JP2005260010A

JP2005260010A - ウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法

Info

Publication number: JP2005260010A
Application number: JP2004069834A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Sudo; 敏志須藤
Original assignee: NEC Electronics Corp
Current assignee: NEC Electronics Corp
Priority date: 2004-03-11
Filing date: 2004-03-11
Publication date: 2005-09-22

Abstract

【課題】ウエハとウエハ受け部との接触を抑え、ウエハにキズ及び割れ等が発生することを防止できるウエハ搬送装置及びその搬送方法を提供する。
【解決手段】ウエハを載せたアーム４が上に移動する際、この位置をウエハが通過するとセンサ７はウエハが通過したことを示す信号をセンサ信号処理部１０に出力する。この信号に基づきセンサ信号処理部１０はアームの上方への動きを停止させる信号をアーム駆動部１１に出力する。この信号に基づきアーム駆動部１１はアーム４の上方への動きを停止する。これにより、ウエハカセット１からアーム４によりウエハａが取り出されるときに、このウエハａがウエハ受け部と接触することを防ぐことができる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体基板（以下、ウエハと記す。）の搬送装置及びその搬送方法に関し、特に、垂れ及び反りが著しく大きい薄研削ウエハの確実な搬送を可能とする位置補正機能を有するウエハ搬送装置及びその搬送方法に関する。

近年、携帯電話に代表される小型携帯機器は、複雑な機能を実現するために半導体集積回路が作り込まれた２つ以上のチップを積み重ねる積層型パッケージが用いられており、パッケージの厚さを極限まで抑えるためにウエハを研削し薄型化を行っている。研削後のウエハの厚さが３００μｍ以上となる従来の研削では研削後のウエハに特に問題が生じなかったが、研削後のウエハの厚さが２００μｍ以下となる薄研削では研削後のウエハに垂れ及び反りが生じてしまう。また、大口径のウエハも垂れ及び反りが生じやすい。ウエハに反りがあると、水平にウエハを収納する箱形容器（ウエハカセット）にウエハを搬入する際に、ウエハカセット内に列設してあるウエハを支持するためのウエハ受け部にウエハが接触し破損してしまう危険性がある。また、ウエハに反りがあると、ウエハを取り出す際、ウエハと搬送アーム及びウエハ受け部とが接触してしまう可能性がある。

薄研削したウエハ及び大口径化したウエハに垂れ及び反りが生じても、搬送時にウエハに破損が生じないようにするためには次の２つの方法が考えられる。第１の方法としては、ウエハを収納するウエハカセットにウエハの垂れを抑える工夫を施す方法が考えられ、特許文献１（特開２００２−７６１０８号公報）に記載されている。この特許文献１の図１に記載のウエハカセットは、複数のウエハ受け部のみを有する従来のウエハカセットに、ウエハを下方から支持するウエハ支持部を設けた構造となっており、ウエハの垂れ及びそりを防止できる構造になっている。しかし、ウエハ支持部の形状に適合した形状のアームが必要となるので、搬送装置のアームの取り換えが必要となる。

第２の方法としては、ウエハ受け部の位置についてのデータを記憶させておくことで、ウエハがウエハカセットから取り出される際及びウエハカセットに搬入される際にウエハカセットのウエハ受け部に接触しないようにする方法が考えられる。特許文献２（特開平９−１０２５２７号公報）に記載されている方法は、ウエハ保持ボードのウエハ挿填位置に所定のクリアランスをもって設置された検出用基板のポジションデータ（上下方向、左右方向、前後方向）に基づきウエハの搬送処理を行うことで、ウエハがウエハ受け部等と接触しないように搬入する方法である。しかし、所定のクリアランスを持たせるためのティーチング方法では、垂れ量が異なるウエハを搬送する場合、垂れ量が異なるウエハ毎にティーチングをする必要があり作業者の負担となる。また、ある垂れ量のウエハで得られたクリアランス量は固定値であるため、ウエハ毎の垂れのバラツキに対応できない。

また、特許文献３（特開平１１−２８８９９３号公報）に記載されている技術は、ウエハ保持ボードに経時変化による変形が起きても、基板感知センサからの信号によりウエハ保持ボードのウエハ受け部の現状の位置を把握でき、その現状の位置に基づきウエハの搬送を行えるので、ウエハ保持ボードの耐用年数を延ばすことができるという技術であるが、ウエハに垂れ及びそりが生じた場合については対応が取れない。特許文献４（特開平８−２２２６１５）に記載されている技術は、ウエハカセットのウエハ受け部の高さに整合させてウエハカセットにピッチ基準線を設け、昇降機構に接続された検出手段が前記ピッチ基準線を検出することにより、昇降台を高精度にウエハ受け部の高さに合わせて停止させる技術であるが、ウエハに垂れ及びそりが生じた場合については対応が取れない。

