JP2004233370A - 部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム - Google Patents
部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004233370A JP2004233370A JP2004102786A JP2004102786A JP2004233370A JP 2004233370 A JP2004233370 A JP 2004233370A JP 2004102786 A JP2004102786 A JP 2004102786A JP 2004102786 A JP2004102786 A JP 2004102786A JP 2004233370 A JP2004233370 A JP 2004233370A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- dilution
- flow
- flow path
- flow rate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007865 diluting Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 title claims description 9
- 239000012895 dilution Substances 0.000 claims abstract description 127
- 238000010790 dilution Methods 0.000 claims abstract description 127
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 8
- 239000012470 diluted sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 118
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 11
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000003113 dilution method Methods 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
【解決手段】希釈用ガス供給路5は、一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路33と、希釈用ガスの流量を制御するためのピエゾバルブ43を備えた第2の流路34とを並列に設けるとともに、前記希釈用ガス供給路5に含まれる差圧流量計60が、前記第1の流路33と第2の流路34との合流点35より下流側に設けられる第3の流路36に設けられ、前記ピエゾバルブ43は、前記希釈用ガス供給路5に含まれる差圧流量計60によって検出された希釈用ガスの実流量に基づいて開度調整が行われる。
【選択図】図1
Description
2 希釈トンネル
5 希釈用ガス供給路
16,24 ガス流路
26,60 差圧流量計
33 第1の流路
34 第2の流路
35 合流点
36 第3の流路
43 ピエゾバルブ
A 希釈用ガス
G 排気ガス
S サンプルガス
Claims (2)
- 部分採取された排気ガスを希釈する希釈トンネルと、該希釈トンネルの上流側に接続される希釈用ガス供給路と、前記希釈トンネルの下流側に接続され、希釈されたサンプルガスが流れるガス流路とを備え、前記希釈用ガス供給路および前記ガス流路は、それぞれ差圧流量計を含むとともに、前記希釈用ガス供給路は、一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、希釈用ガスの流量を制御するためのピエゾバルブを備えた第2の流路とを並列に設けるとともに、前記希釈用ガス供給路に含まれる差圧流量計が、前記第1の流路と第2の流路との合流点より下流側に設けられる第3の流路に設けられ、前記ピエゾバルブは、前記希釈用ガス供給路に含まれる差圧流量計によって検出された希釈用ガスの実流量に基づいて開度調整が行われるものであることを特徴とする部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システム。
- エンジンなどから排出される排気ガス中に含まれる微粒子状物質の測定用ガス希釈システムであって、部分採取された排気ガスを希釈する希釈トンネルと、該希釈トンネルの上流側に接続される希釈用ガス供給路と、前記希釈トンネルの下流側に接続され、希釈されたサンプルガスが流れるガス流路と、前記サンプルガス中に含まれる微粒子状物質を捕集するためフィルタを前記ガス流路に備え、更に、前記希釈用ガス供給路および前記ガス流路に設けられたフィルタの下流側に、それぞれ差圧流量計を含むとともに、前記希釈用ガス供給路は、一定流量の希釈用ガスを流す第1の流路と、希釈用ガスの流量を制御するためのピエゾバルブを備えた第2の流路とが並列に設けられるとともに、前記希釈用ガス供給路に含まれる差圧流量計が、前記第1の流路と第2の流路との合流点より下流側に設けられる第3の流路に設けられ、前記ピエゾバルブは、前記希釈用ガス供給路に含まれる差圧流量計によって検出された希釈用ガスの実流量に基づいて開度調整が行われるものであることを特徴とする部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102786A JP3968085B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004102786A JP3968085B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20401798A Division JP3604060B2 (ja) | 1998-07-17 | 1998-07-17 | 希釈用ガス流量制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004233370A true JP2004233370A (ja) | 2004-08-19 |
| JP3968085B2 JP3968085B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=32959896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004102786A Expired - Fee Related JP3968085B2 (ja) | 2004-03-31 | 2004-03-31 | 部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3968085B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009510448A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | 株式会社堀場製作所 | エンジン排気希釈用サンプラ |
| CN114215938A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-03-22 | 浙江华章科技有限公司 | 一种稀释水流浆箱阀门控制系统 |
-
2004
- 2004-03-31 JP JP2004102786A patent/JP3968085B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009510448A (ja) * | 2005-09-29 | 2009-03-12 | 株式会社堀場製作所 | エンジン排気希釈用サンプラ |
| CN114215938A (zh) * | 2021-12-09 | 2022-03-22 | 浙江华章科技有限公司 | 一种稀释水流浆箱阀门控制系统 |
| CN114215938B (zh) * | 2021-12-09 | 2023-06-06 | 浙江华章科技有限公司 | 一种稀释水流浆箱阀门控制系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3968085B2 (ja) | 2007-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5002602B2 (ja) | 流量制御装置の検定方法 | |
| KR101632602B1 (ko) | 반도체 제조 장치의 가스 분류 공급 장치 | |
| KR101428826B1 (ko) | 유량 비율 제어 장치 | |
| US20070198131A1 (en) | Mass flow rate-controlling apparatus | |
| EP3088861B1 (en) | Exhaust gas measurement system and method | |
| US7201071B2 (en) | Wide range continuous diluter | |
| EP0973080B1 (en) | Gas flow rate control apparatus | |
| US20170293309A1 (en) | Mass flow controller and a method for controlling a mass flow rate | |
| CN115454153A (zh) | 质量流量控制器及其流量控制方法 | |
| JP3604059B2 (ja) | 部分希釈方式のガス希釈システム | |
| CN111103020B (zh) | 流量检测装置、流量控制系统及流量检测方法 | |
| JP2009510448A (ja) | エンジン排気希釈用サンプラ | |
| JP3604060B2 (ja) | 希釈用ガス流量制御装置 | |
| JP3893115B2 (ja) | マスフローコントローラ | |
| JP3968085B2 (ja) | 部分希釈方式の排気ガス測定用ガス希釈システムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガス希釈システム | |
| EP1779084A2 (en) | Fast operating dilution flow control system and method for sampling exhaust analysis | |
| JP4603207B2 (ja) | ガス希釈システム | |
| JP4008424B2 (ja) | 部分希釈方式の排気ガス測定用ガスサンプルシステムおよび部分希釈方式の排気ガス中の微粒子状物質測定用ガスサンプルシステム | |
| JP2000075932A (ja) | 気体流量制御装置 | |
| JPH08226878A (ja) | 排気ガスサンプリング装置 | |
| JP2973157B2 (ja) | 粒子状物質測定装置 | |
| JP3650921B2 (ja) | 希釈ガス流量制御装置 | |
| JPH08101176A (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| JP2001249064A (ja) | 排ガス希釈装置 | |
| JPH11264788A (ja) | 希釈ガス流量制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040910 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070529 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070601 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130608 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |