JP2004107786A - 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔 - Google Patents

特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔 Download PDF

Info

Publication number
JP2004107786A
JP2004107786A JP2002291403A JP2002291403A JP2004107786A JP 2004107786 A JP2004107786 A JP 2004107786A JP 2002291403 A JP2002291403 A JP 2002291403A JP 2002291403 A JP2002291403 A JP 2002291403A JP 2004107786 A JP2004107786 A JP 2004107786A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
compound
copper foil
amine compound
copper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2002291403A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3789107B2 (ja
Inventor
Masashi Kumagai
熊谷 正志
Mikio Hanabusa
花房 幹夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Mining Holdings Inc
Original Assignee
Nikko Materials Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to JP2002291403A priority Critical patent/JP3789107B2/ja
Application filed by Nikko Materials Co Ltd filed Critical Nikko Materials Co Ltd
Priority to EP03730553.9A priority patent/EP1524335B8/en
Priority to US10/479,896 priority patent/US7005055B2/en
Priority to KR1020037016792A priority patent/KR100588176B1/ko
Priority to HK04107322.0A priority patent/HK1064713B/xx
Priority to CNB038005557A priority patent/CN1293235C/zh
Priority to ES03730553.9T priority patent/ES2497090T3/es
Priority to PCT/JP2003/006363 priority patent/WO2004009876A1/ja
Priority to TW092118287A priority patent/TWI250225B/zh
Priority to MYPI20032589A priority patent/MY146397A/en
Publication of JP2004107786A publication Critical patent/JP2004107786A/ja
Priority to US11/187,282 priority patent/US7378160B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3789107B2 publication Critical patent/JP3789107B2/ja
Priority to US11/906,663 priority patent/US8449751B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/06Wires; Strips; Foils
    • C25D7/0614Strips or foils
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D1/00Electroforming
    • C25D1/04Wires; Strips; Foils
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/38Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12771Transition metal-base component
    • Y10T428/12861Group VIII or IB metal-base component
    • Y10T428/12903Cu-base component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12993Surface feature [e.g., rough, mirror]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

【課題】陰極ドラムを用いた電解銅箔製造における粗面側(光沢面の反対側)の表面粗さの小さいロープロファイル電解銅箔を得ること、特にファインパターン化が可能であり、さらに常温及び高温における伸びと抗張力に優れた電解銅箔を得ることを課題とする。
【解決手段】1分子中に1個以上のエポキシ基を有する化合物とアミン化合物とを付加反応させることにより得られる下記一般式(1)で記載される特定骨格を有するアミン化合物と有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液。
【化1】
Figure 2004107786

(一般式(1)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものであり、Aはエポキシ化合物残基を、nは1以上の整数を表す。)
【選択図】  なし

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電解銅箔の製造に用いる銅電解液、特にファインパターン化が可能であり、常温及び高温における伸びと抗張力に優れた電解銅箔の製造に用いる銅電解液に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、電解銅箔を製造するには、表面を研磨した回転する金属製陰極ドラムと、該陰極ドラムのほぼ下半分の位置に配置した該陰極ドラムの周囲を囲む不溶性金属アノード(陽極)を使用し、前記陰極ドラムとアノードとの間に銅電解液を流動させるとともに、これらの間に電位を与えて陰極ドラム上に銅を電着させ、所定厚みになったところで該陰極ドラムから電着した銅を引き剥がして連続的に銅箔を製造する。
このようにして得た銅箔は一般的に生箔と言われているが、その後いくつかの表面処理を施してプリント配線板等に使用されている。
【0003】
従来の銅箔製造装置の概要を図1に示す。この電解銅箔装置は、電解液を収容する電解槽の中に、陰極ドラムが設置されている。この陰極ドラム1は電解液中に部分的(ほぼ下半分)に浸漬された状態で回転するようになっている。
この陰極ドラム1の外周下半分を取り囲むように、不溶性アノード(陽極)2が設けられている。この陰極ドラム1とアノード2の間は一定の間隙3があり、この間を電解液が流動するようになっている。図1の装置には2枚のアノード板が配置されている。
【0004】
この図1では、下方から電解液が供給され、この電解液は陰極ドラム1とアノード2の間隙3を通り、アノード2の上縁から溢流し、さらにこの電解液は循環するように構成されている。陰極ドラム1とアノード2の間には整流器を介して、両者の間に所定の電圧が維持できるようになっている。
陰極ドラム1が回転するにつれ、電解液から電着した銅は厚みを増大し、ある厚み以上になったところで、この生箔4を剥離し、連続的に巻き取っていく。このようにして製造された生箔は、陰極ドラム1とアノード2の間の距離、供給される電解液の流速あるいは供給する電気量により厚みを調整する。
【0005】
このような電解銅箔製造装置によって製造される銅箔は、陰極ドラムと接触する面は鏡面となるが、反対側の面は凸凹のある粗面となる。通常の電解では、この粗面の凸凹が激しく、エッチング時にアンダーカットが発生し易く、ファインパターン化が困難であるという問題を有している。
【0006】
一方、最近ではプリント配線板の高密度化に伴い、回路幅の狭小化、多層化に伴いファインパターン化が可能である銅箔が要求されるようになってきた。このファインパターン化のためには、エッチング速度と均一溶解性を持つ銅箔、すなわちエッチング特性に優れた銅箔が必要である。
【0007】
他方、プリント配線板用銅箔に求められる性能は、常温における伸びだけでなく、熱応力によるクラック防止のための高温伸び特性、さらにはプリント配線板の寸法安定性のために高い引張り強さが求められている。ところが、上記のような粗面の凸凹が激しい銅箔は、上記のようにファインパターン化には全く適合しないという問題を有している。このようなことから粗面のロープロファイル化が検討されている。
【0008】
一般に、このロープロファイル化のためには、膠やチオ尿素を電解液に多量添加することによって達成できることが知られている。
しかし、このような添加剤は、常温及び高温における伸び率が急激に低下し、プリント配線板用銅箔としての性能を大きく低下させてしまうという問題を有している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、陰極ドラムを用いた電解銅箔製造における粗面側(光沢面の反対側)の表面粗さの小さいロープロファイル電解銅箔を得ること、特にファインパターン化が可能であり、さらに常温及び高温における伸びと抗張力に優れた電解銅箔を得ることを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、ロープロファイル化が可能である最適な添加剤を電解液に添加することにより、ファインパターン化が可能であり、常温及び高温における伸びと抗張力に優れた電解銅箔を得ることができるとの知見を得た。
【0011】
本発明者らはこの知見に基づいて、陰極ドラムとアノードとの間に銅電解液を流して陰極ドラム上に銅を電着させ、電着した銅箔を該陰極ドラムから剥離して連続的に銅箔を製造する電解銅箔製造方法において、特定骨格を有するアミン化合物と有機硫黄化合物を含有する銅電解液を用いて電解することにより、ファインパターン化が可能であり、常温及び高温における伸びと抗張力に優れた電解銅箔を得ることができることを見いだし本発明に至った。
【0012】
すなわち、本発明は以下の構成よりなる。
(1)1分子中に1個以上のエポキシ基を有する化合物とアミン化合物とを付加反応させることにより得られる、下記一般式(1)で記載される特定骨格を有するアミン化合物と有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液。
【0013】
【化11】
Figure 2004107786
(一般式(1)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものであり、Aはエポキシ化合物残基を、nは1以上の整数を表す。)
【0014】
(2)前記特定骨格を有するアミン化合物のエポキシ化合物残基Aが、線状エ−テル結合を有することを特徴とする(1)記載の銅電解液。
【0015】
(3)前記特定骨格を有するアミン化合物が下記一般式(2)〜(9)いずれかを含有することを特徴とする前記(1)又は(2)記載の銅電解液。
【0016】
【化12】
Figure 2004107786
【0017】
【化13】
Figure 2004107786
【0018】
【化14】
Figure 2004107786
【0019】
【化15】
Figure 2004107786
【0020】
【化16】
Figure 2004107786
【0021】
【化17】
Figure 2004107786
【0022】
【化18】
Figure 2004107786
【0023】
【化19】
Figure 2004107786
(一般式(2)〜(9)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
【0024】
(4)前記有機硫黄化合物が下記一般式(10)又は(11)で表される化合物であることを特徴とする前記(1)記載の銅電解液。
X−R−(S)−R−YO        (10)
−S−R−SO            (11)
(一般式(10)及び(11)中、R、R、及びRは炭素数1〜8のアルキレン基であり、Rは、水素、
【化20】
Figure 2004107786
からなる一群から選ばれるものであり、Xは水素、スルホン酸基、ホスホン酸基、スルホン酸又はホスホン酸のアルカリ金属塩基又はアンモニウム塩基からなる一群から選ばれるものであり、Yは硫黄又は燐のいずれかであり、Z及びZは水素、ナトリウム、カリウムのいずれかであり、nは2又は3である。)
【0025】
(5)前記(1)〜(4)のいずれかに記載の銅電解液を用いて製造される電解銅箔。
(6)前記(5)記載の電解銅箔を用いてなる銅張積層板。
【0026】
本発明においては、電解液中に、1分子中に1個以上のエポキシ基を有する化合物とアミン化合物とを付加反応させることにより得られる上記一般式(1)で表される特定骨格を有するアミン化合物と、有機硫黄化合物を含むことが重要である。どちらか一方のみの添加では、本発明の目的は達成できない。
【0027】
特定骨格を有するアミン化合物(1)は、下記反応式で表される付加反応により合成される。すなわち、1分子中に1個以上のエポキシ基を有する化合物とアミン化合物を混合し、50〜150℃で30分〜6時間程度反応させることにより製造することができる。
