能である。しかし、
製造された振動子のゼロ点温度ドリフトのバラツキが大
きくなると、ある振動子において補正回路によってゼロ
点温度ドリフトを相殺できたとしても、他の振動子にお
いてはゼロ点温度ドリフトを相殺できず、振動型ジャイ
ロスコープの動作が不良になってしまう。

【０００８】本発明の課題は、振動型ジャイロスコープ
において、振動子からの回転角速度の検出値のゼロ点温
度ドリフトのバラツキを低減することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、所定平面に沿
って形成されている振動片であって、所定平面に略平行
な一対の面と、一対の側面とを備えている振動片、この
振動片を固定する固定部、振動片の付け根部分において
一方の側面側に設けられている一方のテーパー部、およ
び振動片の付け根部分において他方の側面側に設けられ
ている他方のテーパー部を備えており、他方のテーパー
部の固定部からの高さが、一方のテーパー部の固定部か
らの高さよりも小さいことを特徴とする。

【００１０】また、本発明は、前記の振動子を備えてい
ることを特徴とする、振動型ジャイロスコープに係るも
のである。

【００１１】以下、図面を参照しつつ、本発明について
更に説明する。図１に示すように、振動片１が固定部２
の表面２ａから突出しているものとする。この振動片は
所定平面（ここではＸＹ平面）に沿って形成されてい
る。ここで、振動子１の付け根部分において、一方の側
面１ａから表面２ａへと向かって一方のテーパー部３Ａ
が形成され、他方の側面１ｂから表面２ａへと向かって
他方のテーパー部３Ｂが形成されており、テーパー部３
Ａと３Ｂとは略対称であるものとする。

【００１２】この場合には、屈曲振動片が所定平面内で
屈曲振動する際に、振動モードの対称性が高まり、ゼロ
点温度ドリフトは減少するものと考えられる。しかし、
製造された振動子ごとにゼロ点温度ドリフトを測定する
と、各振動子ごとに、ゼロ点温度ドリフトの値にバラツ
キが発生することがあった。

【００１３】これに対して、本発明においては、例えば
図２に示すように、他方のテーパー部１３Ｂの固定部２
からの突出高さＢを、一方のテーパー部１３Ａの固定部
２からの突出高さＡよりも小さく（低く）することで、
このようなゼロ点温度ドリフトのバラツキを低減できる
ことを見いだした。このように、振動片の付け根部分に
ある一対のテーパー部の形状を、振動子に対してあえて
非対称な形状とすることで、ゼロ点温度ドリフトのバラ
ツキを低減できることは予想外であった。

【００１４】即ち、図２の振動子３３においては、固定
部２から振動片１１が突出している。振動片１１はＸＹ
平面に沿って延びており、細長い平板形状をしている。
１１ｃは所定平面ＸＹに略平行な面であり、１１ａ、１
１ｂは側面である。振動片１１の付け根部分１１ｅにお
いては、一方の側面１１ａから表面２ａへと向かって一
方のテーパー部１３Ａが形成されており、他方の側面１
１ｂから表面２ａへと向かって他方のテーパー部１３Ｂ
が形成されている。本例では、テーパー部の表面１４
Ａ、１４Ｂは平面状である。

【００１５】ここで、他方のテーパー部１３Ｂの固定部
２からの高さＢを、一方のテーパー部１３Ａの固定部２
からの高さＡに比べて小さくする。これによって、ゼロ
点温度ドリフトの絶対値それ自体は大きくなることがあ
るが、振動子ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキない
し偏差は低減することができた。

【００１６】本発明者は、この理由を検討したところ、
以下の知見に至った。即ち、例えばエッチング処理後に
は、振動片１１の側面１１ａや１１ｂに突起な稜線が生
成することがある。例えば水晶からなるウエハーをエッ
チングして振動片１１を形成すると、図３に示すよう
に、一方の側面（＋Ｘ面）１１ａ上に細長い突起２６が
残留する。この突起２６の高さは、例えば２５〜３０μ
ｍ程度であり、突起２６の幅は１００μｍ程度になるこ
とがある。こうした突起２６は−Ｘ面１１ｂ側には形成
されない。

【００１７】一方、−Ｘ面１１ｂ側には、図４に拡大し
て示すように、細長い稜線２９が形成されていた。この
稜線２９は、−Ｘ面１１ｂ上を細長く延びていた。稜線
２９の両側には、略平面状の傾斜面２８Ａ、２８Ｂが、
角２７へと向かって延びていた。

