JP2005202066A - 感光性転写シート、感光性積層体、画像パターンを形成する方法、配線パターンを形成する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、重合性化合物を含むバリアー層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層した感光性転写シートを用いる。また、基体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第二感光層、重合性化合物を含むバリアー層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第二感光層の光感度よりも相対的に低い光感度を有する第一感光層がこの順に積層されている感光性積層体から画像を形成する。
【選択図】 図1
Description
本発明の課題はまた、感光性転写シートあるいは感光性積層体を用いて、画像内に厚みが異なる所望のパターンを工業的に有利に形成することができる方法を提供することにもある。
本発明の課題は特に、プリント配線板の製造に有効で、薄層化により高解像度化が可能であり、破れにくいテント膜を形成することができる感光性転写シートを提供することにある。
本発明の課題はまた、感光性転写シートを用いて、スルーホールやビアホールなどのホール部を有するプリント配線板を工業的に有利に製造できる方法を提供することにもある。
(1)バリアー層が感光性を有し、バリアー層の光感度が第一感光層の光感度よりも相対的に低い。
(2)バリアー層に含まれる重合性化合物が重合性基を有するポリマーである。
(3)上記(2)の重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す。
(4)上記(3)の重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である。
(5)バリアー層がさらに、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーを含む。
(6)上記(5)のポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である。
(8)第一感光層の光感度を1とした場合、第二感光層の光感度が2〜200の範囲にある。
(9)第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量BとのA/Bで表される比が、0.005〜0.5の範囲にある。
(10)第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量CとのC/Aで表される比が、1〜10の範囲にある。
(12)第二感光層に含有されている重合性化合物の量が第一感光層に含有されている重合性化合物の量よりも多い。
(13)第一感光層が、1〜100μmの範囲の厚みを有し、かつその厚みが第二感光層の厚みよりも大きい。
(14)第二感光層が、0.1〜15μmの範囲の厚みを有する。
(15)支持体が合成樹脂製で、かつ透明である。
(16)支持体が長尺支持体である。
(17)第二感光層の上に保護フィルムが配置されている。
(18)長尺体であって、ロール状に巻かれている。
(19)プリント配線板製造用である。
(1)バリアー層が感光性を有し、バリアー層の光感度が第一感光層の光感度よりも相対的に低い。
(2)バリアー層に含まれる重合性化合物が重合性基を有するポリマーである。
(3)上記(2)の重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す。
(4)上記(3)の重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である。
(5)バリアー層がさらに、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーを含む。
(6)上記(5)のポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である。
(8)第一感光層の光感度を1とした場合、第二感光層の光感度が2〜200の範囲にある。
(9)第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量BとのA/Bで表される比が、0.005〜0.5の範囲にある。
(10)第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量CとのC/Aで表される比が、1〜10の範囲にある。
(12)第二感光層に含有されている重合性化合物の量が第一感光層に含有されている重合性化合物の量よりも多い。
(13)第一感光層が、1〜100μmの範囲の厚みを有し、かつその厚みが第二感光層の厚みよりも大きい。
(14)第二感光層が、0.1〜15μmの範囲の厚みを有する。
(15)基体がプリント配線板形成用基板である。
(16)第一感光層の上に支持体(特に透明樹脂フィルムであることが好ましい)が積層されている。
(17)プリント配線板製造用である。
(1)基板上に、前記第一の発明の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から所定の画像パターンの光照射を行い、その光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。
(1)基板上に、前記第一の発明の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から、互いに相違する少なくとも二レベルの照射エネルギー量の光を照射する領域を規定する画像パターンにて光照射し、光照射エネルギー量が相対的に大きい光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させ、そして光照射エネルギー量が相対的に小さい光照射を受けた領域の第二感光層を硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。
(1)上記(3)の積層体から支持体を除去する工程を、工程(2)と工程(4)との間で行う代わりに、工程(1)と工程(2)との間で行う。
(2)工程(2)における光照射をレーザ光の照射により行う。
(1)基板上に、前記第一の発明の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から所定の配線パターンの光照射を行い、その光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。
(1)基板上に、前記第一の発明の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から、ホール部には、光照射エネルギー量が相対的に大きい光照射を与えて第一感光層と第二感光層とを共に硬化させ、そして配線形成領域には、光照射エネルギー量が相対的に小さい光照射を与えて第二感光層を硬化させるような画像パターンの光照射を行う工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。
