JP2003229263A

JP2003229263A - 発光装置及び発光方法

Info

Publication number: JP2003229263A
Application number: JP2002023438A
Authority: JP
Inventors: Yuji Ichinohe; 裕司一戸
Original assignee: Ulvac Inc
Current assignee: Ulvac Inc
Priority date: 2002-01-31
Filing date: 2002-01-31
Publication date: 2003-08-15

Abstract

(57)【要約】【課題】電極や有機薄膜に欠陥部分があったとしても、
全体の発光量の低下が少ない発光装置を得る。【解決手段】本発明の発光装置１０では、アノード電極
１３が複数本に分離されており、各アノード電極１３に
同じ電圧を印加することによって、有機薄膜１６で構成
された発光単位を全て発光させ、各発光単位から放射さ
れる光によって一つの照明光が構成される。発光単位を
構成する有機薄膜１６は互いに分離されており、一つの
有機薄膜１６に欠陥があったとしても、周囲の有機薄膜
１６は影響を受けない。また、アノード電極１３も複数
に分離されているので、１本のアノード電極１３に欠陥
があっても他のアノード電極１３に影響はない。このよ
うに、本発明の発光装置１０では、欠陥があったとして
も全体の光量の低下が少ない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、有機ＥＬ素子の分
野にかかり、特に、有機ＥＬ素子を発光装置に用いる技
術に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、発光装置として、電極間に配置さ
れた有機薄膜を有し、該電極間に電圧を印加することに
よって有機薄膜を発光させる発光装置が注目されてい
る。図１１の符号１１０は従来技術の発光装置を示して
いる。

【０００３】発光装置１１０は１枚の透明な基板１１１
と、基板１１１表面に形成された１枚の透明なアノード
電極１１３と、アノード電極１１３表面に形成された１
枚の有機薄膜１１６と、有機薄膜１１６表面に形成され
た１枚のカソード電極１１９とを有している。

【０００４】アノード電極１１３とカソード電極１１９
との間に電圧を印加すると、有機薄膜１１６に電流が流
れて発光し、有機薄膜１１６から放射された光が透明な
アノード電極１１３と透明な基板１１１とを透過して発
光装置１１０外部へ放射されるようになっている。

【０００５】発光装置１１０全体から得られる光量を大
きくするために、有機薄膜１１６のアノード電極１１３
とカソード電極１１９とで挟まれた部分の面積が大きく
されており、この発光装置１１０では発光する部分の面
積が大きい。

【０００６】ところで、アノード電極１１３としては、
一般にＩＴＯ（インジウム錫酸化物）薄膜が用いられて
いるが、ＩＴＯ薄膜を大面積に成膜すると、成膜の際に
生じる応力によりＩＴＯ薄膜にひび等の欠陥が生じやす
い。

【０００７】アノード電極１１３の一縁に外部電源を接
続し、アノード電極１１３全体に電流を流すようになっ
ているため、ひび等の欠陥が生じたアノード電極１１３
に電圧を印加すると、欠陥が生じた部分に電流が流れ
ず、その部分が発光しないだけではなく、欠陥周囲の部
分に外部電源から電流が流れ難くなり、その部分の発光
量が小さくなる。

