JP2003208787A - ランダムアクセスメモリ及びその読み出し、書き込み、及びリフレッシュ方法 - Google Patents
ランダムアクセスメモリ及びその読み出し、書き込み、及びリフレッシュ方法Info
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Abstract
装置及びそれの読み出し、書き込み、そしてリフレッシ
ュ方法を提供する。 【解決手段】 ツインセル構造を採用するスタティック
ランダムアクセスメモリ装置を制御する方法を提供す
る。先ず、第1セルトランジスタと第2セルトランジス
タに連結されたワードラインが活性化される。その後、
第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタに連
結された第1ビットラインと、第2セルトランジスタを
通じて第2セルキャパシタに連結された第2ビットライ
ンとの電圧差が感知増幅回路を通じて感知増幅される。
第1及び第2ビットラインの中いずれか一つの電圧が所
定の基準電圧と一致する時、活性化されたワードライン
が非活性化される。
Description
関するものであり、より詳しくは一つのメモリユニット
として二つのメモリセルを用いたスタティックランダム
アクセスメモリ(static random access memory)に関
するものである。
図である。図1では、単に2個のDRAMセルMC1,
MC2又はメモリセルが示されている。図1に示すよう
に、各DRAMセルMC1,MC2は一つのセルトラン
ジスタ(one cell transistor)(TR)と、一つのセ
ルキャパシタ(one cell capacitor)(C)とを備えて
いる。DRAMセルMC1の場合、セルトランジスタT
RのゲートはワードラインWL1に連結され、セルトラ
ンジスタTRの電流経路は、ビットラインBLとセルキ
ャパシタCの一電極との間に形成される。このセルキャ
パシタCの他の電極はVp電圧に連結されている。一
方、DRAMセルMC2の場合、セルトランジスタTR
のゲートはワードラインWL2に連結され、セルトラン
ジスタTRの電流経路はビットラインBLBとセルキャ
パシタCの一電極との間に形成される。このセルキャパ
シタCの他の電極はVp電圧に連結されている。ビット
ラインBL,BLBは感知増幅器(sense amplifier)
12に連結されている。
ラインWL1が選択される時、DRAMセルMC1のセ
ルキャパシタCに貯蔵されたセルデータはチャージシェ
アリング(charge sharing)を通じてビットラインBL
に伝達される。よく知られたように、ビットラインB
L,BLBは、感知動作が遂行される以前にアレイ用電
源電圧AIVCの半分、即ち、1/2×AIVC電圧に
プリチャージされる。チャージシェアリングを通じてビ
ットラインBLの電位が増加又は減少される。いま、
“1”のデータがメモリセルMC1に貯蔵される時は、
ビットラインBLの電位が増加され、“0”のデータが
メモリセルMC1に貯蔵される時は、ビットラインBL
の電位が減少される。この際、感知増幅器12はビット
ラインBL,BLBの間の電圧差を感知増幅する。
特性上、漏れ電流によりセルデータの損失が相存してセ
ルキャパシタに貯蔵された電荷が減少される。これによ
り、正常的な感知動作が不可能になる程度までビットラ
イン間の電位差が小さくなりリフレッシュフェイルを誘
発する。このためDRAMセル構造では、その貯蔵され
たデータを維持するために、よく知られたリフレッシュ
動作が必要となる。一つのセルキャパシタと一つのセル
トランジスタとを有するDRAMセルのリフレッシュ周
期は、“1”のセルデータのリフレッシュ時間tREF
(メモリセルに貯蔵されたデータが維持されることがで
きる最大時間)を基準に決定される。
導体メモリで低電力を具現できる最も良い方法は、リフ
レッシュ周期又はリフレッシュ時間を長くすることであ
る。リフレッシュ時間又はリフレッシュ周期は、このよ
うなツインセル構造を採用することにより延ばすことが
できる。この分野によく知られたツインセル構造が図2
に示されている。
つのDRAMセルMC1,MC2とを有し、各DRAM
セルは、一つのセルトランジスタTRと一つのセルキャ
パシタCとを備えている。DRAMセルMC1の場合、
セルトランジスタTRのゲートはワードラインWL1に
連結され、セルトランジスタTRの電流経路はビットラ
インBLとセルキャパシタCの一電極との間に形成され
る。このセルキャパシタCの他の電極はVp電圧に連結
されている。またDRAMセルMC2の場合、セルトラ
ンジスタTRのゲートはワードラインWL1に連結さ
れ、セルトランジスタTRの電流経路は、ビットライン
BLBとセルキャパシタCの一電極との間に形成され
る。このセルキャパシタCの他の電極はVp電圧に連結
されている。ビットラインBL,BLBは、感知増幅器
22に連結されており、ツインセルを構成するDRAM
セルは相補的にデータを貯蔵する。例えば、DRAMセ
ルMC1が“1”のセルデータを貯蔵する時、DRAM
セルMC2は“0”のセルデータを貯蔵する。これと反
対に、DRAMセルMC1が“0”のセルデータを貯蔵
する時は、DRAMセルMC2は“1”のセルデータを
貯蔵する。
すると、各DRAMセルMC1〜MC4は、一つのセル
トランジスタTRと一つのセルキャパシタCとを備えて
いる。DRAMセルMC1の場合、セルトランジスタT
RのゲートはワードラインWL1に連結され、セルトラ
ンジスタTRの電流経路はビットラインBL1とセルキ
ャパシタCの一電極との間に形成される。DRAMセル
MC2の場合、セルトランジスタTRのゲートはワード
ラインWL1に連結され、セルトランジスタTRの電流
経路はビットラインBL3とセルキャパシタCの一電極
との間に形成される。これらビットラインBL1,BL
3は感知増幅器32に連結され、DRAMセルMC1,
MC2は一つのツインセルを構成する。DRAMセルM
C3の場合、セルトランジスタTRのゲートはワードラ
インWL2に連結され、セルトランジスタTRの電流経
路は、ビットラインBL2とセルキャパシタCの一電極
との間に形成される。またDRAMセルMC4の場合、
セルトランジスタTRのゲートはワードラインWL2に
連結され、セルトランジスタTRの電流経路はビットラ
インBL4とセルキャパシタCの一電極との間に形成さ
れる。ここでビットラインBL2,BL4は感知増幅器
34に連結され、DRAMセルMC3,MC4は一つの
ツインセルを構成する。このようにして各ツインセルを
構成するDRAMセルは相補的にデータを貯蔵する。こ
のような構成により、ツインセル構造を採用した半導体
メモリ装置は、単一セル構造を採用した半導体メモリ装
置よりも長いリフレッシュ周期又は時間を有する。これ
を以下詳細に説明する。
装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミン
グ図である。ここでは前述の図2及び図4を参照して、
このSRAM装置のリフレッシュ動作を説明する。
に、ビットラインBL,BLBは、プリチャージ電圧V
BL(1/2×AIVC)にプリチャージされる。この
際、DRAMセルMC1には“1”のセルデータが貯蔵
され、DRAMセルMC2には“0”のセルデータが貯
蔵されると仮定する。この仮定によると、DRAMセル
MC1のセルノードCN1(即ち、セルキャパシタCと
セルトランジスタTRの接続ノード)は、“1”のセル
データに対応する電源電圧AIVCを有し、DRAMセ
ルMC2のセルノードCN2は、“0”のセルデータに
対応する接地電圧GNDとなる。
ことにより、ビットラインBLとDRAMセルMC1の
セルキャパシタCとの間、及びビットラインBLBとD
RAMセルMC2のセルキャパシタCとの間に各々チャ
ージシェアリングが生ずる。そうしたチャージシェアリ
ングの結果、図4に示されたように、ビットラインBL
の電圧はVcs(チャージシェアリングされたビットラ
イン電圧で、プリチャージ電圧VBLを差し引いた電
圧)だけ増加され、ビットラインBLBの電圧は電圧V
BLからVcsだけ減少される。その後、感知増幅器2
2はビットラインBL,BLBの間の電圧差を感知増幅
する。その結果、ビットラインBLの電圧は漸次的に電
源電圧AIVCまで増加され、一方、ビットラインBL
Bの電圧は接地電圧GNDまで低下する。この際、セル
ノードCN1,CN2にはそれぞれ、ビットラインB
L,BLBの電圧により本来のセルデータが再貯蔵され
る(restored)。そしてワードラインWL1が非活性化
された後、ビットラインBL,BLBは、VBL電圧に
プリチャージされる。
装置のリフレッシュ動作を説明するための動作タイミン
グ図である。当業者によく知られたように、読み出し動
作はビットライン上の感知データが入出力ラインに伝達
されるという点を除外するとリフレッシュ動作と同一で
ある。
動作後、ビットラインBL,BLBの間の電圧差が充分
に増幅され、列選択ラインCSLが活性化される。この
ように列選択ラインCSLが活性化されることにより、
入出力ラインとビットラインBL,BLBが電気的に連
結される。大きいローディングキャパシタンスを有する
入出力ラインが内部電源電圧AIVCにプリチャージさ
れているので、図5に示すように、接地電圧GND方向
に立下がったビットラインBLB、及びセルノードCN
1の電圧は特定電圧レベルにクランプされる。この際、
ビットラインBL及びセルノードCN1の電圧は、列選
択ラインCSLの活性化に影響を殆ど受けない。そして
列選択ラインCSLが非活性化された後、ビットライン
BLB及びセルノードCN2の電圧は、接地電圧GND
方向に立下る。ビットラインBL,BLBの電圧により
“1”及び“0”のセルデータがセルノードCN1,C
N2にそれぞれ再貯蔵されると、ワードラインWL1が
非活性化され、ビットラインBL,BLBは、VBL電
圧にプリチャージされる。
RAMセルは相補的なデータを貯蔵するので、単一セル
構造と比較すると、ビットラインの間には2倍の電圧差
が生ずる。即ち、図4及び図5に示すように、“1”の
セルデータを貯蔵するDRAMセルMC1に連結される
ビットラインBLは、チャージシェアリングを通じて電
圧VBLよりもVcsだけ増加される。一方、“0”の
セルデータを貯蔵するDRAMセルMC2に連結される
ビットラインBLBは、チャージシェアリングを通じて
電圧VBLよりもVcsだけ減少される。これを感知増
幅器22からみたとき、ビットラインBL,BLB間の
電圧差は2Vcsになる。このように漏れ電流により
“1”のセルデータが貯蔵されたDRAMセルのセルノ
ードの電位が、ビットラインプリチャージ電圧VBLよ
りも低くなっても正常的な感知動作が可能であるため、
ツインセル構造の場合、リフレッシュ周期又は時間を定
義する必要がなくなる。従って、ツインセル構造を採用
した半導体メモリ装置のリフレッシュ時間又は周期は、
大幅に増加させる(例えば数秒まで)ことができる。例
えば、単一セル構造の場合は、従来は100〜200m
sのリフレッシュ時間を有しているが、ツインセル構造
の場合は、数秒のリフレッシュ周期又はリフレッシュ時
間tREFで間に合う。また、このような理由から、ツ
インセル構造を採用したメモリ装置のスタンバイ電流
(stand-by current)をも画期的に減少することができ
る。
体メモリ装置の代表的なものにDRAM装置がある。し
かし、スタティックランダムアクセスメモリ装置(以
下、SRAM装置という)も、このようなツインセル構
造を用いて具現することができる。ツインセル構造を採
用したSRAM装置が“2M×16bit Uni-Transistor Ran
dom Access Memory”というタイトルの三星電子株式会
社の製品番号“K1S321615M”(2001年5
月)のデータシートに記載されており、いわゆるUtR
AMと呼ばれる。このようなツインセル構造を採用した
SRAM装置は、内部的にDRAM装置と同一に構成さ
れる反面、外部で提供されるコマンドはSRAM装置と
同一である。このようなツインセル構造を採用したSR
AM装置はDRAM装置とは違ってリフレッシュ動作の
ための別途の外部命令を有さない。即ち、ツインセル構
造を採用したSRAM装置のリフレッシュ動作は、外部
のリフレッシュ命令なしで、内部に具現されたリフレッ
シュ制御手段を通じて自動的に遂行される。よく知られ
たように、リフレッシュ動作は感知されたデータが外部