(1)上記(3)の積層体から支持体を除去する工程を、工程(2)と工程(4)との間で行う代わりに、工程(1)と工程(2)との間で行う。
(2)工程(2)における光照射をレーザ光の照射により行う。
更に第一感光層と第二感光層の間にバリアー層を設けることで、第一感光層と第二感光層の層間の混合や物質の移行を防止することができ、感光性転写シートの製造が容易であり、また保存時の感度の変動が少ない。更に該バリアー層も重合性を有することで、第一感光層と第二感光層を共に硬化させた部分(硬化膜の厚みが厚い部分)における現像等の処理で第一感光層/バリアー層/第二感光層の何れかの界面での浮きや剥離等の故障(特にスルーホールの径が小さい領域などで発生しやすい)などを防止することができる。このため、工業的に有利なテンティング法で高解像度のプリント配線板を製造することができる。
バリアー層は、第一感光層と第二感光層との間に設けられる。バリアー層は、二つの感光層に含まれる成分の移動を防止または制御する機能を有する。バリアー層は、感光層と、支持体や他の任意の層(例、保護フイルム)に含まれる成分についても移動を防止または制御する機能を有してもよい。成分の移動により感光層の感度や各層の物性が変化することを、バリアー層によって防止できる。バリアー層は、さらに、外部の物質(例、酸素)の移動を防止する機能や、外部条件(例、湿度)の変化による影響を緩和する機能を有していてもよい。
バリアー層は、重合性化合物を含む。重合性化合物は、重合性官能基を有する化合物であって、低分子化合物(モノマー)に加えて、高分子化合物(オリゴマー、ポリマー)も含む。バリアー層は、低分子の重合性化合物とバインダーとして機能するポリマー(樹脂)との双方を含むか、あるいはバインダーとして機能する高分子の重合性化合物(樹脂)を含むことが好ましい。
重合性化合物は、一分子中に複数の重合性官能基を有することが好ましい。
低分子の重合性化合物と併用するバインダーは、溶媒(水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコール)に対して親和性を示すことが好ましい。親和性とは、前記溶媒に対して、乳化、分散、膨潤、溶解(部分溶解を含む)、濡れ性を有することを意味する。バリアー層に含まれるバインダーは、溶媒(水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコール)に対して可溶性であることがさらに好ましい。
低分子の重合性化合物とバインダー(樹脂)との質量比は、重合性化合物:バインダーで90:10〜1:99が好ましく、70:30〜5:95がさらに好ましく、60:40〜5:95が最も好ましい。
低分子の重合性化合物を二種類以上併用してもよい。低分子の重合性化合物と高分子の重合性化合物(下記)とを併用してもよい。
高分子重合性化合物の分子量は、500以上が好ましく、1000以上がさらに好ましい。
重合性基をポリマーに導入するためには、ポリマーの官能基(例、ヒドロキシル、アミノ)に対して反応性を有する官能基(例、カルボキシル、スルホ、ヒドロキシル、酸ハライド基、酸無水物構造、メチロール基、イソシアナート基)と重合性基とを有する化合物とを反応させればよい。
スルホ基と重合性基とを有する化合物の例は、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸を含む。
ヒドロキシル基と重合性基とを有する化合物の例は、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートを含む。
重合性基を有する(環状)酸無水物の例は、無水マレイン酸、無水イタコン酸を含む。他の酸無水物(例、無水フタル酸、無水コハク酸)にエチレン性不飽和基を導入した化合物も、重合性基を有するカルボキシキル基として用いることができる。
メチロール基と重合性基とを有する化合物の例は、メチロール(メタ)アクリルアミドを含む。
イソシアナート基と重合性基とを有する化合物の例は、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアナート、(メタ)アクリロイルイソシアナート、1−(4−ビニルフェニル)−1−メチルエチルイソシアナート、1−(4−イソプロペニルフェニル)−1−メチルエチルイソシアナートを含む。
重合性基を有するエポキシ樹脂(特開平4−211413号公報に記載)を、バインダーとして機能する高分子の重合性化合物(樹脂)として用いてもよい。重合性基を有するエポキシ樹脂は、エポキシアクリレートに酸無水物を反応させ、アミンで中和することにより得られる。
アクリロイルモルホリンとヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレートとの共重合体に、メタクリロイルエチルイソシアナートを反応させて得られるポリマー(特開平9−146270号公報記載)も、バインダーとして機能する高分子の重合性化合物(樹脂)として用いることができる。
バリアー層は、後述する感光層の成分(例、光重合開始剤、増感剤、熱重合禁止剤、可塑剤、発色剤、着色剤、顔料、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、表面張力調整剤、連鎖移動剤)を含むことができる。これらの任意成分も、水もしくは炭素原子数1〜4の低級アルコールに対して親和性(または可溶性)を示すことが好ましい。バリアー層は、熱可塑性樹脂(特許第2794242号公報記載)を含むこともできる。
バリアー層は、0.1乃至5μmの範囲の厚みを有することが好ましい。バリアー層を二層以上設けてもよい。
本発明の感光性転写シートの一例として、感光層を二層有する構成の模式断面図を図1と図2に示す。
各感光層に用いるバインダーは、アルカリ水溶液に可溶であることが好ましく、あるいは少なくとも膨潤性を有することが好ましい。このようなバインダーの例としては、酸性基(カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基など)を有するものが利用できるが、特にカルボキシル基を有するバインダーが代表的であり、例えばカルボキシル基含有ビニル共重合体、カルボキシル基含有ポリウレタン樹脂、ポリアミド酸樹脂、変性エポキシ樹脂などが挙げられるが、塗布溶媒への溶解性、アルカリ現像液への溶解性、合成適性、膜物性の調整の容易さなどからカルボキシル基含有ビニル共重合体が好ましい。
感光層には、重合性化合物(いわゆるモノマー)を用いるが、特に重合性基を2個以上含有するモノマー、あるいはオリゴマー(多官能モノマー、多官能オリゴマー)を用いることが好ましい。重合性基としてはエチレン性不飽和結合(例えば(メタ)アクリロイル基、(メタ)アクリルアミド基、スチリル基、ビニルエステルやビニルエーテルなどのビニル基、アリルエーテルやアリルエステルなどのアリル基など)、重合可能な環状エーテル基(例えばエポキシ基、オキセタン基など)などが挙げられる。これらの内でエチレン性不飽和結合が好ましい。
スチレン化合物の例としては、ジビニルベンゼン、4−アリルスチレン及び4−イソプロペンスチレン等を挙げることができる。
本発明の感光性転写シートに用いる光重合開始剤としては、前述のモノマー成分の重合を開始する能力を有する化合物は全て使用可能であり、特に紫外線領域から可視の光線に対して感光性を有するものであれば好適に使用できる。光重合開始剤は、約300〜800nm(より好ましくは330〜500nm)の範囲内に少なくとも約50の分子吸光係数を有する成分を少なくとも一種含有していることが好ましい。光重合開始剤はまた、光励起された増感剤と何らかの作用を生じ、活性ラジカルを生成する活性剤であってもよく、またモノマーの種類に応じてカチオン重合を開始させるような開始剤であてもよい。
若林ら著、Bull.Chem.Soc.Japan,42、2924(1969)記載の化合物、例えば、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−クロルフェニル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−トリル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−(2,4−ジクロルフェニル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、2−n−ノニル−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン、及び2−(α,α,β−トリクロルエチル)−4,6−ビス(トリクロルメチル)−1,3,5−トリアジン。
各感光層の露光における感度や感光波長を調整する目的で増感剤を添加することができる。露光の光線(活性エネルギー線)として可視光線や紫外光・可視光レーザを用いる場合などに、増感剤は、活性エネルギー線により励起状態となり、他の物質(例えばラジカル発生剤、酸発生剤など)と相互作用(例えばエネルギー移動、電子移動など)し、ラジカルや酸などの有用基を発生することが可能である。
感光層は、必要に応じて熱重合禁止剤、可塑剤、発色剤、着色剤、更に基体表面への密着促進剤及びその他の助剤類(例えば顔料、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を併用してもよく、これによって目的とする感光性転写シートの安定性、写真性、焼きだし性、膜物性等の性質を調節することができる。前記の成分は、第一感光層および第二感光層のいずれにも添加可能であり、その添加量は目的に応じて決めればよく、またそれぞれの感光層への添加量は同じでも異なっていてもよい。
熱重合禁止剤は、感光層の重合性化合物の熱的な重合又は経時的な重合を防止するために添加してもよい。熱重合禁止剤としては、例えば、4−メトキシフェノール、ハイドロキノン、アルキルまたはアリール置換ハイドロキノン、t−ブチルカテコール、ピロガロール、2−ヒドロキシベンゾフェノン、4−メトキシ−2−ヒドロキシベンゾフェノン、塩化第一銅、フェノチアジン、クロラニル、ナフチルアミン、β−ナフトール、2,6−ジ−t−ブチル−4−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、ピリジン、ニトロベンゼン、ジニトロベンゼン、ピクリン酸、4−トルイジン、メチレンブルー、銅と有機キレート剤反応物、サリチル酸メチル、及びフェノチアジン、ニトロソ化合物、ニトロソ化合物とAlとのキレート等が挙げられる。
可塑剤は、感光層の膜物性(可撓性)をコントロールするために添加してもよい。可塑剤の例としては、ジメチルフタレート、ジブチルフタレート、ジイソブチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジシクロヘキシルフタレート、ジトリデシルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジイソデシルフタレート、ジフェニルフタレート、ジアリルフタレート、オクチルカプリールフタレート等のフタル酸エステル類;トリエチレングリコールジアセテート、テトラエチレングリコールジアセテート、ジメチルグリコールフタレート、エチルフタリールエチルグリコレート、メチルフタリールエチルグリコレート、ブチルフタリールブチルグリコレート、トリエチレングリコールジカブリル酸エステル等のグリコールエステル類;トリクレジルホスフェート、トリフェニルホスフェート等のリン酸エステル類;4−トルエンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、N−n−ブチルベンゼンスルホンアミド、N−n−ブチルアセトアミド等のアミド類;ジイソブチルアジペート、ジオクチルアジペート、ジメチルセバケート、ジブチルセパケート、ジオクチルセパケート、ジオクチルアゼレート、ジブチルマレート等の脂肪族二塩基酸エステル類;クエン酸トリエチル、クエン酸トリブチル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブチル、4,5−ジエポキシシクロヘキサン−1,2−ジカルボン酸ジオクチル等、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のグリコール類が挙げられる。
発色剤は、露光後の感光層に可視像を与える(焼きだし機能)ために添加してもよい。発色剤としては、例えば、トリス(4−ジメチルアミノフェニル)メタン(ロイコクリスタルバイオレット)、トリス(4−ジエチルアミノフェニル)メタン、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン、トリス(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン、ビス(4−ジブチルアミノフェニル)−[4−(2−シアノエチル)メチルアミノフェニル]メタン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)−2−キノリルメタン、トリス(4−ジプロピルアミノフェニル)メタン等のアミノトリアリールメタン類;3,6−ビス(ジメチルアミノ)−9−フェニルキサンチン、3−アミノ−6−ジメチルアミノ−2−メチル−9−(2−クロロフェニル)キサンチン等のアミノキサンチン類;3,6−ビス(ジエチルアミノ)−9−(2−エトキシカルボニルフェニル)チオキサンテン、3,6−ビス(ジメチルアミノ)チオキサンテン等のアミノチオキサンテン類;3,6−ビス(ジエチルアミノ)−9,10−ジヒドロ−9−フェニルアクリジン、3,6−ビス(ベンジルアミノ)−9,10−ジヒドロ−9−メチルアクリジン等のアミノ−9,10−ジヒドロアクリジン類;3,7−ビス(ジエチルアミノ)フェノキサジン等のアミノフェノキサジン類;3,7−ビス(エチルアミノ)フェノチアゾン等のアミノフェノチアジン類;3,7−ビス(ジエチルアミノ)−5−ヘキシル−5,10−ジヒドロフェナジン等のアミノジヒドロフェナジン類;ビス(4−ジメチルアミノフェニル)アニリノメタン等のアミノフェニルメタン類;4−アミノ−4’−ジメチルアミノジフェニルアミン、4−アミノ−α、β−ジシアノヒドロケイ皮酸メチルエステル等のアミノヒドロケイ皮酸類;1−(2−ナフチル)−2−フェニルヒドラジン等のヒドラジン類;1,4−ビス(エチルアミノ)−2,3−ジヒドロアントラキノン類のアミノ−2,3−ジヒドロアントラキノン類;N,N−ジエチル−4−フェネチルアニリン等のフェネチルアニリン類;10−アセチル−3,7−ビス(ジメチルアミノ)フェノチアジン等の塩基性NHを含むロイコ色素のアシル誘導体;トリス(4−ジエチルアミノ−2−トリル)エトキシカルボニルメンタン等の酸化しうる水素をもっていないが、発色化合物に酸化しうるロイコ様化合物;ロイコインジゴイド色素;米国特許3,042,515号及び同第3,042,517号に記載されているような発色形に酸化しうるような有機アミン類(例、4,4’−エチレンジアミン、ジフェニルアミン、N,N−ジメチルアニリン、4,4’−メチレンジアミントリフェニルアミン、N−ビニルカルバゾール)を挙げることができる。特に好ましいものはロイコクリスタルバイオレットなどのトリアリールメタン系化合物である。