【００１８】このため、本発明者は、＋Ｘ面側の突起２
６が、ゼロ点温度ドリフトのバラツキをもたらしたもの
と考えたが、その証拠は特に得られなかった。

【００１９】これに対して、図５に示すように、稜線２
９の開始点９Ａ、９Ｂが、エッチング処理後の振動子に
おいて大きく変動していることを発見した。即ち、他方
のテーパー部３Ｂが、実線で示す形状を有するものと
し、他方のテーパー部の固定部２からの高さがＡである
ものとする。Ａは、一方のテーパー部３Ａの高さとほぼ
同じである。ここで、側面１１ｂには前述の稜線２９が
生成するが、稜線２９の下側末端の位置は、図５に示す
９Ａのように上側に位置することもあり、また９Ｂのよ
うに表面２ａ近傍に位置することもあり得る。このよう
に、稜線２９の下側末端の位置が変動していたことか
ら、振動子ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキに影響
しているものと考えた。

【００２０】そして、図５に示す１３Ｂのように、他方
のテーパー部の高さＢをＡに比べて小さくしたところ、
振動子ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキが減少する
ことを見いだし、本発明に到達した。

【００２１】この理由は、以下のように考えられる。図
５において、稜線２９の末端位置９Ａの高さはＤであ
り、９Ｂの高さはＣである。高さＤはＡに近く、他方の
テーパー部３Ｂ上において稜線２９は短い。これに対し
て、稜線２９の末端位置が９Ｂにある場合には、他方の
テーパー部３Ｂ上において稜線２９が長くなり、ゼロ点
温度ドリフトに比較的に大きい影響を与えるものと思わ
れる。ここで、本発明に従い、他方のテーパー部１３Ｂ
を相対的に低くすることによって、稜線２９の末端位置
の偏差ないしバラツキが小さくなり、この結果、振動子
ごとのゼロ点温度ドリフトのバラツキを低減できたもの
と思われる。

【００２２】ただし、稜線２９の高さは例えば１μｍ程
度と非常に低い。このような低い隆起が、ゼロ点温度ド
リフトのバラツキに対して多大な影響を与えていたこと
は予想外であった。

【００２３】これに対して、＋Ｘ面１１ａ側の突起２６
（図３参照）は、稜線２９とは異なり、振動子の厚さと
比較してもかなり大きい。このため、普通に考えると、
ゼロ点温度ドリフトに対して多大な影響を与えそうであ
る。しかし、実際には、ゼロ点温度ドリフトの平均値に
対しては大きな影響があるが、ゼロ点温度ドリフトの振
動子ごとのバラツキに対してはそれほど影響しないこと
がわかった。これは、一方のテーパー部上における突起
２６の末端位置が、振動子ごとにほとんど変動しないた
めであった。

【００２４】

【発明の実施の形態】本発明の振動子は、平板状の振動
片を備えている。ここで、振動片の動作モードは限定さ
れないが、屈曲振動モードであることが特に好ましい。
また、振動片が所定平面に沿って形成されているとは、
幾何学的に厳密な意味ではなく、製造上の誤差は許容さ
れる。また、本発明の振動子において、この振動片以外
の部分は平板状でなくともよい。ただし、好適な実施形
態においては、振動子の全体が平板状である。

【００２５】好適な実施形態においては、振動片が細長
く形成されており、かつ振動子の一対の側面１１ａ、１
１ｂが振動片の長手方向に向かって延びている。特に好
適な実施形態においては、この振動片が屈曲振動する振
動片である。この場合には、前記の稜線２９が屈曲振動
の方向と略垂直方向に延びることになる。このような場
合にゼロ点温度ドリフトが特に発生しやすいので、本発
明が特に効果的である。

【００２６】他方の側面上の稜線２９の生成の原因は特
に限定されない。しかし、好適な実施形態においては、
振動片がエッチングによって形成されており、このエッ
チングの過程において稜線が生成する。

【００２７】このエッチャントは限定されないが、以下
のものが好ましい。エッチャントは、ふっ酸を含有して
いることが好ましく、ふっ酸水溶液か、あるいはふっ酸
とフッ化アンモニウムとを任意の割合で混合した水溶液
が好ましい。エッチャントの濃度は、４０重量％以下が
好ましく、エッチャントの温度は、４０〜８０℃が好ま
しい。

【００２８】振動子の材質は特に限定しないが、水晶、
ＬｉＮｂＯ_３、ＬｉＴａＯ_３、ニオブ酸リチウム−タン
タル酸リチウム固溶体（Ｌｉ（Ｎｂ，Ｔａ）Ｏ_３）単結
晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等から
なる圧電単結晶を使用することが好ましい。