【０００８】また、有機薄膜１１６は成膜の際に不純物
が混入しやすく、その場合も、有機薄膜１１６の不純物
が存する部分と、その周囲の部分の発光量が小さくな
る。いずれにしろ、従来の発光装置１１０では、アノー
ド電極１１３や有機薄膜１１６に欠陥部分よりも大きい
面積で発光不良が起こりやすく、発光装置１１０から得
られる光量が大幅に減少してしまう。一方、パッシブマ
トリクス型有機ＥＬ素子においては、クロストークと呼
ばれる異常発光の問題が最近とりざたされている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来技術
の不都合を解決するために創作されたものであり、その
目的は、発光不良が少ない有機ＥＬ素子を製造する技術
を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、基板と、前記基板上に互い
に平行に配置された複数本の第一の電極と、前記各第一
の電極に対して垂直に配置された複数本の第二の電極
と、有機薄膜で構成され、前記第一の電極と第二の電極
とが交差する位置毎に設けられた発光単位とを有し、前
記第一の電極と前記第二の電極との間に電圧を印加する
と、前記発光単位を構成する有機薄膜の少なくとも一部
が発光する発光装置であって、前記各発光単位を構成す
る有機薄膜は前記各発光単位毎に分離され、前記第二の
電極は、前記第一の電極と交差する位置では、前記発光
単位を構成する有機薄膜上に密着された発光装置であ
る。請求項２記載の発明は、請求項１記載の発光装置で
あって、前記発光単位を構成する有機薄膜は、前記第二
の電極の幅方向の両側にはみ出た縁部分を有する発光装
置である。請求項３記載の発明は、請求項２記載の発光
装置であって、前記第二の電極の幅方向の縁から前記縁
部分の幅方向の縁までの距離は、前記発光単位上の前記
第二の電極の幅の大きさの５％以上１０％以下の範囲に
形成された発光装置である。請求項４記載の発明は、請
求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の発光装置であ
って、前記第一の電極はインジウム錫酸化物の薄膜から
なる発光装置である。請求項５記載の発明は、基板と、
前記基板上に配置された複数本の第一の電極と、少なく
とも一部が前記第一の電極上に配置された有機薄膜と、
少なくとも一部が前記有機薄膜上に配置された第二の電
極とを有する発光装置の、前記第一の電極と前記第二の
電極との間に電圧を印加し、前記有機薄膜の少なくとも
一部を発光させる発光方法であって、前記複数の第一の
電極に同じ大きさの電圧を印加する発光方法である。

【００１１】本発明は上記のように構成されており、発
光単位を構成する有機薄膜が互いに分離されているの
で、一つの発光単位を構成する有機薄膜に、不純物の混
入等の欠陥が生じた場合、欠陥が生じた発光単位の周囲
は影響を受けずに発光する。

【００１２】第一の電極は複数本に分離されているた
め、第一の電極がＩＴＯのようにもろい物質で構成さ
れ、第一の電極にひび等の欠陥が生じた場合でも、欠陥
が生じた第一の電極に隣接する他の第一の電極には影響
が生ない。このように、本発明の発光装置では、発光単
位や第一の電極に欠陥があったとしても、その周囲に影
響を与えないので、発光不良の面積が大きくならない。

【００１３】本発明の発光方法によれば、各第一の電極
に同時に同じ電圧を印加させることによって、全ての発
光単位が同時に同じ光量で発光し、各発光単位から同時
に放射される光によって発光装置の照明光が構成され
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明による発光装置の
一例をその製造工程と共に説明する。図１（ａ）はガラ
スからなる矩形の基板１１の平面図であり、図６（ａ）
は図１（ａ）のＡ−Ａ切断線断面図を、図７（ａ）は図
１（ａ）のＢ−Ｂ切断線断面図をそれぞれ示している。

【００１５】図１（ａ）を参照し、基板１１表面には複
数本の直線状のアノード電極（第一の電極）１３が同じ
間隔を空けて配置されており、各アノード電極１３の幅
は略等しくなっている。ここでは、アノード電極１３は
ＩＴＯ薄膜で構成されている。また、図６（ａ）を参照
し、アノード電極１３間の隙間には基板１１表面が露出
している。

【００１６】図４の符号８０は成膜装置を示しており、
成膜装置８０は真空槽８１と、真空槽８１内の底壁側に
配置された蒸着源８５とを有している。アノード電極１
３が形成された状態の基板１１を成膜装置８０の真空槽
８１内へ搬入し、該基板１１のアノード電極１３が形成
された面を蒸着源８５に向けて水平に配置し、金属板か
らなるマスク３０を基板１１のアノード電極１３が形成
された側の面の近傍に配置し、マスク３０と基板１１と
を相対的に位置合わせする。