感光層には、取り扱い性の向上のために感光性樹脂組成物を着色したり、保存安定性を付与する目的に、染料を用いることができる。好適な染料の例としては、ブリリアントグリーン(例えばその硫酸塩)、エオシン、エチルバイオレット、エリスロシンB、メチルグリーン、クリスタルバイオレット、ベイシックフクシン、フェノールフタレイン、1,3−ジフェニルトリアジン、アリザリンレッドS、チモールフタレイン、メチルバイオレット2B、キナルジンレッド、ローズベンガル、メタニル−イエロー、チモールスルホフタレイン、キシレノールブルー、メチルオレンジ、オレンジIV、ジフェニルチロカルバゾン、2,7−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン4B、α−ナフチル−レッド、ナイルブルーA、フェナセタリン、メチルバイオレット、マラカイトグリーン、パラフクシン、オイルブルー#603(オリエント化学工業(株)製)、ローダミンB、及びロータミン6G、ビクトリアピュアブルーBOHなどを挙げることができる。カチオン染料の対アニオンとしては、有機酸または無機酸の残基であればよく、たとえば臭素酸、ヨウ素酸、硫酸、リン酸、シュウ酸、メタンスルホン酸、トルエンスルホン酸等の残基(アニオン)があげられる。好ましい染料は、カチオン染料であり、たとえばマラカイトグリーンシュウ酸塩、マラカイトグリーン硫酸塩などがあげられる。
各層間の密着性、あるいは感光性転写シートと基体との密着性を向上させるために、各層に公知のいわゆる密着促進剤を用いることができる。
感光性転写シートを製造する時に発生する面状ムラを改善させるために、公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の例として、アニオン系およびカチオン系界面活性剤やノニオン系界面活性剤、両性界面活性剤、フッ素含有界面活性剤などから適宜選択できる。添加量は、感光性樹脂組成物の固形分に対し、0.001〜10質量%が好ましく、0.001質量%未満では面状改良の効果が得られなく、10質量%を超えると密着性が低下するという問題が発生しやすい。フッ素系の界面活性剤として炭素鎖3〜20でフッ素原子を40質量%以上含み、且つ非結合末端から数えて少なくとも3個の炭素原子に結合した水素原子がフッ素置換されているフルオロ脂肪族基を有するアクリレートまたはメタクリレートを共重合成分として有する高分子界面活性剤なども好ましい。
本発明の感光性転写シートは、例えば次のようにして製造することができる。
まず、上記の各種材料を、水または溶剤に溶解、乳化または分散させて、第一感光層形成用の第一感光性樹脂組成物溶液と第二感光層形成用の第二感光性樹脂組成物溶液をそれぞれ調製する。またバリアー層形成用の溶液を調製する。
支持体は、感光層を剥離可能であること、かつ光の透過性が良好であること、また表面の平滑性が良好であることが望ましい。支持体は合成樹脂製で、かつ透明であるものが好ましい。支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、三酢酸セルロース、二酢酸セルロース、ポリ(メタ)アクリル酸アルキルエステル、ポリ(メタ)アクリル酸エステル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、ポリカーボネート、ポリスチレン、セロファン、ポリ塩化ビニリデン共重合体、ポリアミド、ポリイミド、塩化ビニル・酢酸ビニル共重合体、ポリテトラフロロエチレン、ポリトリフロロエチレン、セルロース系フィルム、ナイロンフィルム等の各種のプラスチックフィルムを挙げることができる。更にこれらの二種以上からなる複合材料も使用することができる。上記の中でポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。支持体の厚さは、2〜150μmが好ましく、5〜100μmがより好ましく、特に8〜50μmが好ましい。支持体は長尺支持体であることが好ましい。本発明の感光性転写シートを製造する際に使用する長尺支持体の長さは任意に決めればよいが、たとえば10m〜20000mの長さのものが使用可能である。
本発明の感光性転写シートを転写する基体としては、表面平滑性の高いものから凸凹のある表面を持つものまで任意に選択できる。好ましくは板状の基体、いわゆる基板が使用される。具体的には、公知のプリント配線板製造用の基板、ガラス板(ソーダガラス板など)、合成樹脂性のフィルム、紙、金属板などがあげられる。
本発明の感光性転写シートは、(1)基板上に、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程、(2)積層体の第一感光層の側から所定の画像パターンの光照射を行い、その光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させる工程、(3)積層体から支持体を除去する工程、そして、(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程を含む、基板上に第一感光層と第二感光層とが共に硬化することにより形成された硬化樹脂が存在する領域と硬化樹脂が存在しない領域とから構成される画像パターンを形成する方法により、所望のパターンを形成することが可能である。
本発明の感光性転写シートは、プリント配線板の製造、特にスルーホール又はビアホールなどのホール部を有するプリント配線板の製造に好適に用いることができる。
(第一感光層の形成)
20μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルムに、下記の組成からなる第一感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、25μm厚の第一感光層を形成した。
第一感光性樹脂組成物溶液
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メチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合体組成(モル比):55/11.7/4.5/28.8
質量平均分子量:90,000、Tg:70℃) 15質量部
ヘキサメチレンジイソシアネートとオクタエチレンオキシドモノ(メタ)アクリレートの1/2モル比付加物 8質量部
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.04質量部
ベンゾフェノン 1.0質量部
4−トルエンスルホンアミド 0.5質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 0.02質量部