【００２９】特に好ましくは、振動子が、所定平面内に
３回回転対称のａ軸を有し、かつ所定平面に垂直な方向
にｃ軸を有する圧電性単結晶からなる。これは特に好ま
しくは水晶である。

【００３０】好適な実施形態においては、一方の側面１
１ａが

【数３】 面であり、他方の側面が

【数４】 面である。

【００３１】一方のテーパー部や他方のテーパー部の固
定部からの高さとは、図２に示す形態においては、固定
部２の表面２ａからの高さＡ、Ｂを意味する。このよう
に、テーパー部が固定部の表面から直接立ち上がってい
る場合には、テーパー部の高さは固定部の表面からの高
さとして決定できる。しかし、一方のテーパー部あるい
は他方のテーパー部が、固定部の表面から直接に立ち上
がっていない場合がある。例えば図７に示す場合には、
他方のテーパー部２０Ｂは、固定部１７の表面１７ｂ、
１７ｃから立ち上がっている。従って、テーパー部２０
Ｂの固定部１７からの高さは、表面１７ｂ、１７ｃから
の高さＢである。しかし、一方のテーパー部２０Ａは、
高さの基準となる表面１７ｂ、１７ｃから直接には立ち
上がっていない。しかし、この場合にも、固定部１７の
端部１７ａからテーパー部２０Ａが立ち上がっているの
で、テーパー部２０Ａの高さは、表面１７ｂ、１７ｃの
延長面Ｆからの高さＡとして規定する。

【００３２】他方のテーパー部の高さＢの一方のテーパ
ー部の高さＡに対する比率Ｂ／Ａは、本発明の作用効果
を奏するという観点から、０．９７以下であることが好
ましく、０．９５以下であることが更に好ましい。ただ
し、Ｂが小さくなりすぎると、所望の振動モード以外の
振動モードの振幅が増大する傾向があり、ゼロ点温度ド
リフトそれ自体の増加の原因となる。従って、この観点
からは、Ｂ／Ａは、０．７以上とすることが好ましく、
０．８以上とすることが更に好ましい。

【００３３】一方のテーパー部の高さＡの振動片１１の
長さＬ（図２参照）に対する比率Ａ／Ｌの下限は限定さ
れないが、３％以上であることが多い。Ａ／Ｌは、ゼロ
点温度ドリフトを低減するという観点からは、１０％以
下であることが好ましい。

【００３４】他方のテーパー部の高さＢの振動片１１の
長さＬに対する比率Ｂ／Ｌは、本発明の作用効果を奏す
るという観点からは、１０％以下であることが好まし
く、９．５％以下であることが更に好ましい。Ｂ／Ｌの
下限は特に限定されないが、３％以上であることが多
い。

【００３５】一方のテーパー部１３Ａの表面１４Ａが、
振動片１１の中心面Ｓに対してなす角度θＡは、２０゜
以上であることが多い。ただし、ゼロ点温度ドリフトの
増大を抑制するという観点からは、４０゜以下であるこ
とが好ましい。

【００３６】他方のテーパー部１３Ｂの表面１４Ｂが、
振動片１１の中心面Ｓに対してなす角度θＢは、２０゜
以上であることが多い。ただし、ゼロ点温度ドリフトの
増大を抑制するという観点からは、４０゜以下であるこ
とが好ましい。

【００３７】本発明の振動型ジャイロスコープは、前述
の振動子を備えている。この振動型ジャイロスコープ
は、更に駆動手段、検出手段を備えている。駆動手段、
検出手段は、一般には振動子上に形成される電極の形態
をしている。

【００３８】好適な実施形態においては、本発明の振動
型ジャイロスコープは、振動片が設けられる所定平面Ｘ
Ｙに対して略垂直な回転軸Ｚの回りの回転角速度を測定
するものである。特に好ましくは、各振動片が、所定平
面ＸＹに沿って屈曲振動する。図６、図７は、この実施
形態に係る振動子を示すものである。

【００３９】振動子１５は、所定平面（ＸＹ平面）に対
して略垂直なＺ軸を中心とする回転角速度を測定できる
ものである。振動子１５の基部１６は、振動子の重心Ｇ
Ｏを中心として４回対称の正方形をしている。基部１６
の周縁部から、四方に向かって放射状に、二つの駆動振
動系３０Ａ、３０Ｂと２つの検出振動系３１Ａ、３１Ｂ
とが突出しており、各振動系は互いに分離されている。

【００４０】駆動振動系３０Ａ、３０Ｂは、それぞれ、
基部１６の周縁部から突出する細長い固定部１７と、固
定部１７の先端部分１７ａ側から固定部１７に直交する
方向に延びる屈曲振動片１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８
Ｄとを備えている。各屈曲振動片には、それぞれ駆動電
極３２が設けられている。検出振動系３１Ａ、３１Ｂ
は、細長い周方向屈曲振動片１９Ａ、１９Ｂからなり、
各振動片には検出電極３３が設けられている。