【００１７】図１（ｂ）は位置合わせされた状態の平面
図であり、図６（ｂ）は図１（ｂ）のＡ−Ａ切断線断面
図を示し、図７（ｂ）は図１（ｂ）のＢ−Ｂ切断線断面
図を示している。図１（ｂ）を参照し、マスク３０は正
方形の貫通孔からなる複数の開口３２と、該開口３２間
の金属板で構成された遮蔽部３１とを有しており、開口
３２は互いに間隔を空けて形成されている。

【００１８】マスク３０が位置合わせされた状態では、
各アノード電極１３に沿った方向に複数の開口３２が並
び、各開口３２の底面にアノード電極１３が露出した状
態になる。開口３２の１辺の大きさは、アノード電極１
３の幅よりも大きく、位置合わせされた状態では各開口
３２の中心は、アノード電極１３の幅方向の中心に位置
するので、開口３２内にはアノード電極１３の他、アノ
ード電極１３の長手方向両側に位置する基板１１の表面
部分が露出する。

【００１９】蒸着源８５には蒸着材料である有機材料が
収容されており、位置合わせ後、蒸着材料を昇温させて
蒸着材料の蒸気を発生させると、開口３２を通った蒸気
は、アノード電極１３の表面とアノード電極１３両側位
置の基板１１の表面に到達すると共に、アノード電極１
３の側面にも回り込み、アノード電極１３表面及び側面
と、アノード電極１３の長手方向の両側に位置する基板
１１表面とを覆う有機薄膜が形成される。ここでは、有
機薄膜の膜厚は０．２μｍになるように蒸着を行った
が、有機薄膜５６の膜厚はそれ以下でもよい。

【００２０】開口３２の間隔は充分に離れているので、
蒸気が回り込みがあったとしても、遮蔽部３１で隠され
た部分には有機薄膜が形成されないので、有機薄膜は互
いに分離された状態になる。図２（ｃ）は有機薄膜１６
が形成された状態の平面図であり、図６（ｃ）は図２
（ｃ）のＡ−Ａ切断線断面図を示し、図７（ｃ）は図２
（ｃ）のＢ−Ｂ切断線断面図を示している。

【００２１】マスク３０の開口３２は行列状に配置され
ており、有機薄膜１６は開口３２の位置に応じた位置に
形成されるので、有機薄膜１６はアノード電極１３上に
一列に並ぶだけではなく、アノード電極１３と直角方向
にも一列に並ぶことになる。その状態の基板１１を図５
に示すスパッタ装置９０内へ搬入する。スパッタ装置９
０は真空槽９１を有しており、真空槽９１内の天井側に
はアルミニウムからなるターゲットが配置されている。

【００２２】基板１１を真空槽９１内に搬入し、有機薄
膜１６が形成された面がターゲット９５と対向するよう
に基板１１を水平配置し、基板１１の有機薄膜１６が形
成された側の面の近傍に、金属板からなるマスク３５を
水平に配置し、基板１１とマスク３５とを相対的に位置
合わせする。

【００２３】図２（ｄ）は位置合わせされた後の状態を
示す平面図であり、図６（ｄ）は図２（ｄ）のＡ−Ａ切
断線断面図である。マスク３５は複数の開口３７と、開
口３７間の金属板で構成された遮蔽部３６とを有してい
る。各開口３７は直線状に成形されており、各開口３７
は互いに平行に延設されている。アノード電極１３とは
直角方向に並んだ有機薄膜１６の列同士の間隔は互いに
等しくなっており、それらの列の間隔と開口３７同士の
間隔とは等しくなっている。