なお、従来からウエハの収納に用いられているウエハカセットを、図４（ａ）及び（ｂ）に示す。図４（ａ）は薄研削ウエハを収納した際のウエハカセット開口部を正面から見た図であり、図４（ｂ）はこのウエハカセットの水平断面を上から見た図である。箱状容器のウエハカセット１に、ウエハａの周縁部を下から支えて水平に収納するためのウエハ受け部２が上下方向に複数列設された構造となっている。そして、半導体装置において実際に使用されるときは、前記ウエハカセットはローダ・アンローダ部（図示せず）に設置され、ウエハａはウエハ搬送用のアーム（図示せず）にて、ウエハカセットの入出用開口部３から出し入れされる。

特開２００２−７６１０８号公報特開平９−１０２５２７号公報特開平１１−２８８９９３号公報特開平８−２２２６１５号公報

ウエハに垂れ及びそりが生じた場合に問題となる点は２つある。第１の問題点としては、図５に示すように、ウエハカセット本体１に薄研削ウエハａを搬入する際、反ったウエハ外周部がウエハ受け部２に接触しキズ及び割れ等を引き起こす危険性がある点である。搬送用アーム４にてウエハａを搬送する際には、ウエハａをアーム４に固定するために吸着を行うが、薄研削ウエハではアームの吸着力により図６のＢに示す状態のようにウエハの外周部が上方に反ってしまうためである。従来のウエハでは厚みがあるため図６のＡに示す状態のように反りは生じない。

次に第２の問題点を説明する。先ず反りのないウエハをアーム４に載せて上昇させる従来からなされている動作について説明する。図７に示すように、ウエハカセット１からウエハａを取り出す際、ウエハの位置及び厚さ測定用センサ５（図示せず）によってウエハの厚さや位置を検出し、上段のウエハａ１下面と下段のウエハａ２上面の間の中央の位置Ｐに搬送アーム４を挿入する。そして、挿入されたアーム４をティーチングによって定めた固定量βだけ上昇させ、上昇後のアーム４に載ったウエハａ１の周縁部がウエハ挿入部の溝の中央の位置Ｑに位置するようにして、上段のウエハａ１をγだけ上昇させて、ウエハを宙に浮かせる方法をとっている。ウエハが引き抜かれる際にウエハがウエハ受け部２と接触したままではウエハにキズ及び割れ等が発生してしまうからである。このように、従来の薄研削されていないウエハであれば、図７に示すように、上段のウエハａ１下面と下段のウエハａ２上面の間の中央の位置Ｐにアーム４を挿入し、ティーチングによって定めた固定量βだけアーム４を上昇させればよい。それに対し、薄研削されたウエハでは、図８に示すように、剛性低下により中央部が下方に垂れるため、上段のウエハａ３下面と下段のウエハａ４上面の間の中央の位置Ｐ’は従来の薄研削されていないウエハの場合の中央の位置Ｐよりも下となる。また、垂れのあるウエハの場合、ウエハを宙に浮かせるためのアーム４の上昇量は大きくなる。垂れのあるウエハをアーム４により下から支えると垂れが減少するからである。ここで、薄研削されていないウエハの場合のアームの上昇量に対する薄研削されたウエハの場合のアームの上昇量の増分をαとすると、薄研削されたウエハの場合に必要なアームの上昇量はβ＋αとなる。

作業者がこのアーム４の上昇量の切り替えを間違えた場合やウエハ間で垂れのバラツキが発生した場合に以下のような問題が発生する。例えば薄研削ウエハの場合に設定されるアーム４の上昇量の設定のままで従来の薄研削されていないウエハを搬送した場合について考えると、図９に示すようにアーム４の挿入位置Ｐは垂れの生じていない上段のウエハａ５下面と垂れの生じていない下段のウエハａ６上面との間の中央の位置であるところ、アーム４の上昇量は反りがある場合（図８）のアームの上昇量β＋αである。従って、ウエハ挿入部２０に搬入されていたウエハａ５がアーム４に載ってβ＋αだけ上昇すると、ウエハａ５は上段のウエハ受け部２の下部に押しつけられ、ウエハにキズ及び割れ等を引き起こしてしまう。反りのないウエハについて設定された本来の上昇量であれば、上昇後のウエハの中央部の位置は図９の点Ｑの位置となり、上段のウエハ受け部２の下部と接触することはない。