【００４１】駆動モードにおいては、各屈曲振動片１８
Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄが、固定部１７の先端部分
１７ａを中心として、矢印Ａのように屈曲振動する。検
出モードにおいては、各固定部１７が、その基部１６へ
の付け根を中心として矢印Ｃのように周方向に屈曲振動
する。これに対応して、各屈曲振動片１９Ａ、１９Ｂ
が、矢印Ｂのように屈曲振動する。各屈曲振動片１９
Ａ、１９Ｂに励起される各検出振動を測定することによ
って、垂直軸Ｚの周りの回転角速度を測定する。

【００４２】各検出振動片１９Ａ、１９Ｂは、それぞ
れ、＋Ｘ面側の側面１９ａと、−Ｘ面側の側面１９ｂと
を備えている。そして、付け根部分１９ｃにおいて、＋
Ｘ面１９ａ側には一方のテーパー部１３Ａが設けられて
おり、−Ｘ面１９ｂ側には他方のテーパー部１３Ｂが設
けられている。

【００４３】また、各駆動振動片１８Ａ、１８Ｂ、１８
Ｃ、１８Ｄは、それぞれ、＋Ｘ面側の側面１８ａと、−
Ｘ面側の側面１８ｂとを備えている。そして、図７に拡
大して示すように、付け根部分１８ｃにおいて、＋Ｘ面
１８ａ側には一方のテーパー部２０Ａが設けられてお
り、−Ｘ面１８ｂ側には他方のテーパー部２０Ｂが設け
られている。２１Ａ、２１Ｂは、テーパー部２０Ａ、２
０Ｂの表面である。

【００４４】また、好適な実施形態においては、本発明
の振動型ジャイロスコープは、振動片が設けられる所定
平面ＸＹに対して略平行な回転軸Ｙの回りの回転角速度
を測定するものである。図８は、この実施形態に係る振
動子２５を示すものである。

【００４５】振動子２５は、固定部２２と、一対の音叉
型振動片２３Ａ、２３からなる駆動振動系３０Ｃと、一
対の音叉型振動片２４Ａ、２４Ｂからなる検出振動系３
１Ｃとを備えている。各屈曲振動片２３Ａ、２３Ｂ、２
４Ａ、２４ＢはＹ軸方向に延びている。各駆動振動片２
３Ａ、２３Ｂを、矢印ＡのようにＸＹ面内でＸ軸の方向
に振動させる。実装基板をＹ軸を中心として回転させる
と、検出振動片２４Ａ、２４Ｂは矢印Ｃのように垂直軸
Ｚの方向に振動する。この振動を検出することによっ
て、Ｙ軸を中心とする回転角速度を測定する。

【００４６】この実施形態においては、振動子の全体が
Ｘ−Ｙ平面（所定平面）に沿って形成されている。各屈
曲振動片２３Ａ、２３Ｂは、それぞれＹ軸方向に向かっ
て延びている。振動片２３Ａ、２３Ｂの付け根部分２３
ｃにおいて、＋Ｘ面２３ａ側には一方のテーパー部１３
Ａが設けられており、−Ｘ面２３ｂ側には他方のテーパ
ー部１３Ｂが設けられている。また、各屈曲振動片２４
Ａ、２４Ｂは、それぞれＹ軸方向に向かって延びてい
る。振動片２４Ａ、２４Ｂの付け根部分２４ｃにおい
て、＋Ｘ面２４ａ側には一方のテーパー部１３Ａが設け
られており、−Ｘ面２４ｂ側には他方のテーパー部１３
Ｂが設けられている。２２ａ、２２ｂは固定部２３の表
面である。

【００４７】

【実施例】図６、図７に示す振動型ジャイロスコープを
作製した。具体的には、厚さ０．３ｍｍの水晶のＺ板の
ウエハーに、スパッタ法によって、厚さ２００オングス
トロームのクロム膜と、厚さ５０００オングストローム
の金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコー
ティングした。

【００４８】このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウム
との水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって
除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との
水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチン
グして除去した。温度８０℃の重フッ化アンモニウムに
２０時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、
振動子１５の外形を形成した。メタルマスクを使用し
て、厚さ２０００オングストロームのアルミニウム膜を
電極膜として形成した。

