JP2003305301A - 溶剤分離装置及びこれを使用した洗浄システム - Google Patents
溶剤分離装置及びこれを使用した洗浄システムInfo
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Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で迅速且つ効率良く溶剤分離を可
能ならしめる溶剤分離装置の提供、及び、この溶剤分離
装置を使用したコンパクト化された洗浄システムの提
供。 【解決手段】 側面視逆へ字状の箱体を下降傾斜状に設
置し、箱体内部を混合液が流下される仕切板で上下の２
層に仕切ると共に、仕切板の長さ方向に複数の熱電導性
の障壁板を特定間隔で且つその幅方向でジグザグ状の流
路が形成されるように植設する。この際各障壁板は正面
視Ｔ字型に形成し、その上下部が上下各層へ夫々れ一定
長さ寸法比の関係で突出されるものとなされる。
能ならしめる溶剤分離装置の提供、及び、この溶剤分離
装置を使用したコンパクト化された洗浄システムの提
供。 【解決手段】 側面視逆へ字状の箱体を下降傾斜状に設
置し、箱体内部を混合液が流下される仕切板で上下の２
層に仕切ると共に、仕切板の長さ方向に複数の熱電導性
の障壁板を特定間隔で且つその幅方向でジグザグ状の流
路が形成されるように植設する。この際各障壁板は正面
視Ｔ字型に形成し、その上下部が上下各層へ夫々れ一定
長さ寸法比の関係で突出されるものとなされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品、精密部
品、プリント配線基盤、金属部品その他の各種被洗浄物
（ワーク）を洗浄するに際し、洗浄剤として使用される
炭化水素系溶剤と、その際ワークに付着した炭化水素系
溶剤を除去するために使用されるフッ素系溶剤とが混合
した混合液から前記炭化水素系溶剤とフッ化水素系溶剤
を夫々れ分離回収するようになす溶剤分離装置及びこの
分離装置を使用した洗浄システムに関する。
品、プリント配線基盤、金属部品その他の各種被洗浄物
（ワーク）を洗浄するに際し、洗浄剤として使用される
炭化水素系溶剤と、その際ワークに付着した炭化水素系
溶剤を除去するために使用されるフッ素系溶剤とが混合
した混合液から前記炭化水素系溶剤とフッ化水素系溶剤
を夫々れ分離回収するようになす溶剤分離装置及びこの
分離装置を使用した洗浄システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ワークを洗浄する際には、炭化
水素系溶剤を貯留した炭化水素系溶剤槽内にワークを浸
漬洗浄させた後に、このワークを炭化水素系溶剤槽内か
ら引き上げて、次段のパーフルオロカーボン（ＰＦ
Ｃ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）或いはハイ
ドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）などのフッ素系溶剤を
貯留したフッ素系溶剤槽内へワークを浸漬して、ワーク
に付着した炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤で剥離、除去
する濯ぎ処理が行われている。
水素系溶剤を貯留した炭化水素系溶剤槽内にワークを浸
漬洗浄させた後に、このワークを炭化水素系溶剤槽内か
ら引き上げて、次段のパーフルオロカーボン（ＰＦ
Ｃ）、ハイドロフルオロカーボン（ＨＦＣ）或いはハイ
ドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）などのフッ素系溶剤を
貯留したフッ素系溶剤槽内へワークを浸漬して、ワーク
に付着した炭化水素系溶剤をフッ素系溶剤で剥離、除去
する濯ぎ処理が行われている。
【０００３】このため、上述のフッ素系溶剤槽内にあっ
てはフッ素系溶剤と炭化水素系溶剤とが混合した混合液
が形成されるものとなる。この混合液から、フッ素系溶
剤と炭化水素系溶剤とを分離回収するに際し、従来に於
いては、これらの比重差（フッ素系溶剤の比重１．５前
後、炭化水素系溶剤の比重０．８前後）を利用して、対
流により静置分離させる手段がとられていたが、多大な
時間を必要とする関係上、充分な分離能力が得られない
という問題点があった。
てはフッ素系溶剤と炭化水素系溶剤とが混合した混合液
が形成されるものとなる。この混合液から、フッ素系溶
剤と炭化水素系溶剤とを分離回収するに際し、従来に於
いては、これらの比重差（フッ素系溶剤の比重１．５前
後、炭化水素系溶剤の比重０．８前後）を利用して、対
流により静置分離させる手段がとられていたが、多大な
時間を必要とする関係上、充分な分離能力が得られない
という問題点があった。
【０００４】これに対し、特開平８−１６８６０１号公
報には、フッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との沸点温度差
（フッ素系溶剤：６０℃前後、炭化水素系溶剤：１００
℃以上）を利用した溶剤分離装置が記載されている。特
開平８−１６８６０１号公報記載の溶剤分離装置は、フ
ッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との混合液を加熱手段を設
けた流下板上へ流し、流下板との接触により低沸点のフ
ッ素系溶剤を蒸気化させると共に、流下板の下方に炭化
水素系溶剤回収槽を形成して炭化水素系溶剤を貯留回収
するものである。この際、フッ素系溶剤の蒸気は同装置
内に設けた冷却液化手段により液化され、上記炭化水素
系溶剤回収槽に対して区画形成されたフッ素系溶剤回収
槽に液体となして分離回収されるものとなる。しかしな
がら、この溶剤分離装置では、同じ装置内でフッ素系溶
剤の蒸気化処理と冷却液化処理が行われるため、分離精
度及び作業効率が著しく劣るものであった。
報には、フッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との沸点温度差
（フッ素系溶剤：６０℃前後、炭化水素系溶剤：１００
℃以上）を利用した溶剤分離装置が記載されている。特
開平８−１６８６０１号公報記載の溶剤分離装置は、フ
ッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との混合液を加熱手段を設
けた流下板上へ流し、流下板との接触により低沸点のフ
ッ素系溶剤を蒸気化させると共に、流下板の下方に炭化
水素系溶剤回収槽を形成して炭化水素系溶剤を貯留回収
するものである。この際、フッ素系溶剤の蒸気は同装置
内に設けた冷却液化手段により液化され、上記炭化水素
系溶剤回収槽に対して区画形成されたフッ素系溶剤回収
槽に液体となして分離回収されるものとなる。しかしな
がら、この溶剤分離装置では、同じ装置内でフッ素系溶
剤の蒸気化処理と冷却液化処理が行われるため、分離精
度及び作業効率が著しく劣るものであった。
【０００５】従って、特開平８−１６８６０１号公報に
記載の溶剤分離装置をワークの洗浄システムに組み込む
場合、例えば図５に示すように、濯ぎ乾燥部１１と溶剤
分離装置１’との間にプールタンクを設け、フッ素系溶
剤と炭化水素系溶剤の比重差を利用した静置分離を行
い、混合液中のフッ素系溶剤を幾らか分離除去させるこ
とにより、溶剤分離装置１’に於ける分離能力を補った
りしていた。
記載の溶剤分離装置をワークの洗浄システムに組み込む
場合、例えば図５に示すように、濯ぎ乾燥部１１と溶剤
分離装置１’との間にプールタンクを設け、フッ素系溶
剤と炭化水素系溶剤の比重差を利用した静置分離を行
い、混合液中のフッ素系溶剤を幾らか分離除去させるこ
とにより、溶剤分離装置１’に於ける分離能力を補った
りしていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した問題点を解決
するために、本発明はワークの洗浄に使用したフッ素系
溶剤と炭化水素系溶剤とが混合した混合液から沸点の差
を利用してフッ素系溶剤と炭化水素系溶剤とを分離回収
するにあたり、簡便な構成で各溶剤の分離精度及び分離
効率を向上させることができる溶剤分離装置を提供する
ことを目的とする。
するために、本発明はワークの洗浄に使用したフッ素系
溶剤と炭化水素系溶剤とが混合した混合液から沸点の差
を利用してフッ素系溶剤と炭化水素系溶剤とを分離回収
するにあたり、簡便な構成で各溶剤の分離精度及び分離
効率を向上させることができる溶剤分離装置を提供する
ことを目的とする。
【０００７】また、この溶剤分離装置で分離回収した炭
化水素系溶剤とフッ素系溶剤の蒸気を再利用するさい
の、コンパクト化される洗浄システムを提供することを
目的とする。
化水素系溶剤とフッ素系溶剤の蒸気を再利用するさい
の、コンパクト化される洗浄システムを提供することを
目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、フッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との混合
液からこれら溶剤を夫々れ分離回収する溶剤分離装置で
あって、側面視逆へ字状の箱体を下降傾斜状に設置し、
該箱体内部を前記混合液が流下される仕切板で上下の２
層に仕切ると共に、該仕切板の長さ方向に複数の熱電導
性の障壁板を特定間隔で且つその幅方向でジグザグ状の
流路が形成されるように植設し、各障壁板の上下部が上
下各層へ夫々れ一定長さ突出されるものとなし、一方前
記下層部内にはフッ素系溶剤の沸点以上に加熱される熱
媒体液を入れ、他方前記上層部の仕切板上方部には炭化
水素系溶剤とフッ素系溶剤との混合した被処理液の外部
からの流入口を、そして仕切板の下方側には炭化水素系
溶剤回収槽を設けるほか、該上層部には被処理液が上層
部内を流下中に蒸発するフッ素系溶剤蒸気を適宜外部へ
取り出させるための取り出し口を設けたことを特徴とす
る。これによれば、混合液と接触して低沸点溶剤を蒸発
させる仕切板及び熱電導性平板への熱媒体液による熱伝
導率が簡便な構成で向上され、また、箱体内でフッ素系
溶剤の蒸気は冷却液化しないで蒸気のまま外部へ取り出
し回収されるので、箱体内の温度は安定的に維持され、
さらに溶剤分離装置全体の小型化を図ることができる。