1,2,4−トリアゾール 0.01質量部
ロイコクリスタルバイオレット 0.2質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1質量部
メチルエチルケトン 30質量部
────────────────────────────────────────
第一感光層の上に、下記の組成からなる水溶性ポリマー溶液を塗布し、乾燥して1.6μm厚のバリアー層を形成した。
バリアー層溶液
────────────────────────────────────────
下記構造式で示されるポリビニルアルコール誘導体 13質量部
ポリビニルピロリドン 6質量部
水 200質量部
メタノール 180質量部
────────────────────────────────────────
バリアー層の上に、下記の組成からなる第二感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、5μm厚の第二感光層を形成した。
第二感光性樹脂組成物溶液
────────────────────────────────────────
メチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合体組成(モル比):40/26.7/4.5/28.8、質量平均分子量:90,000、Tg:50℃) 15質量部
ポリプロピレングリコールジアクリレート 6.5質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5質量部
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.4質量部
ベンゾフェノン 3.0質量部
4−トルエンスルホンアミド 0.5質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 0.02質量部
1,2,4−トリアゾール 0.01質量部
ロイコクリスタルバイオレット 0.2質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1質量部
メチルエチルケトン 10質量部
1−メトキシ−2−プロパノール 20質量部
────────────────────────────────────────
最後に第二感光層の上に、12μm厚のポリプロピレンフィルムを積層して感光性転写シートを得た。いずれの層も膜厚ムラが±5%以内であった。こうして得た感光性転写シートの感度を後述の方法により測定した結果、最短現像時間は30秒、第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aは、4mJ/cm2であり、第一感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Bは40mJ/cm2であり、第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量Cは14mJ/cm2(光エネルギー量Cと光エネルギー量Aとの比C/Aは3.5、光エネルギー量Aと光エネルギー量Bとの比A/Bは0.1)であった。また、第一感光層の光感度を1とした場合、第二感光層の光感度は10であった。
(ポリビニルアルコール誘導体の合成例)
ポリビニルアルコール(PVA205 クラレ(株)製)10質量部を水90質量部に溶解する。ここにメチロールアクリルアミド2.3質量部を水20.7質量部に溶解した溶液、及びハイドロキノン0.002質量部を添加する。ここに硫酸0.04質量部を加え40℃で4時間反応させることで側鎖にアクリルアミド基を有するポリビニルアルコールの10質量%水溶液を得た。
実施例1におけるバリアー層溶液を下記に変更する以外は実施例1と同様にして感光性転写シートを得た。
バリアー層溶液
────────────────────────────────────────
合成したポリビニルアルコール誘導体の10%水溶液 130質量部
ポリビニルピロリドン 6質量部
水 83質量部
メタノール 180質量部
────────────────────────────────────────
(感光性転写シートの作製)
実施例1におけるバリアー層溶液を下記に変更する以外は実施例1と同様にして感光性転写シートを得た。
バリアー層溶液
────────────────────────────────────────
ポリビニルアルコール(PVA205、クラレ(株)製) 13質量部
ポリビニルピロリドン 3質量部
ノナプロピレングリコールジアクリレート 3質量部
水 200質量部
メタノール 180質量部
────────────────────────────────────────
実施例1における第一感光層の膜厚を30μmに変更し、バリアー層、第二感光層を塗布しない事以外は実施例1と同様にして感光性転写シートを作成した。こうして得た感光性転写シートの感度を後述の方法により測定した結果、最短現像時間は25秒、感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Bは40mJ/cm2であり、第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量Cは14mJ/cm2であった。
実施例1における第一感光層、バリアー層を塗布せず、膜厚5μmの第二感光層のみからなる感光性転写シートを作成したこうして得た感光性転写シートの感度を後述の方法により測定した結果、最短現像時間は10秒以下、第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Bは4mJ/cm2であった。
(1)最短現像時間の測定方法
表面を研磨、水洗、乾燥した銅張積層板(スルーホールなし)の表面に、感光性転写シートの保護フィルムを剥がしながら、感光性転写シートの第二感光層が基板に接するように感光性転写シートをラミネーター(MODEL8B−720−PH、大成ラミネーター(株)製)を用いて圧着して、銅張積層板、第二感光層、バリアー層、第一感光層、そしてポリエチレンテレフタレートフィルムがこの順で積層された積層体を作成する。圧着条件は圧着ロール温度105℃、圧着ロール圧力3kg/cm2、そして圧着速度1m/分とした。積層体からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし取り、銅張積層板上の感光層の全面に30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液を0.15MPaの圧力にてスプレーする。炭酸ナトリウム水溶液のスプレー開始から銅張積層板上の感光層が溶解除去されるまでに要した時間を測定し、これを最短現像時間とする。