【００２４】マスク３５が位置合わせされた状態では、
開口３７はアノード電極１３と直角方向に向けられ、か
つ有機薄膜１６上に位置するので、各開口３７の底面に
は有機薄膜１６の表面の一部と、基板１１の表面の一部
とが露出する。図７（ｄ）は図２（ｄ）のＢ−Ｂ切断線
断面図であり、開口３７の幅は、有機薄膜１６の開口３
７の幅方向の大きさよりも小さくされているので、有機
薄膜１６の開口３７の幅方向の縁部分１８ａ、１８ｂは
両方とも遮蔽部３６で覆われており、有機薄膜１６のう
ち、２つの縁部分１８ａ、１８ｂの間に位置する中央部
分１７のみが開口３７内に露出している。

【００２５】マスク３５の位置合わせによって、有機薄
膜１６の中心が開口３７の幅方向の中心に位置されてい
るから、２つの縁部分１８ａ、１８ｂの開口３７の幅方
向の長さｗ₁、ｗ₂は同じ大きさである。マスク３５が位
置合わせされた状態でターゲット９５をスパッタリング
すると、遮蔽部３６で覆われた部分の表面にはスパッタ
粒子が付着せず、開口３７内に露出する有機薄膜１６上
と、基板１１上にだけスパッタ粒子が付着し、開口３７
と同形状のアルミニウム薄膜からなるカソード電極が有
機薄膜１６の表面及び側面と、基板１１の表面に密着し
て形成される。

【００２６】図６（ｅ）と図７（ｅ）の符号１９はその
カソード電極（第二の電極）を示している。ここではカ
ソード電極１９の膜厚は０．１μｍであるが、カソード
電極１９をスパッタ法により成膜する場合にはその膜厚
は０．１μｍ以上０．２μｍ以下になる。

【００２７】図６（ｅ）は、カソード電極１９が形成さ
れる前の状態を示す図２（ｄ）のＡ−Ａ線に相当する位
置の断面図であり、カソード電極１９が形成された後の
状態を示している。上述したように開口３７はアノード
電極１３とは直角方向に向けられており、カソード電極
１９は開口３７と対応する位置に形成されるため、カソ
ード電極１９はアノード電極１３とは直角方向に位置す
る。

【００２８】アノード電極１３のうち、有機薄膜１６が
形成されていない部分は遮蔽部３６で覆われており、開
口３７内にアノード電極１３の表面が露出しないので、
アノード電極１３の表面にカソード電極１９が形成され
ることがなく、カソード電極１９とアノード電極１３と
の間が短絡しない。

【００２９】上述したように開口３７はアノード電極１
３とは直角方向に位置し、アノード電極１３のうち、開
口３７底面に位置し、開口３７と交差する部分には有機
薄膜１６が形成されており、カソード電極１９は開口３
７と対応する位置に形成されるので、アノード電極１３
とカソード電極１９とが交差する位置には有機薄膜１６
が位置する。

【００３０】図７（ｅ）は、カソード電極１９が形成さ
れる前の状態を示す図２（ｄ）のＢ−Ｂ線に相当する位
置の断面図であり、カソード電極１９が形成された後の
状態を示している。また、カソード電極１９は遮蔽部３
６で覆われた部分には形成されないので、有機薄膜１６
のうち、中央部分１７の両側に位置し、遮蔽部３６で覆
われた両方の縁部分１８ａ、１８ｂはカソード電極１９
の幅方向の両側から長さｗ₁、ｗ₂だけはみ出したことに
なる。

【００３１】それらの長さｗ₁、ｗ₂は、カソード電極１
９の幅ｄの５％以上１０％以下と充分に大きくなってお
り、マスク３５と基板１１の相対的な位置のずれによっ
て、カソード電極１９がずれて形成されたとしても、そ
のずれは長さｗ₁、ｗ₂に吸収されるので、カソード電極
１９が縁部分１８ａ、１８ｂを超えてアノード電極１３
表面に形成されることがなく、カソード電極１９とアノ
ード電極１３とが短絡することがない。