め、本発明は、フッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との混合
液からこれら溶剤を夫々れ分離回収する溶剤分離装置で
あって、側面視逆へ字状の箱体を下降傾斜状に設置し、
該箱体内部を前記混合液が流下される仕切板で上下の２
層に仕切ると共に、該仕切板の長さ方向に複数の熱電導
性の障壁板を特定間隔で且つその幅方向でジグザグ状の
流路が形成されるように植設し、各障壁板の上下部が上
下各層へ夫々れ一定長さ突出されるものとなし、一方前
記下層部内にはフッ素系溶剤の沸点以上に加熱される熱
媒体液を入れ、他方前記上層部の仕切板上方部には炭化
水素系溶剤とフッ素系溶剤との混合した被処理液の外部
からの流入口を、そして仕切板の下方側には炭化水素系
溶剤回収槽を設けるほか、該上層部には被処理液が上層
部内を流下中に蒸発するフッ素系溶剤蒸気を適宜外部へ
取り出させるための取り出し口を設けたことを特徴とす
る。これによれば、混合液と接触して低沸点溶剤を蒸発
させる仕切板及び熱電導性平板への熱媒体液による熱伝
導率が簡便な構成で向上され、また、箱体内でフッ素系
溶剤の蒸気は冷却液化しないで蒸気のまま外部へ取り出
し回収されるので、箱体内の温度は安定的に維持され、
さらに溶剤分離装置全体の小型化を図ることができる。
【０００９】この際、障壁板を仕切板の上面及び下面に
対し、長さ寸法比で凡そ３対７〜４対６程度の割合で上
層と下層に於ける突出比率を変えたものが好ましい。こ
れによれば、箱体下層内部に充満された熱媒体液によ
り、仕切板及び該仕切板上面部に突出形成させた障壁板
により上層部内全域をより確実に均等且つ効率よく所定
温度に加熱することができるものとなる。
対し、長さ寸法比で凡そ３対７〜４対６程度の割合で上
層と下層に於ける突出比率を変えたものが好ましい。こ
れによれば、箱体下層内部に充満された熱媒体液によ
り、仕切板及び該仕切板上面部に突出形成させた障壁板
により上層部内全域をより確実に均等且つ効率よく所定
温度に加熱することができるものとなる。
【００１０】また、箱体を架台上で上下方向へ適宜な傾
斜角度に変更設置可能となしたりする。これによれば、
仕切板を流下する混合液の流速及び該混合液の仕切板上
面側に突出形成した障壁板との接触時間を夫々れ異なる
希望条件に調整することができ、フッ素系溶剤の蒸気化
能力を向上させるものとなる。
斜角度に変更設置可能となしたりする。これによれば、
仕切板を流下する混合液の流速及び該混合液の仕切板上
面側に突出形成した障壁板との接触時間を夫々れ異なる
希望条件に調整することができ、フッ素系溶剤の蒸気化
能力を向上させるものとなる。
【００１１】また、上記した溶剤分離装置で分離回収さ
れた炭化水素系溶剤液及びフッ素系溶剤液の夫々れを、
炭化水素系溶剤液とフッ素系溶剤液をこの順序に使用し
て、電子部品や精密機器部品などの被洗浄物を洗浄する
洗浄装置の炭化水素系溶剤液槽やフッ素系溶剤液層に組
み込んで再利用する。この際、溶剤分離装置に於ける上
層部内の取り出し口から外部へ取り出されるフッ素系溶
剤蒸気は、洗浄装置の濯ぎ槽内へ附設した冷却手段に導
いて液化させるようにするのである。これによれば、各
溶剤の分離再生工程を簡略化させることができるので、
炭化水素系溶剤、フッ化水素系溶剤の溶剤精度の維持を
保つと共に、洗浄システム全体のコンパクト化が図られ
るものとなる。
れた炭化水素系溶剤液及びフッ素系溶剤液の夫々れを、
炭化水素系溶剤液とフッ素系溶剤液をこの順序に使用し
て、電子部品や精密機器部品などの被洗浄物を洗浄する
洗浄装置の炭化水素系溶剤液槽やフッ素系溶剤液層に組
み込んで再利用する。この際、溶剤分離装置に於ける上
層部内の取り出し口から外部へ取り出されるフッ素系溶
剤蒸気は、洗浄装置の濯ぎ槽内へ附設した冷却手段に導
いて液化させるようにするのである。これによれば、各
溶剤の分離再生工程を簡略化させることができるので、
炭化水素系溶剤、フッ化水素系溶剤の溶剤精度の維持を
保つと共に、洗浄システム全体のコンパクト化が図られ
るものとなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明に於ける一実施の形
態を図面を参照して説明する。図面は炭化水素系溶剤及
びフッ素系溶剤としてハイドロフルオロエーテル（以下
ＨＦＥと記載する）を用いた場合の溶剤分離装置１を示
し、図１はこの溶剤分離装置１の縦断面図、図２は図１
の部分詳細説明図であって、Ａは仕切板２の平面図、Ｂ
は熱電導性の障壁板３の正面図、Ｃは仕切板２に障壁板
３を取り付けた状態を示す斜視図である。
態を図面を参照して説明する。図面は炭化水素系溶剤及
びフッ素系溶剤としてハイドロフルオロエーテル（以下
ＨＦＥと記載する）を用いた場合の溶剤分離装置１を示
し、図１はこの溶剤分離装置１の縦断面図、図２は図１
の部分詳細説明図であって、Ａは仕切板２の平面図、Ｂ
は熱電導性の障壁板３の正面図、Ｃは仕切板２に障壁板
３を取り付けた状態を示す斜視図である。
【００１３】図１に於いて、装置本体１は側面視逆へ字
状の箱体となし、架台Ｂ上へ下降傾斜状に設置されるの
であり、この箱体内はその長さ方向へ仕切板２を設けて