へ出力されない点を除外すると読み出し動作と実質的に
同一である。
置の場合、外部のリフレッシュ命令なしでリフレッシュ
動作が遂行されるので、読み出し/書き込み命令を実行
中でも、少なくとも一つの周期のリフレッシュ動作が保
障されなければならない。このリフレッシュ動作が各周
期で実施されないと、読み出し/書き込み動作と同時に
リフレッシュ動作が遂行され、これは貯蔵されたデータ
の損失原因になる。このため、ツインセル構造を採用し
たSRAM装置ではアクセス時間が長くなり、単一セル
のDRAMと比べて動作速度が低下するという問題があ
る。
セス時間及びアクセス速度を向上させ得るDRAMセル
構造を有するSRAM装置を提供することにある。
有するSRAM装置のワードライン制御方法を提供する
ことにある。
有するSRAM装置の読み出し、書き込み、そしてリフ
レッシュ方法を提供することにある。
ための本発明の特徴によると、スタティックランダムア
クセスメモリを制御する方法が提供される。そうした制
御方法において、先ず第1セルトランジスタと第2セル
トランジスタとに連結されたワードラインが活性化され
る。第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタ
に連結された第1ビットラインと、第2セルトランジス
タを通じて第2セルキャパシタに連結された第2ビット
ラインとの電圧差が感知増幅回路を通じて感知増幅され
る。その後、第1及び第2ビットラインの中いずれか一
つの電圧が所定の基準電圧に到達すると、その活性化さ
れたワードラインが非活性化される。
第1セルキャパシタは第1メモリセルを形成し、第2セ
ルトランジスタと第2セルキャパシタは第2メモリセル
を形成し、第1及び第2メモリセルはツインセルを構成
する。そして、第1及び第2メモリセルは互いに相補デ
ータを貯蔵する。
し/書き込み動作モードでは略0Vであり、リフレッシ
ュ動作モードでは、アレイ用電源電圧より0.3V乃至
0.4Vだけ低い電圧である。
ランダムアクセスメモリ装置のリフレッシュ動作を制御
する方法が提供される。こうした方法において、先ず第
1セルトランジスタと第2セルトランジスタとに連結さ
れたワードラインが活性化される。第1セルトランジス
タを通じて第1セルキャパシタに連結された第1ビット
ラインと、第2セルトランジスタを通じて第2セルキャ
パシタに連結された第2ビットラインとの電圧差が感知
増幅回路を通じて感知増幅される。第1及び第2ビット
ラインの中、ハイレベルデータに対応する、いずれか一
つの電圧が所定の基準電圧に到達したかが判別される。
その判別結果として、ハイレベルデータに対応するビッ
トラインの電圧が所定の基準電圧に到達すると、その活
性化されたワードラインが非活性化される。
クランダムアクセスメモリ装置の読み出し動作を制御す
る方法が提供される。この方法によれば、第1セルトラ
ンジスタと第2セルトランジスタとに連結されたワード
ラインを活性化させる工程と、第1セルトランジスタを
通じて第1セルキャパシタに連結された第1ビットライ
ンと、第2セルトランジスタを通じて第2セルキャパシ
タに連結された第2ビットラインとの電圧差を感知増幅
する工程と、第1及び第2ビットライン上の電圧を対応
する入出力ラインに各々伝達する工程と、第1及び第2
ビットラインの中、ローレベルデータに対応する、ビッ
トラインの電圧が所定の基準電圧(例えば、0V)にな
ると、その活性化されたワードラインを非活性化させる
工程とを含む。
クランダムアクセスメモリ装置の書き込み動作を制御す
る方法であって、第1セルトランジスタと第2セルトラ
ンジスタとに連結されたワードラインを活性化させる工
程と、第1及び第2入出力ライン上のデータビットを第
1及び第2ビットラインに各々伝達する工程と、第1セ
ルトランジスタを通じて第1セルキャパシタに連結され
た第1ビットラインと、第2セルトランジスタを通じて
第2セルキャパシタに連結された第2ビットラインとの
電圧差を感知増幅する工程と、第1及び第2ビットライ
ンの中、ローレベルデータに対応する、ビットラインの
電圧が所定の基準電圧になると、その活性化されたワー
ドラインを非活性化させる工程とを含む。
クランダムアクセスメモリは、行と列とのマトリックス
状に配列される複数のツインセルを含むメモリセルアレ
イを有し、各ツインセルは第1メモリセルと第2メモリ
セルとを具備し、第1メモリセルは所定の行に連結され
る第1セルトランジスタと第1セルトランジスタを通じ
て第1ビットラインに連結される第1セルキャパシタと
を具備し、第2メモリセルは行に共通に連結される第2
セルトランジスタと第2セルトランジスタを通じて第2
ビットラインに連結される第2セルキャパシタとを具備
し、第1及び第2ビットラインは列の中いずれか一つに
対応する。又、このメモリは、行アドレスに応答して行
の中いずれか一つを活性化させる行選択回路と、感知イ
ネーブル信号に応答して各選択列の第1及び第2ビット
ラインの間の電圧差を感知増幅する感知増幅回路とを含
む。更に、このメモリは、リフレッシュ動作モードの
間、各選択列の第1及び第2ビットラインの中いずれか
一つの電圧が所定の基準電圧になるかどうかを検出する
検出手段を含む。この検出手段は、各選択列の第1及び
第2ビットラインの中いずれか一つの電圧が前記所定の
基準電圧と一致すると、その活性化された行を非活性化
させる。
準電圧を発生する基準電圧発生回路と、基準ワードライ
ンに連結され、ハイレベルデータを貯蔵する基準メモリ
セルと、リフレッシュイネーブル信号に応答して基準ワ
ードラインを駆動する駆動回路と、リフレッシュ動作モ
ードにおいて、感知イネーブル信号に応答して検出イネ
ーブル信号を発生する信号発生回路と、基準メモリセル
の基準トランジスタと基準キャパシタとのセルノードに
連結され、セルノードの電圧が基準電圧に到達するかを
検出する電圧検出回路とを含み、セルノードの電圧が基
準電圧と一致すると、その活性化された行は電圧検出回
路により非活性化される。ここで、基準ワードライン
は、セルノードがアレイ用電源電圧まで充電された後に
非活性化される。又、このメモリは列ゲート回路を付加
的に含み、この列ゲート回路は読み出し動作時、各選択