【００３２】図３（ｅ）は本発明の発光装置１０の平面
図を示している。この発光装置１０では、アノード電極
１３の端部とカソード電極１９の端部がそれぞれ基板１
１の四辺近傍に位置しており、基板１１の四辺近傍のア
ノード電極１３の端部とカソード電極１９の端部よりも
内側の位置に、不図示の接着剤層がリング状に形成され
ている。

【００３３】接着剤層はアノード電極１３端部の表面
と、カソード電極１９の端部の表面と、基板１１の表面
に密着し、該接着剤層によって不図示の蓋部材が基板１
１上に固定されている。全ての有機薄膜１６は接着剤層
の内側に位置しており、接着剤層の内側に位置する部分
は蓋部材と基板１１によって外部の大気から封止される
ので、有機薄膜１６が大気と接触して化学的劣化するこ
とはない。

【００３４】上述したように、接着剤層はアノード電極
１３の端部とカソード電極１９は接着剤層よりも内側に
位置しており、アノード電極１３の端部とカソード電極
１９の端部は基板１１の四辺近傍で露出し、それらの端
部に外部電源を接続可能になっている。

【００３５】本発明の発光装置１０を照明装置として用
いる場合には、全てのアノード電極１３に同じ電位の電
圧を印加すると共に、全てのカソード電極１９に同じ電
圧を印加し、アノード電極１３とカソード電極１９との
間に電位差を生じさせる。具体的には、全てのアノード
電極１３端部と全てのカソード電極１９の端部とをそれ
ぞれ外部電源に接続し、全てのアノード電極１３に同じ
大きさの正の電圧を、全てのカソード電極１９に同じ大
きさの負の電圧を印加すると、カソード電極１９とアノ
ード電極１３とで挟まれた有機薄膜１６に電流が流れて
発光する。

【００３６】ここでは、アノード電極１３と基板１１は
それぞれ透明であり、各有機薄膜１６からアノード電極
１３側へ放射された光は、透明なアノード電極１３と透
明な基板１１とを透過して発光装置１０外部へそれぞれ
放射され、各有機薄膜１６から放射される光で発光装置
１０の照明光が構成される。

【００３７】このように、本発明の発光装置１０では、
全ての有機薄膜１６が発光するようになっており、一つ
の発光する部分を一発光単位とすると、一つ一つの有機
薄膜１６で発光装置１０の発光単位が構成されている。
発光単位を構成する有機薄膜１６は互いに分離されてい
るので、一つの発光単位に欠陥があったとしても、該発
光単位の周囲に位置する発光単位は影響を受けずに発光
する。

【００３８】また、各アノード電極１３も互いに分離さ
れているので、有機薄膜１６の場合と同様に、１本のア
ノード電極１３にひび等の欠陥があっても他のアノード
電極１３は影響を受けない。即ち、本発明の発光装置１
０では、有機薄膜１６やアノード電極１３の欠陥部分
が、その周囲の部分に影響しないので、発光装置１０全
体の光量の減少が少なくて済む。

【００３９】また、本発明の発光装置１０を表示装置と
して用いる場合には、電圧を印加するアノード電極１３
とカソード電極１９とをそれぞれ選択し、選択されたア
ノード電極１３と選択されたカソード電極１９との間に
電位差を発生させる。具体的には、選択されたアノード
電極１３に正の電圧を印加すると共に、選択されたカソ
ード電極１９に負の電圧を印加すると、それらのアノー
ド電極１３とカソード電極１９とが交差する位置の有機
薄膜１６のみが発光する。

【００４０】即ち、電圧を印加するアノード電極１３と
カソード電極１９とを選択することで発光単位を選択
し、選択された発光単位のみを発光させることで、文字
や図形を表示することができる。この場合も、発光単位
を構成する有機薄膜１６が互いに分離されているため、
一つの有機薄膜１６や１本のアノード電極１３に欠陥が
生じた場合も他の発光単位が影響が受けない。