また、ウエハ間で垂れのバラツキが発生すると、搬送アーム４が挿入される上段のウエハ下面と下段のウエハ上面との間の中央の位置が垂れのバラツキにより変動してしまい、固定量β＋αの設定のままでは搬送時にウエハがウエハ受け部に接触する危険性がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、ウエハとウエハ受け部との接触を抑え、ウエハにキズ及び割れ等が発生することを防止できるウエハ搬送装置及びその搬送方法を提供することを目的とする。

本願第１発明に係るウエハ搬送装置は、ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセットと、前記ウエハを保持して前記ウエハカセットに対し搬入し取り出す移動可能のアームと、前記アームを前記ウエハカセットに対する搬入搬出方向及び上下方向に駆動するアーム駆動部と、前記ウエハカセット内で前記アームの上昇により前記ウエハが上昇した場合に前記ウエハの縁部を所定位置で検出する第１のセンサと、ウエハの反り量を測定する第２のセンサと、前記ウエハを前記ウエハカセットから取り出す際に、前記第１のセンサが前記ウエハの縁部を検出したときに前記アーム駆動部によるアームの上昇を停止させ、ウエハを前記ウエハカセット内に搬入する際に、前記第２のセンサにより検出された反り量をアーム挿入高さの補正量として前記アーム駆動部におけるアーム挿入高さを制御する制御部とを有することを特徴とする。

前記ウエハ搬送装置は、前記ウエハカセットに収納されたウエハの位置を検出する第３のセンサを有し、前記第３のセンサは、前記ウエハをウエハカセットから取り出す際に、取り出そうとするウエハの下面と、その下段のウエハの上面とを検出し、前記制御部は、前記検出下面と前記検出上面との間の中間の位置にアームを挿入するものであってもよい。

前記制御部は、前記ウエハカセット内に挿入されたアームを、所定量上昇させて前記アーム上に前記ウエハを保持し、その後、前記アームを引き抜くことにより、前記ウエハを取り出すように前記アーム駆動部を制御し、前記アームを上昇させる際に、前記第１のセンサが前記ウエハの縁部を検出したときに、前記アームの上昇を停止させるように前記アーム駆動部を制御するものであることが好ましい。

前記第１のセンサは、前記ウエハを挿入しようとする前記ウエハ挿入部の上段の前記ウエハ受け部に前記ウエハの縁部が当接しないように、前記ウエハの縁部の位置を検出するものであり、前記ウエハを挿入しようとするウエハ挿入部の位置に応じて、上下に移動可能であることが好ましい。

前記制御部は、前記ウエハをウエハカセットに挿入する際に、前記ウエハ挿入部の間のウエハ受け部であって前記ウエハを挿入しようとするウエハ挿入部の上下のウエハ受け部の各中心位置の間の中間位置を基準高さ位置とし、この基準高さ位置に対し、前記第２のセンサにより検出された反り量を減じた高さ位置に、前記ウエハを保持したアームを挿入することが好ましい。

前記アームは、前記ウエハを吸引吸着することにより、前記ウエハを保持するものであってもよい。

本願第２発明に係るウエハ搬送方法は、ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセット内に収納されているウエハを取り出すウエハ搬送方法において、取り出そうとするウエハの下方にアームを挿入する工程と、前記アームを上昇させてアームをウエハの下面に接触させ前記アーム上に前記ウエハを保持する工程と、前記アームを前記ウエハカセットから引き抜いて前記ウエハを取り出す工程とを有し、前記ウエハの縁部を所定位置で検出する第１のセンサを設け、前記ウエハカセット内で前記アームの上昇により前記ウエハが上昇した場合に前記ウエハの縁部が前記第１のセンサにより検出されたときに、前記アームの上昇を停止させることを特徴とする。

本願第３発明に係るウエハ搬送方法は、ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセット内にウエハを挿入するウエハ搬送方法において、挿入しようとするウエハの反り高さを第２のセンサにより検出する工程と、前記ウエハをアーム上に保持した状態で前記アームを前記ウエハカセット内に挿入する工程と、を有し、前記ウエハを前記ウエハカセット内に搬入する際に、前記第２のセンサにより検出された反り量をアーム挿入高さの補正量として前記アーム駆動部におけるアーム挿入高さを制御することを特徴とする。