列の第1及び第2ビットライン上の増幅された電圧を対
応する入出力ラインに伝達し、書き込み動作時、入出力
ライン上のデータビットを各選択列の第1及び第2ビッ
トラインに伝達する。ここで、活性化された行は、読み
出し及び書き込み動作時、各選択列の第1及び第2ビッ
トラインの中、ローレベルデータに対応する、ビットラ
インの電圧が所定の基準電圧になると、非活性化され
る。
の好適な実施の形態を詳細に説明する。
M装置のリフレッシュ動作を説明するための流れ図であ
り、図7は本実施の形態に係るSRAM装置のリフレッ
シュ動作時における、セルノードの電圧変化及びビット
ラインの電圧変化を示す図である。尚、本実施の形態に
係るSRAM装置は、2つのDRAMセルを含むツイン
セル構造を有する。例えば、本実施の形態に係るSRA
M装置は、前述の図2及び図3に示されたような一つの
ツインセル構造を有する。しかし、これら図2及び図3
に示す内容及び、他のツインセル構造が採用されること
ができることはこの当業者には自明である。従って、こ
こでは便宜上、図2に示されたツインセル構造が採用さ
れるという仮定の下で、SRAM装置のリフレッシュ動
作を図6及び図7を参照して詳細に説明するが、このよ
うな構成は本願発明を限定するものではない。
たSRAM装置(又は、UtRAM)は、別途の外部命
令なしで内部的にリフレッシュ動作を遂行する。このリ
フレッシュ動作は、感知されたデータを外部へ出力しな
いという点を除いて、読み出し動作と実質的に同一であ
る。プリチャージ区間中、ビットラインBL,BLB
は、ビットラインプリチャージ電圧VBL(1/2×A
IVC)にプリチャージされる。ツインセルを構成する
DRAMセルMC1,MC2の中一つ(例えば、MC
1)には“1”のセルデータが貯蔵され、他のDRAM
セル(例えば、MC2)には“0”のセルデータが貯蔵
される。或いは一方、DRAMセルMC1には“0”の
セルデータが貯蔵され、DRAMセルMC2には“1”
のセルデータが貯蔵されることは自明である。ここでは
便宜上、前者を基準にしてリフレッシュ動作を説明す
る。このような仮定に基づいて、図7に示すように、D
RAMセルMC1のセルノードCN1は、アレイ用電源
電圧AIVCを有し、DRAMセルMC2のセルノード
CN2は接地電圧GNDを有する。
ルMC1,MC2の各セルトランジスタTRに連結され
たワードラインWL1が活性化される(S100)。こ
れによりDRAMセルMC1,MC2の各セルトランジ
スタTRがターンオンし、DRAMセルMC1,MC2
のセルキャパシタCのそれぞれは、このターンオンされ
た各セルトランジスタTRを通じて、対応するビットラ
インBL,BLBのそれぞれと電気的に連結される。こ
のチャージシェアリングの結果として、図7に示すよう
に、ビットラインBLの電圧は、電圧VBLよりもVc
sだけ増加され、一方、ビットラインBLBの電圧は、
VBLよりもVcsだけ減少される。こうしてビットラ
インBL,BLBの間の電圧差が充分に生ずると、感知
増幅器22が活性化される(S120)。こうしてビッ
トラインBLの電圧がアレイ用電源電圧AIVCの方向
に増加され、一方、ビットラインBLBの電圧が接地電
圧GNDの方向に減少される。これと同時に、ビットラ
インBL,BLBの電圧は、DRAMセルMC1,MC
2のセルノードCN1,CN2に伝達される。これは再
貯蔵動作が遂行されることを意味する。
トラインBLの電圧が所定の基準電圧VREFに到達した
かの可否が判別される(S140)。もしハイレベルデ
ータに対応するビットラインBLの電圧が所定の基準電
圧VREFに到達しなければ、ワードラインWL1は続け
て活性化されて再貯蔵動作が遂行される。そしてハイレ
ベルデータに対応するビットラインBLの電圧が、所定
の基準電圧VREFに到達すると、その活性化されたワー
ドラインWL1は非活性化される(S160)。これは
リフレッシュ動作が完了したことを意味する。ここで、
基準電圧VREFはアレイ用電源電圧AIVCの約80%
に相応する電圧に設定される。この電圧は、例えばアレ
イ用電源電圧AIVCより0.3V乃至0.4Vだけ低
い電圧である。
ッシュ動作によると、ハイレベルデータに対応するDR
AMセルMC1のセルノードCN1がアレイ用電源電圧
AIVCまで充分に再充電されない時点で、ワードライ
ンWL1が非活性化される。これはリフレッシュ周期又
はリフレッシュ時間に影響を及ぼすリフレッシュ電流、
スタンバイ電流を減少できることを意味しており、更に
は、これによりワードラインの活性化時間を短縮でき
る。より詳しく説明すると次の通りである。
構造の場合、“1”のセルデータが貯蔵されたDRAM
セルのセルノード電圧が“AIVC−Vx”(VxはAI
VCよりも低い所定電圧)になる時、リフレッシュフェ
イルが起こると仮定する。この仮定によると、二つのメ
モリセルから構成されるツインセル構造の場合、リフレ
ッシュフェイルが起こるDRAMセルのセルノード電圧
は、“(AIVC/2)+Vx”又は“VBL+Vx”に
なる。即ち、単一セル構造の場合、“1”のセルデータ
が貯蔵されたDRAMセルのセルノード電圧が、漏れ電
流により、電源電圧AIVCよりもVxだけ低下すると
リフレッシュフェイルが起こるのに対してツインセル構
造の場合、“1”のセルデータが貯蔵されたDRAMセ
ルのセルノード電圧が漏れ電流により“(AIVC/
2)+Vx”又は“VBL+Vx”まで低下するとリフレ
ッシュフェイルが起こる。これはツインセル構造を採用
したSRAM装置では、リフレッシュの周期を長く設定
できることを意味している。その結果、リフレッシュ電
流又はスタンバイ電流が減少される。セルノード電圧が
低くなる程、漏れ電流量が指数関数的に減少するので、
リフレッシュ周期及び時間の立場から見る時、理論的に
ツインセル構造を有するSRAM装置は、単一セル構造
の場合に比べて、数十倍以上リフレッシュの周期を長く
できるという効果を有する。
ン電圧を接地電圧に低下させるNMOSドライバ又はプ
ルダウンNMOSトランジスタと、ビットライン電圧を
アレイ用電源電圧に立ち上がらせるPMOSドライバ又
はプルアップ用PMOSトランジスタを含む。チップサ
イズの問題により、PMOSドライバのサイズを大きく