【００４１】また、図３に示す発光装置１０では、有機
薄膜１６は互いに分離されているため、選択された有機
薄膜１６からその周囲に位置する有機薄膜１６に電流が
流れることがないので、選択された発光単位の周囲が光
る所謂クロストーク現象が起こらない。図３に示す発光
装置１０では、第一、第二の電極４３、４９が複数本に
分離されていたが、本発明はこれに限定されるものでは
ない。

【００４２】図８は本発明他の例の発光装置４０の平面
図である。この発光装置４０ではアノード電極４３を構
成する導電性材料を成膜し、パターニングによってアノ
ード電極４３を形成する際に、アノード電極４３を構成
させる導電性材料からなり、各アノード電極４３の一端
を短絡させる第一の接続端子４４が形成されており、第
一の接続端子４４に電圧を印加することで各アノード電
極４３に同じ電圧を印加してもよい。

【００４３】更に、図８に示すようにカソード電極４９
についても、アノード電極４３と同様に、各カソード電
極４９を構成する導電性材料を成膜する際に、カソード
電極４９を構成させる導電性材料からなり、各カソード
電極４９の一端を短絡させる第二の接続端子４５を形成
すれば、第二の接続端子４５に電圧を印加することで、
各カソード電極４９に同じ電圧を印加することができ
る。

【００４４】要するに、本発明の発光装置４０ではアノ
ード電極４３が複数本設け、各アノード電極４３に同じ
電圧を印加できれば良い。この場合も、図３に示した発
光装置１０のように、有機薄膜４６が分離していること
が望ましい。上述した発光方法では、図３に示す発光装
置１０を用い、各アノード電極１３に同じ電圧を印加す
ると共に各カソード電極１９に同じ電圧を印加したが、
本発明の発光方法はそれにされるものではなく、他の発
光装置を用いることができる。

【００４５】図９は本発明の発光方法に用いられる発光
装置５０の他の例の平面図であり、図７は図６のＣ−Ｃ
切断線断面図を示している。発光装置５０は矩形の基板
５１と、複数本のアノード電極５３と、有機薄膜５６
と、カソード電極５９とを有している。各アノード電極
５３は細長のＩＴＯ薄膜で構成され、基板５１上に互い
に平行に配置されており、アノード電極５３の間には基
板５１の表面が位置する。

【００４６】有機薄膜５６は、リング状のマスクによ
り、基板５１の四辺が、四辺の縁から所定距離だけ覆わ
れた状態で成膜されている。従って、有機薄膜５６は基
板５１の表面上では基板５１の縁からマスクの幅の分だ
け内側の領域に形成されるため有機薄膜５６の表面形状
はマスクのリング内周と同形状になる。

【００４７】また、有機薄膜５６は、マスクのリング内
周よりも内側に、アノード電極５３の表面及び側面とア
ノード電極５３間に位置する基板５１の表面が露出した
状態で形成されるため、アノード電極５３と基板５１の
露出した部分と密着する。

【００４８】他方、マスクのリング内周よりも外側はマ
スクによって全部覆われているため、有機薄膜５６は、
マスクのリング内周よりも外側では、マスクの除去と共
に除去されるので、マスクの内周よりも外側にはアノー
ド電極５３の端部と基板５１の縁部分は有機薄膜５６か
ら露出している。

【００４９】カソード電極５９は有機薄膜５６形成後、
有機薄膜５６の形成に用いた場合とは異なるマスクが基
板５１上に配置された状態で形成されている。そのマス
クは、基板５１の四辺のうち、アノード電極５３の端部
が位置する辺を縁から所定距離だけ覆っている。