【0028】
【化21】
Figure 2004107786
(上記式中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものであり、Aはエポキシ残基を、nは1以上の整数を表す。)
【0029】
特定骨格を有するアミン化合物構造中のR及びRの具体的な例としては、ヒドロキシエチル基、ヒドロキシイソプロピル基(以上ヒドロキシアルキル基)、2−エトキシエチル基、2−プロポキシエチル基(以上エーテル基)、フェニル基、ナフチル基(以上芳香族基)、トリル基、キシリル基、クメニル基、1−フェニルエチル基(以上芳香族置換アルキル基)、アリル基、1−プロペニル基、イソプロぺニル基、1−ブテニル基、2−ブテニル基、2−メチルアリル基(以上不飽和炭化水素基)、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基(以上アルキル基)を挙げることができるが、水溶性の観点からは炭素数のあまり大きい置換基は好ましくなく、置換基1つあたりの炭素数としては8以下が好ましい。
【0030】
特定骨格を有するアミン化合物としては、エポキシ化合物残基Aに線状エーテル結合を有する化合物が好ましい。エポキシ化合物残基Aが線状エーテル結合を有する化合物としては、下記一般式(2)〜(9)の構造式を持つ化合物が好ましく、一般式(2)〜(9)におけるエポキシ化合物残基Aは以下のとおりである。
【0031】
【化22】
Figure 2004107786
【0032】
【化23】
Figure 2004107786
【0033】
【化24】
Figure 2004107786
【0034】
【化25】
Figure 2004107786
【0035】
【化26】
Figure 2004107786
【0036】
【化27】
Figure 2004107786
【0037】
【化28】
Figure 2004107786
【0038】
【化29】
Figure 2004107786
(一般式(2)〜(9)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
【0039】
また、有機硫黄化合物は上記一般式(10)又は(11)の構造式を持つ化合物であることが好ましい。
上記一般式(10)で表される有機硫黄化合物としては、例えば以下のものが挙げられ、好ましく用いられる。
HOP−(CH−S−S−(CH−PO
HOS−(CH−S−S−(CH−SO
NaOS−(CH−S−S−(CH−SONa
HOS−(CH−S−S−(CH−SO
CH−S−S−CH−SO
NaOS−(CH−S−S−S−(CH−SONa
(CHCH−S−S−(CH−SO
【0040】
また、上記一般式(11)で表される有機硫黄化合物としては、例えば以下のものが挙げられ、好ましく用いられる。
【化30】
Figure 2004107786
【0041】
銅電解液中のアミン化合物と有機硫黄化合物の比は重量比で1:5〜5:1が好ましく、さらに好ましくは1:2〜2:1である。アミン化合物の銅電解液中の濃度は1〜50ppmが好ましい。
銅電解液中には、上記特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物の他に、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリエーテル化合物、ポリエチレンイミン、フェナジン染料、膠、セルロース等の公知の添加剤を添加してもよい。
【0042】
また、本発明の電解銅箔を積層して得られる銅張積層板は、常温及び高温における伸びと抗張力に優れた銅張積層板となる。
【0043】
【発明の実施の形態】
以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
特定骨格を有するアミン化合物の合成例
下記化学式で表されるエポキシ化合物(ナガセ化成工業(株)製デナコールEX−521)10.0g(エポキシ基0.0544mol)とジベンジルアミン10.7g(0.0544mol)を三口フラスコに投入し、ドライアイス−メタノールを冷却媒体とする冷却管を使用して、60℃で3時間反応を行い、ジベンジルアミンで変性したエポキシ樹脂を得た。
【0044】
【化31】
Figure 2004107786
【0045】
同様にしてビス(2−エトキシエチル)アミン、ジエタノールアミン、ジフェニルアミン、ジアリルアミン、ジメチルアミンでそれぞれ変性したエポキシ樹脂を得た。ジメチルアミンで変成したエポキシ樹脂のFT−IR、H−NMR、13C−NMRスペクトルを図2〜4に示す。得られた化合物は下記化学式で表されるジメチルアミン化合物であった。
【0046】
【化32】
Figure 2004107786
【0047】
実施例1〜12及び比較例1〜9
図1に示すような電解銅箔製造装置を使用して35μmの電解銅箔を製造した。電解液組成は次の通りであり、添加剤の添加量は表1記載の通りである。
Cu:  90g/L
SO:80g/L
Cl:  60ppm
液温:  55〜57℃
添加剤A:ビス(3−スルフォプロピル)ジスルファイド2ナトリウム(RASCHIG社製 CPS)
添加剤B:3−メルカプト−1−プロパンスルフォン酸ナトリウム塩(RASCHIG社製 MPS)
添加剤C:上記合成例で得られた特定骨格を有するアミン化合物
C1:ジベンジルアミン変性物
C2:ビス(2−エトキシエチル)アミン変性物
C3:ジエタノールアミン変性物
C4:ジフェニルアミン変性物
C5:ジアリルアミン変性物
C6:ジメチルアミン変性物
得られた電解銅箔の表面粗さRz(μm)をJIS B 0601に準じて、常温伸び(%)、常温抗張力(kgf/mm)、高温伸び(%)、高温抗張力(kgf/mm)をIPC−TM650に準じて測定した。結果を表1に示す。
【0048】
【表1】
Figure 2004107786
【0049】
上記表1に示す通り、本発明の添加剤(特定骨格を有するアミン化合物および有機硫黄化合物)を添加した実施例1〜12については表面粗さRzが0.90〜1.20μmの範囲にあり、常温伸び6.62〜8.90%、常温抗張力30.5〜37.9kgf/mm、高温伸び12.1〜18.2%、高温抗張力20.1〜22.3kgf/mmとなった。このように著しいロープロファイル化が達成できているにも関わらず、常温伸び、常温抗張力、高温伸び、高温抗張力がいずれも添加剤を添加しない比較例1と同様又はそれ以上の優れた特性を示している。これらに対し、無添加の比較例1及び一方のみを添加した比較例2〜9ではロープロファイル化は達成できていない。また、一方のみを添加した場合には、常温伸び、常温抗張力、高温伸び、高温抗張力がかえって悪い結果となった。
【0050】
【発明の効果】
以上から、本発明の特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加した銅電解液は、得られる電解銅箔の粗面のロープロファイル化に極めて有効であり、また常温における伸びだけでなく高温伸び特性を有効に維持でき、さらには高い引張り強さも同様に得られるという優れた特性が確認できる。また、上記共添加は重要であり、これによって初めて、上記の特性を得ることができることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【図1】電解銅箔製造装置の一例を示す図である。
【図2】特定骨格を有するアミン化合物の合成例で得られたジメチルアミン化合物のFT−IRスペストルである。
【図3】特定骨格を有するアミン化合物の合成例で得られたジメチルアミン化合物のH−NMRスペクトルである。
【図4】特定骨格を有するアミン化合物の合成例で得られたジメチルアミン化合物の13C−NMRスペクトルである。
【符号の説明】
1 陰極ドラム
2 アノード
3 間隙
4 生箔