上下二層の空間に仕切ると共に、この下層内部１ａは次
述する上層１ｂ内をその上方から下方へ向けて流下され
るフッ素系溶剤をその沸点以上に間接加熱するための加
熱ヒータ４を備えた熱媒体液室Ｗになしてあり、加熱ヒ
ータ４は熱媒体液を常時ＨＦＥの沸点（５９℃）以上、
例えば８５℃程度に加熱保持するための調整手段を備え
たものとなしてある。ここに、熱媒体液としては温水や
オイルなどを使用する。また、下層部上端には補助タン
クＴを連結させ、その内部に熱媒体液を貯留しておき、
下層内部の熱媒体液の補充を常時行えるようになしてあ
る。
状の箱体となし、架台Ｂ上へ下降傾斜状に設置されるの
であり、この箱体内はその長さ方向へ仕切板２を設けて
上下二層の空間に仕切ると共に、この下層内部１ａは次
述する上層１ｂ内をその上方から下方へ向けて流下され
るフッ素系溶剤をその沸点以上に間接加熱するための加
熱ヒータ４を備えた熱媒体液室Ｗになしてあり、加熱ヒ
ータ４は熱媒体液を常時ＨＦＥの沸点（５９℃）以上、
例えば８５℃程度に加熱保持するための調整手段を備え
たものとなしてある。ここに、熱媒体液としては温水や
オイルなどを使用する。また、下層部上端には補助タン
クＴを連結させ、その内部に熱媒体液を貯留しておき、
下層内部の熱媒体液の補充を常時行えるようになしてあ
る。
【００１４】ところで、上層部１ｂに於ける仕切板２の
上流側にはＨＦＥとＨＣの混合液からなる被処理液を外
部から仕切板２上へ流下させるための流入口５を設け、
且つその下流側には炭化水素系溶剤（以下、ＨＣと記載
する）の回収槽６を形成し、この回収槽６の下端側には
貯留されたＨＣを外部へ流出するための流出口７が設け
てある。
上流側にはＨＦＥとＨＣの混合液からなる被処理液を外
部から仕切板２上へ流下させるための流入口５を設け、
且つその下流側には炭化水素系溶剤（以下、ＨＣと記載
する）の回収槽６を形成し、この回収槽６の下端側には
貯留されたＨＣを外部へ流出するための流出口７が設け
てある。
【００１５】また、上層部１ｂには仕切板２上を流下中
に蒸発したＨＦＥ蒸気を外部へ取り出すための取り出し
口８が設けてある。この取り出し口８は任意箇所へ設け
ることができるが、ＨＦＥ蒸気の回収効率を良くするた
めには図示例の如く下流側の逆へ字状の折曲箇所付近へ
設けるのが好ましい。
に蒸発したＨＦＥ蒸気を外部へ取り出すための取り出し
口８が設けてある。この取り出し口８は任意箇所へ設け
ることができるが、ＨＦＥ蒸気の回収効率を良くするた
めには図示例の如く下流側の逆へ字状の折曲箇所付近へ
設けるのが好ましい。
【００１６】上記仕切板２は、図２に示す如き構成であ
り、即ち、図２Ａに示すように、仕切板２の幅方向へ一
定長のスリット状となした嵌合孔９をその長さ方向へ等
間隔に複数個穿設し、各嵌合孔９には図２Ｂに示す如き
熱電導性の障壁板３を交互にその向きを変えながら差し
込んで固着させるのである。
り、即ち、図２Ａに示すように、仕切板２の幅方向へ一
定長のスリット状となした嵌合孔９をその長さ方向へ等
間隔に複数個穿設し、各嵌合孔９には図２Ｂに示す如き
熱電導性の障壁板３を交互にその向きを変えながら差し
込んで固着させるのである。
【００１７】熱電導性の障壁板３は、図２Ｂに見られる
通りＴ字状に形成するのであり、この際上下板部３ａ、
３ｂの高さ寸法ｈ１、ｈ２及び上板部３ａに於ける左右
側の張り出し翼寸法Ｓ１、Ｓ２は異ならしめてある。こ
こに、大寸法Ｓ１の翼部は図２Ｃの如く固着された際
に、上層部１ｂの箱体内側壁面と接触する長さ寸法であ
り、反対側翼部の寸法差による隙間でジグザグ状の流路
ｋを形成するものとなる。この際、下板部３ｂの上方箇
所には適宜スリット３ｃが穿設してある。これは、熱媒
体液から発生するエアーがある場合、これを仕切板２の
裏面側を伝って上方の補助タンクＴ側へ抜き出し易くす
るためのものである。
通りＴ字状に形成するのであり、この際上下板部３ａ、
３ｂの高さ寸法ｈ１、ｈ２及び上板部３ａに於ける左右
側の張り出し翼寸法Ｓ１、Ｓ２は異ならしめてある。こ
こに、大寸法Ｓ１の翼部は図２Ｃの如く固着された際
に、上層部１ｂの箱体内側壁面と接触する長さ寸法であ
り、反対側翼部の寸法差による隙間でジグザグ状の流路
ｋを形成するものとなる。この際、下板部３ｂの上方箇
所には適宜スリット３ｃが穿設してある。これは、熱媒
体液から発生するエアーがある場合、これを仕切板２の
裏面側を伝って上方の補助タンクＴ側へ抜き出し易くす
るためのものである。
【００１８】図３は他の実施例を示すものであって、即
ち本例では仕切板２’の嵌合孔９’は、図３Ａに示すよ
うに千鳥状に穿設してある。而して、障壁板３’の左右
側張り出し翼寸法Ｓ’１、Ｓ’２は図３Ｂに示す如き共
に同一寸法となしてある。図３Ｃは該障壁板３’を仕切
板２’に対して取り付けた斜視図であって、同様にジグ
ザク状の流路ｋ’が形成されるものとなる。
ち本例では仕切板２’の嵌合孔９’は、図３Ａに示すよ
うに千鳥状に穿設してある。而して、障壁板３’の左右
側張り出し翼寸法Ｓ’１、Ｓ’２は図３Ｂに示す如き共
に同一寸法となしてある。図３Ｃは該障壁板３’を仕切
板２’に対して取り付けた斜視図であって、同様にジグ
ザク状の流路ｋ’が形成されるものとなる。