最短現像時間の測定と同様にして基板上に感光性転写シートを積層する。感光性転写シートの感光層に、ポリエチレンテレフタレートフィルム側から405nmのレーザ光源を有する露光装置を用いて、0.1mJ/cm2から21/2倍間隔で100mJ/cm2まで光エネルギー量の異なる光を照射して、感光層を硬化させる。室温にて10分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて上記(1)で求めた最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化の樹脂組成物を溶解除去して、残った硬化層の厚みを測定する。次いで、光の照射量と、硬化層の厚さとの関係をプロットして感度曲線を得る。こうして得た感度曲線から硬化層の厚さが5μmとなった時の光エネルギー量(光エネルギー量A)、硬化層の厚さが31.6μmとなった時の光エネルギー量(光エネルギー量B)、及び硬化層の厚さが5μmを超えた時の光エネルギー量(光エネルギー量C)を読み取る。
上記(1)の最短現像時間の評価方法と同じ条件で、銅張積層板、第二感光層、バリアー層、第一感光層、そしてポリエチレンテレフタレートフィルムがこの順で積層された積層体を作成して、室温(23℃、55%RH)にて10分間静置する。得られた積層体のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から、405nmのレーザ光源を有する露光装置を用いて、ライン/スペース=1/1でライン幅10μm〜50μmまで5μm刻みで各線幅の露光を行う。この際の露光量は、各感光性転写シートの第二感光層が硬化する光エネルギー量である。室温にて10分間静置した後、積層体からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし取る。銅張積層板上の樹脂組成物層の全面に、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液をスプレー圧0.15MPaにて前記で求めた最短現像時間の2倍の時間スプレーし、未硬化の樹脂組成物を溶解除去する。この様にして得られた硬化樹脂パターン付き銅張積層板の表面を光学顕微鏡で観察し、硬化樹脂パターンのラインにツマリ、ヨレ等の異常のない最小のライン幅を測定し、これを解像度とする。解像度は数値が小さいほど良好である。
内壁に銅めっき層を備えた、直径3mm、及び0.2mmのスルーホールをそれぞれ200ヶ有し、表面が研磨、水洗、乾燥された銅張積層板の上に、保護フィルムを剥離した感光性転写シートの第二感光層を重ね、ラミネートし、前述と同様にして銅張積層板、第二感光層、バリアー層、第一感光層、そしてポリエチレンテレフタレートフィルムがこの順で積層された積層体を作成して、室温(23℃、55%RH)にて10分間静置する。得られた積層体のポリエチレンテレフタレートフィルムの上から、405nmのレーザ光源を有する露光装置を用いて、銅張積層板の配線パターン形成領域に、各感光性転写シートの第二感光層が硬化する光エネルギー量の光を所定のパターン状に照射し、一方、銅張積層板のスルーホールの開口部及びその周囲領域に、各感光性転写シートの第一感光層が硬化する光エネルギー量の光を照射して、感光層を露光した。露光後、積層体からポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がし取り、次いで前述の評価法と同様に炭酸ナトリウム水溶液を感光層表面にスプレーして、第一感光層、バリアー層及び第二感光層の未硬化領域を溶解除去して、硬化層レリーフ(配線パターン部は第二感光層のみが硬化、スルーホールの開口部及びその周囲領域は第一感光層、バリアー層及び第二感光層が硬化)を得た。得られた硬化層パターンを顕微鏡で観察し、直径3mm、及び直径0.2mmのスルーホール開口部上の硬化層のテント膜の破れ(テント性)の個数を観察した。
なおこの際の硬化層の厚さをレーザ顕微鏡(VK-9500、キーエンス(株)製)で測定したところ、配線パターン形成領域上の硬化層の厚さは5μmであり、スルーホール開口部上の硬化層の厚さは31.2μm(比較例1では30μm)であった。
感光性転写シートを40℃、60%RHの環境下で1日保存する。その後前述の感度測定法と同様な評価を行った。その結果、保存前と同様に露光量に応じて第二感光層のみを硬化させる部分と第一感光層/第二感光層を共に硬化させる部分という硬化膜の厚みが異なるパターンを形成可能なものを良好、このようなパターン形成が不可能なもの(感光層間の感度差が減少、あるいは感度差無くなってしまったもの)を不良として評価した。
────────────────────────────────────────
感光性転写 解像度 テント破れ スルーホール内 保存安定性
シート 3mm 0.2mm 銅めっきの異常
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実施例1 20μm 無し 無し 無し 良好
実施例2 20μm 無し 無し 無し 良好
実施例3 20μm 無し 無し 無し 良好
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比較例1 40μm 無し 無し 無し ―
比較例2 20μm 全て破れ 全て破れ 有り ―
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(註)
―:感度が異なる感光層を有していないので未評価
(第一感光層の形成)
20μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルムに、下記の組成からなる第一感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、20μm厚の第一感光層を形成した。
第一感光性樹脂組成物溶液
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メチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合体組成(モル比):55/11.7/4.5/28.8、質量平均分子量:90,000、Tg:70℃) 15質量部
ドデカポリプロピレングリコールジアクリレート 6.5質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5質量部
4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン 0.04質量部
ベンゾフェノン 1.0質量部
4−トルエンスルホンアミド 0.5質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 0.02質量部
1,2,4−トリアゾール 0.01質量部
ロイコクリスタルバイオレット 0.2質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1質量部
メチルエチルケトン 30質量部
────────────────────────────────────────
第一感光層の上に、下記の組成からなる水溶性ポリマー溶液を塗布し、乾燥して、1.6μm厚のバリアー層を形成した。
水溶性ポリマー溶液
────────────────────────────────────────
下記構造式で示されるポリビニルアルコール誘導体 13質量部
ポリビニルピロリドン 6質量部
水 200質量部
メタノール 180質量部
────────────────────────────────────────
バリアー層の上に、下記の組成からなる第二感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、10μm厚の第二感光層を形成した。