Claims (6)

  1. 1分子中に1個以上のエポキシ基を有する化合物とアミン化合物とを付加反応させることにより得られる下記一般式(1)で記載される特定骨格を有するアミン化合物と有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液。
    Figure 2004107786
    (一般式(1)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものであり、Aはエポキシ化合物残基を、nは1以上の整数を表す。)
  2. 前記特定骨格を有するアミン化合物のエポキシ化合物残基Aが、線状エ−テル結合を有することを特徴とする請求項1記載の銅電解液。
  3. 前記特定骨格を有するアミン化合物が下記一般式(2)〜(9)のいずれかを含有することを特徴とする請求項1又は2記載の銅電解液。
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    Figure 2004107786
    (一般式(2)〜(9)中、R及びRはヒドロキシアルキル基、エーテル基、芳香族基、芳香族置換アルキル基、不飽和炭化水素基、アルキル基からなる一群から選ばれるものである。)
  4. 前記有機硫黄化合物が下記一般式(10)又は(11)で表される化合物であることを特徴とする請求項1記載の銅電解液。
    X−R−(S)−R−YO        (10)
    −S−R−SO            (11)
    (一般式(10)及び(11)中、R、R、及びRは炭素数1〜8のアルキレン基であり、Rは、水素、
    Figure 2004107786
    からなる一群から選ばれるものであり、Xは水素、スルホン酸基、ホスホン酸基、スルホン酸又はホスホン酸のアルカリ金属塩基又はアンモニウム塩基からなる一群から選ばれるものであり、Yは硫黄又は燐のいずれかであり、Z及びZは水素、ナトリウム、カリウムのいずれかであり、nは2又は3である。)
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載の銅電解液を用いて製造される電解銅箔。
  6. 請求項5記載の電解銅箔を用いてなる銅張積層板。
JP2002291403A 2002-07-23 2002-10-03 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔 Expired - Lifetime JP3789107B2 (ja)