【００１９】ところで、障壁板３の上下板部３ａ、３ｂ
の高さ寸法ｈ１、ｈ２を下板部３ｂが大となるようにな
したものは、上層部１ｂに対する下層部１ａからの熱伝
導能力を向上させる上で好ましい。本発明者の数多実験
結果では、この高さ寸法比を凡そ７：３〜６：４程度と
なしたものが、安定した性能を発揮するものであった。
の高さ寸法ｈ１、ｈ２を下板部３ｂが大となるようにな
したものは、上層部１ｂに対する下層部１ａからの熱伝
導能力を向上させる上で好ましい。本発明者の数多実験
結果では、この高さ寸法比を凡そ７：３〜６：４程度と
なしたものが、安定した性能を発揮するものであった。
【００２０】上記に於ける性能向上には、箱体１の傾斜
角度θが微妙に変更されるようになすと良いのであり、
このためには箱体１を架台Ｂ上の受け枠Ｕに載置し、受
け枠Ｕの前後方向高さ位置をジャッキ手段などで適宜変
えられるようにする。而して、傾斜角度θが小さい場合
は、被処理液の流下速度が遅くなって仕切板２や障壁板
３との接触時間が増大するのであり、傾斜角度θが大と
なれば流下速度が速くなって接触時間は減少するのであ
る。通常、この傾斜角度θは１０°〜２０°程度となさ
れ、箱体の長さ寸法は凡そ６０ｃｍ〜１５０ｃｍ、幅寸
法は凡そ１０ｃｍ〜３０ｃｍ程度になされるが、これら
に限定されるものではない。尚、図中、１０はＨＦＥと
ＨＣの混合された被処理液、１１は上層部１ｂ内で被処
理液から蒸発されるＨＦＥの蒸気、１２はその残留液で
ある。
角度θが微妙に変更されるようになすと良いのであり、
このためには箱体１を架台Ｂ上の受け枠Ｕに載置し、受
け枠Ｕの前後方向高さ位置をジャッキ手段などで適宜変
えられるようにする。而して、傾斜角度θが小さい場合
は、被処理液の流下速度が遅くなって仕切板２や障壁板
３との接触時間が増大するのであり、傾斜角度θが大と
なれば流下速度が速くなって接触時間は減少するのであ
る。通常、この傾斜角度θは１０°〜２０°程度となさ
れ、箱体の長さ寸法は凡そ６０ｃｍ〜１５０ｃｍ、幅寸
法は凡そ１０ｃｍ〜３０ｃｍ程度になされるが、これら
に限定されるものではない。尚、図中、１０はＨＦＥと
ＨＣの混合された被処理液、１１は上層部１ｂ内で被処
理液から蒸発されるＨＦＥの蒸気、１２はその残留液で
ある。
【００２１】以下、上記の如く構成した溶剤分離装置の
作用について説明する。ＨＦＥとＨＣの混合された被処
理液１０が箱体の上方側に設けた流入口５から仕切板２
の上流端へ流入される。この被処理液１０は仕切板２上
を下方に向けて流下するが、該流下は障壁板３で形成さ
れたジグザグ状流路ｋに沿って行われ、この際被処理液
中のＨＦＥは下層１ａによって加熱された仕切板２及び
障壁板３と接触することにより蒸発してＨＦＥ蒸気１１
となり、蒸発しない炭化水素系溶剤１２は仕切板２の下
流端から炭化水素系溶剤回収槽６内へ分離回収されるも
のとなる。ここに、流入口５からの被処理液１０の流量
は一例として０．１ｌ／分〜１．０ｌ／分程度に調整さ
れる。
作用について説明する。ＨＦＥとＨＣの混合された被処
理液１０が箱体の上方側に設けた流入口５から仕切板２
の上流端へ流入される。この被処理液１０は仕切板２上
を下方に向けて流下するが、該流下は障壁板３で形成さ
れたジグザグ状流路ｋに沿って行われ、この際被処理液
中のＨＦＥは下層１ａによって加熱された仕切板２及び
障壁板３と接触することにより蒸発してＨＦＥ蒸気１１
となり、蒸発しない炭化水素系溶剤１２は仕切板２の下
流端から炭化水素系溶剤回収槽６内へ分離回収されるも
のとなる。ここに、流入口５からの被処理液１０の流量
は一例として０．１ｌ／分〜１．０ｌ／分程度に調整さ
れる。
【００２２】一方、蒸気となったＨＦＥ蒸気１１は、箱
体上面部に於ける取り出し口８から外部へ取り出して回
収されるのである。本発明装置では、下層の熱媒体液温
度は凡そ８５℃に保持されるようになされるのであり、
これにより、上層部１ｂの室内温度は凡そ７０℃前後に
効率良く保たれるものとなるのであって、ＨＦＥ蒸気１
１は液化することなく、効率良く外部へ捕集回収される
ものとなる。
体上面部に於ける取り出し口８から外部へ取り出して回
収されるのである。本発明装置では、下層の熱媒体液温
度は凡そ８５℃に保持されるようになされるのであり、
これにより、上層部１ｂの室内温度は凡そ７０℃前後に
効率良く保たれるものとなるのであって、ＨＦＥ蒸気１
１は液化することなく、効率良く外部へ捕集回収される
ものとなる。
【００２３】図４は、上記の如く構成した溶剤分離装置
１を電子部品や精密機械部品などのワークＰを洗浄する
装置に組み込んだ洗浄システムを示す略式縦断面図であ
り、該洗浄システムは洗浄部１３と濯ぎ乾燥部１４を備
えている。
１を電子部品や精密機械部品などのワークＰを洗浄する
装置に組み込んだ洗浄システムを示す略式縦断面図であ
り、該洗浄システムは洗浄部１３と濯ぎ乾燥部１４を備
えている。
【００２４】洗浄部１３は、上方にワークＰの出入口１
５を設けた洗浄槽本体１６に、ＨＣ溶液を貯留すると共
に、底部に超音波振動子１７を配設している。
５を設けた洗浄槽本体１６に、ＨＣ溶液を貯留すると共
に、底部に超音波振動子１７を配設している。