ウエハカセットからウエハを取り出すときのアーム上昇の際は、ウエハ検知センサからの信号に基づきウエハが上段のウエハ受け部に接触する前にアームの上昇を停止させる。また、ウエハをウエハカセットに搬入する際は、反り高さ測定センサにより測定した反り高さの分だけ下にアームを補正移動させてからアームをウエハカセットに挿入するので、搬入されるウエハはウエハ受け部と接触しない。このため、ウエハをウエハカセットから取り出す際及びウエハをウエハカセットに搬入する際において、ウエハとウエハ受け部との接触が防止され、キズ及び割れ等の発生を防止することができる。

以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照して具体的に説明する。図１は、本発明の反り補正機能を有するウエハ搬送装置のブロック図である。図２は、ウエハを載せたアーム４が上昇する際のウエハａとウエハ検知センサ７の位置関係を示す図である。図３は、ウエハａの反りの量を測定センサ９により測定している状況を示す模式図である。

本発明の実施の形態の構成について図１を参照して説明する。なお、図１においては図示の都合上、センサ５及びセンサ保持用支柱１３並びにセンサ７及びセンサ保持用支柱１３はウエハカセット１を中心として異なる側に配置されているが、実際にはセンサ５及びセンサ保持用支柱１３並びにセンサ７及びセンサ保持用支柱１３はいずれもウエハカセット１の開口部３（図４参照）に面している。ウエハカセット１はロード・アンロード台６の上に設置されている。ウエハカセット１はその内部に設けられたウエハ受け部２の間のウエハ挿入部２０にウエハを収納する。アーム４はその上のウエハを空気吸引により吸着し、ウエハカセット１内への搬入及びウエハカセット１からの取り出しを行う。ウエハの位置及び厚さ測定用センサ５は、ウエハの位置及び厚さを測定し、ウエハ搬送の際にアーム４を挿入する位置を決めるためのデータを取得する。ウエハの位置及び厚さ測定用センサ５は、センサ保持用支柱１３により保持されウエハカセット１の開口部の手前に設置されている。センサ保持用支柱１３はセンサ位置制御部１２からの出力に基づきセンサを上下方向に移動させる駆動機構を備えている。ロード・アンロード台６はウエハ搬送時にウエハカセット等を置くための台である。ウエハ検知センサ７は、ウエハ挿入部２０に収納されたウエハが搬送される時に上昇しすぎてウエハ受け部２と接触しないようにウエハの位置を検知するためのセンサである。ウエハ検知センサ７は、センサ保持用支柱１３により保持されウエハカセット１の開口部の手前に設置されている。センサ保持用支柱１３はセンサ位置制御部１２からの出力に基づきセンサを上下方向に移動させる駆動機構を備えている。また、反り高さ測定センサ９は、ウエハａをウエハカセット１に挿入する前にウエハａの反り高さを測定するのに便宜なようにアームの横にセンサ保持用支柱１３により保持され設置されており、アーム４に載せられ吸引により吸着されたウエハａの反り高さを測定する。センサ信号処理部１０はセンサ５、７及び９により測定されたデータ信号を演算処理しアーム４を適切な位置に駆動するための信号をアーム駆動部１１に出力する。アーム駆動部１１はセンサ信号処理部１０から入力されたアーム制御信号に基づきアーム４を駆動する。センサ位置制御駆動部１２はセンサ５及び７の位置を測定に最適な位置に駆動する。

ウエハの位置及び厚さ測定用センサ５、ウエハ検知センサ７及び反り高さ測定センサ９は、いずれもウエハの位置及び寸法を測定できるものであれば、光学的手法及び電磁気的な手法等のいずれを用いたセンサでもよい。例えば、発光素子と光位置検出素子（ＰＳＤ）を組み合わせて構成した光学的変位センサ等である。また、カメラでウエハカセットに収納されたウエハ又はアーム４上のウエハを撮影して、その像を画像処理してパターン認識する手法を用いてウエハの位置及び寸法を測定してもよい。