Priority Applications (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002291403A JP3789107B2 (ja) 2002-07-23 2002-10-03 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
PCT/JP2003/006363 WO2004009876A1 (ja) 2002-07-23 2003-05-21 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
KR1020037016792A KR100588176B1 (ko) 2002-07-23 2003-05-21 특정골격을 갖는 아민화합물 및 유기유황화합물을 첨가제로서 포함하는 동전해액, 그것에 의하여 제조되는 전해동박 및 동장적층판
HK04107322.0A HK1064713B (en) 2002-07-23 2003-05-21 Copper electrolytic solution and electrolytic copper foil produced using the same
CNB038005557A CN1293235C (zh) 2002-07-23 2003-05-21 铜电解液以及由其制造的电解铜箔
ES03730553.9T ES2497090T3 (es) 2002-07-23 2003-05-21 Disolución electrolítica de cobre que contiene compuesto de amina que tiene un esqueleto específico y compuesto de organoazufre como aditivos, y lámina de cobre electrolítica producida usando la misma
EP03730553.9A EP1524335B8 (en) 2002-07-23 2003-05-21 COPPER ELECTROLYTE COMPRISING AMINE COMPOUND HAVING SPECIFIC SKELETON AND ORGANIC SULFUR COMPOUND AND PROCESS fOR PRODUCING ELECTROLYTIC COPPER FOIL USING THE SAME
US10/479,896 US7005055B2 (en) 2002-07-23 2003-05-21 Copper electrolytic solution containing amine compound having specific skeleton and organosulfur compound as additives, and electrolytic copper foil produced using the same
TW092118287A TWI250225B (en) 2002-07-23 2003-07-04 Copper electrolytic solution containing amine compound having specific skeleton and organosulfur compound as additives, and electrolytic copper foil produced using the same
MYPI20032589A MY146397A (en) 2002-07-23 2003-07-10 Copper electrolytic solution containing amine compound having specific skeleton and organosulfur compound as additives, and electrolytic cooper foil produced using the same
US11/187,282 US7378160B2 (en) 2002-07-23 2005-07-22 Copper electrolytic solution containing amine compound having specific skeleton and organosulfur compound as additives, and electrolytic copper foil produced using the same
US11/906,663 US8449751B2 (en) 2002-07-23 2007-10-03 Copper electrolytic solution containing amine compound having specific skeleton and organosulfur compound as additives, and electrolytic copper foil produced using the same