【００２５】一方、濯ぎ乾燥部１４は、上面にワークＰ
の出入口１８が形成されたタンク１９の下部を濯ぎ槽１
９ａに形成し、その底部に超音波振動子２０を配設して
フッ素系溶剤としてのＨＦＥ溶液を貯留すると共に、上
下方向中間部に形成したオーバーフロー部２１を介して
蒸気槽２２を隣設している。この蒸気槽２２には、濯ぎ
槽１９ａからオーバーフロー部２１を介して溢流される
ＨＣ溶液とＨＦＥ溶液の混合液が貯留され、該混合液中
を加熱するための加熱ヒータ２３が取り付けてある。こ
こに、該加熱ヒータ２３は混合液をＨＦＥの沸点として
の５９℃に加熱するべく構成されている。
の出入口１８が形成されたタンク１９の下部を濯ぎ槽１
９ａに形成し、その底部に超音波振動子２０を配設して
フッ素系溶剤としてのＨＦＥ溶液を貯留すると共に、上
下方向中間部に形成したオーバーフロー部２１を介して
蒸気槽２２を隣設している。この蒸気槽２２には、濯ぎ
槽１９ａからオーバーフロー部２１を介して溢流される
ＨＣ溶液とＨＦＥ溶液の混合液が貯留され、該混合液中
を加熱するための加熱ヒータ２３が取り付けてある。こ
こに、該加熱ヒータ２３は混合液をＨＦＥの沸点として
の５９℃に加熱するべく構成されている。
【００２６】タンク１９は、オーバーフロー部２１と連
通する箇所をＨＦＥ蒸気の蒸気層１９ｂによる蒸気洗浄
位置となし、またその上方内周部に冷却手段としての冷
却コイル２４を附設し、該冷却コイル２４によりＨＦＥ
蒸気を液化して濯ぎ槽１９ａに環流させると共に、その
上方内部をワークＰが乾燥される乾燥部１９ｃとなして
いる。ここに、ＨＦＥ蒸気はその沸点以下の例えば５５
℃以下に冷却してＨＦＥ溶液に液化される。
通する箇所をＨＦＥ蒸気の蒸気層１９ｂによる蒸気洗浄
位置となし、またその上方内周部に冷却手段としての冷
却コイル２４を附設し、該冷却コイル２４によりＨＦＥ
蒸気を液化して濯ぎ槽１９ａに環流させると共に、その
上方内部をワークＰが乾燥される乾燥部１９ｃとなして
いる。ここに、ＨＦＥ蒸気はその沸点以下の例えば５５
℃以下に冷却してＨＦＥ溶液に液化される。
【００２７】本発明では、上記した蒸気槽２２内に貯留
されたＨＣ溶液とＨＦＥ溶液の混合液を、上記の溶剤分
離装置１内へ送液するのであり、２５はそのための送液
用ポンプ、２６は送液経路である。
されたＨＣ溶液とＨＦＥ溶液の混合液を、上記の溶剤分
離装置１内へ送液するのであり、２５はそのための送液
用ポンプ、２６は送液経路である。
【００２８】上記に於いて、２７は溶剤分離装置１とタ
ンク１９の冷却手段２４間を連結した管路であって、溶
剤分離装置１の取り出し口８から取り出したＨＦＥ蒸気
１１をタンク１９に附設してある冷却コイル２４へ導い
て液化されるようになすのである。
ンク１９の冷却手段２４間を連結した管路であって、溶
剤分離装置１の取り出し口８から取り出したＨＦＥ蒸気
１１をタンク１９に附設してある冷却コイル２４へ導い
て液化されるようになすのである。
【００２９】なお、溶剤分離装置１のＨＣ回収槽６と洗
浄槽本体１６との間には、分離回収したＨＣ溶液１２を
還流させる還流ライン２８が形成されている。
浄槽本体１６との間には、分離回収したＨＣ溶液１２を
還流させる還流ライン２８が形成されている。
【００３０】次に、上記の如く構成される洗浄システム
の作用を以下に説明する。被洗浄物としてのワークＰは
当初洗浄部１３に於ける洗浄槽本体１６内に浸漬されて
ＨＣ溶液で超音波効果を利用して洗浄される。
の作用を以下に説明する。被洗浄物としてのワークＰは
当初洗浄部１３に於ける洗浄槽本体１６内に浸漬されて
ＨＣ溶液で超音波効果を利用して洗浄される。
【００３１】次に洗浄槽本体１３の液中から引き上げた
ワークＰは、隣接した濯ぎ槽１９ａに浸漬してＨＦＥ溶
液で濯ぐのであり、あと蒸気層１９ｂまで引き上げて蒸
気洗浄を行い、その後乾燥部１９ｃまで引き上げて乾燥
処理を行う。而して、一連の洗浄、濯ぎ及び乾燥処理終
了後のワークＰをワークの出入口１８から引き上げて次
工程へ搬送するのである。
ワークＰは、隣接した濯ぎ槽１９ａに浸漬してＨＦＥ溶
液で濯ぐのであり、あと蒸気層１９ｂまで引き上げて蒸
気洗浄を行い、その後乾燥部１９ｃまで引き上げて乾燥
処理を行う。而して、一連の洗浄、濯ぎ及び乾燥処理終
了後のワークＰをワークの出入口１８から引き上げて次
工程へ搬送するのである。
【００３２】上記に於ける濯ぎ時に、濯ぎ槽１９ａのＨ
ＦＥ溶液には、ワークＰに付着しているＨＣ溶液が混入
するのであり、この両者が混入した混合液は溶剤の比重
差によりオーバーフロー部２１を介して蒸気槽２２内に
溢流される。而して、蒸気槽２２内には加熱ヒータ２３
によりＨＦＥの沸点としての５９℃まで加熱されること
からＨＦＥ蒸気が生成され、これは上方に漂ってワーク
Ｐを蒸気洗浄するための蒸気層１９ｂを形成する。とこ
ろで、本発明では、蒸気槽２２内の分離しきれない被処
理液を送液経路２６を介して溶剤分離装置１へ送液し、
該溶剤分離装置１によりＨＣ溶液１２とＨＦＥ蒸気１１
とに効率良く分離し、再び上記洗浄工程、濯ぎ工程へ管
路２７、還流ライン２８を介して夫々れ還流して再利用
するのである。
ＦＥ溶液には、ワークＰに付着しているＨＣ溶液が混入