次に、上述の如く構成された本ウエハ搬送装置の動作について説明する。先ず、図２を参照してウエハを取り出す際の動作について説明する。アーム４を挿入する方法までは従来方法と同様であり、ウエハの位置及び厚さ測定用センサ５によってウエハの厚さ及び位置を検出して上段のウエハ下面と下段のウエハ上面との間の中央部に搬送アーム４を挿入する。次に、ウエハが収納されているウエハ挿入部２０の溝のほぼ中央部と同じ高さにウエハ検知センサ７を移動して、センサ７がウエハの通過を検知する位置を決める。例えばその位置は図２の位置８である。ウエハを載せたアーム４が上に移動する際、この位置８をウエハが通過するとセンサ７はウエハが通過したことを示す信号をセンサ信号処理部１０に出力する。この信号に基づきセンサ信号処理部１０はアーム４の上方への動きを停止させる信号をアーム駆動部１１に出力する。この信号に基づきアーム駆動部１１はアーム４の上方への動きを停止する。

アーム４を所定量上昇させた後、アーム４上のウエハをアーム４に吸引により吸着させる。その後、アーム４をウエハカセット１から後退させて、ウエハを取り出す。

前述のように、上昇するウエハ縁部を所定位置でセンサ７が検出すると、センサ信号処理部１０はアーム４の上方への動きを停止させる信号をアーム駆動部１１に出力するので、ウエハカセット１からアーム４によりウエハａが取り出されるときに、このウエハａがウエハ受け部２と接触することを防ぐことができる。

次に、図３を参照してウエハを搬入する際の動作について説明する。アーム４に吸引により吸着したときの薄研削ウエハの反り高さを測定するため、反り高さ測定センサ９がウエハ最外周部の高さｂ及びウエハ中央部の下面の高さ（アーム４の上面の高さ）ｃを測定する。反り高さ測定センサ９の測定結果に基きセンサ信号処理部１０は反り高さｂ−ｃを計算し、アーム位置を制御するための信号をアーム駆動部１１に出力する。そして、アーム駆動部１１は入力された信号に基づきアーム４を駆動する。具体的には、ウエハａを搬入しようとするウエハ挿入部２０の上下のウエハ受け部２の各中心位置の間の中間位置を基準高さ位置とし、この基準高さ位置に対し、前記第２のセンサにより検出された反り量ｂ−ｃを減じた高さ位置にアーム４の上面が位置するようにアーム４を移動させて、ウエハａを吸引により吸着したアーム４をウエハカセット１に水平に挿入する。ウエハａをウエハカセット１に挿入後、ウエハがアーム４により吸着された状態を解除し、アーム４を下降させる。アーム４が下降しウエハが所定のウエハ挿入部２０に搬入された後、アーム４は後退し、ウエハカセット１からアーム４が引き出される。

前述のように、ウエハを搬入する際には、ウエハａを搬入しようとするウエハ挿入部２０の上下のウエハ受け部２の各中心位置の間の中間位置を基準高さ位置とし、この基準高さ位置に対し、前記第２のセンサにより検出された反り量ｂ−ｃを減じた高さ位置にアーム４の上面が位置するようにアーム４を移動させて、ウエハａを吸引により吸着したアーム４をウエハカセット１に水平に挿入するので、挿入するウエハがウエハ受け部２と接触することを回避することができる。

また、従来はウエハを搬入する際のアーム４の上下方向の移動距離をティーチングの作業により固定値で設定していたが、本発明のウエハ搬送方法では、全てのウエハ毎に上記の動作を行いアーム４の上下方向の移動距離をウエハ毎の反りの大きさに基づき補正する。このため、本発明のウエハ搬送方法においては、ティーチングの作業も必要なくなるという利点がある。

本発明の反り補正機能を有するウエハ搬送装置のブロック図である。ウエハをのせたアームが上昇する際のウエハとウエハ検知センサの位置関係を示す図である。ウエハの反りの量を測定センサ９により測定している状況を示す模式図である。ウエハの収納に用いられている従来からのウエハカセットを示す図で、（ａ）は薄研削ウエハを収納した際のウエハカセット開口部を正面から見た図であり、（ｂ）はこのウエハカセットの水平断面を上から見た図である。ウエハカセット本体に薄研削ウエハを搬入する際、反ったウエハ外周部がウエハ受け部に接触している様子を表す図である。アーム上のウエハの反りの有無の状況を示す図である。垂れの発生していないウエハをアームが持ち上げた状況を示す図である。垂れの発生しているウエハをアームが持ち上げた状況を示す図である。垂れの発生していないウエハをアームが持ち上げた状況を示したものであるが、垂れの発生しているウエハを持ち上げるのに必要な上昇幅で持ち上げてしまった状況を示す図である。