【００４９】得られた振動子１５の基部１６の寸法は
６．０ｍｍ×６．０ｍｍである。各駆動振動片１８Ａ〜
１８Ｄの寸法は、幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍであ
る。各駆動電極３２の寸法は、幅０．６ｍｍ×長さ２．
８ｍｍである。各検出振動片１９Ａ、１９Ｂの寸法は、
幅１．０ｍｍ×長さ６．０ｍｍである。各検出電極３３
の寸法は、幅０．６ｍｍ×長さ２．８ｍｍである。

【００５０】ここで、一方のテーパー部の高さＡ、他方
のテーパー部の高さＢ、θＡ、θＢを、表１に示すよう
に変更した。

【００５１】次いで、各振動子１５の基部１６の中央に
０．７５ｍｍ×０．７５ｍｍの正方形の支持孔を形成
し、この支持孔に直径０．６ｍｍの金属ピンを通し、金
属ピンに対して振動子１５をシリコーン樹脂接着剤によ
って接着した。得られた各振動子を利用した各振動型ジ
ャイロスコープについて、検出信号の測定値の−４０℃
より＋８５℃の温度域におけるゼロ点信号の温度変動を
測定した。この結果を表１に示す。

【００５２】

【表１】

【００５３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動型ジャ
イロスコープによれば、振動子からの回転角速度の検出
値のゼロ点温度ドリフトのバラツキを低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】固定部２から振動片１が突出している状態を示
す平面図である。

【図２】固定部２から本発明の振動片１１が突出してい
る状態を示す平面図である。

【図３】振動片１１の横断面形状を示す。

【図４】振動片１１の他方の側面１１ｂ側の形状を示す
断面図である。

【図５】振動片１１の付け根部分の形態と稜線２９の位
置との関係を示す図である。

【図６】本発明の一実施形態に係る振動子１５を示す平
面図である。

【図７】振動子１５の固定部１７近傍を拡大して示す図
である。

【図８】本発明の一実施形態に係る振動子２５を示す平
面図である。

【符号の説明】

１、１１、１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ、１９Ａ、
１９Ｂ、２３Ａ、２３Ｂ、２４Ａ、２４Ｂ 振動片
１ａ、１１ａ、１８ａ、１９ａ、２３ａ、２４ａ
振動片の一方の側面 １ｂ、１１ｂ、１８
ｂ、１９ｂ、２３ｂ、２４ｂ 振動片の他方の側面
２、１６、１７、２２固定部 ２ａ、１６
ａ、１７ｂ、１７ｃ、２２ａ、２２ｂ 固定部の表面
９Ａ、９Ｂ 稜線２９の末端位置 １１
ｃ、１１ｄ 所定平面に略平行な一対の面 １１
ｅ、１８ｃ、１９ｃ、２３ｃ、２４ｃ 振動片の付け根
部分 １３Ａ、２０Ａ 一方のテーパー部
１３Ｂ、２０Ｂ 他方のテーパー部 １４Ａ、
２１Ａ 一方のテーパー部の表面 １４Ｂ、２１Ｂ 他方のテーパー部の表面 １
５、２５、３３ 振動子 ２６ 一方の側面上の
突起 ２９ 他方の側面上の稜線 Ａ 一方のテーパー部の固定部からの高さ Ｂ
他方のテーパー部の固定部からの高さ Ｆ 固定
部の表面の延長面 Ｌ 振動片の長さ Ｓ 振動片の中心面 ＸＹ 所定平面 θ
Ａ 一方のテーパー部の表面が振動片の中心面Ｓに対し
てなす角 θＢ 他方のテーパー部の表面が振動
片の中心面Ｓに対してなす角

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】所定平面に沿って形成されている振動片で
   あって、前記所定平面に略平行な一対の面と、一対の側
   面とを備えている振動片、この振動片を固定する固定
   部、前記振動片の付け根部分において一方の前記側面側
   に設けられている一方のテーパー部、および前記振動片
   の付け根部分において他方の前記側面側に設けられてい
   る他方のテーパー部を備えており、前記他方のテーパー
   部の前記固定部からの高さが、前記一方のテーパー部の
   前記固定部からの高さよりも小さいことを特徴とする、
   振動型ジャイロスコープ用振動子。
2. 【請求項２】前記振動片がエッチングによって形成され
   ていることを特徴とする、請求項１記載の振動子。
3. 【請求項３】前記振動片が、前記所定平面内で屈曲振動
   することを特徴とする、請求項１または２記載の振動
   子。
4. 【請求項４】前記一方の側面が 【数１】 面であり、前記他方の側面が 【数２】 面であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか一
   つの請求項に記載の振動子。
5. 【請求項５】請求項１〜４のいずれか一つの請求項に記
   載の振動子を備えていることを特徴とする、振動型ジャ
   イロスコープ。