設計することができない。同じサイズの場合、PMOS
トランジスタの電流駆動能力はNMOSトランジスタの
電流駆動能力に比べて劣るので、感知動作時、ビットラ
インのプルアップ動作は、ビットラインのプルダウン動
作よりも速くできる。ツインセル構造の場合、“1”の
セルデータが貯蔵されたDRAMセルのセルノードの電
圧が“VBL+Vx”まで低下しても感知フェイルが起
こらないためには、“0”のセルデータが貯蔵されたD
RAMセルのセルノードの電圧がアクセス動作以前に、
接地電圧GNDに再貯蔵されなければならない。“0”
のセルデータが貯蔵されたDRAMセルと連結されたビ
ットライン(例えば、BLB)と、“1”のセルデータ
が貯蔵されたDRAMセルと連結されたビットライン
(例えば、BL)の電圧が変化していく過程で、図7で
分かるように、接地電圧GNDに再充電されるセルノー
ド(例えば、CN1)の再充電動作は、アレイ用電源電
圧AIVCに再充電されるセルノード(例えば、CN
2)の再充電動作より速い。
セルのセルノードの電圧を低下させる漏れ電流が、セル
ノード電圧に応じて指数関数的に減少するので、セルノ
ードがアレイ用電源電圧に再充電される時に必要なリフ
レッシュ周期は、セルノードがアレイ用電源電圧より
0.3V乃至0.4V程度の低い電圧に再充電される時
に必要なリフレッシュの周期と殆ど同一である。感知増
幅器22による感知動作が遂行される時、“1”のセル
データが貯蔵されたDRAMセルのセルノードがアレイ
用電源電圧AIVCに再充電される再貯蔵動作(active
restore operation)の最終過程では、感知増幅器22
のPMOSドライバのソース−ドレーン電圧差が小さい
ので、再貯蔵動作の初期過程より少ない量の充電電流に
より再貯蔵動作が遅くなる。そうした理由で、図7に示
されたように、アレイ用電源電圧AIVCに再充電され
る時点と、0.3V乃至0.4V程度の低い電圧に再充
電される時点の間には相当な時間差が生ずる。
セル構造の場合、“0”のセルデータが貯蔵されたDR
AMセルのセルノードには接地電圧が再充電され、
“1”のセルデータが貯蔵されたDRAMセルのセルノ
ードにはアレイ用電源電圧AIVCの80%程度が再充
電されるので、リフレッシュ時間の大きい損失なしで、
ワードラインの活性化時間を大きく短縮することができ
る。
の読み出し動作を説明するための流れ図であり、図9
は、本実施の形態に係るSRAM装置の読み出し動作時
のセルノードの電圧変化及びビットラインの電圧変化を
示す図面である。前述したように、読み出し動作は、ビ
ットライン上に電圧又はデータビットが対応する入出力
ラインに伝達されるという点を除外すると、リフレッシ
ュ動作と実質的に同一である。本実施の形態に係るSR
AM装置において、リフレッシュ動作とは違って、読み
出し動作時に活性化されたワードラインは、ローレベル
データに対応するビットラインの電圧が基準電圧(例え
ば、0V)になる時点で非活性化される。ツインセル構
造の場合、前述したように、“1”のセルデータが貯蔵
されたDRAMセルのセルノードが“VBL+Vx”ま
で低下しても感知フェイルが起こらないように、“0”
のセルデータが貯蔵されたDRAMセルのセルノードに
は接地電圧が再充電されなければならない。
間中、ビットラインBL,BLBはビットラインのプリ
チャージ電圧VBL(1/2×AIVC)にプリチャー
ジされる。ツインセルを構成するDRAMセルMC1,
MC2の中一つ(例えば、MC1)には“1”のセルデ
ータが貯蔵され、他のDRAMセル(例えば、MC2)
には“0”のセルデータが貯蔵されると仮定する。この
仮定によると、図9に示すように、DRAMセルMC1
のセルノードCN1は、アレイ用電源電圧AIVCを有
し、DRAMセルMC2のセルノードCN2は、接地電
圧GNDを有する。
セルMC1,MC2の各セルトランジスタTRに連結さ
れたワードラインWL1が活性化される(S200)。
これによりDRAMセルMC1,MC2の各セルトラン
ジスタTRがターンオンされ、DRAMセルMC1,M
C2の各セルキャパシタCは、このターンオンされたセ
ルトランジスタTRを通じて、対応するビットラインB
L,BLBと電気的に連結される。チャージシェアリン
グの結果として、図9に示すように、ビットラインBL
の電圧は、VBLよりもVcsだけ増加され、ビットラ
インBLBの電圧は、VBLよりもVcsだけ減少され
る。ビットラインBL,BLBの間の電圧差が充分に生
ずると、感知増幅器22が活性化される(S240)。
これによりビットラインBLの電圧がアレイ用電源電圧
AIVCの方向に増加し、ビットラインBLBの電圧が
接地電圧GNDの方向に減少する。これと同時に、ビッ
トラインBL,BLBの電圧が、DRAMセルMC1,
MC2のセルノードCN1,CN2に伝達される。これ
は再貯蔵動作が遂行されることを意味する。
ることにより、ビットラインBL,BLB上の各電圧が
スイッチングトランジスタ(図示せず)を通じて、対応
する入出力ラインに伝達される。この際、図9に示すよ
うに、大きいローディングキャパシタンスを有する入出
力ラインが内部電源電圧AIVCにプリチャージされて
いるので、図示されたように、接地電圧GNDの方向に
立下がったビットラインBLB及びセルノードCN1の
電圧が特定電圧レベルにクランプされる。この際、ビッ
トラインBL及びセルノードCN1の電圧は、列選択ラ
インCSLの活性化にほとんど影響されない。列選択ラ
インCSLが非活性化された後、ローレベルデータに対
応するビットラインBLBの電圧が所定の基準電圧VR
EFに到達する時、活性化されたワードラインWL1が
非活性化される(S260)。
し動作によると、ローレベルデータに対応するDRAM
セルMC2のセルノードCN2が接地電圧に再充電され
る時点で、ワードラインWL1が非活性化される。読み
出し動作時、“0”のセルデータが貯蔵されるDRAM
セルのセルノードCN2が充分に再充電される時点は、
“1”のセルデータが貯蔵されるDRAMセルのセルノ
ードCN1が、アレイ用電源電圧AIVCの80%まで
再充電される時点より遅く、そして“1”のセルデータ
が貯蔵されるDRAMセルノードがアレイ用電源電圧A
IVCまで充分に再充電される時点より早い。この理由