するのであり、この両者が混入した混合液は溶剤の比重
差によりオーバーフロー部２１を介して蒸気槽２２内に
溢流される。而して、蒸気槽２２内には加熱ヒータ２３
によりＨＦＥの沸点としての５９℃まで加熱されること
からＨＦＥ蒸気が生成され、これは上方に漂ってワーク
Ｐを蒸気洗浄するための蒸気層１９ｂを形成する。とこ
ろで、本発明では、蒸気槽２２内の分離しきれない被処
理液を送液経路２６を介して溶剤分離装置１へ送液し、
該溶剤分離装置１によりＨＣ溶液１２とＨＦＥ蒸気１１
とに効率良く分離し、再び上記洗浄工程、濯ぎ工程へ管
路２７、還流ライン２８を介して夫々れ還流して再利用
するのである。
【００３３】上記実施例に於いては、フッ素系溶剤とし
てハイドロフルオロエーテルを使用したものについて説
明したが、パーフルオロカーボンやハイドロフルオロカ
ーボンを使用することもできる。また、本発明の溶剤分
離装置は、従来より実施されている塩素系溶剤の蒸留回
収装置に於いても同様に使用できる。
てハイドロフルオロエーテルを使用したものについて説
明したが、パーフルオロカーボンやハイドロフルオロカ
ーボンを使用することもできる。また、本発明の溶剤分
離装置は、従来より実施されている塩素系溶剤の蒸留回
収装置に於いても同様に使用できる。
【００３４】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成するのであっ
て、溶剤分離装置及び洗浄システム全体の作業性と安全
性並びに運転効率の向上を図ることができるものとなっ
た。即ち、本発明の溶剤分離装置は特殊な障壁板の構成
とその配置により仕切板上の上層部内の加温効率が高め
られ、溶剤の効率的な分離回収に寄与するものとなるの
であり、且つ蒸発溶剤の液化のための冷却手段は別設洗
浄システム側の冷却手段を併用させたことにより、溶剤
分離装置の小型化及び洗浄システム全体に亘ってコスト
の低減化と運転効率の向上の図られるものとなった。
て、溶剤分離装置及び洗浄システム全体の作業性と安全
性並びに運転効率の向上を図ることができるものとなっ
た。即ち、本発明の溶剤分離装置は特殊な障壁板の構成
とその配置により仕切板上の上層部内の加温効率が高め
られ、溶剤の効率的な分離回収に寄与するものとなるの
であり、且つ蒸発溶剤の液化のための冷却手段は別設洗
浄システム側の冷却手段を併用させたことにより、溶剤
分離装置の小型化及び洗浄システム全体に亘ってコスト
の低減化と運転効率の向上の図られるものとなった。
【００３５】
【図１】本発明に係る溶剤分離装置の縦断面図である。
【図２】図１の部分詳細説明図であって、Ａは仕切板の
平面図、Ｂは障壁板の正面図、Ｃは仕切板に障壁板を取
り付けた状態を示す斜視図である。
平面図、Ｂは障壁板の正面図、Ｃは仕切板に障壁板を取
り付けた状態を示す斜視図である。
【図３】図３は仕切板及び障壁板の他の実施の形態を示
すものであり、Ａは仕切板の平面図、Ｂは障壁板の正面
図、Ｃは仕切板に障壁板を取り付けた状態を示す斜視図
である。
すものであり、Ａは仕切板の平面図、Ｂは障壁板の正面
図、Ｃは仕切板に障壁板を取り付けた状態を示す斜視図
である。
【図４】本発明に係る溶剤分離装置を組み込んだ洗浄シ
ステムを示す略式縦断面図である。
ステムを示す略式縦断面図である。
【図５】従来の溶剤分離装置を組み込んだ洗浄システム
を示す略式縦断面図である。
を示す略式縦断面図である。
１ 溶剤分離装置
２ 仕切板
３ 障壁板
４ 加熱ヒータ
５ 流入口
６ 炭化水素系溶剤回収槽
７ 流出口
８ 取り出し口
９ 嵌合孔
１０ 被処理液
１３ 洗浄部
１４ 濯ぎ乾燥部
２１ オーバーフロー部
２２ 蒸気槽
２４ 冷却コイル
θ 傾斜角度
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｃ２３Ｇ 5/028 Ｃ２３Ｇ 5/028
Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB08 AB44 BB11 BB82
BB83 BB92 BB95 CB15 CD22
4D076 AA12 AA22 AA24 BA15 BC03
DA12 DA22 FA02 FA11 HA05
JA03
4K053 QA04 RA08 RA32 RA36 RA37
RA41 SA06 TA13 TA22 XA11
XA14 XA46 XA50 YA05 YA06
YA10
Claims (5)
- 【請求項１】 フッ素系溶剤と炭化水素系溶剤との混合
液からこれら溶剤を夫々れ分離回収する溶剤分離装置で
あって、側面視逆へ字状の箱体を下降傾斜状に設置し、
該箱体内部を前記混合液が流下される仕切板で上下の２
層に仕切ると共に、該仕切板の長さ方向に複数の熱電導
性の障壁板を特定間隔で且つその幅方向でジグザグ状の
流路が形成されるように植設し、各障壁板の上下部が上
下各層へ夫々れ一定長さ突出されるものとなし、一方前
記下層部内にはフッ素系溶剤の沸点以上に加熱される熱
媒体液を入れ、他方前記上層部の仕切板上方部には炭化
水素系溶剤とフッ素系溶剤との混合した被処理液の外部
からの流入口を、そして仕切板の下方側には炭化水素系