第二感光性樹脂組成物溶液
────────────────────────────────────────
メチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合体組成(モル比):55/11.7/4.5/28.8
質量平均分子量:90,000、Tg:70℃) 24質量部
ヘキサメチレンジイソシアネートとオクタエチレンオキシドモノ(メタ)アクリレートの1/2モル比付加物 12質量部
N−メチルアクリドン 0.2質量部
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール 0.8質量部
2−メルカプトベンズイミダゾール 0.2質量部
4−トルエンスルホンアミド 0.8質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 0.03質量部
1,2,4−トリアゾール 0.03質量部
ロイコクリスタルバイオレット 0.32質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン 0.25質量部
メチルエチルケトン 55質量部
1−メトキシー2−プロパノール 8質量部
────────────────────────────────────────
第二感光層の上に、前記の組成からなる水溶性ポリマー溶液を塗布し、乾燥して、1.6μm厚のバリアー層を形成した。
バリアー層の上に、下記の組成からなる第三感光性樹脂組成物溶液を塗布し、乾燥して、5μm厚の第三感光層を形成した。
第三感光性樹脂組成物溶液
────────────────────────────────────────
メチルメタクリレート/2−エチルへキシルアクリレート/ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合体組成(モル比):40/26.7/4.5/28.8、質量平均分子量:90,000、Tg:50℃) 13質量部
ドデカポリプロピレングリコールジアクリレート 8.1質量部
テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.9質量部
N−メチルアクリドン 0.16質量部
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール 1.04質量部
4−トルエンスルホンアミド 0.5質量部
マラカイトグリーンシュウ酸塩 0.02質量部
1,2,4−トリアゾール 0.01質量部
ロイコクリスタルバイオレット 0.2質量部
トリブロモメチルフェニルスルホン 0.1質量部
メチルエチルケトン 10質量部
1−メトキシ−2−プロパノール 20質量部
────────────────────────────────────────
第三感光層の上に、12μm厚のポリプロピレンフィルム(保護フィルム)を積層して感光性転写シートを得た。いずれの層も膜厚ムラが±5%以内であった。こうして得た感光性転写シートの感度を前述の方法と同様にして測定した結果、第三感光層を硬化させる為に必要な光エネルギー量は1mJ/cm2であり、第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量は8mJ/cm2であり、第二感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量は3mJ/cm2であり、第一感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量は35mJ/cm2であり、第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量は14mJ/cm2であった。第三感光層と第二感光層とのあいだで、C/A=8/3、A/B=3/14であり、第二感光層と第一感光層とのあいだで、C/A=1.75、A/B=8/35であった。
11 支持体
12 第一感光層
13 バリアー層
14 第二感光層
15 保護フィルム
16 配線パターン形成用硬化層
17 金属層保護用硬化層
18 剥離片
21 プリント配線板形成用基板
22 スルーホール
23 金属めっき層
24 配線パターン
31 加圧ローラ
50 感光性転写シート
51 支持体
52 第一感光層
53 バリアー層
54 第二感光層
55 第三感光層
56 保護フィルム
57 基板
Claims (38)
- 支持体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第一感光層、重合性化合物を含むバリアー層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第一感光層の光感度よりも相対的に高い光感度を有する第二感光層がこの順序で積層されている感光性転写シート。
- バリアー層が感光性を有し、バリアー層の光感度が第一感光層の光感度よりも相対的に低い請求項1に記載の感光性転写シート。
- バリアー層に含まれる重合性化合物が重合性基を有するポリマーである請求項1に記載の感光性転写シート。
- 重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す請求項3に記載の感光性転写シート。
- 水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である請求項4に記載の感光性転写シート。
- バリアー層がさらに、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーを含む請求項1に記載の感光性転写シート。
- 水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーが、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である請求項6に記載の感光性転写シート。
- バリアー層が、0.1〜5μmの範囲の厚みを有する請求項1から7のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第一感光層の光感度を1とした場合、第二感光層の光感度が2〜200の範囲にある請求項1から8のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量BとのA/Bで表される比が、0.005〜0.5の範囲にある請求項1から9のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層を硬化させるために必要な光エネルギー量Aと第一感光層の硬化が始まるまでに必要な光エネルギー量CとのC/Aで表される比が、1〜10の範囲になる請求項1から10のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層に含有されている光重合開始剤の量が第一感光層に含有されている光重合開始剤の量よりも多い請求項1から11のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層に含有されている重合性化合物の量が第一感光層に含有されている重合性化合物の量よりも多い請求項1から12のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第一感光層が、1〜100μmの範囲の厚みを有し、かつその厚みが第二感光層の厚みよりも大きい請求項1から13のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層が、0.1〜15μmの範囲の厚みを有する請求項1から14のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 