符号の説明

１：ウエハカセット
２：ウエハ受け部
３：ウエハカセット開口部
４：アーム
５：ウエハの位置及び厚さ測定用センサ
６：ロード・アンロード台
７：ウエハ通過検知用センサ
８：ウエハ通過検知位置
９：ウエハ反り高さ測定センサ
１０：センサ信号処理部
１１：アーム駆動部
１２：センサ位置制御駆動部
１３：センサ保持用支柱
２０：ウエハ挿入部
ａ：ウエハ

Claims

ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセットと、前記ウエハを保持して前記ウエハカセットに対し搬入し取り出す移動可能のアームと、前記アームを前記ウエハカセットに対する搬入搬出方向及び上下方向に駆動するアーム駆動部と、前記ウエハカセット内で前記アームの上昇により前記ウエハが上昇した場合に前記ウエハの縁部を所定位置で検出する第１のセンサと、ウエハの反り量を測定する第２のセンサと、前記ウエハを前記ウエハカセットから取り出す際に、前記第１のセンサが前記ウエハの縁部を検出したときに前記アーム駆動部によるアームの上昇を停止させ、ウエハを前記ウエハカセット内に搬入する際に、前記第２のセンサにより検出された反り量をアーム挿入高さの補正量として前記アーム駆動部におけるアーム挿入高さを制御する制御部とを有することを特徴とするウエハ搬送装置。
前記ウエハカセットに収納されたウエハの位置を検出する第３のセンサを有し、前記第３のセンサは、前記ウエハをウエハカセットから取り出す際に、取り出そうとするウエハの下面と、その下段のウエハの上面とを検出し、前記制御部は、前記検出下面と前記検出上面との間の中間の位置にアームを挿入することを特徴とする請求項１に記載のウエハ搬送装置。
前記制御部は、前記ウエハカセット内に挿入されたアームを、所定量上昇させて前記アーム上に前記ウエハを保持し、その後、前記アームを引き抜くことにより、前記ウエハを取り出すように前記アーム駆動部を制御し、前記アームを上昇させる際に、前記第１のセンサが前記ウエハの縁部を検出したときに、前記アームの上昇を停止させるように前記アーム駆動部を制御することを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハ搬送装置。
前記第１のセンサは、前記ウエハを挿入しようとする前記ウエハ挿入部の上段の前記ウエハ受け部に前記ウエハの縁部が当接しないように、前記ウエハの縁部の位置を検出するものであり、前記ウエハを挿入しようとするウエハ挿入部の位置に応じて、上下に移動可能であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置。
前記制御部は、前記ウエハをウエハカセットに挿入する際に、前記ウエハ挿入部の間のウエハ受け部であって前記ウエハを挿入しようとするウエハ挿入部の上下のウエハ受け部の各中心位置の間の中間位置を基準高さ位置とし、この基準高さ位置に対し、前記第２のセンサにより検出された反り量を減じた高さ位置に、前記ウエハを保持したアームを挿入することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置。
前記アームは、前記ウエハを吸引吸着することにより、前記ウエハを保持することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のウエハ搬送装置。
ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセット内に収納されているウエハを取り出すウエハ搬送方法において、取り出そうとするウエハの下方にアームを挿入する工程と、前記アームを上昇させてアームをウエハの下面に接触させ前記アーム上に前記ウエハを保持する工程と、前記アームを前記ウエハカセットから引き抜いて前記ウエハを取り出す工程とを有し、前記ウエハの縁部を所定位置で検出する第１のセンサを設け、前記ウエハカセット内で前記アームの上昇により前記ウエハが上昇した場合に前記ウエハの縁部が前記第１のセンサにより検出されたときに、前記アームの上昇を停止させることを特徴とするウエハ搬送方法。
ウエハの周縁部を嵌合するウエハ挿入部が多段に設けられたウエハカセット内にウエハを挿入するウエハ搬送方法において、挿入しようとするウエハの反り高さを第２のセンサにより検出する工程と、前記ウエハをアーム上に保持した状態で前記アームを前記ウエハカセット内に挿入する工程と、を有し、前記ウエハを前記ウエハカセット内に搬入する際に、前記第２のセンサにより検出された反り量をアーム挿入高さの補正量として前記アーム駆動部におけるアーム挿入高さを制御することを特徴とするウエハ搬送方法。