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002213889 2002-07-23
JP2002291403A JP3789107B2 (ja) 2002-07-23 2002-10-03 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004107786A true JP2004107786A (ja) 2004-04-08
JP3789107B2 JP3789107B2 (ja) 2006-06-21

Family

ID=30772236

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002291403A Expired - Lifetime JP3789107B2 (ja) 2002-07-23 2002-10-03 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔

Country Status (9)

Country Link
US (3) US7005055B2 (ja)
EP (1) EP1524335B8 (ja)
JP (1) JP3789107B2 (ja)
KR (1) KR100588176B1 (ja)
CN (1) CN1293235C (ja)
ES (1) ES2497090T3 (ja)
MY (1) MY146397A (ja)
TW (1) TWI250225B (ja)
WO (1) WO2004009876A1 (ja)

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004162172A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Iljin Copper Foil Co Ltd 電解銅箔製造用の電解液及びそれを用いた電解銅箔の製造方法
WO2006080148A1 (ja) * 2005-01-25 2006-08-03 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 特定骨格を有する化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
WO2012017716A1 (ja) 2010-08-06 2012-02-09 三洋電機株式会社 複数のファイルを順次再生するコンテンツ再生装置
WO2012066991A1 (ja) 2010-11-15 2012-05-24 Jx日鉱日石金属株式会社 電解銅箔
WO2012121020A1 (ja) * 2011-03-04 2012-09-13 Jx日鉱日石金属株式会社 強度が高く、異常電着による突起形状が少ない電解銅箔及びその製造方法
WO2014033917A1 (ja) * 2012-08-31 2014-03-06 Jx日鉱日石金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法
KR20160023927A (ko) 2011-07-13 2016-03-03 제이엑스 킨조쿠 가부시키가이샤 강도가 높고 또한 휨이 적은 전해 동박 및 그 제조 방법
EP3046400A2 (en) 2015-01-16 2016-07-20 JX Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil provided with carrier, laminate, printed wiring board, electronic device, and method for fabricating printed wiring board
US9457541B2 (en) 2010-07-15 2016-10-04 Ls Mtron Ltd. Copper foil for current collector of lithium secondary battery with improved wrinkle characteristics
JP2018062706A (ja) * 2015-11-10 2018-04-19 Jx金属株式会社 電解銅箔、電解銅箔の製造方法、銅張積層板、プリント配線板、プリント配線板の製造方法及び電子機器の製造方法
KR20180107990A (ko) 2017-03-23 2018-10-04 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 리튬 이온 2차전지, 이 2차전지의 음극 전극을 구성하는 집전체 및 이 음극 집전체를 구성하는 전해동박
WO2018207785A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法
WO2018207786A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法
WO2018207788A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005041951A1 (de) * 2005-09-03 2007-03-08 Bayer Materialscience Ag Wässrige 2K-PUR Systeme enthaltend hydroxy-funktionelle Polydimethylsiloxane
DE102005041925A1 (de) * 2005-09-03 2007-04-26 Bayer Materialscience Ag 2K PUR-Systeme enthaltend OH-funktionelle Polydimethylsiloxane
KR20070044774A (ko) * 2005-10-25 2007-04-30 미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤 2층 플렉시블 프린트 배선판 및 그 2층 플렉시블 프린트배선판의 제조 방법
JP2007146289A (ja) * 2005-10-31 2007-06-14 Mitsui Mining & Smelting Co Ltd 電解銅箔の製造方法、該製造方法で得られる電解銅箔、該電解銅箔を用いて得られる表面処理銅箔及び該電解銅箔又は該表面処理銅箔を用いて得られる銅張積層板
KR100723391B1 (ko) * 2006-01-13 2007-05-30 삼성에스디아이 주식회사 고분자 전해질막 및 이를 구비한 연료전지
TWI414638B (zh) * 2006-06-07 2013-11-11 Furukawa Electric Co Ltd A method for manufacturing a surface-treated electrolytic copper foil, and a circuit board
US20080142249A1 (en) * 2006-12-13 2008-06-19 International Business Machines Corporation Selective surface roughness for high speed signaling
US7872297B2 (en) * 2007-04-17 2011-01-18 Snu R&Db Foundation Flash memory device and fabricating method thereof comprising a body recess region
US20110233320A1 (en) * 2008-11-25 2011-09-29 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Method of winding up copper foil or copper clad laminate
US8268157B2 (en) * 2010-03-15 2012-09-18 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Plating bath and method
US8262895B2 (en) * 2010-03-15 2012-09-11 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Plating bath and method
JP4999126B2 (ja) * 2010-06-15 2012-08-15 古河電気工業株式会社 回路部品