溶剤回収槽を設けるほか、該上層部には被処理液が上層
部内を流下中に蒸発するフッ素系溶剤蒸気を適宜外部へ
取り出させるための取り出し口を設けたことを特徴とす
る溶剤分離装置。 - 【請求項２】 障壁板は、仕切板の上面及び下面に対し
長さ寸法比で凡そ３対７〜４対６程度の割合で突出形成
なさしめたことを特徴とする請求項１記載の溶剤分離装
置。 - 【請求項３】 箱体は、架台上へ上下方向を適宜な傾斜
角度に変更設置可能となしてあることを特徴とする請求
項１又は２記載の溶剤分離装置。 - 【請求項４】 請求項１〜３何れかに記載した溶剤分離
装置で分離回収した炭化水素系溶剤液及びフッ素系溶剤
液の夫々れを、炭化水素系溶剤液とフッ素系溶剤液をこ
の順序に使用して、電子部品や精密機器部品などの被洗
浄物を洗浄するための洗浄装置に於ける炭化水素系溶剤
液槽やフッ素系溶剤液槽に組み込んで再利用するように
なしたことを特徴とする洗浄システム。 - 【請求項５】 溶剤分離装置に於ける上層部の取り出し
口から外部へ取り出されるフッ素系溶剤蒸気を、洗浄装
置の濯ぎ槽内へ附設した冷却手段に導いて液化させるこ
とを特徴とする請求項４記載の洗浄システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002111900A JP3803921B2 (ja) | 2002-04-15 | 2002-04-15 | 溶剤分離装置及びこれを使用した洗浄システム |
| CN 03121863 CN1230234C (zh) | 2002-04-15 | 2003-04-15 | 溶剂分离装置和使用该溶剂分离装置的洗净系统 |
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|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| CN (1) | CN1230234C (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007287756A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | フッ素系溶剤の回収方法及びフッ素系溶剤の回収システム |
| JP2009189918A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Kojiro Okawa | ２液式洗浄装置 |
| KR20150107638A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
| KR20150107632A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
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| JP2023154140A (ja) * | 2022-04-06 | 2023-10-19 | 光治郎 大川 | 溶剤再生装置 |
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|---|---|---|---|---|
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- 2002-04-15 JP JP2002111900A patent/JP3803921B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2003-04-15 CN CN 03121863 patent/CN1230234C/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2007287756A (ja) * | 2006-04-12 | 2007-11-01 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | フッ素系溶剤の回収方法及びフッ素系溶剤の回収システム |
| JP2009189918A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Kojiro Okawa | ２液式洗浄装置 |
| KR20150107638A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
| KR20150107632A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
| KR20150107663A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
| JP2015188060A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 分離再生装置および基板処理装置 |
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