により、“0”のセルデータが貯蔵されるDRAMセル
のセルノードが接地電圧に充分に再充電される時点でワ
ードラインを非活性化させると、ツインセル構造のワー
ドライン活性化の期間は、単一セル構造のワードライン
の活性化期間よりも短くなる。その結果、ワードライン
の活性化時間を短縮することができる。
ス時間及びアクセス速度は、前述したリフレッシュ及び
読み出し方法により短縮することができる。より詳しく
説明すると次の通りである。前述したように、ツインセ
ル構造を採用したSRAM装置は、外部命令なしで内部
的にリフレッシュ動作を遂行する。そのため、読み出し
/書き込み命令が入力されても、一つのサイクルのリフ
レッシュ時間が保障されなければならない。即ち、読み
出し/書き込み動作のための外部命令が入力される時、
内部的に遂行されるリフレッシュ動作が保障された後、
実質的なアクセス動作が遂行される。その結果、一回の
アクセス動作のために、2回のアクセス動作に相応する
時間が必要となる。
0に示すように、一回のアクセス動作のためには、リフ
レッシュ動作のためのワードラインの活性化時間T1
と、読み出し/書き込み動作に対するワードラインの活
性化時間T3が必要である。
装置の場合、一回のアクセス動作のためには、リフレッ
シュ動作のためのワードラインの活性化時間T2と、読
み出し/書き込み動作に対するワードラインの活性化時
間T4が必要である。
ラインの活性化期間は、従来技術によるSRAM装置の
それより短いので、リフレッシュ動作のためのワードラ
インの活性化時間が△T1時間だけ短縮され、更に、読
み出し/書き込み動作のためのワードラインの活性化時
間が△T2時間だけ短縮される。これにより、本実施の
形態に係るSRAM装置の行アクセス時間は、合計(△
T1+△T2)時間だけ短縮される。その結果、アクセ
ス速度を向上することができる。尚、図面に示していな
いが、読み出し動作だけではなく、書き込み動作におい
ても同様な効果を得ることができることは明らかであ
る。
置の構成を示すブロック図で、図12は図11に示され
たSRAM装置の動作タイミング図である。
に係るSRAM装置は、複数のツインセルを備えたメモ
リセルアレイ110を含む。各ツインセルは二つのDR
AMセルから構成され、各DRAMセルは一つのセルト
ランジスタと一つのセルキャパシタとを備えている。本
実施の形態に係るSRAM装置は、行選択回路(rowsel
ecting circuit)120、感知増幅及び列ゲート回路
(sense amplifier andcolumn gate circuit)140、
列選択回路(column selecting circuit)130、そし
て制御ロジック(control logic)150を含む。行選
択回路120はメモリセルアレイ110に配列される行
(又はワードライン)の中いずれか一つを選択し、その
選択された行を活性化させる。感知増幅及び列ゲート回
路140は、制御ロジック150から感知イネーブル信
号PLAに応答して、選択された行に連結されるツイン
セルに貯蔵されたデータを感知及び増幅し、列選択回路
140の制御下で、その感知されたデータを入出力ライ
ンI/Oiへ出力する。制御ロジック150は、外部か
らの制御信号/CS,/OE,/WE(/は負論理を示
す)を受け入れ、感知イネーブル信号PLAとリフレッ
シュイネーブル信号RFenを発生する。
に係るSRAM装置は、基準メモリセルRMCを含み、
この基準メモリセルRMCは、一つのセルトランジスタ
と一つのセルキャパシタとを備えている。このセルトラ
ンジスタのゲートは、基準ワードラインRWLに連結さ
れ、それの電流経路は、基準ビットラインRBLとセル
キャパシタの一方の電極との間に形成される。本実施の
形態において、基準メモリセルRMCには、“1”のセ
ルデータが常に貯蔵される。ビットラインRBL,RB
LBには、感知増幅及び列ゲート回路140が連結され
ている。尚、図示していないが、パワーアップ時、基準
メモリセルRMCには、感知増幅及び列ゲート回路14
0を通じて、常に“1”のセルデータが記入される。こ
こで、基準ビットラインRBLに連結される一つの基準
メモリセルRMCのみが示されているが、基準ビットラ
インRBLBにも同様の基準メモリセルが連結されるこ
とは明らかである。又、この基準メモリセルは、ツイン
セル構造の代わりに単一セル構造で構成できることは当
業者には自明である。
iver circuit)170に連結され、駆動回路170は、
制御ロジック150からのリフレッシュイネーブル信号
RFenに応答して基準ワードラインRWLを駆動す
る。この際、図12に示すように、メモリセルアレイ1
10のワードライン(例えば、WL1)は、行選択回路
120を通じて活性化される。この基準ワードラインR
WLが活性化されることにより、基準ビットラインRB
L,RBLBの電圧は、チャージシェアリングを通じて
可変である。例えば、“1”のセルデータが貯蔵された
基準メモリセルに連結された基準ビットラインRBLの
電圧が増加される反面、“0”のセルデータが貯蔵され
た基準メモリセルに連結された基準ビットラインRBL
Bの電圧は減少される。
(signal generating circuit)180は、リフレッシ
ュイネーブル信号RFenと、感知イネーブル信号PL
Aに応答して、検出イネーブル信号DETenを活性化
させる。例えば、基準ワードラインRWLが活性化され
た後、感知イネーブル信号PLA(図12の感知時点で
活性化される)が活性化される時、検出イネーブル信号
DETenがローレベルからハイレベルへ遷移される。
その結果、図12に示すように、リフレッシュ動作が遂
行される時、感知時点で検出イネーブル信号DETen
が活性化される。図11に示された検出回路(detectio
n circuit)200は、基準メモリセルRMCのセルノ
ードに連結され、基準メモリセルRMCのセルノードの
電圧が基準電圧発生回路(reference voltage generati
ng circuit)190からの基準電圧VREFと一致する
か否かを検出する。ここで基準電圧VREFは、アレイ
用電源電圧AIVCより0.3V乃至0.4Vだけ低い
電圧に決定される。しかし、メモリ装置の工程変数及び
ローディング値に応じた最適の電圧値としても良いこと
はもちろんである。
電圧が基準電圧発生回路190からの基準電圧VREF
より低ければ、検出回路200はローレベルのワードラ
インの非活性化信号WLdisを出力する。これはワー
ドラインWL1が続けて活性化状態に維持されることを
意味している。そして基準メモリセルRMCのセルノー
ドの電圧が、基準電圧発生回路190からの基準電圧V
REFと一致すると、検出回路200は、ハイレベルの
ワードライン非活性化信号WLdisを出力する。これ
により選択された行又はワードラインWL1は、図12
に示すように検出回路200から出力されるハイレベル
のワードラインの非活性化信号WLdisにより非活性
化される。以後、“1”のセルデータが貯蔵された基準
メモリセルのセルノードがアレイ用電源電圧AIVCま
で充分に再充電された後、基準ワードラインRWLが自
動的に非活性化される。この基準ワードラインRWLの
非活性化により、検出イネーブル信号DETenとワー
ドライン非活性化信号WLdisが順次に非活性化され
る。即ち、リフレッシュ動作が終了される。
て、前述したように、リフレッシュ動作が遂行される
時、活性化されるワードラインWL1は、基準メモリセ
ルRMCから検出されるセルノード電圧が、電源電圧A
IVCの略80%に到達する時、自動的に非活性化され
る。従って、従来技術によるSRAM装置と比較する
と、リフレッシュ動作に対するワードラインの活性化期
間を短縮できる。
用できることは明らかであろう。また、本実施の形態に
係る回路の構成及び動作を前述した説明及び図面により
示したが、これは例を上げて説明したことに過ぎなく、
本発明の技術的思想及び範囲を外さない範囲内で多様な
変化及び変更が可能なことは勿論である。
ば、ハイレベルデータに対応するDRAMセルのセルノ
ードがアレイ用電源電圧の80%程度まで再充電される
時点でリフレッシュ動作時に選択されたワードラインを
非活性化させることにより、リフレッシュ電流又はスタ
ンバイ電流を減少できるだけでなく、ワードラインの活
性化の時間を短縮することができる。
Mセルのセルノードが接地電圧に充分に再充電される時
点で、読み出し/書き込み動作時に選択されたワードラ
インを非活性化させることにより、ワードラインの活性
化期間を短縮することができる。その結果、一回の読み
出し/書き込み動作のために、2回のアクセス動作に相
応する時間が要求されるツインセル構造を有するSRA
M装置であっても、アクセス時間を短縮でき、アクセス
速度が早くなる。
インセル構造を採用したスタティックランダムアクセス
メモリであっても、そのメモリへのアクセス時間を短く
できるという効果がある。
る。
る。
る。
シュ動作のタイミング図である。
動作のタイミング図である。
ッシュ動作を説明するためのフローチャートである。
ュ動作時におけるセルノードの電圧変化及びビットライ
ンの電圧変化を示す図である。
し動作を示すフローチャートである。
作時におけるセルノードの電圧変化及びビットラインの
電圧変化を示す図である。
のアクセス時間を説明するための図である。
図である。
ング図である。
Claims (23)
- 【請求項1】 スタティックランダムアクセスメモリの
データアクセス方法であって、 第1セルトランジスタと第2セルトランジスタとに連結
されたワードラインを活性化させる工程と、 前記第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタ
に連結された第1ビットラインと、前記第2セルトラン
ジスタを通じて第2セルキャパシタに連結された第2ビ
ットラインとの電圧差を感知増幅する工程と、 前記第1又は第2ビットラインの電圧が所定の基準電圧
に到達する時に前記活性化されたワードラインを非活性
化させる工程と、を有することを特徴とする方法。 - 【請求項2】 前記第1セルトランジスタと前記第1セ
ルキャパシタは第1メモリセルを形成し、前記第2セル
トランジスタと前記第2セルキャパシタは第2メモリセ
ルを形成し、前記第1及び第2メモリセルはツインセル
を構成することを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 前記第1及び第2メモリセルは互いに相
補データを貯蔵することを特徴とする請求項2に記載の
方法。 - 【請求項4】 前記所定の基準電圧は、読み出し/書き
込み動作モードでは略0Vであることを特徴とする請求
項1乃至3のいずれか1項に記載の方法。 - 【請求項5】 前記所定の基準電圧は、リフレッシュ動
作モードでは、アレイ用電源電圧より0.3V乃至0.
4Vだけ低い電圧であることを特徴とする請求項1乃至
4のいずれか1項に記載の方法。 - 【請求項6】 スタティックランダムアクセスメモリに
おいてデータをリフレッシュする方法であって、 第1セルトランジスタと第2セルトランジスタとに連結
されたワードラインを活性化させる工程と、 前記第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタ
に連結された第1ビットラインと、前記第2セルトラン
ジスタを通じて第2セルキャパシタに連結された第2ビ
ットラインとの電圧差を感知増幅する工程と、 前記第1及び第2ビットラインの中、ハイレベルデータ
に対応する、いずれか一つの電圧が所定の基準電圧に到
達したかを判別する工程と、 前記ハイレベルデータに対応するビットラインの電圧が
前記所定の基準電圧に到達した時に、前記活性化された
ワードラインを非活性化させる工程と、を有することを
特徴とする方法。 - 【請求項7】 前記第1セルトランジスタと前記第1セ
ルキャパシタは第1メモリセルを形成し、前記第2セル
トランジスタと前記第2セルキャパシタは第2メモリセ
ルを形成し、前記第1及び第2メモリセルはツインセル
を構成することを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 【請求項8】 前記第1及び第2メモリセルは互いに相
補データを貯蔵することを特徴とする請求項7に記載の
方法。 - 【請求項9】 前記所定の基準電圧は、リフレッシュ動
作モードでは、アレイ用電源電圧より0.3V乃至0.