【００５０】従って、アノード電極５３と、その間に位
置する基板５１の表面にはカソード電極５９が形成され
ず、カソード電極５９は有機薄膜５６表面及び有機薄膜
５６が覆われていない基板５１の縁部分の表面に密着し
て形成される。有機薄膜５６はアノード電極５３の表面
に密着して形成されているので、有機薄膜５６のうちア
ノード電極５３表面に位置する部分は、アノード電極５
３の表面とカソード電極５９の裏面とで挟まれた状態に
なる。

【００５１】有機薄膜５６は基板５１の縁からマスクの
幅の分だけ内側に形成されているので、有機薄膜５６よ
り外側の領域に接着剤を塗布し、不図示のリング状の接
着剤層を形成し、次いで、接着剤層上に不図示の蓋を載
せ、接着剤を硬化させると、有機薄膜５６は蓋と接着剤
層とで封止された空間に収容された状態になる。

【００５２】接着剤層は有機薄膜５６の外側であって、
基板５１の縁から所定距離だけ内側に位置するので、カ
ソード電極５９の先端とアノード電極５３の端部はそれ
ぞれ接着剤層から露出した状態になっている。アノード
電極５３の露出した部分とカソード電極５９の露出した
部分を外部電源にそれぞれ接続し、アノード電極５３と
カソード電極５９に電圧を印加すると、有機薄膜５６の
うち、アノード電極５３表面に位置し、アノード電極５
３とカソード電極５９とで挟まれた部分に電流が流れて
発光するようになっている。

【００５３】図３に示した発光装置１０の場合と同様
に、一つの発光する部分を一発光単位とすると、この発
光装置５０では、有機薄膜５６のアノード電極５３表面
に位置し、アノード電極５３とカソード電極５９とで挟
まれた部分で発光単位が構成されている。従って、この
発光装置５０では発光単位の平面形状はアノード電極５
３と同様の細長であり、その本数はアノード電極５３の
本数と同じ複数本である。

【００５４】この発光装置５０を照明装置として用いる
場合には、例えば全てのアノード電極５３に極性が同じ
で大きさも同じ電圧を印加すると共に、カソード電極５
９に逆極性の電圧を印加すると、各発光単位から同じ光
量の光が放射されるので、発光装置５０の輝度が面内均
一になる。

【００５５】この発光装置５０においても、アノード電
極５３が複数本に分離されており、１本のアノード電極
５３に欠陥があり、該アノード電極５３表面に位置する
発光単位が発光しない場合でも、隣接するアノード電極
５３は影響を受けずに電流が流れるので、欠陥が生じた
アノード電極５３の周囲に発光不良の部分が生じない。

【００５６】以上は、有機薄膜１６が一層構造の場合に
ついて説明したが、本発明はこれに限定されるものでは
なく、有機薄膜が２層以上の構造を有する場合も本発明
には含まれる。有機薄膜１６の成膜方法は真空蒸着法に
限定されるものではなく、例えば、インクジェットプリ
ンタを用いるインクジェット法や、スピンコート法等種
々の方法を用いることができる。

【００５７】カソード電極１９を成膜する方法もスパッ
タ法に限定されるものではなく、蒸着法やＣＶＤ法等の
成膜方法を用いることができる。カソード電極１９をス
パッタ法以外の方法で成膜する場合には、その膜厚は
０．２μｍ未満又は０．５μｍを超える場合もある。

【００５８】カソード電極１９を構成する物質はアルミ
ニウムに限定されるものではなく、金や銅等種々の導電
性材料を用いることができる。アノード電極１３を構成
する物質もＩＴＯに限定されるものではなく、要するに
透明な物質であればよく、酸化亜鉛（ＺｎＯ₂）、金
（Ａｕ）、銀（Ａｇ）等の導電性材料を用いることがで
きる。

【００５９】以上は、第一の電極であるアノード電極が
正、第二の電極であるカソード電極が負になるよう電圧
を印加する場合について説明したが、各電極の電圧極性
は特に限定されるものではなく、第一の電極が負、第二
の電極が正になるよう電圧を印加してもよいし、どちら
か一方の電極を接地電位においてもよい。