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3902951A (en) * 1969-12-28 1975-09-02 Matsushita Electric Works Ltd Copper-clad laminate and production thereof
US4384930A (en) * 1981-08-21 1983-05-24 Mcgean-Rohco, Inc. Electroplating baths, additives therefor and methods for the electrodeposition of metals
US4490220A (en) * 1982-09-30 1984-12-25 Learonal, Inc. Electrolytic copper plating solutions
US4529486A (en) * 1984-01-06 1985-07-16 Olin Corporation Anode for continuous electroforming of metal foil
JPH0649958B2 (ja) 1987-06-15 1994-06-29 日本電解株式会社 電解銅箔の製造方法
JP2993968B2 (ja) 1989-01-10 1999-12-27 古河サーキットフォイル株式会社 電解銅箔の製造方法
US5403465A (en) * 1990-05-30 1995-04-04 Gould Inc. Electrodeposited copper foil and process for making same using electrolyte solutions having controlled additions of chloride ions and organic additives
CN1111567A (zh) 1993-12-28 1995-11-15 日本电解株式会社 敷铜箔层压板,多层印刷电路板及其处理方法
JPH0853789A (ja) 1994-08-09 1996-02-27 Furukawa Circuit Foil Kk 電解銅箔の製造方法
JP3313277B2 (ja) * 1995-09-22 2002-08-12 古河サーキットフォイル株式会社 ファインパターン用電解銅箔とその製造方法
TW432124B (en) 1996-05-13 2001-05-01 Mitsui Mining & Amp Smelting C Electrolytic copper foil with high post heat tensile strength and its manufacturing method
JPH10330983A (ja) 1997-05-30 1998-12-15 Fukuda Metal Foil & Powder Co Ltd 電解銅箔及びその製造方法
DE19758121C2 (de) 1997-12-17 2000-04-06 Atotech Deutschland Gmbh Wäßriges Bad und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Kupferschichten
JP2001073182A (ja) * 1999-07-15 2001-03-21 Boc Group Inc:The 改良された酸性銅電気メッキ用溶液
US6881319B2 (en) 2000-12-20 2005-04-19 Shipley Company, L.L.C. Electrolytic copper plating solution and method for controlling the same
JP4392168B2 (ja) * 2001-05-09 2009-12-24 荏原ユージライト株式会社 銅めっき浴およびこれを用いる基板のめっき方法
KR100877923B1 (ko) 2001-06-07 2009-01-12 롬 앤드 하스 일렉트로닉 머트어리얼즈, 엘.엘.씨 전해 구리 도금법