支持体が合成樹脂製で、かつ透明である請求項1から15のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 支持体が長尺支持体である請求項1から16のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 第二感光層の上に保護フィルムが配置されている請求項1から17のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 長尺体であって、ロール状に巻かれている請求項1から18のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- プリント配線板製造用である請求項1から19のうちのいずれかの項に記載の感光性転写シート。
- 基体上に、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含む第二感光層、重合性化合物を含むバリアー層、バインダー、重合性化合物および光重合開始剤を含み第二感光層の光感度よりも相対的に低い光感度を有する第一感光層がこの順に積層されている感光性積層体。
- バリアー層が感光性を有し、バリアー層の光感度が第一感光層の光感度よりも相対的に低い請求項21に記載の感光性積層体。
- バリアー層に含まれる重合性化合物が重合性基を有するポリマーである請求項21に記載の感光性積層体。
- 重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す請求項23に記載の感光性積層体。
- ポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示す重合性基を有するポリマーが水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である請求項24に記載の感光性積層体。
- バリアー層がさらに、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーを含む請求項21に記載の感光性積層体。
- 水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して親和性を示すポリマーが、水もしくは炭素原子数1乃至4の低級アルコールに対して可溶性である請求項26に記載の感光性積層体。
- バリアー層が、0.1〜5μmの範囲の厚みを有する請求項21から27のうちのいずれかの項に記載の感光性積層体。
- 基体がプリント配線板形成用基板である請求項21から28のうちのいずれかの項に記載の感光性積層体。
- 第一感光層の上に支持体が積層されている請求項21もしくは29のうちのいずれかの項に記載の感光性積層体。
- 下記の工程を含む、基板上に、第一感光層と第二感光層とが共に硬化することにより形成された硬化樹脂層が存在する領域と硬化樹脂層が存在しない領域とから構成される画像パターンを形成する方法:
(1)基板上に、請求項1に記載の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から所定の画像パターンの光照射を行い、その光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4) 積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。 - 下記の工程を含む、基板上に、第一感光層と第二感光層とが共に硬化することにより形成された樹脂層が存在する領域、第二感光層が硬化することにより形成された樹脂層が存在する領域、そして硬化樹脂層が存在しない領域から構成される画像パターンを形成する方法:
(1)基板上に、請求項1に記載の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から、互いに相違する少なくとも二レベルの照射エネルギー量の光を照射する領域を規定する画像パターンにて光照射し、光照射エネルギー量が相対的に大きい光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させ、そして光照射エネルギー量が相対的に小さい光照射を受けた領域の第二感光層を硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。 - (3)の積層体から支持体を除去する工程を、工程(2)と工程(4)との間で行う代わりに、工程(1)と工程(2)との間で行う請求項31もしくは32に記載の方法。
- 工程(2)における光照射をレーザ光の照射により行う請求項31から33のうちのいずれかの項に記載の方法。
- 下記の工程を含む、プリント配線板形成用基板上に、第一感光層と第二感光層とが共に硬化することにより形成された硬化樹脂層で被覆されている領域と基板表面が露出している領域とから構成される配線パターンを形成する方法:
(1)基板上に、請求項1に記載の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から所定の配線パターンの光照射を行い、その光照射を受けた領域の第一感光層と第二感光層とを共に硬化させる工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。 - 下記の工程を含む、ホール部を有するプリント配線板形成用基板上に、第一感光層と第二感光層が共に硬化することにより形成された硬化樹脂層で被覆されているホール部、第二感光層が硬化することにより形成された硬化樹脂層で被覆されている領域、そして基板表面が露出している領域とから構成される配線パターンを形成する方法:
(1)基板上に、請求項1に記載の感光性転写シートを、その第二感光層が基板側となる位置関係にて積層して積層体を得る工程;
(2)積層体の第一感光層の側から、ホール部には、光照射エネルギー量が相対的に大きい光照射を与えて第一感光層と第二感光層とを共に硬化させ、そして配線形成領域には、光照射エネルギー量が相対的に小さい光照射を与えて第二感光層を硬化させるような画像パターンの光照射を行う工程;
(3)積層体から支持体を除去する工程;そして、
(4)積層体を現像して、積層体中の未硬化部分を除去する工程。 - (3)の積層体から支持体を除去する工程を、工程(2)と工程(4)との間で行う代わりに、工程(1)と工程(2)との間で行う請求項35もしくは36に記載の方法。
- 工程(2)における光照射をレーザ光の照射により行う請求項35から37のうちのいずれかの項に記載の方法。
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