【００６０】本発明の発光装置１０では、アノード電極
１３とカソード電極１９とが交差する位置毎に発光単位
が設けられており、アノード電極１３とカソード電極１
９をより多くより広範囲に設ければ、発光単位がより多
くより広範囲に設けられることになるので、発光装置１
０の発光する領域が大きくなる。

【００６１】

【発明の効果】本発明によれば、アノード電極や発光単
位に欠陥がある場合であっても欠陥部分以外の部分の発
光に影響がでない発光装置を得ることができる。アノー
ド電極をＩＴＯなどもろい物質で構成した場合、平面形
状が大きくなるほどひびが生じやすくなる。本発明で
は、発光する領域の面積を大きくしたい場合であって
も、従来のようにアノード電極の平面形状を大きくする
必要がなく、アノード電極の本数を多くすれば良いの
で、アノード電極の欠陥が少なくて済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）、（ｂ）：本発明の第一例の発光装置の
製造工程の前半を説明する平面図

【図２】（ｃ）、（ｄ）：本発明の第一例の発光装置の
製造工程の中半を説明する平面図

【図３】（ｅ）：本発明の第一例の発光装置の製造工程
の後半を説明する平面図

【図４】本発明に用いる真空蒸着装置の一例を説明する
ための図

【図５】本発明に用いるスパッタ装置の一例を説明する
ための図

【図６】（ａ）〜（ｅ）：図１〜図３のＡ−Ａ切断線断
面図

【図７】（ａ）〜（ｅ）：図２、図３のＢ−Ｂ切断線断
面図

【図８】本発明第二例の発光装置を説明する平面図

【図９】本発明の第三例の発光装置を説明する平面図

【図１０】図９のＣ−Ｃ切断線断面図

【図１１】従来技術の発光装置を説明する斜視図

【符号の説明】

１０、４０、５０……発光装置１１、４１、５１……基板１３、４３、５３……アノード電極（第一の電極）１９、４９、５９……カソード電極（第二の電極）１６、４６、５６……有機薄膜１８ａ、１８ｂ……縁部分２１ａ、２１ｂ……縁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板と、前記基板上に互いに平行に配置された複数本の第一の電
極と、前記各第一の電極に対して垂直に配置された複数本の第
二の電極と、有機薄膜で構成され、前記第一の電極と第二の電極とが
交差する位置毎に設けられた発光単位とを有し、前記第一の電極と前記第二の電極との間に電圧を印加す
ると、前記発光単位を構成する有機薄膜の少なくとも一
部が発光する発光装置であって、前記各発光単位を構成する有機薄膜は前記各発光単位毎
に分離され、前記第二の電極は、前記第一の電極と交差する位置で
は、前記発光単位を構成する有機薄膜上に密着された発
光装置。
【請求項２】前記発光単位を構成する有機薄膜は、前記
第二の電極の幅方向の両側にはみ出た縁部分を有する請
求項１記載の発光装置。
【請求項３】前記第二の電極の幅方向の縁から前記縁部
分の幅方向の縁までの距離は、前記発光単位上の前記第
二の電極の幅の大きさの５％以上１０％以下の範囲に形
成された請求項２記載の発光装置。
【請求項４】前記第一の電極はインジウム錫酸化物の薄
膜からなる請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の
表示装置
【請求項５】基板と、前記基板上に配置された複数本の
第一の電極と、少なくとも一部が前記第一の電極上に配
置された有機薄膜と、少なくとも一部が前記有機薄膜上
に配置された第二の電極とを有する発光装置の、前記第
一の電極と前記第二の電極との間に電圧を印加し、前記
有機薄膜の少なくとも一部を発光させる発光方法であっ
て、前記複数の第一の電極に同じ大きさの電圧を印加する発
光方法。