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004162172A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Iljin Copper Foil Co Ltd 電解銅箔製造用の電解液及びそれを用いた電解銅箔の製造方法
WO2006080148A1 (ja) * 2005-01-25 2006-08-03 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 特定骨格を有する化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
US7824534B2 (en) 2005-01-25 2010-11-02 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. Copper electrolytic solution containing as additive compound having specific skeleton, and electrolytic copper foil manufactured therewith
US9457541B2 (en) 2010-07-15 2016-10-04 Ls Mtron Ltd. Copper foil for current collector of lithium secondary battery with improved wrinkle characteristics
US10283778B2 (en) 2010-07-15 2019-05-07 Kcf Technologies Co., Ltd. Copper foil for current collector of lithium secondary battery with improved wrinkle characteristics
WO2012017716A1 (ja) 2010-08-06 2012-02-09 三洋電機株式会社 複数のファイルを順次再生するコンテンツ再生装置
WO2012066991A1 (ja) 2010-11-15 2012-05-24 Jx日鉱日石金属株式会社 電解銅箔
KR20150091192A (ko) 2010-11-15 2015-08-07 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 전해 구리박
WO2012121020A1 (ja) * 2011-03-04 2012-09-13 Jx日鉱日石金属株式会社 強度が高く、異常電着による突起形状が少ない電解銅箔及びその製造方法
KR20160023927A (ko) 2011-07-13 2016-03-03 제이엑스 킨조쿠 가부시키가이샤 강도가 높고 또한 휨이 적은 전해 동박 및 그 제조 방법
WO2014033917A1 (ja) * 2012-08-31 2014-03-06 Jx日鉱日石金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法
KR20160088824A (ko) 2015-01-16 2016-07-26 제이엑스금속주식회사 캐리어가 부착된 동박, 적층체, 프린트 배선판, 전자 기기 및 프린트 배선판의 제조 방법
US10187983B2 (en) 2015-01-16 2019-01-22 Jx Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil provided with carrier, laminate, printed wiring board, electronic device, and method for fabricating printed wiring board
EP3046400A2 (en) 2015-01-16 2016-07-20 JX Nippon Mining & Metals Corporation Copper foil provided with carrier, laminate, printed wiring board, electronic device, and method for fabricating printed wiring board
JP2018062706A (ja) * 2015-11-10 2018-04-19 Jx金属株式会社 電解銅箔、電解銅箔の製造方法、銅張積層板、プリント配線板、プリント配線板の製造方法及び電子機器の製造方法
JP2018062704A (ja) * 2015-11-10 2018-04-19 Jx金属株式会社 電解銅箔、電解銅箔の製造方法、銅張積層板、プリント配線板、プリント配線板の製造方法及び電子機器の製造方法
KR20180107990A (ko) 2017-03-23 2018-10-04 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 리튬 이온 2차전지, 이 2차전지의 음극 전극을 구성하는 집전체 및 이 음극 집전체를 구성하는 전해동박
WO2018207785A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法
WO2018207786A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法
WO2018207788A1 (ja) * 2017-05-09 2018-11-15 Jx金属株式会社 電解銅箔及びその製造方法、銅張積層板、プリント配線板及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
HK1064713A1 (en) 2005-02-04
US20050252778A1 (en) 2005-11-17
ES2497090T3 (es) 2014-09-22
US7378160B2 (en) 2008-05-27
KR20040028792A (ko) 2004-04-03
US20080073219A1 (en) 2008-03-27
KR100588176B1 (ko) 2006-06-08
MY146397A (en) 2012-08-15
US20040149583A1 (en) 2004-08-05
US7005055B2 (en) 2006-02-28
EP1524335B1 (en) 2014-06-04
EP1524335A4 (en) 2006-03-29
WO2004009876A1 (ja) 2004-01-29
US8449751B2 (en) 2013-05-28
JP3789107B2 (ja) 2006-06-21
CN1293235C (zh) 2007-01-03
EP1524335A1 (en) 2005-04-20
CN1522316A (zh) 2004-08-18
TWI250225B (en) 2006-03-01
TW200402482A (en) 2004-02-16
EP1524335B8 (en) 2014-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004107786A (ja) 特定骨格を有するアミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
JP4115240B2 (ja) 特定骨格を有する四級アミン化合物及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
JP5595301B2 (ja) 銅電解液
JP4294593B2 (ja) 銅電解液およびそれにより製造された電解銅箔
JP4376903B2 (ja) 特定骨格を有する化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
JP5595320B2 (ja) 銅電解液
JP4255130B2 (ja) 特定骨格を有するジアルキルアミノ基含有重合体及び有機硫黄化合物を添加剤として含む銅電解液並びにそれにより製造される電解銅箔
HK1068655B (en) Copper electrolytic solution containing quaternary amine compound with specific skeleton and organo-sulfur compound as additives, and electrolytic copper foil manufactured using the same
HK1084159B (en) Copper electrolytic solution and electrolytic copper foil produced therewith
HK1064713B (en) Copper electrolytic solution and electrolytic copper foil produced using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050628

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050829

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051115

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060323

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060327

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 3789107

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100407

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407

Year of fee payment: 5

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110407

Year of fee payment: 5

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120407

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130407

Year of fee payment: 7

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term