4Vだけ低い電圧であることを特徴とする請求項6乃至
8のいずれか1項に記載の方法。 - 【請求項10】 スタティックランダムアクセスメモリ
のデータを読み出す方法であって、 第1セルトランジスタと第2セルトランジスタとに連結
されたワードラインを活性化させる工程と、 前記第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタ
に連結された第1ビットラインと、前記第2セルトラン
ジスタを通じて第2セルキャパシタに連結された第2ビ
ットラインとの電圧差を感知増幅する工程と、 前記第1及び第2ビットライン上の電圧を対応する入出
力ラインに各々伝達する工程と、 前記第1及び第2ビットラインの中、ローレベルデータ
に対応する、ビットラインの電圧が所定の基準電圧に到
達した時、前記活性化されたワードラインを非活性化さ
せる工程と、 を有することを特徴とする方法。 - 【請求項11】 前記第1セルトランジスタと前記第1
セルキャパシタは第1メモリセルを形成し、前記第2セ
ルトランジスタと前記第2セルキャパシタは第2メモリ
セルを形成し、前記第1及び第2メモリセルはツインセ
ルを構成することを特徴とする請求項10に記載の方
法。 - 【請求項12】 前記第1及び第2メモリセルは、互い
に相補データを貯蔵することを特徴とする請求項11に
記載の方法。 - 【請求項13】 前記所定の基準電圧は、略0Vである
ことを特徴とする請求項10乃至12のいずれか1項に
記載の方法。 - 【請求項14】 スタティックランダムアクセスメモリ
にデータを書き込む方法であって、 第1セルトランジスタと第2セルトランジスタとに連結
されたワードラインを活性化させる工程と、 第1及び第2入出力ライン上のデータビットを第1及び
第2ビットラインに各々伝達する工程と、 前記第1セルトランジスタを通じて第1セルキャパシタ
に連結された前記第1ビットラインと、前記第2セルト
ランジスタを通じて第2セルキャパシタに連結された前
記第2ビットラインとの電圧差を感知増幅する工程と、 前記第1及び第2ビットラインの中、ローレベルデータ
に対応する、ビットラインの電圧が所定の基準電圧に到
達した時、前記活性化されたワードラインを非活性化さ
せる工程と、を有することを特徴とする方法。 - 【請求項15】 前記第1セルトランジスタと前記第1
セルキャパシタは第1メモリセルを形成し、前記第2セ
ルトランジスタと前記第2セルキャパシタは第2メモリ
セルを形成し、前記第1及び第2メモリセルはツインセ
ルを構成することを特徴とする請求項14に記載の方
法。 - 【請求項16】 前記第1及び第2メモリセルは、互い
に相補データを貯蔵することを特徴とする請求項15に
記載の方法。 - 【請求項17】 前記所定の基準電圧は、略0Vである
ことを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に
記載の方法。 - 【請求項18】 行と列とのマトリックス状に配列され
る複数のツインセルを含むメモリセルアレイであって、
前記複数のツインセルのそれぞれは第1メモリセルと第
2メモリセルとを含み、前記第1メモリセルは所定の行
に連結される第1セルトランジスタと前記第1セルトラ
ンジスタを通じて第1ビットラインに連結される第1セ
ルキャパシタとを具備し、前記第2メモリセルは前記行
に共通に連結される第2セルトランジスタと前記第2セ
ルトランジスタを通じて第2ビットラインに連結される
第2セルキャパシタとを具備し、前記第1及び第2ビッ
トラインは前記列の中いずれか一つに対応し、 行のアドレスに応答して前記行の中いずれか一つを活性
化させる行選択回路と、 感知イネーブル信号に応答して各選択列の前記第1及び
第2ビットラインの間の電圧差を感知増幅する感知増幅
回路と、 リフレッシュ動作モードの間、前記各選択列の第1及び
第2ビットラインの中いずれか一つの電圧が所定の基準
電圧に到達したかを検出する検出手段とを有し、 前記検出手段は前記各選択列の第1及び第2ビットライ
ンの中いずれか一つの電圧が前記所定の基準電圧に到達
した時、前記活性化された行を非活性化させることを特
徴とするスタティックランダムアクセスメモリ。 - 【請求項19】 前記検出手段は、 前記所定の基準電圧を発生する基準電圧発生回路と、 基準ワードラインに連結され、ハイレベルデータを貯蔵
する基準メモリセルと、 リフレッシュイネーブル信号に応答して前記基準ワード
ラインを駆動する駆動回路と、 前記リフレッシュ動作モード時、前記感知イネーブル信
号に応答して検出イネーブル信号を発生する信号発生回
路と、 前記基準メモリセルの基準トランジスタと基準キャパシ
タとのセルノードに連結され、前記セルノードの電圧が
前記所定の基準電圧に到達したかを検出する電圧検出回
路を含み、前記セルノードの電圧が前所定の記基準電圧
に到達すると、前記活性化された行を前記電圧検出回路
により非活性化することを特徴とする請求項18に記載
のスタティックランダムアクセスメモリ。 - 【請求項20】 前記所定の基準電圧は、アレイ用電源
電圧より0.3V乃至0.4Vだけ低い電圧であること
を特徴とする請求項18又は19に記載のスタティック
ランダムアクセスメモリ。 - 【請求項21】 前記基準ワードラインは、前記セルノ
ードがアレイ用電源電圧まで充電された後非活性化され
ることを特徴とする請求項19に記載のスタティックラ
ンダムアクセスメモリ。 - 【請求項22】 行と列とのマトリックス状に配列され
る複数のツインセルを含むメモリセルアレイであって、
前記複数のツインセルのそれぞれは第1メモリセルと第
2メモリセルとを含み、前記第1メモリセルは所定の行
に連結される第1セルトランジスタと前記第1セルトラ
ンジスタを通じて第1ビットラインに連結される第1セ
ルキャパシタとを具備し、前記第2メモリセルは前記行
に共通に連結される第2セルトランジスタと前記第2セ
ルトランジスタを通じて第2ビットラインに連結される
第2セルキャパシタとを具備し、前記第1及び第2ビッ
トラインは前記列の中いずれか一つに対応し、 行のアドレスに応答して前記行の中いずれか一つを活性
化させる行選択回路と、 感知イネーブル信号に応答して各選択列の第1及び第2
ビットライン間の電圧差を感知増幅する感知増幅回路
と、 読み出し動作時、各選択列の第1及び第2ビットライン
上の増幅された電圧を対応する入出力ラインに伝達し、
書き込み動作時、前記入出力ライン上のデータビットを
各選択列の第1及び第2ビットラインに伝達する列ゲー
ト回路とを有し、 前記活性化された行は、前記読み出し及び書き込み動作
時、前記各選択列の第1及び第2ビットラインの中、ロ
ーレベルデータに対応する、ビットラインの電圧が所定
の基準電圧に到達した時に非活性化されることを特徴と
するスタティックランダムアクセスメモリ。 - 【請求項23】 前記所定の基準電圧は、略0Vである
ことを特徴とする請求項22に記載のスタティックラン
ダムアクセスメモリ。
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